JP6966883B2 - ブレード脱着治具、ブレード脱着方法、ブレード取り出し方法、及び切削装置 - Google Patents

Description

本発明は、切削装置のフランジにブレードを脱着するための治具及び方法、ケースからブレードを取り出す方法並びに半導体ウエーハ等の被加工物を切削する切削装置に関する。

回転する切削ブレードをウエーハに切り込ませて切削を行う切削装置（例えば、特許文献１参照）においては、回転可能なスピンドルの先端部にフランジが装着され、切削ブレードはフランジに対して着脱可能となっている。

特開２０１３−２２２８３４号公報

フランジに切削ブレードを着脱する際には、作業者が切削ブレードの一部を手で把持してフランジに対する着脱作業を行っている。そのため、ブレードを把持する力のかけ具合によっては、切削ブレードが破損するという問題が生じていた。例えば、ハブタイプの切削ブレードと異なり、ワッシャータイプの切削ブレードは、取り付け支持部を備えずに切り刃のみで構成されているため、着脱時に破損する可能性がより高かった。また、刃厚の薄いブレードも、同様に着脱時に破損する恐れがあった。

よって、作業者が切削ブレードに直接手を触れることなく、フランジにブレードを装着する、又は、フランジからブレードを取り外すことができるようにするという課題がある。

上記課題を解決するための本発明は、ボス部と、ブレードが嵌合し装着されるブレード装着部と、ブレードが支持される環状の端面とを有しスピンドルの先端に固定されるフランジと、該フランジと共に該ブレードを挟持して固定する押さえ部と、を少なくとも備えた切削装置の該フランジに該ブレードを脱着するためのブレード脱着治具であって、該ブレード装着部と同径の先端部分に該ボス部に嵌合する凹部が形成された円柱状の本体部と、該本体部に連結され該本体部より大きな径を備える把持部と、該本体部の先端部分に形成された複数の第１の空気噴出口と、該本体部と該把持部との接続部分に形成された複数の第２の空気噴出口と、該第１の空気噴出口と空気源とを制御部を介して連通させる第１の連通経路と、該第２の空気噴出口と該空気源とを該制御部を介して連通させる第２の連通経路と、を少なくとも備えたブレード脱着治具である。

前記ブレード脱着治具は、前記第２の空気噴出口から径方向外側に噴出される空気の進行方向に位置づけ可能な空気ガイド面を少なくとも有する空気ガイド手段を、更に備えると好ましい。

上記課題を解決するための本発明は、前記ブレード脱着治具を使用したブレード脱着方法であって、前記ブレード脱着治具の本体部に保持されたブレードを前記フランジに装着する際は、前記ボス部に前記凹部を嵌合させ、該本体部と前記ブレード装着部とを連結させて同軸上に位置づける位置づけステップと、前記第１の空気噴出口から瞬間的に空気を噴出させる装着空気噴出ステップと、該ブレードと該フランジとの間に発生した負圧で該ブレードを該ブレード装着部に移動させる移動ステップと、を備えるブレード脱着方法である。

上記課題を解決するための本発明は、前記ブレード脱着治具を使用したブレード脱着方法であって、前記ブレード装着部に保持され前記フランジに支持されたブレードを取り外す際は、前記ボス部に前記凹部を嵌合させ、前記本体部と該ブレード装着部とを連結させて同軸上に位置づける位置づけステップと、前記第２の空気噴出口から瞬間的に空気を噴出させる取り外し空気噴出ステップと、該ブレードと前記把持部との間に発生した負圧で該ブレードを該本体部に移動させる移動ステップと、を備えるブレード脱着方法である。

上記課題を解決するための本発明は、前記空気ガイド手段を備えるブレード脱着治具を用いて前記ブレードが片面を露出した状態で収容されている収容ケースから該ブレードを取り出すブレード取り出し方法であって、前記本体部と該ブレードの装着孔とを連結させて同軸上に位置づける位置づけステップと、前記第２の空気噴出口から径方向外側に空気を噴出させる取り出し空気噴出ステップと、噴出された空気の方向を前記空気ガイド面によって該ブレードに向かう方向へガイドさせるガイドステップと、該ブレードと前記把持部との間に発生した負圧及び該収容ケースと該ブレードとの間に入り込んだ空気によって該ブレードを該本体部に移動させる移動ステップとを備えることを特徴とするブレード取り出し方法である。

また、上記課題を解決するための本発明は、ボス部と、ブレードが嵌合し装着されるブレード装着部と、ブレードが支持される環状の端面とを有しスピンドルの先端に固定されるフランジと、該フランジと共に該ブレードを挟持して固定する押さえ部と、該フランジにブレードを自動的に着脱するオートブレードチェンジャー機構とを備えた切削装置であって、該オートブレードチェンジャー機構は、使用前のブレードと使用後のブレードとをそれぞれ収納するブレードラックと、該ブレードラックと該スピンドルとの間を旋回移動するアームと、を少なくとも含み、該アームの端部には、前記ブレード脱着治具と、該押さえ部の着脱手段とが配設されていることを特徴とする切削装置である。

本発明に係るブレード脱着治具は、ブレード装着部と同径の先端部分にボス部に嵌合する凹部が形成された円柱状の本体部と、本体部に連結され本体部より大きな径を備える把持部と、本体部の先端部分に形成された複数の第１の空気噴出口と、本体部と把持部との接続部分に形成された複数の第２の空気噴出口と、第１の空気噴出口と空気源とを制御部を介して連通させる第１の連通経路と、第２の空気噴出口と空気源とを制御部を介して連通させる第２の連通経路と、を少なくとも備えているため、複数の第１の空気噴出口から空気を噴出させることでベルヌーイの定理に基づく負圧を生じさせ、該負圧によって非接触でフランジにブレードを装着させる、又は複数の第２の空気噴出口から空気を噴出させることでベルヌーイの定理に基づく負圧を生じさせ、該負圧によって非接触でフランジからブレードを取り外すことができるようになるため、脱着作業時に作業者がブレードに直接触れなくても済むようになり、また、ブレードの一点に力が集中的にかかることなく脱着作業を行えるようになるため、ブレードの破損発生を防ぐことができるようになる。

また、ブレード脱着治具は、第２の空気噴出口から径方向外側に噴出される空気の進行方向に位置づけ可能な空気ガイド面を少なくとも有する空気ガイド手段を更に備えることで、ブレードが片面を露出した状態で収容されている収容ケースから、非接触でブレードを取り出すことが可能となり、収容ケースに収容されているブレードがフランジへ装着されるまでの間に起き得るブレードの破損の発生をより防ぐことが可能となる。

本発明に係るブレード脱着方法は、前記ブレード脱着治具を使用し、ブレード脱着治具の本体部に保持されたブレードをフランジに装着する際は、ボス部に凹部を嵌合させ、本体部とブレード装着部とを連結させて同軸上に位置づける位置づけステップと、第１の空気噴出口から瞬間的に空気を噴出させる装着空気噴出ステップと、ブレードとフランジとの間に発生した負圧でブレードをブレード装着部に移動させる移動ステップと、を備えていることで、負圧によって非接触でフランジにブレードを装着させることができる。

また、本発明に係るブレード脱着方法は、前記ブレード脱着治具を使用し、ブレード装着部に保持されフランジに支持されたブレードを取り外す際は、ボス部に凹部を嵌合させ、本体部とブレード装着部とを連結させて同軸上に位置づける位置づけステップと、第２の空気噴出口から瞬間的に空気を噴出させる取り外し空気噴出ステップと、ブレードと把持部との間に発生した負圧でブレードを本体部に移動させる移動ステップと、を備えていることで、負圧によって非接触でフランジからブレードを取り外すことが可能となる。

本発明に係る空気ガイド手段を備えるブレード脱着治具を用いてブレードが片面を露出した状態で収容されている収容ケースからブレードを取り出すブレード取り出し方法は、本体部とブレードの装着孔とを連結させて同軸上に位置づける位置づけステップと、第２の空気噴出口から径方向外側に空気を噴出させる取り出し空気噴出ステップと、噴出された空気の方向を空気ガイド面によってブレードに向かう方向へガイドさせるガイドステップとを実施することで、その後の移動ステップにおいて、ブレードと把持部との間に発生した負圧及び収容ケースとブレードとの間に入り込んだ空気によってブレードを本体部に非接触で移動させることが可能となる。

