JP4691874B2 - 液滴吐出装置及びカラーフィルター製造装置 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液滴吐出装置、カラーフィルター製造装置、カラーフィルター及びその製造方法、液晶装置、電子機器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、コンピュータディスプレイや大型テレビジョン等の電子機器の発達に伴い、液晶表示装置、特にカラー液晶表示装置の使用が増加している。この種の液晶表示装置には、通常、表示画像をカラー化するためにカラーフィルターが用いられている。カラーフィルターには、例えばガラス基板に対してＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）のインクを所定のパターンで吐出させ、このインクを基板上で乾燥させることで着色層を形成するものがある。このような基板に対してインクを吐出する方式としては、例えばインクジェット方式の液滴吐出装置が採用されている。
【０００３】
インクジェット方式の液滴吐出装置を採用した場合、インクジェットヘッドからガラス基板に対して所定量のインクを吐出して着弾させる。この場合、例えば直交する２方向（Ｘ方向、Ｙ方向）に移動可能、および任意の回転軸を中心として回転可能とされたＸＹθステージにガラス基板を搭載し、インクジェットヘッドを固定したタイプの装置を用いることができる。このタイプの装置は、ＸＹθステージの駆動によりインクジェットヘッドに対してガラス基板を所定の位置に位置決めした後、ガラス基板をＸ方向、Ｙ方向に走査しながらインクジェットヘッドからインクを吐出することで、ガラス基板の所定の位置にインクを着弾させる構成となっている。
【０００４】
この種の液滴吐出装置を用いたカラーフィルター製造装置の例が、下記の特許文献１に開示されている。この文献に開示されたカラーフィルター製造装置は、前工程から後工程に被処理基板を搬送するメイン搬送ラインの側方に、各々がＲ、Ｇ、Ｂの３色の着色層の描画が可能な３台の着色装置（液滴吐出装置）を備えている。さらに、各着色装置とメイン搬送ラインとの間には各着色装置に未着色のガラス基板を供給するための供給コンベア、および着色済みのガラス基板を各着色装置から排出するための排出コンベアが備えられ、メイン搬送ラインと供給コンベアおよび排出コンベアとの間にはこれらコンベア間でガラス基板を移載するためのロボットが備えられている。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００１−３３６１４号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記特許文献１に開示されたカラーフィルター製造装置には、以下のような問題点があった。
すなわち、上記のカラーフィルター製造装置は、メイン搬送ラインの側方に着色装置を有しており、前工程側から後工程側に搬送されるガラス基板をメイン搬送ラインから各着色装置内に引き込んで描画を行い、描画後に再度メイン搬送ラインに戻す構成である。そのため、描画時に各着色装置内には１枚のガラス基板しか存在できず、メイン搬送ラインには描画後のガラス基板を戻す場所も必要となる。よって、各着色装置内で描画を行っている間、描画前のガラス基板は描画後のガラス基板と干渉しない位置で待機しなければならず、描画後のガラス基板がメイン搬送ラインに戻った時点で初めて描画前のガラス基板を着色装置に引き込む動作が開始される。結果的に、このカラーフィルター製造装置は１枚のガラス基板を処理するのに必要なタクトタイムが長く、生産性に劣るものとなる。
【０００７】
この装置は根本的にこの欠点を持っているがために、３台の着色装置を備え、これら着色装置で並行して描画を行うことで上記の欠点をカバーしている。しかしながら、メイン搬送ラインの側方に３台の着色装置を配置した構成のため、カラーフィルター生産ラインにおいてこの装置の占有スペースが極めて大きなものとなり、生産ラインの装置レイアウト等にも支障を来す。処理効率を上げるために着色装置の台数を増やせば増やす程、当然ながら占有スペースが大きくなり、この問題が大きくなる。また近年、３０〜６０インチといった大型の液晶テレビジョンが市場に提供されつつあり、これに適応するような大型のカラーフィルター製造装置にとっては特にこの問題が顕著になる。
【０００８】
