JP6410626B2 - 切削装置 - Google Patents

Description

本発明は、切削ブレードを自動で交換するオートブレードチェンジャを備えた切削装置に関する。

携帯電話機に代表される小型軽量な電子機器では、ＩＣ等の電子回路（デバイス）を備えるデバイスチップが必須の構成となっている。デバイスチップは、例えば、シリコン等の材料でなる半導体ウェーハの表面をストリートと呼ばれる複数の分割予定ラインで区画し、各領域にデバイスを形成した後、このストリートに沿って半導体ウェーハを分割することで製造できる。

半導体ウェーハのような板状の被加工物を分割する際には、例えば、回転軸となるスピンドルの先端部に円盤状の切削ブレードが装着された切削装置を使用する。切削ブレードを高速に回転させて被加工物のストリートに切り込ませ、切削ブレードと被加工物とをストリートと平行な方向に相対的に移動させれば、被加工物を切削して複数のチップに分割できる。

上述の切削ブレードは、ある程度まで摩耗すると交換される。これにより、切削装置の切削能力は高い状態に維持されている。近年では、切削ブレードの交換に要する時間を短縮するため、切削ブレードを自動で交換するオートブレードチェンジャを備えた切削装置が実用化されている（例えば、特許文献１参照）。

また、スピンドルの先端部に取り付けられるブレードマウントに吸引口を形成し、この吸引口から負圧を作用させて切削ブレードを吸着、固定する切削ブレードの装着機構も提案されている（例えば、特許文献２参照）。この装着機構では、ナット等の部材を用いずに切削ブレードを固定できるので、切削ブレードをより短時間に交換可能である。

特開平６−３２６１８６号公報 特開２００２−１５４０５４号公報

オートブレードチェンジャを備える上述の切削装置では、例えば、予期しないアクシデントによってオートブレードチェンジャが停止してしまうことがある。この場合、オペレータは、手動でオートブレードチェンジャを再稼働させて切削ブレードの交換作業を再開する必要がある。

ところで、切削ブレードの交換作業を任意の工程から再開できる場合、オペレータの不注意等に起因して問題が発生し易い。例えば、スピンドルに切削ブレードが装着された状態で切削ブレードの装着工程から交換作業を再開すると、スピンドルに装着された切削ブレードと新たに装着される切削ブレードとが干渉して切削装置を破損させる恐れがある。

そこで、切削ブレードの交換作業は、スピンドルから切削ブレードを取り外す取り外し工程からのみ再開できるように制限されている。しかしながら、このような制限を設けると、切削ブレードの交換作業を再開する前にスピンドル及びオートブレードチェンジャを交換作業の前の状態まで戻さなくてはならないので、交換作業の再開までに多くの時間を要してしまう。また、それまでに実施した工程が無駄になるという問題もあった。

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、切削ブレードの交換作業を任意の工程から開始しても、オペレータの不注意等に起因する問題の発生を防止できる切削装置を提供することである。

本発明によれば、被加工物を保持するチャックテーブルと、回転駆動されるスピンドルと該スピンドルの先端部に装着される切削ブレードとを有し該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削手段と、該切削ブレードを保持するブレード保持部を有し該スピンドルの先端部に対して該切削ブレードを着脱するブレード着脱手段と、該切削ブレードを着脱可能な着脱位置と該着脱位置よりも互いに離間した離間位置との間で該切削手段と該ブレード着脱手段とを相対的に移動させる移動手段と、該離間位置に位置付けられた該ブレード着脱手段に対応して配置され使用前又は使用後の複数の該切削ブレードを収容可能なブレードラックと、各種の指令が入力される入力手段と、各部の動きを制御する制御手段と、該スピンドルの先端部に装着された該切削ブレードの有無を検出するブレード検出手段と、所定の警報を発する警報手段と、を備え、該入力手段に対して該ブレード着脱手段で該切削ブレードを該スピンドルの先端部に装着する旨の装着指令が入力されると、該制御手段は、該ブレード検出手段で該切削ブレードが検出されない場合に該装着指令の内容を実行し、該ブレード検出手段で該切削ブレードが検出される場合に該装着指令の内容を実行せず該警報手段で警報を発することを特徴とする切削装置が提供される。

