JP2005276851A - ワイヤソー - Google Patents
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Abstract
【課題】切断されたウェーハの反りうねりおよび厚さバラツキを抑制し均一な厚さのウェーハを切断できるワイヤソーを提供する。
【解決手段】本ワイヤソーは、被加工物をスライスベース10を介して保持するワークプレート6と、このワークプレート6の上表面に加工液を供給する加工液供給部8aと、上表面6aに設けられた加工液供給口6bと、この加工液供給口6bに連通しかつワークプレート6を貫通し加工液を被加工物Wに供給する貫通流路6cと、この貫通流路6cから供給される加工液を被加工物Wにむらなく供給するための整流板9を有する。
【選択図】 図2
【解決手段】本ワイヤソーは、被加工物をスライスベース10を介して保持するワークプレート6と、このワークプレート6の上表面に加工液を供給する加工液供給部8aと、上表面6aに設けられた加工液供給口6bと、この加工液供給口6bに連通しかつワークプレート6を貫通し加工液を被加工物Wに供給する貫通流路6cと、この貫通流路6cから供給される加工液を被加工物Wにむらなく供給するための整流板9を有する。
【選択図】 図2
Description
本発明はワイヤソーに係わり、特に被加工物の上方の加工液供給口に加工液を整流する整流板を設けたワイヤソーに関する。
近年、ウェーハの大口径化および高平坦化に伴い、単結晶インゴットの切断にはワイヤソーが一般的に使用されている。このワイヤソーは所定ピッチのワイヤ列に被加工物を押し付け、砥粒を含む加工液を注ぎながら、ワイヤと被加工物を相対運動させ、研削作用によって多数のウェーハを同時に切断する装置である。
ワイヤソーの利点は、インゴットから一度に多数のウェーハを同時に切断することができるため生産性が高く、また同時切断により切断後のウェーハをほぼ同一形状に製造できるところにある。これに対して、このワイヤソーを用いる問題点としては、切断後のウェーハの反りが大きいことである。ワイヤソーでは、切断中、ワイヤを巻き掛ける溝付ローラのベアリング部において発生する摩擦熱や、インゴットをワイヤに押し付けた際に発生する摩擦熱の影響を受けて温度上昇する。この温度上昇により、インゴット及び装置各部は熱膨張し、ワークプレートが撓んで被加工物の切断面に角度誤差が生じたり、ワークプレートが伸長して被加工物にうねりや反りが生じたりする。
被加工物の熱変形を間接的に防止する方法として、被加工物に温度制御媒体を直接注ぎ、温度制御を行う方法が特許文献1に提案されており、また、特許文献2には全幅に渡って開口された加工液供給口を有する加工液供給手段により被加工物の外周に加工液を供給し、被加工物外周面を介して被加工物とワイヤの圧接部に加工液を供給するワイヤソーが提案されている。
しかしながら、特許文献1の方法は、加工液の流れムラが被加工物を切断するワイヤに走行方向以外の不規則な力を与えてしまうため、加工液を被加工物に供給する際に、加工液の流れムラが生じてしまい、切断されたウェーハに極端な厚さムラが生じてしまう問題がある。また、特許文献2の装置は、全幅に渡って開口された加工液供給口から加工液を供給するため、特許文献1と同様に加工液の流れムラが被加工物を切断するワイヤに走行方向以外の不規則な力を与えてしまうため、切断されたウェーハに極端な厚さバラツキが生じてしまう問題がある。
WO00/43162号公報
特開平11−277395号公報
本発明は上述した事情を考慮してなされたもので、切断されたウェーハの反りうねりおよび厚さバラツキを抑制し均一な厚さのウェーハを切断できるワイヤソーを提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明の1つの態様によれば、走行するワイヤを複数個の溝付ローラに巻き掛けて形成されたワイヤ列に加工液を供給しながら被加工物を押圧することにより被加工物を多数のウェーハに切断するワイヤソーにおいて、前記被加工物をスライスベースを介して保持するワークプレートと、このワークプレートの上表面に加工液を供給する加工液供給部と、前記上表面に設けられた加工液供給口と、この加工液供給口に連通しかつワークプレートを貫通し加工液を前記加工物に供給する貫通流路と、この貫通流路から供給される加工液を被加工物にむらなく供給するための整流板を有することを特徴とするワイヤソーが提供される。これにより、切断されたウェーハの反りうねりおよび厚さバラツキを抑制し均一な厚さのウェーハを切断できるワイヤソーが実現される。
本発明に係わるワイヤソーによれば、切断されたウェーハの反りうねりおよび厚さバラツキを抑制し均一な厚さのウェーハを切断できるワイヤソーを提供することができる。
以下、本発明に係わるワイヤソーの一実施形態について添付図面を参照して説明する。
図1は本発明に係わるワイヤソーの一実施形態の正面状態を示す概念図であり、図2は本発明に係わるワイヤソーの被加工物上部の供給口近傍を拡大して示す断面図である。
