TWI471711B - Handling system - Google Patents

Handling system Download PDF

Info

Publication number
TWI471711B
TWI471711B TW99106153A TW99106153A TWI471711B TW I471711 B TWI471711 B TW I471711B TW 99106153 A TW99106153 A TW 99106153A TW 99106153 A TW99106153 A TW 99106153A TW I471711 B TWI471711 B TW I471711B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
transport vehicle
data
stop position
transport
stop
Prior art date
Application number
TW99106153A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201033098A (en
Inventor
Tadamasa Tominaga
Original Assignee
Murata Machinery Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Machinery Ltd filed Critical Murata Machinery Ltd
Publication of TW201033098A publication Critical patent/TW201033098A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI471711B publication Critical patent/TWI471711B/zh

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0457—Storage devices mechanical with suspended load carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67766—Mechanical parts of transfer devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769—Storage means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)

Description

搬運系統
本發明，是有關於供控制將物品搬運的搬運車用的搬運系統。
習知，具有使用頂棚搬運車等的搬運車將物品搬運的系統也就是搬運系統。
例如，在製造半導體元件的半導體工場內，依據各製造過程，被分配在被稱為支線(bay)的領域，在各支線(bay)中配置有使複數頂棚搬運車朝一方向周轉用的循環路徑。
在各循環路徑中，複數搬運車是分別將半導體元件的材料也就是晶圓等的物品朝該支線(bay)內的製造裝置搬運。因此，搬運車，是停止在預先決定的位置。在專利文獻1中，揭示了控制有關使高架行走車(搬運車)停止在停止位置的技術。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2005-202464號公報
在被安置在工場內的製造裝置中，也有設有可裝卸的裝置(以下稱為可裝卸裝置)的情況。
從製造裝置將可裝卸裝置取下的情況時，搬運車也有例如將物品搬運至將由製造裝置所製造的物供給的位置的情況。依據可裝卸裝置是否安裝在製造裝置，使搬運車的停止位置變化的情況時，操作者有需要進行顯示搬運車的停止位置的停止位置資料的調整。
此調整作業，有需要由操作者手動作業進行，進行調整作業的期間(以下稱為調整期間的)會很長(例如1小時)。因此，在調整期間，在製造裝置所設置的區域內，無法將搬運車移動，直到調整期間終了，將搬運車的移動可再開為止的花費時間很長。其結果，對於搬運車的停止位置的切換具有花費時間很長的問題。
本發明，是為了解決上述的問題點，其目的是提供一種搬運系統，可將搬運車的停止位置迅速地切換。
為了解決上述的課題，本發明的某局面的搬運系統，是包含：預先決定的行走路、及藉由行走在行走路而可對於第1裝置搬運物品的搬運車、及控制搬運車的控制器。搬運系統，是進一步包含第2裝置，對於第1裝置可裝卸且使搬運車可載置物品。控制器是具備發訊部，可將使搬運車停止於可將物品載置在第2裝置的第1停止位置用的第1資料或是使搬運車停止於對應第1裝置的第2停止位 置用的第2資料朝搬運車發訊。搬運車是具備：將第1資料或是第2資料收訊用的通訊部；及收訊到第1資料的情況時，進行將搬運車停止於第1停止位置的控制，收訊到第2資料的情況時，進行將搬運車停止於第2停止位置的控制用的停止控制部。
即，停止控制部，是當收訊到第1資料的情況時，進行使搬運車停止在第1停止位置的控制，當收訊到第2資料的情況時，進行使搬運車停止在第2停止位置的控制。即，可以對應收訊到的資料的種類，將搬運車的停止位置迅速地切換。因此，搬運車的停止位置可以迅速地切換。
又，本發明，是以包含本發明的搬運系統中具有特徵的動作步驟的搬運車的控制方法實現也可以。且，本發明，是以將那些各步驟在控制裝置也就是控制器實行的控制程式實現也可以。
藉由本發明，搬運車的停止位置可以迅速地切換。
以下，一邊參照圖面，一邊說明本發明的實施例。在以下的說明中，在同一的零件中附加相同的符號。那些的名稱及功能也相同。因此，對於那些的詳細說明省略。
<第1實施例>
第1圖，是顯示本實施例中的搬運系統1000的結構的圖。又，在第1圖中，為了說明的方便，另外也顯示未包含在搬運系統1000的MES(製造執行系統、Manufacturing Execution System)50。
搬運系統1000，是被設在例如製造半導體元件的工場等的設施內。
如第1圖所示，搬運系統1000，是包含：控制器100、及行走路L10、及連接路L20、及連接路L31、L32、及搬運車200、及製造裝置410、及暫存裝置420。