本発明において、該切削手段は、円盤状のフランジ部と該フランジ部から突出したボス部とを有し該スピンドルの先端部に固定されるブレードマウントを備え、該切削ブレードは、該フランジ部に接触する接触面を有し中央部に該ブレードマウントの該ボス部が挿入される貫通穴が形成された円盤状の基台と該基台の外周部に形成された切り刃とを含み、該ブレードマウントは、該切削ブレードの該基台の該接触面側を吸引する吸引手段を備え、該吸引手段は、該基台の該接触面側を支持する該フランジ部の支持面側に開口した吸引口と、負圧を発生させる吸引源と、該吸引口と該吸引源とを繋ぐ吸引経路と、該吸引経路に設けられ該吸引経路内の圧力を測定して測定結果を該制御手段に送る圧力計と、を備え、該制御手段は、該ブレードマウントに該切削ブレードが保持された状態の該吸引経路内の圧力に対応して設定される基準値と、該圧力計から送られる該測定結果と、を記憶する記憶部と、該記憶部に記憶された該基準値と該測定結果とから該スピンドルの先端部に該切削ブレードが装着されているか否かを判定する判定部と、を備え、該ブレード検出手段は、該圧力計と該記憶部と該判定部とから構成されることが好ましい。

本発明に係る切削装置は、スピンドルの先端部に装着された切削ブレードの有無を検出するブレード検出手段と、警報を発する警報手段と、を備え、入力手段に対して切削ブレードをスピンドルの先端部に装着する旨の装着指令が入力されると、制御手段は、ブレード検出手段で切削ブレードが検出されない場合に装着指令の内容を実行し、ブレード検出手段で切削ブレードが検出される場合に装着指令の内容を実行せず警報手段で警報を発するように構成されている。

よって、スピンドルの先端部に切削ブレードが装着された状態で誤って装着指令を入力した場合でも、切削装置が破損することはない。このように、本発明に係る切削装置によれば、切削ブレードの交換作業を任意の工程から開始しても、オペレータの不注意等に起因する問題の発生を防止できる。

本実施形態に係る切削装置の構成例を模式的に示す図である。 切削ユニットの構造を模式的に示す分解斜視図である。 切削ユニットの断面を主に示す図である。 オートブレードチェンジャの周辺の構造を模式的に示す斜視図である。 図５（Ａ）は、ブレード着脱ユニットの構造を模式的に示す斜視図であり、図５（Ｂ）は、ブレード着脱ユニットの構造を模式的に示す一部断面平面図であり、図５（Ｃ）は、ブレード着脱ユニットを切削ユニット側から見た側面図である。 制御装置の構成例等を模式的に示すブロック図である。

添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係る切削装置の構成例を模式的に示す図である。図１に示すように、切削装置２は、各構造を支持する基台４を備えている。

基台４の上面には、Ｘ軸方向（加工送り方向）に長い矩形状の開口４ａが形成されている。この開口４ａ内には、Ｘ軸移動テーブル６、Ｘ軸移動テーブル６をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動機構（不図示）、及びＸ軸移動機構を覆う防塵防滴カバー８が設けられている。

Ｘ軸移動機構は、Ｘ軸方向に平行な一対のＸ軸ガイドレール（不図示）を備えており、Ｘ軸ガイドレールには、Ｘ軸移動テーブル６がスライド可能に設置されている。Ｘ軸移動テーブル６の下面側には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｘ軸ガイドレールと平行なＸ軸ボールネジ（不図示）が螺合されている。

Ｘ軸ボールネジの一端部には、Ｘ軸パルスモータ（不図示）が連結されている。Ｘ軸パルスモータでＸ軸ボールネジを回転させれば、Ｘ軸移動テーブル６はＸ軸ガイドレールに沿ってＸ軸方向に移動する。

Ｘ軸移動テーブル６の上面には、半導体ウェーハや樹脂基板、セラミックス基板等の板状の被加工物（不図示）を吸引保持するチャックテーブル１０が設けられている。チャックテーブル１０は、モータ等の回転駆動源（不図示）と連結されており、Ｚ軸方向（鉛直方向）に平行な回転軸の周りに回転する。また、チャックテーブル１０は、上述のＸ軸移動機構でＸ軸方向に移動する。

チャックテーブル１０の表面（上面）は、被加工物を吸引保持する保持面１０ａとなっている。この保持面１０ａは、チャックテーブル１０の内部に形成された流路（不図示）を通じて吸引源（不図示）と接続されている。チャックテーブル１０の周囲には、被加工物を支持するフレーム（不図示）を挟持固定するためのクランプ１２が設けられている。

