KR101341403B1 - 반송 시스템 - Google Patents

반송 시스템 Download PDF

Info

Publication number
KR101341403B1
KR101341403B1 KR1020117019178A KR20117019178A KR101341403B1 KR 101341403 B1 KR101341403 B1 KR 101341403B1 KR 1020117019178 A KR1020117019178 A KR 1020117019178A KR 20117019178 A KR20117019178 A KR 20117019178A KR 101341403 B1 KR101341403 B1 KR 101341403B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
data
stop position
stop
vehicle
transport vehicle
Prior art date
Application number
KR1020117019178A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20110118674A (ko
Inventor
타다마사 토미나가
Original Assignee
무라다기카이가부시끼가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 무라다기카이가부시끼가이샤 filed Critical 무라다기카이가부시끼가이샤
Publication of KR20110118674A publication Critical patent/KR20110118674A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101341403B1 publication Critical patent/KR101341403B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769—Storage means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0457—Storage devices mechanical with suspended load carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67766—Mechanical parts of transfer devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)

Abstract

미리 정해진 주행로(L10)와, 주행로를 주행해서 제 1 장치인 제조 장치(410)에 대해서 물품을 반송할 수 있는 반송차(200)와, 반송차를 제어하는 컨트롤러(100)를 포함하는 반송 시스템으로서, 제 1 장치에 대해서 제 2 장치인 버퍼 장치(420)가 착탈 가능하게 되어 있고, 제 1 장치의 로드 포트 또는 제 2 장치 중 어느 하나에 부품을 올려놓기 위해서 컨트롤러(100)는 반송차(200)가 제 2 장치(420)에 물품을 올려놓을 수 있는 제 1 정지 위치에 정지하기 위한 제 1 데이터, 또는 반송차(200)가 제 1 장치(410)에 물품을 올려놓을 수 있는 제 2 정지 위치에 정지하기 위한 제 2 데이터를 송신하고, 반송차(200)는 컨트롤러(100)로부터 송신되는 제 1 데이터 또는 제 2 데이터를 수신해서 제 1 정지 위치 또는 제 2 정지 위치에 정지하는 제어를 해하는 것이다.