行走路L10及連接路L20、L31、L32，是供搬運車200行走用的行走路。行走路L10及連接路L20、L31、L32，是被配置於設施的頂棚。行走路L10，是經過點P11~P16的行走路。
行走路L10及連接路L20，是例如分別使搬運車200只能朝順時鐘行走。連接路L31、L32，是將行走路L10及連接路L20連接的行走路。
MES50，是將控制器100控制用的電腦。MES50，是藉由與控制器100通訊，來管理搬運系統1000內的各裝置的狀況。
控制器100，是具有將搬運車200控制的功能的電腦。
搬運車200，是沿著行走路L10等移動的頂棚搬運車。
製造裝置410，是例如生成半導體元件的材料也就是 晶圓等的裝置。
暫存裝置420，是具有可將卡匣載置的複數裝載埠的裝置。卡匣，是可將預定枚數的由製造裝置410所生成的晶圓放入的容器。
暫存裝置420，是可對於製造裝置410裝卸的裝置。即，暫存裝置420，是可由操作者手動作業被移動的裝置。又，暫存裝置420，是具有可進行各式各樣處理的電腦。
且，控制器100，是與暫存裝置420通訊。
第2圖，是顯示暫存裝置420的外觀的立體圖。
第3圖，是顯示暫存裝置420的內部的立體圖。如第3圖所示，暫存裝置420，是具有可將卡匣C11載置的複數裝載埠。複數裝載埠的一部分，是例如裝載埠PT11、PT12、PT13、PT14。
第4圖，是顯示暫存裝置420從製造裝置410被取下的情況時的複數裝載埠的圖。
如第4圖所示的裝載埠PT21、PT22、PT23，是被配置於可將製造裝置410所製造的晶圓從製造裝置410收取的位置。又，裝載埠PT21、PT22、PT23的各位置是被固定。即，裝載埠PT21、PT22、PT23的各位置，是對應製造裝置410的位置。即，裝載埠PT21、PT22、PT23，是分別對應製造裝置410的裝載埠。
在裝載埠PT21、PT22、PT23中，分別可將卡匣C11載置。
製造裝置410，是將製造好的晶圓搬出後，放入各被載置於裝載埠PT21、PT22、PT23的卡匣C11內。
在此，朝各被載置在裝載埠PT21、PT22、PT23的卡匣C11內，將製造裝置410所製造的晶圓搬出的話。且，被載置在裝載埠PT21、PT22、PT23的任一的具有晶圓的卡匣C11，是藉由搬運車200的動作，被載置在暫存裝置420的裝載埠PT11、PT12、PT13、PT14的任一。此情況，暫存裝置420，是暫時地保管從製造裝置410被搬出的物品也就是具有晶圓的卡匣C11用的裝置。
且，在此，被載置在具有暫存裝置420的裝載埠的具有晶圓的卡匣C11，是藉由搬運車200的動作，被載置在裝載埠PT21、PT22、PT23的任一。且，製造裝置410，也進行被載置在各裝載埠PT21、PT22、PT23的卡匣C11內的晶圓取得用的處理。此情況，暫存裝置420，是將作為朝製造裝置410供給的物品也就是具有晶圓的卡匣C11暫時地保管用的裝置。
又，第4圖，是顯示被載置在各裝載埠PT21、PT22、PT23的卡匣C11的狀態。
第5圖，是顯示搬運車200的外觀的立體圖。
如第5圖所示，搬運車200，是例如，沿著形成行走路L10的軌道移動的頂棚搬運車。且，搬運車200，是具有將物品保持用的物品保持部240。
又，暫存裝置420被安裝於製造裝置410的情況，如第3圖所示的裝載埠PT11、PT12、PT13、PT14，是分別 被配置於行走路L10的正下方。且，如第4圖所示的裝載埠PT21、PT22、PT23也分別被配置於行走路L10的正下方。
搬運車200，是例如，隨著來自控制器100的指示，沿著行走路L10移動至裝載埠PT11上為止，並降下至預定的高度為止。
且，搬運車200，是例如，依據來自控制器100的指示，將作為被載置在裝載埠PT11的物品也就是卡匣C11在被物品保持部240保持的狀態下上昇，移動至裝載埠PT12上為止。搬運車200，是例如移動至裝載埠PT12上為止的話，先降下，將物品保持部240所保持的物品(卡匣C11)放置在裝載埠PT12上之後，再上昇。
搬運車200，是藉由反覆這種動作，進行物品的移送。
且，在行走路L10中，被貼附有將裝載埠等的位置搬運車200檢出用的條碼BC10。
搬運車200，是藉由自機(本身)所具有的條碼掃描器(無圖示)，讀取被貼在行走路L10的條碼BC10，自機是藉由參照所記憶的佈局配置資料，就可以檢出自機是走行於或是停止於行走路L10上的哪一地點。
且，在行走路L10中具備複數頂棚暫存區BU10，可將由搬運車200所搬運的物品暫時地載置。
第6圖，是顯示控制器100內的硬體構成的方塊圖。
如第6圖所示，控制器100，是具備：控制部110、 及記憶部120、及輸入部140、及通訊部170。控制部110、記憶部120、輸入部140及通訊部170，是與資料匯流排102連接。
控制部110，是CPU(中央處理器、Central Processing Unit)。又，控制部110不限定於CPU，具有計算功能的其他的電路也可以。
記憶部120，是不揮發性的記憶體。記憶部120，是例如，硬碟裝置(HDD)。又，記憶部120不限定於硬碟裝置(HDD)，只要是不揮發性的記憶體的話，其他的記憶體(例如快閃記憶體)也可以。記憶部120，是藉由控制部110，被資料存取。在記憶部120中，程式51、其他的各種資料等被記憶。
控制部110，是實行被記憶在記憶部120的程式51，依據程式51，進行對於控制器100內的各部的各種處理、和計算處理等。
輸入部140，是接受操作者的操作輸入介面。該輸入介面，是例如鍵盤、按鈕等。輸入部140，是接受到操作者的操作的話，將對應接受到的操作的操作資訊，朝控制部110發訊。控制部110，是依據收訊到的操作資訊，進行預定的處理。
通訊部170，是具有利用無線技術與搬運車200進行資料通訊的功能。且，通訊部170，是具有與暫存裝置420進行資料通訊的功能。
第7圖，是顯示搬運車200內的硬體構成的方塊圖。
如第7圖所示，搬運車200，是具備：控制部210、及記憶部220、及通訊部270。控制部210、記憶部220及通訊部270，是與資料匯流排202連接。
控制部210，是CPU(Central Processing Unit)。又，控制部210不限定於CPU，具有計算功能的其他的電路也可以。
記憶部220，是不揮發性的記憶體。記憶部220，是例如，硬碟裝置(HDD)。又，記憶部220不限定於硬碟裝置(HDD)，只要是不揮發的記憶體的話，其他的記憶體(例如快閃記憶體)也可以。記憶部220，是藉由控制部210進行資料存取。在記憶部220中，程式21、後述的停止位置資料、其他的各種資料等被記憶。