また、上記の装置においては、メイン搬送ラインと、メイン搬送ラインと各着色装置との間を結ぶ搬送ラインとはガラス基板の搬送方向が９０°異なり、メイン搬送ラインと各着色装置との間に供給コンベア、排出コンベア、ロボット等の各種搬送装置が必要となる。そのため、装置構成が複雑になるとともに、これら搬送装置の駆動制御が複雑になる。さらに、メイン搬送ライン上を描画前のガラス基板と描画後のガラス基板とが混在して流れることから、これらの基板を振り分ける制御も必要となっていた。
【０００９】
近年、カラーフィルターのみならず、インクジェット方式の液滴吐出装置を用いた有機ＥＬ（Electro-Luminescence）素子等のデバイス形成技術、あるいは配線形成技術が検討されている。上ではカラーフィルター製造装置を例に挙げ、従来の技術とその問題点を説明したが、上記の問題点はこれらデバイス形成技術、配線形成技術にも共通の問題点であり、より生産性に優れた製造装置、ひいては当該製造装置を構成する液滴吐出装置の実現が望まれている。
【００１０】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであって、生産性に優れるとともに装置構成が比較的簡単で占有スペースをむやみに費やすことのない、生産ラインに好適な液滴吐出装置、これを用いたカラーフィルター製造装置、カラーフィルター及びその製造方法を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明の液滴吐出装置は、被処理基材上にパターン形成用材料を含有する液状体を吐出することにより所望形状のパターンを形成する液滴吐出装置であって、ヘッドユニットを備えた描画部と、描画前の被処理基材を前記描画部に向けて供給する給材部と、描画後の被処理基材を前記描画部から排出する除材部とを備え、前記給材部、前記描画部、および前記除材部が一方向に沿って配列されており、前記ヘッドユニットは、前記一方向と交差する方向に配列された複数の液滴吐出ヘッドを備え、前記複数の液滴吐出ヘッドから前記液状体を吐出させる際に、前記ヘッドユニットは、前記一方向と交差する方向に前記被処理基材に対して架設された状態で固定されて配置され、前記被処理基材は、前記給材部側から前記除材部側に向けて前記一方向に搬送される。また、前記ヘッドユニットにおいて、前記複数の液滴吐出ヘッドは、前記一方向に並ぶ列が複数設けられており、各列間で前記一方向と交差する方向にずれた位置に配置されていることを特徴とする。また、前記描画部は前記被処理基板を前記一方向の上流側及び下流側へ搬送可能なステージを備え、前記ヘッドユニットの上流側に、前記被処理基板の不良箇所を補修する補修用ヘッドが設けられたことを特徴とする。前記描画部と前記除材部との間に、描画後の前記被処理基材上の描画状態を検査する検査部が設けられ、前記補修用ヘッドは前記液滴吐出ヘッドに対して前記一方向の上流側に配置されたことを特徴とする。また前記液滴吐出ヘッドの各々は小型基準プレートに固定され、該小型基準プレートは１枚の大型基準プレートに対して前記液滴吐出ヘッドの個数分が固定されていることを特徴とする。なお、ここでの「被処理基材が内部を一方向に流れ」との表現は、被処理基材が直線状に流れることのみを意味しており、流れの向きは問わない。したがって、場合によっては被処理基材が直線上を逆送することも含めた表現である。
【００１２】
すなわち、本発明の液滴吐出装置は、被処理基材が内部を一方向に移動する描画部と給材部と除材部とを被処理基材の移動方向に沿って配列したものである。換言すると、本発明の液滴吐出装置は、給材部と除材部とを結ぶ直線状の被処理基材搬送ラインの途中に描画部を備えた構成となっている。そして、複数の液滴吐出ヘッドの配列方向と交差する方向であってかつ前記一方向（給材部、描画部、および除材部の配列方向）に、複数の液滴吐出ヘッドに対して被処理基材を給材部側から除材部側に相対移動させつつ液滴吐出ヘッドから液状体を吐出することで所望形状のパターンを形成する。つまり、描画前の被処理基材を描画部の一端から供給し、描画後の被処理基材を描画部の他端から排出する構成であるから、被処理基材を描画部内に連続的に流すことができ、複数の液滴吐出ヘッドを用いて一方向のみの搬送中に一気に描画を行うことができる。そのため、被処理基材を搬送ラインから着色装置内に１枚ずつ引き込む従来の装置のように、描画前の被処理基材を描画後の被処理基材と干渉しない位置で待機させるようなシーケンスが不要となる。したがって、１枚の被処理基材を処理するのに必要なタクトタイムを短縮でき、生産性に優れた装置を実現することができる。