本発明に係る切削装置は、オートブレードチェンジャー機構を備え、使用前のブレードと使用後のブレードとをそれぞれ収納するブレードラックと、ブレードラックとスピンドルとの間を旋回移動するアームと、を少なくとも含み、アームの端部には、前記ブレード脱着治具と、押さえ部の着脱手段とが配設されているため、脱着作業時に作業者がブレードに直接触れなくても済むようになり、また、ブレードの一点に力が集中的にかかることなく脱着作業を自動的に行えるようになるため、ブレードの破損発生を防ぐことができ、かつ、ブレードの脱着作業を効率よく行うことが可能となる。

切削装置の一例を示す斜視図である。 切削手段の一例を示す分解斜視図である。 切削手段の一例を示す斜視図である。 ブレード脱着治具の外形の一例を示す斜視図である。 ブレード脱着治具の構造を模式的に示す断面図である。 ブレード脱着治具を用いてブレードをフランジに装着している状態を示す断面図である。 ブレード脱着治具を用いてブレードをフランジから取り外している状態示す断面図である。 制御部に接続された光センサのフランジにブレードが装着されていない状態における動作を示す模式的な断面図である。 制御部に接続された光センサのフランジにブレードが装着されている状態における動作を示す模式的な断面図である。 空気ガイド手段を備えるブレード脱着治具の一例を示す斜視図である。 空気ガイド手段の空気ガイド面が第２の空気噴出口から径方向外側に噴出される空気の進行方向に位置づけられた状態のブレード脱着治具を示す斜視図である。 ブレードが片面を露出した状態で収容されている収容ケースの一例を示す斜視図である。 ブレードの装着孔と連結させた状態の本体部の第２の空気噴出口から径方向外側に空気を噴出させて収容ケースからブレードを取り出す状態を模式的に示す側面図である。 収容ケースから取り出されたブレードが本体部に保持されている状態を模式的に示す側面図である。 空気ガイド手段を備えるブレード脱着治具を用いてブレードをフランジに装着している状態を模式的に示す側面図である。 空気ガイド手段を備えるブレード脱着治具を用いてブレードをフランジから取り外している状態を模式的に示す側面図である。 切削装置に備えられるオートブレードチェンジャー機構の一例を示す斜視図である。 ブレード脱着治具が備える空気ガイド手段の別例を示す斜視図である。

図１に示す切削装置１は、チャックテーブル３０に保持されたウエーハに対して切削手段６によって切削加工を施す装置である。
切削装置１の前面側（−Ｙ方向側）には、Ｚ軸方向に往復移動する昇降機構１０上に設置されたウエーハカセット１１が備えられている。ウエーハカセット１１は、半導体ウエーハ等のウエーハを複数枚収容している。ウエーハカセット１１の後方（＋Ｙ方向側）には、ウエーハカセット１１からウエーハの搬出入を行う搬出入手段１２が配設されている。ウエーハカセット１１と搬出入手段１２との間には、搬出入対象のウエーハが一時的に載置される仮置き領域１３が設けられており、仮置き領域１３には、ウエーハを一定の位置に位置合わせする位置合わせ手段１４が配設されている。

仮置き領域１３の近傍には、チャックテーブル３０と仮置き領域１３との間で、ウエーハを搬送する第一の搬送手段１５ａが配設されている。第一の搬送手段１５ａにより吸着されたウエーハは、仮置き領域１３からチャックテーブル３０に搬送される。
第一の搬送手段１５ａの近傍には、切削加工後のウエーハを洗浄する洗浄手段１６が配設されている。また、洗浄手段１６の上方には、チャックテーブル３０から洗浄手段１６へと、切削加工後のウエーハを吸着し搬送する第二の搬送手段１５ｂが配設されている。切削装置１の前方側には、作業者が切削装置１に対して加工条件等を入力するための入力手段１９が配設されている。

チャックテーブル３０は、例えば、その外形が円形状であり、図示しない吸引源に連通しウエーハを吸引保持する保持面３０ａを備えている。チャックテーブル３０は、カバー３１によって周囲から囲まれ、図示しない回転手段により回転可能に支持されている。
チャックテーブル３０は、ウエーハの着脱が行われる領域である着脱領域Ｅ１と、切削手段６によるウエーハの切削が行われる領域である切削領域Ｅ２との間を、カバー３１及びカバー３１に連結された蛇腹カバー３１ａの下に配設された図示しない切削送り手段によりＸ軸方向に往復移動可能となっている。

チャックテーブル３０の移動経路の上方にはウエーハの切削すべき分割予定ラインを検出するアライメント手段１７が配設されている。アライメント手段１７は、ウエーハの表面を撮像する撮像手段１７０を備えており、撮像手段１７０により取得した画像に基づき切削すべきウエーハの分割予定ラインを検出することができる。

アライメント手段１７の近傍には、切削領域Ｅ２内でチャックテーブル３０に保持されたウエーハに対して切削加工を施す切削手段６が配設されている。切削手段６はアライメント手段１７と一体となって構成されており、両者は連動してＹ軸方向及びＺ軸方向へと移動する。

図２は、切削手段６の分解斜視図であり、図３は組み立てられた状態の切削手段６を示す斜視図である。図２に示す切削手段６を構成するブレード６０は、例えば、外形が環状のワッシャー型のハブレスブレードであり、中央に形成された装着孔６００と、切り刃６０１とを備える。

切削手段６を構成するスピンドルハウジング６２中には、Ｙ軸方向の軸心を備え図示しないモータにより回転駆動されるスピンドル６６が回転可能に収容されている。スピンドル６６の先端は、スピンドルハウジング６２から前方（−Ｙ方向側）に突出しており、フランジ６１を取り付けることができるようになっている。スピンドル６６の先端には、ネジ穴６６ａが設けられている。

スピンドル６６の先端に固定されるフランジ６１は、−Ｙ方向に向かって所定の厚みで突出するボス部６１０と、ボス部６１０の後端から径方向外側に突出して形成されたフランジ部６１１とを備えている。ボス部６１０はフランジ部６１１よりも小径に形成されており、ボス部６１０の側面には雄ねじ６１０ｃが形成されている。

フランジ部６１１の前面（−Ｙ方向側の面）には、ブレード６０が嵌合し装着されるブレード装着部６１１ａが−Ｙ方向側に向かって突き出るように形成されており、フランジ部６１１の前面は、このブレード装着部６１１ａによって環状の段差が１段形成された状態になっている。フランジ部６１１の前面の一段低い外周側の環状の端面６１１ｂは、ブレード６０を支持する面となる。環状の端面６１１ｂの幅は、ブレード６０の直径等に応じた所定の大きさとなっている。ブレード装着部６１１ａの外径は、ブレード６０の装着孔６００よりも僅かに小さく形成されている。
フランジ６１の中心には、スピンドル６６が嵌合する嵌合孔６１２が厚み方向（Ｙ軸方向）に向かって貫通形成されている。

切削手段６は、フランジ６１と共にブレード６０を挟持して固定する押さえ部６５を備えている。押さえ部６５とは、即ち、環状の外形を備えボス部６１０が挿入される中央孔６５０を備えた着脱フランジである。

フランジ６１の嵌合孔６１２にスピンドル６６に挿嵌した後、平座金６４ａを挿通させたフランジ固定ボルト６４をスピンドル６６のネジ穴６６ａに螺合することによって、フランジ６１をスピンドル６６に装着することができる。さらに、ブレード６０の装着孔６００にフランジ６１のボス部６１０が挿入されブレード装着部６１１ａが嵌合すると、ボス部６１０は、ブレード６０から−Ｙ方向側に突き出た状態になる。次いで、押さえ部６５をボス部６１０に挿入してから、ブレード固定ナット６３をボス部６１０の雄ねじ６１０ｃに螺合させて締め付けることにより、ブレード６０が、押さえ部６５の背面（＋Ｙ方向側の面）とフランジ６１のフランジ部６１１の環状端面６１１ｂとによりＹ軸方向両側から挟まれて固定され、スピンドル６６に装着された状態、即ち、図３に示すように切削手段６が組み立てられた状態になる。そして、図示しないモータによりスピンドル６６（図３には不図示）が回転駆動されることに伴って、ブレード６０が高速で回転できる状態になる。
切削手段６は、図３に示すように組み立てられた状態で図１に示す切削装置１に配設されており、更に、ブレード６０を上方から跨ぐようにカバーする図示しないブレードカバーがスピンドルハウジング６２に取り付けられる。

なお、切削手段６に備えるブレード６０は、ワッシャー型のハブレスブレードに限定されるものではなく、例えば、アルミニウム製の基台と、基台の外周側に形成された環状の切り刃とを備えるハブブレードであってもよい。ブレード６０がハブブレードである場合には、フランジ６１と共にブレード６０を挟持して固定する押さえ部として、図２に示すブレード固定ナット６３がその役割を担う。