控制部210，是實行被記憶在記憶部220的程式21，依據程式21，對於搬運車200內的各部的各種處理、和計算處理，進行搬運車200的動作的控制等。搬運車200的動作的控制，是例如，使搬運車200停止、及使搬運車200移動的控制。
通訊部270，是具有利用無線技術與控制器100進行資料通訊的功能。
接著，說明搬運車200的停止位置。
第8圖，是說明搬運車200的停止位置用的圖。
第8圖(A)，是顯示暫存裝置420被安裝於製造裝置410的情況時，搬運車200所停止的停止位置ST11、ST12、ST13、ST14的圖。
停止位置ST11、ST12、ST13、ST14，是各別對應如第3圖所示的裝載埠PT11、PT12、PT13、PT14的停止位置。
例如，搬運車200是將卡匣C11被載置在暫存裝置420所具有的裝載埠PT12的情況時，或是搬運車200是將被載置在暫存裝置420所具有的裝載埠PT12的卡匣C11抬起的情況時，搬運車200是停止在停止位置ST12。
第8圖(B)，是顯示暫存裝置420從製造裝置410被取下的情況時，搬運車200所停止的停止位置ST21、ST22、ST23的圖。
停止位置ST21、ST22、ST23，是各別對應如第4圖所示的裝載埠PT21、PT22、PT23的停止位置。如前述，裝載埠PT21、PT22、PT23，是分別對應製造裝置410的裝載埠。因此，停止位置ST21、ST22、ST23，是分別對應製造裝置410的位置。
例如，搬運車200是將卡匣C11載置在對應製造裝置410的裝載埠PT23的情況時，或是搬運車200是將被載置在對應製造裝置410的裝載埠PT23的卡匣C11抬起的情況時，搬運車200是停止在停止位置ST23。
以下，使搬運車200將卡匣C11朝對應製造裝置410的裝載埠PT21、PT22、PT23的任一搬運的敘述表現，簡單以使搬運車200將卡匣C11朝製造裝置410搬運來表現。且，以下，使搬運車200將卡匣C11搬運的對象，是 對應製造裝置410的裝載埠PT21、PT22、PT23的任一的情況時，成為使搬運車200將卡匣C11搬運的對象的裝置，是製造裝置410。
且，以下，成為使搬運車200將卡匣C11搬運的對象的裝置，也稱為搬運對象裝置。搬運對象裝置是製造裝置410的情況時，搬運車200，是將卡匣C11朝裝載埠PT21、PT22、PT23的任一搬運。
暫存裝置420被安裝於製造裝置410的情況時，將停止位置ST11、ST12、ST13、ST14界定用的停止位置資料，是成為以下的第1停止位置資料D100。
第9圖，是顯示其中一例的第1停止位置資料D100的圖。第1停止位置資料D100，是由4個停止資料所構成。
在第9圖中，「號碼」，是將停止資料界定用的符號。「停止位置」，是在第8圖(A)說明的停止位置。在第9圖中，「距離」，是從如第1圖、第8圖(A)或是第8圖(B)所示的行走路L10上的點P12至對應的停止位置為止的距離。例如，號碼"1"的停止資料，是顯示從行走路L10上的點P12至停止位置ST11為止的距離L11(例如1200毫米)。即，第1停止位置資料D100，是顯示從如第8圖(A)所示的行走路L10上的連續的點P12至點P13之間的各停止位置。
且，暫存裝置420是從製造裝置410被取下的情況，將停止位置ST21、ST22、ST23界定用的停止位置資料， 是成為以下的第2停止位置資料D200。
第10圖，是顯示其中一例的第2停止位置資料D200的圖。第2停止位置資料D200，是由3個停止資料所構成。
如第2停止位置資料D200所示的各項目，因為是與如第9圖的第1停止位置資料D100所示的各項目同樣所以詳細的說明省略。即，第2停止位置資料D200，是顯示從如第8圖(B)所示的行走路L10上的連續的點P12至點P13之間的各停止位置。
又，在第2停止位置資料D200中，例如，號碼"3"的停止資料，是顯示從第8圖(B)的行走路L10上的點P12至停止位置ST23為止的距離L23(例如1800毫米)。
第9圖的第1停止位置資料D100及第10圖的第2停止位置資料D200，是預先被記憶在搬運車200的記憶部220。
接著，說明將搬運車200的停止位置變更用的處理。
首先說明，在暫存裝置420被安裝於製造裝置410的狀態下，暫存裝置420從製造裝置410被取下的情況時，各裝置的處理。
暫存裝置420被安裝於製造裝置410的情況時，成為使搬運車200將卡匣C11搬運的對象的裝置，是暫存裝置420。
在此，製造裝置410為運轉中。
第11圖，是顯示暫存裝置420從製造裝置410被取下的情況時，分別在MES50、控制器100、搬運車200、暫存裝置420及製造裝置410進行處理的圖。
首先，MES50，是將製造裝置搬運命令，朝控制器100發訊(S51)。在此，製造裝置搬運命令，是使搬運車200將卡匣C11朝製造裝置410搬運用的搬運命令。即，製造裝置搬運命令，是使搬運車200將卡匣C11朝對應製造裝置410的裝載埠PT21、PT22、PT23的任一搬運用的命令。
控制器100的控制部110，是從收訊到製造裝置搬運命令時，直到預定時間經過之前為止之間，未收訊到後述的取下預告資訊的情況時，將暫存裝置搬運命令，朝搬運車200發訊(S111)。
在此，取下預告資訊，是在至少預定時間(例如3分鐘)經過之後，報知暫存裝置420從製造裝置410被取下用的資訊。在此，控制部110，是從收訊到製造裝置搬運命令時，直到預定時間經過之前為止之間，未收訊到取下預告資訊的情況時，暫存裝置420被安裝於製造裝置410。且，暫存裝置搬運命令，是使搬運車200將卡匣C11朝暫存裝置420搬運用的搬運命令。
如前述，暫存裝置420被安裝於製造裝置410的情況時，成為使搬運車200將卡匣C11搬運的對象的裝置，是暫存裝置420。因此，控制部110，是未收訊到取下預告資訊的情況，將暫存裝置搬運命令，朝搬運車200發訊。
在暫存裝置搬運命令中，包含裝載埠資訊。裝載埠資訊，是顯示例如成為進行將卡匣C11載置動作的對象的裝載埠。且，裝載埠資訊，是顯示動作資訊。動作資訊，是顯示將以裝載埠資訊所示的裝載埠為對象的例如卡匣C11載置的動作。
搬運車200的控制部210，是將暫存裝置搬運命令收訊的話，為了將卡匣C11朝暫存裝置420搬運，進行將搬運車200停止在如第1停止位置資料D100所示的4個停止位置之中顯示對應被包含於暫存裝置搬運命令的裝載埠資訊的裝載埠(例如裝載埠PT11)的停止位置用的控制。
