JPH08318486A - 自動搬送装置の制御方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 走行エラーを無くし、走行の信頼性を向上さ
せる自動搬送装置の制御方法を提供する。 【構成】 半導体ウェハ１が収容されたカセット４をつ
かむ把持部５と、把持部５が取り付けられたアーム部６
と、搬送ロボット２が搭載される本体部である搬送車本
体部７とからなる自動搬送車３であり、自動搬送車３を
初期走行情報に基づいて予め所定箇所で仮走行させ、さ
らに、前記仮走行によって得られる本走行情報を自動搬
送車３の走行制御を行う制御用パソコンに送信し、制御
用パソコン内の制御プログラムに本走行情報を形成する
ことにより、前記制御プログラムに自動的に前記本走行
情報を設定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造工程におけ
る半導体ウェハなどの被処理物の搬送技術に関し、特
に、被処理物が収容されたカセットを把持するロボット
を搭載した自動搬送装置の制御方法に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】以下に説明する技術は、本発明を研究、
完成するに際し、本発明者によって検討されたものであ
り、その概要は次のとおりである。

【０００３】被処理物の一例である半導体ウェハが収容
されたカセットを搬送する自動搬送装置に関し、半導体
製造工程においては、カセットを把持する搬送ロボット
を搭載した自動搬送車が使用されている。

【０００４】なお、前記自動搬送車は、自動搬送車の走
行を制御する制御用パーソナルコンピュータ（以降、制
御用パソコンと略す）などの制御装置によって制御され
ている。

【０００５】ここで、制御装置は、内部に自動搬送車の
走行を制御する種々のプログラムを有しており、それら
に走行ルート情報や走行距離情報を登録して自動搬送車
の走行を制御する。

【０００６】したがって、自動搬送車を走行させる場
合、予め制御装置に登録された走行距離情報と実際に処
理を行う走行（以降、本走行と呼ぶ）によって得られた
走行距離情報とを照合し、自動搬送車が正常に走行して
いるか否かを確認している。

【０００７】また、自動搬送車の走行調整について説明
すると、まず、走行アドレスを決め、次に各ステーショ
ン（停止位置）での給電位置調整を行い、さらに各アド
レス間の距離を制御用パソコンに登録し、その後、実際
に自動搬送車を走行させ、これによって得られる情報を
用いて、給電位置および走行距離の調整を繰り返して行
う。

【０００８】なお、半導体ウェハなどが収容されたカセ
ットを搬送するロボットを搭載した自動搬送車について
は、１９９３年５月２０日、株式会社プレスジャーナル
発行、１９９３年６月号「月刊Semiconductor World 」
１２５〜１２７頁に紹介されている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところが、前記した技
術においては、自動搬送車が指示された区間を走行する
と、走行エラーを発生する場合がある。

【００１０】この場合、エラー内容、自動搬送車の停止
位置などから状況判断を行い、制御用パソコン、すなわ
ち制御装置に登録されている走行距離情報を変更しなけ
ればならない。

【００１１】しかし、自動搬送車には走行した距離（自
動搬送車が計測した距離）を表示する機能がないため、
制御用パソコンすなわち制御装置に予め登録された走行
距離情報との差がどの程度なのか把握できず、その調整
作業が困難であることが問題とされる。

【００１２】また、新規に自動搬送車の制御装置を立ち
上げる場合にも、制御装置に走行距離情報を登録後、走
行確認を行うことにより前記走行エラーと同じエラーが
発生し、自動搬送車の場合と同様の調整作業を行わなけ
ればならない。

【００１３】その結果、前記同様、その調整作業が困難
であることが問題とされる。

【００１４】そこで、本発明の目的は、走行エラーを無
くし、走行の信頼性を向上させる自動搬送装置の制御方
法を提供することにある。

【００１５】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。

【００１７】すなわち、本発明の自動搬送装置の制御方
法は、前記自動搬送装置を初期走行情報に基づいて予め
所定箇所で仮走行させ、前記仮走行によって得られる本
走行情報を前記自動搬送装置の走行制御を行う制御装置
に送信することにより、前記制御装置内の制御手段に前
記本走行情報を形成するものである。

【００１８】さらに、本発明の自動搬送装置の制御方法
は、前記仮走行もしくは本走行をそれぞれ１回または複
数回行うごとに、前記制御手段に形成した本走行情報を
自動更新するものである。