（ブレード脱着治具の実施形態１）
図４に示すブレード脱着治具７は、図２に示すフランジ６１にブレード６０を装着する、又はフランジ６１からブレード６０を取り外すために使用される治具である。ブレード脱着治具７は、図２に示すブレード装着部６１１ａと同径の先端部分７０ａにボス部６１０に嵌合する凹部７００が形成された円柱状の本体部７０と、本体部７０に連結され本体部７０より大きな径を備える把持部７４と、本体部７０の先端部分７０ａに形成された複数の第１の空気噴出口７１と、本体部７０と把持部７４との接続部分に形成された複数の第２の空気噴出口７２と、第１の空気噴出口７１と空気源７９とを制御部９を介して連通させる第１の連通経路７５と、第２の空気噴出口７２と空気源７９とを制御部９を介して連通させる第２の連通経路７６と、を少なくとも備えている。

外形が円柱状の本体部７０は、例えば、汎用エンプラ又は硬質ゴム等からなる。本体部７０は、例えば、厚み方向（図４におけるＺ軸方向）の中間位置が縮径することでくびれ７０ｃが形成されていてもよい。なお、くびれ７０ｃは本体部７０に形成されていなくてもよく、また、くびれ７０ｃの径は、ブレード６０の装着孔６００の径によって適宜な値に定められる。

凹部７００は、本体部７０の先端部分７０ａの中央領域を厚み方向に円柱状に切り欠いて形成されており、その直径は図２に示すボス部６１０の直径よりも僅かに大きくなっている。先端部分７０ａは、凹部７００を囲繞する形状（環状凸形状）となっている。凹部７００の深さは、例えば、ボス部６１０がその根元まで凹部７００に進入可能な深さとなっているが、これに限定されるものではない。

本体部７０の先端部分７０ａには、第１の空気噴出口７１が、周方向に等間隔（１２０°間隔）を空けて例えば３つ配設されている。第１の空気噴出口７１は、先端部分７０ａの環状端面７０１と本体部７０の側面７０ｄとに跨るように開口している、即ち、先端部分７０ａの稜線上を跨ぐようにして開口している。なお、第１の空気噴出口７１の配設個数は３つに限定されるものではなく、例えば、４つであってもよい。

本体部７０の後端７０ｂには、本体部７０より大きな径を備える把持部７４が連結されている。把持部７４は、例えば、汎用エンプラ又は合成樹脂等からなる円盤である。本実施形態においては、把持部７４は本体部７０と一体的に形成されているが、把持部７４は、本体部７０の後端７０ｂに図示しない固定ネジ等で固定されて取り外し可能となっていてもよく、又は接着剤で接着されていてもよい。ブレード脱着治具７によるブレード６０の脱着作業時に作業者が把持部７４を把持できることで、ブレード脱着治具７を使用する際の取り回しが容易になる。

本体部７０と把持部７４との接続部分には、第２の空気噴出口７２が、周方向に等間隔（１２０°間隔）を空けて第１の空気噴出口７１とずらして例えば３つ（図４においては２つのみ図示）配設されている。なお、第２の空気噴出口７２の配設個数は３つに限定されるものではなく、例えば、４つであってもよい。第２の空気噴出口７２は、本体部７０の側面７０ｄの根元部分に開口しており、圧縮空気を本体部７０の径方向外側に向かって噴出することができる。

図４、５に示すように、例えば、各第１の空気噴出口７１からは、本体部７０の後端７０ｂ側に向かって点線で表す内部流路７５０がそれぞれ延びており、各内部流路７５０の一端は、本体部７０の後端７０ｂを通り把持部７４を貫通して把持部７４の背面７４１にそれぞれ開口している。
把持部７４の背面７４１に開口する各内部流路７５０の一端には、可撓性を有する樹脂チューブ７５１の一端が図示しないシール部材や継手等を介して接続されており、樹脂チューブ７５１は内部流路７５０に連通している。

各樹脂チューブ７５１はジョイント管７５５を介して合流して一体となり、その他端はＴ字パイプ７５２に備えられた第１の弁体７５３に接続されている。Ｔ字パイプ７５２の他端には、コンプレッサー等からなり高圧の空気を供給することができる空気源７９が接続されている。第１の連通経路７５は、上記内部流路７５０、樹脂チューブ７５１、第１の弁体７５３、及びＴ字パイプ７５２によって構成されるものである。なお、第１の連通経路７５に、第１の連通経路７５内を通る空気を加速させるオリフィス孔等が形成されていてもよい。第１の弁体７５３は、例えば、ソレノイド（電磁石）バルブであり、樹脂チューブ７５１がＴ字パイプ７５２に連通する状態（開状態）と連通していない状態（閉状態）とを切り換える機能を有している。そして、第１の弁体７５３には、第１の弁体７５３に通電を行い開閉を切り換える制御を行う制御部９が電気的に接続されている。なお、第１の弁体７５３は、ソレノイドバルブに限定されるものではなく、押しボタンが押されることで内部の弁が開くボタン式の開閉弁であってもよい。

例えば、各第２の空気噴出口７２からは、把持部７４の背面７４１に向かって一点鎖線で表す内部流路７６０がそれぞれ延びており、各内部流路７６０の一端は、把持部７４の背面７４１にそれぞれ開口している。該内部流路７６０の一端には、可撓性を有する樹脂チューブ７６１の一端が図示しないシール部材や継手等を介して接続されており、樹脂チューブ７６１は内部流路７６０に連通している。

各樹脂チューブ７６１はジョイント管７６５を介して合流して一体となり、その他端はＴ字パイプ７５２に備えられた第２の弁体７６３に接続されている。第２の連通経路７６は、上記内部流路７６０、樹脂チューブ７６１、第２の弁体７６３、及びＴ字パイプ７５２によって構成されるものである。なお、第２の連通経路７６に、第２の連通経路７６内を通る空気を加速させるオリフィス孔等が形成されていてもよい。第２の弁体７６３は、例えば、ソレノイド（電磁石）バルブであり、樹脂チューブ７６１がＴ字パイプ７５２に連通する状態（開状態）と連通していない状態（閉状態）とを切り換える機能を有している。そして、第２の弁体７６３には、第２の弁体７６３に通電を行い開閉を切り換える制御を行う制御部９が電気的に接続されている。なお、第２の弁体７６３は、ソレノイドバルブに限定されるものではなく、押しボタンが押されることで内部の弁が開くボタン式の開閉弁であってもよい。

（実施形態１のブレード脱着治具を用いたブレードのフランジへの装着）
以下に、本発明に係るブレード脱着方法において、図６に示すブレード脱着治具７を用いてブレード６０をフランジ６１に装着する際の各ステップについて説明する。

（１）位置づけステップ
図６における切削手段６は、フランジ６１がスピンドル６６に装着された状態になっている。また、ブレード脱着治具７の本体部７０がブレード６０の装着孔６００に通されており、ブレード６０は本体部７０の側面７０ｄ上を移動可能な状態でブレード脱着治具７によって保持されている。なお、ブレード脱着治具７の本体部７０の側面７０ｄとブレード６０の装着孔６００との間には僅かな隙間（遊び）が設けられた状態になっている。作業者が、ブレード脱着治具７の把持部７４を把持して、ブレード脱着治具７の先端部分７０ａがフランジ６１に対向するように位置づける。そして、フランジ６１のボス部６１０にブレード脱着治具７の凹部７００を嵌合させることで、本体部７０とブレード装着部６１１ａとが連結し本体部７０とフランジ６１とが同軸上に位置づけられた状態にする。本体部７０の先端部分７０ａとブレード装着部６１１ａとは同径であるため、本体部７０の先端部分７０ａとブレード装着部６１１ａとの連結箇所は起伏の無い平面状になる。

（２）装着空気噴出ステップ
次いで、空気源７９による第１の連通経路７５を介した第１の空気噴出口７１への空気の供給が、制御部９を介した制御の下で可能となる。即ち、制御部９から第１の弁体７５３に通電がなされて第１の弁体７５３が開いた状態になる。なお、第２の弁体７６３は閉じた状態となっている。そして、空気源７９を作動させて、高圧の圧縮空気をＴ字パイプ７５２に僅かな時間供給する。該圧縮空気は、Ｔ字パイプ７５２、第１の弁体７５３、樹脂チューブ７５１、及び内部流路７５０を通り、第１の空気噴出口７１から瞬間的に外部へ噴出する。
なお、第１の弁体７５３をボタン式の開閉弁としている場合には、制御部９を介した弁制御の代わりに、作業者がボタンを押して第１の弁体７５３を開いてもよい。

