JPS60149156U - レ−ザ及び光検波器をもつた半導体光源 - Google Patents
レ−ザ及び光検波器をもつた半導体光源Info
- Publication number
- JPS60149156U JPS60149156U JP1985014598U JP1459885U JPS60149156U JP S60149156 U JPS60149156 U JP S60149156U JP 1985014598 U JP1985014598 U JP 1985014598U JP 1459885 U JP1459885 U JP 1459885U JP S60149156 U JPS60149156 U JP S60149156U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor
- light source
- layer
- utility
- model registration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/12—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region the resonator having a periodic structure, e.g. in distributed feedback [DFB] lasers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図はGaAs二重へテロ構造レーザーの断面図を示
す。第2図はストライプ構造GaへSレーザーの、第1
図における線A−Aに沿った断面図を示す。第3図は埋
め込まれたメサ形GaAsレーザーの断面図を示す。第
4図複二重へテロ、構造のGa努レーザーの能動層を囲
んでいる領域を図式的に示す。第5図は分布帰還型Ga
Asレーザーの能動領域の断面図を示す。第6図は本考
案の第1の実施例によるレーザー検波器を示す。第7図
は 、第6図に示された実施例の平面図を示す。第8
図は本考案の第二の実施例によるレーザー検波器の断面
図を示す。第9図は第8図に示したレーザー−検波器の
平面図を示す。第10図はマスクとしてのGaAsの使
用を示す。第11図は本考案の第三の実施例によるレー
ザー−検波器を示す。 参照符号の説明、1・・・GaAsの層=2・・・Ga
AlAsの層: 3−GaAIAs(7)層: 4−G
aAl、As (7)層:5・・−GaAsの層:6・
・・光の放出される領域ニア・・・非能動領域:8・・
・GaAsの光が発生する領域: 9−nGaAIAs
(7)領域:10・・・pGaAIASGaAlASノ
領域GaAsのチップ=13・・・みぞ:14・・・光
ダイオードとして作用する部分:15・・・レーザーと
じて作用する部分:16.17・・・反射面:18・・
・2A型ダイアモンド:22・・・レーザー駆動電極:
23・・・検波器グイアス電極:24・・・アース電
−極:25・・・みぞ:26−・・金属ブロック:
27・・・GaAsの薄い層のレーザ一部分:30・・
・みそ:31.32−・・先出カニ’34. 35・・
・GaAsの棒:36・・・GaAsレーザーの端の表
面:3′I・・・格子構造、8・・・陽子衝撃による絶
縁領域。
す。第2図はストライプ構造GaへSレーザーの、第1
図における線A−Aに沿った断面図を示す。第3図は埋
め込まれたメサ形GaAsレーザーの断面図を示す。第
4図複二重へテロ、構造のGa努レーザーの能動層を囲
んでいる領域を図式的に示す。第5図は分布帰還型Ga
Asレーザーの能動領域の断面図を示す。第6図は本考
案の第1の実施例によるレーザー検波器を示す。第7図
は 、第6図に示された実施例の平面図を示す。第8
図は本考案の第二の実施例によるレーザー検波器の断面
図を示す。第9図は第8図に示したレーザー−検波器の
平面図を示す。第10図はマスクとしてのGaAsの使
用を示す。第11図は本考案の第三の実施例によるレー
ザー−検波器を示す。 参照符号の説明、1・・・GaAsの層=2・・・Ga
AlAsの層: 3−GaAIAs(7)層: 4−G
aAl、As (7)層:5・・−GaAsの層:6・
・・光の放出される領域ニア・・・非能動領域:8・・
・GaAsの光が発生する領域: 9−nGaAIAs
(7)領域:10・・・pGaAIASGaAlASノ
領域GaAsのチップ=13・・・みぞ:14・・・光
ダイオードとして作用する部分:15・・・レーザーと
じて作用する部分:16.17・・・反射面:18・・
・2A型ダイアモンド:22・・・レーザー駆動電極:
23・・・検波器グイアス電極:24・・・アース電
−極:25・・・みぞ:26−・・金属ブロック:
27・・・GaAsの薄い層のレーザ一部分:30・・
・みそ:31.32−・・先出カニ’34. 35・・
・GaAsの棒:36・・・GaAsレーザーの端の表
面:3′I・・・格子構造、8・・・陽子衝撃による絶
縁領域。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1)複数の半導体層をもった半導体材料のチップであ
って、前記複数の半導体層の各層は相隣る層と化学的に
異なるように構成され、前記半導体材料は2つの領域を
有し、各領域は前記複数の半導体層を有するが物理的電
気的には互いに異なり、一つの領域は分布帰還型半導体
レーザを、また他の領域は光検波器をそれぞれ構成−し
、該半導体レーザは第一の光出口、半導体光源の出力部
を構成する第二の光出口および該第−と第二の光出口か
ら同時に光出力が放射されるように設けられた共鳴空洞
を備えているような半導体材料のチップと、前記第一の
光出口からの光出力を前記光検波器に結合する結合装置
と、前記光検波器によって検出された光出力に応じて前
記半導体レーザの駆動電流を制御する装置とを設けたこ
とを特徴とする半導体光源。 (2)実用新案登録請求の範囲第1項記載において、前
記半導体材料のチップはN型GaAs基板上にN型Ga
AlAsの層が形成され、さらにその上にP型GaAl
Asの第一の層を、またその上にP型GaAlAsの第
二の層を、さらにその上にP型GaAsの層を形成して
なる半導体光源。 (3) 実用新案登録請求の範囲第2項において前記
N型GaAsがドーパントとしてSiを含み、前記N型
GaAl’AsがSnでドープされたAI。、3Gao
、7Asを含み、前記P型GaAlAsの第一の層がS
iでドープされたAlo、。5GaO0,5ASを含み
、前記P型GaAlAsの第二の層が(ト)でドープさ
