JP5144434B2 - 支持装置 - Google Patents
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Description
そこで、搬送時のウエハ損傷を防止するために、ウエハの外周側に、相対的に厚肉となる閉ループ状の凸部を形成し、当該凸部を利用してウエハを搬送することのできる保持装置が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、特許文献1の保持装置にあっては、保持部材をウエハ中心側に移動させることで保持力を得る構成となっているため、その保持力の程度に起因してウエハを割ってしまう、という不都合を招来する。
この場合、吸着パッド若しくはこれに類似した構成を採用することにより、凸部上面を吸着保持することが考えられるが、凸部の先端面幅は、非常に狭いため、十分な吸着力を付与することができず、結果としてウエハを落下させてしまう要因となる。
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、凸部を利用して支持する構成としても、ウエハの割れや、落下を回避して当該ウエハを安定して支持することのできる支持装置を提供することにある。
前記凸部の先端に接触する接触面を有するとともに、当該接触面のみに開口する吸引口が設けられた自粘性の接触体と、前記吸引口のみを通じて板状部材に吸引力を付与する吸引手段とを備え、
前記接触体は、当該接触体を受容可能な凹部を備えた保持体に保持され、弾性部材によって構成されるとともに、前記接触面側が前記凹部の幅よりも狭くなる形状に設けられて当該狭くなる形状部分と凹部との間に隙間を形成し、前記接触面を前記凸部に接触させて前記吸引口を通じて前記板状部材に吸引力を付与したときに、前記隙間内で圧縮変形が許容される、という構成を採っている。
また、接触体が保持体の凹部に受容される構成では、接触体の接触面形状を所定形状に維持することができる。
更に、前記接触体の接触面が凸部の先端面と同一形状であれば、支持面を最大に確保することができる。
また、接触体を弾性部材で構成し、接触面側が凹部の幅よりも狭くなる形状であれば、当該接触体を凸部に接触させる際の衝撃を緩和できる他、板状部材を吸引したときに、当該接触体の圧縮変形を許容し、保持体の凹部内に板状部材の凸部を引き込むように作用して板状部材の受け渡しの補助ができる。
更に、切離手段を含む構成では、接触体が自粘性を有していても、当該接触体と板状部材との分離を確実に行うことができる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施の形態に関して特に図示し、且つ、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上に述べた実施の形態に対し、形状、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
25 保持体
26 接触体
26A 接触面
30 吸引手段
31 切離手段
33 凹部
40 吸引口
W 半導体ウエハ(板状部材)
W1 凸部
Claims (2)
- 平面内に凸部が設けられた板状部材の支持装置であって、
前記凸部の先端に接触する接触面を有するとともに、当該接触面のみに開口する吸引口が設けられた自粘性の接触体と、前記吸引口に連通する吸引手段とを備え、
前記接触体は、当該接触体を受容可能な凹部を備えた保持体に保持され、弾性部材によって構成されるとともに、前記接触面側が前記凹部の幅よりも狭くなる形状に設けられて当該狭くなる形状部分と凹部との間に隙間を形成し、前記接触面を前記凸部に接触させて前記吸引口を通じて前記板状部材に吸引力を付与したときに、前記隙間内で圧縮変形が許容されることを特徴とする支持装置。 - 前記接触体に支持された板状部材を当該接触体から切り離す切離手段を更に含むことを特徴とする請求項1記載の支持装置。
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