【００１９】また、本発明の自動搬送装置の制御方法
は、予め前記自動搬送装置内の搬送部制御手段に初期走
行情報を登録し、前記自動搬送装置を初期走行情報に基
づいて所定箇所で仮走行させ、前記仮走行によって得ら
れる本走行情報を前記搬送部制御手段内に形成し、前記
自動搬送装置の走行制御を前記搬送部制御手段によって
行うものである。

【００２０】なお、本発明の自動搬送装置の制御方法
は、前記自動搬送装置の走行制御を行う制御装置に予め
前記自動搬送装置の初期走行情報を登録し、前記初期走
行情報に基づいて前記自動搬送装置を本走行させ、前記
自動搬送装置の走行経路に設けられた減速用検知手段ま
たは停止用検知手段によって前記自動搬送装置の減速動
作または停止動作を制御するものである。

【００２１】

【作用】上記した手段によれば、自動搬送車などの自動
搬送装置の仮走行によって得られる本走行情報を自動搬
送装置の走行制御を行う制御装置に送信し、制御装置内
の制御手段に本走行情報を形成することにより、前記制
御手段に自動的に本走行情報を設定することができる。

【００２２】これにより、自動搬送装置と制御装置との
間で走行距離の情報の照合を行わなくて済むため、走行
エラーを発生させることがなく、自動搬送装置の走行を
安定させることが可能になる。

【００２３】また、走行エラーが発生しなくなるため走
行調整を容易にすることができる。

【００２４】さらに、仮走行もしくは本走行をそれぞれ
１回または複数回行うごとに、制御手段に形成した本走
行情報を自動更新することにより、予め制御装置に登録
された走行距離情報と本走行距離情報とを照合する必要
がなくなる。

【００２５】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。

【００２６】図１は本発明の自動搬送装置の制御方法に
用いられるロボット搭載形の自動搬送車の構造およびそ
の動作状態の一実施例を示す部分側面図、図２は本発明
の自動搬送装置の制御方法に用いられる制御装置内の制
御手段および自動搬送車内の搬送部制御手段の構成の一
実施例を示す構成概念図である。

【００２７】なお、本実施例による自動搬送装置は、被
処理物である半導体ウェハ１を収容して搬送する搬送ロ
ボット２が搭載された自動搬送車３である。

【００２８】まず、図１を用いて、本実施例の自動搬送
装置、すなわち自動搬送車３の構成について説明する
と、半導体ウェハ１が収容されたキャリア治具であるカ
セット４をつかむ把持部５と、把持部５が取り付けられ
たアーム部６と、搬送ロボット２が搭載される本体部で
ある搬送車本体部７とからなるものである。

【００２９】ここで、本実施例による自動搬送車３は、
例えば、半導体ウェハ１のイオン打ち込み工程などにお
いて、半導体ウェハ１を収容したカセット４を搬送車本
体部７上に搭載して搬送し、半導体ウェハ１に処理を行
うウェハ処理装置８内にカセット４ごと半導体ウェハ１
を供給する自走式のものである。

【００３０】次に、図１および図２を用いて、自動搬送
車３の走行制御を行う制御装置である制御用パソコン９
内に搭載されているメモリ内に書き込まれた制御手段で
ある制御プログラム１０、および搬送車本体部７内に搭
載されているメモリ内に書き込まれた搬送部制御手段で
ある搬送部制御プログラム１６の主な構成について説明
する。

【００３１】まず、制御プログラム１０は、初期走行情
報などの初期データを管理するメインプログラム１１
と、半導体ウェハ１の処理条件などの上位データを管理
する上位通信プログラム１２と、自動搬送車３との前記
上位データのデータ送信を管理する自動搬送車制御プロ
グラム１３と、自動搬送車３の充電に関する情報を管理
する給電制御プログラム１４と、走行距離情報などの予
め登録するデータを管理する設定値入力プログラム１５
などから構成され、その他にも種々のプログラムを格納
している。

【００３２】また、搬送部制御プログラム１６は、自動
搬送車３の速度を制御する速度制御プログラム１７と、
自動搬送車３の走行距離を制御する走行距離制御プログ
ラム１８と、自動搬送車３の走行経路を監視する状態監
視プログラム１９と、自動搬送車３の停止位置を制御す
る停止制御プログラム２０などから構成され、その他に
も種々のプログラムを格納している。