Description

반송 시스템{TRANSFER SYSTEM}
본 발명은 물품을 반송하는 반송차를 제어하는 반송 시스템에 관한 것이다.
종래, 천정 반송차 등의 반송차를 사용해서 물품을 반송하는 시스템인 반송 시스템이 있다.
예를 들면, 반도체 소자를 제조하는 반도체 공장 내에서는 제조 공정마다 베이라고 불리는 영역으로 나뉘어지며, 각 베이에는 복수의 천정 반송차가 일방향으로 주회하기 위한 주회로가 배치된다.
각 주회로에서는 복수의 반송차 각각이 반도체 소자의 재료인 웨이퍼 등의 물품을 상기 베이 내의 제조 장치로 반송한다. 그 때문에, 반송차는 미리 정해진 위치에 정지한다. 특허문헌1에는 천정 주행차(반송차)를 정지 위치에 정지시키는 제어에 관한 기술이 개시되어 있다.
일본 특허 공개 2005-202464호 공보
공장 내에 설치되는 제조 장치에는 착탈 가능한 장치(이하, 착탈 가능 장치라고 함)가 설치되는 경우가 있다.
제조 장치로부터 착탈 가능 장치를 분리한 경우 반송차는 예를 들면, 제조 장치가 제조한 것을 공급하는 위치에 물품을 반송하게 되는 경우가 있다. 제조 장치에 착탈 가능 장치가 부착되어 있는지의 여부에 따라 반송차의 정지 위치가 변화될 경우 오퍼레이터는 반송차의 정지 위치를 나타내는 정지 위치 데이터의 조정을 행할 필요가 있다.
이 조정 작업은 오퍼레이터의 수작업으로 행할 필요가 있고, 조정 작업을 행하고 있는 기간(이하, 조정 기간이라고 한다)은 매우 장시간(예를 들면, 1시간)이 된다. 그 때문에, 조정 기간 동안 제조 장치가 설치되어 있는 영역 내에서는 반송차를 이동시킬 수 없고, 조정 기간이 종료되어 반송차의 이동을 재개시킬 때까지 장시간이 소요되어 버린다. 그 결과, 반송차의 정지 위치의 스위칭에 장시간이 소요되어 버린다는 문제가 있었다.
본 발명은 상술의 문제점을 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 그 목적은 반송차의 정지 위치를 신속하게 스위칭하는 것을 가능하게 하는 반송 시스템을 제공하는 것이다.
상술한 과제를 해결하기 위해서 이 발명의 소정 국면에 따른 반송 시스템은 미리 정해진 주행로와, 주행로를 주행함으로써 제 1 장치에 대해서 물품을 반송할 수 있는 반송차와, 반송차를 제어하는 컨트롤러를 포함한다. 반송 시스템은 제 1 장치에 대해서 착탈 가능한 장치이며, 반송차가 물품을 올려놓을 수 있는 제 2 장치를 더 포함한다. 컨트롤러는 상기 제 2 장치가 상기 제 1 장치에 부착되어 있는 경우 반송차가 제 2 장치에 물품을 올려놓을 수 있는 제 1 정지 위치에 정지하기 위한 제 1 데이터를 상기 반송차로 송신함과 아울러 상기 제 2 장치가 상기 제 1 장치로부터 분리되어 있는 경우 반송차가 제 1 장치에 대응된 제 2 정지 위치에 정지하기 위한 제 2 데이터를 반송차로 송신하는 송신부를 구비한다. 반송차는 제 1 데이터 또는 제 2 데이터를 수신하는 통신부와, 제 1 데이터를 수신했을 경우 반송차를 제 1 정지 위치에 정지시키는 제어를 행하고, 제 2 데이터를 수신했을 경우 반송차를 제 2 정지 위치에 정지시키는 제어를 행하는 정지 제어부를 구비한다.
즉, 정지 제어부는 제 1 데이터를 수신한 경우 반송차를 제 1 정지 위치에 정지시키는 제어를 행하고, 제 2 데이터를 수신한 경우 반송차를 제 2 정지 위치에 정지시키는 제어를 행한다. 즉, 수신한 데이터의 종류에 따라 반송차의 정지 위치를 신속하게 스위칭할 수 있다. 따라서, 반송차의 정지 위치를 신속하게 스위칭할 수 있다.
또한, 본 발명은 본 발명의 반송 시스템에 있어서의 특징적인 동작 스텝을 포함하는 반송차의 제어 방법으로서도 실현할 수 있다. 또한, 본 발명은 이들 각 스텝을 제어 장치인 컨트롤러에 실행시키는 제어 프로그램으로서도 실현할 수 있다.
(발명의 효과)
본 발명에 의해 반송차의 정지 위치를 신속하게 스위칭할 수 있다.
도 1은 본 실시형태에 있어서의 반송 시스템의 구성을 나타내는 도면이다.
도 2는 버퍼 장치의 외관을 나타내는 사시도이다.
도 3은 버퍼 장치의 내부를 나타내는 사시도이다.
도 4는 버퍼 장치가 제조 장치로부터 분리되어 있는 경우에 있어서의 복수의 로드 포트를 나타내는 도면이다.
도 5는 반송차의 외관을 나타내는 사시도이다.
도 6은 지상 컨트롤러 내의 하드웨어 구성을 나타낸 블럭도이다.
도 7은 반송차 내의 하드웨어 구성을 나타낸 블럭도이다.
도 8은 반송차의 정지 위치를 설명하기 위한 도면이다.
도 9는 일례로서의 제 1 정지 위치 데이터를 나타내는 도면이다.
도 10은 일례로서의 제 2 정지 위치 데이터를 나타내는 도면이다.
도 11은 버퍼 장치가 제조 장치로부터 분리되는 경우에 있어서의 MES, 지상 컨트롤러, 반송차, 버퍼 장치 및 제조 장치 각각에서 행해지는 처리를 나타내는 도면이다.
도 12는 버퍼 장치를 제조 장치에 부착하는 경우에 있어서의 MES, 지상 컨트롤러, 반송차, 버퍼 장치 및 제조 장치 각각에서 행해지는 처리를 나타내는 도면이다.
도 13은 본 발명에 의한 반송 시스템의 특징적인 기능 구성을 나타내는 블럭도이다.
이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 실시형태에 대해서 설명한다. 이하의 설명에서는 동일한 부품에는 동일한 부호를 붙였다. 이들의 명칭 및 기능도 동일하다. 따라서, 이들에 관한 상세한 설명은 반복하지 않는다.
<제 1 실시형태>
도 1은 본 실시형태에 있어서의 반송 시스템(1000)의 구성을 나타내는 도면이다. 또한, 도 1에는 설명의 형편상 반송 시스템(1000)에 포함되지 않는 MES(Manufacturing Execution System)(50)을 나타내고 있다.
반송 시스템(1000)은 예를 들면, 반도체 소자를 제조하는 공장 등의 시설 내에 구비되어 있다.
도 1에 나타내어지는 바와 같이, 반송 시스템(1000)은 지상 컨트롤러(100)와, 주행로(L10)와, 접속로(L20)와, 접속로(L31,L32)와, 반송차(200)와, 제조 장치(410)와, 버퍼 장치(420)를 포함한다.
주행로(L10) 및 접속로(L20,L31,L32)는 반송차(200)가 주행하기 위한 주행로이다. 주행로(L10) 및 접속로(L20,L31,L32)는 시설의 천정에 배치된다. 주행로(L10)는 포인트(P11∼P16)를 경유하는 주행로이다.
주행로(L10) 및 접속로(L20) 각각은 예를 들면, 시계 방향으로밖에 반송차(200)를 주행할 수 없게 되어 있다. 접속로(L31,L32)는 주행로(L10)와 접속로(L20)를 접속하는 주행로이다.
MES(50)는 지상 컨트롤러(100)를 제어하기 위한 컴퓨터이다. MES(50)는 지상 컨트롤러(100)와 통신함으로써 반송 시스템(1000) 내의 각 장치의 상황을 관리한다.
지상 컨트롤러(100)는 반송차(200)를 제어하는 기능을 갖는 컴퓨터이다.
반송차(200)는 주행로(L10) 등을 따라 이동하는 천정 반송차이다.
제조 장치(410)는 예를 들면, 반도체 소자의 재료인 웨이퍼 등을 생성하는 장치이다.
버퍼 장치(420)는 카세트를 올려놓을 수 있는 복수의 로드 포트를 갖는 장치이다. 카세트는 제조 장치(410)에 의해 생성된 웨이퍼를 소정 매수 넣는 것이 가능한 용기이다.
버퍼 장치(420)는 제조 장치(410)에 대해서 착탈 가능한 장치이다. 즉, 버퍼 장치(420)는 오퍼레이터의 수작업에 의해 이동시킬 수 있는 장치이다. 또한, 버퍼 장치(420)는 여러가지 처리를 행하는 것이 가능한 컴퓨터를 갖는다.
또한, 지상 컨트롤러(100)는 버퍼 장치(420)와 통신한다.
도 2는 버퍼 장치(420)의 외관을 나타내는 사시도이다.
도 3은 버퍼 장치(420)의 내부를 나타내는 사시도이다. 도 3에 나타내어지는 바와 같이 버퍼 장치(420)는 카세트(C11)를 올려놓을 수 있는 복수의 로드 포트를 갖는다. 복수의 로드 포트의 일부는 예를 들면, 로드 포트(PT11,PT12,PT13,PT14)이다.
도 4는 버퍼 장치(420)가 제조 장치(410)로부터 분리되어 있는 경우에 있어서의 복수의 로드 포트를 나타내는 도면이다.
도 4에 나타내어지는 로드 포트(PT21,PT22,PT23)는 제조 장치(410)가 제조한 웨이퍼를 제조 장치(410)로부터 수취하는 것이 가능한 위치에 배치된다. 또한, 로드 포트(PT21,PT22,PT23) 각각의 위치는 고정되어 있다. 즉, 로드 포트(PT21,PT22,PT23) 각각의 위치는 제조 장치(410)에 대응된 위치이다. 즉, 로드 포트(PT21,PT22,PT23) 각각은 제조 장치(410)에 대응된 로드 포트이다.
로드 포트(PT21,PT22,PT23) 각각에는 카세트(C11)를 올려놓는 것이 가능하다.
제조 장치(410)는 제조한 웨이퍼를 로드 포트(PT21,PT22,PT23) 각각에 놓여진 카세트(C11) 내에 넣기 위한 반출을 행한다.
여기에서, 로드 포트(PT21,PT22,PT23) 각각에 놓여진 카세트(C11) 내로 제조 장치(410)가 제조한 웨이퍼를 반출한 것으로 한다. 또한, 로드 포트(PT21,PT22,PT23) 중 어느 하나에 놓여진 웨이퍼를 갖는 카세트(C11)가 반송차(200)의 동작에 의해 버퍼 장치(420)의 로드 포트(PT11,PT12,PT13,PT14) 중 어느 하나에 놓여진 것으로 한다. 이 경우 버퍼 장치(420)는 제조 장치(410)로부터 반출된 물품으로서의 웨이퍼를 갖는 카세트(C11)를 일시적으로 보관하기 위한 장치이다.
