JP5267653B2 - 搬送システム - Google Patents

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Description

本発明は、物品を搬送する搬送車を制御する搬送システムに関する。
従来、天井搬送車等の搬送車を用いて物品を搬送するシステムである搬送システムがある。
例えば、半導体素子を製造する半導体工場内では、製造工程ごとに、ベイと呼ばれる領域に分けられ、各ベイには複数の天井搬送車が一方向に周回するための周回路が配置される。
各周回路では、複数の搬送車の各々が半導体素子の材料であるウエハ等の物品を当該ベイ内の製造装置へ搬送する。そのため、搬送車は、予め定められた位置に停止する。特許文献１には、天井走行車（搬送車）を停止位置に停止させる制御についての技術が開示されている。
特開２００５−２０２４６４号公報
工場内に設置される製造装置には、着脱可能な装置（以下、着脱可能装置という）が設けられる場合がある。
製造装置から着脱可能装置を取り外した場合、搬送車は、例えば、製造装置が製造した物を供給する位置に物品を搬送することとなる場合がある。製造装置に着脱可能装置が取り付けられているか否かにより、搬送車の停止位置が変化する場合、オペレーターは搬送車の停止位置を示す停止位置データの調整を行う必要がある。
この調整作業は、オペレーターの手作業で行う必要があり、調整作業を行っている期間（以下、調整期間という）は非常に長時間（例えば、１時間）となる。そのため、調整期間、製造装置が設置されているエリア内では、搬送車を移動させることができず、調整期間が終了し、搬送車の移動を再開させるまでに長時間有してしまう。その結果、搬送車の停止位置の切り替えに長時間有してしまうという問題があった。
本発明は、上述の問題点を解決するためになされたものであって、その目的は、搬送車の停止位置を迅速に切り替えることを可能とする搬送システムを提供することである。
上述の課題を解決するために、この発明のある局面に従う搬送システムは、予め定められた走行路と、走行路を走行することにより第１の装置に対して物品を搬送可能な搬送車と、搬送車を制御するコントローラとを含む。搬送システムは、さらに、第１の装置に対し着脱可能な装置であって、搬送車が物品を載せることが可能な第２の装置を含む。コントローラは、前記第２の装置が前記第１の装置に取り付けられている場合、搬送車が第２の装置に物品を載せることが可能な第１停止位置に停止するための第１データを前記搬送車へ送信するとともに、前記第２の装置が前記第１の装置から取り外されている場合、搬送車が第１の装置に対応づけられた第２停止位置に停止するための第２データを搬送車へ送信する送信部を備える。搬送車は、第１データまたは第２データを受信する通信部と、第１データを受信した場合、搬送車を第１停止位置に停止させる制御を行い、第２データを受信した場合、搬送車を第２停止位置に停止させる制御を行う停止制御部とを備える。
すなわち、停止制御部は、第１データを受信した場合、搬送車を第１停止位置に停止させる制御を行い、第２データを受信した場合、搬送車を第２停止位置に停止させる制御を行う。つまり、受信したデータの種類に応じて、搬送車の停止位置を迅速に切替えることができる。したがって、搬送車の停止位置を迅速に切り替えることができる。
なお、本発明は、本発明の搬送システムにおける特徴的な動作ステップを含む、搬送車の制御方法としても実現することもできる。また、本発明は、それら各ステップを制御装置であるコントローラに実行させる制御プログラムとしても実現することもできる。
本発明により、搬送車の停止位置を迅速に切り替えることができる。
図１は、本実施の形態における搬送システムの構成を示す図である。 図２は、バッファ装置の外観を示す斜視図である。 図３は、バッファ装置の内部を示す斜視図である。 図４は、バッファ装置が製造装置から取り外されている場合における、複数のロードポートを示す図である。 図５は、搬送車の外観を示す斜視図である。 図６は、地上コントローラ内のハードウエア構成を示したブロック図である。 図７は、搬送車内のハードウエア構成を示したブロック図である。 図８は、搬送車の停止位置を説明するための図である。 図９は、一例としての第１停止位置データを示す図である。 図１０は、一例としての第２停止位置データを示す図である。 図１１は、バッファ装置が製造装置から取り外される場合における、ＭＥＳ、地上コントローラ、搬送車、バッファ装置および製造装置の各々で行われる処理を示す図である。 図１２は、バッファ装置を製造装置に取り付ける場合における、ＭＥＳ、地上コントローラ、搬送車、バッファ装置および製造装置の各々で行われる処理を示す図である。 図１３は、本発明に係る搬送システムの特徴的な機能構成を示すブロック図である。
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明する。以下の説明では、同一の部品には同一の符号を付してある。それらの名称および機能も同じである。したがって、それらについての詳細な説明は繰り返さない。
＜第１の実施の形態＞
図１は、本実施の形態における搬送システム１０００の構成を示す図である。なお、図１には、説明の都合上、搬送システム１０００に含まれないＭＥＳ（Manufacturing Execution System）５０を示している。
搬送システム１０００は、例えば、半導体素子を製造する工場等の施設内に備えられている。
図１に示されるように、搬送システム１０００は、地上コントローラ１００と、走行路Ｌ１０と、接続路Ｌ２０と、接続路Ｌ３１，Ｌ３２と、搬送車２００と、製造装置４１０と、バッファ装置４２０とを含む。
走行路Ｌ１０および接続路Ｌ２０，Ｌ３１，Ｌ３２は、搬送車２００が走行するための走行路である。走行路Ｌ１０および接続路Ｌ２０，Ｌ３１，Ｌ３２は、施設の天井に配置される。走行路Ｌ１０は、ポイントＰ１１〜Ｐ１６を経由する走行路である。
