JP2002090131A - 寸法測定方法および寸法測定装置 - Google Patents
寸法測定方法および寸法測定装置Info
- Publication number
- JP2002090131A JP2002090131A JP2000279799A JP2000279799A JP2002090131A JP 2002090131 A JP2002090131 A JP 2002090131A JP 2000279799 A JP2000279799 A JP 2000279799A JP 2000279799 A JP2000279799 A JP 2000279799A JP 2002090131 A JP2002090131 A JP 2002090131A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- guide
- hole
- measuring
- guide hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Measuring Arrangements Characterized By The Use Of Fluids (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 空気マイクロメータの測定ヘッドと被測定物
との接触を確実に防止することを可能にし、もって被加
工物の損傷を未然に防止できる寸法測定方法および寸法
測定装置を提供する。 【解決手段】 被測定物Ｗを挿通させるガイド孔１２を
有すると共に、該ガイド孔内面にその円周方向に等配し
て複数のエア吹出し口１３，１４を有するガイド１１を
用意し、該ガイド１１を、空気マイクロメータの測定ヘ
ッド１の上部に、そのガイド孔１２が前記測定ヘッド１
の測定孔２と同軸となるように配置し、エア供給手段か
ら供給したエアをエア吹出し口１３，１４からガイド孔
１２内に吹込みながら、被測定物Ｗをガイド１１のガイ
ド孔１２に挿入し、これを前記吹込みエアにより中立位
置に維持しながら、測定ヘッド１の測定孔２内へ送り、
空気マイクロメータによる測定中は、前記エア吹出し口
１３，１４からのエア吹込みを中止する。
との接触を確実に防止することを可能にし、もって被加
工物の損傷を未然に防止できる寸法測定方法および寸法
測定装置を提供する。 【解決手段】 被測定物Ｗを挿通させるガイド孔１２を
有すると共に、該ガイド孔内面にその円周方向に等配し
て複数のエア吹出し口１３，１４を有するガイド１１を
用意し、該ガイド１１を、空気マイクロメータの測定ヘ
ッド１の上部に、そのガイド孔１２が前記測定ヘッド１
の測定孔２と同軸となるように配置し、エア供給手段か
ら供給したエアをエア吹出し口１３，１４からガイド孔
１２内に吹込みながら、被測定物Ｗをガイド１１のガイ
ド孔１２に挿入し、これを前記吹込みエアにより中立位
置に維持しながら、測定ヘッド１の測定孔２内へ送り、
空気マイクロメータによる測定中は、前記エア吹出し口
１３，１４からのエア吹込みを中止する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、空気マイクロメー
タにより被測定物の外径または内径を測定する寸法測定
方法および寸法測定装置に関する。
タにより被測定物の外径または内径を測定する寸法測定
方法および寸法測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】空気マイクロメータは、測定ヘッドのノ
ズルから被測定物にエアを吹付けて、ノズルと被測定物
との間隙に応じた流量変化または背圧変化から寸法を測
定するもので、比較的簡単にかつ高精度に測定できると
ころから、インラインでの外径測定または内径測定に多
用されている。
ズルから被測定物にエアを吹付けて、ノズルと被測定物
との間隙に応じた流量変化または背圧変化から寸法を測
定するもので、比較的簡単にかつ高精度に測定できると
ころから、インラインでの外径測定または内径測定に多
用されている。
【０００３】ところで、空気マイクロメータにより外径
または内径の測定を行う場合、外径測定においては、空
気マイクロメータの測定ヘッドの測定孔内に被測定物を
挿入し、内径測定においては、空気マイクロメータの測
