CN109216233A - 刀具装卸治具、刀具装卸方法、刀具取出方法和切削装置 - Google Patents

Abstract

提供刀具装卸治具、刀具装卸方法、刀具取出方法和切削装置，不用手接触刀具而将刀具安装在凸缘上或将刀具从凸缘拆卸。刀具装卸治具(7)用于对切削装置(1)的凸缘(61)装卸刀具(60)，切削装置具有：凸缘，其固定在主轴(66)前端，具有凸台部(610)、刀具安装部(611)和环状端面(611b)；和按压部(65)，其对刀具进行固定，刀具装卸治具具有：圆柱状的主体部(70)，其在与刀具安装部相同直径的前端部分(70a)形成有嵌合于凸台部的凹部(700)；把持部(74)，其与主体部连结；第一空气喷出口(71)，其形成在主体部的前端部分；第二空气喷出口(72)，其形成在主体部与把持部的连接部分；第一连通路径(75)，其使第一空气喷出口与空气源(79)连通；和第二连通路径(76)，其使第二空气喷出口与空气源连通。

Description

刀具装卸治具、刀具装卸方法、刀具取出方法和切削装置

技术领域

本发明涉及用于对切削装置的凸缘装卸刀具的治具和方法、将刀具从容器中取出的方法以及对半导体晶片等被加工物进行切削的切削装置。

背景技术

在使旋转的切削刀具切入晶片而进行切削的切削装置(例如，参照专利文献1)中，在能够旋转的主轴的前端部安装有凸缘，切削刀具能够对凸缘进行装卸。

专利文献1：日本特开2013-222834号公报

在将切削刀具对凸缘进行装卸时，作业者用手把持切削刀具的一部分而进行对凸缘的装卸作业。因此，产生如下的问题：根据把持着刀具的力的施加情况，会使切削刀具破损。例如，与轮毂型的切削刀具不同，垫圈型的切削刀具不具有安装支承部而是仅由切刃构成，因此在装卸时发生破损的可能性更高。另外，刃厚较薄的刀具也同样有可能在装卸时发生破损。

由此，存在如下的课题：使作业者能够不直接用手接触切削刀具而将刀具安装在凸缘上或者将刀具从凸缘拆卸。

发明内容

本发明的目的在于提供刀具装卸治具、刀具装卸方法、刀具取出方法和切削装置，使作业者能够不直接用手接触切削刀具而将刀具安装在凸缘上或者将刀具从凸缘拆卸。

用于解决上述课题的本发明为刀具装卸治具，其用于对切削装置的凸缘装卸刀具，该切削装置至少具有：所述凸缘，其固定在主轴的前端，具有凸台部、供所述刀具嵌合并安装的刀具安装部以及对刀具进行支承的环状的端面；以及按压部，其与该凸缘一起对该刀具进行夹持而固定，其中，该刀具装卸治具至少具有：圆柱状的主体部，其在与该刀具安装部为相同直径的前端部分形成有与该凸台部嵌合的凹部；把持部，其与该主体部连结，具有比该主体部大的直径；多个第一空气喷出口，它们形成在该主体部的前端部分；多个第二空气喷出口，它们形成在该主体部与该把持部的连接部分；第一连通路径，其借助控制部使该第一空气喷出口与空气源连通；以及第二连通路径，其借助该控制部使该第二空气喷出口与该空气源连通。

优选所述刀具装卸治具还具有空气引导单元，该空气引导单元至少具有空气引导面，该空气引导面能够定位在从所述第二空气喷出口向径向外侧喷出的空气的行进方向上。

用于解决上述课题的本发明为刀具装卸方法，该方法使用所述刀具装卸治具，其中，在将所述刀具装卸治具的主体部所保持的刀具安装至所述凸缘时，具有如下的步骤：定位步骤，使所述凹部嵌合在所述凸台部上，使该主体部和所述刀具安装部连结而定位在同轴上；安装空气喷出步骤，使空气从所述第一空气喷出口瞬间喷出；以及移动步骤，利用产生在该刀具与该凸缘之间的负压使该刀具移动至该刀具安装部。

用于解决上述课题的本发明为刀具装卸方法，使用所述刀具装卸治具，其中，在将所述刀具安装部所保持的刀具拆卸时，具有如下的步骤：定位步骤，使所述凹部嵌合在所述凸台部上，使该主体部与该刀具安装部连结而定位在同轴上；拆卸空气喷出步骤，使空气从所述第二空气喷出口瞬间喷出；以及移动步骤，利用产生在该刀具与所述把持部之间的负压使该刀具移动至该主体部。

用于解决上述课题的本发明为刀具取出方法，使用具有所述空气引导单元的刀具装卸治具从以单面露出的状态收纳有所述刀具的收纳容器中将该刀具取出，其特征在于，该刀具取出方法具有如下的步骤：定位步骤，使所述主体部与该刀具的安装孔连结而定位在同轴上；取出空气喷出步骤，使空气从所述第二空气喷出口向径向外侧喷出；引导步骤，通过所述空气引导面将所喷出的空气的方向引导成朝向该刀具的方向；以及移动步骤，通过产生在该刀具与所述把持部之间的负压以及进入至该收纳容器与该刀具之间的空气，使该刀具移动至该主体部。

另外，用于解决上述课题的本发明为切削装置，其具有：凸缘，其固定在主轴的前端，具有凸台部、供刀具嵌合并安装的刀具安装部以及对刀具进行支承的环状的端面；按压部，其与该凸缘一起对该刀具进行夹持而固定；以及自动刀具更换机构，其对该凸缘自动地装卸刀具，该切削装置的特征在于，该自动刀具更换机构至少包含：刀具架，其分别对使用前的刀具和使用后的刀具进行收纳；以及臂，其在该刀具架与该主轴之间旋转移动，在该臂的端部配设有所述刀具装卸治具和该按压部的装卸单元。

本发明的刀具装卸治具至少具有：圆柱状的主体部，其在与刀具安装部为相同直径的前端部分形成有与凸台部嵌合的凹部；把持部，其与主体部连结，具有比主体部大的直径；多个第一空气喷出口，它们形成在主体部的前端部分；多个第二空气喷出口，它们形成在主体部与把持部的连接部分；第一连通路径，其借助控制部使第一空气喷出口与空气源连通；以及第二连通路径，其借助控制部使第二空气喷出口与空气源连通，因此使空气从多个第一空气喷出口喷出，从而产生基于伯努利定理的负压，通过该负压能够以非接触的方式将刀具安装在凸缘上，或者使空气从多个第二空气喷出口喷出，从而产生基于伯努利定理的负压，通过该负压能够以非接触的方式将刀具从凸缘拆卸，因此在装卸作业时，作业者不与刀具直接接触即可完成，另外力不会集中施加于刀具的一点而进行装卸作业，因此能够防止产生刀具的破损。

另外，刀具装卸治具还具有空气引导单元，该空气引导单元至少具有空气引导面，该空气引导面能够定位在从第二空气喷出口向径向外侧喷出的空气的行进方向上，从而能够以非接触的方式将刀具从以单面露出的状态收纳有刀具的收纳容器中取出，能够进一步防止在将收纳于收纳容器的刀具安装至凸缘的期间产生刀具的破损。