由此，搬運車200，是移動直到對應顯示裝載埠資訊的裝載埠的停止位置為止之後，停止在該停止位置，進行顯示該裝載埠資訊所示的動作資訊的動作。
接著，操作者，是進行停止製造裝置410的運轉用的作業。該作業，是例如，將被設在製造裝置410的外部的按鈕按下的作業。藉由此作業，停止製造裝置410運轉(S411)。
且，操作者，也進行取下預告作業。取下預告作業，是例如，將設在暫存裝置420的外部的取下預告按鈕(無圖示)按下的作業。取下預告按鈕，是藉由被按下將前述的取下預告資訊朝控制器100發訊用的按鈕。
取下預告作業被進行的話，暫存裝置420的電腦(無圖示)，是將取下預告資訊，朝控制器100發訊 (S421)。
控制器100的控制部110，是將取下預告資訊收訊的話，將使用不許可報知資訊，朝搬運車200發訊(S112)。使用不許可報知資訊，是顯示搬運車200對於例如在暫存裝置420所有的裝載埠及對應製造裝置410的裝載埠的卡匣的移載成為不許可的資訊。即，使用不許可報知資訊，是將使用成為不許可的裝載埠(以下稱為使用不許可裝載埠)報知用的資訊。
使用不許可裝載埠，是例如，暫存裝置420所有的裝載埠及對應製造裝置410的裝載埠。使用不許可報知資訊，也顯示使用不許可裝載埠。
搬運車200的控制部210，是收訊到使用不許可報知資訊的話，進行使用不許可處理(S211)。在使用不許可處理中，進行使用不許可的設定。具體而言，控制部210，是將顯示使用不許可報知資訊所示的裝載埠的使用成為不許可的資訊(以下稱為使用不許可資訊)，記憶在記憶部220。
使用不許可資訊，是顯示將使用不許可裝載埠界定的資訊。使用不許可資訊是被記憶在記憶部220的情況時，進行使用不許可的設定。
搬運車200的控制部210，是收訊到使用不許可報知資訊的話，直到使用不許可的設定被解除為止，使搬運車200不會進行將卡匣載置在使用不許可報知資訊所示的使用不許可裝載埠的處理及抬起被載置在使用不許可裝載埠 的卡匣的處理的方式控制搬運車200。
操作者進行取下預告作業之後，進行停止暫存裝置420的運轉用的作業，將暫存裝置420從製造裝置410取下(S422)。
且，操作者，是使用控制器100的輸入部140，進行停止位置切換操作。即，輸入部140是接受停止位置切換操作(S113)。停止位置切換操作，是在搬運車200使用第2停止位置資料D200用的操作。
且，操作者，是對於被取下的暫存裝置420例如進行維修(S423)。
且，操作者，是進行使運轉停止的製造裝置410開始運轉用的作業。該作業，是例如，將設在製造裝置410的外部的按鈕按下的作業。藉由此作業，製造裝置410開始運轉(S412)。
控制器100的控制部110，當輸入部140接受到停止位置切換操作的話，控制部110，是將設定切換資料，朝搬運車200發訊(S114)。設定切換資料，是將搬運車200所使用的停止位置資料設定成顯示第2停止位置資料D200用的指示的資料。
搬運車200的控制部210，是透過通訊部270，收訊到設定切換資料的話，進行設定切換處理(S212)。在設定切換處理中，控制部210，是將使用的停止位置資料設定成第2停止位置資料D200。
且，控制部210，是將設定完成通知，朝控制器100 發訊(S213)。設定完成通知，是將使用搬運車200的停止位置資料設定成第2停止位置資料D200的處理已完成的通知指令。
且，控制部210，是進行使用不許可解除處理(S214)。使用不許可解除處理，是將使用不許可解除用的處理。具體而言，控制部210，是將被記憶在記憶部220的使用不許可資訊刪除。由此，使用不許可裝載埠的使用被許可。即，使用不許可的設定被解除。
控制器100的控制部110，是收訊到設定完成通知的話，將收訊到的設定完成通知，朝MES50發訊(S115)。
MES50，是藉由收訊到設定完成通知，就可知道搬運車200所使用的停止位置資料是被設定在第2停止位置資料D200。
控制器100的控制部110，是在將設定完成通知發訊之後，進行搬運命令對象切換處理(S116)。
在搬運命令對象切換處理中，控制部110，是從MES50收訊到製造裝置搬運命令的情況，將成為作為收訊到的製造裝置搬運命令的搬運命令的對象的裝置，從暫存裝置420，切換至製造裝置410。
即，搬運命令對象切換處理，是將成為使搬運車200將卡匣C11搬運的對象的裝置(搬運對象裝置)，從暫存裝置420，切換至製造裝置410用的處理。此情況，控制部110，是從MES50收訊到製造裝置搬運命令的情況 時，將收訊的製造裝置搬運命令，朝搬運車200發訊。
在此，MES50，是將製造裝置搬運命令，朝控制器100發訊(S52)。
且，控制器100的控制部110，是將製造裝置搬運命令收訊。此時，成為使搬運車200將卡匣C11搬運的對象的裝置(搬運對象裝置)，因為是製造裝置410，所以控制部110，是將收訊的製造裝置搬運命令，朝搬運車200發訊(S117)。
在製造裝置搬運命令中，包含裝載埠資訊。裝載埠資訊，是例如，顯示成為進行將卡匣C11載置的動作的對象的裝載埠。且，裝載埠資訊，是顯示動作資訊。動作資訊，是顯示以裝載埠資訊所顯示的裝載埠為對象，例如將卡匣C11載置的動作的資訊。
搬運車200的控制部210，是收訊到製造裝置搬運命令的話，進行停止處理(S215)。在停止處理中，控制部210，為了將卡匣C11朝製造裝置410搬運，進行將搬運車200停止於如第2停止位置資料D200所示的3個停止位置之中的對應被包含於製造裝置搬運命令的裝載埠資訊所顯示的裝載埠(例如裝載埠PT21)的停止位置(例如停止位置ST21)的控制。
由此，搬運車200，是移動直到對應顯示裝載埠資訊的裝載埠的停止位置為止之後，停止在該停止位置，進行顯示該裝載埠資訊所示的動作資訊的動作。
又，在本實施例中，可取代前述的使用不許可，設定 路徑不許可也可以。路徑不許可，是將搬運車200所行走的行走路的一部分(例如行走路L10)設成行走不許可的處理。在以下，將被設成行走不許可的行走路，稱為路徑不許可行走路。被設成路徑不許可的情況，搬運車200的控制部210，是使不走行於路徑不許可行走路的方式將搬運車200控制。
又，搬運車200，是在將卡匣C11朝暫存裝置420搬運的進行之中，藉由使用不許可或是路徑不許可等，使搬運車200無法朝暫存裝置420搬運的情況時，控制部210，是一旦將搬運車200設定成錯誤狀態。