定ヘッドを被測定物の被測定孔内に挿入するが、何れの
場合においても、測定ヘッドと被測定物との間に設定さ
れる間隙はわずか（0.03ｍｍ程度）であり、被測定物ま
たは測定ヘッドを相手側の測定孔または被測定孔に挿入
する際、両者が接触することが多く、測定ヘッドが焼入
れ材等の硬質材から形成されていることもあって、被測
定物に傷が付き易いという問題があった。
または内径の測定を行う場合、外径測定においては、空
気マイクロメータの測定ヘッドの測定孔内に被測定物を
挿入し、内径測定においては、空気マイクロメータの測
定ヘッドを被測定物の被測定孔内に挿入するが、何れの
場合においても、測定ヘッドと被測定物との間に設定さ
れる間隙はわずか（0.03ｍｍ程度）であり、被測定物ま
たは測定ヘッドを相手側の測定孔または被測定孔に挿入
する際、両者が接触することが多く、測定ヘッドが焼入
れ材等の硬質材から形成されていることもあって、被測
定物に傷が付き易いという問題があった。
【０００４】そこで、例えば、実開平２−７５１０号公
報には、空気マイクロメータによる内径測定において、
測定子（測定ヘッド）を被測定物の被測定孔に挿入する
際、その挿入側と反対側（出口側）から被測定孔内にエ
アを吹込み、空気膜によって測定ヘッドが被測定物に接
触するのを防止する方法が記載されている。
報には、空気マイクロメータによる内径測定において、
測定子（測定ヘッド）を被測定物の被測定孔に挿入する
際、その挿入側と反対側（出口側）から被測定孔内にエ
アを吹込み、空気膜によって測定ヘッドが被測定物に接
触するのを防止する方法が記載されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記公
報に記載の方法によれば、エアが被測定物の被測定孔内
を軸方向へ流れるため、測定ヘッドが、何らかの原因で
被測定孔の片側へ寄ると、寄った側と反対側の間隙（流
路）が拡大するため、この拡大した側の流路にエアが優
先的に流れ、結果として測定ヘッドが被加工物に接触し
てしまい、測定ヘッドと被測定物とを安定して非接触状
態に維持することは困難となる。
報に記載の方法によれば、エアが被測定物の被測定孔内
を軸方向へ流れるため、測定ヘッドが、何らかの原因で
被測定孔の片側へ寄ると、寄った側と反対側の間隙（流
路）が拡大するため、この拡大した側の流路にエアが優
先的に流れ、結果として測定ヘッドが被加工物に接触し
てしまい、測定ヘッドと被測定物とを安定して非接触状
態に維持することは困難となる。
【０００６】本発明は、上記した従来の問題点に鑑みて
なされたもので、その課題とするところは、空気マイク
ロメータの測定ヘッドと被測定物との接触を確実に防止
することを可能にし、もって被加工物の損傷を未然に防
止できる寸法測定方法および寸法測定装置を提供するこ
とにある。
なされたもので、その課題とするところは、空気マイク
ロメータの測定ヘッドと被測定物との接触を確実に防止
することを可能にし、もって被加工物の損傷を未然に防
止できる寸法測定方法および寸法測定装置を提供するこ
とにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明に係る寸法測定方法は、空気マイクロメータに
より被測定物の外径または内径を測定する寸法測定方法
において、前記被測定物または前記空気マイクロメータ
の測定ヘッドを、ガイドのガイド孔を通して測定位置に
送り、この際、前記ガイドのガイド孔内にその内面に設
けた複数のエア吹出し口からエアを吹込んで、被測定物
をガイド孔内面から浮かせ、空気マイクロメータによる
測定中は、前記エア吹出し口からのエア吹込みを中止す
ることを特徴とする。このように行う寸法測定方法にお
いては、ガイドのガイド孔内面に設けたエア吹出し口か
ら吹込まれるエアによって被測定物または測定ヘッドが
ガイド孔中心に寄せられて中立位置を維持し、被測定物
または空気マイクロメータの測定ヘッドを、相互に接触
するのを防ぎながら測定位置に送ることができる。本寸
法測定方法においては、上記ガイドのガイド孔内に渦巻
き流が発生するように、エア吹出し口からエアを吹込む
ようにしてもよく、この場合は、万一、エア吹出し口の
１つに詰まりが発生しても、被測定物または測定ヘッド
の中立位置が維持される。
の本発明に係る寸法測定方法は、空気マイクロメータに
より被測定物の外径または内径を測定する寸法測定方法
