JP7328798B2 - 位置測定装置のセンサーユニット用の光源を製作する方法及び位置測定装置 - Google Patents
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Description
なお、本願は、特許請求の範囲に記載の発明に関するものであるが、他の観点として以下を含む。
1.
位置測定装置のセンサーユニット用の光源(1)を製作する方法であって、
光を放射できるように実現された少なくとも一つの半導体部品(1.1)を準備する工程と、
この半導体部品(1.1)を第一の補助支持体(4)の上に固定して、その結果、この少なくとも一つの半導体部品(1.1)の第一の側(1.11)が第一の補助支持体(4)の方を向くようにするとともに、この第一の補助支持体(4)の上への半導体部品(1.1)の固定前又は後に、導電性の本体部(1.3)が、この少なくとも一つの半導体部品(1.1)に固定されて、その結果、この少なくとも一つの半導体部品(1.1)とこの支持体(1.3)とを有する第一のコンポーネント(100)が得られるようにする工程と、
この第一の補助支持体(4)の上に導電性の本体部(1.4)を固定して、その結果、この本体部が支持体(1.3)の隣に配置されるようにする工程と、
この第一の補助支持体(4)の上に第一のグラウトペースト(1.5)を配設して、その結果、この第一のグラウトペースト(1.5)によって、この支持体(1.3)とこの導電性の本体部(1.4)が互いに相対的に固定されるようにする工程と、
第一の補助支持体(4)を取り除く工程と、
この導電性の本体部(1.4)とこの第一のコンポーネント(100)の間にブリッジ導体路(1.6;1.6’)を製作する工程と、
この第一のコンポーネント(100)と電気的に接触する第一のテストパッド(1.822;1.822’)を製作する工程と、
この導電性の本体部(1.4)と電気的に接触する第二のテストパッド(1.922;1.922’)を製作して、その結果、第一のコンポーネント(100)、第一のグラウトペースト(1.5)、ブリッジ導体路(1.6;1.6’)、第一のテストパッド(1.822;1.822’)及び第二のテストパッド(1.922;1.922’)を有するパネル(P,P’)が得られるようにする工程と、
半導体部品(1.1)が光を放射する一時的な動作を実行するために、第一のテストパッド(1.822;1.822’)及び第二のテストパッド(1.922;1.922’)を介して電流を流す工程と、
それに続いて、このパネル(P,P’)を分離して、第一のテストパッド1.822,;1.822’)及び/又は第二のテストパッド(1.922;1.922’)を少なくとも部分的に光源(1)から切り離す工程と、
を有することを特徴とする方法。
2.
前記のブリッジ導体路(1.6)が前記の支持体(1.3)と電気的に接触することを特徴とする上記1に記載の方法。
3.
前記の半導体部品(1.1)と電気的に接触するとともに、端子パッド(1.821’)を有する少なくとも一つの第一の導体路(1.8’)を製作することを特徴とする上記2に記載の方法。
4.
前記のブリッジ導体路(1.6’)が前記の少なくとも一つの半導体部品(1.1)の第一の側(1.11)と電気的に接触することを特徴とする上記1に記載の方法。
5.
前記の支持体(1.3)と電気的に接触するとともに、端子パッド(1.821)を有する少なくとも一つの第一の導体路(1.8)を製作することを特徴とする上記4に記載の方法。
6.
前記の導電性の本体部(1.4)と電気的に接触するとともに、端子パッド(1.921;1.921’)を有する少なくとも一つの第二の導体路(1.9,1.9’)を製作することを特徴とする上記1から5までのいずれか一つに記載の方法。
7.
前記の第一のグラウトペースト(1.5)の配設後に、前記の支持体(1.3)と導電性の本体部(1.4)が、半導体部品(1.1)の第一の側(1.11)に対向する表面(O2)を製作するために研磨プロセスを施されることを特徴とする上記1から6までのいずれか一つに記載の方法。
8.
