JP7229093B2 - ブレード脱着補助装置 - Google Patents

Description

本発明は、スピンドルにブレードを固定するナットの脱着を補助するブレード脱着補助装置に関する。

スピンドルにマウントフランジを介して固定したブレードで、半導体ウェーハやＳｉＣなどの各種板状の被加工物を切削する切削装置（ダイサー）が知られている。ブレードは、スピンドルの回転が規制された状態で、マウントフランジにナットによって固定されているので、ナットを脱着することでスピンドルに脱着される。ナットを脱着する際の治具（例えば、特許文献１参照）や、ブレードの自動交換機構（例えば、特許文献２参照）が用いられてきた。

特許文献１等に示された治具は、まず、ナット把持部（把持爪）を対向するナットの径方向に開くために、ハウジング部を退避させ、その後、ナットをナット把持爪の内側に収容後、ハウジング部をスピンドルに向けて前進してナット把持爪を内部に収容して把持状態を固定する。その後、治具は、軸心回りに回転させることでナットを緩めたり、締めたりするが、ハウジングの進退動作が必要だった。

また、特許文献２に示された切削装置のブレードを自動で交換させる自動交換機構でも、特許文献１に示された治具と同様の機構を搭載している。

特開２００４－２８１７００号公報 特開２００７－０９８５３６号公報

特許文献１に示された治具及び特許文献２に示された自動交換機構は、ナット把持爪を開閉させるためのハウジング部を進退させるためにシリンダが必要であった。このために、特許文献１に示された治具及び特許文献２に示された自動交換機構は、機構の複雑化、高コスト化を招く原因となっていた。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、低コスト化を図りながらもナットを自動で脱着することを可能とするブレード脱着補助装置を提供することである。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のブレード脱着補助装置は、スピンドルに装着されるブレードと、該ブレードを前記スピンドルに固定するためのナットと、該スピンドルの回転を規制する回転停止部と、を含む切削装置に使用するブレード脱着補助装置であって、該ナットの表面の被係合部に係合する係合部を備えるナット回転部と、該ナット回転部に配置され、該ナットの外周部を把持するナット把持部と、該ナット回転部を所定角度回転可能に支持しつつ囲繞するハウジング部と、該ナット把持部が該ナットの外周部に係合した状態を維持するロック機構と、を備え、該ナット回転部は、該ナット把持部が該ナットの外周部に脱着可能な突出位置と、該ナット把持部が該ハウジング部に収容され該ナット把持部と該ナットとの係合が維持される固定位置とに、該ハウジング部に対し進退可能に配置され、該ナット回転部を該突出位置に押し出す付勢部を介して該ハウジング部に固定され、該ロック機構は、該ナット回転部が押し込まれ該固定位置で、該ナットが緩む方向へ該ハウジング部を回転させると、該ハウジング部が該ナット回転部に対し回転し所定の向きに位置付けられると、該ナット回転部と該ハウジング部が係合し、該ナット回転部の進退が規制される突出規制部と、を備えることを特徴とする。

前記ブレード脱着補助装置において、該ナット回転部は、該ハウジング部に遊嵌し、回転軸部または該ハウジング部に弾性部材で傾き自在に支持されても良い。

前記ブレード脱着補助装置において、該ナットの表面の被係合部は係合穴であり、該ナット回転部の係合部は係合ピンであり、係合する方向に進退可能に配置されても良い。

前記ブレード脱着補助装置において、該ブレード脱着補助装置は、該スピンドルに固定したブレードを保持するブレード保持部と共に、該切削装置の該スピンドルに対して進退する進退ユニットに固定されても良い。

本発明は、低コスト化を図りながらもナットを自動で脱着することを可能とするという効果を奏する。

図１は、実施形態１に係るブレード脱着補助装置の構成を示す斜視図である。 図２は、図１に示されたブレード脱着補助装置を備える切削装置の構成例を示す斜視図である。 図３は、図２に示された切削装置の切削ユニットの一部を分解して示す斜視図である。 図４は、図２に示された切削装置のブレード脱着機構の構成例を示す斜視図である。 図５は、図１中のＶ－Ｖ線に沿う断面図である。 図６は、図１中のＶＩ－ＶＩ線に沿う断面図である。 図７は、実施形態１に係るブレード脱着補助装置を切削ユニットのスピンドルとＹ軸方向に対向させた状態を示す側面図である。 図８は、図７に示されたブレード脱着補助装置の側断面図である。 図９は、図７に示されたブレード脱着補助装置のナット把持部の把持部材の把持部材がナットの環状溝に係合した状態を示す側面図である。 図１０は、図９に示されたブレード脱着補助装置及び切削ユニットの側断面図である。 図１１は、図９に示されたブレード脱着補助装置の回転軸部及びハウジング部を一方向に回転した状態を示す側面図である。 図１２は、図１１に示されたブレード脱着補助装置及び切削ユニットの側断面図である。 図１３は、図１１に示されたブレード脱着補助装置によりナットをスピンドルから取り外した状態を示す側面図である。 図１４は、図１３に示されたブレード脱着補助装置を切削ユニットのスピンドルから離した状態を示す側面図である。 図１５は、図１４に示されたブレード脱着補助装置の側断面図である。 図１６は、実施形態１に係るブレード脱着補助装置を切削ユニットのスピンドルとＹ軸方向に対向させた後、切削ユニットをナットを把持したブレード脱着補助装置に近付けた状態を示す側面図である。 図１７は、図１６に示されたブレード脱着補助装置及び切削ユニットの側断面図である。 図１８は、図１６に示されたブレード脱着補助装置の回転軸部及びハウジング部を他方向に回転してナットがブレードに当接した状態を示す側面図である。 図１９は、図１８に示されたブレード脱着補助装置の回転軸部及びハウジング部を更に他方向に回転した状態を示す側面図である。 図２０は、図１８に示されたブレード脱着補助装置のナット把持部の把持部材の把持部材のナットの環状溝の係合が解除された状態を示す側面図である。 図２１は、実施形態１の変形例に係るブレード脱着補助装置の断面図である。