において、前記被測定物または前記空気マイクロメータ
の測定ヘッドを、ガイドのガイド孔を通して測定位置に
送り、この際、前記ガイドのガイド孔内にその内面に設
けた複数のエア吹出し口からエアを吹込んで、被測定物
をガイド孔内面から浮かせ、空気マイクロメータによる
測定中は、前記エア吹出し口からのエア吹込みを中止す
ることを特徴とする。このように行う寸法測定方法にお
いては、ガイドのガイド孔内面に設けたエア吹出し口か
ら吹込まれるエアによって被測定物または測定ヘッドが
ガイド孔中心に寄せられて中立位置を維持し、被測定物
または空気マイクロメータの測定ヘッドを、相互に接触
するのを防ぎながら測定位置に送ることができる。本寸
法測定方法においては、上記ガイドのガイド孔内に渦巻
き流が発生するように、エア吹出し口からエアを吹込む
ようにしてもよく、この場合は、万一、エア吹出し口の
１つに詰まりが発生しても、被測定物または測定ヘッド
の中立位置が維持される。
【０００８】本発明に係る寸法測定装置は、上記寸法測
定方法を実行するためのもので、被測定物または空気マ
イクロメータの測定ヘッドを挿通させるガイド孔を有す
ると共に、該ガイド孔内面にその円周方向に等配して複
数のエア吹出し口を有するガイドを備え、さらに前記ガ
イドのエア吹出し口にエアを供給するエア供給手段を設
けたことを特徴とする。そして、外径測定に用いる場合
は、前記ガイドを、空気マイクロメータの測定ヘッドの
測定孔入口側に、そのガイド孔が前記測定孔と同軸とな
るように配置し、内径測定に用いる場合は、前記ガイド
を、被測定物の被測定孔入口側に、そのガイド孔が前記
被測定孔と同軸となるように配置する。本寸法測定装置
において、上記ガイドは、ガイド孔内にエアの渦巻き流
を発生させるようにそのエア吹出し口の向きを設定して
いる構造とすることができる。また、このガイドはその
ガイド孔が、入口側よりも出口側を小径とする段付き孔
となっており、エア吹出し口が、前記段付き孔の各段に
設けられている構造とすることができる。
定方法を実行するためのもので、被測定物または空気マ
イクロメータの測定ヘッドを挿通させるガイド孔を有す
ると共に、該ガイド孔内面にその円周方向に等配して複
数のエア吹出し口を有するガイドを備え、さらに前記ガ
イドのエア吹出し口にエアを供給するエア供給手段を設
けたことを特徴とする。そして、外径測定に用いる場合
は、前記ガイドを、空気マイクロメータの測定ヘッドの
測定孔入口側に、そのガイド孔が前記測定孔と同軸とな
るように配置し、内径測定に用いる場合は、前記ガイド
を、被測定物の被測定孔入口側に、そのガイド孔が前記
被測定孔と同軸となるように配置する。本寸法測定装置
において、上記ガイドは、ガイド孔内にエアの渦巻き流
を発生させるようにそのエア吹出し口の向きを設定して
いる構造とすることができる。また、このガイドはその
ガイド孔が、入口側よりも出口側を小径とする段付き孔
となっており、エア吹出し口が、前記段付き孔の各段に
設けられている構造とすることができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面に基いて説明する。
図面に基いて説明する。
【００１０】図１および図２は、本発明に係る寸法測定
装置の一つの実施の形態を示したものである。本実施の
形態は、軸状をなす被測定物Ｗの外径測定に用いられる
もので、図１中、１は空気マイクロメータの測定ヘッド
を、１１はこの測定ヘッド１に被測定物Ｗを案内するた
めのガイドをそれぞれ表している。測定ヘッド１は、被
測定物Ｗが挿入される測定孔２を中心に有する円筒状の
ヘッド本体３を備えており、このヘッド本体３内には、
前記測定孔２に一端を開口させたノズル４が、半径方向
へ延ばしてかつ円周方向に等配して複数設けられてい
る。ヘッド本体３内にはまた、前記各ノズル４の他端を
外周面に開通させるエア通路５が設けられており、各ノ
ズル４には、これらエア通路５を経て空気マイクロメー
タのエア源（図示略）から所定圧のエアが供給されるよ
うになっている。空気マイクロメータは、ここでは流量
式のものが用いられており、ノズル４から被測定物Ｗに
エアを吹付けた際の流量をＡ−Ｅ変換することにより被
測定物Ｗの外径を測定できるようになっている。
装置の一つの実施の形態を示したものである。本実施の