また、給材部、描画部、除材部が直線状に配列されており、いわば描画部が搬送ライン上に配置されているため、搬送ラインの側方に着色装置が配置された従来の装置に比べて装置の占有スペースを縮小することができる。
さらに、従来装置のような被処理基材の搬送方向を変える機能を持つ搬送装置が不要となるので、装置構成を簡略化することができる。
【００１３】
本発明の液滴吐出装置においては、複数の液滴吐出ヘッドと被処理基材とが前記一方向に相対移動しさえすれば描画が可能であるから、液滴吐出ヘッドと被処理基材のいずれか一方が移動してもよいし、双方ともに移動する構成でもよい。
しかしながら、各構成を比較すると、描画時には液滴吐出ヘッドが装置本体に対して固定された状態にある方が望ましい。
液滴吐出ヘッドには液状体をヘッドに供給するための配管やヘッド駆動用配線が多数接続されているため、液滴吐出ヘッド側を移動させるよりも被処理基材側を移動させる方が装置構成が簡単になるからである。
【００１４】
前記給材部と前記描画部との間には、描画前の前記被処理基材を洗浄する洗浄部を設けることが望ましい。
この構成によれば、洗浄後の清浄な被処理基材を描画部に供給できるので、被処理基材に付着した異物等に起因する描画不良の発生が抑えられ、歩留りを向上することができる。
【００１５】
前記給材部と前記描画部との間には、描画前の前記被処理基材に前記液状体に対する濡れ性を改善する表面改質を施す表面改質部を設けることが望ましい。ここで言う「液状体に対する濡れ性を改善する表面改質」には、被処理基材上の液状体を吐出すべき領域に施す親液処理や、液状体を吐出すべきでない領域に施す撥液処理が含まれる。
この構成によれば、被処理基材上の所望の領域に液状体を確実に吐出することができ、所望の領域以外の領域に液状体が塗布されたり、所望の領域内に液状体が濡れ広がらない等の描画不良の発生が抑えられ、歩留りを向上することができる。
【００１６】
前記描画部と前記除材部との間には、前記被処理基材上に吐出された液状体を加熱する加熱部を設けることが望ましい。
この構成によれば、描画後に被処理基材上に吐出された液状体を加熱することにより、液状体に含まれる溶媒を揮発させ、液状体を焼成することができる。これにより、例えば次工程で異なる種類の液状体を吐出する際の液状体同士の混在を防止することができる。
【００１７】
前記描画部と前記除材部との間には、描画後の前記被処理基材上の描画状態を検査する検査部を設けることが望ましい。
この構成によれば、描画後に被処理基材上の描画状態を検査することにより、描画不良の有無を判定し、液状体が吐出された被処理基材の良／不良を選別することができる。場合によっては、不良の被処理基材を修復作業に回すこともできる。
【００１８】
本発明のカラーフィルター製造装置は、異なる色の着色層を備えたカラーフィルターを製造するカラーフィルター製造装置であって、上記本発明の液滴吐出装置が複数備えられ、各液滴吐出装置で用いる前記液状体がそれぞれ異なる色の色素を含み、各液滴吐出装置が異なる色の着色層をそれぞれ形成することを特徴とする。
すなわち、本発明のカラーフィルター製造装置は、異なる色の着色層、例えばＲ、Ｇ、Ｂの着色層をそれぞれ形成する複数の液滴吐出装置を備え、この液滴吐出装置を上記本発明の液滴吐出装置で構成したものである。この構成によれば、生産性に優れ、装置構成が簡単で装置の占有スペースが比較的小さいカラーフィルター製造装置を実現することができる。
【００１９】
前記複数の液滴吐出装置の後段に、各液滴吐出装置により形成された異なる色の着色層を一括して加熱する加熱装置を備えることが望ましい。
この構成によれば、カラーフィルターの着色層をなす液状体に含まれる溶媒を揮発させ、液状体の焼成を行うことができる。例えば各液滴吐出装置毎に液状体を加熱する加熱部を設けた場合、この加熱部による加熱を仮焼成とし、上記加熱装置における加熱を本焼成として加熱条件をそれぞれ最適化すると良い。その場合、各着色層個別の特性に合わせた焼成が可能となり、品質の良いカラーフィルターが得られる。
【００２０】
本発明のカラーフィルターの製造方法は、異なる色の着色層を備えたカラーフィルターの製造方法であって、上記本発明のカラーフィルター製造装置を用いて前記着色層を形成することを特徴とする。
この構成によれば、生産性良くカラーフィルターを製造することが可能となり、製造コスト低減を図ることができる。
【００２１】
本発明のカラーフィルターは、異なる色の着色層を備えたカラーフィルターであって、上記本発明のカラーフィルターの製造方法により製造されたことを特徴とする。