走行路Ｌ１０および接続路Ｌ２０の各々は、例えば、時計周りにしか、搬送車２００が走行できないようになっている。接続路Ｌ３１，Ｌ３２は、走行路Ｌ１０と、接続路Ｌ２０とを接続する走行路である。
ＭＥＳ５０は、地上コントローラ１００を制御するためのコンピュータである。ＭＥＳ５０は、地上コントローラ１００と通信することにより、搬送システム１０００内の各装置の状況を管理する。
地上コントローラ１００は、搬送車２００を制御する機能を有するコンピュータである。
搬送車２００は、走行路Ｌ１０等に沿って移動する天井搬送車である。
製造装置４１０は、例えば、半導体素子の材料であるウエハ等を生成する装置である。
バッファ装置４２０は、カセットを載せることが可能な複数のロードポートを有する装置である。カセットとは、製造装置４１０により生成されたウエハを所定枚数いれることが可能な容器である。
バッファ装置４２０は、製造装置４１０に対し着脱可能な装置である。すなわち、バッファ装置４２０は、オペレーターの手作業により、移動させることが可能な装置である。なお、バッファ装置４２０は、様々な処理を行うことが可能なコンピュータを有する。
また、地上コントローラ１００は、バッファ装置４２０と通信する。
図２は、バッファ装置４２０の外観を示す斜視図である。
図３は、バッファ装置４２０の内部を示す斜視図である。図３に示されるように、バッファ装置４２０は、カセットＣ１１を載せることが可能な複数のロードポートを有する。複数のロードポートの一部は、例えば、ロードポートＰＴ１１，ＰＴ１２，ＰＴ１３，ＰＴ１４である。
図４は、バッファ装置４２０が製造装置４１０から取り外されている場合における、複数のロードポートを示す図である。
図４に示されるロードポートＰＴ２１，ＰＴ２２，ＰＴ２３は、製造装置４１０が製造したウエハを製造装置４１０から受け取ることが可能な位置に配置される。なお、ロードポートＰＴ２１，ＰＴ２２，ＰＴ２３の各々の位置は、固定されている。すなわち、ロードポートＰＴ２１，ＰＴ２２，ＰＴ２３の各々の位置は、製造装置４１０に対応づけられた位置である。つまり、ロードポートＰＴ２１，ＰＴ２２，ＰＴ２３の各々は、製造装置４１０に対応づけられたロードポートである。
ロードポートＰＴ２１，ＰＴ２２，ＰＴ２３の各々には、カセットＣ１１を載せることが可能である。
製造装置４１０は、製造したウエハを、ロードポートＰＴ２１，ＰＴ２２，ＰＴ２３の各々に載せられたカセットＣ１１内に入れるための搬出を行う。
ここで、ロードポートＰＴ２１，ＰＴ２２，ＰＴ２３の各々に載せられたカセットＣ１１内へ、製造装置４１０が製造したウエハを搬出したとする。また、ロードポートＰＴ２１，ＰＴ２２，ＰＴ２３のいずれかに載せられた、ウエハを有するカセットＣ１１が、搬送車２００の動作により、バッファ装置４２０のロードポートＰＴ１１，ＰＴ１２，ＰＴ１３，ＰＴ１４のいずれかに載せられたとする。この場合、バッファ装置４２０は、製造装置４１０から搬出された物品としてのウエハを有するカセットＣ１１を一時的に保管するための装置である。
また、ここで、バッファ装置４２０の有するロードポートに載せられた、ウエハを有するカセットＣ１１が、搬送車２００の動作により、ロードポートＰＴ２１，ＰＴ２２，ＰＴ２３のいずれかに載せられたとする。また、製造装置４１０は、ロードポートＰＴ２１，ＰＴ２２，ＰＴ２３の各々に載せられたカセットＣ１１内のウエハを取得するための処理も行う。この場合、バッファ装置４２０は、製造装置４１０へ供給する物品としてウエハを有するカセットＣ１１を一時的に保管するための装置である。
なお、図４は、ロードポートＰＴ２１，ＰＴ２２，ＰＴ２３の各々にカセットＣ１１が載せられている状態を示す。
図５は、搬送車２００の外観を示す斜視図である。
図５に示すように、搬送車２００は、例えば、走行路Ｌ１０を形成するレールに沿って移動する天井搬送車である。また、搬送車２００は、物品を保持するための物品保持部２４０を有する。
なお、バッファ装置４２０が製造装置４１０に取り付けられている場合、図３に示されるロードポートＰＴ１１，ＰＴ１２，ＰＴ１３，ＰＴ１４の各々は、走行路Ｌ１０の真下に配置される。また、図４に示されるロードポートＰＴ２１，ＰＴ２２，ＰＴ２３の各々も、走行路Ｌ１０の真下に配置される。
搬送車２００は、例えば、地上コントローラ１００からの指示に従い、走行路Ｌ１０に沿ってロードポートＰＴ１１上まで移動し、所定の高さまで降下する。
また、搬送車２００は、例えば、地上コントローラ１００からの指示に従い、ロードポートＰＴ１１に載せられた物品としてのカセットＣ１１を物品保持部２４０により保持した状態で上昇し、ロードポートＰＴ１２上まで移動する。搬送車２００は、例えば、ロードポートＰＴ１２上まで移動すると、降下し、物品保持部２４０が保持している物品（カセットＣ１１）を、ロードポートＰＴ１２上に載せた後に上昇する。
搬送車２００が、このような動作を繰り返すことにより、物品の移送が行われる。
また、走行路Ｌ１０には、ロードポート等の位置を搬送車２００が検知するためのバーコードＢＣ１０が貼付されている。
搬送車２００は、自機が有するバーコードスキャナ（図示せず）により、走行路Ｌ１０に貼られたバーコードＢＣ１０を読み取り、自機が記憶しているレイアウトデータを参照することで、自機が、走行路Ｌ１０上のどの地点を走行または停止しているかを検知することができる。
また、走行路Ｌ１０には、搬送車２００により搬送される物品を一時的に載せることが可能な天井バッファＢＵ１０が複数備えられている。
図６は、地上コントローラ１００内のハードウエア構成を示したブロック図である。
図６に示されるように、地上コントローラ１００は、制御部１１０と、記憶部１２０と、入力部１４０と、通信部１７０とを備える。制御部１１０、記憶部１２０、入力部１４０および通信部１７０は、データバス１０２に接続されている。
