JP4890388B2 - 着色感光性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法 - Google Patents
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Description
<1> 全固形分に対する含有量が50質量%以上80質量%以下である着色剤と、全固形分に対する含有量が5質量%以上20質量%以下であるオキシム系開始剤と、不飽和二重結合を含み、下記一般式(1)〜(3)のいずれかで表される第1の構成単位の群より選ばれる少なくとも1つ、及び酸基を含む下記一般式(4)で表される第2の構成単位の群より選ばれる少なくとも1つを有し、前記第1の構成単位の前記第2の構成単位に対する比率が1.5倍以上(モル比)である樹脂と、を含有する着色感光性組成物である。
<3> 前記着色剤の全てが有機溶剤可溶性染料であることを特徴とする前記<1>又は前記<2>に記載の着色感光性組成物である。
<4> 重合性化合物を更に含有し、ネガ型に構成されていることを特徴とする前記<1>〜<3>のいずれか1つに記載の着色感光性組成物である。
<6> 前記樹脂中における前記第1の構成単位の前記第2の構成単位に対する比率が2.0倍以上(モル比)であることを特徴とする前記<1>〜<5>のいずれか1つに記載の着色感光性組成物である。
<8> 前記<1>〜<6>のいずれか1つに記載の着色感光性組成物を用いて形成されたカラーフィルタである。
本発明の着色感光性組成物は、少なくとも、(A)着色剤の少なくとも1種と、(B)樹脂の少なくとも1種と、(C)オキシム系開始剤の少なくとも1種とを含むと共に、着色剤の全固形分に対する含有量を50質量%以上80質量%以下とし、オキシム系開始剤の全固形分に対する含有量を5質量%以上20質量%以下として構成したものである。また、好ましくは重合性化合物を含んでなり、必要に応じて更に他の成分を用いて構成することができる。
以下、本発明の着色感光性組成物(以下、「本発明の組成物」という場合がある。)を構成する各成分について詳述する。
本発明においては、着色剤として、従来カラーフィルタ用として公知の顔料及び染料を特に制限はなく使用できる。
着色感光性組成物中の着色剤量が前記範囲のように多いときには、特にパターンの基板密着性は低下し現像残渣が悪化しやすいため、着色剤含有量が50〜80質量%である場合に後述の(B)樹脂と(C)オキシム系開始剤とを用いることで、断面矩形のパターン(特に、層状に形成されたパターンを該層表面に垂直な平面で切断した際の切断面のプロファイルが矩形であるパターン)を得ることができる。また、組成物中に占める割合を高めてより吸光度の高い組成に調製し、例えばカラーフィルタを作製するときにはその色濃度や色純度を向上させることができる。
本発明の着色感光性組成物に含有しうる顔料としては、従来公知の種々の無機顔料又は有機顔料を挙げることができるが、高い透過率が得られる顔料であることが好ましい。透過率の高い顔料とは、赤色(Red)カラーフィルタに用いられる顔料であれば600〜700nmの吸光度が小さい顔料、緑色(Green)カラーフィルタに用いられる顔料であれば525〜575nmの吸光度が小さい顔料、青色(Blue)カラーフィルタに用いられる顔料であれば425〜475nmの吸光度が小さい顔料をいう。
C.I.ピグメントイエロー11,24,31,53,83,93,99,108,109,110,138,139,147,150,151,154,155,167,180,185,199,;
C.I.ピグメントオレンジ36,38,43,71;
C.I.ピグメントレッド81,105,122,149,150,155,171,175,176,177,209,220,224,242,254,255,264,270;
C.I.ピグメントバイオレット19,23,32,39;
C.I.ピグメントブルー1,2,15,15:1,15:3,15:6,16,22,60,66;
C.I.ピグメントグリーン7,36,37;
C.I.ピグメントブラウン25,28;
C.I.ピグメントブラック1,7;
カーボンブラック等を挙げることができる。
C.I.ピグメントオレンジ36,71,
C.I.ピグメントレッド122,150,171,175,177,209,224,242,254,255,264,
C.I.ピグメントバイオレット19,23,32,
C.I.ピグメントブルー15:1,15:3,15:6,16,22,60,66,
C.I.ピグメントブラック1
顔料及び顔料の組合せの具体例を以下に示す。
前記アントラキノン系顔料としては、例えば、C.I.ピグメントレッド177が挙げられ、前記ペリレン系顔料としては、例えば、C.I.ピグメントレッド155、C.I.ピグメントレッド224が挙げられ、ジケトピロロピロール系顔料としては、例えば、C.I.ピグメントレッド254が挙げられる。
本発明においては、色再現性の点でアントラキノン系顔料、ペリレン系顔料、又はジケトピロロピロール系顔料とC.I.ピグメントイエロー139との組合せが好ましい。
前記組合せにおける緑色顔料と黄色顔料との質量比は、100/150〜100/5が好ましく、100/120〜100/30の範囲が特に好ましい。
前記組合せにおける青色顔料と紫色顔料との質量比は、100/30〜100/1が好ましく、より好ましくは100/10〜100/1である。
顔料の一次粒子径は、電子顕微鏡等の公知の方法で測定することができる。
本発明における着色剤は、より高精細なパターンを形成することができる点で、染料であることが好ましい。特に、微細なパターンが矩形に形成できる観点から、着色剤が有機溶剤に可溶な染料であることが好ましく、着色剤のすべてが有機溶剤に可溶な染料であることがより好ましい。