（３）移動ステップ
第１の空気噴出口７１から瞬間的に噴出した空気は、フランジ部６１１の環状の端面６１１ｂとブレード６０の＋Ｙ方向側の側面との間を放射方向に高速で流れて行き大気へ放出される。そのため、ベルヌーイ効果によるブレード６０を＋Ｙ方向側に引きつける負圧が生成され、この負圧によってブレード６０がブレード脱着治具７からブレード装着部６１１ａに移動し、ブレード６０がブレード装着部６１１ａに嵌合する。なお、図６においては、ブレード装着部６１１ａまで移動した後のブレード６０を二点鎖線で示している。

このように、本発明に係るブレード脱着方法は、本体部７０に保持されたブレード６０をフランジ６１に装着する際は、ボス部６１０にブレード脱着治具７の本体部７０の凹部７００を嵌合させ、本体部７０とブレード装着部６１１ａとを連結させて同軸上に位置づける位置づけステップと、第１の空気噴出口７１から瞬間的に空気を噴出させる装着空気噴出ステップと、ブレード６０とフランジ６１との間に発生した負圧でブレード６０をブレード装着部６１１ａに移動させる移動ステップと、を備えていることで、作業者がブレード６０に直接触れずに負圧によって非接触でブレード６０をフランジ６１に装着させることができる。

ブレード６０をブレード装着部６１１ａに移動させた後、作業者が把持部７４を把持して、ブレード脱着治具７をボス部６１０から−Ｙ方向側に向かって引き抜く。さらに、作業者が、図２に示す押さえ部６５をボス部６１０に挿入させてから、ブレード固定ナット６３をボス部６１０の雄ねじ６１０ｃに螺合させて締め付けることにより、図示しないモータによりスピンドル６６が回転駆動されることに伴ってブレード６０が高速で回転できる状態になる。

（実施形態１のブレード脱着治具を用いたブレードのフランジからの取り外し）
以下に、本発明に係るブレード脱着方法において、図７に示すブレード脱着治具７を用いてブレード６０をフランジ６１から取り外す際の各ステップについて説明する。

（１）位置づけステップ
図７における切削手段６は、図２に示す押さえ部６５とブレード固定ナット６３とが取り外され、ブレード装着部６１１ａにブレード６０が嵌合した状態になっている。まず、作業者が、ブレード脱着治具７の把持部７４を把持して、ブレード脱着治具７の先端部分７０ａがフランジ６１に対向するように位置づける。そして、フランジ６１のボス部６１０にブレード脱着治具７の本体部７０の凹部７００を嵌合させることで、本体部７０とブレード装着部６１１ａとが連結し本体部７０とフランジ６１とが同軸上（Ｙ軸上）に位置づけられた状態にする。

（２）取り外し空気噴出ステップ
次いで、空気源７９による第２の連通経路７６を介した第２の空気噴出口７２への空気の供給が、制御部９による制御の下で可能となる。即ち、制御部９から第２の弁体７６３に通電がなされて第２の弁体７６３が開いた状態になる。なお、第１の弁体７５３は閉じた状態となっている。そして、空気源７９を作動させて、高圧の圧縮空気をＴ字パイプ７５２に僅かな時間供給する。該圧縮空気は、Ｔ字パイプ７５２、第２の弁体７６３、樹脂チューブ７６１、及び内部流路７６０を通り、第２の空気噴出口７２から瞬間的に外部へ噴出する。
なお、第２の弁体７６３をボタン式の開閉弁としている場合には、制御部９を介した弁制御の代わりに、作業者がボタンを押して第２の弁体７６３を開いてもよい。

（３）移動ステップ
第２の空気噴出口７２から瞬間的に噴出した空気は、ブレード６０の−Ｙ方向側の側面と把持部７４の前面７４０との間を放射方向に高速で流れて行き大気へ放出される。そのため、ベルヌーイ効果によるブレード６０を−Ｙ方向側に引きつける負圧が生成され、この負圧によってブレード６０がブレード装着部６１１ａからブレード脱着治具７の本体部７０に移動し、ブレード６０がブレード装着部６１１ａから取り外される。なお、図７においては、本体部７０まで移動した後のブレード６０を二点鎖線で示している。

このように、本発明に係るブレード脱着方法は、ブレード装着部６１１ａに保持されフランジ６１に支持されたブレード６０を本体部７０に装着する際は、ボス部６１０にブレード脱着治具７の本体部７０の凹部７００を嵌合させ、本体部７０とブレード装着部６１１ａとを連結させて同軸上に位置づける位置づけステップと、第２の空気噴出口７２から瞬間的に空気を噴出させる取り外し空気噴出ステップと、ブレード６０と把持部７４との間に発生した負圧でブレード６０を本体部７０に移動させる移動ステップと、を備えていることで、作業者がブレード６０に直接触れずに、負圧によって非接触でフランジ６１からブレード６０を取り外すことができる。

本発明に係るブレード脱着治具７は、ブレード装着部６１１ａと同径の先端部分７０ａにボス部６１０に嵌合する凹部７００が形成された円柱状の本体部７０と、本体部７０に連結され本体部７０より大きな径を備える把持部７４と、本体部７０の先端部分７０ａに形成された複数の第１の空気噴出口７１と、本体部７０と把持部７４との接続部分に形成された複数の第２の空気噴出口７２と、第１の空気噴出口７１と空気源７９とを制御部９を介して連通させる第１の連通経路７５と、第２の空気噴出口７２と空気源７９とを制御部９を介して連通させる第２の連通経路７６と、を少なくとも備えているため、第１の空気噴出口７１から空気を噴出させることでベルヌーイの定理に基づく負圧を生じさせ、負圧によって非接触でフランジ６１にブレード６０を装着させる、又は第２の空気噴出口７２から空気を噴出させることでベルヌーイの定理に基づく負圧を生じさせ、該負圧によって非接触でフランジ６１からブレード６０を取り外すことができるようになるため、脱着作業時に作業者がブレード６０に直接触れなくても済むようになり、また、ブレード６０の一点に力が集中的にかかることなく脱着作業を行えるようになるため、ブレード６０の破損が発生してしまうことを防ぐことができる。
なお、本実施形態におけるブレード脱着治具７は、ハブレスブレードであるブレード６０の脱着作業に用いることができるように構成されているが、ハブブレードの脱着作業に使用できる構成となっていてもよい。

本体部７０は、図６に示すようにくびれ７０ｃが形成されているため、ブレード６０の脱着作業時にくびれ７０ｃとブレード６０との間に遊びが生まれた状態になる。そのため、例えば、フランジ６１に対するブレード６０の装着を行う場合に、ブレード６０が負圧によって本体部７０の側面７０ｄ上を移動する際に、ブレード６０の側面が移動方向（＋Ｙ方向）に対して斜めに傾いてしまうことでブレード６０が本体部７０に引っ掛かって動かなくなってしまう、といった事態が生じるのを防ぐことが可能となる。

制御部９による第１の連通経路７５の開閉制御及び第２の連通経路７６の開閉制御は、図８に示すような光センサ９７と併用することによって実現されるものであってもよい。光センサ９７は、図示しない配線によって制御部９に接続された透過型光センサであり、図１に示す切削手段６のブレード６０をカバーする図示しないブレードカバー等に配設されている。なお、光センサ９７は、例えば、ブレードの破損を検出するブレードの破損検出器としても動作し、測定光を投光する投光部９７１と、測定光を受光する受光部９７２とを備えている。図８に示すように、フランジ６１にブレード６０が装着されていない状態においては、投光部９７１から投光された測定光は、例えば−Ｙ方向に直進して受光部９７２に到達するようになっている。一方、図９に示すように、フランジ６１にブレード６０が装着されている状態においては、投光部９７１から投光された測定光の一部または全ては、ブレード６０によって遮られて受光部９７２に到達しないようになっている。

測定光のブレード６０による遮光の有無を感知する受光部９７２は、受光量に対応した検出信号を制御部９に出力する。制御部９には、例えば、予め受光量についての閾値、即ち、フランジ６１にブレード６０が装着しているか否かの判断するための閾値が設定されている。そして、制御部９は、受光部９７２から送られてくる受光量値と該閾値との比較に基づいて、受光量値が閾値よりも大きいときに第１の弁体７５３を開き第２の弁体７６３を閉じる制御と、受光量値が閾値よりも小さいときに第１の弁体７５３を閉じ第２の弁体７６３を開く制御とを選択的に行うことができる。

