JP4980761B2 - 搬送装置及び搬送方法 - Google Patents
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Description
そこで、ウエハを面で吸着保持が可能なポーラス体が頻繁に使用されるようになった。このようなポーラス体は、極小径の金属球を焼結し、研磨によって精度の高い保持面を有するため、ウエハに対して局所的に力が加わることは少ない。しかしながら、金属製であるが故にこのポーラス体が傾いてウエハに接触した場合や、接触時の衝撃によって当該ウエハを損傷させてしまう、という不都合を生じる。
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、ウエハ等の板状部材を搬送するに際し、当該板状部材の載置面や板状部材の被保持面に傾きがあっても、当該傾きに追従した変位を可能として保持部材と板状部材の被保持面とを自動的に平行とし、当該保持部材が傾いてウエハに接触することを防止して板状部材を搬送することのできる搬送装置及び搬送方法を提供することにある。
前記保持手段は前記板状部材を保持する保持面を有するとともに、当該保持面と前記板状部材の被保持面との相対位置を平行に調整する平行調整手段を含み、
前記平行調整手段は、前記保持面と板状部材の被保持面とが接触する前に前記載置面に当接して前記保持面と板状部材の被保持面とを平行に保つ当接部材を備えて構成される、という構成を採っている。
前記保持手段及び/又は載置手段は、前記保持面と前記板状部材の被保持面との相対位置を平行に調整する平行調整手段を含み、
前記平行調整手段は、前記保持面と板状部材の被保持面とが接触する前に前記載置面及び/又は保持面の周囲に当接して前記保持面と板状部材の被保持面とを平行に保つ当接部材を備える、という構成を採ってもよい。
前記保持面と被保持面とが接触する前に前記載置面及び/又は保持面の周囲に前記当接部材を当接させて前記保持面と被保持面とを平行に保ち、その状態で前記保持面と被保持面とを接触させ、
次いで、前記保持面で前記板状部材の被保持面を保持して搬送する、という手法を採っている。
また、搬送先となる載置面が傾いている場合においても、当接部材が載置面に先に接触し、板状部材の被載置面と載置面とが平行な状態となって移載されるため、板状部材の割れ等を防止することとなる。
更に、当接部材が軸状に設けられて進退可能に設けられた構成により、当接部材が載置面に突き当たった際の衝撃もなく、平行調整を円滑に行うことが可能となる。
また、保持手段と駆動手段とが緩衝手段を介して連結されていることで、保持面と板状部材の被保持面とが接触した際や、載置面と板状部材の被載置面とが接触した際の衝撃も吸収されるので、板状部材を割ってしまうような不都合は生じない。
そして、図5に示されるように、保持面15Aに被保持面Waが接触し、当該ウエハWは、図示しない減圧装置の吸引により吸着プレート15に保持されることとなる。この吸着プレート15とウエハWとの接触の際の衝撃は、緩衝手段14のコイルばね45が延びて保持手段11が上昇することによって緩衝され、ウエハWの損傷を防止するようになっている。
また、緩衝手段14は、保持面15Aと被保持面Wa、又は、載置面と被載置面Wbとが接触したときの衝撃を緩和するため、ウエハWの損傷を回避することができる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
11 保持手段
12 駆動手段
13 連結手段
14 緩衝手段
15 吸着プレート
15A 保持面
18 平行調整手段
20 当接部材
36 ユニバーサルジョイント
T テーブル(載置手段)
TS 載置面
W 半導体ウエハ(板状部材)
Claims (5)
- 載置面に載置された板状部材を保持する保持手段と、この保持手段を揺動可能に連結するとともに、当該保持手段を移動して前記板状部材を搬送する駆動手段とを備えた搬送装置において、
前記保持手段は前記板状部材を保持する保持面を有するとともに、当該保持面と前記板状部材の被保持面との相対位置を平行に調整する平行調整手段を含み、
前記平行調整手段は、前記保持面と板状部材の被保持面とが接触する前に前記載置面に当接して前記保持面と板状部材の被保持面とを平行に保つ当接部材を備えて構成されていることを特徴とする搬送装置。 - 板状部材の載置面を備えた載置手段と、前記板状部材を保持する保持面を備えた保持手段と、当該保持手段を移動して前記板状部材を搬送する駆動手段とを含む搬送装置において、
前記保持手段及び/又は載置手段は、前記保持面と前記板状部材の被保持面との相対位置を平行に調整する平行調整手段を含み、
前記平行調整手段は、前記保持面と板状部材の被保持面とが接触する前に前記載置面及び/又は保持面の周囲に当接して前記保持面と板状部材の被保持面とを平行に保つ当接部材を備えて構成されていることを特徴とする搬送装置。 - 前記保持手段は、緩衝手段を介して前記駆動手段に支持されていることを特徴とする請求項1又は2記載の搬送装置。
- 板状部材の載置面を備えた載置手段と、前記板状部材を保持する保持面を備えた保持手段と、前記載置手段及び/又は保持手段に設けられて前記保持面と板状部材の被保持面との相対位置を平行に調整する当接部材を備えた平行調整手段を含む搬送装置を用いて前記板状部材を搬送する搬送方法において、
前記保持面と被保持面とが接触する前に前記載置面及び/又は保持面の周囲に前記当接部材を当接させて前記保持面と被保持面とを平行に保ち、その状態で前記保持面と被保持面とを接触させ、
次いで、前記保持面で前記板状部材の被保持面を保持して搬送することを特徴とする搬送方法。 - 前記板状部材の被保持面に保持面を接触させる際の衝撃を緩衝することを特徴とする請求項4記載の搬送方法。
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