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係るブレード脱着補助装置を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係るブレード脱着補助装置の構成を示す斜視図である。図２は、図１に示されたブレード脱着補助装置を備える切削装置の構成例を示す斜視図である。図３は、図２に示された切削装置の切削ユニットの一部を分解して示す斜視図である。図４は、図２に示された切削装置のブレード脱着機構の構成例を示す斜視図である。図５は、図１中のＶ－Ｖ線に沿う断面図である。図６は、図１中のＶＩ－ＶＩ線に沿う断面図である。

（切削装置）
図１に示す実施形態１に係るブレード脱着補助装置１は、図２に示す切削装置１００を構成する。切削装置１００は、図１に示す被加工物２００を切削（加工）する装置である。実施形態１では、被加工物２００は、シリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハ等のウエーハである。被加工物２００は、表面２０１に格子状に形成された複数の分割予定ライン２０２によって格子状に区画された領域にデバイス２０３が形成されている。

また、本発明の被加工物２００は、中央部が薄化され、外周部に厚肉部が形成された所謂ＴＡＩＫＯ（登録商標）ウエーハでもよく、ウエーハの他に、樹脂により封止されたデバイスを複数有した矩形状のパッケージ基板、セラミックス基板、フェライト基板、又はニッケル及び鉄の少なくとも一方を含む基板等でも良い。実施形態１において、被加工物２００は、裏面２０４が外周縁に環状フレーム２０５が装着された粘着テープ２０６に貼着されて、環状フレーム２０５に支持されている。

図１に示された切削装置１００は、被加工物２００をチャックテーブル１１０で保持し分割予定ライン２０２に沿ってブレード１２１で切削（加工に相当）する装置である。切削装置１００は、図２に示すように、被加工物２００を保持面１１１で吸引保持するチャックテーブル１１０と、チャックテーブル１１０が保持する被加工物２００をブレード１２１で切削する切削ユニット１２０と、チャックテーブル１１０に保持された被加工物２００を撮影する撮像ユニット１４０と、制御ユニット１９０と、ブレード脱着機構１８０とを備える。

また、切削装置１００は、図１に示すように、チャックテーブル１１０を水平方向と平行なＸ軸方向に加工送りする図示しないＸ軸移動ユニットと、切削ユニット１２０を水平方向と平行でかつＸ軸方向に直交するＹ軸方向に割り出し送りするＹ軸移動ユニット１５０と、切削ユニット１２０をＸ軸方向とＹ軸方向との双方と直交する鉛直方向に平行なＺ軸方向に切り込み送りするＺ軸移動ユニット１６０とを少なくとも備える。切削装置１００は、図１に示すように、切削ユニット１２０を２つ備えた、即ち、２スピンドルのダイサ、いわゆるフェイシングデュアルタイプの切削装置である。

チャックテーブル１１０は、円盤形状であり、被加工物２００を保持する保持面１１１がポーラスセラミック等から形成されている。また、チャックテーブル１１０は、Ｘ軸移動ユニットにより切削ユニット１２０の下方の加工領域と、切削ユニット１２０の下方から離間して被加工物２００が搬入出される搬入出領域とに亘ってＸ軸方向に移動自在に設けられ、かつ回転駆動源によりＺ軸方向と平行な軸心回りに回転自在に設けられている。

チャックテーブル１１０は、図示しない真空吸引源と接続され、真空吸引源により吸引されることで、保持面１１１に載置された被加工物２００を吸引、保持する。実施形態１では、チャックテーブル１１０は、粘着テープ２０６を介して被加工物２００の裏面２０４側を吸引、保持する。また、チャックテーブル１１０の周囲には、図１に示すように、環状フレーム２０５をクランプするクランプ部１１２が複数設けられている。

切削ユニット１２０は、チャックテーブル１１０に保持された被加工物２００を切削するブレード１２１を脱着自在に装着した切削手段である。切削ユニット１２０は、それぞれ、チャックテーブル１１０に保持された被加工物２００に対して、Ｙ軸移動ユニット１５０によりＹ軸方向に移動自在に設けられ、かつ、Ｚ軸移動ユニット１６０によりＺ軸方向に移動自在に設けられている。

一方の切削ユニット１２０は、図２に示すように、Ｙ軸移動ユニット１５０、Ｚ軸移動ユニット１６０などを介して、装置本体１０１から立設した門型の支持フレーム１０２の一方の柱部１０３に設けられている。他方の切削ユニット１２０は、図１に示すように、Ｙ軸移動ユニット１５０、Ｚ軸移動ユニット１６０などを介して、支持フレーム１０２の他方の柱部１０４に設けられている。なお、支持フレーム１０２は、柱部１０３，１０４の上端同士を水平梁１０５により連結している。

切削ユニット１２０は、Ｙ軸移動ユニット１５０及びＺ軸移動ユニット１６０により、チャックテーブル１１０の保持面１１１の任意の位置にブレード１２１を位置付け可能となっている。

切削ユニット１２０は、図３に示すように、Ｙ軸移動ユニット１５０及びＺ軸移動ユニット１６０によりＹ軸方向及びＺ軸方向に移動自在に設けられたスピンドルハウジング１２２と、スピンドルハウジング１２２に軸心回りに回転自在に設けられかつ図示しないモータにより回転されるスピンドル１２３と、スピンドル１２３の先端部に装着されたマウント１２４とを備える。また、切削ユニット１２０は、マウント１２４に装着されるブレード１２１と、ブレード１２１をマウント１２４との間で挟んでスピンドル１２３に固定するためのナット１２６と、スピンドル１２３の回転を規制する回転停止部１２７と、を備える。

マウント１２４は、スピンドル１２３の先端部に固定される。マウント１２４は、円筒状のボス部１２８と、ボス部１２８のスピンドルハウジング１２２寄りの一端部に設けられた受けフランジ部１２９とを備えている。ボス部１２８は、マウント１２４の軸心方向に沿って延在し、外径が全長に亘ってブレード１２１の挿入口１３１の内径と略等しく形成されている。なお、ボス部１２８の外径がブレード１２１の挿入口１３１の内径と略等しいとは、少なくともブレード１２１がマウント１２４に固定される軸心方向での位置で、ボス部１２８の外周面と挿入口１３１の内周面とが互いに接触することを示している。