染料としては従来公知の染料、例えば、特開昭64−90403号公報、特開昭64−91102号公報、特開平1−94301号公報、特開平6−11614号公報、特登2592207号、米国特許第4,808,501号明細書、米国特許第5,667,920号明細書、米国特許第5,059,500号明細書、特開平6−35183号公報、等に開示されている色素が使用できる。化学構造としては、トリフェニルメタン系、アントラキノン系、ベンジリデン系、オキソノール系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサンテン系、フタロシアニン系、ベンゾピラン系、インジゴ系、等の染料が使用できる。特に好ましくは、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、アンスラピリドン系の染料である。
その他、直接染料、塩基性染料、媒染染料、酸性染料、アゾイック染料、分散染料、油溶染料、食品染料、及び/又は、これらの誘導体等も
有用に使用することができる。
上記のうち、酸性染料について説明する。本発明における酸性染料は、スルホ基やカルボキシ基やフェノール性水酸基等の酸性基を分子内に有する色素であれば特に限定されないが、有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩基性化合物との塩形成性、吸光度、本発明の組成物における他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等の必要とされる性能の全てを考慮して選択される。
acid alizarin violet N;
acid black 1,2,24,48;
acid blue 1,7,9,15,18,23,25,27,29,40,42,45,51,62,70,74,80,83,86,87,90,92,96,103,112,113,120,129,138,147,150,158,171,182,192,210,242,243,256,259,267,278,280,285,290,296,315,324:1,335,340;
acid chrome violet K;
acid Fuchsin;
acid green 1,3,5,9,16,25,27,50,58,63,65,80,104,105,106,109;
acid orange 6,7,8,10,12,26,50,51,52,56,62,63,64,74,75,94,95107,108,169,173;
acid violet 6B,7,9,17,19;
acid yellow 1,3,7,9,11,17,23,25,29,34,36,38,40,42,54,65,72,73,76,79,98,99,111,112,113,114,116,119,123,128,134,135,138,139,140,144,150,155,157,160,161,163,168,169,172,177,178,179,184,190,193,196,197,199,202,203,204,205,207,212,214,220,221,228,230,232,235,238,240,242,243,251;
Direct Orange 34,39,41,46,50,52,56,57,61,64,65,68,70,96,97,106,107;
Direct Red 79,82,83,84,91,92,96,97,98,99,105,106,107,172,173,176,177,179,181,182,184,204,207,211,213,218,220,221,222,232,233,234,241,243,246,250;
Direct Violet 47,52,54,59,60,65,66,79,80,81,82,84,89,90,93,95,96,103,104;
Direct Green 25,27,31,32,34,37,63,65,66,67,68,69,72,77,79,82;
Mordant Yellow 5,8,10,16,20,26,30,31,33,42,43,45,56,50,61,62,65;
Mordant Orange 3,4,5,8,12,13,14,20,21,23,24,28,29,32,34,35,36,37,42,43,47,48;
Mordant Violet 2,4,5,7,14,22,24,30,31,32,37,40,41,44,45,47,48,53,58;
Mordant Blue 2,3,7,8,9,12,13,15,16,19,20,21,22,23,24,26,30,31,32,39,40,41,43,44,48,49,53,61,74,77,83,84;
Mordant Green 1,3,4,5,10,15,19,26,29,33,34,35,41,43,53;
Food Yellow 3;
及びこれらの染料の誘導体が挙げられる。
acid black 24;
acid blue 23,25,29,62,80,86,87,92,138,158,182,243,324:1;
acid orange 8,51,56,74,63;
acid red 1,4,8,34,37,42,52,57,80,97,114,143,145,151,183,217,249;
acid violet 7;
acid yellow 17,25,29,34,42,72,76,99,111,112,114,116,134,155,169,172,184,220,228,230,232,243;
acid green 25;
などの染料及びこれらの染料の誘導体が好ましい。
酸性染料と含窒素化合物とが塩又はアミド化合物を形成することによって、酸性染料の溶解性改良(有機溶剤への溶解性付与)や、耐熱性及び耐光性を改良することができる。
また、酸性染料と塩を形成する含窒素化合物、及び酸性染料とアミド結合を形成する含窒素化合物については、塩又はアミド化合物の有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩形成性、染料の吸光度・色価、本発明の組成物中における他の成分との相互作用、着色剤としての耐熱性及び耐光性等の全てを勘案して選択される。吸光度・色価の観点から選択する場合には、前記含窒素化合物としてはできるだけ分子量の小さいものが好ましく、中でも分子量300以下のものが好ましく、分子量280以下のものがより好ましく、分子量250以下のものが特に好ましい。
