JP5988666B2 - 切削装置 - Google Patents

Description

本発明は、二つのスピンドルを有する所謂デュアルダイサーに関する。

ダイサーと呼ばれる切削装置においては、切削ブレードはマウントやフランジと呼ばれる固定治具で挟持されスピンドルに固定される（例えば、特開平１１−３３９０７号公報及び特開２００９−２６２２６６号公報参照）。

マウントはハブタイプブレード用の固定治具の名称であり、後フランジと、前フランジ部として作用する押さえナットとから構成される。一方、フランジはワッシャータイプブレード用の固定治具の名称であり、後フランジと、前フランジと、前フランジを固定する押さえナットとから構成される。

ハブブレード交換時には、後フランジをスピンドルに固定した状態で押さえナットを緩めてスピンドルから外し、ハブブレードを新品に交換する。一方、ワッシャーブレード交換時には、後フランジをスピンドルに固定した状態で押さえナットを緩めて押さえナット及び前フランジを外し、ワッシャーブレードを新品に交換する。

特開平１１−３３９０７号公報 特開２００９−２６２２６６号公報 特開２００１−２９８００２号公報

ところが、スピンドルを二本備えた所謂デュアルダイサーでは、それぞれ前フランジをスピンドルから外し、ブレードを交換して装着した後、作業者が一方のスピンドルの前フランジと他方のスピンドルの前フランジとを入れ替えて取り付けてしまうという問題がある。

マウント及びフランジと呼ばれる固定治具は、切削ブレードを挟持する一対の後フランジと前フランジとでバランス取りがなされており、異なる対の後フランジと前フランジとを組み合わせて使用することは好ましくない。特に、ブレードの種類や加工条件によっては、これらの固定治具は予め定めた一対で使用することが推奨される。

本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、異なる対の後フランジと前フランジとが組み合わされて使用される恐れを低減可能な二つのスピンドルを有する切削装置を提供することである。

請求項１記載の発明によると、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する第１の切削手段と第２の切削手段とを備えた加工装置であって、該第１の切削手段は、第１スピンドルと、該第１スピンドルの先端に固定される第１ハブブレードと、該第１ハブブレードを挟持して該第１スピンドルの先端に固定する第１ボス部を有する第１後フランジと第１押さえナットとから構成される第１マウントと、を含み、該第１後フランジの少なくとも該第１ボス部を含む一部と該第１押さえナットの少なくとも一部が第１の色を有しており、該第２の切削手段は、第２スピンドルと、該第２スピンドルの先端に固定される第２ハブブレードと、該第２ハブブレードを挟持して該第２スピンドルの先端に固定する第２ボス部を有する第２後フランジと第２押さえナットとから構成される第２マウントと、を含み、該第２後フランジの少なくとも該第２ボス部を含む一部と該第２押さえナットの少なくとも一部が該第１の色とは異なる第２の色を有することを特徴とする切削装置が提供される。

請求項２記載の発明によると、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する第１の切削手段と第２の切削手段とを備えた切削装置であって、該第１の切削手段は、第１スピンドルと、該第１スピンドルの先端に固定される第１ワッシャーブレードと、該第１ワッシャーブレードを挟持して該第１スピンドルの先端に固定する第１ボス部を有する第１後フランジと第１前フランジと第１押さえナットとから構成される第１フランジと、を含み、該第１後フランジの少なくとも該第１ボス部を含む一部と該第１前フランジの少なくとも一部と該第１押さえナットの少なくとも一部が第１の色を有しており、該第２の切削手段は、第２スピンドルと、該第２スピンドルの先端に固定される第２ワッシャーブレードと、該第２ワッシャーブレードを挟持して該第２スピンドルの先端に固定する第２ボス部を有する第２後フランジと第２前フランジと第２押さえナットとから構成される第２フランジと、を含み、該第２後フランジの少なくとも該第２ボス部を含む一部と該第２前フランジの少なくとも一部と該第２押さえナットの少なくとも一部が該第１の色とは異なる第２の色を有することを特徴とする切削装置が提供される。