受けフランジ部１２９は、ボス部１２８のスピンドルハウジング１２２寄りの一端部から径方向に沿って外周方向に突出してボス部１２８の外径よりの大径な円環状に形成されている。受けフランジ部１２９は、ブレード１２１を外縁部で支持する。ボス部１２８と受けフランジ部１２９とは、同軸に配置されている。また、マウント１２４は、ボス部１２８の他端部の外周に雄ネジ１３０が形成されている。

ブレード１２１は、略リング形状を有する極薄の切削砥石である。実施形態１において、ブレード１２１は、いわゆるハブブレードであり、導電性の金属で構成されかつ中央に挿入口１３１を有する円環状の円形基台１３２と、円形基台１３２の外周縁に配設される被加工物２００を切削する円環状の切刃部１３３を備える。円形基台１３２の挿入口１３１は、ボス部１２８の一端部を内側に通して、マウント１２４にブレード１２１を装着するための孔である。切刃部１３３は、ダイヤモンドやＣＢＮ（Cubic Boron Nitride）等の砥粒と、金属や樹脂等のボンド材（結合材）とからなり所定厚みに形成されている。なお、本発明では、ブレード１２１は、切刃部１３３のみで構成されたワッシャーブレードでもよい。

このように構成されたブレード１２１は、円形基台１３２の挿入口１３１がマウント１２４の円筒状のボス部１２８の外周に嵌合される。ブレード１２１は、ナット１２６を円筒状のボス部１２８に形成された雄ネジ１３０に螺合することにより、マウント１２４の受けフランジ部２４３とナット１２６とによって挟持固定される。切削ユニット１２０のスピンドル１２３、マウント１２４及びブレード１２１の中心である軸心は、Ｙ軸方向と平行に設定されている。

ナット１２６は、円環状に形成され、内周面にマウント１２４に形成された雄ネジ１３０に螺合する図示しない雌ネジが形成されている。ナット１２６は、表面１３４に４個の被係合部である係合穴１３５を周方向に等間隔に設け、外周面に全周に亘って外周部である環状溝１３６を設けている。係合穴１３５は、ナット１２６の端面（表面）から凹に形成され、環状溝１３６は、ナット１２６の外周面から凹に形成されている。なお、実施形態では、被係合部は、ナット１２６の表面１３４から凹の係合穴１３５であるが、本発明では、係合穴１３５に限定されない。

回転停止部１２７は、スピンドルハウジング１２２の外表面に取り付けられたシリンダユニット１３７と、シリンダユニット１３７内にスピンドル１２３の軸心に直交する方向に移動自在に設けられた図示しないロック部材と、ロック部材をスピンドル１２３から離れる方向に付勢する図示しない付勢手段であるばねと、シリンダユニット１３７内に加圧された気体を供給するためのエアー供給ノズル１３８とを備える。ロック部材は、スピンドルハウジング１２２の内周面から突出してスピンドル１２３の外周面に設けられた図示しないロック穴に係合可能である。

回転停止部１２７は、エアー供給ノズル１３８を通して加圧された気体がシリンダユニット１３７内に供給されると、加圧された気体がばねの付勢力に抗してロック部材をスピンドル１２３に向けて押圧して、ロック部材をロック穴に係合させて、スピンドル１２３の軸心回りに回転を規制する。回転停止部１２７は、エアー供給ノズル１３８を通してのシリンダユニット１３７内への加圧された気体の供給が停止されると、ばねがロック部材をスピンドル１２３から離れる方向に移動させてロック部材のロック穴への係合を解除して、スピンドル１２３の軸心回りの回転を許容する。

撮像ユニット１４０は、切削ユニット１２０と一体的に移動するように、切削ユニット１２０に固定されている。撮像ユニット１４０は、チャックテーブル１１０に保持された切削前の被加工物２００の分割すべき領域を撮影する撮像素子を備えている。撮像素子は、例えば、ＣＣＤ（Charge-Coupled Device）撮像素子又はＣＭＯＳ（Complementary MOS）撮像素子である。撮像ユニット１４０は、チャックテーブル１１０に保持された被加工物２００を撮影して、被加工物２００とブレード１２１との位置合わせを行なうアライメントを遂行するため等の画像を得、得た画像を制御ユニット１９０に出力する。

Ｘ軸移動ユニットは、チャックテーブル１１０を加工送り方向であるＸ軸方向に移動させることで、チャックテーブル１１０と切削ユニット１２０とを相対的にＸ軸方向に沿って加工送りするものである。Ｙ軸移動ユニット１５０は、切削ユニット１２０を割り出し送り方向であるＹ軸方向に移動させることで、チャックテーブル１１０と切削ユニット１２０とを相対的にＹ軸方向に沿って割り出し送りするものである。Ｚ軸移動ユニット１６０は、切削ユニット１２０を切り込み送り方向であるＺ軸方向に移動させることで、チャックテーブル１１０と切削ユニット１２０とを相対的にＺ軸方向に沿って切り込み送りするものである。

Ｘ軸移動ユニット、Ｙ軸移動ユニット１５０及びＺ軸移動ユニット１６０は、軸心回りに回転自在に設けられた周知のボールねじ、ボールねじを軸心回りに回転させる周知のモータ及びチャックテーブル１１０又は切削ユニット１２０をＸ軸方向、Ｙ軸方向又はＺ軸方向に移動自在に支持する周知のガイドレールを備える。

また、切削装置１００は、チャックテーブル１１０のＸ軸方向の位置を検出するため図示しないＸ軸方向位置検出ユニットと、切削ユニット１２０のＹ軸方向の位置を検出するための図示しないＹ軸方向位置検出ユニットと、切削ユニット１２０のＺ軸方向の位置を検出するためのＺ軸方向位置検出ユニットとを備える。Ｘ軸方向位置検出ユニット及びＹ軸方向位置検出ユニットは、Ｘ軸方向、又はＹ軸方向と平行なリニアスケールと、読み取りヘッドとにより構成することができる。Ｚ軸方向位置検出ユニットは、モータのパルスで切削ユニット１２０のＺ軸方向の位置を検出する。Ｘ軸方向位置検出ユニット、Ｙ軸方向位置検出ユニット及びＺ軸方向位置検出ユニットは、チャックテーブル１１０のＸ軸方向、切削ユニット１２０のＹ軸方向又はＺ軸方向の位置を制御ユニット１９０に出力する。