本発明の着色感光性組成物は、着色剤として、染料の中でも特に、有機溶剤に可溶なフタロシアニン染料の少なくとも1種を含有することが耐光性、耐熱性の観点で好ましい。本発明においては有機溶剤に可溶なフタロシアニン染料であれば、特に制限なく好適に使用することができる。
例えば、有機溶剤に可溶なフタロシアニン染料としては、特開平5−333207号公報、特開平6−51115号公報、特開平6−194828号公報に記載の染料等が挙げられる。特に好ましい有機溶剤可溶性フタロシアニン染料としては、下記一般式(I)で表される色素化合物が挙げられる。
一般式(I)で表される色素化合物について説明する。下記一般式(I)で表される色素化合物は、モル吸光係数ε及び色価の良好な有機溶剤可溶性フタロシアニン染料であり、高い耐光性と高い耐熱性とを同時に満足する化合物である。
前記Rc1で表されるアリールチオ基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数6〜22のアリールチオ基が好ましく、総炭素数6〜14のアリールチオ基が好ましい。例えば、フェニルチオ基、2−t−ブチルフェニルチオ基等が挙げられる。
前記Rc1で表されるアリールスルホニル基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数6〜16のアリールスルホニル基が好ましく、総炭素数6〜12のアリールスルホニル基がより好ましい。例えば、ベンゼンスルホニル基、4−t−ブチルベンゼンスルホニル基、4−トルエンスルホニル基、2−トルエンスルホニル基等が挙げられる。
また、cr1、cr2、cr3及びcr4は、0又は1を表し、cr1+cr2+cr3+cr4≧1を満たす。中でも、cr1+cr2+cr3+cr4が3又は4である態様が好ましい。
なお、一般式(I−1)におけるRc1、M、cm、cn並びにcr1、cr2、cr3及びcr4は、前記一般式(I)おける場合と同義であり、好ましい態様も同様である。
本発明の着色感光性組成物においては、不飽和二重結合を含み、下記一般式(1)〜(3)のいずれかで表される第1の構成単位の群より選ばれる少なくとも1つ、及び酸基を含む下記一般式(4)で表される第2の構成単位の群より選ばれる少なくとも1つを有し、前記第1の構成単位の前記第2の構成単位に対する比率が1.5倍以上(モル比)である樹脂(以下、「本発明における樹脂」ともいう。)の少なくとも一種を含有する。
R4〜R6はそれぞれ独立に、1価の置換基を表すが、R4としては、水素原子又は置換基を更に有してもよいアルキル基などが挙げられる。中でも、水素原子、メチル基、エチル基が好ましい。また、R5、R6は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、アルコキシカルボニル基、スルホ基、ニトロ基、シアノ基、置換基を更に有してもよいアルキル基、置換基を更に有してもよいアリール基、置換基を更に有してもよいアルコキシ基、置換基を更に有してもよいアリールオキシ基、置換基を更に有してもよいアルキルスルホニル基、置換基を更に有してもよいアリールスルホニル基などが挙げられ、中でも、水素原子、アルコキシカルボニル基、置換基を更に有してもよいアルキル基、置換基を更に有してもよいアリール基が好ましい。
ここで、有してもよい置換基としては、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、イソプロピルオキシカルボニル基、メチル基、エチル基、フェニル基等が挙げられる。
G1は、2価の有機基を表すが、置換基を有してもよいアルキレン基が好ましい。より好ましくは、炭素数1〜20の置換基を有してもよいアルキレン基、炭素数3〜20の置換基を有してもよいシクロアルキレン基、炭素数6〜20の置換基を有してもよい芳香族基などが挙げられ、中でも、置換基を有してもよい炭素数1〜10の直鎖状あるいは分岐アルキレン基、炭素数3〜10の置換基を有してもよいシクロアルキレン基、炭素数6〜12の置換基を有してもよい芳香族基が強度、現像性等の性能上、好ましい。
R10〜R12は、それぞれ独立に1価の置換基を表すが、この置換基としては、具体的には例えば、水素原子、ハロゲン原子、ジアルキルアミノ基、アルコキシカルボニル基、スルホ基、ニトロ基、シアノ基、置換基を更に有してもよいアルキル基、置換基を更に有してもよいアリール基、置換基を更に有してもよいアルコキシ基、置換基を更に有してもよいアリールオキシ基、置換基を更に有してもよいアルキルスルホニル基、置換基を更に有してもよいアリールスルホニル基などが挙げられ、中でも、水素原子、アルコキシカルボニル基、置換基を更に有してもよいアルキル基、置換基を更に有してもよいアリール基が好ましい。
ここで、有してもよい置換基としては、一般式(1)において挙げたものが同様に例示される。
G2は、2価の有機基を表すが、置換基を有してもよいアルキレン基が好ましい。好ましくは、炭素数1〜20の置換基を有してもよいアルキレン基、炭素数3〜20の置換基を有してもよいシクロアルキレン基、炭素数6〜20の置換基を有してもよい芳香族基などが挙げられ、中でも、置換基を有してもよい炭素数1〜10の直鎖状あるいは分岐アルキレン基、炭素数3〜10の置換基を有してもよいシクロアルキレン基、炭素数6〜12の置換基を有してもよい芳香族基が強度、現像性等の性能上、好ましい。
ここで、G2における置換基としては、水酸基、及び、水酸基以外の水素原子が結合したヘテロ原子を有する置換基(例えば、アミノ基、チオール基及びカルボキシ基等)以外の置換基を好ましく挙げることができる。
G2が、水酸基以外の水素原子が結合したヘテロ原子を有する置換基を有する場合、後述する開始剤としてオニウム塩化合物を併用することによって、保存安定性が低下する場合がある。
Yは、酸素原子、硫黄原子、−N(R23)−又は置換基を有してもよいフェニレン基を表す。ここで、R23としては、水素原子、置換基を有してもよいアルキル基などが挙げられる。
