JP5045378B2 - ワイヤソー装置 - Google Patents

Description

本発明は、ワイヤソー装置を用いて、ワーク（例えばシリコンインゴット、化合物半導体のインゴット等）から多数のウエーハを切り出すワイヤソー装置に関する。

近年、ウエーハの大型化が望まれており、この大型化に伴い、ワークの切断には専らワイヤソー装置が使用されている。
ワイヤソー装置は、ワイヤ（高張力鋼線）を高速走行させて、ここにスラリを掛けながら、ワークを押し当てて切断し、多数のウエーハを同時に切り出す装置である（特許文献１参照）。

ここで、図７に、従来の一般的なワイヤソー装置の一例の概要を示す。
図７に示すように、ワイヤソー１０１は、主に、ワークを切断するためのワイヤ１０２、ワイヤ１０２を巻回した溝付きローラ１０３、ワイヤ１０２に張力を付与するための機構１０４、切断されるワークを下方へと送り出す機構１０５、切断時にスラリを供給する機構１０６で構成されている。

ワイヤ１０２は、一方のワイヤリール１０７から繰り出され、トラバーサ１０８を介してパウダクラッチ（定トルクモータ１０９）やダンサローラ（デッドウェイト）（不図示）等からなる張力付与機構１０４を経て、溝付きローラ１０３に入っている。ワイヤ１０２はこの溝付きローラ１０３に３００〜４００回程度巻掛けられた後、もう一方の張力付与機構１０４’を経てワイヤリール１０７’に巻き取られている。

また、溝付きローラ１０３は鉄鋼製円筒の周囲にポリウレタン樹脂を圧入し、その表面に一定のピッチで溝を切ったローラであり、巻掛けられたワイヤ１０２が、駆動用モータ１１０によって予め定められた周期で往復方向に駆動できるようになっている。

なお、ワークの切断時には、図８に示すようなワーク送り機構１０５によって、ワークは保持されつつ押し下げられ、溝付きローラ１０３に巻回されたワイヤ１０２に送り出される。このワーク送り機構１０５は、ワークを保持しつつ押し下げるためのワーク保持部１１１、ＬＭガイド１１２を備えており、コンピュータ制御でＬＭガイド１１２に沿ってワーク保持部１１１を駆動させることにより、予めプログラムされた送り速度で保持されたワークを送り出すことが可能である。
なお、ワークは当て板１１４に接着されており、また、この当て板１１４はワークプレート１１３により保持されている。そして、これらの当て板１１４、ワークプレート１１３を介して、ワーク保持部１１１によりワークは保持される。

また、図７に示すように、溝付きローラ１０３、巻掛けられたワイヤ１０２の近傍にはノズル１１５が設けられており、切断時にスラリタンク１１６からワイヤ１０２にスラリを供給できるようになっている。また、スラリタンク１１６にはスラリチラー１１７が接続されており、供給するスラリの温度を調整できるようになっている。

このようなワイヤソー装置１０１を用い、ワイヤ１０２にワイヤ張力付与機構１０４を用いて適当な張力をかけて、駆動用モータ１１０により、ワイヤ１０２を往復方向に走行させながらワークをスライスする。

しかしながら、上記のような一般的なワイヤソー装置を用いてワークをウエーハ状に切断し、切断されたウエーハの形状を調べてみると、大きなＷａｒｐが生じてしまっていた。Ｗａｒｐは半導体ウエーハの切断における重要品質の一つであり、製品の品質要求が高まるにつれ、一層の低減が望まれている。

特開平９−２６２８２６号公報

そこで、本発明者は、切断されたウエーハの形状を詳細に調査したところ、特にワークの両端面の付近でＷａｒｐが悪化しており、Ｗａｒｐが悪化したウエーハを更に詳細に調査すると、切断後半部でＷａｒｐが顕著に悪化していることを発見した。