また、切削装置１００は、切削前後の被加工物２００を収容するカセット１７１が載置されかつカセット１７１をＺ軸方向に移動させるカセットエレベータ１７０と、切削後の被加工物２００を洗浄する洗浄ユニット１７２と、カセット１７１に被加工物２００を出し入れするとともに被加工物２００を搬送する図示しない搬送ユニットを備える。

制御ユニット１９０は、切削装置１００の上述した各ユニットをそれぞれ制御して、被加工物２００に対する加工動作を切削装置１００に実施させるものでもある。なお、制御ユニット１９０は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。制御ユニット１９０の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、切削装置１００を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介して切削装置１００の各ユニットに出力する。

制御ユニット１９０は、加工動作の状態や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される表示ユニット１９１（図２に示す）と、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる入力ユニットとに接続されている。入力ユニットは、表示ユニット１９１に設けられたタッチパネルと、キーボード等の外部入力装置とのうち少なくとも一つにより構成される。

ブレード脱着機構１８０は、各切削ユニット１２０のブレード１２１を交換するものである。ブレード脱着機構１８０は、支持フレーム１０２の図２中の背面側でかつ加工領域よりも搬入出領域から離れた位置に設置されている。ブレード脱着機構１８０は、図４に示すように、交換前後のブレード１２１を保持するブレードストッカ１８１と、ブレード脱着補助装置１と、二つのブレード保持部であるブレードチャック１８２と、進退ユニット１８３とを備える。

実施形態１では、ブレードストッカ１８１とブレード脱着補助装置１と二つのブレードチャック１８２と進退ユニット１８３とは、１対１で対応し、さらに切削ユニット１２０とも１対１で対応して設けられている。即ち、実施形態１では、ブレード脱着機構１８０は、ブレードストッカ１８１とブレード脱着補助装置１と二つのブレードチャック１８２と進退ユニット１８３とを二組備えている。

また、実施形態１では、一方のブレードストッカ１８１は、一方の切削ユニット１２０のスピンドル１２３の交換前後のブレード１２１を複数保持し、他方のブレードストッカ１８１は、他方の切削ユニット１２０のスピンドル１２３の交換前後のブレード１２１を複数保持する。

ブレードチャック１８２は、ブレード１２１を保持する。一方のブレードチャック１８２は、対応する切削ユニット１２０に取り付けているブレード１２１をスピンドル１２３から取り外して保持する。他方のブレードチャックは、対応するブレードストッカ１８１から供給されたブレード１２１を保持し、保持したブレード１２１を対応する切削ユニット１２０のスピンドル１２３に取り付ける。ブレード脱着補助装置１は、対応する切削ユニット１２０のナット１２６をスピンドル１２３から脱着する。

進退ユニット１８３は、支持フレーム１０２よりも搬入出領域から離れた位置と各切削ユニット１２０のスピンドル１２３とＹ軸方向に対向する位置とに亘ってＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向にブレード脱着補助装置１と二つのブレードチャック１８２を移動させるものである。このために、ブレード脱着補助装置１は、二つのブレードチャック１８２と共に、切削装置１００の対応する切削ユニット１２０のスピンドル１２３に対して進退する進退ユニット１８３に取り付けられている。また、本発明では、スピンドル１２３の軸心とブレード脱着補助装置１やブレードチャック１８２との位置調整において、進退ユニット１８３は、Ｘ軸方向の位置調整を実施するのみで、切削ユニット１２０がＹ、Ｚ軸方向の位置調整を実施しても良い。

（ブレード脱着補助装置）
ブレード脱着補助装置１は、切削装置１００に使用する装置である。ブレード脱着補助装置１は、図１、図４及び図５に示すように、回転軸部２と、ナット回転部１０と、ナット把持部５０と、ハウジング部３０と、ロック機構６０とを備える。

回転軸部２は、外観が円柱状に形成され、軸心３がＹ軸方向と平行に配置されている。回転軸部２は、図示しないモータにより軸心回りの一方向３０１（図１に示す）と、一方向３０１の逆向きの他方向３０２（図１に示す）との双方に回転される。また。回転軸部２は、進退ユニット１８３により先端部が各切削ユニット１２０のスピンドル１２３とＹ軸方向に対向する位置に位置付けられる。

ナット回転部１０は、回転軸部２の先端部にハウジング部３０を介して取り付けられ、回転軸部２と同軸に配置される。ナット回転部１０は、円環状の回転部本体１１と、ナット１２６の表面１３４の係合穴１３５に係合する係合部である係合ピン１２とを備える。

回転部本体１１は、複数（実施形態１では４つ）の係合ピン遊挿孔１３と、複数の脱落防止ピン１４と、複数（実施形態１では４つ）の把持部材支持溝１５とが設けられている。係合ピン遊挿孔１３は、軸心３に沿って回転部本体１１を貫通しており、回転部本体１１の周方向に等間隔に配置されている。係合ピン遊挿孔１３は、内側にスリーブ１６が固定されている。スリーブ１６の表面１７は、回転部本体１１の各切削ユニット１２０のスピンドル１２３と対向する表面１８と同一平面上に位置する。また、スリーブ１６は、中央に貫通孔１９が貫通している。

脱落防止ピン１４は、回転部本体１１の外周面に設けられ、実施形態１では、回転部本体１１の外周面から外周方向に突出した円柱状に形成されている。脱落防止ピン１４は、回転部本体１１の周方向に等間隔に配置されている。脱落防止ピン１４は、ハウジング部３０のカム孔３４内に通されて、ナット回転部１０をハウジング部３０に取り付けているとともに、ナット回転部１０がハウジング部３０から脱落することを規制する。

把持部材支持溝１５は、回転部本体１１の外周面から凹に形成され、軸心３に沿って直線状に形成されている。把持部材支持溝１５は、回転部本体１１の周方向に等間隔に配置されている。また、把持部材支持溝１５は、軸心３方向の中央に軸受溝２０が連なっている。軸受溝２０は、回転部本体１１の外周面から凹でかつ把持部材支持溝１５の幅方向の両端に連なっている。