本发明的刀具装卸方法使用所述刀具装卸治具，在将刀具装卸治具的主体部所保持的刀具安装在凸缘时，具有如下的步骤：定位步骤，使凹部嵌合在凸台部上，使主体部和刀具安装部连结而定位在同轴上；安装空气喷出步骤，使空气从第一空气喷出口瞬间喷出；以及移动步骤，利用产生在刀具与凸缘之间的负压使刀具移动至刀具安装部，从而通过负压能够以非接触的方式将刀具安装在凸缘上。

另外，本发明的刀具装卸方法使用所述刀具装卸治具，在将刀具安装部所保持的刀具拆卸时，具有如下的步骤：定位步骤，使凹部嵌合在凸台部上，使主体部与刀具安装部连结而定位在同轴上；拆卸空气喷出步骤，使空气从第二空气喷出口瞬间喷出；以及移动步骤，利用产生在刀具与把持部之间的负压使刀具移动至主体部，从而通过负压能够以非接触的方式将刀具从凸缘拆卸。

使用本发明的具有空气引导单元的刀具装卸治具将刀具从以单面露出的状态收纳有刀具的收纳容器中取出的刀具取出方法实施如下的步骤：定位步骤，使主体部与刀具的安装孔连结而定位在同轴上；取出空气喷出步骤，使空气从第二空气喷出口向径向外侧喷出；引导步骤，通过空气引导面将所喷出的空气的方向引导成朝向刀具的方向，从而在之后的移动步骤中，能够通过产生在刀具与把持部之间的负压以及进入至收纳容器与刀具之间的空气以非接触的方式使刀具移动至主体部。

本发明的切削装置具有自动刀具更换机构，该自动刀具更换机构至少包含：刀具架，其分别对使用前的刀具和使用后的刀具进行收纳；以及臂，其在刀具架与主轴之间旋转移动，在臂的端部配设有所述刀具装卸治具和按压部的装卸单元，因此在装卸作业时作业者不与刀具直接接触即可完成，另外力不会集中施加于刀具的一点而自动进行装卸作业，因此能够防止产生刀具的破损，并且能够高效地进行刀具的装卸作业。

附图说明

图1是示出切削装置的一例的立体图。

图2是示出切削单元的一例的分解立体图。

图3是示出切削单元的一例的立体图。

图4是示出刀具装卸治具的外形的一例的立体图。

图5是示意性示出刀具装卸治具的构造的剖视图。

图6是示出使用刀具装卸治具将刀具向凸缘安装的状态的剖视图。

图7是示出使用刀具装卸治具将刀具从凸缘拆卸的状态的剖视图。

图8是示出在凸缘上未安装刀具的状态下的与控制部连接的光传感器的动作的示意性剖视图。

图9是示出在凸缘上安装有刀具的状态下的与控制部连接的光传感器的动作的示意性剖视图。

图10是示出具有空气引导单元的刀具装卸治具的一例的立体图。

图11是示出将空气引导单元的空气引导面定位于从第二空气喷出口向径向外侧喷出的空气的行进方向上的状态下的刀具装卸治具的立体图。

图12是示出以单面露出的状态收纳有刀具的收纳容器的一例的立体图。

图13是示意性示出从与刀具的安装孔连结的状态的主体部的第二空气喷出口向径向外侧喷出空气而将刀具从收纳容器中取出的状态的侧视图。

图14是示意性示出将从收纳容器中取出的刀具保持在主体部的状态的侧视图。

图15是示意性示出使用具有空气引导单元的刀具装卸治具将刀具向凸缘安装的状态的侧视图。

图16是示意性示出使用具有空气引导单元的刀具装卸治具将刀具从凸缘拆卸的状态的侧视图。

图17是示出切削装置所具有的自动刀具更换机构的一例的立体图。

图18是示出刀具装卸治具所具有的空气引导单元的另一例的立体图。

标号说明

1：切削装置；E1：装卸区域；E2：切削区域；10：升降机构；11：晶片盒；12：搬入搬出单元；13：暂放区域；14：对位单元；15a：第一搬送单元；15b：第二搬送单元；16：清洗单元；17：对准单元；170：拍摄单元；19：输入单元；30：卡盘工作台；30a：保持面；31：罩；31a：波纹罩；6：切削单元；60：刀具；600：安装孔；601：切刃；66：主轴；66a：螺纹孔；62：主轴壳体；61：凸缘；610：凸台部；610c：外螺纹；611：凸缘部；611a：刀具安装部；611b：环状的端面；612：嵌合孔；65：按压部；650：中央孔；64：凸缘固定螺栓；64a：平垫圈；63：刀具固定螺母；7：刀具装卸治具；70：主体部；70a：主体部的前端部分；70b：主体部的后端；70d：主体部的侧面；700：凹部；71：第一空气喷出口；72：第二空气喷出口；75：第一连通路径；750：内部流路；751：树脂管；752：T字管；753：第一阀体；755：接头管；76：第二连通路径；760：内部流路；761：树脂管；763：第二阀体；765：接头管；79：空气源；74：把持部；740：把持部的前表面；741：把持部的背面；9：控制部；97：光传感器；971：投射部；972：受光部；7A：刀具装卸治具；73：辅助板；730：辅助板的开口；739：固定螺钉；73A：按压单元；77：弹性部件；78：空气引导单元(空气引导部件)；780：空气引导单元的前端；781：空气引导面；2：收纳容器；20：收纳部；200：底板；201：侧壁；202：收纳区域；203：第一凸部；204：第二凸部；205：第一爪部；21：盖部；210：顶板；211：侧壁；212：凹部；213：第二爪部；22：铰链部；180：分隔壁；181：托架；182：分隔壁；183：开闭罩；8：自动刀具更换机构；80：刀具架；800：框体；801：可动体；801a：第一保持轴；801b：第二保持轴；81：刀具更换单元；810：臂；811：装卸单元(装卸部)；813：驱动源；814：活塞气缸；78A：空气引导单元(空气引导部件)；786：贯穿***孔；786：流路；788：空气引导面。

具体实施方式

图1所示的切削装置1是通过切削单元6对卡盘工作台30所保持的晶片实施切削加工的装置。

在切削装置1的前表面侧(-Y方向侧)具有晶片盒11，该晶片盒11设置在沿Z轴方向往复移动的升降机构10上。晶片盒11收纳有多张半导体晶片等晶片。在晶片盒11的后方(+Y方向侧)配设有搬入搬出单元12，其对晶片盒11进行晶片的搬入搬出。在晶片盒11与搬入搬出单元12之间设置有暂放区域13，其用于临时载置搬入搬出对象的晶片，在暂放区域13配设有使晶片对位于一定的位置的对位单元14。

在暂放区域13的附近，在卡盘工作台30与暂放区域13之间配设有对晶片进行搬送的第一搬送单元15a。被第一搬送单元15a吸附的晶片从暂放区域13搬送至卡盘工作台30。

在第一搬送单元15a的附近配设有对切削加工后的晶片进行清洗的清洗单元16。另外，在清洗单元16的上方配设有第二搬送单元15b，其对切削加工后的晶片进行吸附并从卡盘工作台30搬送至清洗单元16。在切削装置1的前方侧配设有输入单元19，其用于供作业者对切削装置1输入加工条件等。

卡盘工作台30例如其外形为圆形状，具有保持面30a，该保持面30a与未图示的吸引源连通而对晶片进行吸引保持。卡盘工作台30被罩31从周围包围，并被支承为能够通过未图示的旋转单元进行旋转。