このＷａｒｐの悪化原因を調査するために、本発明者は切断中のワークの状態を観察した。
ワークを切断するとき、ワークの側方に位置するノズルによって、ワイヤ列の上方からスラリを掛けつつワイヤを軸方向に高速で駆動することにより、ワーク切断部へのスラリの供給が行われる。しかしながら、この際、ワイヤに付着してワーク付近まで運ばれたスラリは、そのほとんどがワークの側面（ワークのワイヤの切入り部）に衝突して、ワーク下方へ落下していることが分かった。

特に半導体シリコンインゴットでは、ワークが円柱形状であるために、ワークの切断開始部からワーク中央部にかけて切断しているとき、上記のワーク側面に衝突したスラリはワイヤの切入り部から速やかに下方へ落下する。図９にワークの切断開始部から中央部を切断しているときのスラリの流れを示す。なお、図において、向かって左側から右側へワイヤが走行しているときの例を示している。
しかしながら、ワークの切り込みがさらに進み、ワークの中央部以降を切断するときには、スラリは円柱形状のワークの側面にあたってワークの上方へ向かって飛散し、その後、ワークへ落下する。図１０にワークの中央部以降を切断しているときのスラリの流れを示す。ワークの上方へ向かって飛散したスラリは、ワーク保持部やワークプレートにまで到達し、ワークの内側へと落下することがわかる。そして、このワークに落下したスラリは、既にワイヤによって切り込まれた箇所に流れ込むことが分かった。

図１１に、ワイヤにより切り込まれた箇所にスラリが流れ込んだときの状態を示す。これは、ワイヤ列に沿った方向からワーク側面を見た図である。ワイヤにより切り込まれた箇所に流れ込んだスラリは、切断熱等により移動中に水分が抜け、最初にワイヤに供給されたときよりも粘性が高くなっており、この高粘度のスラリが、特にワーク下端付近（切断開始部付近）（図１１のＰ参照）に溜まって、ワークの既に切り込まれてウエーハ状となった箇所が互いにくっつき合い易くなる。一方で、ワーク中央部付近（図１１のＱ参照）では、上記のようにウエーハ状に切り込まれてスラリにより互いにくっついたワーク下端付近と、まだ切り込まれていないワーク上端付近を支点にして、切断中に、ワイヤ列と直行する方向に振動する（蛇腹運動）。この蛇腹運動はワークの端面側に近いほどその振幅も大きいことが分かった。
そして、本発明者は、このようなワークの蛇腹運動を原因として、特には切断終了部付近の切断に影響が生じ、ウエーハのＷａｒｐが悪化すると考えた。

そこで、本発明は、上記問題点を鑑みてなされたもので、ワークのワイヤの切入り部から飛散するスラリを原因としてワークが蛇腹運動するのを抑制し、切断されるウエーハのＷａｒｐを改善することが可能なワイヤソー装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明は、少なくとも、複数の溝付きローラに巻掛けされ、軸方向に往復走行するワイヤと、該ワイヤにスラリを供給するノズルと、切断されるワークを保持しつつ押し下げて前記ワイヤへ送るワーク送り機構を具備し、前記ノズルから前記ワイヤにスラリを供給しつつ、前記ワーク送り機構により保持されたワークを、往復走行するワイヤに押し当てて切り込み送りし、ワークをウエーハ状に切断するワイヤソー装置であって、
前記ワーク送り機構のワーク保持部は、前記切断されるワークに接着されている当て板と該当て板を保持するワークプレートを介してワークを保持するものであり、
前記ワークのワイヤの切入り部から飛散するスラリを防ぐための板状またはブロック状のスラリ飛散防止部材が、前記ワーク保持部の下方、かつ、前記ワイヤがワークに切入る側と切出す側の両側に、前記溝付きローラに巻掛けされたワイヤのワイヤ列と直行方向に配設されたものであることを特徴とするワイヤソー装置を提供する。

