JPH1029212A

JPH1029212A - ワイヤソーのスラリ飛散防止カバー

Info

Publication number: JPH1029212A
Application number: JP18573896A
Authority: JP
Inventors: Shinji Shibaoka; 伸治芝岡
Original assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Current assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Priority date: 1996-07-16
Filing date: 1996-07-16
Publication date: 1998-02-03

Abstract

(57)【要約】【課題】メンテナンス作業を容易に行うことができると
ともに、試運転時のスラリ飛散を防止することができる
ワイヤソーの溝付ローラ用カバーを提供する。【解決手段】溝付ローラ１８Ａ〜１８Ｃの両端部外周に
一対のガイドレール４４、４４を配設する。この一対の
ガイドレール４４、４４に伸縮自在なカバー５４を摺動
自在に設ける。メンテナンス作業等を行う際は、このカ
バー５４で溝付ローラ１８Ａ〜１８Ｃの前方を開放して
行う。これにより、作業の邪魔にならず容易にワイヤ列
２０の張設等の作業を行うことができる。、また、試運
転等を行う際は、このカバー５４で溝付ローラ１８Ａ〜
１８Ｃの前方を覆う。これにより、周囲にスラリが飛散
するのを防止することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はワイヤソーのスラリ
飛散防止カバーに係り、特にシリコン、ガラス、セラミ
ックス等の脆性材料を切断するワイヤソーのスラリ飛散
防止カバーに関する。

【０００２】

【従来の技術】ワイヤソーは、高速走行するワイヤ列に
スラリ（砥粒を含有した加工液）を供給しながら被加工
物を押し当てることにより、その砥粒のラッピング作用
により被加工物を多数のウェーハに切断する装置であ
る。そして、前記ワイヤ列は、一対のワイヤリール間を
走行するワイヤを、周面に多数の溝が一定ピッチで形成
された複数の溝付ローラに順次巻きかけてゆくことによ
り形成される。

【０００３】ところで、前記ワイヤソーでは、切断を重
ねるうちに、ワイヤが磨耗してくるため、定期的にワイ
ヤを張り替える必要がある。また、ワイヤ列を形成する
溝付ローラやワイヤをガイドするガイドローラ等も磨耗
が生じるため、これらの部材も定期的に交換し、メンテ
ナンスを行う必要がある。このメンテナンスの際、新た
に張設したワイヤが正しく張設されているか、また、他
の機器は正常に作動するか、切断状況は良好か等を確認
するためワイヤソーの試運転を行う。この試運転は、被
加工物の切断状況等の確認を行う必要があるため、切断
部のカバー（ワイヤソーの切断部は、周囲にスラリが飛
散するのを防止するために全体をカバーで覆われてい
る）を外して行う必要がある。このため、周囲にスラリ
が飛散するという問題がある。

【０００４】この問題を解決するために、従来のワイヤ
ソーでは、溝付ローラの周囲を着脱自在なカバーで覆
い、周囲にスラリが飛散するのを防止している。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、着脱式
のカバーでは、切断部の構造上、溝付ローラの周囲を囲
う構造とすることが難しく、スラリの飛散を十分に防ぐ
ことができないという欠点があった。また、取り外した
カバーの保守管理等も面倒であるという欠点も有してい
た。

【０００６】本発明は、このような事情を鑑みてなされ
たもので、メンテナンス作業を容易に行うことができる
とともに、試運転時のスラリ飛散を防止することができ
るワイヤソーのスラリ飛散防止カバーを提供することを
目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、一対のワイヤリール間を走行するワイヤ
を外カバーで覆った加工室内に設置された複数個の溝付
ローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、該ワイヤ列にス
ラリを供給しながら被加工物を押しつけることにより、
該被加工物を多数のウェーハに切断するワイヤソーにお
いて、前記加工室内に設置された複数個の溝付ローラの
周囲に沿ってガイドレールを配設するとともに、該ガイ
ドレールに屈曲自在なスラリ飛散防止カバーをスライド
移動自在に設けたことを特徴とする。