卡盘工作台30能够通过配设在罩31和与罩31连结的波纹罩31a的下方的未图示的切削进给单元在装卸区域E1与切削区域E2之间沿X轴方向往复移动，其中，装卸区域E1是进行晶片的装卸的区域，切削区域E2是利用切削单元6进行晶片的切削的区域。

在卡盘工作台30的移动路径的上方配设有对准单元17，其对晶片的要切削的分割预定线进行检测。对准单元17具有对晶片的正面进行拍摄的拍摄单元170，能够根据拍摄单元170所获取的图像来检测要进行切削的晶片的分割预定线。

在对准单元17的附近配设有切削单元6，其在切削区域E2内对卡盘工作台30所保持的晶片实施切削加工。切削单元6与对准单元17一体地构成，两者联动而在Y轴方向和Z轴方向上移动。

图2是切削单元6的分解立体图，图3是示出已组装的状态的切削单元6的立体图。构成图2所示的切削单元6的刀具60例如是外形为环状的垫圈型的无轮毂刀具，该刀具60具有：形成在中央的安装孔600；和切刃601。

在构成切削单元6的主轴壳体62中以能够旋转的方式收纳有主轴66，其具有Y轴方向的轴心，通过未图示的电动机被旋转驱动。主轴66的前端从主轴壳体62向前方(-Y方向侧)突出，能够安装凸缘61。在主轴66的前端设置有螺纹孔66a。

固定于主轴66的前端的凸缘61具有：凸台部610，其按照规定的厚度朝向-Y方向突出；以及凸缘部611，其从凸台部610的后端向径向外侧突出而形成。凸台部610的直径形成得比凸缘部611小，在凸台部610的侧面形成有外螺纹610c。

在凸缘部611的前表面(-Y方向侧的面)上，按照朝向-Y方向侧突出的方式形成有供刀具60嵌合并安装的刀具安装部611a，凸缘部611的前表面因该刀具安装部611a而成为形成有一阶环状的阶部的状态。凸缘部611的前表面的低一阶的外周侧的环状的端面611b成为对刀具60进行支承的面。环状的端面611b成为与刀具60的直径等对应的规定的大小。刀具安装部611a的外径形成得略微小于刀具60的安装孔600。

在凸缘61的中心朝向厚度方向(Y轴方向)贯通形成有供主轴66嵌合的嵌合孔612。

切削单元6具有按压部65，其与凸缘61一起夹持刀具60而进行固定。所谓按压部65即是装卸凸缘，其具有环状的外形且具有供凸台部610***的中央孔650。

在主轴66插嵌在凸缘61的嵌合孔612中之后，将贯穿***于平垫圈64a中的凸缘固定螺栓64螺合在主轴66的螺纹孔66a中，从而能够将凸缘61安装在主轴66上。另外，当在刀具60的安装孔600中***凸缘61的凸台部610并嵌合刀具安装部611a时，凸台部610成为从刀具60向-Y方向侧突出的状态。接着，将按压部65***至凸台部610，然后使刀具固定螺母63与凸台部610的外螺纹610c螺合而紧固，从而刀具60被按压部65的背面(+Y方向侧的面)和凸缘61的凸缘部611的环状端面611b从Y轴方向两侧夹持而固定，成为安装在主轴66上的状态，即成为如图3所示那样组装成切削单元6的状态。并且，刀具60成为随着主轴66(在图3中未图示)被未图示的电动机旋转驱动而能够高速旋转的状态。

将切削单元6在如图3所示那样组装完成的状态下配设在图1所示的切削装置1中，并且将按照从上方跨越刀具60的方式对刀具60进行覆盖的未图示的刀具罩安装在主轴壳体62上。

另外，切削单元6所具有的刀具60并不限于垫圈型的无轮毂刀具，例如可以为具有铝制的基台和形成在基台外周侧的环状的切刃的轮毂刀具。在刀具60为轮毂刀具的情况下，作为与凸缘61一起对刀具60进行夹持固定的按压部，图2所示的刀具固定螺母63起到该作用。

(刀具装卸治具的实施方式1)

图4所示的刀具装卸治具7是用于将刀具60安装在图2所示的凸缘61上或者将刀具60从凸缘61拆卸的治具。刀具装卸治具7至少具有：圆柱状的主体部70，其在与图2所示的刀具安装部611a相同直径的前端部分70a形成有凹部700，该凹部700与凸台部610嵌合；把持部74，其与主体部70连结且具有比主体部70大的直径；多个第一空气喷出口71，它们形成在主体部70的前端部分70a；多个第二空气喷出口72，它们形成在主体部70与把持部74的连接部分；第一连通路径75，其借助控制部9使第一空气喷出口71与空气源79连通；以及第二连通路径76，其借助控制部9使第二空气喷出口72与空气源79连通。

外形为圆柱状的主体部70例如由通用工程塑料或硬质橡胶等制成。主体部70例如可以通过对厚度方向(图4中的Z轴方向)的中间位置进行缩径而形成有缩颈部70c。另外，缩颈部70c也可以不形成在主体部70，另外，缩颈部70c的直径根据刀具60的安装孔600的直径设定为适当的值。

凹部700是将主体部70的前端部分70a的中央区域沿厚度方向呈圆柱状切除而形成的，其直径略微大于图2所示的凸台部610的直径。前端部分70a成为围绕凹部700的形状(环状凸形)。凹部700的深度例如成为如下的深度：凸台部610能够进入至凹部700直至该凸台部610的根部为止，但并不限于此。

在主体部70的前端部分70a，沿周向隔开等间隔(120°间隔)地配设有例如三个第一空气喷出口71。第一空气喷出口71按照跨越前端部分70a的环状端面701和主体部70的侧面70d的方式开口，即，按照在前端部分70a的棱线上跨越的方式开口。另外，第一空气喷出口71的配设个数并不限于三个，例如可以为四个。

在主体部70的后端70b连接有把持部74，其具有比主体部70大的直径。把持部74例如是由通用工程塑料或合成树脂等制成的圆盘。在本实施方式中，把持部74与主体部70一体地形成，但把持部74也可以利用未图示的固定螺钉等固定于主体部70的后端70b从而能够进行拆卸，或者也可以利用粘接剂进行粘接。在利用刀具装卸治具7进行刀具60的装卸作业时作业者能够对把持部74进行把持，从而使用刀具装卸治具7时的处理变得容易。

在主体部70与把持部74的连接部分沿周向隔开等间隔(120°间隔)且与第一空气喷出口71错开而配设有例如三个(在图4中仅图示出两个)第二空气喷出口72。另外，第二空气喷出口72的配设个数并不限于三个，例如可以为四个。第二空气喷出口72在主体部70的侧面70d的根部部分开口，从而能够朝向主体部70的径向外侧喷出压缩空气。

如图4、图5所示，例如以虚线表示的内部流路750分别从各第一空气喷出口71朝向主体部70的后端70b侧延伸，各内部流路750的一端通过主体部70的后端70b并且贯通把持部74而在把持部74的背面741分别开口。