図1及び図2に示すように、本発明に係わるワイヤソー1は、回転自在に設けられた3個の溝付ローラ2(2a、2b、2b)とこれらの溝付ローラ2間に張設されたワイヤ3aからなるワイヤ列3を有するローラ機構部4と、ワイヤ3aに押圧されて切断される被加工物(例えば単結晶インゴット)Wを保持するワーク保持機構部5と、ワークプレート6が取り付けられるワーク送り機構部(図示せず)を具備し、ワーク保持機構部5は上記ワーク送り機構部に移動可能に取り付けられており、ローラ機構部4及びワーク送り機構部は装置架台(図示せず)に取り付けられている。
3個の溝付ローラ2(2a、2b、2b)のうち、溝付ローラ2aはローラ駆動モータ(図示せず)により駆動されるドライブローラであり、他の溝付ローラ2b、2bはドリブンローラであり、ワイヤ列3のワイヤ3aをドライブローラである溝付ローラ2aの駆動により往復運動させるようになっている。
また、単結晶インゴットWの切断時、溝付きローラ2b、2b及び被加工物Wの上部に加工液を供給する加工液供給装置7が設けられている。この加工液供給装置7には、加工液供給管7pを介して溝付きローラ2b、2bに加工液を供給するローラ側加工液供給口7b、7bが設けられ、さらに、加工液供給流路8を介して被加工物Wの上部に加工液を供給するワーク側加工液供給口7aが設けられている。
加工液供給流路8は、加工液供給管8p、ワークプレート6の上表面6aに対向して開口しこの上表面6aに加工液を供給する加工液供給部としての分岐管体8a、上表面6a、ワークプレート6の上部例えば上表面6aに設けられたプレート側加工液供給口6b、ワークプレート6を貫通して設けられた複数の貫通流路6cにより形成され、この貫通流路6cの下方には、上記ワーク側加工液供給口7aが設けられている。
このワーク側加工液供給口7aには、被加工物Wの長手方向に沿って延び、断面形状がL字状の整流板9が設けられており、この整流板9の水平面部9aには、被加工物Wの長手方向に沿い、被加工物Wが取り付けられるスライスベース10間に形成される加工液流出用スリット9bが設けられている。
なお、このスリットは、本実施形態のように長辺側が開放され、スライスベースにより閉塞されたスリットでもよく、また、水平面部に設けられた完全長方形状のスリットでもよく、さらに、水平面部の長辺端部とスライスベース間にスリットが形成されるように単に整流板から離間して配置してもよく、さらに、本実施形態では3辺が平板状の整流板を用いた例で説明するが、水平面部の両短辺側に立上りが設けられた整流板を用い、両短辺側から加工液が流れるのを防止するようにした整流板にスリットを形成するようにしてもよい。
本実施形態のワイヤソー装置は、上記構造を有するので、図2及び図3に示すように、被加工物Wの切削工程時、加工液は、加工液供給装置7から加工液供給管7pを介してローラ側加工液供給口7b、7bから溝付きローラ2b、2bに供給され、さらに、加工液供給流路8を形成する加工液供給管8p、分岐管体8a、ワークプレート6の上表面6a、プレート側加工液供給口6b、貫通流路6cを介して、ワーク側加工液供給口7aから被加工物Wの上部に供給される。従って、ワークプレート6は加工液により温度制御され、さらに、ワーク側加工液供給口7aから被加工物Wの上部に供給される加工液は、整流板9に一旦貯えられた後、スリット9bからカーテン状に供給される。このため、加工液が被加工物Wにむらなく供給されて、被加工物Wは均一に温度制御され、ウェーハは反り及び厚さむらがなく、均一に切断される。
図1に示すような本発明に係わるワイヤソーを用い、長さ約500mmのシリコンインゴットを、切断時間約10時間、水溶性加工液(#800砥粒)、加工液供給量80〜100L/min、ワイヤ線径0.14mm、ワイヤ線速750m/minの加工条件で切断を行い、この切断工程時、ワークプレートに温度測定子を貼り付けワークプレートの温度及び、切断後の被加工物の厚さを測定した。なお、具体的には、上記温度制御においては、ワークプレート6の中央部、被加工物の厚さの測定については切断後の被加工物の中心厚さをそれぞれ測定した(実施例)。
また、上記ワークプレートに加工液を供給しない場合(比較例1)、上記ワークプレートに加工液を供給するが整流板を用いない場合(比較例2)について、実施例における試験と同様の加工条件にて切断を行い、ワークプレートの温度測定(比較例1)及び切断後の厚さバラツキ(比較例2)測定を行った。なお、測定場所は実施例と同様である。
図4に(a)実施例と、(b)比較例1とのワークプレート中央部の加工時間による温度変化を示す。
図5に(a)実施例と、(b)比較例2との切断後の被加工物の中心厚さのバラツキを示す。図5の横軸はインゴットをヘッドからテールまで順に切断して製造されたウェーハのヘッドから距離を示し、縦軸は当該ウェーハの中心厚さを示す。
結果:図4からもわかるように、実施例は経時的に温度上昇が起きないのに対して、比較例1では経時的に温度変化が生じることが確認された。
図5からもわかるように、実施例では切断後の厚さのバラツキは比較的少なくインゴットが全体的に厚さバラツキなく切断できたことが確認できる。これに対して、整流板が存在しない比較例2の場合は、インゴット中央部付近(ワイヤソー中央部付近)に大きい厚さバラツキが生じていることが確認された。これは、ワークプレートに供給した加工液がしっかりと整流されていない状態で流れてしまうため、被加工物を切断するワイヤに走行方向以外の不規則な力を与えてしまい、結果として比較例2に示すような厚さバラツキを生じてしまう。