図８に示すように、フランジ６１にブレード６０が装着されていない状態においては、ブレード６０により測定光が遮られず受光部９７２の受光量は大きくなるため、制御部９によって第１の弁体７５３が開かれ第２の弁体７６３が閉じられた状態になり、空気源７９が供給する空気が第１の連通経路７５を通って第１の空気噴出口７１に到達可能な状態となる。例えば、先に説明したブレード６０をフランジ６１に装着する際の（１）位置づけステップ時に、このような制御が自動的に行われることで作業効率が向上する。
フランジ６１にブレード６０が装着されると、受光部９７２の受光量は減少するため、制御部９は該受光量の変化によってフランジ６１にブレード６０が装着されたと判断し、第１の弁体７５３を閉じる。このような受光量値の変化に基づく制御部９による制御が行われることによって、第１の空気噴出口７１に噴出させる空気の供給時間の制御も同時に可能となる。

図９に示すように、フランジ６１にブレード６０が装着されている状態においては、測定光がブレード６０により遮られ受光部９７２の受光量は非常に小さくなる為、制御部９によって第１の弁体７５３が閉じられ第２の弁体７６３が開かれた状態になり、空気源７９が供給する空気が第２の連通経路７６を通って第２の空気噴出口７２に到達可能な状態となる。例えば、先に説明したブレード６０をフランジ６１から取り外す際の（１）位置づけステップ時に、このような制御が自動的に行われることで作業効率が向上する。
フランジ６１からブレード６０が取り外されると、受光部９７２の受光量は増加するため、制御部９は該受光量の変化によってフランジ６１からブレード６０が取り外されたと判断し、第２の弁体７６３を閉じる。このような受光量値の変化に基づく制御部９による制御が行われることによって、第２の空気噴出口７２に噴出させる空気の供給時間の制御も同時に可能となる。

（ブレード脱着治具の実施形態２）
図１０に示すブレード脱着治具７Ａは、図４に示す実施形態１のブレード脱着治具７に、第２の空気噴出口７２から径方向外側に噴出される空気の進行方向に位置づけ可能な空気ガイド面７８１を少なくとも有する空気ガイド手段７８と、空気ガイド手段７８を支持する補助板７３と、空気ガイド手段７８を本体部７０の厚み方向（図１０におけるＺ軸方向）へ進退を可能とする弾性部材７７とを更に備えたものである。

エンプラ等からなる補助板７３は、例えば、把持部７４の直径よりも少しだけ大きな外径を備える円環板状に形成されており、把持部７４の背面７４１に固定ネジ７３９によって取り付けられている。なお、空気ガイド手段７８を備えるブレード脱着治具７Ａにおいては、把持部７４に取り付けられた補助板７３又は空気ガイド手段７８を把持することでブレード脱着治具７Ａを取り扱うことができる。補助板７３の中央の開口７３０には、把持部７４の背面７４１に接続されている各樹脂チューブ７５１、７６１が通されている。補助板７３には、周方向に等間隔（１２０°間隔）を空けて、３つの固定ネジ挿通孔が形成されている。固定ネジ７３９は、例えば、把持部７４の背面７４１に形成された図示しないネジ孔にその下部が螺合しており、固定ネジ７３９の長さ方向の中部からネジ頭にかけては、把持部７４の背面７４１から突出した状態になっており、該中部からネジ頭の間は補助板７３の固定ネジ挿通孔に遊嵌している。補助板７３と把持部７４との間には所定の隙間が形成されている。

弾性部材７７は、例えば、自然長より収縮して戻ろうとするコイルバネであり、補助板７３の下面と把持部７４の背面７４１との間の隙間に挟まれるようにして、周方向に等間隔（１２０°間隔）空けて３つ配設されている。なお、弾性部材７７は、コイルバネに限定されるものではなくゴム柱等であってもよい。図１０のように、補助板７３が把持部７４に向かって押圧されていない状態において弾性部材７７の長さは自然長になっている。

空気ガイド手段７８は、例えば、ポリアセタール（ＰＯＭ）等の合成樹脂を円筒状に形成したものであり、その内側面が空気ガイド面７８１となり、補助板７３にはめ込まれ接着剤等によって補助板７３に固定されている。図１０に示すように、補助板７３に固定されている空気ガイド手段７８は、補助板７３の外周部分から−Ｚ方向に向かってスカート状に所定長さだけ垂下した状態になっている。そして、補助板７３が把持部７４に向かって押圧されておらず弾性部材７７の長さが自然長となっている状態においては、空気ガイド手段７８の先端７８０（図１０における下端）は、本体部７０の第２の空気噴出口７２よりも＋Ｚ方向側に位置しており、空気ガイド手段７８は、本体部７０の側面７０ｄ及び第２の空気噴出口７２を囲繞していない状態となっている。
なお、空気ガイド手段７８の内径は、図１２に示すブレード６０の外径よりも大きく設定されている。

図１１に示すように、例えば、補助板７３には、ピストンシリンダー等の押圧手段７３Ａが接続されており、押圧手段７３Ａが補助板７３を把持部７４に向かって押圧することによって、弾性部材７７が自然長より収縮し、空気ガイド手段７８が本体部７０の厚み方向（−Ｚ方向）に向かって移動する。その結果、空気ガイド手段７８の先端７８０は、本体部７０の第２の空気噴出口７２よりも−Ｚ方向側に位置し、空気ガイド手段７８は、第２の空気噴出口７２及び本体部７０の側面７０ｄの一部を囲繞した状態となる。なお、押圧手段７３Ａの代わりに、作業者が補助板７３を押圧するものとしてもよい。

図１２に示す収容ケース２は、ブレード６０を収容する収容部２０と、収容部２０に収容されたブレード６０の脱落を防ぐ蓋部２１とを備え、使用前のブレード６０を収容することができるケースである。

収容部２０及び蓋部２１は、ポリプロピレン等の合成樹脂で透明（又は、半透明）に形成されている。また、収容部２０及び蓋部２１は、隣接する２個の角部を円弧状に切り欠いた半矩形状に形成されており、切り欠かれていない側の外周縁に設けられたヒンジ部２２によって互いに連結されている。

収容部２０は、底板２００と、底板２００の上面の外周縁から立設された側壁２０１とを有している。この側壁２０１より内側が、ブレード６０を収容する収容領域２０２となる。収容領域２０２の中央には、底板２００の上面から突出する円盤状の第一凸部２０３が設けられている。

第一凸部２０３の径は、収容されるブレード６０の装着孔６００の径よりも僅かに小さくなっており、図１２においては、ブレード６０の装着孔６００に第一凸部２０３が係合した状態になっている。即ち、第一凸部２０３にブレード６０の装着孔６００を係合させるように、ブレード６０を収容領域２０２に収容して底板２００上に載置することで、径方向におけるブレード６０の移動が規制された状態になっている。第一凸部２０３の厚みは、ブレード６０の厚みと同一又はブレード６０の厚みより少しだけ大きくなっている。

第一凸部２０３の中央には、第一凸部２０３から更に突出する円盤状の第二凸部２０４が設けられている。第二凸部２０４の径は、第一凸部２０３の径より小さくなっており、第二凸部２０４の中心は、第一凸部２０３の中心に略合致している。ヒンジ部２２の反対側に位置する側壁２０１の外側には、ロック手段として働く外向きの第１爪部２０５が形成されている。

蓋部２１は、天板２１０と、天板２１０の下面の外周縁に設けられた側壁２１１とを有している。収容部２０の側壁２０１の上端面には段差が一段設けられており、蓋部２１を閉じると、側壁２０１の上端面の一段低い方の面に天板２１０の側壁２１１の下端面が当接する。天板２１０の中央には、第二凸部２０４に対応する凹部２１２が形成されている。また、ヒンジ部２２の反対側に位置する側壁２１１の内側には、第１爪部２０５と共にロック手段として働く内向きの第２爪部２１３が形成されている。

このように構成された収容ケース２では、ヒンジ部２２を支点に蓋部２１を回動させて閉じることで、ブレード６０を収容する収容領域２０２を閉塞できる。ここで、第１爪部２０５と第２爪部２１３とを係合させれば、蓋部２１が閉じられた閉状態を維持できる。この状態においては、蓋部２１の凹部２１２に収容部２０の第二凸部２０４が嵌り、天板２１０の下面が第一凸部２０３に当接する。そのため、収容ケース２を動かしてもブレード６０の厚み方向におけるブレード６０の移動を規制でき、第一凸部２０３に係合しているブレード６０が第一凸部２０３から抜け落ちないようになっている。一方、蓋部２１を開けば、収容領域２０２は開放される。即ち、図１２に示すように、ブレードが片面を露出した状態で収容ケース２に収容された状態になる。