前記の分離が突切りプロセスにより実施されることを特徴とする上記1から7までのいずれか一つに記載の方法。
9.
前記の第一の補助支持体(4)の上に、複数の第一のコンポーネント(100)が固定されて、その結果、半導体部品(1.1)の第一の側(1.11)がそれぞれ第一の補助支持体(4)の方を向いて配置されるようにすることを特徴とする上記1から8までのいずれか一つに記載の方法。
10.
前記の第一の補助支持体(4)の上に、複数の導電性の本体部(1.4)が、それぞれ支持体(1.3)の隣に固定されて、前記のパネル(P,P’)が複数の導電性の本体部(1.4)を有することを特徴とする上記9に記載の方法。
11.
前記の第一の導体路(1.8;1.8’)と第二の導体路(1.9;1.9’)がパネル(P,P’)の同じ側に配置されることを特徴とする上記1から10までのいずれか一つに記載の方法。
12.
センサーユニットと、このセンサーユニットに対して相対的に移動可能である、目盛(10.1)を備えた構成部分(10)とを有する位置測定装置において、
このセンサーユニットが、上記1から10までのいずれか一つに記載の方法により製作された光源(1)と、光検出器(2)とを有することを特徴とする位置測定装置。
13.
前記の光検出器(2)が光を検知する面(2.1)を有し、半導体部品(1.1)の第一の側(1.11)とこの光を検知する面(2.1)がセンサーユニットの同じ側に配置されることを特徴とする上記12に記載の位置測定装置。
14.
前記の構成部分(10)がセンサーユニットに対して相対的に回転可能であり、前記の目盛(10.1)が角度目盛として構成されることを特徴とする上記12又は13に記載の位置測定装置。
15.
前記の構成部分(10)がセンサーユニットに対して相対的に直線的にスライド可能であり、前記の目盛(10.1)が測長目盛として構成されることを特徴とする上記12又は13に記載の位置測定装置。
1.1 半導体部品
1.11 第一の層又は側
1.12 第二の層又は側
1.13 第一の絶縁層
1.14 第一の不活性化層
1.15 第二の不活性化層
1.2 導電性の接着剤
1.3 支持体
1.4 導電性の本体部
1.5 第一のグラウトペースト
1.6,1.6’ ブリッジ導体路
1.61 ブリッジ導体路の第一の部分
1.62 ブリッジ導体路の第二の部分
1.7 第二の絶縁層
1.8,1.8’ 第一の導体路
1.81 第一の導体路の第一の部分
1.82 第一の導体路の第二の部分
1.821,1.821’ 端子パッド
1.822,1.822’ 第一のテストパッド
1.9,1.9’ 第二の導体路
1.91 第二の導体路の第一の部分
1.92 第二の導体路の第二の部分
1.921,1.921’ 端子パッド
1.922,1.922’ 第二のテストパッド
2,2’ 電子部品
2.1 光検出器
3,3’ 電子モジュール
4 第一の補助支持体
5 第二の補助支持体
6 導電層
6.1 第三の導体路
6.2 第四の導体路
7 第二のグラウトペースト
8 第二の絶縁層
9 プレート
9.1 モジュール
9.2 ケーブル端子
9.3 別の電子部品
10 位置測定装置の構成部分
10.1 目盛
10.2 シャフト
11 ケーブル
100 第一のコンポーネント
A-A 断面線
B-B 断面線
O1,O2 表面
P,P’ パネル
R 回転軸
x,y,z 方向
x1,x2 x方向のカッティング
y1~y12 y方向のカッティング
Δz 間隔の大きさ
Claims (9)
- 位置測定装置のセンサーユニット用の、光源(1)用の部品を製作する方法であって、
光を放射できるように実現された少なくとも一つの半導体部品(1.1)を準備する工程と、
この半導体部品(1.1)を第一の補助支持体(4)の上に固定して、その結果、この少なくとも一つの半導体部品(1.1)の第一の側(1.11)が第一の補助支持体(4)の方を向くようにするとともに、この第一の補助支持体(4)の上への半導体部品(1.1)の固定前又は後に、導電性の支持体(1.3)が、この少なくとも一つの半導体部品(1.1)に導電性の接着剤(1.2)によって電気的に接触して固定されて、その結果、この少なくとも一つの半導体部品(1.1)と、この導電性の支持体(1.3)とを有する第一のコンポーネント(100)が得られるようにする工程と、