れたAlo、3Gao、7Asを含み、また前記P型G
aAs(7)層がドーパントとしてQを含んでいるとこ
ろの半導体光源。 (4)実用新案登録請求の範囲第1項から第3項までの
いずれかにおいて前記光検波器及び前記分 ′、
布帰還型半導体レーザが隔離して互いに平行な光通路を
持ち、また前記結合装置が実質的に互いに90°をなす
反射面の対からなっているとこ、ろの半導体光源。 (5) 実用新案登録請求の範囲第4項記載において
−前記分布帰還型半導体レーザがストライプ構造
である半導体光源。 (6)実用新案登録請求の範囲第4項又は第5項におい
て、前記分布帰還型半導体レーザ及び前記光検波器が、
前記光通路に実質的に平行に前記半導体材料のチップに
設けられたみぞによって電気的に分離されている半導体
光源。 (7)実用新案登録請求の範囲第4項又は第5項7にお
いて、前記分布帰還型半導体レーザ及び前記光検波器が
、実質的に前記光通路に平行に前記半導体材料のチップ
に形成された電気的絶縁性領域によって電気的に分離さ
れているところの半導体光源。 、 ” (8) 実用新案登録請求の範囲第1項カニら第3項
のいずれかにおいて、前記光検波器及び前記分布帰還型
半導体レーザが実質的に一直線上に整列した光通路をも
つところの半導体光源。 (9)実用新案登録請求の範囲第8項において、前記分
布帰還型半導体レーザ及び前記光検波器が、前記光通路
を横切って前記半導体材料のチ゛ ツブに設けられた光
伝導みぞによって電気的に分離されており、前記みぞが
前記結合装置を構成しているところの半導体光源。 (1■ 実用新案登録請求の範囲第8項又は第9項記載
において前記分布帰還型半導体レーザが、第−及び第二
のP型GaAlAsの層を有し、格子状の構造はこれら
の層間の境界の一部で重なっているところの半導体光源
。 (11)実用新案登録請求の範囲第8項記載において、
前記分布帰還型半導体レーザ及び前記光検波器とが、前
記光通路を横切って前記半導体材料のチップに形成され
た光学的に透明で電気的に絶縁性の材料の領域によって
電気的に分離されており、前記光学的に透明で電気的に
絶縁性・の材料が前記結合装置を構成しているところの
半導体光源。 (12)実用新案登録請求の範囲第9項から第11項ま
でのいずれかにおいて、前記半導体光源は放熱器の上に
設けられており、前記分布帰還型半導体レーザの表面と
、前記みぞ又は前記電気的に絶縁性の材料の領域に隣接
している前記光検波器の表面とは、前記放熱器と電気的
に接触し′ ているところの半導体光源。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB29810/75A GB1517537A (en) | 1975-07-16 | 1975-07-16 | Lasers and photo-detectors |
GB29810/75 | 1975-07-16 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60149156U true JPS60149156U (ja) | 1985-10-03 |
Family
ID=10297543
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP51084477A Pending JPS5214393A (en) | 1975-07-16 | 1976-07-15 | Laser and optical detector |
JP1985014598U Pending JPS60149156U (ja) | 1975-07-16 | 1985-02-04 | レ−ザ及び光検波器をもつた半導体光源 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP51084477A Pending JPS5214393A (en) | 1975-07-16 | 1976-07-15 | Laser and optical detector |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JPS5214393A (ja) |
CA (1) | CA1076237A (ja) |
DE (1) | DE2632222A1 (ja) |
FR (1) | FR2318505A1 (ja) |
GB (1) | GB1517537A (ja) |
NL (1) | NL185251C (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2903554C2 (de) * | 1979-01-31 | 1983-11-17 | Telefonbau Und Normalzeit Gmbh, 6000 Frankfurt | Opto-Koppler zur opto-elektronischen Signalübertragung |
US4349906A (en) * | 1979-09-18 | 1982-09-14 | Xerox Corporation | Optically controlled integrated current diode lasers |
JPS5789289A (en) * | 1980-11-25 | 1982-06-03 | Sharp Corp | Semiconductor device |
JPS57139984A (en) * | 1981-02-24 | 1982-08-30 | Nec Corp | Buried photo emitting and receiving semiconductor integrated device |
JPS5880887A (ja) * | 1981-11-09 | 1983-05-16 | Nec Corp | 半導体レ−ザ・フオトダイオ−ド光集積化素子 |
JPS5884486A (ja) * | 1981-11-13 | 1983-05-20 | Nec Corp | 半導体レ−ザ・フオトデイテクタ光集積化素子 |
JPS5875879A (ja) * | 1981-10-29 | 1983-05-07 | Nec Corp | 光集積化素子 |
JPS5871676A (ja) * | 1981-10-23 | 1983-04-28 | Nec Corp | 埋め込みへテロ構造半導体レ−ザ・フオトダイオ−ド光集積化素子 |
JPS5875877A (ja) * | 1981-10-30 | 1983-05-07 | Nec Corp | モニタ内蔵半導体レ−ザ素子 |