此情況，控制器100，是將一次保管命令，朝搬運車200發訊。一次保管命令，是朝前述的第5圖的頂棚暫存區BU10，將卡匣C11載置用的命令。
搬運車200，是收訊到一次保管命令的話，將卡匣C11，暫時地載置在頂棚暫存區BU10。且，控制器100，是例如藉由使用不許可或是路徑不許可被解除，成為可朝製造裝置410進行卡匣C11的搬運的情況時，控制器100，是使將被載置在頂棚暫存區BU10的卡匣C11搬運至製造裝置410為止用的命令，朝搬運車200發訊。
搬運車200，是對應該命令的收訊，將被載置在頂棚暫存區BU10的卡匣C11，搬運至製造裝置410為止。
接著說明，在暫存裝置420從製造裝置410被取下的狀態下，將暫存裝置420安裝在製造裝置410的情況時，各裝置的處理。暫存裝置420是從製造裝置410被取下的 情況，成為使搬運車200將卡匣C11搬運的對象的裝置，是製造裝置410。即，將卡匣C11搬運的對象，是對應製造裝置410的裝載埠PT21、PT22、PT23的任一。
在此，製造裝置410為運轉中。且，藉由前述的設定切換處理，搬運車200所使用的停止位置資料是被設定在第2停止位置資料D200。且，藉由前述的搬運命令對象切換處理，在控制器100中成為搬運命令的對象的裝置，是被設定在製造裝置410。
且，操作者，是對於從製造裝置410被取下的暫存裝置420進行維修作業。
第12圖，是顯示將暫存裝置420安裝在製造裝置410的情況時，分別在MES50、控制器100、搬運車200、暫存裝置420及製造裝置410所進行處理的圖。
首先，MES50，是將製造裝置搬運命令，朝控制器100發訊(S51A)。在此，製造裝置搬運命令，是使搬運車200將卡匣C11朝製造裝置410搬運用的搬運命令。即，製造裝置搬運命令，是使搬運車200將卡匣C11朝對應製造裝置410的的裝載埠PT21、PT22、PT23的任一搬運用的命令。
且，控制器100的控制部110，是將製造裝置搬運命令收訊。此時，成為使搬運車200將卡匣C11搬運的對象的裝置，因為是製造裝置410，所以控制部110，是將收訊到的製造裝置搬運命令，朝搬運車200發訊(S111A)。
在製造裝置搬運命令中，包含裝載埠資訊。裝載埠資訊，是例如，顯示成為進行將卡匣C11載置的動作的對象的裝載埠。且，裝載埠資訊，是顯示動作資訊。動作資訊，是顯示以裝載埠資訊所顯示的裝載埠為對象，例如將卡匣C11載置的動作的資訊。
搬運車200的控制部210，是收訊到製造裝置搬運命令的話，控制部210，為了將卡匣C11朝製造裝置410搬運，是進行將搬運車200停止在顯示第2停止位置資料D200所示的3個停止位置之中對應被包含於製造裝置搬運命令的裝載埠資訊的裝載埠(例如裝載埠PT21)的停止位置(例如停止位置ST21)的控制。
由此，搬運車200，是移動直到對應顯示裝載埠資訊的裝載埠的停止位置為止之後，停止在該停止位置，進行顯示該裝載埠資訊所示的動作資訊的動作。
接著，操作者，是進行停止製造裝置410的運轉用的作業。藉由此作業，停止製造裝置410的運轉(S411)。
且，操作者已完成暫存裝置420的維修(S420A)。
且，操作者，是進行安裝預告作業。安裝預告作業，是例如，將設在暫存裝置420的外部的安裝預告按鈕(無圖示)按下的作業。安裝預告按鈕，是藉由被按下，將安裝預告資訊，朝控制器100發訊用的按鈕。安裝預告資訊，是在至少預定時間(例如3分鐘)經過後，報知暫存裝置420已被安裝於製造裝置410用的資訊。
安裝預告作業被進行的話，暫存裝置420的電腦(無 圖示)，是將安裝預告資訊，朝控制器100發訊(S421A)。
控制器100的控制部110，是收訊到安裝預告資訊的話，將前述的使用不許可報知資訊，朝搬運車200發訊(S112)。
搬運車200的控制部210，是收訊到使用不許可報知資訊的話，進行使用不許可處理(S211)。又，使用不許可處理，因為已說明所以詳細的說明省略。
操作者，是將暫存裝置420安裝在製造裝置410，進行將暫存裝置420的運轉再開用的作業(S422A)。
且，操作者，是使用控制器100的輸入部140，進行停止位置切換操作A。即，輸入部140是接受停止位置切換操作A(S113A)。停止位置切換操作A，是在搬運車200使用第1停止位置資料D100用的操作。
且，操作者，是進行使運轉停止的製造裝置410開始運轉用的作業。該作業，是例如，將設在製造裝置410的外部的按鈕按下的作業。藉由此作業，製造裝置410開始運轉(S412)。
控制器100的控制部110，是輸入部140接受到停止位置切換操作A的話，控制部110，是將設定切換資料A，朝搬運車200發訊(S114A)。設定切換資料A，是顯示將使用搬運車200的停止位置資料設定成第1停止位置資料D100用的指示的資料。
搬運車200的控制部210，是透過通訊部270，收訊 到設定切換資料A的話，進行設定切換處理A(S212A)。在設定切換處理A中，控制部210，是將使用的停止位置資料設定成第2停止位置資料D200。且，控制部210，是將設定完成通知A，朝控制器100發訊(S213A)。設定完成通知A，是將使用搬運車200的停止位置資料設定成第1停止位置資料D100的處理已完成的通知指令。
且，控制部210，是進行使用不許可解除處理(S214)。使用不許可解除處理，因為已說明所以詳細的說明省略。
控制器100的控制部110，是收訊到設定完成通知A的話，將收訊到的設定完成通知A，朝MES50發訊(S115A)。
MES50，是藉由將設定完成通知A收訊，而知道搬運車200所使用的停止位置資料被設定在第1停止位置資料D100。
控制器100的控制部110，是將設定完成通知A發訊之後，進行搬運命令對象切換處理A(S116A)。
在搬運命令對象切換處理A中，控制部110，是從MES50收訊到製造裝置搬運命令的情況，將成為作為收訊到的製造裝置搬運命令的搬運命令的對象的裝置，從製造裝置410，切換至暫存裝置420。即，搬運命令對象切換處理A，是將成為使搬運車200將卡匣C11搬運的對象的裝置，從製造裝置410，切換至暫存裝置420用的處 理。此情況，控制部110，是從MES50收訊到製造裝置搬運命令的情況時，將前述的暫存裝置搬運命令，朝搬運車200發訊。
在此，MES50，是將製造裝置搬運命令，朝控制器100發訊(S52)。