R16〜R20は、それぞれ独立に1価の置換基を表すが、R16〜R20は、例えば、水素原子、ハロゲン原子、ジアルキルアミノ基、アルコキシカルボニル基、スルホ基、ニトロ基、シアノ基、置換基を更に有してもよいアルキル基、置換基を更に有してもよいアリール基、置換基を更に有してもよいアルコキシ基、置換基を更に有してもよいアリールオキシ基、置換基を更に有してもよいアルキルスルホニル基、置換基を更に有してもよいアリールスルホニル基などが挙げられ、中でも、水素原子、アルコキシカルボニル基、置換基を更に有してもよいアルキル基、置換基を更に有してもよいアリール基が好ましい。導入しうる置換基としては、一般式(1)においてあげたものが例示される。
A3は、酸素原子、硫黄原子、又は−N(R21)−を表し、Zは、酸素原子、硫黄原子、又は−N(R22)−を表す。R21、R22としては、一般式(1)におけるのと同様のものが挙げられる。
ここで、G3における置換基としては、水酸基、及び、水酸基以外の水素原子が結合したヘテロ原子を有する置換基(例えば、アミノ基、チオール基及びカルボキシ基等)以外の置換基を好ましく挙げることができる。
また、本発明における樹脂は、硬化性向上及び現像残渣低減の観点から、前記一般式(1)〜(3)のいずれかで表される第1の構成単位から選ばれる少なくとも1つを、1分子中に35モル%以上95モル%以下の範囲で含む化合物が好ましく、より好ましくは37モル%以上90モル%以下であり、更に好ましくは40モル%以上85モル%以下の範囲である。中でも、硬化性の観点より、前記一般式(1)で表される構成単位を、1分子中に40モル%以上85モル%以下の範囲で含む樹脂が最も好ましい。
脱離反応を生起させるために用いる塩基としては、無機化合物、有機化合物のどちらを使用してもよい。また、この方法の詳細及び好ましい態様については、特開2003−262958号公報の段落番号[0028]〜[0033]に記載されている。
前記RAとしては、水素原子又はメチル基が好ましい。
前記RBは、2価の連結基であればよいが、例えば、炭素数1〜12の置換されていてもよいアルキレン基、−U−RC−V−(但し、U及びVは各々独立に、単結合又は炭素数1〜3のアルキレン基を表し、RCは置換されていてもよいシクロヘキシル環、ベンゼン環、又はナフタレン環を表す。)、又は−RD−X−RE−(但し、RD及びREは各々独立に、炭素数1〜10の置換されていてもよいアルキレン基、置換されていてもよいベンゼン環又はナフタレン環を表し、Xは、エステル結合、アミド結合、ウレタン結合、エーテル結合、チオエーテル結合、カーボネート結合、ウレア結合又はイミド結合を表す。)などが挙げられ、中でも、RBが炭素数1〜6の2価の連結基である場合が好ましい。
尚、前記樹脂の重量平均分子量は、例えば、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)によって測定することができる。
本発明の着色感光性組成物は、光重合開始剤としてオキシム系開始剤の少なくとも一種を含有する。
特に、より少ない露光量から形状(特に矩形)の良好なパターンが得られる点で、1−(O−アセチルオキシム)−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタノンが好ましい。
その他のオキシム系開始剤としては、例えば、特開2000−80068号公報、特開2001−233842号公報等に記載のオキシム系開始剤を挙げることができる。
具体的には、米国特許第2,367,660号明細書に開示されているビシナールポリケトルアルドニル化合物、米国特許第2,367,661号及び第2,367,670号明細書に開示されているα−カルボニル化合物、米国特許第2,448,828号明細書に開示されているアシロインエーテル、米国特許第2,722,512号明細書に開示されているα−炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第3,046,127号及び第2,951,758号明細書に開示されている多核キノン化合物、米国特許第3,549,367号明細書に開示されているトリアリルイミダゾールダイマー/p−アミノフェニルケトンの組合せ、特公昭51−48516号公報に開示されているベンゾチアゾール系化合物/トリハロメチール−s−トリアジン系化合物等を挙げることができる。
その具体例として、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、9−フルオレノン、2−クロロ−9−フルオレノン、2−メチル−9−フルオレノン、9−アントロン、2−ブロモ−9−アントロン、2−エチル−9−アントロン、9,10−アントラキノン、2−エチル−9,10−アントラキノン、2−t−ブチル−9,10−アントラキノン、2,6−ジクロロ−9,10−アントラキノン、キサントン、2−メチルキサントン、2−メトキシキサントン、2−メトキシキサントン、チオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、アクリドン、10−ブチル−2−クロロアクリドン、ベンジル、ジベンザルアセトン、p−(ジメチルアミノ)フェニルスチリルケトン、p−(ジメチルアミノ)フェニル−p−メチルスチリルケトン、ベンゾフェノン、p−(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(又はミヒラーケトン)、p−(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、ベンゾアントロン等や特公昭51−48516号公報記載のベンゾチアゾール系化合物等や、チヌビン1130、同400等が挙げられる。
(1)前記一般式(1)で表される第1の構成単位と、前記一般式(4)で表される第2の構成単位とを含有し、一般式(1)で表される構成単位の含有率が一般式(4)で表される構成単位の含有率の1.5倍以上である樹脂(本発明における樹脂)と、オキシム系開始剤との組合わせ、