在把持部74的背面741开口的各内部流路750的一端借助未图示的密封部件或接头等与具有挠性的树脂管751的一端连接，树脂管751与内部流路750连通。

各树脂管751借助接头管755合流而成为一体，接头管755的另一端与T字管752所具有的第一阀体753连接。在T字管752的另一端连接有空气源79，其由压缩机等构成，能够提供高压的空气。第一连通路径75由上述内部流路750、树脂管751、第一阀体753以及T字管752构成。另外，可以在第一连通路径75上形成有使在第一连通路径75内通过的空气加速的节流孔等。第一阀体753例如为螺线管(电磁)阀，具有对树脂管751与T字管752连通的状态(开状态)和不连通的状态(关状态)进行切换的功能。并且，在第一阀体753上电连接有控制部9，其对第一阀体753进行通电并进行切换开闭的控制。另外，第一阀体753并不限于螺线管阀，也可以是通过按下按钮而打开内部的阀的按钮式的开关阀。

例如以单点划线表示的内部流路760分别从各第二空气喷出口72朝向把持部74的背面741延伸，各内部流路760的一端分别在把持部74的背面741开口。在该内部流路760的一端借助未图示的密封部件或接头等与具有挠性的树脂管761的一端连接，树脂管761与内部流路760连通。

各树脂管761借助接头管765合流而成为一体，接头管765的另一端与T字管752所具有的第二阀体763连接。第二连通路径76由上述内部流路760、树脂管761、第二阀体763以及T字管752构成。另外，可以在第二连通路径76上形成使在第二连通路径76内通过的空气加速的节流孔等。第二阀体763例如为螺线管(电磁)阀，具有对树脂管761与T字管752连通的状态(开状态)和不连通的状态(关状态)进行切换的功能。并且，在第二阀体763上电连接有控制部9，其对第二阀体763进行通电并进行切换开闭的控制。另外，第二阀体763并不限于螺线管阀，也可以是通过按下按钮而打开内部的阀的按钮式的开关阀。

(使用实施方式1的刀具装卸治具将刀具安装于凸缘)

以下，对在本发明的刀具装卸方法中使用图6所示的刀具装卸治具7将刀具60安装于凸缘61时的各步骤进行说明。

(1)定位步骤

图6中的切削单元6成为凸缘61已安装在主轴66上的状态。另外，刀具装卸治具7的主体部70穿过刀具60的安装孔600，刀具60以能够在主体部70的侧面70d上移动的状态被刀具装卸治具7保持。另外，成为在刀具装卸治具7的主体部70的侧面70d与刀具60的安装孔600之间设置有略微的间隙(游隙)的状态。作业者对刀具装卸治具7的把持部74进行把持而将刀具装卸治具7的前端部分70a定位成与凸缘61对置。并且，使刀具装卸治具7的凹部700嵌合在凸缘61的凸台部610上，从而成为主体部70和刀具安装部611a连结并将主体部70和凸缘61定位在同轴上的状态。主体部70的前端部分70a与刀具安装部611a的直径相同，因此主体部70的前端部分70a与刀具安装部611a的连结部位成为无起伏的平面状。

(2)安装空气喷出步骤

接着，在控制部9的控制下，能够利用空气源79经由第一连通路径75向第一空气喷出口71提供空气。即，从控制部9对第一阀体753进行通电而使第一阀体753成为打开的状态。另外，第二阀体763成为关闭的状态。并且，使空气源79进行动作而以少许时间向T字管752提供高压的压缩空气。该压缩空气通过T字管752、第一阀体753、树脂管751以及内部流路750而从第一空气喷出口71瞬间向外部喷出。

另外，在使第一阀体753为按钮式的开关阀的情况下，可以代替借助了控制部9的阀控制，由作业者按下按钮而将第一阀体753打开。

(3)移动步骤

从第一空气喷出口71瞬间喷出的空气在凸缘部611的环状的端面611b与刀具60的+Y方向侧的侧面之间沿放射方向高速流动而释放至大气中。因此，因伯努利效应产生将刀具60向+Y方向侧吸引的负压，刀具60通过该负压而从刀具装卸治具7移动至刀具安装部611a，刀具60嵌合在刀具安装部611a。另外，在图6中，以双点划线表示移动至刀具安装部611a之后的刀具60。

这样，本发明的刀具装卸方法在将主体部70所保持的刀具60安装在凸缘61时，具有如下的步骤：定位步骤，使刀具装卸治具7的主体部70的凹部700嵌合在凸台部610上，使主体部70与刀具安装部611a连结而定位在同轴上；安装空气喷出步骤，使空气从第一空气喷出口71瞬间喷出；以及移动步骤，利用产生在刀具60与凸缘61之间的负压使刀具60移动至刀具安装部611a，从而作业者不直接接触刀具60而通过负压以非接触的方式将刀具60安装在凸缘61上。

在使刀具60移动至刀具安装部611a之后，作业者对把持部74进行把持而将刀具装卸治具7从凸台部610朝向-Y方向侧拔出。并且，作业者将图2所示的按压部65***至凸台部610，然后使刀具固定螺母63与凸台部610的外螺纹610c螺合而紧固，从而刀具60成为随着主轴66被未图示的电动机旋转驱动而能够高速旋转的状态。

(使用实施方式1的刀具装卸治具将刀具从凸缘拆卸)

以下，对在本发明的刀具装卸方法中使用图7所示的刀具装卸治具7将刀具60从凸缘61拆卸时的各步骤进行说明。

(1)定位步骤

图7中的切削单元6成为图2所示的按压部65和刀具固定螺母63被拆卸且刀具60嵌合在刀具安装部611a的状态。首先，作业者对刀具装卸治具7的把持部74进行把持而将刀具装卸治具7的前端部分70a定位成与凸缘61对置。并且，使刀具装卸治具7的主体部70的凹部700嵌合在凸缘61的凸台部610，从而成为将主体部70和刀具安装部611a连结并将主体部70和凸缘61定位在同轴上(Y轴上)的状态。

(2)拆卸空气喷出步骤

接着，在控制部9的控制下，能够利用空气源79经由第二连通路径76向第二空气喷出口72提供空气。即，从控制部9对第二阀体763进行通电而使第二阀体763成为打开的状态。另外，第一阀体753成为关闭的状态。并且，使空气源79进行动作而以少许时间向T字管752提供高压的压缩空气。该压缩空气通过T字管752、第二阀体763、树脂管761以及内部流路760而从第二空气喷出口72瞬间向外部喷出。

另外，在使第二阀体763为按钮式的开关阀的情况下，可以代替借助了控制部9的阀控制，由作业者按下按钮而将第二阀体763打开。

(3)移动步骤

从第二空气喷出口72瞬间喷出的空气在刀具60的-Y方向侧的侧面与把持部74的前表面740之间沿放射方向高速流动而释放至大气中。因此，因伯努利效应而产生将刀具60向-Y方向侧吸引的负压，刀具60通过该负压从刀具安装部611a移动至刀具装卸治具7的主体部70，将刀具60从刀具安装部611a拆卸。另外，在图7中，以双点划线表示移动至主体部70之后的刀具60。

这样，本发明的刀具装卸方法在将刀具60从凸缘61拆卸时，具有如下的步骤：定位步骤，使刀具装卸治具7的主体部70的凹部700嵌合在凸台部610，使主体部70与刀具安装部611a连结而定位在同轴上；拆卸空气喷出步骤，使空气从第二空气喷出口72瞬间喷出；以及移动步骤，利用产生在刀具60与把持部74之间的负压使刀具60移动至主体部70，从而作业者能够不直接接触刀具60而通过负压以非接触的方式将刀具60从凸缘61拆卸。