制御部１１０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）である。なお、制御部１１０は、ＣＰＵに限定されることなく、演算機能を有するその他の回路であってもよい。
記憶部１２０は、不揮発性のメモリである。記憶部１２０は、たとえば、ハードディスクドライブである。なお、記憶部１２０は、ハードディスクドライブに限定されることなく、不揮発的のメモリであれば、その他のメモリ（たとえば、フラッシュメモリ）であってもよい。記憶部１２０は、制御部１１０によって、データアクセスされる。記憶部１２０には、プログラム５１、その他の各種データ等が記憶されている。
制御部１１０は、記憶部１２０に記憶されているプログラム５１を実行し、プログラム５１に基づいて、地上コントローラ１００内の各部に対する各種処理や、演算処理等を行なう。
入力部１４０は、オペレーターの操作を受け付ける入力インターフェースである。当該入力インターフェースは、例えば、キーボード、ボタン等である。入力部１４０は、オペレーターの操作を受け付けると、受け付けた操作に応じた操作情報を、制御部１１０へ送信する。制御部１１０は、受信した操作情報に基づいて、所定の処理を行なう。
通信部１７０は、無線技術を利用して、搬送車２００とデータ通信を行なう機能を有する。また、通信部１７０は、バッファ装置４２０とデータ通信を行なう機能を有する。
図７は、搬送車２００内のハードウエア構成を示したブロック図である。
図７に示されるように、搬送車２００は、制御部２１０と、記憶部２２０と、通信部２７０とを備える。制御部２１０、記憶部２２０および通信部２７０は、データバス２０２に接続されている。
制御部２１０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）である。なお、制御部２１０は、ＣＰＵに限定されることなく、演算機能を有するその他の回路であってもよい。
記憶部２２０は、不揮発性のメモリである。記憶部２２０は、たとえば、ハードディスクドライブである。なお、記憶部２２０は、ハードディスクドライブに限定されることなく、不揮発的のメモリであれば、その他のメモリ（たとえば、フラッシュメモリ）であってもよい。記憶部２２０は、制御部２１０によって、データアクセスされる。記憶部２２０には、プログラム２１、後述する停止位置データ、その他の各種データ等が記憶されている。
制御部２１０は、記憶部２２０に記憶されているプログラム２１を実行し、プログラム２１に基づいて、搬送車２００内の各部に対する各種処理や、演算処理、搬送車２００の動作の制御等を行なう。搬送車２００の動作の制御は、例えば、搬送車２００を停止させたり、搬送車２００を移動させたりする制御である。
通信部２７０は、無線技術を利用して、地上コントローラ１００とデータ通信を行なう機能を有する。
次に、搬送車２００の停止位置について説明する。
図８は、搬送車２００の停止位置を説明するための図である。
図８（Ａ）は、バッファ装置４２０が製造装置４１０に取り付けられている場合に、搬送車２００が停止する停止位置ＳＴ１１，ＳＴ１２，ＳＴ１３，ＳＴ１４を示す図である。
停止位置ＳＴ１１，ＳＴ１２，ＳＴ１３，ＳＴ１４は、それぞれ、図３に示されるロードポートＰＴ１１，ＰＴ１２，ＰＴ１３，ＰＴ１４に対応する停止位置である。
例えば、搬送車２００がカセットＣ１１をバッファ装置４２０が有するロードポートＰＴ１２に載せる場合、または、搬送車２００がバッファ装置４２０が有するロードポートＰＴ１２に載せられているカセットＣ１１を持ち上げる場合、搬送車２００は停止位置ＳＴ１２に停止する。
図８（Ｂ）は、バッファ装置４２０が製造装置４１０から取り外されている場合に、搬送車２００が停止する停止位置ＳＴ２１，ＳＴ２２，ＳＴ２３を示す図である。
停止位置ＳＴ２１，ＳＴ２２，ＳＴ２３は、それぞれ、図４に示されるロードポートＰＴ２１，ＰＴ２２，ＰＴ２３に対応する停止位置である。前述したように、ロードポートＰＴ２１，ＰＴ２２，ＰＴ２３の各々は、製造装置４１０に対応づけられたロードポートである。そのため、停止位置ＳＴ２１，ＳＴ２２，ＳＴ２３の各々は、製造装置４１０に対応づけられた位置である。
例えば、搬送車２００がカセットＣ１１を製造装置４１０に対応付けられたロードポートＰＴ２３に載せる場合、または、搬送車２００が製造装置４１０に対応付けられたロードポートＰＴ２３に載せられているカセットＣ１１を持ち上げる場合、搬送車２００は停止位置ＳＴ２３に停止する。
以下においては、搬送車２００に、製造装置４１０に対応づけられたロードポートＰＴ２１，ＰＴ２２，ＰＴ２３のいずれかへ、カセットＣ１１を搬送させることを、搬送車２００にカセットＣ１１を製造装置４１０へ搬送させると表現する。また、以下においては、搬送車２００がカセットＣ１１を搬送する対象が、製造装置４１０に対応づけられたロードポートＰＴ２１，ＰＴ２２，ＰＴ２３のいずれかである場合、搬送車２００がカセットＣ１１を搬送する対象となる装置は、製造装置４１０であるとする。
また、以下においては、搬送車２００がカセットＣ１１を搬送する対象となる装置を、搬送対象装置ともいう。搬送対象装置が製造装置４１０である場合、搬送車２００は、カセットＣ１１をロードポートＰＴ２１，ＰＴ２２，ＰＴ２３のいずれかに搬送する。
バッファ装置４２０が製造装置４１０に取り付けられている場合、停止位置ＳＴ１１，ＳＴ１２，ＳＴ１３，ＳＴ１４を特定するための停止位置データは、以下の第１停止位置データＤ１００となる。
図９は、一例としての第１停止位置データＤ１００を示す図である。第１停止位置データＤ１００は、４個の停止データから構成される。