且，控制器100的控制部110，是將製造裝置搬運命令收訊。此時，成為使搬運車200將卡匣C11搬運的對象的裝置，因為是暫存裝置420，所以控制部110，是將暫存裝置搬運命令，朝搬運車200發訊(S117A)。
在暫存裝置搬運命令中，包含裝載埠資訊。裝載埠資訊，是顯示例如成為進行將卡匣C11載置動作的對象的裝載埠。且，裝載埠資訊，是顯示動作資訊。動作資訊，是顯示以裝載埠資訊所示的裝載埠為對象，將例如卡匣C11載置的動作的資訊。
搬運車200的控制部210，是收訊到暫存裝置搬運命令的話，進行停止處理A(S215A)。在停止處理A中，為了將卡匣C11朝暫存裝置420搬運，控制部210，是進行將搬運車200停止在第1停止位置資料D100所示的4個停止位置之中顯示對應被包含於暫存裝置搬運命令的裝載埠資訊的裝載埠(例如裝載埠PT11)的停止位置用的控制。
由此，搬運車200，是移動直到對應顯示裝載埠資訊的裝載埠的停止位置為止之後，停止在該停止位置，進行顯示該裝載埠資訊所示的動作資訊的動作。
如以上說明，成為使搬運車200將卡匣C11搬運的對象的裝置被變更的情況時，只要設定將對應成為使搬運車200將卡匣C11搬運的對象被變更後的裝置的停止位置資料讓搬運車200使用，搬運車200就可以停止在對應變更後的裝置的停止位置。
即，具有搬運車的停止位置可以迅速地切換的效果。
因此，操作者為了進行暫存裝置420的維修，而將暫存裝置420從製造裝置410取下的情況，維修後的復舊可以迅速地進行。
且，搬運車200是藉由預先記憶第1停止位置資料D100及第2停止位置資料D200，操作者就不需要進行顯示搬運車的停止位置的停止位置資料的調整，將暫存裝置420從製造裝置410取下之後或是將暫存裝置420安裝於製造裝置410之後，路徑不許可的期間可以縮短很多。即，生產線的復舊時間可以縮短很多。
且，藉由操作者不需要進行顯示搬運車的停止位置的停止位置資料的調整，因為操作者的物理性作業的項目減少，所以人為的錯誤可以大幅地減少。
又，在本發明中，第1停止位置資料D100及第2停止位置資料D200，雖是預先被記憶在搬運車200的記憶部220。但是不限定於此，控制器100，是記憶第1停止位置資料D100及第2停止位置資料D200也可以。且，控制器100，是依據需要，將第1停止位置資料D100或是第2停止位置資料D200，朝搬運車200發訊也可以。
(功能方塊圖)
第13圖，是顯示本發明的搬運系統1000的特徵的功能構成的方塊圖。即，第13圖，是顯示由如第6圖所示的硬體構成所實現的控制器100的功能及由第7圖所示的硬體構成所實現的搬運車200的功能之中，相關於本發明的功能的方塊圖。
又，在第13圖中，為了說明，顯示：控制部110、輸入部140、控制部210及通訊部270。
控制器100的控制部110，是在功能性上，包含發訊部111。
搬運車200的控制部210，是在功能性上，包含停止控制部211。
發訊部111，是將：可使搬運車200將物品載置在暫存裝置420的第1停止位置停止用的第1資料、或是可使搬運車200停止在對應第1裝置的第2停止位置用的第2資料，朝搬運車200發訊。
搬運車200的通訊部270，是將第1資料或是第2資料收訊。
停止控制部211，是收訊到第1資料的情況，進行將搬運車200停止在第1停止位置的控制，收訊到第2資料的情況，進行將搬運車200停止在第2停止位置的控制。
且，發訊部111，當輸入部140在搬運車200接受到使用第1停止位置資料用的操作情況時，將在搬運車200 使用的第1停止位置資料用的第1設定切換資料朝搬運車200發訊，輸入部140是在搬運車200接受到使用第2停止位置資料用的操作情況，將在搬運車200使用第2停止位置資料用的第2設定切換資料朝搬運車200發訊。
且，搬運車200的控制部210，是在功能性上，包含設定部212。
設定部212，是通訊部270收訊到第1設定切換資料的情況時，設定使停止控制部211使用第1停止位置資料，通訊部270收訊到第2設定切換資料的情況，設定使停止控制部211使用第2停止位置資料。
又，被包含於控制部110的發訊部111，是由硬體構成也可以。且，發訊部111，是藉由控制部110被實行的程式的模組也可以。
且，被包含於控制部210的停止控制部211及設定部212的全部或是一部分，是由硬體構成也可以。且，停止控制部311及設定部313的全部或是一部分，是藉由控制部210被實行的程式的模組也可以。
這次所揭示的實施例的全部只是例示，不限定於此。本發明的範圍不是上述的說明，而是請求的範圍的記載，即包含與請求的範圍均等的意思及範圍內的全部的變更。
[產業上的利用可能性]
本發明是可以利用於需要將搬運車的停止位置迅速地切換的搬運系統。
L10‧‧‧行走路
50‧‧‧MES
100‧‧‧控制器
102‧‧‧資料匯流排
110‧‧‧控制部
111‧‧‧發訊部
120‧‧‧記憶部
140‧‧‧輸入部
170‧‧‧通訊部
200‧‧‧搬運車
202‧‧‧資料匯流排
210‧‧‧控制部
211‧‧‧停止控制部
212‧‧‧設定部
220‧‧‧記憶部
240‧‧‧物品保持部
270‧‧‧通訊部
410‧‧‧製造裝置
420‧‧‧暫存裝置
1000‧‧‧搬運系統
[第1圖]第1圖，是顯示本實施例中的搬運系統的結構的圖。
[第2圖]第2圖，是顯示暫存裝置的外觀的立體圖。
[第3圖]第3圖，是顯示暫存裝置的內部的立體圖。
[第4圖]第4圖，是顯示將暫存裝置從製造裝置取下的情況時的複數裝載埠的圖。
[第5圖]第5圖，是顯示搬運車的外觀的立體圖。
[第6圖]第6圖，是顯示控制器內的硬體構成的方塊圖。
[第7圖]第7圖，是顯示搬運車內的硬體構成的方塊圖。
[第8圖]第8圖，是說明搬運車的停止位置用的圖。
[第9圖]第9圖，是顯示其中一例的第1停止位置資料的圖。
[第10圖]第10圖，是顯示其中一例的第2停止位置資料的圖。
[第11圖]第11圖，是顯示將暫存裝置從製造裝置取下的情況時，分別在各MES、控制器、搬運車、暫存裝置及製造裝置所進行的處理的圖。
[第12圖]第12圖，是顯示將暫存裝置安裝在製造裝置的情況時，分別在MES、控制器、搬運車、暫存裝置及製造裝置所進行的處理的圖。
[第13圖]第13圖，是顯示本發明的搬運系統的特徵的功能構成的方塊圖。
100‧‧‧控制器
110‧‧‧控制部
111‧‧‧發訊部
140‧‧‧輸入部
200‧‧‧搬運車
210‧‧‧控制部
211‧‧‧停止控制部
212‧‧‧設定部
270‧‧‧通訊部
1000‧‧‧搬運系統