（実施形態２のブレード脱着治具を用いたブレード取り出し方法）
以下に、実施形態２のブレード脱着治具７Ａを用いたブレード取り出し方法の各ステップについて説明する。

（１）位置づけステップ
図１３に示すように、ブレード６０は片面を上方に向かって露出した状態で収容ケース２に収容された状態になっている。作業者がブレード脱着治具７Ａの補助板７３を把持して、ブレード脱着治具７Ａの先端部分７０ａをブレード６０の装着孔６００に対向させ、先端部分７０ａのＸ軸Ｙ軸平面における中心と装着孔６００の中心とが略合致するように、ブレード脱着治具７Ａを位置づける。さらに、ブレード脱着治具７Ａを収容ケース２に向かって近づけて、本体部７０とブレード６０の装着孔６００とを連結させて同軸上（Ｚ軸上）に位置づける。なお、ブレード脱着治具７Ａの空気ガイド手段７８の外径は、収容ケース２の収容部２０の直径よりも小さく形成されており、本体部７０がブレード６０の装着孔６００と連結され同軸上に位置づけられた状態において、空気ガイド手段７８の空気ガイド面７８１は、収容部２０の側壁２０１の内周面よりも内側に位置する。

（２）取り出し空気噴出ステップ
次いで、押圧手段７３Ａが作動して補助板７３を−Ｚ方向へと押圧する。その結果、自然長であった弾性部材７７が補助板７３の下面により押圧され収縮することで、補助板７３と補助板７３に固定されている円筒状の空気ガイド手段７８が−Ｚ方向へ移動していき、第２の空気噴出口７２と空気ガイド手段７８の内側面である空気ガイド面７８１とが水平方向において対向した状態になる。
さらに、制御部９から第２の弁体７６３に通電がなされて第２の弁体７６３が開き、また、第１の弁体７５３が閉じた状態となる。そして、空気源７９を作動させて、高圧の圧縮空気をＴ字パイプ７５２に供給する。該圧縮空気は、第２の連通経路７６を通り、第２の空気噴出口７２から外部へ噴出する。

（３）ガイドステップ
次いで、噴出された空気の方向が空気ガイド面７８１によってブレード６０に向かう方向へガイドされる。即ち、図１３に示すように、第２の空気噴出口７２から噴出した圧縮空気は、径方向外側に流れていき、空気の進行方向に位置づけられた空気ガイド面７８１に到達する。そして、空気ガイド面７８１に到達した該圧縮空気は、空気ガイド面７８１に概ね沿って下方に位置するブレード６０に向かって流れていき、その一部が空気ガイド手段７８の先端７８０と収容部２０の側壁２０１の上端との間を径方向外側に高速で流れて行き大気へ放出される。そのため、ベルヌーイ効果によるブレード６０を＋Ｚ方向側に引きつける負圧が生成される。

また、空気ガイド面７８１に沿ってブレード６０に向かって流れていく圧縮空気の一部が、収容部２０の側壁２０１の内周面に当たり、その後、収容部２０の側壁２０１の内周面及び底板２００の上面に沿って流れて径方向外側からブレード６０に向かっていく。

（４）移動ステップ
ブレード６０と把持部７４との間に発生したベルヌーイ効果に基づく負圧により第一凸部２０３に係合しているブレード６０が上昇しつつ、ブレード６０の上昇に伴って生まれるブレード６０の側面（図１３における−Ｚ方向側の面）と収容部２０の底板２００との間の隙間に、底板２００に沿って流れる空気が入り込む。そして、ブレード６０が、負圧によって本体部７０に引きつけられつつ、また、ブレード６０と底板２００との間に入り込んだ空気によって持ち上げられることで、ブレード６０が本体部７０に移動する。

例えば図１４に示すように、ブレード６０を本体部７０の後端７０ｂ付近まで移動させた後、空気源７９による第２の空気噴出口７２への空気の供給を継続された状態で、押圧手段７３Ａによる補助板７３の押圧が解除される。その結果、弾性部材７７が自然長へ戻ることで、空気ガイド手段７８の先端７８０が第２の空気噴出口７２よりも＋Ｚ方向側に位置し、空気ガイド手段７８が本体部７０の側面７０ｄ及び第２の空気噴出口７２を囲繞していない状態になる。これに伴って、ブレード６０がさらに＋Ｚ方向に移動して、ブレード６０の側面が把持部７４の前面７４０に当接し第２の空気噴出口７２上に重なった状態になる。そして、空気源７９による第２の空気噴出口７２への空気の供給が継続されることで、第２の空気噴出口７２から噴出する空気の圧力によって装着孔６００側からブレード６０が径方向外側に向かって押された状態になり、該空気の噴出圧力によりブレード６０が本体部７０上でバランスよく支持された状態になる。
なお、実施形態２のブレード脱着治具７Ａを用いたブレード脱着方法において、上記のように寝かせた状態の収容ケース２からブレード６０を上方に向かって取り出すのではなく、立てかけられた状態の収容ケース２から水平方向にブレード６０を取り出す場合等においては、ブレード６０を本体部７０の後端７０ｂ付近まで移動させた後に、空気源７９による第２の空気噴出口７２への空気の供給を停止させてもよい。

このように、空気ガイド手段７８を備えるブレード脱着治具７Ａを用いてブレード６０が片面を露出した状態で収容されている収容ケース２からブレード６０を取り出すブレード取り出し方法は、本体部７０とブレード６０の装着孔６００とを連結させて同軸上に位置づける位置づけステップと、第２の空気噴出口７２から径方向外側に空気を噴出させる取り出し空気噴出ステップと、噴出された空気の方向を空気ガイド手段７８の空気ガイド面７８１によってブレード６０に向かう方向へガイドさせるガイドステップとを実施することで、その後の移動ステップにおいて、ブレード６０と把持部７４との間に発生した負圧及び収容ケース２とブレード６０との間に入り込んだ空気によってブレード６０を本体部７０に非接触で移動させることが可能となる。

ブレード脱着治具７Ａは、図４に示す実施形態１のブレード脱着治具７の構成に加えて、第２の空気噴出口７２から径方向外側に噴出される空気の進行方向に位置づけ可能な空気ガイド面７８１を少なくとも有する空気ガイド手段７８を更に備えることで、ブレード６０が片面を露出した状態で収容されている収容ケース２から、非接触でブレード６０を取り出すことが可能となり、収容ケース２に収容されているブレード６０がフランジ６１へ装着されるまでに起き得るブレード６０の破損の発生をより防ぐことが可能となる。

次いで、図１５に示すように、収容ケース２から取り出されたブレード６０を保持している状態のブレード脱着治具７Ａを用いて、ブレード６０をフランジ６１に装着する際の各ステップについて説明する。

（１）位置づけステップ
作業者が、ブレード脱着治具７Ａの把持部７４を把持して、ブレード脱着治具７Ａの先端部分７０ａがフランジ６１に対向するように位置づける。そして、フランジ６１のボス部６１０にブレード脱着治具７Ａの凹部７００を嵌合させることで、本体部７０とブレード装着部６１１ａとが連結し本体部７０とフランジ６１とが同軸上に位置づけられた状態にする。

（１）装着空気噴出ステップ
次いで、制御部９から第１の弁体７５３に通電がなされて、第１の弁体７５３が開いた状態になる。なお、第２の弁体７６３は閉じた状態となっている。そして、空気源７９を作動させて、高圧の圧縮空気をＴ字パイプ７５２に僅かな時間供給する。該圧縮空気は、第１の連通経路７５を通り、第１の空気噴出口７１から瞬間的に外部へ噴出する。

（２）移動ステップ
第１の空気噴出口７１から瞬間的に噴出した空気は、フランジ部６１１の環状の端面６１１ｂとブレード６０の＋Ｙ方向側の側面との間を放射方向に高速で流れて行き大気へ放出される。そのため、ベルヌーイ効果によるブレード６０を＋Ｙ方向側に引きつける負圧が生成され、この負圧によってブレード６０がブレード脱着治具７Ａからブレード装着部６１１ａに移動し、ブレード６０がブレード装着部６１１ａに嵌合する。

ブレード６０をブレード装着部６１１ａに移動させた後、作業者が把持部７４を把持して、ブレード脱着治具７Ａをボス部６１０から−Ｙ方向側に向かって引き抜く。さらに、作業者が、図２に示す押さえ部６５をボス部６１０に挿入させてから、ブレード固定ナット６３をボス部６１０の雄ねじ６１０ｃに螺合させて締め付けることにより、図示しないモータによりスピンドル６６が回転駆動されることに伴ってブレード６０が高速で回転できる状態になる。

