JP2019021997A - 弾性波素子、分波器および通信装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、弾性波素子1の要部の構成を示す平面図である。図2は、図1のII−II線における要部拡大断面図である。
導電層9は、例えば、金属により形成されている。金属は、適宜な種類のものとされてよく、例えば、アルミニウム(Al)またはAlを主成分とする合金(Al合金)である。Al合金は、例えば、アルミニウム−銅(Cu)合金である。なお、導電層9は、複数の金属層から構成されていてもよい。例えば、AlまたはAl合金と、圧電基板2との間に、これらの接合性を強化するためのチタン(Ti)からなる比較的薄い層が設けられていてもよい。また、複数の金属層を繰り返し積層した積層体であってもよい。
1対の櫛歯電極23に電圧が印加されると、複数の電極指27によって圧電基板2に電圧が印加され、圧電体である圧電基板2が振動する。これにより、D1軸方向に伝搬する弾性波が励振される。弾性波は、複数の電極指27によって反射される。そして、複数の電極指27のピッチpを概ね半波長(λ/2)とする定在波が立つ。定在波によって圧電基板2に生じる電気信号は、複数の電極指27によって取り出される。このような原理により、弾性波素子1は、ピッチpを半波長とする弾性波の周波数を共振周波数とする共振子として機能する。なお、λは、通常、波長を示す記号であり、また、実際の弾性波の波長は2pからずれることもあるが、以下でλの記号を用いる場合、特に断りがない限り、λは2pを意味するものとする。
本願発明者は、IDT電極3の形状を変化させることで、共振子15の周波数特性を高めることができることを見出した。具体的には、以下のとおりである。
上述の例では、電極指27とダミー電極指29と先端形状は共に円弧状の凹部であったがこの例に限られない。V字状であってもよいし、階段状に幅の中央に向けて凹む形状であってもよい。さらに、幅の外側のみにおいて、互いに向かって突出する突出部を備え、突出部よりも内側においてはギャップの幅が一定となるような平坦部を構成する形状であってもよい。この場合、突出部の幅方向に占める割合は10%以下としてもよい。
上述の例では下地層の平面形状については特に特定していないが、図4に示すように、下地層7は、ギャップの領域において電極指27およびダミー電極指29から露出する延在部7x,7yを備えていてもよい。
上述の例では、圧電基板2の上面は同一面となっていたが、図5に示すように、平面視で、電極指27とダミー電極指29とが位置する部分と、ギャップGpと重なる位置とで、上面の高さを異ならせてもよい。
上述の例では、圧電基板2の下面に支持基板12が位置する場合について説明したが、支持基板12を備えなくてもよい。その場合には、圧電基板2が単独で強度を保つような厚みを有することが望ましく、具体的には50μm以上300μmの厚みとすればよい。
上述の弾性波素子1の製造方法について、図面に基づき説明する。弾性波素子1は、圧電基板2と支持基板12とを接合する接合工程と、圧電基板2上に導体層9を成膜する成膜工程と、導体層9をパターニングして所望のパターンを得るパターニング工程と、を備える。
まず、図6(a)に示すように、圧電基板2の上面を覆う導体層9が形成された圧電基板2と支持基板7との接合体を準備する。
次に、図6(c)に示すように、電極群20の上面を覆うようにレジスト81を形成し、電極指27とダミー電極指29と間のギャップに相当する部分に開口81xを設ける。なお、図6(c)において、レジスト81の下側に位置する電極群20のパターンを破線で示している。
図7は、弾性波素子1の利用例としての分波器101の構成を模式的に示す回路図である。この図の紙面左上に示された符号から理解されるように、この図では、櫛歯電極23が二叉のフォーク形状によって模式的に示され、反射器21は両端が屈曲した1本の線で表わされている。
図8は、弾性波素子1(分波器101)の利用例としての通信装置151の要部を示すブロック図である。通信装置151は、電波を利用した無線通信を行うものであり、分波器101を含んでいる。
Claims (6)
- 圧電基板と、
前記圧電基板上に位置しており、電極指と、電極指の先端とギャップを介して対向するダミー電極指とを備えるIDT電極と、
を有しており、
前記電極指の先端は、幅方向における外側において内側に比べ前記ダミー電極指の側に位置しており、
前記ダミー電極指の先端は、幅方向における外側において内側に比べ前記電極指の側に位置している、弾性波素子。 - 前記電極指の先端は、前記ダミー電極指に向かい開いた凹部形状となっており、
前記ダミー電極指の先端は、前記電極指に向かい開いた凹部形状となっている、請求項1に記載の弾性波素子。 - 前記IDT電極と前記圧電基板との間に位置する下地層を備え、
前記下地層は、平面視で前記ギャップにおいて、前記電極指の前記先端の側から前記ダミー電極指に向かって延びる第1延在部と、前記第1延在部と間隔を空けて対向する、前記ダミー電極指の前記先端から前記電極指に向かって延びる第2延在部とを備える、請求項1または2に記載の弾性波素子。 - 前記圧電基板は、その上面が、前記電極指と重なる位置に比べ、前記ギャップと重なる位置において下側に位置している、請求項1乃至3のいずれかに記載の弾性波素子。
- アンテナ端子と、
前記アンテナ端子へ出力される信号をフィルタリングする送信フィルタと、
前記アンテナ端子から入力される信号をフィルタリングする受信フィルタと、
を有しており、
前記送信フィルタおよび前記受信フィルタの少なくとも一方が請求項1〜4のいずれか1項に記載の弾性波素子を含んでいる
分波器。 - アンテナと、
前記アンテナに前記アンテナ端子が接続されている請求項5に記載の分波器と、
前記送信フィルタおよび前記受信フィルタに対して信号経路に関して前記アンテナ端子とは反対側に接続されているICと、
を有している通信装置。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2021010245A1 (ja) * | 2019-07-12 | 2021-01-21 | ||
WO2021149501A1 (ja) * | 2020-01-24 | 2021-07-29 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
JPWO2021149469A1 (ja) * | 2020-01-20 | 2021-07-29 | ||
CN113454911A (zh) * | 2019-02-18 | 2021-09-28 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置 |
WO2022124409A1 (ja) * | 2020-12-11 | 2022-06-16 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