Claims (4)

  1. 一種搬運系統，是包含：預先決定的行走路、及藉由行走在前述行走路而可對於第1裝置搬運物品的搬運車、及控制前述搬運車的控制器，前述搬運系統，是進一步包含第2裝置，對於前述第1裝置可裝卸且使前述搬運車可載置物品，前述控制器是具備發訊部，當將前述第2裝置安裝於前述第1裝置的情況時，可將使前述搬運車停止於可將物品載置在前述第2裝置的第1停止位置用的第1資料朝前述搬運車發訊，並且當將前述第2裝置從前述第1裝置取下的情況時，使前述搬運車停止於對應前述第1裝置的第2停止位置用的第2資料朝前述搬運車發訊，前述搬運車是具備：將前述第1資料或是第2資料收訊用的通訊部；及收訊到前述第1資料的情況時，進行將前述搬運車停止於前述第1停止位置的控制，收訊到前述第2資料的情況時，進行將前述搬運車停止於前述第2停止位置的控制用的停止控制部。
  2. 如申請專利範圍第1項的搬運系統，其中，前述搬運車，是進一步具備記憶部，可記憶：顯示前述第1停止位置的第1停止位置資料、及顯示前述第2停止位置的第2停止位置資料，前述控制器，是進一步具備供接受操作者的操作用的 輸入部，前述控制器的前述發訊部，是當前述輸入部接受到在前述搬運車使用前述第1停止位置資料用的操作的情況時，將在前述搬運車使用的前述第1停止位置資料用的第1設定切換資料朝前述搬運車發訊，當前述輸入部接受到在前述搬運車使用前述第2停止位置資料用的操作的情況時，將在前述搬運車使用前述第2停止位置資料用的第2設定切換資料朝前述搬運車發訊，前述搬運車，是進一步具備設定部，當前述通訊部收訊到前述第1設定切換資料的情況時，使前述停止控制部使用前述第1停止位置資料的方式進行設定，當前述通訊部收訊到前述第2設定切換資料的情況時，使前述停止控制部使用前述第2停止位置資料的方式進行設定，前述控制器的前述發訊部，是當將前述第1設定切換資料發訊的情況時，將作為使前述搬運車停止在前述第1停止位置用的命令的前述第1資料朝前述搬運車發訊，當將前述第2設定切換資料發訊的情況時，將作為使前述搬運車停止在前述第2停止位置用的命令的前述第2資料朝前述搬運車發訊，前述搬運車的前述停止控制部，是當收訊到前述第1資料的情況時，進行將前述搬運車停止在前述第1停止位置資料顯示的前述第1停止位置的控制，當收訊到前述第2資料的情況時，進行將前述搬運車停止在前述第2停止位置資料顯示的前述第2停止位置的控制。
  3. 如申請專利範圍第1項的搬運系統，其中，前述第1資料是顯示前述第1停止位置，其在從前述行走路上的連續的第1點至第2點之間，從前述第1點只有遠離第1距離的位置，前述第2資料是顯示前述第2停止位置，其是從前述第1點只有遠離與前述第1距離不同的第2距離的位置，前述發訊部，是將前述第1資料或是前述第2資料朝前述搬運車發訊。
  4. 如申請專利範圍第1或3項的搬運系統，其中，前述第2裝置，是保管從前述第1裝置被搬出的物品或是朝前述第1裝置供給的物品用的裝置，前述第1資料，是顯示複數前述第1停止位置，前述第2資料，是顯示複數前述第2停止位置，前述第1資料所示的前述第1停止位置的數量，是與前述第2資料所示的前述第2停止位置的數量不同。
TW99106153A 2009-03-03 2010-03-03 Handling system TWI471711B (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009049983 2009-03-03