(2)前記一般式(1)で表される第1の構成単位と、前記一般式(4)で表される第2の構成単位とを含有し、一般式(1)で表される構成単位の含有率が一般式(4)で表される構成単位の含有率の1.5倍以上である樹脂(本発明における樹脂)と、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−オクタンジオン及び/又は1−(O−アセチルオキシム)−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタノンとの組合わせ、
(3)前記一般式(1)で表される第1の構成単位と、前記一般式(4)で表される構成単位とを含有し、一般式(1)で表される構成単位の含有率が一般式(4)で表される構成単位の含有率の2.0倍以上である樹脂(本発明における樹脂)と、1−(O−アセチルオキシム)−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタノンとの組合わせ、
(4)組成物の全固形分に対する含有量が0.1質量%以上7.0質量%以下(好ましくは1.0〜5.0)である樹脂(本発明における樹脂)と、組成物の全固形分に対する含有量が5質量%以上20質量%以下(好ましくは10.0〜15.0)であるオキシム系開始剤との組合わせ、
(5)前記(4)において、更に着色剤の全固形分に対する含有量が50質量%以上80質量%以下である場合の組合わせ、
(6)前記(4)において、本発明における樹脂の重量平均分子量が30,000以上300,000以下である場合の組合わせ
本発明の着色感光性組成物は、重合性化合物の少なくとも一種を用いて構成することができる。上記の各成分と共に、さらに重合性化合物を用いることにより本発明の組成物をネガ型に構成することができる。
モノマー化合物の例としては、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、等の単官能のアクリレートやメタアクリレート;ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオール(メタ)アクリレート、
前記一般式(III−1)、(III−2)で表されるラジカル重合性モノマーの具体的例としては、下記で表されるものが挙げられる。
本発明の着色感光性組成物は、溶剤を含有することが好ましい。溶剤は、組成物の溶解性、塗布性を満足すれば基本的に特に限定されないが、特に染料、バインダーの溶解性、塗布性、安全性を考慮して選ばれることが好ましい。
本発明の組成物を調製する際に用いられる溶剤としては、エステル類、例えば酢酸エチル、酢酸−n−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、
ケトン類、例えばメチルエチルケトン、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン等;芳香族炭化水素類、例えばトルエン、キシレン等が好ましい。
本発明の組成物には、必要に応じて各種添加物、例えば充填剤、上記以外の高分子化合物、界面活性剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤等を配合することかできる。
本発明のカラーフィルタは、本発明の着色感光性組成物を用いて作製されたものである。本発明のカラーフィルタの作製は、本発明の着色感光性組成物を用いた方法であれば特に制限はなく、例えば、本発明の着色感光性組成物を支持体上に回転塗布、流延塗布、ロール塗布等の塗布方法により塗布して着色感光性組成物層を形成し、形成された着色感光性組成物層を所定のマスクを通して露光し、現像液で現像し、支持体上に着色されたパターンを形成することにより、最も好適に作製することができる。
また、本発明のカラーフィルタを作製する場合、すなわち本発明のカラーフィルタの製造方法においては、必要により、形成されたパターンを加熱及び/又は露光により硬化する工程を含んでいてもよい。
また、これらの支持体上には必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止あるいは基板表面の平坦化の為に、下塗り層を設けてもよい。
前記アルカリ性の水溶液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム,硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、1,8−ジアザビシクロ−〔5.4.0〕−7−ウンデセン等のアルカリ性化合物を、濃度が0.001〜10質量%、好ましくは0.01〜1質量%となるように溶解したアルカリ性水溶液が挙げられる。
なお、アルカリ性の水溶液からなる現像液を使用した場合には、一般に現像後に水で洗浄が行なわれる。
1)レジスト液の調製
下記組成の成分を混合して溶解し、レジスト液を調製した。
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート …19.20部
(PGMEA)
・乳酸エチル …36.67部
・樹脂 …30.51部
〔メタクリル酸ベンジル/メタクリル酸/メタクリル酸−2−ヒドロキシエチル共重合体(モル比=60:22:18)の40%PGMEA溶液〕
・KAYARAD DPHA(日本化薬製、重合性化合物)…12.20部
・重合禁止剤(p−メトキシフェノール) … 0.0061部
・フッ素系界面活性剤 … 0.83部
(F−475、大日本インキ化学工業(株)製)
・光重合開始剤 … 0.586部
(TAZ−107(トリハロメチルトリアジン系の光重合開始剤)、みどり化学社製)
6inchシリコンウエハーをオーブン中で200℃のもと30分加熱処理した。次いで、このシリコンウエハー上に上記レジスト液を乾燥膜厚1μmになるように塗布し、更に200℃のホットプレート上で5分加熱乾燥させて下塗り層を形成し、下塗り層付シリコンウエハーを得た。
下記組成A−1の化合物を混合して溶解し、着色感光性樹脂組成物A−1を調製した。
〈組成A−1〉