このように、本発明のワイヤソー装置は、ワークのワイヤの切入り部から飛散するスラリを防ぐための板状またはブロック状のスラリ飛散防止部材が、ワーク送り機構のワーク保持部の下方、かつ、ワイヤがワークに切入る側と切出す側の両側に、溝付きローラに巻掛けされたワイヤのワイヤ列と直行方向に配設されたものであるので、ワーク切断後半において、ワイヤがワークを切入るときに、ワイヤに付着したスラリが切入り部にあたってワーク上方へと飛散するのを、スラリ飛散防止部材により防止可能なものとなる。

したがって、ワーク上方に飛散してワークの内側へ流れ落ち、ワイヤによって切り込まれた箇所に流れ込むスラリの量を抑制することができる。これにより、ウエーハ状に切り込まれたワークの下端が、流れ込んだ粘性の高いスラリによりくっつくことを防止し、それによってワーク中央部付近での蛇腹運動も抑えられる。このように切断中のワークの振動（ワイヤ列と直交する方向に振動）が抑制されて、特に切断終了部付近のウエーハのＷａｒｐ形状を改善することが可能である。

このとき、前記スラリ飛散防止部材は、下端が、前記ワークプレートよりも下方に位置するものであるのが好ましい。
このように、スラリ飛散防止部材の下端が、ワークプレートよりも下方に位置するものであれば、スラリ飛散防止部材がワークのより近くに配設されたものとなり、ワークのワイヤの切入り部から、ワークの上方にスラリが飛散してワークプレートにまで達するのをさらに効果的に抑制することが可能なものとなる。その結果、切断されたワーク部にスラリーが流れ込むのをより効果的に抑制できる。

さらに、前記スラリ飛散防止部材は、下面が外側に向かってテーパを有するものであるのが好ましい。
このように、スラリ飛散防止部材の下面が外側に向かってテーパを有するものであれば、ワークのワイヤの切入り部からワーク上方へ向かって飛散するスラリを、ワークの外側へ効率良く跳ね返すことが可能なものとなる。

また、前記スラリ飛散防止部材は可動可能なものとすることができる。
このように、スラリ飛散防止部材が可動可能なものであれば、切断中に常にワークのワイヤの切入り部付近に容易に配設することが可能となり、切断の進捗にかかわりなく切入り部からのスラリの飛散をより効果的に防止することができる。

この場合、前記スラリ飛散防止部材は、水平動または円軌道に沿って平行動されるものとすることができる。
このように、スラリ飛散防止部材が水平動または円軌道に沿って平行動されるものであれば、切断中にワーク送り機構により押し下げられるワークのワイヤの切入り部の位置変化に対応することができる。スラリ飛散防止部材とワーク（ワイヤの切入り部）との距離を一定に制御することも可能になる。

あるいは、前記スラリ飛散防止部材は、前記ワーク保持部に固定されたものとすることができる。
このように、スラリ飛散防止部材がワーク保持部に固定されたものであれば、比較的簡単な構造で、ワークのワイヤの切入り部からワークの内側へ向かってスラリが飛散するのを防止できるものとなる。

本発明のワイヤソー装置であれば、ワークのワイヤの切入り部から、ワークの上方にスラリが飛散し、その後切断されたワークに流れ込むのを抑制することが可能であり、それによって、ワークの蛇腹運動を抑え、切断されるウエーハのＷａｒｐを改善することができる。

以下では、本発明の実施の形態について説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
図１は本発明のワイヤソー装置の一例を示す概略図である。図１に示すように、本発明のワイヤソー装置１はスラリ飛散防止部材２０を具備しており、他の機構、例えばワークを切断するためのワイヤ２、ワイヤ２を巻回した溝付きローラ３、ワイヤ２に張力を付与するための機構４、切断されるワークを下方へと送り出す機構５、切断時にスラリを供給する機構６等は特に限定されず、従来と同様のものとすることができる。

次に、図２に、可動式のスラリ飛散防止部材２０の一例を示す。なお、図２（Ａ）は切断開始前、（Ｂ）は切断開始部から中央部を切断しているとき、（Ｃ）は中央部から切断終了部を切断しているときの一例をそれぞれ挙げたものである。
まず、切断されるワークは当て板１４に接着されており、該当て板１４はワークプレート１３により保持されている。当て板１４は、例えばエポキシ系樹脂板とすることができ、ワークとエポキシ接着剤により接着されている。また、ワークプレート１３は、インバー材やステンレスでできており、当て板１４とエポキシ接着剤により接着されている。