本発明によると、第１マウントと第２マウント、又は第１フランジと第２フランジとは、それぞれ少なくとも一部が異なる色を有するようにしたので、前フランジ部として作用する押さえナット、又は同じく前フランジ部として作用する前フランジと押さえナットを第１及び第２の切削手段で入れ替えて使用される恐れを低減することができる。

二つのスピンドルを有する切削装置の外観斜視図である。 ハブブレードを装着する第１切削ユニットの分解斜視図である。 ハブブレードを装着する第２切削ユニットの分解斜視図である。 ワッシャーブレードを装着する第１切削ユニットの分解斜視図である。 ワッシャーブレードを装着する第切削ユニットの分解斜視図である。

以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、本発明実施形態に係る切削装置２の外観斜視図が示されている。切削装置２の機構部は、複数のパネルを組み合わせて形成された外装カバー４内に収容されている。

６はチャックテーブルであり、回転可能且つＸ軸方向に移動可能に構成されている。チャックテーブル６には、よく知られているようにダイシングテープを介してウエーハを支持する環状フレームをクランプする複数のクランプ８が配設されている。

切削装置２は、Ｙ軸方向に整列して配設された第１切削ユニット１０及び第２切削ユニット１２を有している。第１切削ユニット１０及び第２切削ユニット１２ともＹ軸方向に伸長するガイドレール１４に案内されてＹ軸方向に移動可能であるとともに、Ｚ軸方向（高さ方向）にも移動可能に配設されている。切削装置２はスピンドルを２本有する所謂デュアルダイサーである。

１６は内部に複数枚のウエーハを収容したカセットを載置するカセット載置台であり、上下方向（Ｚ軸方向）に移動可能に構成されている。１８は切削装置２の稼動状況を表示する表示ランプであり、切削装置２が正常作動時には例えば緑色で点灯し、何らかの故障が生じた場合には赤色が点滅する。

２０はタッチパネル式の表示モニタであり、オペレータが装置の操作指令を入力できるとともに、装置の稼働状況が表示モニタ２０上に表示される。２２，２４は非常停止ボタンであり、作業者がこの非常停止ボタン２２，２４を押すと切削装置２の作動を直ちに停止することができる。

図２を参照すると、ハブブレード４４が装着される第１切削ユニット１０の分解斜視図が示されている。第１切削ユニット１０は、スピンドルハウジング２８中に回転可能に収容され、図示しないモータにより回転駆動される第１スピンドル３０を含んでいる。第１スピンドル３０の先端部にはねじ穴３２が形成されている。

３４は第１後フランジであり、ボス部３６とボス部３６と一体的に形成されたフランジ３８を有している。ボス部３６の先端部には雄ねじ４０が形成されている。第１後フランジ３４は更に挿入穴４１を有している。

ねじ４２を第１後フランジ３４の挿入穴４１を介して第１スピンドル３０の先端に形成されたねじ穴３２に螺合して締め付けることにより、第１後フランジ３４は第１スピンドル３０の先端部に固定される。

４４は第１ハブブレードであり、第１ハブブレード４４は、円形ハブ４８を有する円形基台４６の外周にニッケル母材中にダイアモンド砥粒が分散されて電着された切刃（電着砥石）５０を有している。円形基台４６は第１後フランジ３４のボス部３６が挿入される装着穴５２を有している。

第１ハブブレード４４を第１スピンドル３０の先端部に固定された第１後フランジ３４のボス部３６に挿入し、第１押さえナット５４をボス部３６の雄ねじ４０に螺合して締め付けることにより、第１ハブブレード４４は第１後フランジ３４のフランジ３８と前フランジとして作用する第１押さえナット５４により挟持されて、第１スピンドル３０の先端部に取り付けられる。

第１切削ユニット１０では、第１後フランジ３４及び第１押さえナット５４はそれぞれ少なくとも一部が第１の色を有している。この色付けは、例えばメッキ、着色、シール等で達成される。色付けは着色やシールでも良いが、メッキ処理によって色を着色すると、色落ちしづらくより好適である。