この構成によれば、安価で品質の良いカラーフィルターを提供することができる。
【００２２】
本発明の液晶装置は、一対の基板間に液晶が挟持された液晶装置であって、上記本発明のカラーフィルターを備えたことを特徴とする。
この構成によれば、安価で品質の良いカラー液晶表示装置を提供することができる。
【００２３】
本発明の電子機器は、上記本発明の液晶装置を備えたことを特徴とする。
この構成によれば、安価で品質の良いカラー液晶表示部を備えた電子機器を実現することができる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図面を参照して説明する。
図１は本実施形態のカラーフィルター製造装置の概略構成図であり、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色の着色層を備えたカラーフィルターを製造するための装置である。
本実施形態のカラーフィルター製造装置１は、図１に示すように、基板の搬送方向上流側からインク受容層形成装置２、Ｒ着色層形成装置３、Ｇ着色層形成装置４、Ｂ着色層形成装置５、本焼成装置６（加熱装置）が配置され、これらの装置が任意の搬送装置（図示略）を介して連結されたものである。このカラーフィルター製造装置１には、Ｒ、Ｇ、Ｂの各着色層のパターンを区画する隔壁（バンクとも言う）が形成されたガラス、プラスチック等からなる透明基板（被処理基材）が供給される。インク受容層形成装置２は、隔壁で区画された領域内に樹脂組成物からなるインク受容層を下地層として形成するための装置である。Ｒ着色層形成装置３、Ｇ着色層形成装置４、Ｂ着色層形成装置５は、それぞれ後で着色層となるＲ、Ｇ、Ｂのインクからなる液状体を塗布するための装置である。本焼成装置６は、塗布後のＲ、Ｇ、Ｂのインクからなる液状体を一括して加熱、焼成するための装置である。これらの装置のうち、インク受容層形成装置２、Ｒ着色層形成装置３、Ｇ着色層形成装置４、Ｂ着色層形成装置５の４台には、本発明の液滴吐出装置（インクジェット装置）が用いられている。
【００２５】
図２は、本実施形態のカラーフィルター製造装置１の要部である液滴吐出装置の部分のみを示す概略構成斜視図である。液滴吐出装置が用いられるインク受容層形成装置２、Ｒ着色層形成装置３、Ｇ着色層形成装置４、Ｂ着色層形成装置５の基本構成は全て同様であるため、ここではＲ着色層形成装置３を一例として説明する。
Ｒ着色層形成装置３は、図２に示すように、上流側から下流側（図２における右側から左側）に向けて給材部６１、表面改質部６２、描画部６３、検査部６４、仮焼成部６５、除材部６６が備えられている。大まかな処理の流れとしては、給材部６１から供給された描画前の基板Ｓに対し、表面改質部６２において親液処理、撥液処理が施され、描画部６３において隔壁で区画された所定の領域にＲのインクが吐出、描画される。次いで、検査部６４において描画状態が検査され、仮焼成部６５でインクの仮焼成が施された後、描画後の基板が除材部６６により排出される。本装置において、これら各部６１〜６６は基板Ｓの流れ方向に沿って直線状に配置されている。なお、本装置３は大型の基板を処理可能な大規模な装置であるため、作業者が後述するヘッドユニットのメンテナンスを行うための通路６７が設けられている。
【００２６】
給材部６１および除材部６６は任意の基板搬送手段で構成することができ、例えばローラコンベア、ベルトコンベア等が用いられる。表面改質部６２は、プラズマ処理室を備えており、親液処理としては大気雰囲気中で酸素を反応ガスとするプラズマ処理（Ｏ_２プラズマ処理）が行われ、基板Ｓの表面及び隔壁の側面が親液化される。撥液処理としては大気雰囲気中でテトラフルオロメタン（四フッ化炭素）を反応ガスとするプラズマ処理（ＣＦ_４プラズマ処理）が行われ、隔壁の上面が撥液化される。
【００２７】
図３は、描画部６３の近傍のみを示す概略構成斜視図である。描画部６３は、図３に示すように、一方向に移動可能なステージ７０上に基板Ｓを吸着保持し、その状態で基板Ｓを一方向（図３における右側から左側）に搬送する構成となっており、基板Ｓの搬送方向と直交して延びるヘッドユニット７１が装置本体に架設されている。すなわち、本実施形態の液滴吐出装置７２は、液滴吐出ヘッド側が移動せず、基板側のみが移動する構成である。ヘッドユニット７１は、基板Ｓの搬送方向と直交する方向に配列された複数個の液滴吐出ヘッド３４が固定された大型基準プレート７４を備えている。
【００２８】