JPS58162090A (ja) * | 1982-03-23 | 1983-09-26 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 半導体レ−ザ |
JPS58186986A (ja) * | 1982-04-27 | 1983-11-01 | Kokusai Denshin Denwa Co Ltd <Kdd> | モニタ付分布帰還形半導体レ−ザ |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5081695A (ja) * | 1973-11-21 | 1975-07-02 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1007876A (en) * | 1963-08-15 | 1965-10-22 | Mullard Ltd | Improvements in and relating to opto-electronic semiconductor devices |
GB1100682A (en) * | 1963-09-26 | 1968-01-24 | Mullard Ltd | Improvements in opto-electronic semiconductor devices |
DE1190506B (de) * | 1963-10-10 | 1965-04-08 | Siemens Ag | Optisch gesteuerte, mindestens vier Zonen von abwechselnd unterschiedlichem Leitungstyp aufweisende Schalt- oder Kippdiode |
FR1464724A (fr) * | 1964-11-07 | 1967-01-06 | Ibm | Dispositif semi-conducteur photoélectrique |
-
1975
- 1975-07-16 GB GB29810/75A patent/GB1517537A/en not_active Expired
-
1976
- 1976-07-08 CA CA256,581A patent/CA1076237A/en not_active Expired
- 1976-07-12 NL NLAANVRAGE7607677,A patent/NL185251C/xx not_active IP Right Cessation
- 1976-07-15 JP JP51084477A patent/JPS5214393A/ja active Pending
- 1976-07-16 DE DE19762632222 patent/DE2632222A1/de not_active Ceased
- 1976-07-16 FR FR7621835A patent/FR2318505A1/fr active Granted
-
1985
- 1985-02-04 JP JP1985014598U patent/JPS60149156U/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5081695A (ja) * | 1973-11-21 | 1975-07-02 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE2632222A1 (de) | 1977-03-03 |
NL185251B (nl) | 1989-09-18 |
CA1076237A (en) | 1980-04-22 |
JPS5214393A (en) | 1977-02-03 |
FR2318505B1 (ja) | 1982-10-08 |
NL7607677A (nl) | 1977-01-18 |
FR2318505A1 (fr) | 1977-02-11 |
NL185251C (nl) | 1990-02-16 |
GB1517537A (en) | 1978-07-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6261859B1 (en) | Method for fabricating surface-emitting semiconductor device, surface-emitting semiconductor device fabricated by the method, and display device using the device | |
JPH0239583A (ja) | 個別にアドレス可能な半導体レーザーアレー | |
JPH0278280A (ja) | 半導体発光装置 | |
JPH06302911A (ja) | 向上された偏光制御及び横モード選択性を持つ半導体表面発光レーザ | |
JP2863773B2 (ja) | 面発光型半導体レーザ装置 | |
JPS60149156U (ja) | レ−ザ及び光検波器をもつた半導体光源 | |
US4280108A (en) | Transverse junction array laser | |
JPH0194689A (ja) | 光半導体素子 | |
JP6737158B2 (ja) | 量子カスケード半導体レーザ | |
JPH118406A (ja) | 面発光素子 | |
JP3869106B2 (ja) | 面発光レーザ装置 | |
JP2015026640A (ja) | 面発光レーザアレイ及びその製造方法 | |
JPS63276287A (ja) | 半導体発光装置 | |
JPS6184890A (ja) | 半導体レ−ザ | |
JPH04192483A (ja) | 半導体アレイレーザ装置 | |
JP3814950B2 (ja) | スタック型半導体レーザ | |
JP2816406B2 (ja) | 光半導体装置 | |
JPS6342874B2 (ja) | ||
JPH01140680A (ja) | 発光ダイオードチップ | |
JPS61242091A (ja) | 半導体発光素子 | |
JP2523664B2 (ja) | 半導体レ−ザアレイ装置 | |
JPS6257271A (ja) | 半導体レ−ザ装置 | |
JPH07297497A (ja) | 半導体レ−ザ装置及びその製造方法 | |
JPH0697589A (ja) | 半導体レーザアレイ素子とその製造方法 | |
JP2592624B2 (ja) | 端面型発光ダイオードアレー素子 |