【００３３】さらに、搬送部制御プログラム１６からの
情報に関しては、通信制御プログラム２１によって、制
御用パソコン９の制御手段１０とその情報交換が行われ
る。

【００３４】また、通信制御プログラム２１は、搬送ロ
ボット２の動作を制御するロボット制御プログラム２２
とも接続されている。

【００３５】ここで、自動搬送車３と制御用パソコン９
とのデータ通信は、例えば、モデム通信や無線通信など
を利用して行う。

【００３６】次に、本実施例による自動搬送車（自動搬
送装置）の制御方法について説明する。

【００３７】まず、自動搬送装置である自動搬送車３を
初期走行情報（主に、自動搬送車３の走行マップなどの
走行経路や停止位置などの情報）に基づいて、予め前記
所定箇所で区間走行、すなわち仮走行させる。

【００３８】その後、前記仮走行によって自動搬送車３
が実際に計測した走行距離などの本走行情報を自動搬送
車３内の搬送部制御プログラム１６に格納する。

【００３９】続いて、例えば、ステーション（自動搬送
車３を停止させて作業をする場所）、または作業通信を
行える場所で格納した前記本走行情報を通信制御プログ
ラム２１を用いて制御装置である制御用パソコン９に送
信し、制御用パソコン９内の制御プログラム１０に前記
本走行情報を自動的に登録（形成）する。

【００４０】これによって、調整時などに走行エラーが
発生しても、走行経路のアドレスが正常に認識できてい
れば走行データ、すなわち本走行情報は取得できている
ので自動搬送車３を前記ステーションもしくは作業通信
を行える場所に移動させて通信することにより、前記本
走行情報を登録することができる。

【００４１】また、データすなわち前記本走行情報の登
録については、所定区間の仮走行後あるいは全区間の仮
走行後というように種類分けしておくことにより、情報
の修正時などの使い勝手を良くすることができる。

【００４２】さらに、登録する際の前記本走行情報を、
自動搬送車３内の制御プログラム１０を用いて、任意の
回数（例えば、１０回）仮走行後の平均値とすることに
より、高精度の情報を登録することができる。

【００４３】また、半導体ウェハ１の処理時などの走
行、すなわち本走行時にも前記仮走行時と同様に本走行
情報の登録を行うことにより、走行データのメンテナン
スを容易に行うことができる。

【００４４】なお、前記本走行の場合も、仮走行時と同
様に所定回数本走行後、自動的にデータすなわち本走行
情報を送信することにより、自動的に前記本走行情報を
更新することができる。

【００４５】これにより、経時変化による前記本走行情
報のずれ（誤差）を修正することが可能になり、さら
に、仮走行時などの立ち上げ調整時と本走行時とで、モ
ードを別にしておくことにより、情報の修正が行い易く
なる。

【００４６】ここで、制御用パソコン９内の制御プログ
ラム１０に登録（形成）した本走行情報は、前記仮走行
もしくは本走行を１回行うごとに自動更新してもよく、
また、複数回行うごとに自動更新してもよい。

【００４７】次に、本実施例の自動搬送車（自動搬送装
置）の制御方法によれば、以下のような作用効果が得ら
れる。

【００４８】すなわち、自動搬送車３の仮走行によって
得られる本走行情報を自動搬送車３の走行制御を行う制
御用パソコン９に送信し、制御用パソコン９内の制御プ
ログラム１０に前記本走行情報を形成することにより、
制御プログラム１０に自動的に前記本走行情報を設定す
ることができる。

【００４９】これにより、自動搬送車３と制御用パソコ
ン９との間で走行距離の照合を行わなくて済むため、走
行エラーを発生させることがなく、自動搬送車３の走行
を安定させることが可能になり、その結果、自動搬送車
３の走行の信頼性を向上させることができる。

【００５０】また、走行エラーが発生しなくなるため、
走行調整を容易にすることができ、その結果、新規に自
動搬送車３を立ち上げる際にも、その作業時間を短縮す
ることができる。

【００５１】なお、複数の自動搬送車３を立ち上げる際
には、その作業時間の短縮を大幅に図ることができる。

【００５２】さらに、仮走行もしくは本走行をそれぞれ
１回または複数回行うごとに、制御プログラム１０に形
成した前記本走行情報を自動更新することにより、予め
制御用パソコン９に登録された走行距離情報と本走行距
離情報とを照合する必要がなくなる。