係合ピン１２は、円板状の円板部２１と、円板部２１の中央から立設したピン２２とを一体に備える。円板部２１は、外径が貫通孔１９の内径よりも大きくかつ係合ピン遊挿孔１３の内径と略等しく形成され、係合ピン遊挿孔１３内に収容される。ピン２２は、外径が貫通孔１９の内径と略等しく形成され、貫通孔１９内に通される。ピン２２は、ナット１２６の係合穴１３５内に侵入して、係合穴１３５に係合可能である。係合ピン１２は、ピン２２が貫通孔１９内に挿入され、円板部２１が係合ピン遊挿孔１３内に収容されて、係合ピン遊挿孔１３内で係合する方向である軸心３に沿って進退可能（即ち、移動自在）に配置されている。また、係合ピン１２は、弾性部材及び付勢部であるばね２３によりピン２２が表面１７，１８から突出する方向に付勢されている。スリーブ１６が係合ピン遊挿孔１３の内側に固定されているので、ばね２３は、ナット回転部１０をハウジング部３０から突出する方向に軸心３に沿って付勢している。

ばね２３は、係合ピン遊挿孔１３内に収容されている。実施形態１では、ばね２３は、係合ピン遊挿孔１３の回転軸部２の基端部側に挿入可能であるとともに、回転部本体１１に対して軸心３に沿って移動自在に設けられたスリーブ２４の底部２５と、係合ピン１２の円板部２１との間に配置されている。スリーブ２４は、円板状の底部２５と、底部２５の外縁に連なった円筒状の筒部２６とを一体に備えて有底筒状に形成されている。スリーブ２４の底部２５及び筒部２６の外径は、係合ピン遊挿孔１３の内径と略等しい。

ハウジング部３０は、ナット回転部１０の外周を囲繞している。ハウジング部３０は、円板状の底部３１と、底部３１の外縁に連なった円筒状の筒部３２とを一体に備えて、有底筒状に形成されている。底部３１は、中央に貫通孔３３が形成されている。ハウジング部３０は、底部３１に重ねられたワッシャ４の内側と貫通孔３３とを通って回転軸部２の先端面に設けられたねじ孔に螺合したねじ５により回転軸部２の先端部に取り付けられる。ハウジング部３０は、回転軸部２に取り付けられると、底部３１及び筒部３２が回転軸部２と同軸となる。筒部３２の内径は、ナット回転部１０の回転部本体１１の外径よりも若干大きい。

ハウジング部３０は、筒部３２にナット回転部１０の脱落防止ピン１４が侵入して、ナット回転部１０を軸心３回りに所定角度回転可能に支持するカム孔３４が複数（実施形態１では、４つ）設けられている。カム孔３４は、筒部３２を貫通している。カム孔３４は、軸心３回りの一方向３０１側に設けられた幅広部３５と、軸心３回りの他方向３０２側に設けられた幅狭部３６とを備える。幅広部３５の軸心３方向の幅は、幅狭部３６の軸心３方向の幅よりも広い。幅広部３５及び幅狭部３６の軸心３方向の幅は、脱落防止ピン１４の少なくとも半径より、好ましくは直径よりも大きい。また、カム孔３４は、先端側に幅広部３５と幅狭部３６とに連なる段差面３７が形成されている。カム孔３４の幅狭部３６の先端側の内側面３８は、軸心３に対して直交する方向に平坦に形成されおり、ばね２３により付勢されたナット回転部１０の脱落防止ピン１４が係合して、ナット回転部１０が突出位置に向かう進退が規制される突出規制部となっている。内側面３８にばね２３により付勢されたナット回転部１０の脱落防止ピン１４が係合することで、ナット回転部１０とハウジング部３０とが係合する。

ハウジング部３０は、脱落防止ピン１４がカム孔３４内に侵入し、回転軸部２に取り付けられると、底部３１にばね２３により付勢されたスリーブ２４が当接する。このため、ナット回転部１０は、脱落防止ピン１４がカム孔３４の幅広部３５内に位置すると、ばね２３の付勢力により回転部本体１１の表面がハウジング部３０よりも各切削ユニット１２０のスピンドル１２３側に突出する図５等に示す突出位置に位置付けられる。このように、ばね２３は、ナット回転部１０を突出位置に向けて押し出す。

また、ナット回転部１０は、軸心３に沿ってばね２３の付勢力に抗してナット回転部１０の回転部本体１１がハウジング部３０内に没する方向に押されると、回転部本体１１の表面がハウジング部３０内に没する図９等に示す固定位置に位置する。このように、ナット回転部１０は、突出位置と固定位置とに亘って、軸心３方向にハウジング部３０に対して進退可能に配置されている。固定位置では、脱落防止ピン１４が段差面３７より基端側に位置するので、ナット回転部１０は、脱落防止ピン１４がカム孔３４の一方向３０１側の内面に当接する位置とカム孔３４の他方向３０２側の内面に当接する位置とに亘って、ハウジング部３０に対して軸心３回りに回転自在に支持される。このように、所定角度とは、脱落防止ピン１４がカム孔３４の一方向３０１側の内面に当接する位置とカム孔３４の他方向３０２側の内面に当接する位置との間の軸心３回りの角度である。

また、ナット回転部１０は、係合ピン遊挿孔１３内に収容されたばね２３により付勢されたスリーブ２４の底部２５がハウジング部３０の底部３１に当接することで、ばね２３及びスリーブ２４を介してハウジング部３０に取り付けられている。また、ナット回転部１０は、回転部本体１１の外径がハウジング部３０の筒部の内径よりも小さく、係合ピン遊挿孔１３内に収容されたばね２３により付勢されたスリーブ２４の底部２５がハウジング部３０の底部３１に当接することで、ばね２３により軸心３に対して傾き自在に支持されている。なお、実施形態１では、ばね２３が係合ピン１２を付勢するとともに、ナット回転部１０を突出位置に押し出しているが、本発明では、係合ピン１２を付勢する弾性部材と、ナット回転部１０を突出位置に押し出す付勢部とを互いに別体の弾性部材で構成しても良い。