図３を参照すると、第２ハブブレード４４ａが装着される第２切削ユニット１２の分解斜視図が示されている。第２切削ユニット１２は、第１切削ユニット１０と同一構成部分については同一符号を付し、更に第１切削ユニット１０と区別するため「ａ」を付加している。第２切削ユニット１２の構成は第１切削ユニット１０と同様であるのでその説明を省略する。

第２切削ユニット１２の、第２後フランジ３４ａ及び第２押さえナット５４ａはそれぞれ少なくともその一部が第１の色とは異なる第２の色を有している。本実施形態では、第２後フランジ３４ａ及び第２押さえナット５４ａの全体が第２の色を有している。

スピンドル３０，３０ａにハブブレード４４，４４ａを装着する第１実施形態の第１切削ユニット１０及び第２切削ユニット１２で、ハブブレード４４，４４ａを交換する場合には、それぞれ押さえナット５４，５４ａを外して、ハブブレード４４，４４ａを新品に交換する。

この交換の際に、第１押さえナット５４と第２押さえナット５４ａとはそれぞれ異なる色を有しているため、作業者は第１後フランジ３４の色に合致した色を有する第１押さえナット５４を容易に選択することができ、第２後フランジ３４ａの色に合致した第２押さえナット５４ａを容易に選択することができる。よって、異なる対の後フランジ３４，３４ａと押さえナット５４，５４ａとが組み合わされて使用される恐れを低減することができる。

第１ハブブレード４４を装着する第１切削ユニット１０では、第１後フランジ３４と第２押さえナット５４との組合せを「第１マウント」と称する。第２切削ユニット１２では、第２後フランジ３４ａと第２押さえナット５４ａとの組合せを「第２マウント」と称する。

図４を参照すると、ワッシャーブレード６８を装着する第２実施形態の第１切削ユニット１０Ａの分解斜視図が示されている。５６は第１後フランジであり、ボス部５８とボス部５８と一体的に形成されたフランジ６０を含んでいる。ボス部５８の先端部には雄ねじ６２が形成されている。第１後フランジ５６は更に挿入穴６３を有している。

第１後フランジ５６の挿入穴６３中にねじ６４を挿入し、第１スピンドル３０の先端に形成されたねじ穴３２に螺合して締め付けることにより、第１後フランジ５６が第１スピンドル３０の先端部に固定される。
６８は第１ワッシャーブレードであり、その全体がニッケル母材中にダイアモンド砥粒が分散されて電着された電着砥石の他、例えば樹脂や金属中にダイアモンド砥粒が分散されたレジンブレードやメタルブレードから形成される。

第１ワッシャーブレード６８を第１スピンドル３０に固定するには、第１スピンドル３０の先端部に固定された第１後フランジ５６のボス部５８に第１ワッシャーブレード６８を装着し、更に押さえフランジとして作用する第１前フランジ７０をボス部５８に装着して、第１押さえナット７２をボス部５８の雄ねじ６２に螺合して締め付けることにより、第１ワッシャーブレード６８は第１後フランジ５６と第１前フランジ７０とで挟持されて第１スピンドル３０の先端部に固定される。

本明細書では、第１後フランジ５６と第１前フランジ７０と第１押さえナット７２との組合せを「第１フランジ」と称する。第１後フランジ５６、第１前フランジ７０及び第１押さえナット７４はそれぞれ少なくとも一部が第１の色を有している。

図５を参照すると、第２ワッシャーブレード６８ａを装着する第２実施形態の第２切削ユニット１２Ａの分解斜視図が示されている。第２切削ユニット１２Ａの説明においては、図４に示した第１切削ユニット１０Ａと同一構成部分については同一符号を付し、更に第１切削ユニット１０Ａと区別するために符号「ａ」を付加している。本明細書では、第２後フランジ５６ａと第２前フランジ７０ａと第２押さえナット７２ａとの組合せを「第２フランジ」と称する。

第２後フランジ５６ａ、第２前フランジ７０ａ及び第２押さえナット７２ａはそれぞれ第１の色とは異なる第２の色を有している。第２の色の色付けは、第１の色の色付と同様に、メッキ、着色、シール等で達成される。