【００５３】これにより、前記同様、走行エラーが発生
しなくなるため、自動搬送車３の走行を安定させること
が可能になり、その結果、自動搬送車３の走行の信頼性
を向上させることができる。

【００５４】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることは言うまでもない。

【００５５】例えば、前記実施例で説明した自動搬送装
置は、搬送ロボットを搭載した自動搬送車であったが、
前記自動搬送装置は搬送ロボットを搭載していない台車
機能だけを有した自動搬送車であってもよい。この場
合、図２に示すロボット制御プログラム２２は不要とな
る。

【００５６】また、前記自動搬送装置は、図３に示す他
の実施例の自動搬送車のように、搬送車本体部７に走行
距離などの走行データの情報を表示する機能を付けたも
のであってもよい。

【００５７】これは、例えば、搬送車本体部７に画面な
どの表示部２３を設け、その中に表示領域２３ａを形成
し、表示領域２３ａに走行距離などを常時表示するもの
である。

【００５８】これによって、表示領域２３ａに表示され
た走行距離などの情報を制御用パソコンなどの制御装置
内に登録することができるため、走行調整の作業を容易
に行うことができる。

【００５９】また、走行エラーをなくすことが可能な他
の制御方法として、自動搬送車などの自動搬送装置自身
によってその走行制御を行うものがある。

【００６０】すなわち、予め前記自動搬送装置内の搬送
部制御手段である搬送部制御プログラムに走行経路や停
止位置などの初期走行情報を登録する。

【００６１】続いて、前記自動搬送装置を初期走行情報
に基づいて所定箇所で仮走行させる。

【００６２】その後、前記仮走行によって得られる走行
距離などの本走行情報を前記搬送部制御手段内に登録
（形成）し、前記自動搬送装置の走行制御を前記搬送部
制御手段によって行うものである。

【００６３】なお、この場合、制御装置である制御用パ
ソコンは、走行経路の情報だけを有する。したがって、
走行距離の情報を照合することがないため、走行エラー
の発生頻度を大幅に低減できる。

【００６４】さらに、停止位置で自動搬送装置に充電な
どが必要であれば、停止位置にセンサなどを設け、その
位置が正常に検知されていれば充電作業を開始する。

【００６５】また、走行エラーをなくすことを可能にす
るその他の制御方法として、走行距離情報を全く用いず
に走行制御を行うものがある。

【００６６】まず、自動搬送車などの自動搬送装置の走
行制御を行う制御装置に予め前記自動搬送装置の走行経
路などの初期走行情報を登録する。

【００６７】その後、前記初期走行情報に基づいて前記
自動搬送装置を走行させ、前記自動搬送装置の走行経路
に設けられた減速用検知手段または停止用検知手段によ
って前記自動搬送装置の減速動作または停止動作を制御
するものである。

【００６８】すなわち、図４に示す他の実施例の自動搬
送装置のように、自動搬送車３の走行経路の停止位置前
に減速エリアを設定し、前記減速エリアに減速用検知手
段である減速用センサ２４を設置する。また、停止位置
には停止エリアを設定し、前記停止エリアに停止用検知
手段である停止用センサ２５を設置する。

【００６９】なお、減速用センサ２４および停止用セン
サ２５は、例えば、光センサなどの非接触式センサなど
であり、また、自動搬送車３には、それぞれのセンサか
らの信号を受信するレシーバ部材２６を設置しておく。

【００７０】この時、減速と停止の信号の判別は、発信
する信号の周波数を変えるか、または、レシーバ部材２
６の入力ポートを指定するなどしてその判別を行う。

【００７１】これにより、減速用センサ２４および停止
用センサ２５によって自動搬送車３を監視し、前記減速
エリアに自動搬送車３が到着すれば減速させ、また、前
記停止エリアに到着した時には停止させることができ
る。

【００７２】また、前記実施例では、被処理物を半導体
ウェハとして説明したが、被処理物は磁気ディスクや液
晶基板などの他の電子部品などであってもよく、さら
に、本発明による自動搬送装置は、半導体製造工程で用
いるものに限定することなく、例えば、機械加工部品を
キャリア治具などに収容して搬送する自動搬送装置など
であってもよい。