図４（ａ）は、大型基準プレート７４を液滴吐出ヘッド３４のノズル側から見た斜視図、図４（ｂ）は１個の液滴吐出ヘッド３４の拡大図（図４（ａ）の符号Ｈの円内の拡大図）である。これらの図に示すように、１枚の小型基準プレート７３に対して１個の液滴吐出ヘッド３４が固定され、１枚の大型基準プレート７４に対してヘッドの個数分の小型基準プレート７３が固定されている。本実施形態の場合、複数個の液滴吐出ヘッド３４は複数個ずつ３列に配列されており、各列間で大型基準プレート７４の長手方向にずれた位置に配置されている。また、各液滴吐出ヘッド３４は、複数のノズル（吐出口、図４では図示せず）を有している。この構成により、このヘッドユニット７１は、大型基準プレート７４の長手方向、すなわち基板Ｓの搬送方向と直交する方向で例えば数ｍという長い寸法にわたって所定のピッチでインク滴を吐出可能となっている。そして、液滴吐出ヘッド３４の配列方向と直交する方向に基板Ｓを搬送しつつインク滴を吐出することで、基板Ｓの全面にわたって所望のパターン形状でＲのインクを描画することができる。また、図３における符号７６はインクタンクである。インクタンク７６はインクを貯留するものであり、配管（図示せず）を介してインクを液滴吐出ヘッド３４に供給するものとなっている。
【００２９】
液滴吐出ヘッド３４は、例えばピエゾ素子によって液室を圧縮してその圧力波で液体を吐出させるもので、上述したように、一列または複数列に配列された複数のノズルを有している。この液滴吐出ヘッド３４の構造の一例を説明すると、液滴吐出ヘッド３４は、図５（ａ）に示すように、例えばステンレス製のノズルプレート１２と振動板１３とを備え、両者を仕切部材（リザーバプレート）１４を介して接合したものである。ノズルプレート１２と振動板１３との間には、仕切部材１４によって複数の空間１５と液溜まり１６とが形成されている。各空間１５と液溜まり１６の内部はインクで満たされており、各空間１５と液溜まり１６とは供給口１７を介して連通したものとなっている。また、ノズルプレート１２には、空間１５からインクを噴射するためのノズル１８が形成されている。一方、振動板１３には、液溜まり１６にインクを供給するための孔１９が形成されている。
【００３０】
また、振動板１３の空間１５に対向する面と反対側の面上には、図５（ｂ）に示すように、圧電素子（ピエゾ素子）２０が接合されている。この圧電素子２０は、一対の電極２１の間に位置し、通電するとこれが外側に突出するようにして撓曲するよう構成されたものである。そして、このような構成のもとに圧電素子２０が接合されている振動板１３は、圧電素子２０と一体になって同時に外側へ撓曲するようになっており、これによって空間１５の容積が増大するようになっている。したがって、空間１５内に増大した容積分に相当するインクが、液溜まり１６から供給口１７を介して流入する。また、このような状態から圧電素子２０への通電を解除すると、圧電素子２０と振動板１３はともに元の形状に戻る。したがって、空間１５も元の容積に戻ることから、空間１５内部のインクの圧力が上昇し、ノズル１８から基板に向けてインクの液滴Ｌが吐出される。
なお、液滴吐出ヘッド２のインクジェット方式としては、前記の圧電素子２０を用いたピエゾジェットタイプ以外の方式でもよく、例えば、エネルギー発生素子として電気熱変換体を用いた方式を採用してもよい。
【００３１】
図３に示すように、ヘッドユニット７１の長手方向の側方には、吸引・クリーニング部８０が設けられている。吸引・クリーニング部８０は、各液滴吐出ヘッド３４の詰まり等による吐出不良を防止すべく所定の頻度で各液滴吐出ヘッド３４の吸引・クリーニング作業を行うためのものである。具体的な構成としては、吸引・クリーニング部８０には、吸引時に各液滴吐出ヘッド３４のノズルを塞ぐためのキャッピングユニット８１や、ノズルとその周囲を拭うためのワイパー８２が備えられている。また、ヘッドユニット７１の下流側には、描画後の基板Ｓの描画状態、すなわち所定の位置にインク滴が確実に吐出されているか否かを検査する検査部６４が設けられている。検査部８５は、例えばＣＣＤ等を用いたラインセンサにより構成されている。
【００３２】