そして、ワーク送り機構５のワーク保持部１１は、クランプにより上記ワークプレート１３を保持している。すなわち、このワーク保持部１１は、当て板１４、ワークプレート１３を介してワークを保持している。
そして、このようにワーク送り機構５のワーク保持部１１によって保持されたワークは、切断を行う際、ワーク送り機構５により、下方に位置するワイヤ２へと送られる。
一方、溝付きローラ３に巻掛けされ、切断時に、軸方向に往復走行するワイヤ２の上方にはノズル１５が配置されており、ワークの切断を行うときには、ワイヤ２にスラリを供給することができるようになっている。

また、スラリ飛散防止部材２０はワーク保持部１１の下方に位置し、さらには、特に図１、２（Ｂ）（Ｃ）に示すように、ワイヤ２がワークに切入る側と切出す側の両側に、ワイヤ２のワイヤ列と直行する方向に配設されている。これは、ワイヤを往復走行させるので、切入り側と切出し側は、周期的に逆転するので、ワークの両側に必要だからである。
スラリ飛散防止部材２０の形状は、図２に示す例ではブロック状となっているが、このほか、板状のものとすることも可能である。そして、その下面は、図２に示すように、外側に向かってテーパを有している。当然、下面が平坦な形状のものを用いることもできるが、このように外側に向かってテーパを有する形状であると、ワーク切入り部から飛散するスラリを、外側に向かって跳ね返すことが可能となり、すなわち、ワークの内側へスラリが飛散するのを一層効果的に防止することができるので好ましい。例えば、水平面に対して５度以上の角度で傾斜しているものとすることができる。
また、大きさや厚さ等は特に限定されず、ワークを切断終了する時点において、ワーク保持部１１とワークの間に入り込めるように設定することができる。ただし、そのワーク切断終了時において、スラリ飛散防止部材２０の下端が、ワークプレート１３よりも下方に位置する程度の大きさ、厚さを有するものとするのが好ましい。そのようなものであれば、スラリ飛散防止部材２０の下端がワークから離れすぎることもなく、ワークの上方にスラリが大きく飛散し、ワーク内側にスラリが流れ込むのを効果的に防止することができる。

さらに、このスラリ飛散防止部材２０はコンピュータ等につなげられており、このコンピュータにより、配設位置を適切に決定することが可能である。また、スラリ飛散防止部材２０がつながったコンピュータは、ワーク送り機構５ともつなげることができ、例えば、ワーク送り機構５により下方へ押し下げられるワークの移動量に応じて、スラリ飛散防止部材２０の位置を制御することができる。このコンピュータ制御により、ワーク（ワイヤ２の切入り部）とスラリ飛散防止部材２０の距離を常に一定に制御することも可能である。

スラリ飛散防止部材２０の動かし方は得に限定されないが、例えば水平動のものとすることができる。ワークの切断時、ワークはワーク送り機構５により押し下げられるので、円柱状のワークの中央部以降を切断するときなどは、ワークのワイヤの切入り部はワークの内側方向へと移動することになる。スラリ飛散防止部材２０が水平方向に可動可能なものであれば、そのワークの内側方向へと移動する切入り部を容易に追うことが可能であり、切入り部からのスラリの飛散を防ぐことができる。
あるいは、円軌道に沿って平行動させることができるものとし、円柱状のワークの側面に沿って、より細やかにスラリ飛散防止部材２０を移動させるものとすることができる。
ワークの形状等に応じて適宜設定することが可能である。

ここで、図２により、本発明のワイヤソー装置１を用い、ワークを切断するときに、ワークのワイヤ２の切入り部から、スラリがワークの上方に飛散するのを防止する手順について説明する。
まず、図２（Ａ）に示すように、軸方向に往復走行するワイヤ２のワイヤ列に向かって、スラリをノズル１５から供給するとともに、ワーク保持部１１により保持されたワークを押し下げていく。なお、ここでは、向かって左側から右側へとワイヤが走行している場合について述べる。