・シクロヘキサノン …80部
・着色剤A〔既述の例示化合物C−1〕 … 8.16部
・着色剤B〔下記化合物a〕 … 3.84部
・KAYARAD DPHA(日本化薬(株)製、重合性化合物) … 4.91部
・光重合開始剤 … 2.00部
CGI−242(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製;オキシム系開始剤)
・樹脂(既述の高分子化合物1;本発明における樹脂の化合物例) … 0.48部
・ジシクロヘキシルメチルアミン … 0.61部
・界面活性剤(大日本インキ化学工業(株)製、F−781) … 0.02部
前記3)で調製した着色感光性樹脂組成物A−1を、前記2)で得られた下塗り層付シリコンウエハーの下塗り層上に塗布し、光硬化性の塗布膜を形成した。そして、この塗布膜の乾燥膜厚が0.6μmになるように、100℃のホットプレートを用いて120秒間加熱処理(プリベーク)を行なった。次いで、i線ステッパー露光装置FPA−3000i5+(Canon(株)製)を使用して365nmの波長でパターンが1.2μm四方のベイヤーパターンマスクを通して100〜2500mJ/cm2の範囲で露光量を100mJ/cm2ずつ変化させて照射した。その後、照射された塗布膜が形成されているシリコンウエハーをスピン・シャワー現像機(DW−30型;(株)ケミトロニクス製)の水平回転テーブル上に載置し、CD−2000(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)を用いて23℃で60秒間パドル現像を行ない、シリコンウエハーに着色パターンを形成した。
上記において、下記評価を行なった。評価結果は下記表1に示す。
−1.現像後のパターン密着性−
上記により得られたカラーフィルタを光学顕微鏡にて500倍に観察して確認し、全てのパターンが密着残存するために必要な最小露光量(mJ/cm2)を求め、パターン密着性を評価する指標とした。密着性は、最小露光量の値が小さいほど、少ない露光量で良好な密着が得られることを示す。
現像後のパターンを走査型電子顕微鏡(SEM)を用いて10,000倍で観察し、下記の評価基準にしたがって未露光部の現像性を評価した。
<評価基準>
◎:未露光部が完全に除去されていた。
○:やや残渣あるものの、実用上許容範囲内であった。
△:残渣があった。
×:残渣が多く許容範囲外であった。
上記のように最低露光量+300mJ/cm2の露光量で露光されたパターンについて、UV−キュアー装置(光源:高圧水銀灯)を用いて30℃で10,000mJ/cm2の露光量でポスト露光した後、230℃のホットプレートで5分間加熱してベーク処理を施した。このベーク処理後のパターンの断面形状を走査型電子顕微鏡(SEM)を用いて観察し、下記式により求められる指数を指標として、下記の評価基準にしたがって評価した。ここで、断面形状は、層状に形成されたパターンを該層表面に垂直な平面で切断した際の切断面の形状をさす。
パターン矩形性指数(S)
=パターン断面の基板界面における線幅/パターン断面の基板非接触面における線幅
<評価基準>
S>1.20 : 切断面のパターンプロファイルが順テーパー形状であった。
0.95≦S≦1.20 : 切断面のパターンプロファイルが矩形で良好であった。
S<0.95 : 切断面のパターンプロファイルが逆テーパー形状であった。
実施例1において、着色感光性組成物A−1を、該着色感光性組成物A−1中の着色剤及び本発明における樹脂を下記表1に示すようにそれぞれ変更した着色感光性組成物A−2〜A−17に代えたこと以外は、実施例1と同様にして、カラーフィルタを作製すると共に、現像後のパターン密着性、未露光部現像性、及びパターン矩形性の評価を行なった。評価結果は下記表1に示す。
実施例1において、着色感光性組成物A−1を、該着色感光性組成物A−1中の着色剤、本発明における樹脂、及び開始剤を下記表2に示すようにそれぞれ変更した着色感光性組成物A−17〜A−27に代えたこと以外は、実施例1と同様にして、カラーフィルタを作製すると共に、現像後のパターン密着性、未露光部現像性、及びパターン矩形性の評価を行なった。評価結果は下記表2に示す。
下記組成A−18の化合物を混合して溶解し、着色感光性樹脂組成物A−18調製した。
〈組成A−18〉
・シクロヘキサノン …80部
・着色剤A〔既述の例示化合物C−53〕 … 6.80部
・着色剤B〔下記例示化合物a〕 … 3.20部
・KAYARAD DPHA(日本化薬(株)製、重合性化合物) … 6.89部
・光重合開始剤 … 2.00部
CGI−242(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製)
・樹脂(既述の高分子化合物15) … 0.48部
・ジシクロヘキシルメチルアミン … 0.61部
・界面活性剤(大日本インキ化学工業(株)製、F−781) … 0.02部
下記組成A−19の化合物を混合して溶解し、着色感光性樹脂組成物A−19を調製した。
〈組成A−19〉
・シクロヘキサノン …80部
・着色剤A〔既述の例示化合物C−53〕 …10.88部
・着色剤B〔下記例示化合物a〕 … 5.12部
・KAYARAD DPHA(日本化薬(株)製、重合性化合物) … 1.89部
・光重合開始剤 … 1.00部
CGI−242(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製)
・樹脂(既述の高分子化合物15) … 0.78部
・ジシクロヘキシルメチルアミン … 0.31部
・界面活性剤(大日本インキ化学工業(株)製、F−781) … 0.02部
下記組成A−20の化合物を混合して溶解し、着色感光性樹脂組成物A−20を調製した。
〈組成A−20〉
・シクロヘキサノン …80部
・着色剤A〔既述の例示化合物C−1〕 … 8.16部
・着色剤B〔下記化合物a〕 … 3.84部
・KAYARAD DPHA(日本化薬(株)製、重合性化合物) … 4.91部
・光重合開始剤 … 2.00部