さらに本実施形態の場合、検査部８５により所定の位置にインクが吐出されていない不良箇所が発見された時にその箇所にのみ再度インクを吐出して不良箇所を補修するための補修用ヘッド８６がヘッドユニット７１の上流側に設置されている。補修用ヘッド８６がヘッドユニット７１の上流側に位置しているため、補修時のみはステージ７０が逆方向（図３における左側から右側）に移動するようになっている。補修用ヘッド８６は１個の液滴吐出ヘッド３４のみを有しており、基板Ｓの搬送方向と直交する方向に移動可能となっている。もしくは、補修用ヘッド８６はヘッドユニット７１の下流側に位置していてもよく、その場合にはステージ７０が逆方向に移動する必要はない。また、検査部８５の下流側には、例えばレーザー乾燥方式による仮焼成部６５が設けられている。仮焼成部の焼成条件は、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色によってそれぞれ最適化される。
【００３３】
以上、液滴吐出装置の構成をＲ着色層形成装置３の例を挙げて説明したが、カラーフィルター製造装置１の初段にあるインク受容層形成装置２のみは、表面改質部６２の上流側に洗浄部９０を備えている。インク受容層形成装置２には隔壁が形成された基板Ｓが供給されるが、この洗浄部９０において、基板Ｓの表面改質を行う前にウェット洗浄、オゾン洗浄等の方法により基板Ｓを洗浄し、清浄になった基板Ｓを表面改質部６２に供給する構成となっている。この構成により、基板Ｓに付着した異物等に起因する描画不良の発生が抑えられ、歩留りを向上することができる。
【００３４】
次に、本実施形態のカラーフィルター製造装置１を用いたカラーフィルターの製造方法の一例を説明する。上記カラーフィルター製造装置１を用いたカラーフィルターの製造方法は、図６に示すように、生産性を高める観点から長方形状の基板Ｓ上に、複数個のカラーフィルター領域５１をマトリクス状に形成する際に適用することができる。これらのカラーフィルター領域５１は、後で基板Ｓを切断することにより、液晶表示装置に適合する個々のカラーフィルターとして用いることができる。なお、各カラーフィルター領域５１においては、図６に示したように、Ｒのインク、Ｇのインク、およびＢのインクをそれぞれ所定のパターン、本例では従来公知のストライプ型で形成して配置する。なお、この形成パターンとしては、ストライプ型のほかに、モザイク型やデルタ型あるいはスクウェアー型等としてもよい。
【００３５】
このようなカラーフィルター領域５１を形成するには、まず、図７（ａ）に示すように、透明の基板Ｓの一方の面に対し、ブラックマトリクス５２を形成する。このブラックマトリクス５２を形成する際には、光透過性のない樹脂（好ましくは黒色樹脂）を、スピンコート等の方法で所定の厚さ（例えば２μｍ程度）に塗布し、フォトリソグラフィー技術を用いてパターニングする。このブラックマトリクス５２の格子で囲まれる最小の表示要素、すなわちフィルターエレメント５３については、例えばＸ軸方向の幅を３０μｍ、Ｙ軸方向の長さを１００μｍ程度とする。このブラックマトリクスは充分な高さを有しており、インク吐出時の隔壁として機能する。
【００３６】
次に、図７（ｂ）に示すように、本実施形態のカラーフィルター製造装置１におけるインク受容層形成装置２の液滴吐出ヘッド３４からインク受容層となる樹脂組成物を含有するインク滴５４（液状体）を吐出し、これを基板Ｓ上に着弾させる。吐出するインク滴５４の量については、加熱工程におけるインクの体積減少を考慮した十分な量とする。次いで、インク受容層形成装置２の焼成部においてインク滴の焼成を行い、図７（ｃ）に示すようなインク受容層６０とする。
【００３７】
次に、図７（ｄ）に示すように、Ｒ着色層形成装置３の液滴吐出ヘッド３４からＲのインク滴５４Ｒ（液状体）を吐出し、これを基板Ｓ上に着弾させる。吐出するインク滴５４Ｒの量については、加熱工程におけるインクの体積減少を考慮した十分な量とする。次いで、Ｒ着色層形成装置３の仮焼成部６５においてインクの仮焼成を行い、図７（ｅ）に示すようなＲ着色層３４Ｒとする。以上の工程を、Ｇ着色層形成装置４、Ｂ着色層形成装置５においても繰り返し、図７（ｆ）に示すように、Ｇ着色層３４Ｇ、Ｂ着色層３４Ｂを順次形成する。Ｒ着色層３４Ｒ、Ｇ着色層３４Ｇ、Ｂ着色層３４Ｂを全て形成した後、本焼成装置６においてこれら着色層３４Ｒ，３４Ｇ，３４Ｂを一括して焼成する。
【００３８】
次いで、基板Ｓを平坦化し、かつ着色層３４Ｒ，３４Ｇ，３４Ｂを保護するため、図７（ｇ）に示すように各着色層３４Ｒ，３４Ｇ，３４Ｂやブラックマトリクス５２を覆うオーバーコート膜（保護膜）５６を形成する。このオーバーコート膜５６の形成にあたっては、スピンコート法、ロールコート法、リッピング法等の方法を採用することもできるが、着色層３４Ｒ，３４Ｇ，３４Ｂの場合と同様に液滴吐出装置を用いることもできる。
【００３９】