【０００８】本発明によれば、加工室内に設置された溝
付ローラは、その周囲をスライド自在なカバーで覆われ
る。この結果、試運転等の加工室を開放した状態でワイ
ヤソーを運転する場合は、溝付ローラの周囲をカバーで
覆うことができ、これにより、周囲にスラリが飛散する
のを防止することができる。また、ワイヤ列の張設等の
メンテナンス作業を行う場合は、このカバーを移動させ
て溝付ローラの前面を開放して作業を行うことができる
ので、作業の邪魔にならず容易に作業を行うことができ
る。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るワイヤソーの被加工物切断方法の好ましい実施の形態
について詳説する。図１は、本発明に係るスラリ飛散防
止カバーが適用されたワイヤソー１０の実施の形態の透
視図である。

【００１０】同図に示すように、ワイヤリール１２に巻
かれたワイヤ１４は、多数のガイドローラ１６、１６、
…で形成されるワイヤ走行路を経て３本の溝付きローラ
１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃに巻き掛けられる。この各溝付
ローラ１８Ａ〜１８Ｃの周面には、多数の溝が一定ピッ
チで形成されており、この溝にワイヤ１４を順次巻きか
けてゆくことにより、その上面に水平なワイヤ列２０が
形成される。本発明に係るスラリ飛散防止カバー４０
は、この３本の溝付ローラ１８Ａ〜１８Ｃの周囲を囲う
ように形成される。なお、その構成に付いては後に詳述
する。

【００１１】前記ワイヤ走行路は、前記ワイヤ列２０を
挟んで左右対称に形成されており、前記ワイヤ列２０を
形成したワイヤ１４は、この他方側のワイヤ走行路を経
て図示しない他方側のワイヤリールに巻き取られる。前
記ワイヤ列２０の両側に形成されるワイヤ走行路には、
それぞれワイヤ案内装置２２、ダンサローラ２４及びワ
イヤ洗浄装置２６が配設されている（一方側のみ図
示）。ワイヤ案内装置２２は、ワイヤリール１２からワ
イヤ１４を一定ピッチでガイドし、ダンサローラ２４は
走行するワイヤ１４に一定の張力を付与する。また、ワ
イヤ洗浄装置２６はワイヤ１４に付着したスラリを除去
する。

【００１２】前記一対のワイヤリール１２及び溝付ロー
ラ１８Ｃには、それぞれ正逆回転可能なモータ（図示せ
ず）が連結されており、前記ワイヤ１４は、これらのモ
ータを同期駆動することにより、前記ワイヤリール１２
間を高速で往復走行する。前記ワイヤ列２０の上方に
は、ワイヤ列２０に対して垂直に昇降移動するワークフ
ィードテーブル２８が設置されている。このワークフィ
ードテーブル２８にはチルチング装置３０が備えられて
おり、被加工物であるインゴット３２は、このチルチン
グ装置３０の下部に保持されて任意の傾斜角度に設定さ
れる。

【００１３】以上のように構成されたワイヤソー１０に
おいて、インゴット３２の切断は、インゴット３２を保
持したワークフィードテーブル２８を下降させて、高速
走行するワイヤ列２０にインゴット３２を押し当てるこ
とにより行う。この際、前記ワイヤ列２０には、スラリ
タンク３４から図示しないノズルを介してスラリが供給
され、インゴット３２は、このスラリ中に含有される砥
粒のラッピング作用でウェーハに切断される。

【００１４】インゴット３２の加工に供したスラリは、
前記ワイヤ列２０の下方に設置されたオイルパン３８を
介してスラリタンク３４に回収され、不足分を補給され
ながら循環利用される。この際、スラリは加工時に発生
する熱を吸熱して温度上昇するので、回収したスラリは
熱交換機３６で一定温度に冷却される。なお、同図に二
点破線で示すように、切断は開閉自在な外カバー３９で
覆われた加工室内で行われ、周囲にスラリが飛散するの
を防止している。

【００１５】図２は、本発明に係るスラリ飛散防止カバ
ーの実施の形態の側面図である。同図に示すように、前
記３本の溝付ローラ１８Ａ〜１８Ｃは、ワイヤソーの本
体フレーム１０Ｆに固定された一対の支持プレート４
０、４０に軸受４２Ａ、４２Ａ、４２Ｂ、４２Ｂ、４２
Ｃ、４２Ｃを介して回動自在に支持されている。この３
本の溝付ローラ１８Ａ〜１８Ｃは、逆三角形を成すよう
に配設されており、前記インゴット３２は、この３本の
溝付ローラ１８Ａ〜１８Ｃで形成される水平なワイヤ列
２０に押し付けられることによりウェーハに切断され
る。なお、以下、この逆三角形を成すように配設された
３本の溝付ローラ１８Ａ〜１８Ｃを切断ユニット１８と
いう。