次に、図２（Ｂ）に示すように、ワークの切断開始部から中央部を切断しているとき、ワイヤ２に付着したスラリはワークの側面に衝突し、ワークのワイヤ２の切入り部から、ワークの下方へすみやかに落下する。

さらに切断が進み、ワークの中央部以降を切断しているとき、ワイヤ２に付着したスラリはワークの側面に衝突し、ワークのワイヤの切入り部から、ワイヤの上方へと向かって飛散しようとする。
このとき、本発明のワイヤソー装置１では、可動式のスラリ飛散防止部材２０を具備しているので、ワークのワイヤ２の切入り部の近傍に移動させ、スラリが切入り部からワークの上方へと飛散するのを、スラリ飛散防止部材２０によって遮断して防止することができる。
そして、切断終了部付近に近づくにつれ、ワイヤ２の切入り部はワークの内側方向へと移動するので、スラリ飛散防止部材２０もさらに内側へと移動させることにより、スラリがワークの上方、ワークのより内側へ向かって飛散するのを、切断が終了するまで防止し続けることができる。

以上より、ワークのワイヤ２の切入り部から、スラリがワークの上方へ向かって飛散するのをスラリ飛散防止部材２０により防止することができ、それによって、飛散したスラリがワークへと落下し、既にウエーハ状に切断されたワーク下端へ高粘度のスラリが流れ込むこともなく、ワークの蛇腹運動を抑制することができ、切断後半以降のウエーハのＷａｒｐが悪化するのを防止することが可能である。

また、本発明のワイヤソー装置１は、図２に示した可動式のスラリ飛散防止部材２０の他、固定式のスラリ飛散防止部材を採用することもできる。
図３に、ワーク保持部１１に対して固定されたスラリ飛散防止部材２１の一例を示す。
図３に示すように、スラリ飛散防止部材２１はワーク保持部１１の下面に取り付けられており固定されている。固定方法は特に限定されず、接着剤やねじを用いたり、クランプにより行うことができる。また、スラリ飛散防止部材２１の形状や大きさ、厚さ等は特に限定されず、可動式のスラリ飛散防止部材２０と同様のものとすることができる。切断工程において、往復走行するワイヤ２により切断されてしまわない程度に大きさ等を調整したものが好ましい。

ただし、固定式の場合、図３のように下面が外側に向かってテーパを有するものが特に望ましい。これは、可動式のものに比べると、スラリ飛散防止部材２１とワーク（ワークのワイヤ２の切入り部）との距離を切断中に常に近接させておくことは難しいためである。そこで、下面をテーパ形状のものとすることにより、切入り部から飛散するスラリを常に外側に向かって跳ね返し、ワークの内側へ向かって飛散してふりかかるのを防ぐことが望ましい。

以下、本発明を実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明はこれに限定されない。
（実施例）
図３に示す固定式のスラリ飛散防止部材２１を備えた本発明のワイヤソー装置を用い、直径３００ｍｍ、軸方向長さ３００ｍｍのシリコンインゴットをウエーハ状に切断し、２７５枚のスライスウエーハを得る。
なお、この固定式のスラリ飛散防止部材２１として、塩化ビニル樹脂製のもので、断面が台形のブロック状のものを用意した。このスラリ飛散防止部材の全体形状の斜視図を図４に示しておく。
そして、用意したスラリ飛散防止部材を、図３に示すようにワーク保持部にねじを用いて取り付けて固定した。このとき、スラリ飛散防止部材の下端はワークプレートよりも下方に突き出て位置し、スラリ飛散防止部材の下面は外側に向かってテーパを有する向きでスラリ飛散防止部材をワーク保持部に固定した。このようにして本発明のワイヤソー装置を用意した。