次いで、図１６に示すように、ブレード脱着治具７Ａを用いてブレード６０をフランジ６１から取り外す際の各ステップについて説明する。

（１）位置づけステップ
図１６において、切削手段６は、図２に示す押さえ部６５とブレード固定ナット６３とが取り外され、ブレード装着部６１１ａにブレード６０が嵌合した状態になっている。作業者が、ブレード脱着治具７Ａの把持部７４を把持して、ブレード脱着治具７Ａの先端部分７０ａがフランジ６１に対向するように位置づける。そして、フランジ６１のボス部６１０にブレード脱着治具７Ａの本体部７０の凹部７００を嵌合させることで、本体部７０とブレード装着部６１１ａとが連結し本体部７０とフランジ６１とが同軸上（Ｙ軸上）に位置づけられた状態にする。

（２）取り外し空気噴出ステップ
次いで、制御部９から第２の弁体７６３に通電がなされて第２の弁体７６３が開いた状態になる。なお、第１の弁体７５３は閉じた状態となっている。そして、空気源７９を作動させて、高圧の圧縮空気をＴ字パイプ７５２に僅かな時間供給する。該圧縮空気は、第２の連通経路７６を通り、第２の空気噴出口７２から瞬間的に外部へ噴出する。

（３）移動ステップ
第２の空気噴出口７２から瞬間的に噴出した空気は、ブレード６０の−Ｙ方向側の側面と把持部７４の前面７４０との間を放射方向に高速で流れて行き大気へ放出される。そのため、ベルヌーイ効果によるブレード６０を−Ｙ方向側に引きつける負圧が生成され、この負圧によってブレード６０がブレード装着部６１１ａからブレード脱着治具７Ａの本体部７０に移動し、ブレード６０がブレード装着部６１１ａから取り外される。

以上のように、ブレード脱着治具７Ａを用いることで、収容ケース２からブレード６０を非接触で取り出して、ブレード６０をフランジ６１に非接触で装着し、さらに、ブレード６０をフランジ６１から非接触で取り外すことができる。

先に説明した図１に示す切削装置１は、図２に示すフランジ６１にブレード６０を自動的に着脱するオートブレードチェンジャー機構８を更に備えており、オートブレードチェンジャー機構８は、例えば、切削領域Ｅ２内の切削手段６の近傍に配設されている。オートブレードチェンジャー機構８は、使用前のブレード６０と使用後のブレード６０とをそれぞれ収納するブレードラック８０と、ブレード交換手段８１とを備えている。

ブレードラック８０は、＋Ｘ方向側から見た際に断面がへ字型となる仕切り壁１８０の上部にブラケット１８１を介して取り付けられ、縦断面がＬ字状となる枠体８００と、この枠体８００の支柱８００ａに着脱可能な可動体８０１とから構成されている。図１７に示す可動体８０１は、枠体８００に取り付けられた状態になっているが、可動体８０１を上側に持ち上げることで、枠体８００の支柱８００ａが可動体８０１から抜けるため、可動体８０１を枠体８００から取り外すことができる。

可動体８０１の前面には使用前のブレード６０を保持する第１の保持軸８０１ａと、使用後のブレード６０（図１７においては不図示）を保持する第２の保持軸８０１ｂとが並設され、これらの先端部にはブレード６０の脱落を防止するためのストッパー８０１ｃ、ストッパー８０１ｄがそれぞれ設けられている。ブレードラック８０に保持する使用前のブレード６０の枚数は１枚でも良いが、２枚以上保持出来るようにしても良い。

例えば、第１の保持軸８０１ａのストッパー８０１ｃは、図示しないバネの付勢力によってＸ軸方向において開閉可能な可動爪８０１ｅを備えており、この可動爪８０１ｅは枠体８００内に設けられた図示しない可動手段によって開閉される。ストッパー８０１ｃは、第１の保持軸８０１ａからブレード６０が取り外される際においては、可動爪８０１ｅが開いた状態から径方向内側に縮まって閉じた状態になる。
例えば、第２の保持軸８０１ｂのストッパー８０１ｄは固定ストッパーであって、図２に示すブレード６０の装着孔６００の直径よりや小さめの径のフランジ状に形成され、この第２の保持軸８０１ｂに遊嵌されたブレード６０の脱落を防止する。

ブレード交換手段８１は、図１に示すように仕切り壁１８２の前側に配設され、ブレードラック８０とＹ軸方向において対向している。ブレード交換手段８１は、ブレードラック８０と切削手段６のスピンドル６６との間をＹ軸方向の軸心周りに旋回移動するアーム８１０と、アーム８１０を旋回させるパルスモーター等の駆動源８１３とを備えている。そして、アーム８１０の端部（図１における上部）には、図４に示すブレード脱着治具７と、押さえ部６５の着脱手段８１１とが配設されている。
なお、ブレード脱着治具７と押さえ部６５の着脱手段８１１とは、本実施形態のように一つのアーム８１０の端部に並列して配設されている形態に限定されるものではなく、２つ以上のアームの単部に別々に配設されていてもよい。
また、本実施形態におけるブレードラック８０は、第１の保持軸８０１ａに使用前のブレード６０を直接掛けて保持し、また、第２の保持軸８０１ｂに使用後のブレード６０を直接掛けて保持する構成となっているが、このような構成に限定されるものではなく、例えば、ブレード６０を片面を露出した状態で収容した図１２に示す収容ケース２とブレード６０が収容可能な空の収容ケース２とが可動体８０１の前面に取り付けられており、収容ケース２から使用前のブレード６０を取り外せる、又は、空の収容ケース２に使用後のブレード６０を収容できる構成となっていてもよい。この場合には、アーム８１０の単部に、図１０に示す実施形態２のブレード脱着治具７Ａを配設するものとしてもよい。

図１に示す仕切り壁１８２には、図１において仮想線（二点鎖線）で示す開閉カバー１８３がエアーシリンダー等で自動的にスライド可能に設けられ、この開閉カバー１８３を開くと切削領域Ｅ２が開放されてブレード６０の交換が可能となり、閉じると切削領域Ｅ２が覆われてダイシング時に切削水等の飛散を防止する。

ブレード脱着治具７は、アーム８１０に取り付けられたピストンシリンダー８１４によりＹ軸方向に進退可能となっている。

押さえ部６５の着脱手段８１１は、例えば、図２に示すブレード固定ナット６３のスピンドル６６からの取り外し及びスピンドル６６への取り付け、並びにフランジ固定ボルト６４のボス部６１０からの取り外し及びボス部６１０への取り付けを可能とする機構を備えていると共に、押さえ部６５のボス部６１０への挿入及びボス部６１０からの取り外しを可能とする機構を備えている。

以下に、オートブレードチェンジャー機構８による使用後のブレード６０の交換作業について説明する。例えば、図１に示す切削手段６のブレード６０は、ウエーハを複数枚切削したことで交換が必要な状態になっている。まず、アーム８１０が矢印Ｒ１方向に旋回して着脱手段８１１がスピンドル６６に相対するように位置づけられる。着脱手段８１１によって、図２に示すブレード固定ナット６３、フランジ固定ボルト６４、及び押さえ部６５が切削手段６から取り外された後、アーム８１０がさらに矢印Ｒ１方向に旋回してブレード脱着治具７が、図２に示すフランジ６１に装着されている使用後のブレード６０に相対するように位置づけられる。

次いで、上述したブレード脱着方法におけるブレード６０のフランジ６１からの取り外しの際の、（１）位置づけステップ〜（３）移動ステップまでが実施されて、ブレード６０がフランジ６１から取り外されてブレード脱着治具７がブレード６０を保持した状態になる。なお、ピストンシリンダー８１４は、（１）位置づけステップにおける本体部７０の切削手段６のボス部６１０への嵌合（＋Ｙ方向への本体部７０の移動）及びブレード脱着治具７の切削手段６のボス部６１０からの引き抜き（−Ｙ方向への本体部７０の移動）を制御する。

アーム８１０が今度は矢印Ｒ１方向と逆の矢印Ｒ２方向に旋回して、ブレード脱着治具７がブレードラック８０の第２の保持軸８０１ｂに相対するように位置づけられる。その後、ブレード脱着治具７から第２の保持軸８０１ｂへ使用後のブレード６０が移動される。

このように、本発明に係る切削装置１は、オートブレードチェンジャー機構８を備え、使用前のブレード６０と使用後のブレード６０とをそれぞれ収納するブレードラック８０と、ブレードラック８０とスピンドル６６との間を旋回移動するアーム８１０と、を少なくとも含み、アーム８１０の端部には、ブレード脱着治具７と、押さえ部６５の着脱手段８１１とが配設されているため、例えば、ブレード６０のフランジ６１からの取り外し時に作業者がブレード６０に直接触れなくても済むようになり、また、ブレード６０の一点に力が集中的にかかることなく取り外し作業を自動的に行えるようになるため、ブレード６０の破損発生を防ぐことができ、かつ、ブレード６０の取り外し作業を効率よく行うことが可能となる。