【００１６】前記切断ユニット１８の両端部外周には、
一対のガイドレール４４、４４が切断ユニット１８に沿
って配設されている。この一対のガイドレール４４、４
４は、ブラケット４６、４６、…を介して前記支持プレ
ート４０、４０に固定されている。図４に示すように、
前記ガイドレール４４は、断面Ｃ字状に形成されてお
り、その内部に円盤状に形成された多数の摺動子４８、
４８、…が摺動自在に嵌入されている。この一対のガイ
ドレール４４、４４に嵌入された各々の摺動子４８、４
８、…は、互いに連結棒５０、５０で連結されており、
これにより、連結棒５０、５０、…が、ガイドレール４
４、４４に沿って移動する。

【００１７】また、各連結棒５０、５０、…は、所定長
さのビニールシート５２、５２、…で互いに連結されて
おり、該ビニールシート５２、５２、…が一体となっ
て、カバー５４が形成される。前記のごとく構成された
カバー５４は、各連結棒５０、５０、…がガイドレール
４４、４４に沿って移動することにより、前記ガイドレ
ール４４、４４に沿ってスライドし、また、各連結棒５
０、５０、…の間隔を変えることによりその長さが可変
する。

【００１８】図２は、メンテナンス時のカバー５４の固
定位置を示している。同図に示すように、メンテナンス
時は、作業者がワイヤ張設作業等を容易に行うことがで
きるように、カバー５４は、切断ユニット１８の後側
（図中右側）に後退し、切断ユニット１８の前面（図中
左側）が開口する。一方、図３は、試運転時のカバー５
４の固定位置を示している。同図に示すように、試運転
時は、前方にスラリが飛散するのを防止するために、切
断ユニット１８の前面にカバー５４が位置している。

【００１９】各位置でのカバー５４の固定は、各ガイド
レール４４、４４の図中Ｐ₁、Ｐ₂、Ｐ₃の位置に設け
られたストッパ５６、５６、…で行う。前記ストッパ５
６は、図４に示すように、ガイドレール４４のガイド溝
４４Ａ内に突出させたストッパーピン５８で前記摺動子
４８を係止することにより、カバー５４の移動を規制す
る。

【００２０】前記ストッパーピン５８は、前記ガイドレ
ール４４の側部に固着された筒状のガイドブロック６０
に摺動自在に支持されている。このガイドブロック６０
内には、圧縮バネ６２が内蔵されており、ストッパーピ
ン５８は、この圧縮バネ６２に付勢されて前記ガイド溝
４４Ａ内に突出する。したがって、通常、ストッパーピ
ン５８は、ガイド溝４４Ａ内に突出した状態にあり、カ
バー５４を移動させる場合にのみ、その基端部に設けら
れたツマミ５８Ａを引っ張り、ガイド溝４４Ａ内から退
避させる。

【００２１】他方側のガイドレール４４に設けられたス
トッパ５６及び他の位置（Ｐ₂、Ｐ ₃）に設けられたス
トッパ５６、５６も同一構成で構成され、この結果、カ
バー５４は、次のように固定される。すなわち、図２に
示すように、メンテナンス時は、カバー５４の一方端を
図中Ｐ₁の位置するストッパ５６で固定し、他方端を図
中Ｐ₂の位置するストッパ５６で固定する。

【００２２】また、図３に示すように、試運転時は、カ
バー５４の一方端を図中Ｐ₂の位置するストッパ５６で
固定し、他方端を図中Ｐ₃の位置するストッパ５６で固
定する。前記のごとく構成された本発明に係るワイヤソ
ーのスラリ飛散防止カバーの実施の形態の作用は次の通
りである。

【００２３】図２に示すように、通常運転時はカバー５
４を切断ユニット１８の前方（図中Ｐ₁−Ｐ₂間）に位
置させた状態でインゴット３２の切断を行う。なお、前
述したように、インゴット３２の切断は密閉された加工
室３９内で行われるため、周囲にスラリが飛散すること
はない（図１参照）。一方、図２に示すように、ワイヤ
１４の張り替え等のメンテナンスを行う場合は、カバー
５４を切断ユニット１８の後方（図中Ｐ₂−Ｐ₃間）に
位置させる。これにより、切断ユニット１８の前方が開
放されるので、作業者は、容易に張設作業等を行うこと
ができる。