또한, 여기에서, 버퍼 장치(420)가 갖는 로드 포트에 놓여진 웨이퍼를 갖는 카세트(C11)가 반송차(200)의 동작에 의해 로드 포트(PT21,PT22,PT23) 중 어느 하나에 놓여진 것으로 한다. 또한, 제조 장치(410)는 로드 포트(PT21,PT22,PT23) 각각에 놓여진 카세트(C11) 내의 웨이퍼를 취득하기 위한 처리도 행한다. 이 경우 버퍼 장치(420)는 제조 장치(410)로 공급하는 물품으로서 웨이퍼를 갖는 카세트(C11)를 일시적으로 보관하기 위한 장치이다.
또한, 도 4는 로드 포트(PT21,PT22,PT23) 각각에 카세트(C11)가 올려놓여져 있는 상태를 나타낸다.
도 5는 반송차(200)의 외관을 나타내는 사시도이다.
도 5에 나타낸 바와 같이, 반송차(200)는 예를 들면, 주행로(L10)를 형성하는 레일을 따라 이동하는 천정 반송차이다. 또한, 반송차(200)는 물품을 유지하기 위한 물품 유지부(240)를 갖는다.
또한, 버퍼 장치(420)가 제조 장치(410)에 부착되어 있는 경우 도 3에 나타내어지는 로드 포트(PT11,PT12,PT13,PT14) 각각은 주행로(L10)의 바로 아래에 배치된다. 또한, 도 4에 나타내어지는 로드 포트(PT21,PT22,PT23) 각각도 주행로(L10)의 바로 아래에 배치된다.
반송차(200)는 예를 들면, 지상 컨트롤러(100)로부터의 지시에 따라 주행로(L10)를 따라 로드 포트(PT11) 위까지 이동하고, 소정의 높이까지 강하한다.
또한, 반송차(200)는 예를 들면, 지상 컨트롤러(100)로부터의 지시에 따라 로드 포트(PT11)에 놓여진 물품으로서의 카세트(C11)를 물품 유지부(240)에 의해 유지된 상태로 상승시켜 로드 포트(PT12) 위까지 이동한다. 반송차(200)는 예를 들면, 로드 포트(PT12) 위까지 이동하면 강하하여 물품 유지부(240)가 유지하고 있는 물품(카세트(C11))을 로드 포트(PT12) 위에 올려놓은 후에 상승한다.
반송차(200)가 이러한 동작을 반복함으로써 물품의 이송이 행해진다.
또한, 주행로(L10)에는 로드 포트 등의 위치를 반송차(200)가 검지하기 위한 바코드(BC10)가 붙여져 있다.
반송차(200)는 자기(自機)가 갖는 바코드 스캐너(도시 생략)에 의해 주행로(L10)에 붙여진 바코드(BC10)를 판독하고, 자기가 기억하고 있는 레이아웃 데이터를 참조함으로써 자기가 주행로(L10) 상의 어느 지점을 주행 또는 정지하고 있는지를 검지할 수 있다.
또한, 주행로(L10)에는 반송차(200)에 의해 반송되는 물품을 일시적으로 올려놓을 수 있는 천정 버퍼(BU10)가 복수 구비되어 있다.
도 6은 지상 컨트롤러(100) 내의 하드웨어 구성을 나타낸 블럭도이다.
도 6에 나타내어지는 바와 같이, 지상 컨트롤러(100)는 제어부(110)와, 기억부(120)와, 입력부(140)와, 통신부(170)를 구비한다. 제어부(110), 기억부(120), 입력부(140) 및 통신부(170)는 데이터 버스(102)에 접속되어 있다.
제어부(110)는 CPU(Central Processing Unit)이다. 또한, 제어부(110)는 CPU에 한정되지 않고, 연산 기능을 갖는 기타 회로이어도 좋다.
기억부(120)는 불휘발성 메모리이다. 기억부(120)는 예를 들면, 하드 디스크 드라이브이다. 또한, 기억부(120)는 하드 디스크 드라이브에 한정되지 않고, 불휘발적 메모리이면 기타 메모리(예를 들면, 플래시 메모리)이어도 좋다. 기억부(120)는 제어부(110)에 의해 데이터 액세스된다. 기억부(120)에는 프로그램(51), 기타 각종 데이터 등이 기억되어 있다.
제어부(110)는 기억부(120)에 기억되어 있는 프로그램(51)을 실행시키고, 프로그램(51)에 의거하여 지상 컨트롤러(100) 내의 각 부에 대한 각종 처리나, 연산 처리 등을 행한다.
입력부(140)는 오퍼레이터의 조작을 접수하는 입력 인터페이스이다. 상기 입력 인터페이스는 예를 들면, 키보드, 버튼 등이다. 입력부(140)는 오퍼레이터의 조작을 접수하면 접수한 조작에 따른 조작 정보를 제어부(110)로 송신한다. 제어부(110)는 수신한 조작 정보에 의거하여 소정의 처리를 행한다.
통신부(170)는 무선기술을 이용해서 반송차(200)와 데이터 통신을 행하는 기능을 갖는다. 또한, 통신부(170)는 버퍼 장치(420)와 데이터 통신을 행하는 기능을 갖는다.
도 7은 반송차(200) 내의 하드웨어 구성을 나타낸 블럭도이다.
도 7에 나타내어지는 바와 같이, 반송차(200)는 제어부(210)와, 기억부(220)와, 통신부(270)를 구비한다. 제어부(210), 기억부(220) 및 통신부(270)는 데이터 버스(202)에 접속되어 있다.
제어부(210)는 CPU(Central Processing Unit)이다. 또한, 제어부(210)는 CPU에 한정되지 않고, 연산 기능을 갖는 기타 회로이어도 좋다.
기억부(220)는 불휘발성 메모리이다. 기억부(220)는 예를 들면, 하드 디스크 드라이브이다. 또한, 기억부(220)는 하드 디스크 드라이브에 한정되지 않고, 불휘발적 메모리이면 기타 메모리(예를 들면, 플래시 메모리)이어도 좋다. 기억부(220)는 제어부(210)에 의해 데이터 액세스된다. 기억부(220)에는 프로그램(21), 후술하는 정지 위치 데이터, 기타 각종 데이터 등이 기억되어 있다.
제어부(210)는 기억부(220)에 기억되어 있는 프로그램(21)을 실행시키고, 프로그램(21)에 의거해서 반송차(200) 내의 각 부에 대한 각종 처리나, 연산 처리, 반송차(200)의 동작 제어 등을 행한다. 반송차(200)의 동작 제어는 예를 들면, 반송차(200)를 정지시키거나, 반송차(200)를 이동시키거나 하는 제어이다.
통신부(270)는 무선기술을 이용해서 지상 컨트롤러(100)와 데이터 통신을 행하는 기능을 갖는다.
이어서, 반송차(200)의 정지 위치에 대해서 설명한다.
도 8은 반송차(200)의 정지 위치를 설명하기 위한 도면이다.
도 8(A)는 버퍼 장치(420)가 제조 장치(410)에 부착되어 있는 경우에 반송차(200)가 정지하는 정지 위치(ST11,ST12,ST13,ST14)를 나타내는 도면이다.
정지 위치(ST11,ST12,ST13,ST14)는 각각 도 3에 나타내어지는 로드 포트(PT11,PT12,PT13,PT14)에 대응하는 정지 위치이다.
예를 들면, 반송차(200)가 카세트(C11)를 버퍼 장치(420)가 갖는 로드 포트(PT12)에 올려놓는 경우 또는 반송차(200)가 버퍼 장치(420)가 갖는 로드 포트(PT12)에 올려놓여져 있는 카세트(C11)를 들어 올리는 경우 반송차(200)는 정지 위치(ST12)에 정지한다.
도 8(B)는 버퍼 장치(420)가 제조 장치(410)로부터 분리되어 있는 경우에 반송차(200)가 정지하는 정지 위치(ST21,ST22,ST23)를 나타내는 도면이다.
정지 위치(ST21,ST22,ST23)는 각각 도 4에 나타내어지는 로드 포트(PT21,PT22,PT23)에 대응하는 정지 위치이다. 상술한 바와 같이, 로드 포트(PT21,PT22,PT23) 각각은 제조 장치(410)에 대응된 로드 포트이다. 그 때문에, 정지 위치(ST21,ST22,ST23) 각각은 제조 장치(410)에 대응된 위치이다.
예를 들면, 반송차(200)가 카세트(C11)를 제조 장치(410)에 대응된 로드 포트(PT23)에 올려놓는 경우 또는 반송차(200)가 제조 장치(410)에 대응된 로드 포트(PT23)에 올려놓여져 있는 카세트(C11)를 들어 올리는 경우 반송차(200)는 정지 위치(ST23)에 정지한다.
이하에 있어서는 반송차(200)에 의해 제조 장치(410)에 대응된 로드 포트(PT21,PT22,PT23) 중 어느 하나로 카세트(C11)를 반송시키는 것을 반송차(200)에 의해 카세트(C11)를 제조 장치(410)로 반송시킨다고 표현한다. 또한, 이하에 있어서는 반송차(200)가 카세트(C11)를 반송하는 대상이 제조 장치(410)에 대응된 로드 포트(PT21,PT22,PT23) 중 어느 하나인 경우 반송차(200)가 카세트(C11)를 반송하는 대상이 되는 장치는 제조 장치(410)인 것으로 한다.
또한, 이하에 있어서는 반송차(200)가 카세트(C11)를 반송하는 대상이 되는 장치를 반송 대상 장치라고도 한다. 반송 대상 장치가 제조 장치(410)인 경우 반송차(200)는 카세트(C11)를 로드 포트(PT21,PT22,PT23) 중 어느 하나로 반송한다.
버퍼 장치(420)가 제조 장치(410)에 부착되어 있는 경우 정지 위치(ST11,ST12,ST13,ST14)를 특정하기 위한 정지 위치 데이터는 이하의 제 1 정지 위치 데이터(D100)가 된다.
도 9는 일례로서의 제 1 정지 위치 데이터(D100)를 나타내는 도면이다. 제 1 정지 위치 데이터(D100)는 4개의 정지 데이터로 구성된다.
도 9에 있어서, 「번호」는 정지 데이터를 특정하기 위한 번호이다. 「정지 위치」란 도 8(A)에서 설명한 정지 위치이다. 도 9에 있어서, 「거리」란 도 1, 도 8(A) 또는 도 8(B)에 나타내어지는 주행로(L10) 상의 포인트(P12)로부터 대응하는 정지 위치까지의 거리이다. 예를 들면, 번호 "1"의 정지 데이터는 주행로(L10) 상의 포인트(P12)로부터 정지 위치(ST11)까지의 거리가 L11(예를 들면, 1200mm)인 것을 나타낸다. 즉, 제 1 정지 위치 데이터(D100)는 도 8(A)에 나타내어지는 주행로(L10) 상의 연속된 포인트(P12)로부터 포인트(P13) 사이에 있어서의 각 정지 위치를 나타낸다.