基台４の上面には、切削ユニット（切削手段）１４を支持する門型の支持構造１６が、開口４ａを跨ぐように配置されている。支持構造１６の表面側には、切削ユニット１４をＹ軸方向（割り出し送り方向）及びＺ軸方向に移動させる切削ユニット移動機構（移動手段）１８が設けられている。

切削ユニット移動機構１８は、支持構造１６の表面上部に配置されＹ軸方向に平行な一対のＹ軸ガイドレール２０を備えている。Ｙ軸ガイドレール２０には、切削ユニット移動機構１８を構成するＹ軸移動プレート２２がスライド可能に設置されている。

Ｙ軸移動プレート２２の裏面側には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｙ軸ガイドレール２０と平行なＹ軸ボールネジ２４が螺合されている。Ｙ軸ボールネジ２４の一端部には、Ｙ軸パルスモータ（不図示）が連結されている。Ｙ軸パルスモータでＹ軸ボールネジ２４を回転させれば、Ｙ軸移動プレート２２は、Ｙ軸ガイドレール２０に沿ってＹ軸方向に移動する。

Ｙ軸移動プレート２２の表面には、Ｚ軸方向に平行な一対のＺ軸ガイドレール２６が設けられている。Ｚ軸ガイドレール２６には、Ｚ軸移動プレート２８がスライド可能に設置されている。

Ｚ軸移動プレート２８の裏面側には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｚ軸ガイドレール２６と平行なＺ軸ボールネジ３０が螺合されている。Ｚ軸ボールネジ３０の一端部には、Ｚ軸パルスモータ３２が連結されている。Ｚ軸パルスモータ３２でＺ軸ボールネジ３０を回転させれば、Ｚ軸移動プレート２８は、Ｚ軸ガイドレール２６に沿ってＺ軸方向に移動する。

Ｚ軸移動プレート２８の下部には、チャックテーブル１０に吸引保持された被加工物を切削する切削ユニット１４が設けられている。上述のようにＹ軸移動プレート２２及びＺ軸移動プレート２８を移動させれば、切削ユニット１４は、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動する。

図２は、切削ユニット１４の構造を模式的に示す分解斜視図であり、図３は、切削ユニット１４の断面を主に示す図である。図２及び図３に示すように、切削ユニット１４は、Ｚ軸移動プレート２８の下部に固定されたスピンドルハウジング３４を備えている。

スピンドルハウジング３４の内部には、回転軸となるスピンドル３６（図３）を収容する収容空間３４ａが形成されている。スピンドル３６は、この収容空間３４ａに供給される圧縮空気によって浮動状態で支持される。

スピンドル３６の先端部（一端部）は、円錐台状に形成されており、スピンドルハウジング３４の外部に露出している。このスピンドル３６の先端部には、ブレードマウント３８が取り付けられる。一方、スピンドル３６の基端側（他端側）には、スピンドル３６を回転させるためのモータ（不図示）が連結されている。

ブレードマウント３８は、径方向外向きに延出した円盤状のフランジ部４０と、フランジ部４０の表面側から突出したボス部４２とを含む。ブレードマウント３８の中央には、フランジ部４０及びボス部４２を貫通する貫通穴３８ａが形成されており、この貫通穴３８ａには、裏面側からスピンドル３６の先端部が嵌合する。

スピンドル３６の先端の外周面にはネジ溝が設けられており、ナット４４を締め込むことができる。スピンドル３６の先端部をブレードマウント３８の貫通穴３８ａに嵌合した状態でスピンドル３６の先端にナット４４を締め込めば、ブレードマウント３８をスピンドル３６に固定できる。

フランジ部４０の表面の外周側は、切削ブレード４６の裏面側を支持する支持面４０ａとなっている。この支持面４０ａは、Ｙ軸方向（スピンドル３６の軸心方向）から見て円環状に形成されており、切削ブレード４６の裏面側に接触する。

切削ブレード４６は、いわゆるハブブレードであり、円盤状の基台（ハブ基台）４８の外周部に、被加工物を切削する円環状の切り刃５０が設けられている。切り刃５０は、例えば、金属や樹脂等のボンド材（結合材）に、ダイヤモンドやＣＢＮ（Cubic Boron Nitride）等の砥粒を混合して所定の厚みに形成される。