第１切削ユニット１０Ａ及び第２切削ユニット１２Ａでそれぞれワッシャーブレード６８、６８ａを交換する場合には、押さえナット７２，７２ａ及び前フランジ７０，７０ａを後フランジ５６，５６ａから外す。

そして、ワッシャーブレード６８，６８ａを取り外して新たなワッシャーブレード６８，６８ａを後フランジ５６，５６ａのボス部５８，５８ａに装着し、前フランジ７０，７０ａ及び押さえナット７２、７２ａで新たなワッシャーブレード６８，６８ａを固定する。

第１ワッシャーブレード６８の交換時には、第１前フランジ７０及び第１押さえナット７２が第１後フランジ５６と同じ色を有しているため、作業者が誤って第２前フランジ７０ａ及び／又は第２押さえナットの７２ａを使用する恐れを低減できる。

同様に、第２前フランジ７０ａ及び第２押さえナット７２ａが第２後フランジ５６ａと同じ色を有しているため、第２ワッシャーブレード６８ａを交換する際に、作業者が誤って第１前フランジ７０及び／又は第１押さえナットの７２を使用する恐れを低減できる。

１０，１０Ａ 第１切削ユニット
１２，１２Ａ 第２切削ユニット
３０ 第１スピンドル
３０ａ 第２スピンドル
３４ 第１後フランジ
３４ａ 第２後フランジ
４４ 第１ハブブレード
４４ａ 第２ハブブレード
５４ 第１押さえナット
５４ａ 第２押さえナット
５６ 第１後フランジ
５６ａ 第２後フランジ
６８ 第１ワッシャーブレード
６８ａ 第２ワッシャーブレード
７０ 第１前フランジ
７０ａ 第２前フランジ
７２ 第１押さえナット
７２ａ 第２押さえナット

Claims (2)

1. 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する第１の切削手段と第２の切削手段とを備えた加工装置であって、
   該第１の切削手段は、
   第１スピンドルと、
   該第１スピンドルの先端に固定される第１ハブブレードと、
   該第１ハブブレードを挟持して該第１スピンドルの先端に固定する第１ボス部を有する第１後フランジと第１押さえナットとから構成される第１マウントと、を含み、
   該第１後フランジの少なくとも該第１ボス部を含む一部と該第１押さえナットの少なくとも一部が第１の色を有しており、
   該第２の切削手段は、
   第２スピンドルと、
   該第２スピンドルの先端に固定される第２ハブブレードと、
   該第２ハブブレードを挟持して該第２スピンドルの先端に固定する第２ボス部を有する第２後フランジと第２押さえナットとから構成される第２マウントと、を含み、
   該第２後フランジの少なくとも該第２ボス部を含む一部と該第２押さえナットの少なくとも一部が該第１の色とは異なる第２の色を有することを特徴とする切削装置。
2. 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する第１の切削手段と第２の切削手段とを備えた切削装置であって、
   該第１の切削手段は、
   第１スピンドルと、
   該第１スピンドルの先端に固定される第１ワッシャーブレードと、
   該第１ワッシャーブレードを挟持して該第１スピンドルの先端に固定する第１ボス部を有する第１後フランジと第１前フランジと第１押さえナットとから構成される第１フランジと、を含み、
   該第１後フランジの少なくとも該第１ボス部を含む一部と該第１前フランジの少なくとも一部と該第１押さえナットの少なくとも一部が第１の色を有しており、
   該第２の切削手段は、
   第２スピンドルと、
   該第２スピンドルの先端に固定される第２ワッシャーブレードと、
   該第２ワッシャーブレードを挟持して該第２スピンドルの先端に固定する第２ボス部を有する第２後フランジと第２前フランジと第２押さえナットとから構成される第２フランジと、を含み、
   該第２後フランジの少なくとも該第２ボス部を含む一部と該第２前フランジの少なくとも一部と該第２押さえナットの少なくとも一部が該第１の色とは異なる第２の色を有することを特徴とする切削装置。

Images