形態は、軸状をなす被測定物Ｗの外径測定に用いられる
もので、図１中、１は空気マイクロメータの測定ヘッド
を、１１はこの測定ヘッド１に被測定物Ｗを案内するた
めのガイドをそれぞれ表している。測定ヘッド１は、被
測定物Ｗが挿入される測定孔２を中心に有する円筒状の
ヘッド本体３を備えており、このヘッド本体３内には、
前記測定孔２に一端を開口させたノズル４が、半径方向
へ延ばしてかつ円周方向に等配して複数設けられてい
る。ヘッド本体３内にはまた、前記各ノズル４の他端を
外周面に開通させるエア通路５が設けられており、各ノ
ズル４には、これらエア通路５を経て空気マイクロメー
タのエア源（図示略）から所定圧のエアが供給されるよ
うになっている。空気マイクロメータは、ここでは流量
式のものが用いられており、ノズル４から被測定物Ｗに
エアを吹付けた際の流量をＡ−Ｅ変換することにより被
測定物Ｗの外径を測定できるようになっている。
【００１１】一方、ガイド１１は、その中心に被測定物
Ｗが挿入されるガイド孔１２を有し、そのガイド孔１２
が前記測定ヘッド１の測定孔２と同軸となるように、該
測定ヘッド１を構成するヘッド本体３の上端に連結され
ている。ガイド１１のガイド孔１２は、ここでは段付き
孔となっており、被測定物Ｗが挿入される入口側となる
上半部分が大径孔１２ａとして、測定ヘッド１の測定孔
２に臨む出口側となる下半部分が小径孔１２ｂとして構
成されている。なお、ガイド１１は、比較的軟質の樹脂
から形成されている。
Ｗが挿入されるガイド孔１２を有し、そのガイド孔１２
が前記測定ヘッド１の測定孔２と同軸となるように、該
測定ヘッド１を構成するヘッド本体３の上端に連結され
ている。ガイド１１のガイド孔１２は、ここでは段付き
孔となっており、被測定物Ｗが挿入される入口側となる
上半部分が大径孔１２ａとして、測定ヘッド１の測定孔
２に臨む出口側となる下半部分が小径孔１２ｂとして構
成されている。なお、ガイド１１は、比較的軟質の樹脂
から形成されている。
【００１２】しかして、上記ガイド１１には、前記大径
孔１２ａ、小径孔１２ｂにそれぞれ一端を開口させたエ
ア吹出し口１３，１４が円周方向に等配して複数（ここ
では４つ）設けられている。各エア吹出し口１３，１４
は、図２によく示されるように、ガイド１１の中心線に
対して一定の周回り方向へ所定の角度θで傾斜するよう
に設けられている。ガイド１１内にはまた、前記各エア
吹出し口１３，１４の他端を外周面に開通させるエア通
路１５，１６が設けられており、各エア吹出し口１３，
１４には、これらエア通路１５，１６を経てエア供給手
段（図示略）から所定圧のエアが供給されるようになっ
ている。そして、このエア供給により各エア吹出し口１
３，１４からガイド孔１２内にエアが吹込まれるが、前
記したように各エア吹出し口１３，１４の向きが一定の
周回り方向へ傾斜していることから、ガイド孔１２内に
はエアの渦巻き流が形成されるようになる。
孔１２ａ、小径孔１２ｂにそれぞれ一端を開口させたエ
ア吹出し口１３，１４が円周方向に等配して複数（ここ
では４つ）設けられている。各エア吹出し口１３，１４
は、図２によく示されるように、ガイド１１の中心線に
対して一定の周回り方向へ所定の角度θで傾斜するよう
に設けられている。ガイド１１内にはまた、前記各エア
吹出し口１３，１４の他端を外周面に開通させるエア通
路１５，１６が設けられており、各エア吹出し口１３，
１４には、これらエア通路１５，１６を経てエア供給手
段（図示略）から所定圧のエアが供給されるようになっ
ている。そして、このエア供給により各エア吹出し口１
３，１４からガイド孔１２内にエアが吹込まれるが、前
記したように各エア吹出し口１３，１４の向きが一定の
周回り方向へ傾斜していることから、ガイド孔１２内に
はエアの渦巻き流が形成されるようになる。
【００１３】ここで、ガイド１１のガイド孔１２は、そ
の大径孔１２ａの内径Ｄ１が被測定物Ｗの直径ｄより十
分に大きくなるように設定されると共に、その小径孔１
２ｂの内径Ｄ２が被測定物の直径ｄよりわずか大きくな
るように設定されている。この場合、測定ヘッド１の測
定孔２の内径Ｄ３は被測定物Ｗの直径ｄよりもかなり大
きくなっており、したがって、前記ガイド１１の小径孔
１２ｂの内径Ｄ２は、被測定物Ｗの直径ｄと測定ヘッド
１の測定孔２の内径Ｄ３との中間値となっている。