基台４８の中央には、ボス部４２と略同径の貫通穴４８ａが形成されている。この貫通穴４８ａにボス部４２を嵌合し、フランジ部４０の支持面４０ａに基台４８の裏面（接触面）４８ｂを接触させることで、切削ブレード４６はブレードマウント３８に装着される。

ブレードマウント３８の内部には、負圧を伝達する流路（吸引経路）３８ｂが形成されている。この流路３８ｂの一端側は、フランジ部４０の表面側（支持面４０ａ側）に開口し、切削ブレード４６を吸引する吸引口４０ｂとなる。一方、流路３８ｂの他端側は、貫通穴３８ａの内周面に開口している。

スピンドル３６の内部にも、負圧を伝達する流路（吸引経路）３６ａが形成されている。流路３６ａの一端側は、スピンドル３８の先端部の外周面に開口しており、流路３８ｂの他端側と接続される。

一方、流路３６ａの他端側は、スピンドルハウジング３４に形成された流路（吸引流路）３４ｂ、流路３４ｂに接続された配管（吸引流路）５２等を介して、負圧を発生させる吸引源５４に接続されている。また、配管５２には、流路３８ｂ、流路３６ａ、流路３４ｂ、及び配管５２の内部の圧力を測定する圧力計５６が設置されている。

上述のように、切削ブレード４６をブレードマウント３８に装着し、配管５２、流路３４ｂ、流路３６ａ、流路３８ｂ、及び吸引口４０ｂを通じて、吸引源５４の負圧を基台４８の裏面４８ｂ側に作用させれば、切削ブレード４６は、マウントフランジ４０に固定される。

図１に示すように、切削ユニット１４に装着された切削ブレード４６と対向する位置には、切削ブレード４６を自動で交換するオートブレードチェンジャ６０が設けられている。図４は、オートブレードチェンジャ６０の周辺の構造を模式的に示す斜視図である。

図４に示すように、オートブレードチェンジャ６０の下方には、オートブレードチェンジャ６０をＸ軸方向に移動させるオートブレードチェンジャ移動機構（移動手段）６２が設けられている。

オートブレードチェンジャ移動機構６２は、Ｘ軸方向に平行な一対のガイドレール６４を備えており、ガイドレール６４には、移動ブロック６６がスライド可能に設置されている。移動ブロック６６の下面側には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、ガイドレール６４と平行なボールネジ６８が螺合されている。

ボールネジ６８の一端部には、パルスモータ７０が連結されている。パルスモータ７０でボールネジ６８を回転させれば、移動ブロック６６はガイドレール６４に沿ってＸ軸方向に移動する。

移動ブロック６６の上部には、オートブレードチェンジャ６０の筐体７２が固定されている。筐体７２の側方（切削ユニット１４側）には、ブレードマウント３８（スピンドル３６の先端部）に切削ブレード４６を取り付け、スピンドル３６の先端部から切削ブレード４６を取り外すブレード着脱ユニット（ブレード着脱手段）７４が設けられている。

図５（Ａ）は、ブレード着脱ユニット７４の構造を模式的に示す斜視図であり、図５（Ｂ）は、ブレード着脱ユニット７４の構造を模式的に示す一部断面平面図であり、図５（Ｃ）は、ブレード着脱ユニット７４を切削ユニット１４側から見た側面図である。

図５（Ａ）、図５（Ｂ）、及び図５（Ｃ）に示すように、ブレード着脱ユニット７４は、筐体７２から延出するアーム７６を備えている。アーム７６の先端部には、円柱状に形成された基台７８の第１底面７８ａ側が固定されている。

基台７８の第２底面７８ｂ側には、ブレード保持部８０が設けられている。ブレード保持部８０は、第２底面７８ｂの中央から突出する押圧ピン８０ａと、押圧ピン８０ａの周囲に配置され切削ブレード４６を把持する３個の爪８０ｂと、押圧ピン８０ａを付勢するコイルばね８０ｃと、を含む。

このように構成されたオートブレードチェンジャ６０（ブレード着脱ユニット７４）と切削ユニット１４とは、オートブレードチェンジャ移動機構６２と切削ユニット移動機構１８とにより相対的に移動する。

具体的には、オートブレードチェンジャ６０と切削ユニット１４とは、切削ユニット１４に対して切削ブレード４６を着脱可能な着脱位置と、着脱位置よりも互いに離間した離間位置との間で移動する。