図９において、「番号」は、停止データを特定するための番号である。「停止位置」とは、図８（Ａ）で説明した停止位置である。図９において、「距離」とは、図１、図８（Ａ）または図８（Ｂ）に示される走行路Ｌ１０上のポイントＰ１２から、対応する停止位置までの距離である。例えば、番号“１”の停止データは、走行路Ｌ１０上のポイントＰ１２から停止位置ＳＴ１１までの距離がＬ１１（例えば、１２００ミリ）であることを示す。すなわち、第１停止位置データＤ１００は、図８（Ａ）に示される走行路Ｌ１０上の連続するポイントＰ１２からポイントＰ１３の間における各停止位置を示す。
また、バッファ装置４２０が製造装置４１０から取り外されている場合、停止位置ＳＴ２１，ＳＴ２２，ＳＴ２３を特定するための停止位置データは、以下の第２停止位置データＤ２００となる。
図１０は、一例としての第２停止位置データＤ２００を示す図である。第２停止位置データＤ２００は、３個の停止データから構成される。
第２停止位置データＤ２００に示される各項目は、図９の第１停止位置データＤ１００に示される各項目と同様なので詳細な説明は繰り返さない。すなわち、第２停止位置データＤ２００は、図８（Ｂ）に示される走行路Ｌ１０上の連続するポイントＰ１２からポイントＰ１３の間における各停止位置を示す。
なお、第２停止位置データＤ２００において、例えば、番号“３”の停止データは、図８（Ｂ）の走行路Ｌ１０上のポイントＰ１２から停止位置ＳＴ２３までの距離がＬ２３（例えば、１８００ミリ）であることを示す。
図９の第１停止位置データＤ１００および図１０の第２停止位置データＤ２００は、搬送車２００の記憶部２２０に予め記憶されている。
次に、搬送車２００の停止位置を変更させるための処理について説明する。
まず、バッファ装置４２０が製造装置４１０に取り付けられている状態において、バッファ装置４２０が製造装置４１０から取り外される場合における、各装置の処理について説明する。
バッファ装置４２０が製造装置４１０に取り付けられている場合、搬送車２００がカセットＣ１１を搬送する対象となる装置は、バッファ装置４２０であるとする。
ここで、製造装置４１０は稼動中であるとする。
図１１は、バッファ装置４２０が製造装置４１０から取り外される場合における、ＭＥＳ５０、地上コントローラ１００、搬送車２００、バッファ装置４２０および製造装置４１０の各々で行われる処理を示す図である。
まず、ＭＥＳ５０は、製造装置搬送命令を、地上コントローラ１００へ送信する（Ｓ５１）。ここで、製造装置搬送命令は、搬送車２００にカセットＣ１１を製造装置４１０へ搬送させるための搬送命令である。すなわち、製造装置搬送命令は、搬送車２００にカセットＣ１１を、製造装置４１０に対応づけられたロードポートＰＴ２１，ＰＴ２２，ＰＴ２３のいずれかへ搬送させるための命令である。
地上コントローラ１００の制御部１１０は、製造装置搬送命令を受信したときから、所定時間経過する前までの間に、後述する取り外し予告情報を受信してない場合、バッファ装置搬送命令を、搬送車２００へ送信する（Ｓ１１１）。
ここで、取り外し予告情報は、少なくとも所定時間（例えば、３分）経過後に、製造装置４１０からバッファ装置４２０が取り外されることを報知するための情報である。ここで、制御部１１０が、製造装置搬送命令を受信したときから、所定時間経過する前までの間に、取り外し予告情報を受信してない場合は、バッファ装置４２０が製造装置４１０に取り付けられているとする。また、バッファ装置搬送命令は、搬送車２００にカセットＣ１１をバッファ装置４２０へ搬送させるための搬送命令である。
前述したように、バッファ装置４２０が製造装置４１０に取り付けられている場合、搬送車２００がカセットＣ１１を搬送する対象となる装置は、バッファ装置４２０である。そのため、制御部１１０は、取り外し予告情報を受信してない場合、バッファ装置搬送命令を、搬送車２００へ送信する。
バッファ装置搬送命令には、ロードポート情報が含まれる。ロードポート情報は、例えば、カセットＣ１１を載せる動作を行う対象となるロードポートを示す。また、ロードポート情報は、動作情報を示す。動作情報は、ロードポート情報が示すロードポートを対象として、例えば、カセットＣ１１を載せる動作を示す情報である。
搬送車２００の制御部２１０は、バッファ装置搬送命令を受信すると、カセットＣ１１をバッファ装置４２０へ搬送するために、第１停止位置データＤ１００に示される４つの停止位置のうち、バッファ装置搬送命令に含まれるロードポート情報が示すロードポート（例えば、ロードポートＰＴ１１）に対応する停止位置に、搬送車２００を停止させるための制御を行う。
これにより、搬送車２００は、ロードポート情報が示すロードポートに対応する停止位置まで移動した後、当該停止位置に停止し、当該ロードポート情報が示す動作情報が示す動作を行う。
次に、オペレーターが、製造装置４１０の稼動を停止させるための作業を行う。当該作業は、例えば、製造装置４１０の外部に設けられたボタンを押下する作業である。この作業により、製造装置４１０は稼動停止する（Ｓ４１１）。
また、オペレーターは、取り外し予告作業を行う。取り外し予告作業は、例えば、バッファ装置４２０の外部に設けられた取り外し予告ボタン（図示せず）を押下する作業である。取り外し予告ボタンは、押下されることにより、前述した取り外し予告情報を、地上コントローラ１００へ送信するためのボタンである。
取り外し予告作業が行われると、バッファ装置４２０のコンピュータ（図示せず）は、取り外し予告情報を、地上コントローラ１００へ送信する（Ｓ４２１）。
地上コントローラ１００の制御部１１０は、取り外し予告情報を受信すると、ポートダウン報知情報を、搬送車２００へ送信する（Ｓ１１２）。ポートダウン報知情報は、搬送車２００が、例えば、バッファ装置４２０の有するロードポートおよび製造装置４１０に対応づけられたロードポートに対するカセットの移載が不許可となったことを示す情報である。すなわち、ポートダウン報知情報は、使用が不許可となったロードポート（以下、使用不許可ロードポートという）を報知するための情報である。
使用不許可ロードポートは、例えば、バッファ装置４２０の有するロードポートおよび製造装置４１０に対応づけられたロードポートである。ポートダウン報知情報は、使用不許可ロードポートも示す。