本发明的刀具装卸治具7至少具有：圆柱状的主体部70，其在直径与刀具安装部611a相同的前端部分70a形成有与凸台部610嵌合的凹部700；把持部74，其与主体部70连结且具有比主体部70大的直径；多个第一空气喷出口71，它们形成在主体部70的前端部分70a；多个第二空气喷出口72，它们形成在主体部70与把持部74的连接部分；第一连通路径75，其借助控制部9使第一空气喷出口71与空气源79连通；以及第二连通路径76，其借助控制部9使第二空气喷出口72与空气源79连通，因此通过从第一空气喷出口71喷出空气而产生基于伯努利定理的负压，通过负压以非接触的方式将刀具60安装在凸缘61上，或者通过从第二空气喷出口72喷出空气而产生基于伯努利定理的负压，通过该负压以非接触的方式将刀具60从凸缘61拆卸，因此在装卸作业时作业者不直接接触刀具60即可完成，另外，力不会集中施加于刀具60的一点而进行装卸作业，因此能够防止产生刀具60的破损。

另外，本实施方式中的刀具装卸治具7构成为能够在作为无轮毂刀具的刀具60的装卸作业中使用，但也可以构成为能够在轮毂刀具的装卸作业中使用。

主体部70如图6所示那样形成有缩颈部70c，因此在刀具60的装卸作业时成为在缩颈部70c与刀具60之间产生有游隙的状态。因此，例如在进行刀具60对凸缘61的安装的情况下，当刀具60因负压而在主体部70的侧面70d上移动时，能够防止产生如下的情形：刀具60的侧面相对于移动方向(+Y方向)倾斜，从而导致刀具60卡住主体部70而无法移动。

控制部9所进行的第一连通路径75的开闭控制和第二连通路径76的开闭控制也可以通过与图8所示那样的光传感器97并用来实现。光传感器97是通过未图示的布线而与控制部9连接的透过型光传感器，其配设于对图1所示的切削单元6的刀具60进行覆盖的未图示的刀具罩等上。另外，光传感器97例如还作为对刀具的破损进行检测的刀具破损检测器进行动作，具有投射测量光的投射部971和接受测量光的受光部972。如图8所示，在刀具60未安装在凸缘61上的状态下，从投射部971投射的测量光例如向-Y方向直行而到达受光部972。另一方面，如图9所示，在刀具60安装在凸缘61上的状态下，从投射部971投射的测量光的一部分或全部被刀具60遮挡而不到达受光部972。

受光部972对测量光有无被刀具60遮光进行感知，该受光部972将与受光量对应的检测信号输出至控制部9。在控制部9中例如预先设定有关于受光量的阈值，即用于判断是否在凸缘61上安装有刀具60的阈值。并且，控制部9根据从受光部972送出的受光量值与该阈值的比较，能够选择性地进行如下的控制：当受光量值大于阈值时，将第一阀体753打开并且将第二阀体763关闭；当受光量值小于阈值时，将第一阀体753关闭并且将第二阀体763打开。

如图8所示，在刀具60未安装在凸缘61上的状态下，测量光不被刀具60遮挡，受光部972的受光量变大，因此成为通过控制部9将第一阀体753打开并且将第二阀体763关闭的状态，成为空气源79所提供的空气能够通过第一连通路径75到达第一空气喷出口71的状态。例如在之前所说明的将刀具60安装在凸缘61时的(1)定位步骤时，通过自动进行这样的控制来提高作业效率。

当在凸缘61上安装有刀具60时，受光部972的受光量减少，因此控制部9根据该受光量的变化判断为在凸缘61上安装有刀具60，将第一阀体753关闭。根据这样的受光量值的变化，控制部9进行控制，从而也能够同时进行对第一空气喷出口71所喷出的空气的提供时间的控制。

如图9所示，在刀具60安装在凸缘61上的状态下，测量光被刀具60遮挡，受光部972的受光量变得非常小，因此成为通过控制部9将第一阀体753关闭并且将第二阀体763打开的状态，成为空气源79所提供的空气能够通过第二连通路径76到达第二空气喷出口72的状态。例如在之前所说明的将刀具60从凸缘61拆卸时的(1)定位步骤时，通过自动进行这样的控制来提高作业效率。

当将刀具60从凸缘61拆卸时，受光部972的受光量增加，因此控制部9根据该受光量的变化判断为刀具60已从凸缘61上拆卸，将第二阀体763关闭。根据这样的受光量值的变化，控制部9进行控制，从而也能够同时进行对第二空气喷出口72所喷出的空气的提供时间的控制。

(刀具装卸治具的实施方式2)

关于图10所示的刀具装卸治具7A，其在图4所示的实施方式1的刀具装卸治具7中进一步具有：空气引导单元(空气引导部件)78，其至少具有空气引导面781，该空气引导面781能够定位在从第二空气喷出口72向径向外侧喷出的空气的行进方向上；辅助板73，其对空气引导单元78进行支承；以及弹性部件77，其能够使空气引导单元78在主体部70的厚度方向(图10中的Z轴方向)上进退。

由工程塑料等制成的辅助板73例如形成为圆环板状，具有比把持部74的直径稍大的外径，通过固定螺钉739安装在把持部74的背面741。另外，在具有空气引导单元78的刀具装卸治具7A中，通过对安装在把持部74的辅助板73或空气引导单元78进行把持，能够对刀具装卸治具7A进行操作。与把持部74的背面741连接的各树脂管751、761穿过辅助板73的中央的开口730。在辅助板73上沿周向隔开等间隔(120°间隔)地形成有三个固定螺钉插通孔。固定螺钉739例如成为如下的状态：该固定螺钉739的其下部与形成在把持部74的背面741的未图示的螺纹孔螺合，从固定螺钉739的长度方向的中部到螺钉头的区域从把持部74的背面741突出，从该中部至螺钉头之间的区域以具有间隙的方式嵌合在辅助板73的固定螺钉插通孔中。在辅助板73与把持部74之间形成有规定的间隙。

弹性部件77例如是从自然长度收缩而要复原的螺旋弹簧，其夹持在辅助板73的下表面与把持部74的背面741之间的间隙中，沿周向隔开等间隔(120°间隔)地配设有三个。另外，弹性部件77并不限于螺旋弹簧，也可以是橡胶柱等。如图10所示，在辅助板73未被朝向把持部74按压的状态下，弹性部件77的长度为自然长度。

空气引导单元78例如是将聚缩醛(POM)等合成树脂形成为圆筒状而得到的，其内侧面成为空气引导面781，该空气引导单元78嵌在辅助板73上并通过粘接剂等固定于辅助板73。如图10所示，固定于辅助板73的空气引导单元78成为从辅助板73的外周部分朝向-Z方向呈裙状垂下规定的长度的状态。并且，在辅助板73未被朝向把持部74按压、弹性部件77的长度为自然长度的状态下，空气引导单元78的前端780(图10中的下端)位于比主体部70的第二空气喷出口72靠+Z方向侧的位置，空气引导单元78成为不围绕主体部70的侧面70d和第二空气喷出口72的状态。

另外，空气引导单元78的内径设定得比图12所示的刀具60的外径大。

如图11所示，例如在辅助板73上连接有活塞气缸等按压单元73A，按压单元73A将辅助板73朝向把持部74按压，由此弹性部件77从自然长度收缩，空气引导单元78朝向主体部70的厚度方向(-Z方向)移动。其结果是，空气引导单元78的前端780位于比主体部70的第二空气喷出口72靠-Z方向侧的位置，空气引导单元78成为围绕第二空气喷出口72和主体部70的侧面70d的一部分的状态。另外，也可以代替按压单元73A，由作业者对辅助板73进行按压。

