JP5139720B2 - 切削装置 - Google Patents
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Description
該ブレードマウントは、外周部側面に該切削ブレードを挟持する挟持面を有するとともに該超音波振動子を収容する超音波振動子収容部を備えた円環状のフランジ部と、該フランジ部の中心部から側方に突出して形成され該回転スピンドルに嵌合する嵌合穴を備えた円筒状の装着部とからなり、該円環状のフランジ部には該超音波振動子収容部と該装着部との間に複数の貫通穴が形成されており、
該ブレード挟持フランジは、中央部に該ブレードマウントの装着部に嵌合する嵌合穴が形成され、外周部側面に該切削ブレードを挟持する挟持面を有するとともに超音波振動子を収容する超音波振動子収容部を備え、該超音波振動子収容部と該嵌合穴との間に複数の貫通穴が形成されている、
ことを特徴とする切削装置が提供される。
カセット載置テーブル14上に載置されたカセット15の所定位置に収容されている被加工物Wは、図示しない昇降手段によってカセット載置テーブル14が上下動することにより搬出位置に位置付けられる。次に、搬出手段17が進退作動して搬出位置に位置付けられた被加工物Wを仮置きテーブル16上に搬出する。仮置きテーブル16に搬出された被加工物Wは、第1の搬送手段18の旋回動作によって上記チャックテーブル3上に搬送される。チャックテーブル3上に被加工物Wが載置されたならば、図示しない吸引手段が作動して被加工物Wをチャックテーブル3上に吸引保持する。また、被加工物Wを保護テープTを介して支持する支持フレームFは、上記クランプ33によって固定される。このようにして被加工物Wを保持したチャックテーブル3は、撮像手段12の直下まで移動せしめられる。チャックテーブル3が撮像手段12の直下に位置付けられると、撮像手段12によって被加工物Wに形成されているストリートが検出され、スピンドルユニット4を割り出し方向である矢印Y方向に移動調節してストリートと切削ブレード43との精密位置合わせ作業が行われる。
3:チャックテーブ
4:スピンドルユニット
41:スピンドルハウジング
42:回転スピンドル
43:切削ブレード
5:ブレードマウント
51:フランジ部
52:装着部
6:ブレード挟持フランジ
8a:第1の超音波振動子
81a:圧電体
82a、83a:電極板
84a:絶縁体
8b:第1の超音波振動子
81b:圧電体
82b、83b:電極板
84b:絶縁体
9:電圧印加手段
91:受電手段
912:受電コイル
92:給電手段
922:給電コイル
93:交流電源
94:周波数変換器
90:電圧印加手段
97:発電コイル
99:永久磁石
12:アライメント手段
13:表示手段
14:カセット載置テーブル
15:カセット
16:仮置きテーブル
17:搬出手段
18:第1の搬送手段
19:第2の搬送手段
20:洗浄搬送手段
Claims (2)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを備えた切削手段とを含み、該切削手段がスピンドルハウジングに回転可能に支持された回転スピンドルと、該回転スピンドルの端部に装着され該切削ブレードに超音波振動を付与する超音波振動子が配設されるブレードマウントと、該ブレードマウントに配設され該ブレードマウントとによって該切削ブレードを挟持するとともに該切削ブレードに超音波振動を付与する超音波振動子が配設されるブレード挟持フランジとを具備している切削装置において、
該ブレードマウントは、外周部側面に該切削ブレードを挟持する挟持面を有するとともに該超音波振動子を収容する超音波振動子収容部を備えた円環状のフランジ部と、該フランジ部の中心部から側方に突出して形成され該回転スピンドルに嵌合する嵌合穴を備えた円筒状の装着部とからなり、該円環状のフランジ部には該超音波振動子収容部と該装着部との間に複数の貫通穴が形成されており、
該ブレード挟持フランジは、中央部に該ブレードマウントの装着部に嵌合する嵌合穴が形成され、外周部側面に該切削ブレードを挟持する挟持面を有するとともに超音波振動子を収容する超音波振動子収容部を備え、該超音波振動子収容部と該嵌合穴との間に複数の貫通穴が形成されている、
ことを特徴とする切削装置。 - 該ブレードマウントの該挟持面と該ブレード挟持フランジの該挟持面には、それぞれ密着部材が装着されている、請求項1の切削装置。
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