の大径孔１２ａの内径Ｄ１が被測定物Ｗの直径ｄより十
分に大きくなるように設定されると共に、その小径孔１
２ｂの内径Ｄ２が被測定物の直径ｄよりわずか大きくな
るように設定されている。この場合、測定ヘッド１の測
定孔２の内径Ｄ３は被測定物Ｗの直径ｄよりもかなり大
きくなっており、したがって、前記ガイド１１の小径孔
１２ｂの内径Ｄ２は、被測定物Ｗの直径ｄと測定ヘッド
１の測定孔２の内径Ｄ３との中間値となっている。
【００１４】以下、上記寸法測定装置による寸法測定方
法について説明する。寸法測定に際しては、予めガイド
１１のエア吹出し口１３，１４に、図示を略すエア供給
手段からエアを供給し、ガイド孔１２内にエアの渦巻き
流を形成しておく。被測定物Ｗは、ガイド１１の上方に
配設した支持手段（図示略）にフローティング可能に吊
下支持されており、該支持手段の始動により被測定物Ｗ
は鉛直姿勢を維持しながら下降し、その先端部がガイド
１１のガイド孔１２内に挿入される。この時、ガイド孔
１２の入口側は大径孔１２ａとなっているので、被測定
物Ｗはガイド孔１２内に円滑に挿入される。また、ガイ
ド孔１２内には、前記したようにエア吹出し口１３，１
４からの事前のエア吹込みにより渦巻き流が形成されて
おり、被測定物Ｗはこの渦巻き流によって大径孔１２ａ
の内面から浮上して、その中心側へ寄せられ、中立位置
を維持する。
法について説明する。寸法測定に際しては、予めガイド
１１のエア吹出し口１３，１４に、図示を略すエア供給
手段からエアを供給し、ガイド孔１２内にエアの渦巻き
流を形成しておく。被測定物Ｗは、ガイド１１の上方に
配設した支持手段（図示略）にフローティング可能に吊
下支持されており、該支持手段の始動により被測定物Ｗ
は鉛直姿勢を維持しながら下降し、その先端部がガイド
１１のガイド孔１２内に挿入される。この時、ガイド孔
１２の入口側は大径孔１２ａとなっているので、被測定
物Ｗはガイド孔１２内に円滑に挿入される。また、ガイ
ド孔１２内には、前記したようにエア吹出し口１３，１
４からの事前のエア吹込みにより渦巻き流が形成されて
おり、被測定物Ｗはこの渦巻き流によって大径孔１２ａ
の内面から浮上して、その中心側へ寄せられ、中立位置
を維持する。
【００１５】このようにして、被測定物Ｗは、中立位置
を維持しながら大径孔１２ａ内を下降し、そのまま小径
孔１２ｂ内に円滑に挿入され、測定ヘッド１の測定孔２
内に挿入される。測定ヘッド１の測定孔２の内径Ｄ３
は、前記したように被測定物Ｗの直径ｄよりかなり大き
くなっており、したがって、被測定物Ｗはこの測定孔２
の内面に接触することなく、所定の測定位置に挿入され
る。
を維持しながら大径孔１２ａ内を下降し、そのまま小径
孔１２ｂ内に円滑に挿入され、測定ヘッド１の測定孔２
内に挿入される。測定ヘッド１の測定孔２の内径Ｄ３
は、前記したように被測定物Ｗの直径ｄよりかなり大き
くなっており、したがって、被測定物Ｗはこの測定孔２
の内面に接触することなく、所定の測定位置に挿入され
る。
【００１６】その後、ガイド１１のエア吹出し口１３，
１４へのエア供給が遮断され、空気マイクロメータによ
る外径測定が開始される。この空気マイクロメータによ
る外径測定は、前記したように測定ヘッド１内のノズル
４から被測定物Ｗへ向けてエアを吹付けることにより行
われる。そして、この測定終了後、ガイド１１のエア吹
出し口１３，１４へのエア供給が再開され、被測定物Ｗ
は、図示を略す支持手段により上昇する。しかしてこの
間、ガイド１１のガイド孔１２内には前記したエアの渦
巻き流が形成されているので、被測定物Ｗはガイド孔１
２の内面に接触することなく上昇し、遂にはガイド１１
から抜けて元の位置に復帰する。
１４へのエア供給が遮断され、空気マイクロメータによ
る外径測定が開始される。この空気マイクロメータによ
る外径測定は、前記したように測定ヘッド１内のノズル
４から被測定物Ｗへ向けてエアを吹付けることにより行
われる。そして、この測定終了後、ガイド１１のエア吹
出し口１３，１４へのエア供給が再開され、被測定物Ｗ
は、図示を略す支持手段により上昇する。しかしてこの
間、ガイド１１のガイド孔１２内には前記したエアの渦
巻き流が形成されているので、被測定物Ｗはガイド孔１
２の内面に接触することなく上昇し、遂にはガイド１１
から抜けて元の位置に復帰する。
【００１７】すなわち、被測定物Ｗは、測定位置への移