搬送車２００の制御部２１０は、ポートダウン報知情報を受信すると、ポートダウン処理を行う（Ｓ２１１）。ポートダウン処理では、ポートダウンの設定が行なわれる。具体的には、制御部２１０が、ポートダウン報知情報が示すロードポートの使用が不許可になったことを示す情報（以下、ポートダウン情報という）を、記憶部２２０に記憶させる。
ポートダウン情報は、使用不許可ロードポートを特定する情報を示す。記憶部２２０にポートダウン情報が記憶されている場合、ポートダウンの設定がされていることになる。
搬送車２００の制御部２１０は、ポートダウン報知情報を受信すると、ポートダウンの設定が解除されるまで、ポートダウン報知情報が示す使用不許可ロードポートにカセットを載せる処理および使用不許可ロードポートに載せられているカセットを持ち上げる処理を、搬送車２００が行わないように搬送車２００を制御する。
オペレーターは、取り外し予告作業を行った後、バッファ装置４２０の稼動を停止させるための作業を行い、バッファ装置４２０を製造装置４１０から取り外す（Ｓ４２２）。
また、オペレーターは、地上コントローラ１００の入力部１４０を使用して、停止位置切替操作を行う。すなわち、入力部１４０は停止位置切替操作を受け付ける（Ｓ１１３）。停止位置切替操作は、搬送車２００に第２停止位置データＤ２００を使用させるための操作である。
そして、オペレーターは、取り外されたバッファ装置４２０に対し、たとえば、メンテナンスを行う（Ｓ４２３）。
また、オペレーターは、稼動が停止している製造装置４１０を稼動させるための作業を行う。当該作業は、例えば、製造装置４１０の外部に設けられたボタンを押下する作業である。この作業により、製造装置４１０は稼動開始する（Ｓ４１２）。
地上コントローラ１００の制御部１１０は、入力部１４０が停止位置切替操作を受け付けると、制御部１１０は、設定切替データを、搬送車２００へ送信する（Ｓ１１４）。設定切替データは、搬送車２００が使用する停止位置データを第２停止位置データＤ２００に設定するための指示を示すデータである。
搬送車２００の制御部２１０は、通信部２７０を介して、設定切替データを受信すると、設定切替処理を行う（Ｓ２１２）。設定切替処理では、制御部２１０が、使用する停止位置データを第２停止位置データＤ２００に設定する。
そして、制御部２１０は、設定完了通知を、地上コントローラ１００へ送信する（Ｓ２１３）。設定完了通知は、搬送車２００が使用する停止位置データを第２停止位置データＤ２００に設定する処理が完了した旨の通知である。
そして、制御部２１０は、ポートダウン解除処理を行う（Ｓ２１４）。ポートダウン解除処理は、ポートダウンを解除するための処理である。具体的には、制御部２１０が、記憶部２２０に記憶されているポートダウン情報を削除する。これにより、使用不許可ロードポートの使用が許可される。すなわち、ポートダウンの設定が解除される。
地上コントローラ１００の制御部１１０は、設定完了通知を受信すると、受信した設定完了通知を、ＭＥＳ５０へ送信する（Ｓ１１５）。
ＭＥＳ５０は、設定完了通知を受信することにより、搬送車２００が使用する停止位置データが第２停止位置データＤ２００に設定されたことを知る。
地上コントローラ１００の制御部１１０は、設定完了通知を送信した後、搬送命令対象切替処理を行う（Ｓ１１６）。
搬送命令対象切替処理では、制御部１１０が、ＭＥＳ５０から製造装置搬送命令を受信した場合、受信した製造装置搬送命令としての搬送命令の対象となる装置を、バッファ装置４２０から、製造装置４１０に切替える。
すなわち、搬送命令対象切替処理は、搬送車２００がカセットＣ１１を搬送する対象となる装置（搬送対象装置）を、バッファ装置４２０から、製造装置４１０に切り替えるための処理である。この場合、制御部１１０が、ＭＥＳ５０から製造装置搬送命令を受信した場合、受信した製造装置搬送命令を、搬送車２００へ送信する。
ここで、ＭＥＳ５０は、製造装置搬送命令を、地上コントローラ１００へ送信したとする（Ｓ５２）。
そして、地上コントローラ１００の制御部１１０は、製造装置搬送命令を受信する。このとき、搬送車２００がカセットＣ１１を搬送する対象となる装置（搬送対象装置）は、製造装置４１０であるので、制御部１１０は、受信した製造装置搬送命令を、搬送車２００へ送信する（Ｓ１１７）。
製造装置搬送命令には、ロードポート情報が含まれる。ロードポート情報は、例えば、カセットＣ１１を載せる動作を行う対象となるロードポートを示す。また、ロードポート情報は、動作情報を示す。動作情報は、ロードポート情報が示すロードポートを対象として、例えば、カセットＣ１１を載せる動作を示す情報である。
搬送車２００の制御部２１０は、製造装置搬送命令を受信すると、停止処理を行う（Ｓ２１５）。停止処理では、制御部２１０は、カセットＣ１１を製造装置４１０へ搬送するために、第２停止位置データＤ２００に示される３つの停止位置のうち、製造装置搬送命令に含まれるロードポート情報が示すロードポート（例えば、ロードポートＰＴ２１）に対応する停止位置（例えば、停止位置ＳＴ２１）に、搬送車２００を停止させるための制御を行う。
これにより、搬送車２００は、ロードポート情報が示すロードポートに対応する停止位置まで移動した後、当該停止位置に停止し、当該ロードポート情報が示す動作情報が示す動作を行う。
なお、本実施の形態では、前述したポートダウンの代わりにルートダウンが行われてもよい。ルートダウンは、搬送車２００が走行する走行路の一部（例えば、走行路Ｌ１０）の走行を不許可とする処理である。以下においては、走行することが不許可とされた走行路を、ルートダウン走行路という。ルートダウンが行われた場合、搬送車２００の制御部２１０は、ルートダウン走行路を走行しないように搬送車２００を制御する。
なお、搬送車２００が、カセットＣ１１をバッファ装置４２０へ搬送している最中に、ポートダウンまたはルートダウン等により、搬送車２００がバッファ装置４２０へ搬送できなくなった場合、制御部２１０は、一旦、搬送車２００をエラー状態に設定する。