離間位置に位置付けられたオートブレードチェンジャ６０と対向する位置には、図１に示すように、使用前又は使用後の複数の切削ブレード４６を収容可能なブレードラック８２が配置されている。

ブレードラック８２に収容されている切削ブレード４６は、例えば、オートブレードチェンジャ６０によって搬出されて、ブレードマウント３８に装着される。また、ブレードマウント３８に装着されている切削ブレード４６は、オートブレードチェンジャ６０のブレード保持部８０でスピンドルから取り外されて、ブレードラック８２に収容される。

図１に示すように、基台４の上面には、オペレータによる各種の指示（指令）が入力される操作パネル（入力手段）８４が設けられている。また、Ｘ軸移動機構、チャックテーブル１０、切削ユニット１４、切削ユニット移動機構１８、圧力計５６、オートブレードチェンジャ６０、オートブレードチェンジャ移動機構６２、操作パネル８４等の各構成要素は、制御装置（制御手段）８６に接続されている。

図６は、制御装置８６の構成例を模式的に示すブロック図である。なお、図６では、制御装置８６に関する接続関係の一部を併せて例示している。本実施形態に係る切削装置２では、例えば、ブレードマウント３８に切削ブレード４６を装着する旨の指示（装着指令）が操作パネル８４に入力されると、制御装置８６は、圧力計５６により流路３８ｂ、流路３６ａ、流路３４ｂ、及び配管５２の内部の圧力を測定する。

制御装置８６は、各種の情報を記憶可能な記憶部８６ａを備えており、圧力計５６から送られた測定値（測定結果）は、この記憶部８６ａに記憶される。また、制御装置８６は、圧力計５６から送られた測定値を基に、ブレードマウント３８に切削ブレード４６が装着されているか否かを判定する判定部８６ｂを備えている。

判定部８６ｂは、圧力計５６から送られた測定値を、あらかじめ記憶部８６ａに記憶されている判定用の基準値（閾値）と比較する。判定用の基準値は、ブレードマウント３８に切削ブレード４６が装着された状態の流路３８ｂ、流路３６ａ、流路３４ｂ、及び配管５２の内部の圧力に対応して設定される。

例えば、測定値が判定用の基準値より大きい場合、判定部８６ｂは、ブレードマウント３８に切削ブレード４６が装着されていないと判定する。一方、測定値が判定用の基準値以下の場合、判定部８６ｂは、ブレードマウント３８に切削ブレード４６が装着されていると判定する。

このように、圧力計５６、記憶部８６ａ、及び判定部８６ｂは、ブレードマウント３８に装着された切削ブレード４６の有無を検出するブレード検出機構（ブレード検出手段）として機能する。

ブレードマウント３８に切削ブレード４６が装着されていないと判定された場合、制御装置８６は、切削ユニット移動機構１８、オートブレードチェンジャ６０、及びオートブレードチェンジャ移動機構６２を制御して、ブレードマウント３８に切削ブレード４６を装着する。

これに対して、ブレードマウント３８に切削ブレード４６が装着されていると判定された場合、制御装置８６は、ブレードマウント３８に切削ブレード４６を装着することなく、警報装置（警報手段）８８で警報を発する。

以上のように、本実施形態に係る切削装置２は、ブレードマウント３８（スピンドル３６の先端部）に装着された切削ブレード４６の有無を検出するブレード検出機構（ブレード検出手段）と、警報を発する警報装置（警報手段）８８と、を備え、操作パネル（入力手段）８４に対して切削ブレード４６をブレードマウント３８に装着する旨の指示（装着指令）が入力されると、制御装置（制御手段）８６は、ブレード検出機構で切削ブレード４６が検出されない場合に指示の内容を実行し、ブレード検出機構で切削ブレード４６が検出される場合に指示の内容を実行せず警報装置８８で警報を発するように構成されている。

よって、ブレードマウント３８に切削ブレード４６が装着された状態で誤って装着の指示を入力した場合でも、切削装置２が破損することはない。このように、本実施形態に係る切削装置２によれば、切削ブレード４６の交換作業を任意の工程から開始しても、オペレータの不注意等に起因する問題の発生を防止できる。