图12所示的收纳容器2具有：收纳部20，其对刀具60进行收纳；以及盖部21，其防止收纳在收纳部20的刀具60的脱落，该收纳容器2是能够对使用前的刀具60进行收纳的容器。

收纳部20和盖部21由聚丙烯等合成树脂透明(或半透明)地形成。另外，收纳部20和盖部21形成为将相邻的两个角部呈圆弧状切削而成的半矩形状，通过设置在未切口的那一侧的外周缘的铰链部22相互连结。

收纳部20具有底板200、以及从底板200的上表面的外周缘竖立设置的侧壁201。比该侧壁201靠内侧的位置成为对刀具60进行收纳的收纳区域202。在收纳区域202的中央设置有从底板200的上表面突出的圆盘状的第一凸部203。

第一凸部203的直径略微小于所收纳的刀具60的安装孔600的直径，在图12中，成为第一凸部203卡合在刀具60的安装孔600中的状态。即，按照使第一凸部203与刀具60的安装孔600卡合的方式，将刀具60收纳在收纳区域202并载置于底板200上，从而成为限制刀具60的径向上的移动的状态。第一凸部203的厚度与刀具60的厚度相同或略微大于刀具60的厚度。

在第一凸部203的中央设置有从第一凸部203进一步突出的圆盘状的第二凸部204。第二凸部204的直径小于第一凸部203的直径，第二凸部204的中心与第一凸部203的中心大致一致。在位于铰链部22的相反侧的侧壁201的外侧形成有作为锁定单元发挥作用的朝外的第一爪部205。

盖部21具有顶板210以及设置在顶板210的下表面的外周缘的侧壁211。在收纳部20的侧壁201的上端面设置有一阶阶部，当将盖部21关闭时，顶板210的侧壁211的下端面与侧壁201的比上端面低一阶的面抵接。在顶板210的中央形成有与第二凸部204对应的凹部212。另外，在位于铰链部22的相反侧的侧壁211的内侧形成有与第一爪部205一起作为锁定单元发挥作用的朝内的第二爪部213。

在这样构成的收纳容器2中，通过以铰链部22为支点使盖部21旋转而闭合，从而能够将收纳刀具60的收纳区域202封闭。这里，若使第一爪部205与第二爪部213卡合，则能够维持盖部21闭合的闭状态。在该状态下，收纳部20的第二凸部204嵌在盖部21的凹部212中，顶板210的下表面与第一凸部203抵接。因此，即使使收纳容器2移动，也能够限制刀具60在厚度方向上的移动，与第一凸部203卡合的刀具60不会从第一凸部203脱落。另一方面，若将盖部21打开，则收纳区域202开放。即，如图12所示，刀具成为以单面露出的状态收纳在收纳容器2中的状态。

(使用实施方式2的刀具装卸治具的刀具取出方法)

以下，对使用实施方式2的刀具装卸治具7A的刀具取出方法的各步骤进行说明。

(1)定位步骤

如图13所示，刀具60成为以单面朝向上方露出的状态收纳在收纳容器2中的状态。作业者对刀具装卸治具7A的辅助板73进行把持，使刀具装卸治具7A的前端部分70a与刀具60的安装孔600对置，按照前端部分70a的X轴Y轴平面的中心与安装孔600的中心大致一致的方式，对刀具装卸治具7A进行定位。并且，使刀具装卸治具7A朝向收纳容器2靠近，使主体部70与刀具60的安装孔600连结而定位在同轴上(Z轴上)。另外，刀具装卸治具7A的空气引导单元78的外径形成得比收纳容器2的收纳部20的直径小，在主体部70与刀具60的安装孔600连结而定位在同轴上的状态下，空气引导单元78的空气引导面781位于比收纳部20的侧壁201的内周面靠内侧的位置。

(2)取出空气喷出步骤

接着，使按压单元73A进行动作，将辅助板73向-Z方向按压。其结果是，处于自然长度的弹性部件77被辅助板73的下表面按压而收缩，从而辅助板73和固定于辅助板73的圆筒状的空气引导单元78向-Z方向移动，成为第二空气喷出口72与作为空气引导单元78的内侧面的空气引导面781在水平方向上对置的状态。

并且，从控制部9对第二阀体763进行通电，从而成为将第二阀体763打开并且将第一阀体753关闭的状态。并且，使空气源79进行动作，将高压的压缩空气提供至T字管752。该压缩空气通过第二连通路径76从第二空气喷出口72向外部喷出。

(3)引导步骤

接着，通过空气引导面781将所喷出的空气的方向引导成朝向刀具60的方向。即，如图13所示，从第二空气喷出口72喷出的压缩空气向径向外侧流动，到达定位在空气的行进方向上的空气引导面781。并且，到达空气引导面781的该压缩空气大致沿着空气引导面781朝向位于下方的刀具60流动，其一部分在空气引导单元78的前端780与收纳部20的侧壁201的上端之间以高速向径向外侧流动而释放至大气中。因此，利用伯努利效应产生将刀具60向+Z方向侧吸引的负压。

另外，沿着空气引导面781朝向刀具60流动的压缩空气的一部分碰到收纳部20的侧壁201的内周面，然后沿着收纳部20的侧壁201的内周面和底板200的上表面流动而从径向外侧朝向刀具60行进。

(4)移动步骤

利用基于产生在刀具60与把持部74之间的伯努利效应的负压，与第一凸部203卡合的刀具60上升，并且沿着底板200流动的空气进入至随着刀具60的上升而产生的、位于刀具60的侧面(图13中的-Z方向侧的面)与收纳部20的底板200之间的间隙中。并且，刀具60被负压向主体部70吸引，同时被进入至刀具60与底板200之间的空气推起，从而刀具60移动至主体部70。

例如如图14所示，在使刀具60移动至主体部70的后端70b附近之后，在空气源79继续对第二空气喷出口72提供空气的状态下，解除按压单元73A对辅助板73的按压。其结果是，弹性部件77复原至自然长度，从而空气引导单元78的前端780位于比第二空气喷出口72靠+Z方向侧的位置，空气引导单元78成为不围绕主体部70的侧面70d和第二空气喷出口72的状态。与此相伴，刀具60进一步向+Z方向移动，成为刀具60的侧面与把持部74的前表面740抵接而重叠在第二空气喷出口72上的状态。然后，空气源79继续对第二空气喷出口72提供空气，从而成为通过从第二空气喷出口72喷出的空气的压力从安装孔600侧将刀具60朝向径向外侧按压的状态，通过该空气的喷出压力，刀具60成为被平衡良好地支承在主体部70上的状态。

另外，在使用实施方式2的刀具装卸治具7A的刀具装卸方法中，在不是如上述那样将刀具60从平方状态的收纳容器2朝向上方取出，而是将刀具60从立起状态的收纳容器2沿水平方向取出的情况等下，可以在使刀具60移动至主体部70的后端70b附近之后，停止空气源79对第二空气喷出口72提供空气。

这样，在使用具有空气引导单元78的刀具装卸治具7A从以单面露出的状态收纳有刀具60的收纳容器2中取出刀具60的刀具取出方法中，实施如下的步骤：定位步骤，使主体部70与刀具60的安装孔600连结而定位在同轴上；取出空气喷出步骤，使空气从第二空气喷出口72向径向外侧喷出；以及引导步骤，通过空气引导单元78的空气引导面781将所喷出的空气的方向引导成朝向刀具60的方向，从而在之后的移动步骤中，能够通过产生在刀具60与把持部74之间的负压以及进入至收纳容器2与刀具60之间的空气而使刀具60以非接触的方式移动至主体部70。