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201033098A TW201033098A (en) 2010-09-16
TWI471711B true TWI471711B (zh) 2015-02-01

Family

ID=42709407

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW99106153A TWI471711B (zh) 2009-03-03 2010-03-03 Handling system

Country Status (8)

Country Link
US (1) US8527088B2 (zh)
EP (1) EP2404846B1 (zh)
JP (1) JP5267653B2 (zh)
KR (1) KR101341403B1 (zh)
CN (1) CN102341324B (zh)
SG (1) SG174209A1 (zh)
TW (1) TWI471711B (zh)
WO (1) WO2010100834A1 (zh)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013150859A1 (ja) * 2012-04-05 2013-10-10 村田機械株式会社 搬送システム
NL2011021C2 (nl) * 2013-06-21 2014-12-24 Vanderlande Ind Bv Systeem voor het opslaan van producthouders en werkwijze voor toepassing van een dergelijk systeem.
KR101527686B1 (ko) * 2014-05-02 2015-06-10 오학서 자동 반송 시스템용 데이터 전송 시스템
US9834238B2 (en) * 2014-06-02 2017-12-05 Murata Machinery, Ltd. Transporting vehicle system, and method of controlling transporting vehicle
EP3159920B1 (en) 2014-06-19 2021-06-16 Murata Machinery, Ltd. Carrier buffering device and buffering method
JP6135637B2 (ja) * 2014-10-20 2017-05-31 村田機械株式会社 走行車システム
US10410895B2 (en) * 2015-07-15 2019-09-10 Murata Machinery, Ltd. Conveyance control device and conveyance control system
CN105173504A (zh) * 2015-09-29 2015-12-23 扬中中科维康智能科技有限公司 一种自动仓储机器人***
SG11202008642UA (en) * 2018-03-15 2020-10-29 Murata Machinery Ltd Traveling vehicle controller and traveling vehicle system
EP3778435A4 (en) * 2018-03-27 2022-01-19 Murata Machinery, Ltd. TRANSPORTATION SYSTEM, TRANSPORTATION CONTROL DEVICE, AND CONTROL METHOD FOR TRANSPORTATION VEHICLE
WO2023189069A1 (ja) * 2022-03-29 2023-10-05 村田機械株式会社 搬送システム

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20090003825A1 (en) * 2007-06-29 2009-01-01 Tokyo Electron Limited Substrate processing system

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63189907A (ja) * 1987-02-02 1988-08-05 Toshiba Corp 無人搬送車
JPH08318486A (ja) * 1995-05-23 1996-12-03 Hitachi Ltd 自動搬送装置の制御方法
JP2000181542A (ja) 1998-12-14 2000-06-30 Hitachi Kiden Kogyo Ltd 自動搬送システムにおける搬送車の停止方法
US20050095087A1 (en) * 2003-10-30 2005-05-05 Sullivan Robert P. Automated material handling system
JP4074999B2 (ja) 2004-01-13 2008-04-16 村田機械株式会社 搬送台車システム
JP2006051866A (ja) * 2004-08-10 2006-02-23 Toyota Motor Corp シャーシフレームを備えた車両の車体構造
JP2006051886A (ja) 2004-08-12 2006-02-23 Murata Mach Ltd 天井走行車システム
US8235000B2 (en) * 2008-05-09 2012-08-07 Caterpillar Inc. Modular paint line and method of operation therefor
KR20110091020A (ko) * 2008-12-26 2011-08-10 무라다기카이가부시끼가이샤 주행차 시스템

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20090003825A1 (en) * 2007-06-29 2009-01-01 Tokyo Electron Limited Substrate processing system

Also Published As

Publication number Publication date
EP2404846A4 (en) 2014-07-30
CN102341324A (zh) 2012-02-01
TW201033098A (en) 2010-09-16
EP2404846A1 (en) 2012-01-11
US20120004767A1 (en) 2012-01-05
US8527088B2 (en) 2013-09-03
SG174209A1 (en) 2011-10-28
JP5267653B2 (ja) 2013-08-21
KR20110118674A (ko) 2011-10-31
JPWO2010100834A1 (ja) 2012-09-06
EP2404846B1 (en) 2019-04-03
CN102341324B (zh) 2013-07-10
WO2010100834A1 (ja) 2010-09-10
KR101341403B1 (ko) 2013-12-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI471711B (zh) Handling system
US7917245B2 (en) Automated material handling system
JP2005150129A (ja) 移載装置及び移載システム
JP4470576B2 (ja) 搬送システム
TWI685460B (zh) 用於自動化晶圓處理的系統及方法
WO2020049872A1 (ja) 搬送車システム
JP6863329B2 (ja) 走行車システム及び走行車の制御方法
JP2005243729A (ja) 搬送システム
JP2006313462A (ja) 搬送台車システム
CN113841099B (zh) 行驶车***及行驶车的控制方法
KR101743780B1 (ko) 기판 처리 장치, 기판 처리 방법 및 기억 매체
US11854846B2 (en) System for a semiconductor fabrication facility and method for operating the same
JP7380694B2 (ja) 走行車システム
US20230118995A1 (en) Overhead carrier and overhead carrying system
JP6689142B2 (ja) 搬送車の走行管理プログラム
JP4182874B2 (ja) 台車制御装置及び制御方法
JP2020017207A (ja) 移動体及び制御方法
JP4085428B2 (ja) 物流コントローラ
JP2004178142A (ja) 搬送システムの荷物データ管理方法及び搬送システムの管理装置
JP2014115726A (ja) 搬送台車の制御システム及び搬送台車の制御方法
JPH11165809A (ja) 自動搬送設備
JP2008087129A (ja) シャトル式自動搬送システム
JP2008090511A (ja) 搬送システム