또한, 버퍼 장치(420)가 제조 장치(410)로부터 분리되어 있는 경우 정지 위치(ST21,ST22,ST23)를 특정하기 위한 정지 위치 데이터는 이하의 제 2 정지 위치 데이터(D200)가 된다.
도 10은 일례로서의 제 2 정지 위치 데이터(D200)를 나타내는 도면이다. 제 2 정지 위치 데이터(D200)는 3개의 정지 데이터로 구성된다.
제 2 정지 위치 데이터(D200)에 나타내어지는 각 항목은 도 9의 제 1 정지 위치 데이터(D100)에 나타내어지는 각 항목과 같으므로 상세한 설명은 반복하지 않는다. 즉, 제 2 정지 위치 데이터(D200)는 도 8(B)에 나타내어지는 주행로(L10) 상의 연속된 포인트(P12)로부터 포인트(P13) 사이에 있어서의 각 정지 위치를 나타낸다.
또한, 제 2 정지 위치 데이터(D200)에 있어서, 예를 들면, 번호 "3"의 정지 데이터는 도 8(B)의 주행로(L10) 상의 포인트(P12)로부터 정지 위치(ST23)까지의 거리가 L23(예를 들면, 1800mm)인 것을 나타낸다.
도 9의 제 1 정지 위치 데이터(D100) 및 도 10의 제 2 정지 위치 데이터(D200)는 반송차(200)의 기억부(220)에 미리 기억되어 있다.
이어서, 반송차(200)의 정지 위치를 변경시키기 위한 처리에 대해서 설명한다.
우선, 버퍼 장치(420)가 제조 장치(410)에 부착되어 있는 상태에 있어서 버퍼 장치(420)가 제조 장치(410)로부터 분리되는 경우에 있어서의 각 장치의 처리에 대해서 설명한다.
버퍼 장치(420)가 제조 장치(410)에 부착되어 있는 경우 반송차(200)가 카세트(C11)를 반송하는 대상이 되는 장치는 버퍼 장치(420)인 것으로 한다.
여기에서, 제조 장치(410)는 가동중인 것으로 한다.
도 11은 버퍼 장치(420)가 제조 장치(410)로부터 분리되는 경우에 있어서의 MES(50), 지상 컨트롤러(100), 반송차(200), 버퍼 장치(420) 및 제조 장치(410) 각각에서 행해지는 처리를 나타내는 도면이다.
우선, MES(50)는 제조 장치 반송 명령을 지상 컨트롤러(100)로 송신한다(S51). 여기에서, 제조 장치 반송 명령은 반송차(200)에 카세트(C11)를 제조 장치(410)로 반송시키기 위한 반송 명령이다. 즉, 제조 장치 반송 명령은 반송차(200)에 카세트(C11)를 제조 장치(410)에 대응된 로드 포트(PT21,PT22,PT23) 중 어느 하나로 반송시키기 위한 명령이다.
지상 컨트롤러(100)의 제어부(110)는 제조 장치 반송 명령을 수신했을 때부터 소정 시간 경과하기 전까지의 동안에 후술하는 분리 예고 정보를 수신하지 않은 경우 버퍼 장치 반송 명령을 반송차(200)로 송신한다(S111).
여기에서, 분리 예고 정보는 적어도 소정 시간(예를 들면, 3분) 경과 후에 제조 장치(410)로부터 버퍼 장치(420)가 분리되는 것을 고지하기 위한 정보이다. 여기에서, 제어부(110)가 제조 장치 반송 명령을 수신했을 때부터 소정 시간 경과하기 전까지의 동안에 분리 예고 정보를 수신하지 않은 경우에는 버퍼 장치(420)가 제조 장치(410)에 부착되어 있는 것으로 한다. 또한, 버퍼 장치 반송 명령은 반송차(200)에 카세트(C11)를 버퍼 장치(420)로 반송시키기 위한 반송 명령이다.
상술한 바와 같이, 버퍼 장치(420)가 제조 장치(410)에 부착되어 있는 경우 반송차(200)가 카세트(C11)를 반송하는 대상이 되는 장치는 버퍼 장치(420)이다. 그 때문에, 제어부(110)는 분리 예고 정보를 수신하지 않은 경우 버퍼 장치 반송 명령을 반송차(200)로 송신한다.
버퍼 장치 반송 명령에는 로드 포트 정보가 포함된다. 로드 포트 정보는 예를 들면, 카세트(C11)를 올려놓는 동작을 행하는 대상이 되는 로드 포트를 나타낸다. 또한, 로드 포트 정보는 동작 정보를 나타낸다. 동작 정보는 로드 포트 정보가 나타내는 로드 포트를 대상으로 해서, 예를 들면, 카세트(C11)를 올려놓는 동작을 나타내는 정보이다.
반송차(200)의 제어부(210)는 버퍼 장치 반송 명령을 수신하면 카세트(C11)를 버퍼 장치(420)로 반송하기 위해서 제 1 정지 위치 데이터(D100)에 나타내어지는 4개의 정지 위치 중 버퍼 장치 반송 명령에 포함되는 로드 포트 정보가 나타내는 로드 포트(예를 들면, 로드 포트(PT11))에 대응하는 정지 위치에 반송차(200)를 정지시키기 위한 제어를 행한다.
이것에 의해, 반송차(200)는 로드 포트 정보가 나타내는 로드 포트에 대응하는 정지 위치까지 이동한 후 상기 정지 위치에 정지해서 상기 로드 포트 정보가 나타내는 동작 정보가 나타내는 동작을 행한다.
이어서, 오퍼레이터가 제조 장치(410)의 가동을 정지시키기 위한 작업을 행한다. 상기 작업은 예를 들면, 제조 장치(410)의 외부에 설치된 버튼을 누르는 작업이다. 이 작업에 의해 제조 장치(410)는 가동 정지된다(S411).
또한, 오퍼레이터는 분리 예고 작업을 행한다. 분리 예고 작업은 예를 들면, 버퍼 장치(420)의 외부에 설치된 분리 예고 버튼(도시 생략)을 누르는 작업이다. 분리 예고 버튼은 눌려짐으로써 상술한 분리 예고 정보를 지상 컨트롤러(100)로 송신하기 위한 버튼이다.
분리 예고 작업이 행해지면 버퍼 장치(420)의 컴퓨터(도시 생략)는 분리 예고 정보를 지상 컨트롤러(100)로 송신한다(S421).
지상 컨트롤러(100)의 제어부(110)는 분리 예고 정보를 수신하면 포트 다운 고지 정보를 반송차(200)로 송신한다(S112). 포트 다운 고지 정보는 반송차(200)가 예를 들면, 버퍼 장치(420)가 갖는 로드 포트 및 제조 장치(410)에 대응된 로드 포트에 대한 카세트의 이송이 불허가로 된 것을 나타내는 정보이다. 즉, 포트 다운 고지 정보는 사용이 불허가로 된 로드 포트(이하, 사용 불허가 로드 포트라고 한다)를 고지하기 위한 정보이다.
사용 불허가 로드 포트는 예를 들면, 버퍼 장치(420)가 갖는 로드 포트 및 제조 장치(410)에 대응된 로드 포트이다. 포트 다운 고지 정보는 사용 불허가 로드 포트도 나타낸다.
반송차(200)의 제어부(210)는 포트 다운 고지 정보를 수신하면 포트 다운 처리를 행한다(S211). 포트 다운 처리에서는 포트 다운의 설정이 행해진다. 구체적으로는 제어부(210)가 포트 다운 고지 정보가 나타내는 로드 포트의 사용이 불허가로 된 것을 나타내는 정보(이하, 포트 다운 정보라고 한다)를 기억부(220)에 기억시킨다.
포트 다운 정보는 사용 불허가 로드 포트를 특정하는 정보를 나타낸다. 기억부(220)에 포트 다운 정보가 기억되어 있는 경우 포트 다운의 설정이 되어 있게 된다.
반송차(200)의 제어부(210)는 포트 다운 고지 정보를 수신하면 포트 다운의 설정이 해제될 때까지 포트 다운 고지 정보가 나타내는 사용 불허가 로드 포트에 카세트를 올려놓는 처리 및 사용 불허가 로드 포트에 올려놓여져 있는 카세트를 들어 올리는 처리를 반송차(200)가 행하지 않도록 반송차(200)를 제어한다.
오퍼레이터는 분리 예고 작업을 행한 후 버퍼 장치(420)의 가동을 정지시키기 위한 작업을 행하여 버퍼 장치(420)를 제조 장치(410)로부터 분리한다(S422).
또한, 오퍼레이터는 지상 컨트롤러(100)의 입력부(140)를 사용해서 정지 위치 스위칭 조작을 행한다. 즉, 입력부(140)는 정지 위치 스위칭 조작을 접수한다(S113). 정지 위치 스위칭 조작은 반송차(200)에 제 2 정지 위치 데이터(D200)를 사용시키기 위한 조작이다.
그리고, 오퍼레이터는 분리된 버퍼 장치(420)에 대해서 예를 들면, 유지 보수를 행한다(S423).
또한, 오퍼레이터는 가동이 정지되어 있는 제조 장치(410)를 가동시키기 위한 작업을 행한다. 상기 작업은 예를 들면, 제조 장치(410)의 외부에 설치된 버튼을 누르는 작업이다. 이 작업에 의해 제조 장치(410)는 가동 개시된다(S412).
지상 컨트롤러(100)의 제어부(110)는 입력부(140)가 정지 위치 스위칭 조작을 접수하면 제어부(110)는 설정 스위칭 데이터를 반송차(200)로 송신한다(S114). 설정 스위칭 데이터는 반송차(200)가 사용하는 정지 위치 데이터를 제 2 정지 위치 데이터(D200)로 설정하기 위한 지시를 나타내는 데이터이다.
반송차(200)의 제어부(210)는 통신부(270)를 통해 설정 스위칭 데이터를 수신하면 설정 스위칭 처리를 행한다(S212). 설정 스위칭 처리에서는 제어부(210)가 사용하는 정지 위치 데이터를 제 2 정지 위치 데이터(D200)로 설정한다.
그리고, 제어부(210)는 설정 완료 통지를 지상 컨트롤러(100)로 송신한다(S213). 설정 완료 통지는 반송차(200)가 사용하는 정지 위치 데이터를 제 2 정지 위치 데이터(D200)로 설정하는 처리가 완료된 취지의 통지이다.
그리고, 제어부(210)는 포트 다운 해제 처리를 행한다(S214). 포트 다운 해제 처리는 포트 다운을 해제하기 위한 처리이다. 구체적으로는 제어부(210)가 기억부(220)에 기억되어 있는 포트 다운 정보를 삭제한다. 이것에 의해 사용 불허가 로드 포트의 사용이 허가된다. 즉, 포트 다운의 설정이 해제된다.
지상 컨트롤러(100)의 제어부(110)는 설정 완료 통지를 수신하면 수신한 설정 완료 통지를 MES(50)로 송신한다(S115).
MES(50)는 설정 완료 통지를 수신함으로써 반송차(200)가 사용하는 정지 위치 데이터가 제 2 정지 위치 데이터(D200)로 설정된 것을 알 수 있다.
지상 컨트롤러(100)의 제어부(110)는 설정 완료 통지를 송신한 후 반송 명령 대상 스위칭 처리를 행한다(S116).
반송 명령 대상 스위칭 처리에서는 제어부(110)가 MES(50)로부터 제조 장치 반송 명령을 수신한 경우 수신한 제조 장치 반송 명령으로서의 반송 명령의 대상이 되는 장치를 버퍼 장치(420)로부터 제조 장치(410)로 스위칭한다.
즉, 반송 명령 대상 스위칭 처리는 반송차(200)가 카세트(C11)를 반송하는 대상이 되는 장치(반송 대상 장치)를 버퍼 장치(420)로부터 제조 장치(410)로 스위칭하기 위한 처리이다. 이 경우 제어부(110)가 MES(50)로부터 제조 장치 반송 명령을 수신한 경우 수신한 제조 장치 반송 명령을 반송차(200)로 송신한다.
여기에서, MES(50)는 제조 장치 반송 명령을 지상 컨트롤러(100)로 송신한 것으로 한다(S52).
그리고, 지상 컨트롤러(100)의 제어부(110)는 제조 장치 반송 명령을 수신한다. 이 때, 반송차(200)가 카세트(C11)를 반송하는 대상이 되는 장치(반송 대상 장치)는 제조 장치(410)이므로 제어부(110)는 수신한 제조 장치 반송 명령을 반송차(200)로 송신한다(S117).
제조 장치 반송 명령에는 로드 포트 정보가 포함된다. 로드 포트 정보는 예를 들면, 카세트(C11)를 올려놓는 동작을 행하는 대상이 되는 로드 포트를 나타낸다. 또한, 로드 포트 정보는 동작 정보를 나타낸다. 동작 정보는 로드 포트 정보가 나타내는 로드 포트를 대상으로 해서, 예를 들면, 카세트(C11)를 올려놓는 동작을 나타내는 정보이다.
반송차(200)의 제어부(210)는 제조 장치 반송 명령을 수신하면 정지 처리를 행한다(S215). 정지 처리에서는 제어부(210)는 카세트(C11)를 제조 장치(410)로 반송하기 위해서 제 2 정지 위치 데이터(D200)에 나타내어지는 3개의 정지 위치 중 제조 장치 반송 명령에 포함되는 로드 포트 정보가 나타내는 로드 포트(예를 들면, 로드 포트(PT21))에 대응하는 정지 위치(예를 들면, 정지 위치(ST21))에 반송차(200)를 정지시키기 위한 제어를 행한다.
이것에 의해, 반송차(200)는 로드 포트 정보가 나타내는 로드 포트에 대응하는 정지 위치까지 이동한 후 상기 정지 위치에 정지해서 상기 로드 포트 정보가 나타내는 동작 정보가 나타내는 동작을 행한다.
또한, 본 실시형태에서는 상술한 포트 다운 대신에 루트 다운이 행해져도 좋다. 루트 다운은 반송차(200)가 주행하는 주행로의 일부(예를 들면, 주행로(L10))의 주행을 불허가로 하는 처리이다. 이하에 있어서는 주행하는 것이 불허가로 된 주행로를 루트 다운 주행로라고 한다. 루트 다운이 행해진 경우 반송차(200)의 제어부(210)는 루트 다운 주행로를 주행하지 않도록 반송차(200)를 제어한다.
또한, 반송차(200)가 카세트(C11)를 버퍼 장치(420)로 반송하고 있는 도중에 포트 다운 또는 루트 다운 등에 의해 반송차(200)가 버퍼 장치(420)로 반송할 수 없게 된 경우 제어부(210)는 일단 반송차(200)를 에러 상태로 설정한다.
이 경우 지상 컨트롤러(100)는 1차 보관 명령을 반송차(200)로 송신한다. 1차 보관 명령은 상술한 도 5의 천정 버퍼(BU10)에 카세트(C11)를 올려놓기 위한 명령이다.
반송차(200)는 1차 보관 명령을 수신하면 카세트(C11)를 일시적으로 천정 버퍼(BU10)에 올려놓는다. 그리고, 지상 컨트롤러(100)는 예를 들면, 포트 다운 또는 루트 다운이 해제됨으로써 제조 장치(410)에 카세트(C11)의 반송이 가능하게 된 경우 지상 컨트롤러(100)는 천정 버퍼(BU10)에 올려놓여져 있는 카세트(C11)를 제조 장치(410)까지 반송하기 위한 명령을 반송차(200)로 송신한다.
반송차(200)는 상기 명령의 수신에 따라 천정 버퍼(BU10)에 올려놓여져 있는 카세트(C11)를 제조 장치(410)까지 반송한다.
이어서, 버퍼 장치(420)가 제조 장치(410)로부터 분리되어 있는 상태에 있어서 버퍼 장치(420)를 제조 장치(410)에 부착하는 경우에 있어서의 각 장치의 처리에 대해서 설명한다. 버퍼 장치(420)가 제조 장치(410)로부터 분리되어 있는 경우 반송차(200)가 카세트(C11)를 반송하는 대상이 되는 장치는 제조 장치(410)인 것으로 한다. 즉, 카세트(C11)를 반송하는 대상은 제조 장치(410)에 대응된 로드 포트(PT21,PT22,PT23) 중 어느 하나인 것으로 한다.
여기에서, 제조 장치(410)는 가동중인 것으로 한다. 또한, 상술한 설정 스위칭 처리에 의해 반송차(200)가 사용하는 정지 위치 데이터는 제 2 정지 위치 데이터(D200)로 설정되어 있는 것으로 한다. 또한, 상술한 반송 명령 대상 스위칭 처리에 의해 지상 컨트롤러(100)에 있어서 반송 명령의 대상이 되는 장치가 제조 장치(410)로 설정되어 있는 것으로 한다.
또한, 오퍼레이터는 제조 장치(410)로부터 분리되어 있는 버퍼 장치(420)의 유지 보수의 작업중인 것으로 한다.
도 12는 버퍼 장치(420)를 제조 장치(410)에 부착하는 경우에 있어서의 MES(50), 지상 컨트롤러(100), 반송차(200), 버퍼 장치(420) 및 제조 장치(410) 각각에서 행해지는 처리를 나타내는 도면이다.
우선, MES(50)는 제조 장치 반송 명령을 지상 컨트롤러(100)로 송신한다(S51A). 여기에서, 제조 장치 반송 명령은 반송차(200)에 카세트(C11)를 제조 장치(410)로 반송시키기 위한 반송 명령이다. 즉, 제조 장치 반송 명령은 반송차(200)에 카세트(C11)를 제조 장치(410)에 대응된 로드 포트(PT21,PT22,PT23) 중 어느 하나로 반송시키기 위한 명령이다.
그리고, 지상 컨트롤러(100)의 제어부(110)는 제조 장치 반송 명령을 수신한다. 이 때, 반송차(200)가 카세트(C11)를 반송하는 대상이 되는 장치는 제조 장치(410)이므로 제어부(110)는 수신한 제조 장치 반송 명령을 반송차(200)로 송신한다(S111A).
제조 장치 반송 명령에는 로드 포트 정보가 포함된다. 로드 포트 정보는 예를 들면, 카세트(C11)를 올려놓는 동작을 행하는 대상이 되는 로드 포트를 나타낸다. 또한, 로드 포트 정보는 동작 정보를 나타낸다. 동작 정보는 로드 포트 정보가 나타내는 로드 포트를 대상으로 해서, 예를 들면, 카세트(C11)를 올려놓는 동작을 나타내는 정보이다.
반송차(200)의 제어부(210)는 제조 장치 반송 명령을 수신하면 제어부(210)는 카세트(C11)를 제조 장치(410)로 반송하기 위해서 제 2 정지 위치 데이터(D200)에 나타내어지는 3개의 정지 위치 중 제조 장치 반송 명령에 포함되는 로드 포트 정보가 나타내는 로드 포트(예를 들면, 로드 포트(PT21))에 대응하는 정지 위치(예를 들면, 정지 위치(ST21))에 반송차(200)를 정지시키기 위한 제어를 행한다.
이것에 의해, 반송차(200)는 로드 포트 정보가 나타내는 로드 포트에 대응하는 정지 위치까지 이동한 후 상기 정지 위치에 정지해서 상기 로드 포트 정보가 나타내는 동작 정보가 나타내는 동작을 행한다.
이어서, 오퍼레이터가 제조 장치(410)의 가동을 정지시키기 위한 작업을 행한다. 이 작업에 의해 제조 장치(410)는 가동 정지된다(S411).
그리고, 오퍼레이터는 버퍼 장치(420)의 유지 보수가 완료된 것으로 한다(S420A).
또한, 오퍼레이터는 부착 예고 작업을 행한다. 부착 예고 작업은 예를 들면, 버퍼 장치(420)의 외부에 설치된 부착 예고 버튼(도시 생략)을 누르는 작업이다. 부착 예고 버튼은 눌려짐으로써 부착 예고 정보를 지상 컨트롤러(100)로 송신하기 위한 버튼이다. 부착 예고 정보는 적어도 소정 시간(예를 들면, 3분) 경과 후에 버퍼 장치(420)가 제조 장치(410)에 부착되는 것을 고지하기 위한 정보이다.
부착 예고 작업이 행해지면 버퍼 장치(420)의 컴퓨터(도시 생략)는 부착 예고 정보를 지상 컨트롤러(100)로 송신한다(S421A).
지상 컨트롤러(100)의 제어부(110)는 부착 예고 정보를 수신하면 상술한 포트 다운 고지 정보를 반송차(200)로 송신한다(S112).
반송차(200)의 제어부(210)는 포트 다운 고지 정보를 수신하면 포트 다운 처리를 행한다(S211). 또한, 포트 다운 처리는 상술했으므로 상세한 설명은 반복하지 않는다.
오퍼레이터는 버퍼 장치(420)를 제조 장치(410)에 부착해서 버퍼 장치(420)의 가동을 재개시키기 위한 작업을 행한다(S422A).
또한, 오퍼레이터는 지상 컨트롤러(100)의 입력부(140)를 사용해서 정지 위치 스위칭 조작 A를 행한다. 즉, 입력부(140)는 정지 위치 스위칭 조작 A를 접수한다(S113A). 정지 위치 스위칭 조작 A는 반송차(200)에 제 1 정지 위치 데이터(D100)를 사용시키기 위한 조작이다.
또한, 오퍼레이터는 가동이 정지되어 있는 제조 장치(410)를 가동시키기 위한 작업을 행한다. 상기 작업은 예를 들면, 제조 장치(410)의 외부에 설치된 버튼을 누르는 작업이다. 이 작업에 의해 제조 장치(410)는 가동 개시된다(S412).
지상 컨트롤러(100)의 제어부(110)는 입력부(140)가 정지 위치 스위칭 조작 A를 접수하면 제어부(110)는 설정 스위칭 데이터 A를 반송차(200)로 송신한다(S114A). 설정 스위칭 데이터 A는 반송차(200)가 사용하는 정지 위치 데이터를 제 1 정지 위치 데이터(D100)로 설정하기 위한 지시를 나타내는 데이터이다.
반송차(200)의 제어부(210)는 통신부(270)를 통해 설정 스위칭 데이터 A를 수신하면 설정 스위칭 처리 A를 행한다(S212A). 설정 스위칭 처리 A에서는 제어부(210)가 사용하는 정지 위치 데이터를 제 1 정지 위치 데이터(D100)로 설정한다. 그리고, 제어부(210)는 설정 완료 통지 A를 지상 컨트롤러(100)로 송신한다(S213A). 설정 완료 통지 A는 반송차(200)가 사용하는 정지 위치 데이터를 제 1 정지 위치 데이터(D100)로 설정하는 처리가 완료된 취지의 통지이다.
그리고, 제어부(210)는 포트 다운 해제 처리를 행한다(S214). 포트 다운 해제 처리는 상술했으므로 상세한 설명은 반복하지 않는다.
지상 컨트롤러(100)의 제어부(110)는 설정 완료 통지 A를 수신하면 수신한 설정 완료 통지 A를 MES(50)로 송신한다(S115A).
MES(50)는 설정 완료 통지 A를 수신함으로써 반송차(200)가 사용하는 정지 위치 데이터가 제 1 정지 위치 데이터(D100)로 설정된 것을 알 수 있다.
지상 컨트롤러(100)의 제어부(110)는 설정 완료 통지 A를 송신한 후 반송 명령 대상 스위칭 처리 A를 행한다(S116A).
반송 명령 대상 스위칭 처리 A에서는 제어부(110)가 MES(50)로부터 제조 장치 반송 명령을 수신한 경우 수신한 제조 장치 반송 명령으로서의 반송 명령의 대상이 되는 장치를 제조 장치(410)로부터 버퍼 장치(420)로 스위칭한다. 즉, 반송 명령 대상 스위칭 처리 A는 반송차(200)가 카세트(C11)를 반송하는 대상이 되는 장치를 제조 장치(410)로부터 버퍼 장치(420)로 스위칭하기 위한 처리이다. 이 경우 제어부(110)가 MES(50)로부터 제조 장치 반송 명령을 수신한 경우 상술한 버퍼 장치 반송 명령을 반송차(200)로 송신한다.
여기에서, MES(50)는 제조 장치 반송 명령을 지상 컨트롤러(100)로 송신한 것으로 한다(S52).
그리고, 지상 컨트롤러(100)의 제어부(110)는 제조 장치 반송 명령을 수신한다. 이 때, 반송차(200)가 카세트(C11)를 반송하는 대상이 되는 장치는 버퍼 장치(420)이므로 제어부(110)는 버퍼 장치 반송 명령을 반송차(200)로 송신한다(S117A).
버퍼 장치 반송 명령에는 로드 포트 정보가 포함된다. 로드 포트 정보는 예를 들면, 카세트(C11)를 올려놓는 동작을 행하는 대상이 되는 로드 포트를 나타낸다. 또한, 로드 포트 정보는 동작 정보를 나타낸다. 동작 정보는 로드 포트 정보가 나타내는 로드 포트를 대상으로 해서, 예를 들면, 카세트(C11)를 올려놓는 동작을 나타내는 정보이다.
반송차(200)의 제어부(210)는 버퍼 장치 반송 명령을 수신하면 정지 처리 A를 행한다(S215A). 정지 처리 A에서는 카세트(C11)를 버퍼 장치(420)로 반송하기 위해서 제어부(210)가 제 1 정지 위치 데이터(D100)에 나타내어지는 4개의 정지 위치 중 버퍼 장치 반송 명령에 포함되는 로드 포트 정보가 나타내는 로드 포트(예를 들면, 로드 포트(PT11))에 대응하는 정지 위치에 반송차(200)를 정지시키기 위한 제어를 행한다.
이것에 의해, 반송차(200)는 로드 포트 정보가 나타내는 로드 포트에 대응하는 정지 위치까지 이동한 후 상기 정지 위치에 정지해서 상기 로드 포트 정보가 나타내는 동작 정보가 나타내는 동작을 행한다.
이상 설명한 바와 같이, 반송차(200)가 카세트(C11)를 반송하는 대상이 되는 장치가 변경된 경우 반송차(200)가 카세트(C11)를 반송하는 대상이 되는 변경 후의 장치에 대응한 정지 위치 데이터를 반송차(200)가 사용하도록 설정하는 것만으로 반송차(200)는 변경 후의 장치에 대응한 정지 위치에 정지할 수 있다.
즉, 반송차의 정지 위치를 신속하게 스위칭할 수 있다는 효과를 갖는다.
그 때문에, 오퍼레이터가 버퍼 장치(420)의 유지 보수를 행하기 위해서 오퍼레이터가 버퍼 장치(420)를 제조 장치(410)로부터 분리하는 경우 유지 보수 후의 복구를 신속하게 행할 수 있다.
또한, 반송차(200)가 미리 제 1 정지 위치 데이터(D100) 및 제 2 정지 위치 데이터(D200)를 기억해 둠으로써 오퍼레이터가 반송차의 정지 위치를 나타내는 정지 위치 데이터의 조정을 행할 필요가 없어져 버퍼 장치(420)를 제조 장치(410)로부터 분리한 후 또는 버퍼 장치(420)를 제조 장치(410)에 부착한 후에 있어서의 루트 다운의 기간을 매우 짧게 할 수 있다. 즉, 라인의 복구 시간을 매우 짧게 할 수 있다.
또한, 오퍼레이터가 반송차의 정지 위치를 나타내는 정지 위치 데이터의 조정을 행할 필요가 없어짐으로써 오퍼레이터가 물리적으로 작업하는 항목이 감소하므로 인위적 미스를 대폭 줄일 수 있다.
또한, 본 발명에서는 제 1 정지 위치 데이터(D100) 및 제 2 정지 위치 데이터(D200)는 반송차(200)의 기억부(220)에 미리 기억되어 있는 것으로 했다. 그러나, 이것에 한정되지 않고 지상 컨트롤러(100)가 제 1 정지 위치 데이터(D100) 및 제 2 정지 위치 데이터(D200)를 기억하고 있어도 좋다. 그리고, 지상 컨트롤러(100)가 필요에 따라 제 1 정지 위치 데이터(D100) 또는 제 2 정지 위치 데이터(D200)를 반송차(200)로 송신해도 좋다.
(기능 블럭도)
도 13은 본 발명에 의한 반송 시스템(1000)의 특징적인 기능 구성을 나타내는 블럭도이다. 즉, 도 13은 도 6에 나타내어지는 하드웨어 구성에 의해 실현되는 지상 컨트롤러(100)의 기능 및 도 7에 나타내어지는 하드웨어 구성에 의해 실현되는 반송차(200)의 기능 중 본 발명에 관계된 기능을 나타내는 블럭도이다.
또한, 도 13에는 설명을 위해서 제어부(110), 입력부(140), 제어부(210) 및 통신부(270)를 나타낸다.
지상 컨트롤러(100)의 제어부(110)는 기능적으로는 송신부(111)를 포함한다.
반송차(200)의 제어부(210)는 기능적으로는 정지 제어부(211)를 포함한다.
송신부(111)는 반송차(200)가 버퍼 장치(420)에 물품을 올려놓는 것이 가능한 제 1 정지 위치에 정지하기 위한 제 1 데이터 또는 반송차(200)가 제 1 장치에 대응된 제 2 정지 위치에 정지하기 위한 제 2 데이터를 반송차(200)로 송신한다.
반송차(200)의 통신부(270)는 제 1 데이터 또는 제 2 데이터를 수신한다.
정지 제어부(211)는 제 1 데이터를 수신한 경우 반송차(200)를 제 1 정지 위치에 정지시키는 제어를 행하고, 제 2 데이터를 수신한 경우 반송차(200)를 제 2 정지 위치에 정지시키는 제어를 행한다.
또한, 송신부(111)는 입력부(140)가 반송차(200)에 제 1 정지 위치 데이터를 사용시키기 위한 조작을 접수한 경우 반송차(200)에 제 1 정지 위치 데이터를 사용시키기 위한 제 1 설정 스위칭 데이터를 반송차(200)로 송신하고, 입력부(140)가 반송차(200)에 제 2 정지 위치 데이터를 사용시키기 위한 조작을 접수한 경우 반송차(200)에 제 2 정지 위치 데이터를 사용시키기 위한 제 2 설정 스위칭 데이터를 반송차(200)로 송신한다.
또한, 반송차(200)의 제어부(210)는 기능적으로는 설정부(212)를 포함한다.
설정부(212)는 통신부(270)가 제 1 설정 스위칭 데이터를 수신한 경우 정지 제어부(211)가 제 1 정지 위치 데이터를 사용하도록 설정하고, 통신부(270)가 제 2 설정 스위칭 데이터를 수신한 경우 정지 제어부(211)가 제 2 정지 위치 데이터를 사용하도록 설정한다.
또한, 제어부(110)에 포함되는 송신부(111)는 하드웨어로 구성되어도 좋다. 또한, 송신부(111)는 제어부(110)에 의해 실행되는 프로그램의 모듈이어도 좋다.
또한, 제어부(210)에 포함되는 정지 제어부(211) 및 설정부(212) 전부 또는 일부는 하드웨어로 구성되어도 좋다. 또한, 정지 제어부(211) 및 설정부(212) 전부 또는 일부는 제어부(210)에 의해 실행되는 프로그램의 모듈이어도 좋다.
이번 개시된 실시형태는 모든 점에서 예시이며 제한적인 것은 아니라고 생각되어야 한다. 본 발명의 범위는 상기한 설명이 아니라 청구범위에 의해 나타내어지며, 청구범위와 균등한 의미 및 범위 내에서의 모든 변경이 포함되는 것이 의도된다.
(산업상 이용 가능성)
본 발명은 반송차의 정지 위치를 신속하게 스위칭하는 것을 가능하게 하는 반송 시스템으로서 이용할 수 있다.
L10:주행로 50:MES
100:지상 컨트롤러 110,210:제어부
120,220:기억부 140:입력부
170,270:통신부 200:반송차
410:제조 장치 420:버퍼 장치
1000:반송 시스템

Claims (4)

  1. 미리 정해진 주행로와, 상기 주행로를 주행함으로써 제 1 장치의 로드 포트에 대해서 물품을 반송할 수 있는 반송차와, 상기 반송차를 제어하는 컨트롤러를 포함하는 반송 시스템으로서:
    상기 반송 시스템은,
    상기 제 1 장치에 대해서 착탈 가능한 장치이며 상기 제 1 장치의 로드 포트 대신에 상기 반송차가 상기 제 1 장치에 대해서 반송하는 물품을 올려놓을 수 있는 제 2 장치를 더 포함하고;
    상기 컨트롤러는,
    상기 제 2 장치가 상기 제 1 장치에 부착되어 있는 경우 상기 반송차가 상기 제 2 장치에 물품을 올려놓을 수 있는 제 1 정지 위치에 정지하기 위한 제 1 데이터를 상기 반송차로 송신함과 아울러 상기 제 2 장치가 상기 제 1 장치로부터 분리되어 있는 경우 상기 반송차가 상기 제 1 장치에 대응된 제 2 정지 위치에 정지하기 위한 제 2 데이터를 상기 반송차로 송신하는 송신부를 구비하고;
    상기 반송차는,
    상기 제 1 데이터 또는 제 2 데이터를 수신하는 통신부와,
    상기 제 1 데이터를 수신한 경우 상기 반송차를 상기 제 1 정지 위치에 정지시키는 제어를 행하고, 상기 제 2 데이터를 수신한 경우 상기 반송차를 상기 제 1 정지 위치 대신에 상기 제 2 정지 위치에 정지시키는 제어를 행하는 정지 제어부를 구비하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 반송차는,
    상기 제 1 정지 위치를 나타내는 제 1 정지 위치 데이터와, 상기 제 2 정지 위치를 나타내는 제 2 정지 위치 데이터를 기억하는 기억부를 더 구비하고;
    상기 컨트롤러는,
    오퍼레이터의 조작을 접수하는 입력부를 더 구비하고;
    상기 컨트롤러의 상기 송신부는 상기 입력부가 상기 반송차에 상기 제 1 정지 위치 데이터를 사용시키기 위한 조작을 접수한 경우 상기 반송차에 상기 제 1 정지 위치 데이터를 사용시키기 위한 제 1 설정 스위칭 데이터를 상기 반송차로 송신하고, 상기 입력부가 상기 반송차에 상기 제 2 정지 위치 데이터를 사용시키기 위한 조작을 접수한 경우 상기 반송차에 상기 제 2 정지 위치 데이터를 사용시키기 위한 제 2 설정 스위칭 데이터를 상기 반송차로 송신하고;
    상기 반송차는,
    상기 통신부가 상기 제 1 설정 스위칭 데이터를 수신한 경우 상기 정지 제어부가 상기 제 1 정지 위치 데이터를 사용하도록 설정하고, 상기 통신부가 상기 제 2 설정 스위칭 데이터를 수신한 경우 상기 정지 제어부가 상기 제 2 정지 위치 데이터를 사용하도록 설정하는 설정부를 더 구비하고;
    상기 컨트롤러의 상기 송신부는 상기 제 1 설정 스위칭 데이터를 송신하고 있는 경우 상기 반송차를 상기 제 1 정지 위치에 정지시키기 위한 명령으로서의 상기 제 1 데이터를 상기 반송차로 송신하고, 상기 제 2 설정 스위칭 데이터를 송신하고 있는 경우 상기 반송차를 상기 제 2 정지 위치에 정지시키기 위한 명령으로서의 상기 제 2 데이터를 상기 반송차로 송신하고;
    상기 반송차의 상기 정지 제어부는 상기 제 1 데이터를 수신한 경우 상기 제 1 정지 위치 데이터가 나타내는 상기 제 1 정지 위치에 상기 반송차를 정지시키는 제어를 행하고, 상기 제 2 데이터를 수신한 경우 상기 제 2 정지 위치 데이터가 나타내는 상기 제 2 정지 위치에 상기 반송차를 정지시키는 제어를 행하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 데이터는 상기 주행로 상의 연속된 제 1 포인트로부터 제 2 포인트 사이에 있어서 상기 제 1 포인트로부터 제 1 거리만큼 떨어진 위치인 상기 제 1 정지 위치를 나타내고,
    상기 제 2 데이터는 상기 제 1 포인트로부터 상기 제 1 거리와 다른 제 2 거리만큼 떨어진 위치인 상기 제 2 정지 위치를 나타내고,
    상기 송신부는 상기 제 1 데이터 또는 상기 제 2 데이터를 상기 반송차로 송신하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  4. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 제 2 장치는 상기 제 1 장치로부터 반출된 물품 또는 상기 제 1 장치로 공급하는 물품을 보관하기 위한 장치이며,
    상기 제 1 데이터는 복수의 상기 제 1 정지 위치를 나타내고,
    상기 제 2 데이터는 복수의 상기 제 2 정지 위치를 나타내고,
    상기 제 1 데이터가 나타내는 상기 제 1 정지 위치의 수는 상기 제 2 데이터가 나타내는 상기 제 2 정지 위치의 수와 다른 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
KR1020117019178A 2009-03-03 2010-02-15 반송 시스템 KR101341403B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2009-049983 2009-03-03
JP2009049983 2009-03-03
PCT/JP2010/000900 WO2010100834A1 (ja) 2009-03-03 2010-02-15 搬送システム

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20110118674A KR20110118674A (ko) 2011-10-31
KR101341403B1 true KR101341403B1 (ko) 2013-12-13

Family

ID=42709407

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020117019178A KR101341403B1 (ko) 2009-03-03 2010-02-15 반송 시스템

Country Status (8)

Country Link
US (1) US8527088B2 (ko)
EP (1) EP2404846B1 (ko)
JP (1) JP5267653B2 (ko)
KR (1) KR101341403B1 (ko)
CN (1) CN102341324B (ko)
SG (1) SG174209A1 (ko)
TW (1) TWI471711B (ko)
WO (1) WO2010100834A1 (ko)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013150859A1 (ja) * 2012-04-05 2013-10-10 村田機械株式会社 搬送システム
NL2011021C2 (nl) * 2013-06-21 2014-12-24 Vanderlande Ind Bv Systeem voor het opslaan van producthouders en werkwijze voor toepassing van een dergelijk systeem.
KR101527686B1 (ko) * 2014-05-02 2015-06-10 오학서 자동 반송 시스템용 데이터 전송 시스템
US9834238B2 (en) * 2014-06-02 2017-12-05 Murata Machinery, Ltd. Transporting vehicle system, and method of controlling transporting vehicle
EP3159920B1 (en) 2014-06-19 2021-06-16 Murata Machinery, Ltd. Carrier buffering device and buffering method
JP6135637B2 (ja) * 2014-10-20 2017-05-31 村田機械株式会社 走行車システム
US10410895B2 (en) * 2015-07-15 2019-09-10 Murata Machinery, Ltd. Conveyance control device and conveyance control system
CN105173504A (zh) * 2015-09-29 2015-12-23 扬中中科维康智能科技有限公司 一种自动仓储机器人***
SG11202008642UA (en) * 2018-03-15 2020-10-29 Murata Machinery Ltd Traveling vehicle controller and traveling vehicle system
EP3778435A4 (en) * 2018-03-27 2022-01-19 Murata Machinery, Ltd. TRANSPORTATION SYSTEM, TRANSPORTATION CONTROL DEVICE, AND CONTROL METHOD FOR TRANSPORTATION VEHICLE
WO2023189069A1 (ja) * 2022-03-29 2023-10-05 村田機械株式会社 搬送システム

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63189907A (ja) * 1987-02-02 1988-08-05 Toshiba Corp 無人搬送車
JPH08318486A (ja) * 1995-05-23 1996-12-03 Hitachi Ltd 自動搬送装置の制御方法
JP2006051886A (ja) * 2004-08-12 2006-02-23 Murata Mach Ltd 天井走行車システム

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000181542A (ja) 1998-12-14 2000-06-30 Hitachi Kiden Kogyo Ltd 自動搬送システムにおける搬送車の停止方法
US20050095087A1 (en) * 2003-10-30 2005-05-05 Sullivan Robert P. Automated material handling system
JP4074999B2 (ja) 2004-01-13 2008-04-16 村田機械株式会社 搬送台車システム
JP2006051866A (ja) * 2004-08-10 2006-02-23 Toyota Motor Corp シャーシフレームを備えた車両の車体構造
JP4464993B2 (ja) * 2007-06-29 2010-05-19 東京エレクトロン株式会社 基板の処理システム
US8235000B2 (en) * 2008-05-09 2012-08-07 Caterpillar Inc. Modular paint line and method of operation therefor
KR20110091020A (ko) * 2008-12-26 2011-08-10 무라다기카이가부시끼가이샤 주행차 시스템

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63189907A (ja) * 1987-02-02 1988-08-05 Toshiba Corp 無人搬送車
JPH08318486A (ja) * 1995-05-23 1996-12-03 Hitachi Ltd 自動搬送装置の制御方法
JP2006051886A (ja) * 2004-08-12 2006-02-23 Murata Mach Ltd 天井走行車システム

Also Published As

Publication number Publication date
EP2404846A4 (en) 2014-07-30
CN102341324A (zh) 2012-02-01
TW201033098A (en) 2010-09-16
EP2404846A1 (en) 2012-01-11
US20120004767A1 (en) 2012-01-05
US8527088B2 (en) 2013-09-03
SG174209A1 (en) 2011-10-28
JP5267653B2 (ja) 2013-08-21
KR20110118674A (ko) 2011-10-31
JPWO2010100834A1 (ja) 2012-09-06
TWI471711B (zh) 2015-02-01
EP2404846B1 (en) 2019-04-03
CN102341324B (zh) 2013-07-10
WO2010100834A1 (ja) 2010-09-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101341403B1 (ko) 반송 시스템
US11623266B2 (en) Sheet material machining system and method for processing workpiece
KR20180039129A (ko) 반송 시스템
CN106941089A (zh) 用于输送芯片的天车、运行天车的***与运行天车的方法
KR20030042476A (ko) 반도체 웨이퍼 캐리어를 운반하는 장치
JP2006298566A (ja) 天井走行車とそのシステム
JP4470576B2 (ja) 搬送システム
JP2011102166A (ja) 搬送経路決定方法及び自動搬送システム
CN112639649B (zh) 输送车***
JP2015040121A (ja) 自動ピッキング設備
US8521406B2 (en) Traveling vehicle system
US10948905B2 (en) High volume autonomous material handling system to improve IC factory throughput and cycle time
JP2005243729A (ja) 搬送システム
WO2021177135A1 (ja) 自動倉庫システム、及び、自動倉庫システムの制御方法
JP2004227058A (ja) 搬送車システム
JP2007193747A (ja) ワーク搬送システム
JP6579492B2 (ja) 自動倉庫システム
JP2014037313A (ja) 物品搬送設備及びそれを備えたピッキング設備
JP2018186196A (ja) 通信装置、バッファ装置、移載システム、及び、通信装置の制御方法
KR20080045470A (ko) 카세트이송대차 및 이를 포함하는 기판 반송시스템
KR20220106040A (ko) 물품 반송 설비
JP2007065754A (ja) 物品処理設備
JP5434822B2 (ja) 搬送システム
JP2022023337A (ja) 物品収納設備
JPH11165809A (ja) 自動搬送設備

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161205

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171201

Year of fee payment: 5