この第一の補助支持体(4)の上に導電性の本体部(1.4)を固定して、その結果、この本体部が導電性の支持体(1.3)の隣に配置されるようにする工程と、
この第一の補助支持体(4)の上に第一のグラウトペースト(1.5)を配設して、その結果、この第一のグラウトペースト(1.5)によって、この導電性の支持体(1.3)とこの導電性の本体部(1.4)が互いに相対的に固定されるようにする工程と、
第一の補助支持体(4)を取り除く工程と、
この導電性の本体部(1.4)とこの第一のコンポーネント(100)の間にブリッジ導体路(1.6)を製作して、その結果、これらが電気的に互いに接続するようにする工程と、
この半導体部品(1.1)と電気的に接触する第二のテストパッド(1.922)を製作する工程と、
この導電性の本体部(1.4)と電気的に接触する第一のテストパッド(1.822)を製作して、その結果、第一のコンポーネント(100)、第一のグラウトペースト(1.5)、ブリッジ導体路(1.6)、第一のテストパッド(1.822)及び第二のテストパッド(1.922)を有するパネル(P)が得られ、第一のテストパッド(1.822)と第二のテストパッド(1.922)を介して流れる電流が、直列に接続された第二のテストパッド(1.922)、導電性の支持体(1.3)、半導体部品(1.1)、ブリッジ導体路(1.6)、導電性の本体部(1.4)、第一のテストパッド(1.822)を通って流れるようにする工程と、
半導体部品(1.1)が光を放射する一時的な動作を実行するために、第一のテストパッド(1.822)及び第二のテストパッド(1.922)を介して電流を流す工程と、
それに続いて、このパネル(P)を分離する工程であって、第一のテストパッド(1.822)及び/又は第二のテストパッド(1.922)を切り離す、工程と、
を有することを特徴とする方法。 - 前記のブリッジ導体路(1.6)が前記の導電性の支持体(1.3)と電気的に接触することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記の導電性の支持体(1.3)と電気的に接触するとともに、端子パッド(1.821)を有する少なくとも一つの第一の導体路(1.8)を製作することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記の導電性の本体部(1.4)と電気的に接触するとともに、端子パッド(1.921)を有する少なくとも一つの第二の導体路(1.9)を製作することを特徴とする請求項3に記載の方法。
- 前記の第一のグラウトペースト(1.5)の配設後に、前記の導電性の支持体(1.3)と導電性の本体部(1.4)が、半導体部品(1.1)の第一の側(1.11)に対向する表面(O2)を製作するために研磨プロセスを施されることを特徴とする請求項1から4までのいずれか一つに記載の方法。
- 前記の分離が突切りプロセスにより、部分的に平行な複数のカッティングが実施されることを特徴とする請求項1から5までのいずれか一つに記載の方法。
- 前記の第一の補助支持体(4)の上に、複数の第一のコンポーネント(100)が固定されて、その結果、半導体部品(1.1)の第一の側(1.11)がそれぞれ第一の補助支持体(4)の方を向いて配置されるようにすることを特徴とする請求項1から6までのいずれか一つに記載の方法。
- 前記の第一の補助支持体(4)の上に、複数の導電性の本体部(1.4)が、それぞれ導電性の支持体(1.3)の隣に固定されて、前記のパネル(P)が複数の導電性の本体部(1.4)を有することを特徴とする請求項7に記載の方法。
- 前記の第一の導体路(1.8)と第二の導体路(1.9)がパネル(P)の同じ側に配置されることを特徴とする請求項4のいずれか一つに記載の方法。
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