動中または測定位置からの退出中、ガイド１１のガイド
孔１２の内面にはもちろん、測定ヘッド１の測定孔２の
内面にも接触することがなく、したがって、被測定物Ｗ
に傷が付くことはない。本実施の形態においては特に、
ガイド１１のガイド孔１２内にエアの渦巻き流が形成さ
れているので、複数存在するエア吹出し口１３，１４の
１つに詰まりが発生しても、被測定物Ｗの中立位置が維
持され、被測定物Ｗとガイド１１または測定ヘッド１と
の接触は確実に防止される。また、ガイド１１のガイド
孔１２は特に、測定ヘッド１の測定孔２側が被測定物Ｗ
の直径ｄよりわずか大きな内径Ｄ２を有する小径孔１２
ｂとなっているので、被測定物Ｗは、測定ヘッド１の測
定孔２の中心に沿って確実に移動し、これにより被測定
物Ｗと測定ヘッド１との接触は、より確実に防止され
る。
動中または測定位置からの退出中、ガイド１１のガイド
孔１２の内面にはもちろん、測定ヘッド１の測定孔２の
内面にも接触することがなく、したがって、被測定物Ｗ
に傷が付くことはない。本実施の形態においては特に、
ガイド１１のガイド孔１２内にエアの渦巻き流が形成さ
れているので、複数存在するエア吹出し口１３，１４の
１つに詰まりが発生しても、被測定物Ｗの中立位置が維
持され、被測定物Ｗとガイド１１または測定ヘッド１と
の接触は確実に防止される。また、ガイド１１のガイド
孔１２は特に、測定ヘッド１の測定孔２側が被測定物Ｗ
の直径ｄよりわずか大きな内径Ｄ２を有する小径孔１２
ｂとなっているので、被測定物Ｗは、測定ヘッド１の測
定孔２の中心に沿って確実に移動し、これにより被測定
物Ｗと測定ヘッド１との接触は、より確実に防止され
る。
【００１８】なお、ガイド１１に設けるエア吹出し口１
３，１４は、上記実施の形態のように中心線に対して傾
斜させることなく、半径方向へ延ばして配置してもよい
もので、この場合は、ガイド孔１２の中心に向けて吹出
すエアにより被測定物Ｗは、ガイド孔１２の内面から浮
上して中立位置を維持する。ただし、この場合は、エア
吹出し口の１つに詰まりが発生すると、この方向に被測
定物Ｗが寄せられるので、ガイド孔１２の内面に接触す
る危険がある。また、上記実施の形態においては、測定
ヘッド１とガイド１１とを位置固定して被測定物Ｗを移
動させるようにしたが、被測定物Ｗを位置固定して測定
ヘッド１とガイド１１とを移動させるようにしてもよい
ことは、もちろんである。
３，１４は、上記実施の形態のように中心線に対して傾
斜させることなく、半径方向へ延ばして配置してもよい
もので、この場合は、ガイド孔１２の中心に向けて吹出
すエアにより被測定物Ｗは、ガイド孔１２の内面から浮
上して中立位置を維持する。ただし、この場合は、エア
吹出し口の１つに詰まりが発生すると、この方向に被測
定物Ｗが寄せられるので、ガイド孔１２の内面に接触す
る危険がある。また、上記実施の形態においては、測定
ヘッド１とガイド１１とを位置固定して被測定物Ｗを移
動させるようにしたが、被測定物Ｗを位置固定して測定
ヘッド１とガイド１１とを移動させるようにしてもよい
ことは、もちろんである。
【００１９】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明に係る寸
法測定方法および寸法測定装置によれば、被測定物また
は空気マイクロメータの測定ヘッドをガイドのガイド孔
を通して測定位置に送り、この際、ガイド孔の内面に設
けたエア吹出し口からエアを吹込んで被測定物または測
定ヘッドを中立位置に維持するので、被測定物または測
定ヘッドを、相互に接触することなく測定位置に送るこ
とができ、被測定物の損傷を未然に防止することができ
て、寸法測定に対する信頼性が著しく向上するものとな
る。
法測定方法および寸法測定装置によれば、被測定物また
は空気マイクロメータの測定ヘッドをガイドのガイド孔
を通して測定位置に送り、この際、ガイド孔の内面に設
けたエア吹出し口からエアを吹込んで被測定物または測
定ヘッドを中立位置に維持するので、被測定物または測
定ヘッドを、相互に接触することなく測定位置に送るこ
とができ、被測定物の損傷を未然に防止することができ
て、寸法測定に対する信頼性が著しく向上するものとな
る。
【図１】本発明に係る外径測定用寸法測定装置の構造を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ矢視線に沿う断面図である。