刀具装卸治具7A除了图4所示的实施方式1的刀具装卸治具7的结构之外，还具有空气引导单元78，该空气引导单元78至少具有空气引导面781，该空气引导面781能够定位在从第二空气喷出口72向径向外侧喷出的空气的行进方向上，从而能够将刀具60以非接触的方式从以单面露出的状态收纳有刀具60的收纳容器2中取出，能够进一步防止收纳容器2所收纳的刀具60在安装至凸缘61之前产生刀具60的破损。

接着，如图15所示，对使用保持着从收纳容器2中取出的刀具60的状态的刀具装卸治具7A将刀具60安装至凸缘61时的各步骤进行说明。

(1)定位步骤

作业者对刀具装卸治具7A的把持部74进行把持而将刀具装卸治具7A的前端部分70a定位成与凸缘61对置。并且，使刀具装卸治具7A的凹部700嵌合在凸缘61的凸台部610，从而成为将主体部70和刀具安装部611a连结并将主体部70和凸缘61定位在同轴上的状态。

(2)安装空气喷出步骤

接着，从控制部9对第一阀体753进行通电而使第一阀体753成为打开的状态。另外，第二阀体763成为关闭的状态。并且，使空气源79进行动作而以少许时间向T字管752提供高压的压缩空气。该压缩空气通过第一连通路径75从第一空气喷出口71瞬间向外部喷出。

(3)移动步骤

从第一空气喷出口71瞬间喷出的空气在凸缘部611的环状的端面611b与刀具60的+Y方向侧的侧面之间沿放射方向高速流动而释放至大气中。因此，利用伯努利效应产生将刀具60向+Y方向侧吸引的负压，刀具60通过该负压而从刀具装卸治具7A移动至刀具安装部611a，刀具60嵌合在刀具安装部611a。

在使刀具60移动至刀具安装部611a之后，作业者对把持部74进行把持而将刀具装卸治具7A从凸台部610朝向-Y方向侧拔出。另外，作业者将图2所示的按压部65***至凸台部610，然后使刀具固定螺母63与凸台部610的外螺纹610c螺合而紧固，从而刀具60成为随着主轴66被未图示的电动机旋转驱动而能够高速旋转的状态。

接着，如图16所示，对使用刀具装卸治具7A将刀具60从凸缘61拆卸时的各步骤进行说明。

(1)定位步骤

在图16中，切削单元6成为图2所示的按压部65和刀具固定螺母63被拆卸且刀具60嵌合在刀具安装部611a的状态。作业者对刀具装卸治具7A的把持部74进行把持而将刀具装卸治具7A的前端部分70a定位成与凸缘61对置。并且，使刀具装卸治具7A的主体部70的凹部700嵌合在凸缘61的凸台部610上，从而成为将主体部70和刀具安装部611a连结并将主体部70和凸缘61定位在同轴上(Y轴上)的状态。

(2)拆卸空气喷出步骤

接着，从控制部9对第二阀体763进行通电而使第二阀体763成为打开的状态。另外，第一阀体753成为关闭的状态。并且，使空气源79进行动作而以少许时间向T字管752提供高压的压缩空气。该压缩空气通过第二连通路径76从第二空气喷出口72瞬间向外部喷出。

(3)移动步骤

从第二空气喷出口72瞬间喷出的空气在刀具60的-Y方向侧的侧面与把持部74的前表面740之间沿放射方向高速流动而释放至大气中。因此，利用伯努利效应产生将刀具60向-Y方向侧吸引的负压，刀具60通过该负压从刀具安装部611a移动至刀具装卸治具7A的主体部70，将刀具60从刀具安装部611a拆卸。

如上所述，通过使用刀具装卸治具7A，能够以非接触的方式将刀具60从收纳容器2中取出，以非接触的方式将刀具60安装在凸缘61，并且以非接触的方式将刀具60从凸缘61拆卸。

之前说明的图1所示的切削装置1还具有自动刀具更换机构8，该自动刀具更换机构8对图2所示的凸缘61自动进行刀具60的装卸，自动刀具更换机构8例如配设在切削区域E2内的切削单元6的附近。自动刀具更换机构8具有：刀具架80，其分别对使用前的刀具60和使用后的刀具60进行收纳；以及刀具更换单元81。

刀具架80借助托架181安装在从+X方向侧观察时剖面为“へ”形的分隔壁180的上部，该刀具架80包含纵剖面为L字状的框体800和能够对该框体800的支柱800a进行装卸的可动体801。图17所示的可动体801成为安装在框体800上的状态，通过将可动体801向上侧提起，能够将框体800的支柱800a从可动体801拔出，因此能够将可动体801从框体800拆卸。

在可动体801的前表面上并列设置有：第一保持轴801a，其对使用前的刀具60进行保持；以及第二保持轴801b，其对使用后的刀具60(在图17中未图示)进行保持，在它们的前端部分别设置有用于防止刀具60的脱落的挡块801c、挡块801d。刀具架80所保持的使用前的刀具60的片数可以为一片，也可以保持两片以上。

例如第一保持轴801a的挡块801c具有能够通过未图示的弹簧的作用力在X轴方向上开闭的可动爪801e，该可动爪801e通过设置在框体800内的未图示的可动单元进行开闭。关于挡块801c，在将刀具60从第一保持轴801a拆卸时，可动爪801e从打开的状态向径向内侧收缩而成为闭状态。

例如第二保持轴801b的挡块801d为固定挡块，其形成为直径比图2所示的刀具60的安装孔600的直径小的凸缘状，防止以具有间隙的方式嵌合在该第二保持轴801b上的刀具60的脱落。

如图1所示，刀具更换单元81配设在分隔壁182的前侧，与刀具架80在Y轴方向上对置。刀具更换单元81具有：臂810，其在刀具架80与切削单元6的主轴66之间绕Y轴方向的轴心旋转移动；以及脉冲电动机等驱动源813，其使臂810旋转。并且，在臂810的端部(图1中的上部)配设有用于对图4所示的刀具装卸治具7和按压部65进行装卸的装卸单元(装卸部)811。

另外，刀具装卸治具7和按压部65的装卸单元811并不限于像本实施方式那样并列配设在一个臂810的端部的形态，也可以分别配设在两个以上的臂的端部。

另外，本实施方式中的刀具架80构成为将使用前的刀具60直接挂在第一保持轴801a上而进行保持，另外将使用后的刀具60直接挂在第二保持轴801b上而进行保持，但并不限于这样的结构，例如也可以构成为：将以单面露出的状态收纳有刀具60的图12所示的收纳容器2和能够收纳刀具60的空的收纳容器2安装在可动体801的前表面上，能够将使用前的刀具60从收纳容器12中取出，或者将使用后的刀具60收纳在空的收纳容器2中。在该情况下，可以在臂810的端部配设图10所示的实施方式2的刀具装卸治具7A。

在图1所示的分隔壁182上，以利用气缸等能够自动滑动的方式设置有在图1中以假想线(双点划线)表示的开闭罩183，当将该开闭罩183打开时，切削区域E2开放，能够进行刀具60的更换，当将该开闭罩183关闭时，切削区域E2被覆盖，防止在切割时切削水等的飞散。