CGI−124(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製;オキシム系開始剤)
・樹脂(既述の高分子化合物1;本発明における樹脂の化合物例) … 0.48部
・ジシクロヘキシルメチルアミン … 0.61部
・界面活性剤(大日本インキ化学工業(株)製、F−781) … 0.02部
下記組成A−21の化合物を混合して溶解し、着色感光性樹脂組成物A−21を調製した。
〈組成A−21〉
・シクロヘキサノン …80部
・着色剤A〔既述の例示化合物C−53〕 … 6.12部
・着色剤B〔下記例示化合物a〕 … 2.88部
・KAYARAD DPHA(日本化薬(株)製、重合性化合物) … 7.89部
・光重合開始剤 … 2.00部
CGI−242(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製)
・樹脂(既述の高分子化合物15) … 0.48部
・ジシクロヘキシルメチルアミン … 0.61部
・界面活性剤(大日本インキ化学工業(株)製、F−781) … 0.02部
下記組成A−22の化合物を混合して溶解し、着色感光性樹脂組成物A−22を調製した。
〈組成A−22〉
・シクロヘキサノン …80部
・着色剤A〔既述の例示化合物C−53〕 … 6.12部
・着色剤B〔下記例示化合物a〕 … 2.88部
・KAYARAD DPHA(日本化薬(株)製、重合性化合物) … 8.37部
・光重合開始剤 … 2.00部
CGI−242(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製)
・ジシクロヘキシルメチルアミン … 0.61部
・界面活性剤(大日本インキ化学工業(株)製、F−781) … 0.02部
下記組成A−23の化合物を混合して溶解し、着色感光性樹脂組成物A−23を調製した。
〈組成A−23〉
・シクロヘキサノン …80部
・着色剤A〔既述の例示化合物C−53〕 … 6.80部
・着色剤B〔下記例示化合物a〕 … 3.20部
・KAYARAD DPHA(日本化薬(株)製、重合性化合物) … 7.91部
・光重合開始剤 … 0.96部
CGI−242(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製)
・樹脂(既述の高分子化合物15) … 0.50部
・ジシクロヘキシルメチルアミン … 0.61部
・界面活性剤(大日本インキ化学工業(株)製、F−781) … 0.02部
下記組成A−24の化合物を混合して溶解し、着色感光性樹脂組成物A−24を調製した。
〈組成A−24〉
・シクロヘキサノン …80部
・着色剤A〔既述の例示化合物C−53〕 …10.88部
・着色剤B〔下記例示化合物a〕 … 5.12部
・KAYARAD DPHA(日本化薬(株)製、重合性化合物) … 2.21部
・光重合開始剤 … 0.96部
CGI−242(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製)
・樹脂(既述の高分子化合物15) … 0.50部
・ジシクロヘキシルメチルアミン … 0.31部
・界面活性剤(大日本インキ化学工業(株)製、F−781) … 0.02部
下記組成A−25の化合物を混合して溶解し、着色感光性樹脂組成物A−25を調製した。
〈組成A−25〉
・シクロヘキサノン …80部
・着色剤A〔既述の例示化合物C−53〕 …11.22部
・着色剤B〔下記例示化合物a〕 … 5.28部
・KAYARAD DPHA(日本化薬(株)製、重合性化合物) … 1.67部
・光重合開始剤 … 1.00部
CGI−242(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製)
・樹脂(既述の高分子化合物15) … 0.50部
・ジシクロヘキシルメチルアミン … 0.31部
・界面活性剤(大日本インキ化学工業(株)製、F−781) … 0.02部
下記組成A−26の化合物を混合して溶解し、着色感光性樹脂組成物A−26を調製した。
〈組成A−26〉
・シクロヘキサノン …80部
・着色剤A〔既述の例示化合物C−53〕 …11.22部
・着色剤B〔下記例示化合物a〕 … 5.28部
・KAYARAD DPHA(日本化薬(株)製、重合性化合物) … 2.17部
・光重合開始剤 … 1.00部
CGI−242(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製)
・ジシクロヘキシルメチルアミン … 0.31部
・界面活性剤(大日本インキ化学工業(株)製、F−781) … 0.02部
下記組成A−27の化合物を混合して溶解し、着色感光性樹脂組成物A−27を調製した。
〈組成A−27〉
・シクロヘキサノン …80部
・着色剤A〔既述の例示化合物C−53〕 … 8.16部
・着色剤B〔下記例示化合物a〕 … 3.84部
・KAYARAD DPHA(日本化薬(株)製、重合性化合物) … 2.69部
・光重合開始剤 … 4.20部
CGI−242(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製)
・樹脂(既述の高分子化合物15) … 0.48部
・ジシクロヘキシルメチルアミン … 0.61部
・界面活性剤(大日本インキ化学工業(株)製、F−781) … 0.02部
下記組成A−28の化合物を混合して溶解し、着色感光性樹脂組成物A−28を調製した。
〈組成A−28〉
・シクロヘキサノン …80部
・着色剤A〔既述の例示化合物C−53〕 … 8.16部
・着色剤B〔下記例示化合物a〕 … 3.84部
・KAYARAD DPHA(日本化薬(株)製、重合性化合物) … 4.89部
・チタノセン … 0.27部
・4,4‘−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン … 1.73部
・樹脂(既述の高分子化合物15) … 0.48部
・ジシクロヘキシルメチルアミン … 0.61部