１ 空気マイクロメータの測定ヘッド ２ 測定孔 ４ ノズル １１ ガイド １２ ガイド孔 １２ａ ガイド孔の大径孔 １２ｂ ガイド孔の小径孔 １３，１４ エア吹出し口 Ｗ 被測定物
Claims (6)
- 【請求項１】 空気マイクロメータにより被測定物の外
径または内径を測定する寸法測定方法において、前記被
測定物または前記空気マイクロメータの測定ヘッドを、
ガイドのガイド孔を通して測定位置に送り、この際、前
記ガイドのガイド孔内にその内面に設けた複数のエア吹
出し口からエアを吹込んで、被測定物をガイド孔内面か
ら浮かせ、空気マイクロメータによる測定中は、前記エ
ア吹出し口からのエア吹込みを中止することを特徴とす
る寸法測定方法。 - 【請求項２】 ガイドのガイド孔内に渦巻き流が発生す
るように、エア吹出し口からエアを吹込むことを特徴と
する請求項１に記載の寸法測定方法。 - 【請求項３】 空気マイクロメータにより被測定物の外
径を測定する寸法測定装置において、被測定物を挿通さ
せるガイド孔を有すると共に、該ガイド孔内面にその円
周方向に等配して複数のエア吹出し口を有するガイドを
備え、該ガイドを、前記空気マイクロメータの測定ヘッ
ドの測定孔入口側に、そのガイド孔が前記測定孔と同軸
となるように配置し、さらに前記ガイドのエア吹出し口
にエアを供給するエア供給手段を設けたことを特徴とす
る寸法測定装置。 - 【請求項４】 空気マイクロメータにより被測定物の内
径を測定する寸法測定装置において、空気マイクロメー
タの測定ヘッドを挿通させるガイド孔を有すると共に、
該ガイド孔内面にその円周方向に等配して複数のエア吹
出し口を有するガイドを備え、該ガイドを、前記被測定
物の被測定孔入口側に、そのガイド孔が前記被測定孔と
同軸となるように配置し、さらに前記ガイドのエア吹出
し口にエアを供給するエア供給手段を設けたことを特徴
とする寸法測定装置。 - 【請求項５】 ガイドは、ガイド孔内にエアの渦巻き流
を発生させるようにそのエア吹出し口の向きを設定して
いることを特徴とする請求項３または４に記載の寸法測
定装置。 - 【請求項６】 ガイドのガイド孔が、入口側よりも出口
側を小径とする段付き孔となっており、エア吹出し口
が、前記段付き孔の各段に設けられていることを特徴と
する請求項３乃至５の何れか１項に記載の寸法測定装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000279799A JP3835519B2 (ja) | 2000-09-14 | 2000-09-14 | 寸法測定方法および寸法測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000279799A JP3835519B2 (ja) | 2000-09-14 | 2000-09-14 | 寸法測定方法および寸法測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002090131A true JP2002090131A (ja) | 2002-03-27 |
| JP3835519B2 JP3835519B2 (ja) | 2006-10-18 |
Family
ID=18764752
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000279799A Expired - Fee Related JP3835519B2 (ja) | 2000-09-14 | 2000-09-14 | 寸法測定方法および寸法測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3835519B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009150780A (ja) * | 2007-12-20 | 2009-07-09 | Honda Motor Co Ltd | 背圧式気体マイクロメータ、複数の被検査孔部の内径同時検査システムおよび内径同時検査方法 |
-
2000