そして、直径１６０μｍのワイヤを使用し、２．５ｋｇｆの張力をかけて、５００ｍ／ｍｉｎの平均速度で６０ｓ／ｃのサイクルでワイヤを往復方向に走行させるとともに、ノズルからワイヤに向かってスラリを供給し、ワーク送り機構によってシリコンインゴットをワイヤ列に押し当てて切断を行い、スライスウエーハを得た。

本発明者がこのワークの切断中にワークの観察を行ったところ、ワークの中央部以降を切断しているとき、ノズルからワイヤに供給されてワイヤに付着したスラリは、ワークの側面に衝突したとき、上方に向かって一旦飛散するものの、下端がワークプレートよりも下方に突き出たスラリ飛散防止部材のテーパを有する下面により、ワークの外側に跳ね返されていた。すなわち、従来のワイヤソー装置を用いてワークの切断を行った後述の比較例のように、スラリがワークの上方へと大きく飛散し、そのままワークの内側へ落下してしまうのを防ぐことができた。このように、スラリ飛散防止部材によってワークの内側へと飛散するスラリの量を大幅に抑制できた。
そして、ワークの蛇腹運動は抑制され、ワークの振動（ワイヤ列に直交する方向）はほとんどなかった。

この実施例で切り出したスライスウエーハの全数について、実際に形状測定を行ってＷａｒｐを測定した。図５（Ａ）に実施例でのＷａｒｐの測定結果を示す。
図５（Ａ）に示すように、本発明のワイヤソー装置を用いてワークの切断を行った実施例では、Ｗａｒｐを１０μｍ以下に抑制できていることが分かる。後述する比較例では、Ｗａｒｐが２０μｍにも及んでいる。本発明のワイヤソー装置を用いることによって、Ｗａｒｐを格段に改善できたことが分かる。

（比較例）
従来のワイヤソー装置を用い、スラリ飛散防止部材を備えていないこと以外は実施例と同様の条件で、同様のシリコンインゴットの切断を行った。

本発明者がワークの切断中にワークの観察を行ったところ、ワークの中央部以降を切断しているとき、ワークの側面に衝突したスラリは、ワークの内側に向かって大きく飛散してワークプレートにまで達し、その後、ワークの内側に大量に降り注がれていた。
そして、ワークの蛇腹運動が顕著に見られ、振幅の大きいワークの振動が観察された。特に、ワークの両方の端面付近で振動が激しかった。

図５（Ｂ）に、比較例におけるスライスウエーハの全数についてのＷａｒｐの測定結果を示す。
このように、従来のワイヤソー装置を用いてワークの切断を行った比較例では、特にワークの端面側（図５（Ｂ）の１−３０枚目、２４６−２７５枚目あたり）において、Ｗａｒｐが大きくなっていることが分かる。これは、切断中に、激しい震動が観察されたワークの箇所と一致している。

また、実施例、比較例で得た新線供給側から１枚目のスライスウエーハについて、切断方向におけるスライスウエーハのＷａｒｐ形状を測定した結果を図６に示す。
実線が本発明、すなわち実施例の場合であり、点線が従来法、すなわち比較例の場合である。ワーク切込み位置が中央部（１５０ｍｍ）以降、特には２５０ｍｍ以降から分かるように、比較例に比べて、実施例は、中央部から切断終了部におけるＷａｒｐ形状の変化を著しく抑制できていることが分かる。これは、上述したように、ワークの中央部以降を切断しているとき、ワークの蛇腹運動を抑えることができたためと考えられる。

以上のように、本発明のワイヤソー装置であれば、ワークのワイヤの切入り部からスラリが飛散してワークの上方に降り注ぐことを効果的に防止することができ、それによって、ワークの中央部以降を切断しているときに発生するワークの蛇腹運動を抑制することが可能になり、切断後半におけるＷａｒｐ形状を改善することができる。その結果、従来よりも格段にＷａｒｐが良好なスライスウエーハを提供することが可能である。