この場合、地上コントローラ１００は、一次保管命令を、搬送車２００へ送信する。一次保管命令は、前述した図５の天井バッファＢＵ１０へ、カセットＣ１１を載せるための命令である。
搬送車２００は、一次保管命令を受信すると、カセットＣ１１を、一時的に、天井バッファＢＵ１０に載せる。そして、地上コントローラ１００は、例えば、ポートダウンまたはルートダウンが解除されることにより、製造装置４１０にカセットＣ１１の搬送が可能になった場合、地上コントローラ１００は、天井バッファＢＵ１０に載せられているカセットＣ１１を、製造装置４１０まで搬送するための命令を、搬送車２００へ送信する。
搬送車２００は、当該命令の受信に応じて、天井バッファＢＵ１０に載せられているカセットＣ１１を、製造装置４１０まで搬送する。
次に、バッファ装置４２０が製造装置４１０から取り外されている状態において、バッファ装置４２０を製造装置４１０に取り付ける場合における、各装置の処理について説明する。バッファ装置４２０が製造装置４１０から取り外されている場合、搬送車２００がカセットＣ１１を搬送する対象となる装置は、製造装置４１０であるとする。すなわち、カセットＣ１１を搬送する対象は、製造装置４１０に対応づけられたロードポートＰＴ２１，ＰＴ２２，ＰＴ２３のいずれかであるとする。
ここで、製造装置４１０は稼動中であるとする。また、前述の設定切替処理により、搬送車２００が使用する停止位置データは第２停止位置データＤ２００に設定されているとする。また、前述の搬送命令対象切替処理により、地上コントローラ１００において搬送命令の対象となる装置が、製造装置４１０に設定されているとする。
また、オペレーターは、製造装置４１０から取り外されているバッファ装置４２０のメンテナンスの作業中であるとする。
図１２は、バッファ装置４２０を製造装置４１０に取り付ける場合における、ＭＥＳ５０、地上コントローラ１００、搬送車２００、バッファ装置４２０および製造装置４１０の各々で行われる処理を示す図である。
まず、ＭＥＳ５０は、製造装置搬送命令を、地上コントローラ１００へ送信する（Ｓ５１Ａ）。ここで、製造装置搬送命令は、搬送車２００にカセットＣ１１を製造装置４１０へ搬送させるための搬送命令である。すなわち、製造装置搬送命令は、搬送車２００にカセットＣ１１を、製造装置４１０に対応づけられたロードポートＰＴ２１，ＰＴ２２，ＰＴ２３のいずれかへ搬送させるための命令である。
そして、地上コントローラ１００の制御部１１０は、製造装置搬送命令を受信する。このとき、搬送車２００がカセットＣ１１を搬送する対象となる装置は、製造装置４１０であるので、制御部１１０は、受信した製造装置搬送命令を、搬送車２００へ送信する（Ｓ１１１Ａ）。
製造装置搬送命令には、ロードポート情報が含まれる。ロードポート情報は、例えば、カセットＣ１１を載せる動作を行う対象となるロードポートを示す。また、ロードポート情報は、動作情報を示す。動作情報は、ロードポート情報が示すロードポートを対象として、例えば、カセットＣ１１を載せる動作を示す情報である。
搬送車２００の制御部２１０は、製造装置搬送命令を受信すると、制御部２１０は、カセットＣ１１を製造装置４１０へ搬送するために、第２停止位置データＤ２００に示される３つの停止位置のうち、製造装置搬送命令に含まれるロードポート情報が示すロードポート（例えば、ロードポートＰＴ２１）に対応する停止位置（例えば、停止位置ＳＴ２１）に、搬送車２００を停止させるための制御を行う。
これにより、搬送車２００は、ロードポート情報が示すロードポートに対応する停止位置まで移動した後、当該停止位置に停止し、当該ロードポート情報が示す動作情報が示す動作を行う。
次に、オペレーターが、製造装置４１０の稼動を停止させるための作業を行う。この作業により、製造装置４１０は稼動停止する（Ｓ４１１）。
そして、オペレーターは、バッファ装置４２０のメンテナンスが完了したとする（Ｓ４２０Ａ）。
また、オペレーターは、取り付け予告作業を行う。取り付け予告作業は、例えば、バッファ装置４２０の外部に設けられた取り付け予告ボタン（図示せず）を押下する作業である。取り付け予告ボタンは、押下されることにより、取り付け予告情報を、地上コントローラ１００へ送信するためのボタンである。取り付け予告情報は、少なくとも所定時間（例えば、３分）経過後に、バッファ装置４２０が製造装置４１０に取り付けられることを報知するための情報である。
取り付け予告作業が行われると、バッファ装置４２０のコンピュータ（図示せず）は、取り付け予告情報を、地上コントローラ１００へ送信する（Ｓ４２１Ａ）。
地上コントローラ１００の制御部１１０は、取り付け予告情報を受信すると、前述したポートダウン報知情報を、搬送車２００へ送信する（Ｓ１１２）。
搬送車２００の制御部２１０は、ポートダウン報知情報を受信すると、ポートダウン処理を行う（Ｓ２１１）。なお、ポートダウン処理は、前述したので詳細な説明は繰り返さない。
オペレーターは、バッファ装置４２０を製造装置４１０に取り付け、バッファ装置４２０の稼動を再開させるための作業を行う（Ｓ４２２Ａ）。
また、オペレーターは、地上コントローラ１００の入力部１４０を使用して、停止位置切替操作Ａを行う。すなわち、入力部１４０は停止位置切替操作Ａを受け付ける（Ｓ１１３Ａ）。停止位置切替操作Ａは、搬送車２００に第１停止位置データＤ１００を使用させるための操作である。
また、オペレーターは、稼動が停止している製造装置４１０を稼動させるための作業を行う。当該作業は、例えば、製造装置４１０の外部に設けられたボタンを押下する作業である。この作業により、製造装置４１０は稼動開始する（Ｓ４１２）。
地上コントローラ１００の制御部１１０は、入力部１４０が停止位置切替操作Ａを受け付けると、制御部１１０は、設定切替データＡを、搬送車２００へ送信する（Ｓ１１４Ａ）。設定切替データＡは、搬送車２００が使用する停止位置データを第１停止位置データＤ１００に設定するための指示を示すデータである。