- 2000-09-14 JP JP2000279799A patent/JP3835519B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009150780A (ja) * | 2007-12-20 | 2009-07-09 | Honda Motor Co Ltd | 背圧式気体マイクロメータ、複数の被検査孔部の内径同時検査システムおよび内径同時検査方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3835519B2 (ja) | 2006-10-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TW202238799A (zh) | 接合基板之方法 | |
| MY144428A (en) | Disk alignment apparatus and method for patterned media production | |
| JPH0814871A (ja) | 空気マイクロメータ装置 | |
| US10101300B2 (en) | Device for inspecting a surface of an electrically conductive part | |
| JP2002090131A (ja) | 寸法測定方法および寸法測定装置 | |
| JP3390971B2 (ja) | 穴の内径測定方法及び装置 | |
| US7258013B2 (en) | Device and method to measure a bearing system | |
| JP2019100801A (ja) | 最適孔径測定方法、及び最適孔径測定装置 | |
| JP2009067534A (ja) | 筒状体移載搬送装置 | |
| JPS61250507A (ja) | 測定装置 | |
| WO2010021046A1 (ja) | クラウニング測定装置およびこれを用いたクラウニング測定方法 | |
| JP2008224443A (ja) | 内径測定装置、及び内径測定方法 | |
| JP4472145B2 (ja) | 引き込み式チャック | |
| JPH02141651A (ja) | 管内面コート金属管のコート状態検査方法及び装置 | |
| JP3070013B2 (ja) | 空気マイクロメータ用内径測定ジェット | |
| JP2019052372A (ja) | 上吹きランス及び二次精錬方法 | |
| JP2003090718A (ja) | 内径測定具 | |
| CN219179467U (zh) | 一种电性隔离测试探针 | |
| JPH06305764A (ja) | 光ファイバ母材の装着方法 | |
| JPH08145646A (ja) | 空気マイクロメータ用外径測定ジェット | |
| JP2624074B2 (ja) | 光コネクタ用フェルール挿着方法及びその装置 | |
| JPS6316924A (ja) | ワイヤカツト放電加工方法 | |
| JP2002349568A (ja) | 排気回収型空気軸受 | |
| JP2006029908A (ja) | 基板検査装置が備える検査プローブのための気体噴射機構 | |
| JP2547023Y2 (ja) | Ｉｃ分離装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060705 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060718 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100804 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110804 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110804 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120804 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130804 Year of fee payment: 7 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |