JP5182437B2 - 弾性波装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
図1〜図7を参照し、本発明の第1の実施形態に係る弾性波装置の製造方法を説明し、弾性波装置の構造を明らかにする。
図9〜図11を参照して、本発明の第2の実施形態に係る弾性波装置及びその製造方法を説明する。
図12〜図14を参照して、本発明の第3の実施形態に係る弾性波装置及びその製造方法を説明する。
図15〜図17を参照して、本発明の第4の実施形態に係る弾性波装置及びその製造方法を説明する。
なお、上述した各実施形態では、IDT電極3と、IDT電極3の両側に配置された反射器4,5とを有する1ポート型弾性表面波共振子につき説明したが、本発明の弾性波装置は特に限定されない。本発明の弾性波装置は、弾性表面フィルタや弾性表面波分波器などの弾性表面波装置であってもよい。加えて、弾性表面波装置に限らず、弾性境界波装置にも本発明を適用することができる。
2…第1の電極膜
3…IDT電極
3a,3b…バスバー
3c…電極指
4,5…反射器
6,6A…第2の電極膜
6a…最下層
6b…上層
6c…最上層
6d…開口部
6h…上端
7…バンプ
8,8A,8B,8C…弾性波装置
9…配線電極
10a〜10c…パッド電極
11…レジスト層
11A…レジストパターン
11a,31a,41a…開口部
12…真空蒸着装置
13…ドーム
14,16…回転軸
15…基板ホルダー
17…蒸着源
31…第3の電極膜
41…絶縁膜
Claims (17)
- 圧電基板と、
前記圧電基板の上面に形成されており、IDT電極を含む電極を構成している第1の電極膜と、
前記圧電基板の上面から第1の電極膜の上面の一部に至るように形成されている第2の電極膜とを備え、
前記第2の電極膜が、配線電極とパッド電極とを含む電極を構成しており、かつ複数の金属膜を積層してなる積層金属膜からなり、
前記第2の電極膜を構成している積層金属膜の最下層が、AlCu合金、NiCr合金、AlSi合金、AlTi合金、Ti及びCuからなる群から選択された1種の金属からなり、かつ第2の電極膜を構成している積層金属膜の最下層が、当該第2の電極膜の側面に至るように形成されており、前記第2の電極膜の上に形成された絶縁膜をさらに備え、
前記絶縁膜が、SiO 2 、AlN、Al 2 O 3 、Ta 2 O 5 、TeO 2 、SiN及びSiONのうち、いずれか1種の無機絶縁材料からなる膜と、ポリイミド、エポキシ樹脂、フェノール樹脂及びアミド樹脂のうち、いずれか1種の有機絶縁材料からなる膜とを含む、弾性波装置。 - 前記第2の電極膜を構成している前記積層金属膜が、AlまたはAuからなる金属膜を含む、請求項1に記載の弾性波装置。
- 前記第2の電極膜を構成している前記積層金属膜の最上層が、AlCu合金、NiCr合金、AlSi合金、AlTi合金、Ti及びCuからなる群から選択された1種の金属からなる、請求項1または2に記載の弾性波装置。
- 前記第2の電極膜の上に形成された第3の電極膜をさらに備える、請求項1または2に記載の弾性波装置。
- 前記第3の電極膜が、AlCu合金、NiCr合金、AlSi合金、AlTi合金、Ti及びCuからなる群から選択された1種の金属からなる、請求項4に記載の弾性波装置。
- 圧電基板の上面に、IDT電極を含む電極を構成する第1の電極膜を形成する工程と、
前記第1の電極膜及び前記圧電基板の上面を覆うように、レジスト層を形成する工程と、
前記レジスト層をパターニングし、開口部を有するレジストパターンを形成する工程と、
前記開口部を有するレジストパターンを形成した後に、複数の金属膜を順次成膜し、複数の金属膜のうち、最初に成膜する金属膜が前記圧電基板の上面から前記レジストパターンの側面に至るように、複数の金属膜を成膜する工程と、
前記レジストパターンを除去し、前記複数の金属膜からなる積層金属膜により、配線電極とパッド電極とを含む電極を構成する第2の電極膜を形成する工程とを備える、弾性波装置の製造方法。 - 前記複数の金属膜を蒸着法により連続して成膜する、請求項6に記載の弾性波装置の製造方法。
- 前記複数の金属膜を蒸着法により連続して成膜するに際し、遊星自公転型の真空蒸着装置を用いる、請求項7に記載の弾性波装置の製造方法。
- 前記複数の金属膜のうち、最初に成膜する金属膜が、AlCu合金、NiCr合金、AlSi合金、AlTi合金、Ti及びCuからなる群から選択された1種の金属からなる、請求項6〜8のいずれか1項に記載の弾性波装置の製造方法。
- 前記複数の金属膜が、AlまたはAuからなる金属膜を含む、請求項6〜9のいずれか1項に記載の弾性波装置の製造方法。
- 前記複数の金属膜のうち、最後に成膜する金属膜が、AlCu合金、NiCr合金、AlSi合金、AlTi合金、Ti及びCuからなる群から選択された1種の金属からなる、請求項6〜10のいずれか1項に記載の弾性波装置の製造方法。
- 前記第2の電極膜の上に、第3の電極膜を形成する工程をさらに備える、請求項6〜10のいずれか1項に記載の弾性波装置の製造方法。
- 前記第3の電極膜が、AlCu合金、NiCr合金、AlSi合金、AlTi合金、Ti及びCuからなる群から選択された1種の金属からなる、請求項12に記載の弾性波装置の製造方法。
- 前記第2の電極膜の上に、絶縁膜を形成する工程をさらに備える、請求項6〜10のいずれか1項に記載の弾性波装置の製造方法。
- 前記絶縁膜が、SiO2、AlN、Al2O3、Ta2O5、TeO2、SiN及びSiONのうち、いずれか1種の無機絶縁材料からなる膜を含む、請求項14に記載の弾性波装置の製造方法。
- 前記絶縁膜が、ポリイミド、エポキシ樹脂、フェノール樹脂及びアミド樹脂のうち、いずれか1種の有機樹脂からなる膜を含む、請求項14に記載の弾性波装置の製造方法。
- 前記絶縁膜が、SiO2、AlN、Al2O3、Ta2O5、TeO2、SiN及びSiONのうち、いずれか1種の無機絶縁材料からなる膜と、ポリイミド、エポキシ樹脂、フェノール樹脂及びアミド樹脂のうち、いずれか1種の有機絶縁材料からなる膜とを含む、請求項14に記載の弾性波装置の製造方法。
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