搬送車２００の制御部２１０は、通信部２７０を介して、設定切替データＡを受信すると、設定切替処理Ａを行う（Ｓ２１２Ａ）。設定切替処理Ａでは、制御部２１０が、使用する停止位置データを第１停止位置データＤ１００に設定する。そして、制御部２１０は、設定完了通知Ａを、地上コントローラ１００へ送信する（Ｓ２１３Ａ）。設定完了通知Ａは、搬送車２００が使用する停止位置データを第１停止位置データＤ１００に設定する処理が完了した旨の通知である。
そして、制御部２１０は、ポートダウン解除処理を行う（Ｓ２１４）。ポートダウン解除処理は、前述したので詳細な説明は繰り返さない。
地上コントローラ１００の制御部１１０は、設定完了通知Ａを受信すると、受信した設定完了通知Ａを、ＭＥＳ５０へ送信する（Ｓ１１５Ａ）。
ＭＥＳ５０は、設定完了通知Ａを受信することにより、搬送車２００が使用する停止位置データが第１停止位置データＤ１００に設定されたことを知る。
地上コントローラ１００の制御部１１０は、設定完了通知Ａを送信した後、搬送命令対象切替処理Ａを行う（Ｓ１１６Ａ）。
搬送命令対象切替処理Ａでは、制御部１１０が、ＭＥＳ５０から製造装置搬送命令を受信した場合、受信した製造装置搬送命令としての搬送命令の対象となる装置を、製造装置４１０から、バッファ装置４２０に切替える。すなわち、搬送命令対象切替処理Ａは、搬送車２００がカセットＣ１１を搬送する対象となる装置を、製造装置４１０から、バッファ装置４２０に切り替えるための処理である。この場合、制御部１１０が、ＭＥＳ５０から製造装置搬送命令を受信した場合、前述したバッファ装置搬送命令を、搬送車２００へ送信する。
ここで、ＭＥＳ５０は、製造装置搬送命令を、地上コントローラ１００へ送信したとする（Ｓ５２）。
そして、地上コントローラ１００の制御部１１０は、製造装置搬送命令を受信する。このとき、搬送車２００がカセットＣ１１を搬送する対象となる装置は、バッファ装置４２０であるので、制御部１１０は、バッファ装置搬送命令を、搬送車２００へ送信する（Ｓ１１７Ａ）。
バッファ装置搬送命令には、ロードポート情報が含まれる。ロードポート情報は、例えば、カセットＣ１１を載せる動作を行う対象となるロードポートを示す。また、ロードポート情報は、動作情報を示す。動作情報は、ロードポート情報が示すロードポートを対象として、例えば、カセットＣ１１を載せる動作を示す情報である。
搬送車２００の制御部２１０は、バッファ装置搬送命令を受信すると、停止処理Ａを行う（Ｓ２１５Ａ）。停止処理Ａでは、カセットＣ１１をバッファ装置４２０へ搬送するために、制御部２１０が、第１停止位置データＤ１００に示される４つの停止位置のうち、バッファ装置搬送命令に含まれるロードポート情報が示すロードポート（例えば、ロードポートＰＴ１１）に対応する停止位置に、搬送車２００を停止させるための制御を行う。
これにより、搬送車２００は、ロードポート情報が示すロードポートに対応する停止位置まで移動した後、当該停止位置に停止し、当該ロードポート情報が示す動作情報が示す動作を行う。
以上説明したように、搬送車２００がカセットＣ１１を搬送する対象となる装置が変更された場合、搬送車２００がカセットＣ１１を搬送する対象となる、変更後の装置に対応した停止位置データを搬送車２００が使用するように設定するのみで、搬送車２００は変更後の装置に対応した停止位置に停止することができる。
すなわち、搬送車の停止位置を迅速に切り替えることができるという効果を有する。
そのため、オペレーターがバッファ装置４２０のメンテナンスを行うために、オペレーターがバッファ装置４２０を製造装置４１０から取り外す場合、メンテナンス後の復旧を迅速に行うことができる。
また、搬送車２００が予め第１停止位置データＤ１００および第２停止位置データＤ２００を記憶しておくことで、オペレーターが、搬送車の停止位置を示す停止位置データの調整を行う必要がなくなり、バッファ装置４２０を製造装置４１０から取り外した後またはバッファ装置４２０を製造装置４１０に取り付けた後における、ルートダウンの期間を非常に短くできる。すなわち、ラインの復旧時間を非常に短くすることができる。
また、オペレーターが搬送車の停止位置を示す停止位置データの調整を行う必要がなくなることにより、オペレーターが物理的に作業する項目が減るので、人為的ミスを大幅に減らすことができる。
なお、本発明では、第１停止位置データＤ１００および第２停止位置データＤ２００は、搬送車２００の記憶部２２０に予め記憶されているとした。しかしながら、これに限定されることなく、地上コントローラ１００が、第１停止位置データＤ１００および第２停止位置データＤ２００を記憶していてもよい。そして、地上コントローラ１００が、必要に応じて、第１停止位置データＤ１００または第２停止位置データＤ２００を、搬送車２００へ送信してもよい。
（機能ブロック図）
図１３は、本発明に係る搬送システム１０００の特徴的な機能構成を示すブロック図である。つまり、図１３は、図６に示されるハードウエア構成によって実現される地上コントローラ１００の機能および図７に示されるハードウエア構成によって実現される搬送車２００の機能のうち、本発明に関わる機能を示すブロック図である。
なお、図１３には、説明のために、制御部１１０、入力部１４０、制御部２１０および通信部２７０を示す。
地上コントローラ１００の制御部１１０は、機能的には、送信部１１１を含む。
搬送車２００の制御部２１０は、機能的には、停止制御部２１１を含む。
送信部１１１は、搬送車２００がバッファ装置４２０に物品を載せることが可能な第１停止位置に停止するための第１データまたは搬送車２００が第１の装置に対応づけられた第２停止位置に停止するための第２データを搬送車２００へ送信する。
搬送車２００の通信部２７０は、第１データまたは第２データを受信する。