刀具装卸治具7能够通过安装在臂810上的活塞气缸814在Y轴方向上进退。

按压部65的装卸单元811例如具有如下的机构：该机构能够进行将图2所示的刀具固定螺母63从主轴66拆卸和安装至主轴66、以及将凸缘固定螺栓64从凸台部610拆卸和安装至凸台部610，并且该装卸单元811具有如下的机构：该机构能够将按压部65***至凸台部610以及从凸台部610拆卸。

以下，对自动刀具更换机构8所进行的使用后的刀具60的更换作业进行说明。例如图1所示的切削单元6的刀具60对多张晶片进行了切削而成为需要进行更换的状态。首先，使臂810向箭头R1方向旋转而将装卸单元811定位成与主轴66相对。在通过装卸单元811将图2所示的刀具固定螺母63、凸缘固定螺栓64以及按压部65从切削单元6拆卸之后，使臂810进一步向箭头R1方向旋转，将刀具装卸治具7定位成与图2所示的安装于凸缘61的使用后的刀具60相对。

接着，实施上述刀具装卸方法中的将刀具60从凸缘61拆卸时的(1)定位步骤～(3)移动步骤，成为将刀具60从凸缘61拆卸而由刀具装卸治具7对刀具60进行保持的状态。另外，活塞气缸814对(1)定位步骤中的主体部70向切削单元6的凸台部610的嵌合(主体部70向+Y方向的移动)和刀具装卸治具7从切削单元6的凸台部610的拔出(主体部70向-Y方向的移动)进行控制。

这次使臂810向与箭头R1方向相反的箭头R2方向旋转，将刀具装卸治具7定位成与刀具架80的第二保持轴801b相对。然后，使使用后的刀具60从刀具装卸治具7向第二保持轴801b移动。

这样，本发明的切削装置1具有自动刀具更换机构8，该自动刀具更换机构8至少包含：刀具架80，其分别对使用前的刀具60和使用后的刀具60进行收纳；以及臂810，其在刀具架80与主轴66之间旋转移动，在臂810的端部配设有刀具装卸治具7和按压部65的装卸单元811，因此例如在将刀具60从凸缘61拆卸时作业者不与刀具60直接接触即可完成，另外，力不会集中施加于刀具60的一点而自动进行拆卸作业，因此能够防止产生刀具60的破损，并且能够高效地进行刀具60的拆卸作业。

本发明的刀具装卸治具、刀具装卸方法以及切削装置并不限于上述记载的例子，另外关于附图所图示的刀具装卸治具7、7A和切削装置1的结构等，也不限于此，可以在能够发挥本发明的效果的范围内进行适当变更。

例如实施方式2的刀具装卸治具7A所具有的空气引导单元(空气引导部件)可以是具有与把持部74大致相同直径的规定的厚度的图18所示的圆板状的空气引导单元(空气引导部件)78A。空气引导单元78A例如在其中央形成有贯穿***孔785，该贯穿***孔785的直径略微大于图13所示的主体部70，三条流路786从贯穿***孔785朝向径向外侧在三个方向上以均等的角度(例如120度)呈放射状延伸。各流路786的前端在到达空气引导单元78A的外周缘的近前处停止。关于这样的圆板状的空气引导单元78A，将图13所示的主体部70贯穿***至贯穿***孔785中，使空气引导单元78A的侧面787与把持部74的前表面740抵接，在主体部70的第二空气喷出口72被定位成分别与流路786相对的状态下，将该空气引导单元78A安装在主体部70上。

在将刀具60从收纳容器2中取出的刀具取出步骤的引导工序中，从第二空气喷出口72朝向径向外侧喷出的空气在空气引导单元78A的流路786内流通而到达定位在空气的行进方向上的空气引导面788。并且，到达空气引导面788的空气被引导成沿着空气引导面788朝向刀具60的方向。

Claims (6)

1.一种刀具装卸治具，其用于对切削装置的凸缘装卸刀具，该切削装置至少具有：

所述凸缘，其固定在主轴的前端，具有凸台部、供所述刀具嵌合并安装的刀具安装部以及对刀具进行支承的环状的端面；以及

按压部，其与该凸缘一起对该刀具进行夹持而固定，

其中，该刀具装卸治具至少具有：

圆柱状的主体部，其在与该刀具安装部为相同直径的前端部分形成有与该凸台部嵌合的凹部；

把持部，其与该主体部连结，具有比该主体部大的直径；

多个第一空气喷出口，它们形成在该主体部的前端部分；

多个第二空气喷出口，它们形成在该主体部与该把持部的连接部分；

第一连通路径，其借助控制部使该第一空气喷出口与空气源连通；以及

第二连通路径，其借助该控制部使该第二空气喷出口与该空气源连通。

2.根据权利要求1所述的刀具装卸治具，其特征在于，

该刀具装卸治具还具有空气引导单元，该空气引导单元至少具有空气引导面，该空气引导面能够定位在从所述第二空气喷出口向径向外侧喷出的空气的行进方向上。

3.一种刀具装卸方法，该方法使用权利要求1或2所述的刀具装卸治具，其中，

在将所述刀具装卸治具的主体部所保持的刀具安装至所述凸缘时，具有如下的步骤：

定位步骤，使所述凹部嵌合在所述凸台部上，使该主体部和所述刀具安装部连结而定位在同轴上；

安装空气喷出步骤，使空气从所述第一空气喷出口瞬间喷出；以及

移动步骤，利用产生在该刀具与该凸缘之间的负压使该刀具移动至该刀具安装部。

4.一种刀具装卸方法，该方法使用权利要求1或2所述的刀具装卸治具，其中，

在将所述刀具安装部所保持的刀具拆卸时，具有如下的步骤：

定位步骤，使所述凹部嵌合在所述凸台部上，使该主体部与该刀具安装部连结而定位在同轴上；

拆卸空气喷出步骤，使空气从所述第二空气喷出口瞬间喷出；以及

移动步骤，利用产生在该刀具与所述把持部之间的负压使该刀具移动至该主体部。

5.一种刀具取出方法，使用权利要求2所述的刀具装卸治具从以单面露出的状态收纳有所述刀具的收纳容器中将该刀具取出，其特征在于，该刀具取出方法具有如下的步骤：

定位步骤，使所述主体部与该刀具的安装孔连结而定位在同轴上；

取出空气喷出步骤，使空气从所述第二空气喷出口向径向外侧喷出；

引导步骤，通过所述空气引导面将所喷出的空气的方向引导成朝向该刀具的方向；以及

移动步骤，通过产生在该刀具与所述把持部之间的负压以及进入至该收纳容器与该刀具之间的空气，使该刀具移动至该主体部。

6.一种切削装置，其具有：

凸缘，其固定在主轴的前端，具有凸台部、供刀具嵌合并安装的刀具安装部以及对刀具进行支承的环状的端面；

按压部，其与该凸缘一起对该刀具进行夹持而固定；以及

自动刀具更换机构，其对该凸缘自动地装卸刀具，

该切削装置的特征在于，

该自动刀具更换机构至少包含：

刀具架，其分别对使用前的刀具和使用后的刀具进行收纳；以及

臂，其在该刀具架与该主轴之间旋转移动，

在该臂的端部配设有权利要求1或2所述的刀具装卸治具和该按压部的装卸单元。