【００７３】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以
下のとおりである。

【００７４】（１）．自動搬送装置の仮走行によって得
られる本走行情報を自動搬送装置の走行制御を行う制御
装置に送信し、制御装置内の制御手段に本走行情報を形
成することにより、前記制御手段に自動的に本走行情報
を設定することができる。

【００７５】これにより、走行エラーを発生させること
なく、自動搬送装置の走行を安定させることが可能にな
り、その結果、自動搬送装置の走行の信頼性を向上させ
ることができる。

【００７６】（２）．走行エラーが発生しなくなるた
め、走行調整を容易にすることができ、その結果、新規
に自動搬送装置を立ち上げる際にも、その作業時間を短
縮することができる。

【００７７】（３）．仮走行もしくは本走行をそれぞれ
１回または複数回行うごとに、制御手段に形成した本走
行情報を自動更新することにより、予め制御装置に登録
された走行距離情報と本走行距離情報とを照合する必要
がなくなる。これにより、走行エラーが発生しなくなる
ため、自動搬送装置の走行を安定させることが可能にな
り、その結果、自動搬送装置の走行の信頼性を向上させ
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の自動搬送装置の制御方法に用いられる
ロボット搭載形の自動搬送車の構造およびその動作状態
の一実施例を示す部分側面図である。

【図２】本発明の自動搬送装置の制御方法に用いられる
制御装置内の制御手段および自動搬送車内の搬送部制御
手段の構成の一実施例を示す構成概念図である。

【図３】本発明の他の実施例である自動搬送装置の制御
方法に用いられる自動搬送車の構造の一例を示す部分正
面図である。

【図４】本発明の他の実施例である自動搬送装置の制御
方法に用いられる自動搬送車の構造の一例を示す部分平
面図である。

【符号の説明】

１ 半導体ウェハ（被処理物） ２ 搬送ロボット ３ 自動搬送車（自動搬送装置） ４ カセット（キャリア治具） ５ 把持部 ６ アーム部 ７ 搬送車本体部 ８ ウェハ処理装置 ９ 制御用パソコン（制御装置） １０ 制御プログラム（制御手段） １１ メインプログラム １２ 上位通信プログラム １３ 自動搬送車制御プログラム １４ 給電制御プログラム １５ 設定値入力プログラム １６ 搬送部制御プログラム（搬送部制御手段） １７ 速度制御プログラム １８ 走行距離制御プログラム １９ 状態監視プログラム ２０ 停止制御プログラム ２１ 通信制御プログラム ２２ ロボット制御プログラム ２３ 表示部 ２３ａ 表示領域 ２４ 減速用センサ（減速用検知手段） ２５ 停止用センサ（停止用検知手段） ２６ レシーバ部材

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体ウェハなどの被処理物を搬送する
   自動搬送装置の制御方法であって、 前記自動搬送装置を初期走行情報に基づいて予め所定箇
   所で仮走行させ、 前記仮走行によって得られる本走行情報を前記自動搬送
   装置の走行制御を行う制御装置に送信することにより、
   前記制御装置内の制御手段に前記本走行情報を形成する
   ことを特徴とする自動搬送装置の制御方法。
2. 【請求項２】 請求項１記載の自動搬送装置の制御方法
   であって、前記仮走行もしくは本走行をそれぞれ１回ま
   たは複数回行うごとに、前記制御手段に形成した本走行
   情報を自動更新することを特徴とする自動搬送装置の制
   御方法。
3. 【請求項３】 半導体ウェハなどの被処理物を搬送する
   自動搬送装置の制御方法であって、 予め前記自動搬送装置内の搬送部制御手段に初期走行情
   報を登録し、 前記自動搬送装置を初期走行情報に基づいて所定箇所で
   仮走行させ、 前記仮走行によって得られる本走行情報を前記搬送部制
   御手段内に形成し、前記自動搬送装置の走行制御を前記
   搬送部制御手段によって行うことを特徴とする自動搬送
   装置の制御方法。
4. 【請求項４】 半導体ウェハなどの被処理物を搬送する
   自動搬送装置の制御方法であって、 前記自動搬送装置の走行制御を行う制御装置に予め前記
   自動搬送装置の初期走行情報を登録し、 前記初期走行情報に基づいて前記自動搬送装置を本走行
   させ、 前記自動搬送装置の走行経路に設けられた減速用検知手
   段または停止用検知手段によって前記自動搬送装置の減
   速動作または停止動作を制御することを特徴とする自動
   搬送装置の制御方法。