停止制御部２１１は、第１データを受信した場合、搬送車２００を第１停止位置に停止させる制御を行い、第２データを受信した場合、搬送車２００を第２停止位置に停止させる制御を行う。
また、送信部１１１は、入力部１４０が搬送車２００に第１停止位置データを使用させるための操作を受け付けた場合、搬送車２００に第１停止位置データを使用させるための第１設定切替データを搬送車２００へ送信し、入力部１４０が搬送車２００に第２停止位置データを使用させるための操作を受け付けた場合、搬送車２００に第２停止位置データを使用させるための第２設定切替データを搬送車２００へ送信する。
また、搬送車２００の制御部２１０は、機能的には、設定部２１２を含む。
設定部２１２は、通信部２７０が第１設定切替データを受信した場合、停止制御部２１１が第１停止位置データを使用するように設定し、通信部２７０が第２設定切替データを受信した場合、停止制御部２１１が第２停止位置データを使用するように設定する。
なお、制御部１１０に含まれる、送信部１１１は、ハードウエアで構成されてもよい。また、送信部１１１は、制御部１１０により実行されるプログラムのモジュールであってもよい。
また、制御部２１０に含まれる、停止制御部２１１および設定部２１２の全てまたは一部は、ハードウエアで構成されてもよい。また、停止制御部２１１および設定部２１２の全てまたは一部は、制御部２１０により実行されるプログラムのモジュールであってもよい。
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
本発明は、搬送車の停止位置を迅速に切り替えることを可能とする搬送システムとして、利用することができる。
Ｌ１０ 走行路
５０ ＭＥＳ
１００ 地上コントローラ
１１０，２１０ 制御部
１２０，２２０ 記憶部
１４０ 入力部
１７０，２７０ 通信部
２００ 搬送車
４１０ 製造装置
４２０ バッファ装置
１０００ 搬送システム

Claims (4)

  1. 予め定められた走行路と、前記走行路を走行することにより第１の装置に対して物品を搬送可能な搬送車と、前記搬送車を制御するコントローラとを含む搬送システムであって、
    前記搬送システムは、さらに、
    前記第１の装置に対し着脱可能な装置であって、前記搬送車が物品を載せることが可能な第２の装置を含み、
    前記コントローラは、
    前記第２の装置が前記第１の装置に取り付けられている場合、前記搬送車が前記第２の装置に物品を載せることが可能な第１停止位置に停止するための第１データを前記搬送車へ送信するとともに、前記第２の装置が前記第１の装置から取り外されている場合、前記搬送車が前記第１の装置に対応づけられた第２停止位置に停止するための第２データを前記搬送車へ送信する送信部を備え、
    前記搬送車は、
    前記第１データまたは第２データを受信する通信部と、
    前記第１データを受信した場合、前記搬送車を前記第１停止位置に停止させる制御を行い、前記第２データを受信した場合、前記搬送車を前記第２停止位置に停止させる制御を行う停止制御部と
    を備える、搬送システム。
  2. 前記搬送車は、さらに、
    前記第１停止位置を示す第１停止位置データと、前記第２停止位置を示す第２停止位置データとを記憶する記憶部を備え、
    前記コントローラは、さらに、
    オペレーターの操作を受け付ける入力部を備え、
    前記コントローラの前記送信部は、前記入力部が前記搬送車に前記第１停止位置データを使用させるための操作を受け付けた場合、前記搬送車に前記第１停止位置データを使用させるための第１設定切替データを前記搬送車へ送信し、前記入力部が前記搬送車に前記第２停止位置データを使用させるための操作を受け付けた場合、前記搬送車に前記第２停止位置データを使用させるための第２設定切替データを前記搬送車へ送信し、
    前記搬送車は、さらに、
    前記通信部が前記第１設定切替データを受信した場合、前記停止制御部が前記第１停止位置データを使用するように設定し、前記通信部が前記第２設定切替データを受信した場合、前記停止制御部が前記第２停止位置データを使用するように設定する設定部を備え、
    前記コントローラの前記送信部は、前記第１設定切替データを送信している場合、前記搬送車を前記第１停止位置に停止させるための命令としての前記第１データを前記搬送車へ送信し、前記第２設定切替データを送信している場合、前記搬送車を前記第２停止位置に停止させるための命令としての前記第２データを前記搬送車へ送信し、
    前記搬送車の前記停止制御部は、前記第１データを受信した場合、前記第１停止位置データが示す前記第１停止位置に前記搬送車を停止させる制御を行い、前記第２データを受信した場合、前記第２停止位置データが示す前記第２停止位置に前記搬送車を停止させる制御を行う、
    請求項１に記載の搬送システム。
  3. 前記第１データは、前記走行路上の連続する第１ポイントから第２ポイントの間において、前記第１ポイントから第１距離だけ離れた位置である前記第１停止位置を示し、
    前記第２データは、前記第１ポイントから前記第１距離と異なる第２距離だけ離れた位置である前記第２停止位置を示し、
    前記送信部は、前記第１データまたは前記第２データを前記搬送車へ送信する、
    請求項１に記載の搬送システム。
  4. 前記第２の装置は、前記第１の装置から搬出された物品または前記第１の装置へ供給する物品を保管するための装置であり、
    前記第１データは、複数の前記第１停止位置を示し、
    前記第２データは、複数の前記第２停止位置を示し、
    前記第１データが示す前記第１停止位置の数は、前記第２データが示す前記第２停止位置の数と異なる、
    請求項１または３に記載の搬送システム。
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