・界面活性剤(大日本インキ化学工業(株)製、F−781) … 0.02部
Claims (6)
- 全固形分に対する含有量が50質量%以上80質量%以下である着色剤と、
全固形分に対する含有量が5質量%以上20質量%以下であるオキシム系開始剤と、
不飽和二重結合を含み、下記一般式(1)〜(3)のいずれかで表される第1の構成単位の群より選ばれる少なくとも1つ、及び酸基を含む下記一般式(4)で表される第2の構成単位の群より選ばれる少なくとも1つを有し、前記第1の構成単位の前記第2の構成単位に対する比率が1.5倍以上(モル比)である樹脂と、
を含有する着色感光性組成物。
〔式中、A1、A2、及びA3は、それぞれ独立に、酸素原子、硫黄原子、又は−N(R21)−を表し、R21は置換基を有してもよいアルキル基を表す。G1、G2、及びG3は、それぞれ独立に2価の有機基を表す。X及びZは、それぞれ独立に、酸素原子、硫黄原子、又は−N(R22)−を表し、R22は置換基を有してもよいアルキル基を表す。Yは、酸素原子、硫黄原子、置換基を有してもよいフェニレン基、又は−N(R23)−を表し、R23は置換基を有してもよいアルキル基を表す。R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7、R8、R9、R10、R11、R12、R13、R14、R15、R16、R17、R18、R19、及びR20は、それぞれ独立に1価の置換基を表す。RAは、水素原子又は炭素数1〜6のアルキル基を表し、RBは2価の連結基を表す。〕 - 前記樹脂の重量平均分子量が、30,000以上300,000以下であることを特徴とする請求項1に記載の着色感光性組成物。
- 前記着色剤の全てが有機溶剤可溶性染料であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の着色感光性組成物。
- 重合性化合物を更に含有し、ネガ型に構成されていることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の着色感光性組成物。
- 請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の着色感光性組成物を、支持体上に塗布して着色感光性組成物層を形成する工程と、
前記着色感光性組成物層を、マスクを通して露光し、現像して前記支持体上にパターンを形成する工程と、
を有するカラーフィルタの製造方法。 - 請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の着色感光性組成物を用いて形成されたカラーフィルタ。
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JP2762511B2 (ja) | 1989-01-30 | 1998-06-04 | 凸版印刷株式会社 | カラーフィルターおよびその製造方法 |
US5059500A (en) | 1990-10-10 | 1991-10-22 | Polaroid Corporation | Process for forming a color filter |
US5166125A (en) | 1992-02-19 | 1992-11-24 | Eastman Kodak Company | Method of forming color filter array element with patternable overcoat layer |
JPH05333207A (ja) | 1992-05-29 | 1993-12-17 | Nippon Kayaku Co Ltd | カラーフィルター |
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JP3476208B2 (ja) | 1992-07-31 | 2003-12-10 | 住友化学工業株式会社 | カラーフィルター用色素 |
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US5667920A (en) | 1996-03-11 | 1997-09-16 | Polaroid Corporation | Process for preparing a color filter |
SG77689A1 (en) | 1998-06-26 | 2001-01-16 | Ciba Sc Holding Ag | New o-acyloxime photoinitiators |
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NL1016815C2 (nl) | 1999-12-15 | 2002-05-14 | Ciba Sc Holding Ag | Oximester-fotoinitiatoren. |
CN100414634C (zh) * | 2000-03-28 | 2008-08-27 | 松下电器产业株式会社 | 数据重放装置 |
CN100528838C (zh) * | 2001-06-11 | 2009-08-19 | 西巴特殊化学品控股有限公司 | 具有复合结构的肟酯光引发剂 |
DE60327571D1 (de) * | 2002-03-11 | 2009-06-25 | Fujifilm Corp | Verfahren zur Herstellung von Polymerverbindungen durch Eliminierungsreaktion |
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WO2004057380A1 (ja) * | 2002-11-29 | 2004-07-08 | Daicel Chemical Industries, Ltd. | カラーフィルター用感光性着色組成物、カラーフィルター及びその製造方法 |
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