本発明に係るブレード脱着治具、ブレード脱着方法、及び切削装置は上記記載の例に限定されるものではなく、また、添付図面に図示されているブレード脱着治具７、７Ａ及び切削装置１の構成等についても、これに限定されず、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。

例えば、実施形態２のブレード脱着治具７Ａに備える空気ガイド手段は、把持部７４と略同径の所定の厚みを備える図１８に示す円板状の空気ガイド手段７８Ａであってもいい。空気ガイド手段７８Ａは、例えば、その中央に図１３に示す本体部７０よりも僅かに大きな径の挿通孔７８５が形成されており、挿通孔７８５からは径方向外側に向かって３方向に均等な角度（例えば１２０度）で放射状に３本の流路７８６が延びている。各流路７８６の先端は空気ガイド手段７８Ａの外周縁に至る手前で止まっている。このような円板状の空気ガイド手段７８Ａは、図１３に示す本体部７０が挿通孔７８５に挿通され、空気ガイド手段７８Ａの側面７８７が把持部７４の前面７４０に当接し、本体部７０の第２の空気噴出口７２がそれぞれ流路７８６に相対するように位置づけられた状態で本体部７０に取り付けられる。

収容ケース２からブレード６０を取り出すブレード取り出しステップのガイド工程において、第２の空気噴出口７２から径方向外側に向かって噴出する空気は、空気ガイド手段７８Ａの流路７８６内を流通して、空気の進行方向に位置づけられた空気ガイド面７８８に到達する。そして、空気ガイド面７８８に到達した空気は、空気ガイド面７８８に沿ってブレード６０に向かう方向へガイドされる。

１：切削装置 Ｅ１：着脱領域 Ｅ２：切削領域 １０：昇降機構 １１：ウエーハカセット １２：搬出入手段 １３：仮置き領域 １４：位置合わせ手段 １５ａ：第一の搬送手段 １５ｂ：第二の搬送手段 １６：洗浄手段
１７：アライメント手段 １７０：撮像手段 １９：入力手段
３０：チャックテーブル ３０ａ：保持面 ３１：カバー ３１ａ：蛇腹カバー
６：切削手段
６０：ブレード ６００：装着孔 ６０１：切り刃
６６：スピンドル ６６ａ：ネジ穴 ６２：スピンドルハウジング
６１：フランジ ６１０：ボス部 ６１０ｃ：雄ねじ
６１１：フランジ部 ６１１ａ：ブレード装着部 ６１１ｂ：環状の端面 ６１２：嵌合孔
６５：押さえ部 ６５０：中央孔 ６４：フランジ固定ボルト ６４ａ：平座金
６３：ブレード固定ナット
７：ブレード脱着治具 ７０：本体部 ７０ａ：本体部の先端部分 ７０ｂ：本体部の後端 ７０ｄ：本体部の側面 ７００：凹部
７１：第１の空気噴出口 ７２：第２の空気噴出口
７５：第１の連通経路 ７５０：内部流路 ７５１：樹脂チューブ ７５２：Ｔ字パイプ ７５３：第１の弁体 ７５５：ジョイント管
７６：第２の連通経路 ７６０：内部流路 ７６１：樹脂チューブ ７６３：第２の弁体 ７６５：ジョイント管
７９：空気源 ７４：把持部 ７４０：把持部の前面 ７４１：把持部の背面
９：制御部
９７：光センサ ９７１：投光部 ９７２：受光部
７Ａ：ブレード脱着治具
７３：補助板 ７３０：補助板の開口 ７３９：固定ネジ ７３Ａ：押圧手段
７７：弾性部材
７８：空気ガイド手段 ７８０：空気ガイド手段の先端 ７８１：空気ガイド面
２：収容ケース ２０：収容部 ２００：底板 ２０１：側壁 ２０２：収容領域 ２０３：第一凸部 ２０４：第二凸部 ２０５：第１爪部
２１：蓋部 ２１０：天板 ２１１：側壁 ２１２：凹部 ２１３：第２爪部
２２：ヒンジ部
１８０：仕切壁 １８１：ブラケット １８２：仕切壁 １８３：開閉カバー
８：オートブレードチェンジャー機構 ８０：ブレードラック ８００：枠体 ８０１：可動体 ８０１ａ：第１の保持軸 ８０１ｂ：第２の保持軸
８１：ブレード交換手段 ８１０：アーム ８１１：着脱手段 ８１３：駆動源 ８１４：ピストンシリンダー
７８Ａ：空気ガイド手段 ７８６：挿通孔 ７８６：流路 ７８８：空気ガイド面

Claims (6)

1. ボス部と、ブレードが嵌合し装着されるブレード装着部と、ブレードが支持される環状の端面とを有しスピンドルの先端に固定されるフランジと、該フランジと共に該ブレードを挟持して固定する押さえ部と、を少なくとも備えた切削装置の該フランジに該ブレードを脱着するためのブレード脱着治具であって、
   該ブレード装着部と同径の先端部分に該ボス部に嵌合する凹部が形成された円柱状の本体部と、
   該本体部に連結され該本体部より大きな径を備える把持部と、
   該本体部の先端部分に形成された複数の第１の空気噴出口と、
   該本体部と該把持部との接続部分に形成された複数の第２の空気噴出口と、
   該第１の空気噴出口と空気源とを制御部を介して連通させる第１の連通経路と、
   該第２の空気噴出口と該空気源とを該制御部を介して連通させる第２の連通経路と、
   を少なくとも備えたブレード脱着治具。
2. 前記第２の空気噴出口から径方向外側に噴出される空気の進行方向に位置づけ可能な空気ガイド面を少なくとも有する空気ガイド手段を、更に備える事を特徴とする請求項１に記載のブレード脱着治具。
3. 請求項１又は請求項２に記載のブレード脱着治具を使用したブレード脱着方法であって、
   前記ブレード脱着治具の本体部に保持されたブレードを前記フランジに装着する際は、前記ボス部に前記凹部を嵌合させ、該本体部と前記ブレード装着部とを連結させて同軸上に位置づける位置づけステップと、
   前記第１の空気噴出口から瞬間的に空気を噴出させる装着空気噴出ステップと、
   該ブレードと該フランジとの間に発生した負圧で該ブレードを該ブレード装着部に移動させる移動ステップと、を備えるブレード脱着方法。
4. 請求項１又は請求項２に記載のブレード脱着治具を使用したブレード脱着方法であって、
   前記フランジに支持されたブレードを前記本体部に装着する際は、
   前記ボス部に前記凹部を嵌合させ、該本体部と前記ブレード装着部とを連結させて同軸上に位置づける位置づけステップと、
   前記第２の空気噴出口から瞬間的に空気を噴出させる取り外し空気噴出ステップと、
   該ブレードと前記把持部との間に発生した負圧で該ブレードを該本体部に移動させる移動ステップと、を備えるブレード脱着方法。
5. 請求項２に記載のブレード脱着治具を用いて前記ブレードが片面を露出した状態で収容されている収容ケースから該ブレードを取り出すブレード取り出し方法であって、
   前記本体部と該ブレードの装着孔とを連結させて同軸上に位置づける位置づけステップと、
   前記第２の空気噴出口から径方向外側に空気を噴出させる取り出し空気噴出ステップと、
   噴出された空気の方向を前記空気ガイド面によって該ブレードに向かう方向へガイドさせるガイドステップと、
   該ブレードと前記把持部との間に発生した負圧及び該収容ケースと該ブレードとの間に入り込んだ空気によって該ブレードを該本体部に移動させる移動ステップとを備えることを特徴とするブレード取り出し方法。
6. ボス部と、ブレードが嵌合し装着されるブレード装着部と、ブレードが支持される環状
   の端面とを有しスピンドルの先端に固定されるフランジと、該フランジと共に該ブレードを挟持して固定する押さえ部と、該フランジにブレードを自動的に着脱するオートブレードチェンジャー機構とを備えた切削装置であって、該オートブレードチェンジャー機構は、使用前のブレードと使用後のブレードとをそれぞれ収納するブレードラックと、該ブレードラックと該スピンドルとの間を旋回移動するアームと、を少なくとも含み、
   該アームの端部には、請求項１又は請求項２に記載のブレード脱着治具と、該押さえ部の着脱手段とが配設されていることを特徴とする切削装置。

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