以上より、本発明のワイヤソーは、ワークプレートの温度変化による加工中の形状変化を抑制することにより切断後のうねりを抑制することができ、また、整流板を設けることで、切断後の厚さバラツキを大幅に抑制できることが確認できた。
1 ワイヤソー
2 ローラ
2a ドライブローラ
2b ドリブンローラ
3 ワイヤ列
3a ワイヤ
4 ローラ機構部
5 ワーク保持機構部
6 ワークプレート
6a 上表面
6b プレート側加工液供給口
6c貫通流路
7 加工液供給装置
7a ワーク側加工液供給口
7b ローラ側加工液供給口
8 加工液供給流路
8a 分岐管体
8p 加工液供給管
9 整流板
9a 水平面部
9b 加工液流出用スリット
10 スライスベース
W 被加工物
2 ローラ
2a ドライブローラ
2b ドリブンローラ
3 ワイヤ列
3a ワイヤ
4 ローラ機構部
5 ワーク保持機構部
6 ワークプレート
6a 上表面
6b プレート側加工液供給口
6c貫通流路
7 加工液供給装置
7a ワーク側加工液供給口
7b ローラ側加工液供給口
8 加工液供給流路
8a 分岐管体
8p 加工液供給管
9 整流板
9a 水平面部
9b 加工液流出用スリット
10 スライスベース
W 被加工物
Claims (1)
- 走行するワイヤを複数個の溝付ローラに巻き掛けて形成されたワイヤ列に加工液を供給しながら被加工物を押圧することにより被加工物を多数のウェーハに切断するワイヤソーにおいて、前記被加工物をスライスベースを介して保持するワークプレートと、このワークプレートの上表面に加工液を供給する加工液供給部と、前記上表面に設けられた加工液供給口と、この加工液供給口に連通しかつワークプレートを貫通し加工液を前記加工物に供給する貫通流路と、この貫通流路から供給される加工液を被加工物にむらなく供給するための整流板を有することを特徴とするワイヤソー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004083250A JP2005276851A (ja) | 2004-03-22 | 2004-03-22 | ワイヤソー |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004083250A JP2005276851A (ja) | 2004-03-22 | 2004-03-22 | ワイヤソー |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005276851A true JP2005276851A (ja) | 2005-10-06 |
Family
ID=35176229
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004083250A Withdrawn JP2005276851A (ja) | 2004-03-22 | 2004-03-22 | ワイヤソー |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005276851A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007273711A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Toyo Advanced Technologies Co Ltd | ワイヤソー |
WO2009104222A1 (ja) * | 2008-02-19 | 2009-08-27 | 信越半導体株式会社 | ワイヤソーおよびワークの切断方法 |
US8434468B2 (en) | 2007-11-08 | 2013-05-07 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Wire saw apparatus |
JP2015131383A (ja) * | 2014-01-16 | 2015-07-23 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 切断用プレート |
CN112372862A (zh) * | 2020-11-12 | 2021-02-19 | 上海新昇半导体科技有限公司 | 晶棒工件板及晶棒切割方法 |
-
2004
- 2004-03-22 JP JP2004083250A patent/JP2005276851A/ja not_active Withdrawn
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP5234010B2 (ja) * | 2008-02-19 | 2013-07-10 | 信越半導体株式会社 | ワイヤソーおよびワークの切断方法 |
JP2015131383A (ja) * | 2014-01-16 | 2015-07-23 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 切断用プレート |
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Legal Events
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