本実施形態のカラーフィルター製造装置１を構成する液滴吐出装置７２は、給材部６１と除材部６６とを結ぶ直線状の基板搬送ラインの途中に描画部６３を備え、複数の液滴吐出ヘッド３４の配列方向と交差する方向に、基板Ｓを移動させつつ液滴吐出ヘッド３４からインクを吐出することで所望形状のパターンを形成するものである。つまり、描画前の基板Ｓを描画部６３の一端から供給し、描画後の基板Ｓを描画部６３の他端から排出する構成であるから、基板Ｓを描画部６３内に連続的に流すことができ、一方向のみの搬送中に複数の液滴吐出ヘッド３４を用いて一気に描画を行うことができる。そのため、基板Ｓを搬送ラインから着色装置内に１枚ずつ引き込む従来の装置に比べて、１枚の基板を処理するのに必要なタクトタイムを短縮でき、生産性に優れた装置を実現することができる。また、給材部６１、描画部６３、および除材部６６が直線状に配列されているため、搬送ラインの側方に着色装置が配置された従来の装置に比べて装置の占有スペースを縮小することができる。さらに、従来装置のような被処理基材の搬送方向を変える機能を持つ搬送装置が不要となるので、装置構成を簡略化することができる。
【００４０】
また、各液滴吐出装置７２に表面改質部６２が設けられているので、インクを吐出する前に基板表面に親液処理や撥液処理を施すことができ、基板上の所望の領域にインクを確実に吐出することができる。したがって、所望の領域以外の領域にインクが塗布されたり、所望の領域内にインクが濡れ広がらない等の描画不良の発生が抑えられ、歩留りを向上することができる。また、描画部６３の下流側に仮焼成部６５が設けられているので、描画後に基板上に吐出されたインクを仮焼成することができる。これにより、次工程で異なる種類のインクを吐出する際のインク同士の混在を防止することができる。さらに、カラーフィルター製造装置１の最下流側に本焼成装置６が設けられているので、Ｒ、Ｇ、Ｂのインクを一括して本焼成することができる。この構成により、仮焼成、本焼成の加熱条件をそれぞれ最適化することでＲ、Ｇ、Ｂの各着色層個別の特性に合わせた焼成が可能となり、品質の良いカラーフィルターが得られる。また、描画状態を検査する検査部６４が設けられているので、描画不良の有無を判定し、インクが吐出された基板の良／不良を選別することができる。場合によっては、不良の基板を修復作業に回すこともできる。
【００４１】
次に、上記カラーフィルターを備えた液晶装置（電気光学装置）の一実施形態を示す。図８はパッシブマトリクス型の液晶装置を示す図であり、図８中の符号３０は液晶装置である。この液晶装置３０は透過型のもので、一対のガラス基板３１、３２の間にＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶等からなる液晶層３３が挟持されてなるものである。
一方のガラス基板３１には、その内面に上記カラーフィルター５５が形成されている。カラーフィルター５５は、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色からなる着色層３４Ｒ、３４Ｇ、３４Ｂが規則的に配列されて構成されたものである。なお、これらの色素層３４Ｒ（３４Ｇ、３４Ｂ）間には、ブラックマトリクス５２が形成されている。そして、これらカラーフィルター５５およびブラックマトリクス５２の上には、カラーフィルター５５やブラックマトリクス５２によって形成される段差をなくしてこれを平坦化するため、オーバーコート膜（保護膜）５６が形成されている。オーバーコート膜５６の上には複数の電極３７がストライプ状に形成され、さらにその上には配向膜３８が形成されている。
【００４２】
他方のガラス基板３２には、その内面に、カラーフィルター５５側の電極と直交するようにして、複数の電極３９がストライプ状に形成されており、これら電極３９上には、配向膜４０が形成されている。なお、前記カラーフィルター５５の各着色層３４Ｒ、３４Ｇ、３４Ｂは、それぞれ各ガラス基板３２上の電極３９、３７の交差する位置に配置されている。また、電極３７、３９は、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの透明導電材料によって形成されている。さらに、ガラス基板３２とカラーフィルター５５の外面側にはそれぞれ偏光板（図示せず）が設けられ、ガラス基板３１、３２間にはこれら基板３１、３２間の間隔（セルギャップ）を一定に保持するためスペーサ４１が設けられている。さらに、これらガラス基板３１、３２間には液晶３３を封入するためのシール材４２が設けられている。