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。

上記例では固定式のスラリ飛散防止部材を備えたワイヤソー装置を用いた場合の例を挙げて説明したが、これに限定されず、可動式のスラリ飛散防止部材を備えたワイヤソー装置とすることもできる。この場合、ワークのワイヤの切入り部に対し、スラリ飛散防止部材をより近接して配設することも可能であり、スラリの飛散を一層効果的に防止し、Ｗａｒｐがさらに良好なスライスウエーハを提供することもできる。

また、上記例で、固定式のスラリ飛散防止部材を塩化ビニル樹脂製のものとしたが、この場合、その下端がワーク切断終了位置よりも下方にまで伸びているサイズのものとし、ワークと一緒に切断することが可能なものとすることができる。一方、下端がワーク切断終了位置よりも上方にあり、ワークを切断し終わったときにもワイヤと接触することのないサイズのものの場合、ステンレス等の金属材料からなるものとすることも可能である。

本発明のワイヤソー装置の一例を示す概略図である。 可動式のスラリ飛散防止部材の一例を示す説明図である。図２（Ａ）は切断開始前、（Ｂ）は切断開始部から中央部を切断しているとき、（Ｃ）は中央部から切断終了部を切断しているときの一例を示す。 固定式のスラリ飛散防止部材の一例を示す説明図である。 実施例で用いた固定式のスラリ飛散防止部材の斜視図である。 スライスウエーハ全数のＷａｒｐの測定結果を示すグラフである。（Ａ）実施例、（Ｂ）比較例。 実施例、比較例のスライスウエーハについて、切断方向におけるスライスウエーハのＷａｒｐ断面形状の測定結果を示すグラフである。 従来のワイヤソー装置の一例を示す概略図である。 ワーク送り機構の一例を示す概略図である。 従来のワイヤソー装置を用いて、ワークの切断開始部から中央部を切断しているときのスラリの流れの様子を示す説明図である。 従来のワイヤソー装置を用いて、ワークの中央部以降を切断しているときのスラリの流れの様子を示す説明図である。 ワイヤにより切り込まれた箇所にスラリが流れ込んだ状態を示す説明図である。

符号の説明

１…ワイヤソー装置、 ２…ワイヤ、 ３…溝付きローラ、
４…ワイヤ張力付与機構、 ５…ワーク送り機構、
６…スラリ供給機構、 １１…ワーク保持部、 １３…ワークプレート、
１４…当て板、 １５…ノズル、
２０…可動式スラリ飛散防止部材、 ２１…固定式スラリ飛散防止部材。

Claims (4)

1. 少なくとも、複数の溝付きローラに巻掛けされ、軸方向に往復走行するワイヤと、該ワイヤにスラリを供給するノズルと、切断されるワークを保持しつつ押し下げて前記ワイヤへ送るワーク送り機構を具備し、前記ノズルから前記ワイヤにスラリを供給しつつ、前記ワーク送り機構により保持されたワークを、往復走行するワイヤに押し当てて切り込み送りし、ワークをウエーハ状に切断するワイヤソー装置であって、
   前記ワーク送り機構のワーク保持部は、前記切断されるワークに接着されている当て板と該当て板を保持するワークプレートを介してワークを保持するものであり、
   前記ワークのワイヤの切入り部から飛散するスラリを防ぐための板状またはブロック状のスラリ飛散防止部材が、前記ワーク保持部の下方、かつ、前記ワイヤがワークに切入る側と切出す側の両側に、前記溝付きローラに巻掛けされたワイヤのワイヤ列と直行方向に配設されており、
   該スラリ飛散防止部材は、下端が前記ワークプレートよりも下方に位置するものであり、かつ、下面が外側に向かってテーパを有するものであることを特徴とするワイヤソー装置。
2. 前記スラリ飛散防止部材は、可動可能であることを特徴とする請求項１に記載のワイヤソー装置。
3. 前記スラリ飛散防止部材は、水平動または円軌道に沿って平行動されるものであることを特徴とする請求項２に記載のワイヤソー装置。
4. 前記スラリ飛散防止部材は、前記ワーク保持部に固定されたものであることを特徴とする請求項１に記載のワイヤソー装置。

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