ナット把持部５０は、ナット回転部１０に配置され、ナット１２６の環状溝１３６を把持するものである。ナット把持部５０は、複数（実施形態１では、４つ）の把持部材５１を備える。把持部材５１は、アーム状に形成され、把持部材支持溝１５内で支持されて、長手方向が軸心３と平行に配置されている。把持部材５１は、ナット回転部１０の表面から突出した先端部にナット１２６の外周に設けられた環状溝１３６に係合可能な把持爪５２と、回転軸部２寄りの基端部に軸受溝２０内で回転自在に支持された回動軸５３とを備える。把持部材５１は、回動軸５３が軸受溝２０内で回転することにより、把持爪５２同士が互いに近づいたり離れる。また、把持部材支持溝１５の底面と把持部材５１の長手方向の中央部との間には、圧縮スプリング５４が配設されている。圧縮スプリング５４は、把持爪５２が常に径方向外側に向かうように把持部材５１を付勢している。

ナット把持部５０は、把持部材５１が圧縮スプリング５４により付勢されていることにより、ナット回転部１０が突出位置に位置付けられると、把持部材５１の把持爪５２同士が離れて、把持爪５２が環状溝１３６に係合することなく、ナット１２６の環状溝１３６に着脱可能となる。ナット把持部５０は、ナット回転部１０が固定位置に位置付けられると、把持部材５１がナット回転部１０とともにハウジング部３０内に収容され、把持部材５１の先端部が圧縮スプリング５４の付勢力に抗して押圧されて把持爪５２同士が近付く。ナット把持部５０は、ナット回転部１０が固定位置に位置付けられると、把持部材５１の把持爪５２が環状溝１３６に係合するとともに、把持爪５２が環状溝１３６に係合した状態が維持される。こうして、ナット回転部１０が固定位置に位置付けられると、ナット把持部５０の把持部材５１の把持爪５２とナット１２６の環状溝１３６との係合が維持される。

実施形態１において、ブレード脱着補助装置１は、カム孔３４の幅狭部３６の内側面３８と、脱落防止ピン１４と、ばね２３とは、ナット把持部５０の把持部材５１の把持爪５２がナット１２６の環状溝１３６に係合した状態を維持するロック機構６０を構成している。ロック機構６０は、ばね２３がナット回転部１０を突出位置に向けて付勢し、脱落防止ピン１４が内側面３８に係合することで、ナット把持部５０がナット１２６の環状溝１３６に係合した状態を維持する。

次に、本明細書は、ブレード脱着機構１８０が切削ユニット１２０のブレード１２１を交換する動作、即ち、ブレード脱着補助装置１が切削ユニット１２０のスピンドル１２３からナット１２６を取り外す動作を図面に基づいて説明する。図７は、実施形態１に係るブレード脱着補助装置を切削ユニットのスピンドルとＹ軸方向に対向させた状態を示す側面図である。図８は、図７に示されたブレード脱着補助装置の側断面図である。図９は、図７に示されたブレード脱着補助装置のナット把持部の把持部材の把持部材がナットの環状溝に係合した状態を示す側面図である。図１０は、図９に示されたブレード脱着補助装置及び切削ユニットの側断面図である。図１１は、図９に示されたブレード脱着補助装置の回転軸部及びハウジング部を一方向に回転した状態を示す側面図である。図１２は、図１１に示されたブレード脱着補助装置及び切削ユニットの側断面図である。図１３は、図１１に示されたブレード脱着補助装置によりナットをスピンドルから取り外した状態を示す側面図である。図１４は、図１３に示されたブレード脱着補助装置を切削ユニットのスピンドルから離した状態を示す側面図である。図１５は、図１４に示されたブレード脱着補助装置の側断面図である。

切削装置１００は、ブレード脱着機構１８０がブレード１２１を交換する際には、被加工物２００への加工動作を停止して、交換対象の切削ユニット１２０に対応した他方のブレードチャック１８２にブレードストッカ１８１にブレード１２１を供給し、交換対象の切削ユニット１２０のモータによるスピンドル１２３の回転を停止し、回転停止部１２７のシリンダユニット１３７内に加圧された気体を供給して、ロック部材をロック穴に係合させて、スピンドル１２３の回転を規制する。

切削装置１００は、進退ユニット１８３に交換対象の切削ユニット１２０に対応するブレード脱着補助装置１を、図７及び図８に示すように、交換対象の切削ユニット１２０のスピンドル１２３とＹ軸方向に対向する位置まで移動させる。このとき、ブレード脱着補助装置１は、脱落防止ピン１４がカム孔３４の幅広部３５内に位置してナット回転部１０が突出位置に位置して、ナット把持部５０の把持部材５１の把持爪５２同士が離れている。

実施形態１では、切削装置１００は、交換対象の切削ユニット１２０をＹ軸方向に沿ってブレード脱着補助装置１に近付ける。すると、図９及び図１０に示すように、切削ユニット１２０のナット１２６の表面１３４がナット回転部１０の回転部本体１１の表面１８に当接するとともに、ナット回転部１０の脱落防止ピン１４が段差面３７よりも基端側の固定位置に位置付けられる。すると、ハウジング部３０が、ナット把持部５０の把持部材５１の把持爪５２をナット１２６の外周面に向けて押圧して、把持爪５２が環状溝１３６に係合する。

切削装置１００は、ナット回転部１０が切削ユニット１２０により押し込まれた固定位置で、ブレード脱着補助装置１の回転軸部２をナット１２６が緩む方向である一方向３０１に回転する。すると、切削装置１００は、ハウジング部３０を一方向３０１へ回転軸部２とともに回転させると脱落防止ピン１４がカム孔３４内を移動して、ハウジング部３０がナット回転部１０に対し所定角度回転し、図１１に示すように、所定の向きである脱落防止ピン１４が他方向３０２側の内面に当接する向きに位置付けられる。こうして、脱落防止ピン１４がカム孔３４の幅狭部３６の内側面３８に係合して、ナット回転部１０がハウジング部３０に係合し、ナット回転部１０のハウジング部３０に対する軸心３方向の進退が規制される。なお、ナット回転部１０をスピンドル１２３に対し所定角度回転させると、ナット１２６表面に押されて回転軸部２側に退避していた係合ピン１２のピン２２がナット１２６の係合穴１３５に侵入して係合する。

切削装置１００は、図１１及び図１２に示すように、回転軸部２及びハウジング部３０をさらに一方向３０１に回転させる。すると、ナット１２６がマウント１２４に形成された雄ネジ１３０に螺合しているので、ナット１２６の螺合が徐々に解除されて、ナット１２６がブレード脱着補助装置１に向けて軸心３に沿って移動する。このナット１２６の軸心方向への移動は、ばね２３の収縮によって可能に設定されている。切削装置１００は、図１３に示すように、マウント１２４の雄ネジ１３０からナット１２６が外れるまで回転軸部２及びハウジング部３０を一方向３０１に回転させた後、回転軸部２の回転を停止する。