【００２４】また、切断ユニット１８の下部から後方に
かけてカバー５４で囲うことにより、次のような効果を
得ることができる。すなわち、通常、ワイヤ１４の張設
は、一方のワイヤリール１２からあらかじめ必要量だけ
ワイヤ１４を小型のワイヤリールに巻き取っておき、そ
の巻き取ったワイヤ１４を順次ガイドローラ１６に巻き
かけてゆくことにより行われるが、ワイヤ列２０を形成
する際に、そのワイヤ１４を巻き取ったワイヤリール
が、誤って作業者の手から落ちてしまった場合に、従来
は作業者の手の届かない狭所に転げ落ちてしまうことが
あった。しかしながら、本実施の形態のように、切断ユ
ニット１８の下部から後方にかけてカバー５４で囲うこ
とにより、ワイヤリールが作業者の手から落ちても、そ
の落ちたワイヤリールがカバー５４で受け止められるた
め、前記従来のような問題が生じることはない。

【００２５】また、ワイヤ１４の張り替えや、メンテナ
ンスの終了後、ワイヤ１４の張設具合等を確認するため
に、試運転を行うが、この試運転を行う場合は、図３に
示すように、カバー５４を切断ユニット１８の前方（図
中Ｐ₁−Ｐ₂間）に位置させる。試運転中は、切断状況
やワイヤ１４の張設具合等の細部を確認する必要がある
ため、加工室３９は開放した状態にあるが、このよう
に、カバー５４で切断ユニット１８の前方を囲うことに
より、スラリの飛散を防止することができ、作業者も汚
れることなく確認作業を行うことができる。

【００２６】このように、本実施の形態のスラリ飛散防
止カバーによれば、切断ユニット１８の周囲を開閉自在
なカバー５４で囲うことにより、試運転時はスラリの飛
散を確実に防止することができ、また、メンテナンス時
は、作業を容易に行うことができる。また、ワイヤソー
１０に備え付けの構造であるため、従来のように、取り
外したカバーの保管等を行う必要もない。なお、本実施
の形態では、カバー５４を伸縮できるように構成した
が、カバー５４はガイドレール４４に沿って移動できる
ように屈曲自在な構成であればよい。この場合、カバー
５４を切断ユニット１８の後方に位置させた場合、切断
ユニット１８の下部を覆えなくなるが、切断ユニット１
８の後方に、その不足分を補う固定カバーを設けること
により、この問題は解消することができる。また、切断
ユニット１８の後方は、固定カバーで覆い、切断ユニッ
ト１８の下部と前方のみを移動自在なカバーで覆うよう
に構成してもよい。

【００２７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ワイヤ列を形成する溝付ローラの周囲をスライド自在な
カバーで囲うことにより、試運転時はスラリの飛散を確
実に防止することができ、また、メンテナンス時は容易
に作業を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】ワイヤソーの全体構成図

【図２】本発明に係るスラリ飛散防止カバーの実施の形
態の側面図（前方開放時）

【図３】本発明に係るスラリ飛散防止カバーの実施の形
態の側面図（前方閉鎖時）

【図４】スラリ飛散防止カバーの要部拡大図

【符号の説明】

１０…ワイヤソー１２…ワイヤリール１４…ワイヤ１６…ガイドローラ１８Ａ〜１８Ｃ…溝付ローラ２０…ワイヤ列３２…インゴット４４…ガイドレール５４…カバー

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】一対のワイヤリール間を走行するワイヤ
を外カバーで覆った加工室内に設置された複数個の溝付
ローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、該ワイヤ列にス
ラリを供給しながら被加工物を押しつけることにより、
該被加工物を多数のウェーハに切断するワイヤソーにお
いて、前記加工室内に設置された複数個の溝付ローラの周囲に
沿ってガイドレールを配設するとともに、該ガイドレー
ルに屈曲自在なスラリ飛散防止カバーをスライド移動自
在に設けたことを特徴とするワイヤソーのスラリ飛散防
止カバー。