WO2023013742A1 (ja) * | 2021-08-04 | 2023-02-09 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5967027U (ja) * | 1982-10-27 | 1984-05-07 | 株式会社東芝 | 弾性表面波トランスジユ−サ |
JPH05121993A (ja) * | 1991-10-29 | 1993-05-18 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波デバイス |
JPH11191720A (ja) * | 1997-12-25 | 1999-07-13 | Kyocera Corp | 弾性表面波装置及び弾性表面波フィルタ |
JP2004343259A (ja) * | 2003-05-13 | 2004-12-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 弾性表面波フィルタ |
WO2008035525A1 (fr) * | 2006-09-22 | 2008-03-27 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Dispositif de filtre d'ondes acoustiques de surface de type à résonateur à couplage longitudinal |
JP2014110457A (ja) * | 2012-11-30 | 2014-06-12 | Kyocera Corp | 弾性波素子、分波器および通信モジュール |
WO2015005267A1 (ja) * | 2013-07-08 | 2015-01-15 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
WO2016080444A1 (ja) * | 2014-11-18 | 2016-05-26 | 京セラ株式会社 | 弾性波素子、フィルタ素子および通信装置 |
WO2017013945A1 (ja) * | 2015-07-17 | 2017-01-26 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置及びその製造方法 |
-
2017
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Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5967027U (ja) * | 1982-10-27 | 1984-05-07 | 株式会社東芝 | 弾性表面波トランスジユ−サ |
JPH05121993A (ja) * | 1991-10-29 | 1993-05-18 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波デバイス |
JPH11191720A (ja) * | 1997-12-25 | 1999-07-13 | Kyocera Corp | 弾性表面波装置及び弾性表面波フィルタ |
JP2004343259A (ja) * | 2003-05-13 | 2004-12-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 弾性表面波フィルタ |
WO2008035525A1 (fr) * | 2006-09-22 | 2008-03-27 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Dispositif de filtre d'ondes acoustiques de surface de type à résonateur à couplage longitudinal |
JP2014110457A (ja) * | 2012-11-30 | 2014-06-12 | Kyocera Corp | 弾性波素子、分波器および通信モジュール |
WO2015005267A1 (ja) * | 2013-07-08 | 2015-01-15 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
WO2016080444A1 (ja) * | 2014-11-18 | 2016-05-26 | 京セラ株式会社 | 弾性波素子、フィルタ素子および通信装置 |
WO2017013945A1 (ja) * | 2015-07-17 | 2017-01-26 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置及びその製造方法 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113454911A (zh) * | 2019-02-18 | 2021-09-28 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置 |
CN113454911B (zh) * | 2019-02-18 | 2024-05-07 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置 |
JPWO2021010245A1 (ja) * | 2019-07-12 | 2021-01-21 | ||
WO2021010245A1 (ja) * | 2019-07-12 | 2021-01-21 | 京セラ株式会社 | 弾性波フィルタ、分波器および通信装置 |
JP7344294B2 (ja) | 2019-07-12 | 2023-09-13 | 京セラ株式会社 | 弾性波フィルタ、分波器および通信装置 |
JPWO2021149469A1 (ja) * | 2020-01-20 | 2021-07-29 | ||
WO2021149469A1 (ja) * | 2020-01-20 | 2021-07-29 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
JP7318746B2 (ja) | 2020-01-20 | 2023-08-01 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
WO2021149501A1 (ja) * | 2020-01-24 | 2021-07-29 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
WO2022124409A1 (ja) * | 2020-12-11 | 2022-06-16 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
WO2023013742A1 (ja) * | 2021-08-04 | 2023-02-09 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
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