実施形態１では、切削装置１００は、交換対象の切削ユニット１２０をＹ軸方向に沿ってブレード脱着補助装置１から遠ざける。このとき、図１４に示すように、ナット回転部１０とハウジング部３０とが係合しているので、図１４及び図１５に示すように、ナット回転部１０が固定位置に維持されて、ナット把持部５０の把持部材５１の把持爪５２がナット１２６の環状溝１３６を係合した状態が維持される。ブレード脱着補助装置１は、図１４、図１５に示すように、把持爪５２がナット１２６の環状溝１３６に係合した状態が維持されているが、その際、ナット１２６のＸ軸方向やＺ軸方向での位置に遊びが無いと、この後、再度マウント１２４のボス部１２８の溝にナット１２６を螺合させるステップで、マウント１２４のボス部１２８の位置がナット１２６に対し少しでもずれているとがうまく噛み合わず螺合できない恐れがある。そのため、ブレード脱着補助装置１は、把持爪５２に保持されたナット１２６がＸ軸方向やＺ軸方向に僅かながらも移動できるよう、把持爪５２をハウジング部３０から僅かに突出して、把持爪５２が少し開く位置に維持されるよう、脱落防止ピン１４とカム孔３４の内側面３８との位置を設定している。

また、ブレード脱着補助装置１は、把持爪５２で把持されたナット１２６を回転させマウント１２４のボス部１２８から外すとき、必ず、ボス部１２８がナット１２６から離れるまでナット１２６を回転させ続ける。従来、ナット１２６を所定の回転数だけ回転させる制御にしていたが、わずかにボス部１２８の雄ネジ１３０とナット１２６の螺子溝とが係合している場合があり、僅かに係合した状態でボス部１２８を離間させると、ナット１２６の雄ネジ１３０がボス部１２８の螺子溝と引っ掛かってナット１２６が把持爪５２から落ちてしまうという事態が発生していた。したがって、ブレード脱着補助装置１は、ボス部１２８がナット１２６から離れるまでナット１２６を回転させ続ける制御にした。

そして、切削装置１００は、ブレード脱着機構１８０の一方のブレードチャック１８２が交換対象の切削ユニット１２０のスピンドル１２３からブレード１２１を取り外した後、他方のブレードチャック１８２がブレード１２１を交換対象の切削ユニット１２０のスピンドル１２３に取り付ける。

次に、本明細書は、ブレード脱着補助装置１が切削ユニット１２０のスピンドル１２３にナット１２６を取り付ける動作を図面に基づいて説明する。図１６は、実施形態１に係るブレード脱着補助装置を切削ユニットのスピンドルとＹ軸方向に対向させた後、切削ユニットをナットを把持したブレード脱着補助装置に近付けた状態を示す側面図である。図１７は、図１６に示されたブレード脱着補助装置及び切削ユニットの側断面図である。図１８は、図１６に示されたブレード脱着補助装置の回転軸部及びハウジング部を他方向に回転してナットがブレードに当接した状態を示す側面図である。図１９は、図１８に示されたブレード脱着補助装置の回転軸部及びハウジング部を更に他方向に回転した状態を示す側面図である。図２０は、図１８に示されたブレード脱着補助装置のナット把持部の把持部材の把持部材のナットの環状溝の係合が解除された状態を示す側面図である。

切削装置１００は、進退ユニット１８３に交換対象の切削ユニット１２０に対応するブレード脱着補助装置１を、交換対象の切削ユニット１２０のスピンドル１２３とＹ軸方向に対向する位置まで移動させた後、交換対象の切削ユニット１２０をＹ軸方向に沿ってブレード脱着補助装置１に近付けて、図１６及び図１７に示すように、マウント１２４でブレード脱着補助装置１が把持したナット１２６をＹ軸方向に押し込む。切削装置１００は、ブレード脱着補助装置１の回転軸部２をナット１２６を締める方向である他方向３０２に回転させる。すると、係合ピン１２のピン２２がナット１２６の係合穴１３５に係合しているので、回転軸部２及びハウジング部３０とともにナット１２６が他方向３０２に回転する。

すると、ブレード脱着補助装置１のナット把持部５０に把持されたナット１２６の外周面にマウント１２４に形成された雄ネジ１３０が螺合していき、ナット１２６が徐々に切削ユニット１２０に取り付けられたブレード１２１の円形基台１３２に徐々に近づく。その後、図１８に示すように、ナット１２６がブレード１２１の円形基台１３２に当接し、切削装置１００は、さらに、回転軸部２及びハウジング部３０を他方向３０２に回転させる。

すると、ナット１２６がブレード１２１の円形基台１３２に当接して、ナット１２６の回転が規制されるので、ブレード脱着補助装置１の係合ピン１２が軸心３回りに回転すると、ピン２２が係合穴１３５に係合しているので、ハウジング部３０が他方向３０２に所定角度回転する間、ナット回転部１０の回転が停止する。切削装置１００は、ハウジング部３０が他方向３０２に所定角度回転すると、図１９に示すように、脱落防止ピン１４をカム孔３４の一方向３０１側の内面に当接させて、幅広部３５内に位置させた後、回転軸部２及びハウジング部３０の他方向３０２の回転を停止する。

実施形態１では、切削装置１００は、図２０に示すように、交換対象の切削ユニット１２０をＹ軸方向に沿ってブレード脱着補助装置１に遠ざける。すると、脱落防止ピン１４がカム孔３４の内面に当接して幅広部３５内に位置するので、ばね２３の付勢力によりナット回転部１０が押圧されて突出位置に向けて移動する。切削装置１００は、ナット回転部１０が突出位置に位置して、ナット把持部５０の把持部材５１の把持爪５２の環状溝１３６への係合が解除される。

切削装置１００は、二つのブレードチャック１８２及びブレード脱着補助装置１を加工領域よりも搬入出領域から離れた位置まで移動させた後、回転停止部１２７のシリンダユニット１３７内への加圧された気体の供給を停止して、ロック部材のロック穴への係合を解除するなどして、被加工物２００への加工動作を再開する。

