JP2017228801A - ウェーハ受け渡し装置 - Google Patents
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Abstract
Description
11 ロボットアーム
11a 一端側
11b 他端側
12 ウェーハ受け取り機構(保持手段)
13 ウェーハ受け渡し機構
13a 本体部
13b 位置決め手段
13c ウェーハクランプ保持手段
14 平衡子機構
15 基板
16 支柱体
17 受取駒
17a 基準面
17b 小径部
17c 大径部
17d テーパー部(保持部)
19a 爪用の第1アーム部
19b 爪用の第2アーム部
20a 高さ調整用の第1アーム部
20b 高さ調整用の第2アーム部
21 クランプ爪部
22 高さ調整ピン
23a 下側爪
23b 上側爪
23c 垂直面部
SW ウェーハ配置領域
H 水平線
Claims (1)
- 処理装置間で概略板状のウェーハを受け渡しするウェーハ受け渡し装置であって、
基準面と前記ウェーハの外周縁部を受けて前記ウェーハを保持可能な保持部とを備えた保持手段と、
前記ウェーハの外周縁部を複数のクランプ爪部で把持可能な搬送手段と、
前記基準面に当接されると前記クランプ爪部を前記基準面に対して所定高さに位置決めする位置決め手段と、 を備えることを特徴とするウェーハ受け渡し装置。
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