なお、上記実施形態に係る構成、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

２ 加工装置
４ 基台
４ａ 開口
６ Ｘ軸移動テーブル
８ 防塵防滴カバー
１０ チャックテーブル
１０ａ 保持面
１２ クランプ
１４ 切削ユニット（切削手段）
１６ 支持構造
１８ 切削ユニット移動機構（移動手段）
２０ Ｙ軸ガイドレール
２２ Ｙ軸移動プレート
２４ Ｙ軸ボールネジ
２６ Ｚ軸ガイドレール
２８ Ｚ軸移動プレート
３０ Ｚ軸ボールネジ
３２ Ｚ軸パルスモータ
３４ スピンドルハウジング
３４ａ 収容空間
３４ｂ 流路（吸引流路）
３６ スピンドル
３６ａ 流路（吸引経路）
３８ ブレードマウント
３８ａ 貫通穴
３８ｂ 流路（吸引経路）
４０ フランジ部
４０ａ 支持面
４０ｂ 吸引口
４２ ボス部
４４ ナット
４６ 切削ブレード
４８ 基台（ハブ基台）
４８ａ 貫通穴
４８ｂ 裏面（接触面）
５０ 切り刃
５２ 配管（吸引流路）
５４ 吸引源
５６ 圧力計（ブレード検出手段）
６０ オートブレードチェンジャ
６２ オートブレードチェンジャ移動機構（移動手段）
６４ ガイドレール
６６ 移動ブロック
６８ ボールネジ
７０ パルスモータ
７２ 筐体
７４ ブレード着脱ユニット（ブレード着脱手段）
７６ アーム
７８ 基台
７８ａ 第１底面
７８ｂ 第２底面
８０ ブレード保持部
８０ａ 押圧ピン
８０ｂ 爪
８０ｃ コイルばね
８２ ブレードラック
８４ 操作パネル（入力手段）
８６ 制御装置（制御手段）
８６ａ 記憶部（ブレード検出手段）
８６ｂ 判定部（ブレード検出手段）
８８ 警報装置（警報手段）

Claims (2)

1. 被加工物を保持するチャックテーブルと、
   回転駆動されるスピンドルと該スピンドルの先端部に装着される切削ブレードとを有し該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削手段と、
   該切削ブレードを保持するブレード保持部を有し該スピンドルの先端部に対して該切削ブレードを着脱するブレード着脱手段と、
   該切削ブレードを着脱可能な着脱位置と該着脱位置よりも互いに離間した離間位置との間で該切削手段と該ブレード着脱手段とを相対的に移動させる移動手段と、
   該離間位置に位置付けられた該ブレード着脱手段に対応して配置され使用前又は使用後の複数の該切削ブレードを収容可能なブレードラックと、
   各種の指令が入力される入力手段と、
   各部の動きを制御する制御手段と、
   該スピンドルの先端部に装着された該切削ブレードの有無を検出するブレード検出手段と、
   所定の警報を発する警報手段と、を備え、
   該入力手段に対して該ブレード着脱手段で該切削ブレードを該スピンドルの先端部に装着する旨の装着指令が入力されると、該制御手段は、該ブレード検出手段で該切削ブレードが検出されない場合に該装着指令の内容を実行し、該ブレード検出手段で該切削ブレードが検出される場合に該装着指令の内容を実行せず該警報手段で警報を発することを特徴とする切削装置。
2. 該切削手段は、円盤状のフランジ部と該フランジ部から突出したボス部とを有し該スピンドルの先端部に固定されるブレードマウントを備え、
   該切削ブレードは、該フランジ部に接触する接触面を有し中央部に該ブレードマウントの該ボス部が挿入される貫通穴が形成された円盤状の基台と該基台の外周部に形成された切り刃とを含み、
   該ブレードマウントは、該切削ブレードの該基台の該接触面側を吸引する吸引手段を備え、
   該吸引手段は、該基台の該接触面側を支持する該フランジ部の支持面側に開口した吸引口と、負圧を発生させる吸引源と、該吸引口と該吸引源とを繋ぐ吸引経路と、該吸引経路に設けられ該吸引経路内の圧力を測定して測定結果を該制御手段に送る圧力計と、を備え、
   該制御手段は、該ブレードマウントに該切削ブレードが保持された状態の該吸引経路内の圧力に対応して設定される基準値と、該圧力計から送られる該測定結果と、を記憶する記憶部と、該記憶部に記憶された該基準値と該測定結果とから該スピンドルの先端部に該切削ブレードが装着されているか否かを判定する判定部と、を備え、
   該ブレード検出手段は、該圧力計と該記憶部と該判定部とから構成されることを特徴とする請求項１に記載の切削装置。

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