実施形態１に係るブレード脱着補助装置１は、ナット１２６の係合穴１３５に係合する係合ピン１２を備えるナット回転部１０と、ナット回転部１０に配置され、ナット１２６の環状溝１３６を把持するナット把持部５０と、ナット回転部１０を囲繞するハウジング部３０と、を備える、ブレード脱着補助装置１は、ナット把持部５０がナット１２６の環状溝１３６に脱着可能な突出位置と、ナット把持部５０がハウジング部３０に収容されナット把持部５０とナット１２６との係合が維持される固定位置とに亘って進退可能に配置されているとともに、ナット回転部１０を突出位置に向けて付勢するばね２３を備える。

このために、ブレード脱着補助装置１は、ナット１２６からばね２３の付勢力に抗してナット回転部１０が押圧されることで、ナット把持部５０がナット１２６の環状溝１３６に係合し、回転させるだけで係合ピン１２が係合穴１３５に係合して、ナット１２６を回転することができる。また、ブレード脱着補助装置１は、ナット把持部５０の把持部材５１の把持爪５２がナット１２６を把持した状態で固定されるロック機構６０を備える。その結果、ブレード脱着補助装置１は、ハウジング部３０を移動させるシリンダ等を設けることなく、ナット把持部５０の把持とナット回転部１０に対するハウジング部３０の進退を行うことができる。よって、ブレード脱着補助装置１は、低コスト化を図りながらもナット１２６を自動で脱着することを可能とするという効果を奏する。

また、ナット回転部１０がハウジング部３０に遊嵌し、傾き自在に支持されているため、ブレード脱着補助装置１の軸心３とスピンドル１２３の軸心が傾いていても、ナット１２６を把持爪５２で把持できる。これにより、ブレード脱着補助装置１は、スピンドル１２３の軸心に対する精密な軸心合わせを不要とし、切削装置１００、ブレード脱着機構１８０の組立への熟練度を下げることを可能にした。

〔変形例〕
本発明の実施形態１の変形例に係るブレード脱着補助装置を図面に基づいて説明する。図２１は、実施形態１の変形例に係るブレード脱着補助装置の断面図である。なお、図２１は、実施形態１と同一部分に同一符号を付し説明を省略する。

実施形態１の変形例に係るブレード脱着補助装置１は、図２１に示すように、ナット回転部１０をハウジング部３０外に向けて軸心３に沿って付勢する弾性部材であるばね２３－２が、外縁部に係合ピン１２が取り付けられた円板状の支持板７０とワッシャ４との間に設けられていること以外、実施形態１と構成が略等しい。支持板７０及びばね２３－２は、回転軸部２などと同軸となる位置に配置されている。このために、ナット回転部１０は、支持板７０及びワッシャ４を介して回転軸部２にばね２３－２で傾き自在に支持されている。

実施形態１の変形例に係るブレード脱着補助装置１は、実施形態１と同様に、ハウジング部３０を移動させるシリンダ等を設けることなく、ナット把持部５０の把持とナット回転部１０に対するハウジング部３０の進退を行うことができる。よって、ブレード脱着補助装置１は、実施形態１と同様に、低コスト化を図りながらもナット１２６を自動で脱着することを可能とするという効果を奏する。

なお、本発明は、上記実施形態及び変形例に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。例えば、本発明では、ブレード脱着機構１８０は、図２中の背面側でかつ加工領域よりも搬入出領域から離れた位置以外の場所に設置されていても良く、ブレード１２１脱着の際に、スピンドル１２３に対面する位置に進出するよう設定されていれば良い。

１ ブレード脱着補助装置
２ 回転軸部
１０ ナット回転部
１２ 係合ピン（係合部）
２３，２３－２ ばね（付勢部、弾性部材）
３０ ハウジング部
３８ 内側面（突出規制部）
５０ ナット把持部
６０ ロック機構
１００ 切削装置
１２１ ブレード
１２３ スピンドル
１２６ ナット
１２７ 回転停止部
１３４ 表面
１３５ 係合穴（被係合部）
１３６ 環状溝（外周部）
１８２ ブレードチャック（ブレード保持部）
１８３ 進退ユニット
３０１ 一方向（緩む方向）

Claims (4)

1. スピンドルに装着されるブレードと、該ブレードを前記スピンドルに固定するためのナットと、該スピンドルの回転を規制する回転停止部と、を含む切削装置に使用するブレード脱着補助装置であって、
   該ナットの表面の被係合部に係合する係合部を備えるナット回転部と、
   該ナット回転部に配置され、該ナットの外周部を把持するナット把持部と、
   該ナット回転部を所定角度回転可能に支持しつつ囲繞するハウジング部と、
   該ナット把持部が該ナットの外周部に係合した状態を維持するロック機構と、を備え、
   該ナット回転部は、
   該ナット把持部が該ナットの外周部に脱着可能な突出位置と、該ナット把持部が該ハウジング部に収容され該ナット把持部と該ナットとの係合が維持される固定位置とに、該ハウジング部に対し進退可能に配置され、
   該ナット回転部を該突出位置に押し出す付勢部を介して該ハウジング部に固定され、
   該ロック機構は、
   該ナット回転部が押し込まれ該固定位置で、該ナットが緩む方向へ該ハウジング部を回転させると、該ハウジング部が該ナット回転部に対し回転し所定の向きに位置付けられると、該ナット回転部と該ハウジング部が係合し、該ナット回転部の進退が規制される突出規制部と、を備えるブレード脱着補助装置。
2. 該ナット回転部は、該ハウジング部に遊嵌し、回転軸部または該ハウジング部に弾性部材で傾き自在に支持されている請求項１に記載のブレード脱着補助装置。
3. 該ナットの表面の被係合部は係合穴であり、該ナット回転部の係合部は係合ピンであり、係合する方向に進退可能に配置される請求項１又は請求項２に記載のブレード脱着補助装置。
4. 該ブレード脱着補助装置は、該スピンドルに固定したブレードを保持するブレード保持部と共に、該切削装置の該スピンドルに対して進退する進退ユニットに固定される請求項１、請求項２又は請求項３に記載のブレード脱着補助装置。

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