【００４３】
本実施形態の液晶装置３０では、上記カラーフィルター製造装置１を用いて製造されるカラーフィルター５５を適用しているため、安価で品質の良いカラー液晶表示装置を実現することができる。
【００４４】
次に、上記液晶装置からなる表示手段を備えた電子機器の具体例について説明する。
図９は、液晶テレビジョンの一例を示した斜視図である。図９において、符号５００は液晶テレビジョン本体を示し、符号５０１は上記実施形態の液晶装置を備えた液晶表示部を示している。このように、図９に示す電子機器は、上記実施形態の液晶装置を備えたものであるから、安価で表示品位に優れたカラー液晶表示を有する電子機器を実現することができる。
【００４５】
なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。例えば上記実施形態のカラーフィルター製造装置の細部の具体的な構成等に関しては適宜変更が可能である。また、上記実施形態では本発明の液滴吐出装置をカラーフィルターの製造に応用する例を挙げたが、カラーフィルターのみならず、有機ＥＬ素子等のデバイス形成技術、あるいは各種配線形成技術に適用することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の一実施形態のカラーフィルター製造装置の概略構成図。
【図２】 同、カラーフィルター製造装置の液滴吐出装置を示す斜視図。
【図３】 同、液滴吐出装置の描画部を示す斜視図。
【図４】 液滴吐出ヘッドの配置を示す斜視図。
【図５】 液滴吐出ヘッドの内部構成を示す斜視図。
【図６】 カラーフィルター形成用基板を示す斜視図。
【図７】 カラーフィルターの製造方法を順を追って示す工程断面図。
【図８】 本発明の一実施形態の液晶装置の断面図。
【図９】 本発明の電子機器の一実施形態の液晶テレビジョンの斜視図。
【符号の説明】
１…カラーフィルター製造装置、２…インク受容層形成装置、３…Ｒ着色層形成装置、４…Ｇ着色層形成装置、５…Ｂ着色層形成装置、６…本焼成装置（加熱装置）、３４…液滴吐出ヘッド、６１…給材部、６２…表面改質部、６３…描画部、６４…検査部、６５…仮焼成部（加熱部）、６６…除材部、７２…液滴吐出装置、Ｓ…基板（非処理基材）

Claims (7)

1. 被処理基材上にパターン形成用材料を含有する液状体を吐出することにより所望形状のパターンを形成する液滴吐出装置であって、
   ヘッドユニットを備えた描画部と、描画前の被処理基材を前記描画部に向けて供給する給材部と、描画後の被処理基材を前記描画部から排出する除材部とを備え、
   前記給材部、前記描画部、および前記除材部が一方向に沿って配列されており、
   前記ヘッドユニットは、前記一方向と交差する方向に配列された複数の液滴吐出ヘッドを備え、
   前記複数の液滴吐出ヘッドから前記液状体を吐出させる際に、前記ヘッドユニットは、前記一方向と交差する方向に前記被処理基材に対して架設された状態で固定されて配置され、
   前記被処理基材を、前記給材部側から前記除材部側に向けて前記一方向のみに搬送する間に、前記被処理基材上に前記所望パターンを形成する、液滴吐出装置。
2. 前記ヘッドユニットにおいて、前記複数の液滴吐出ヘッドは、前記一方向に並ぶ列が複数設けられており、各列間で前記一方向と交差する方向にずれた位置に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
3. 前記描画部は前記被処理基板を前記一方向の上流側及び下流側へ搬送可能なステージを備え、
   前記ヘッドユニットの上流側に、前記被処理基板の不良箇所を補修する補修用ヘッドが設けられたことを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出装置。
4. 前記描画部と前記除材部との間に、描画後の前記被処理基材上の描画状態を検査する検査部が設けられ、
   前記補修用ヘッドは前記液滴吐出ヘッドに対して前記一方向の上流側に配置されたことを特徴とする請求項３に記載の液滴吐出装置。
5. 前記液滴吐出ヘッドの各々は小型基準プレートに固定され、該小型基準プレートは１枚の大型基準プレートに対して前記液滴吐出ヘッドの個数分が固定されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
6. 異なる色の着色層を備えたカラーフィルターを製造するカラーフィルター製造装置であって、
   請求項１ないし５のいずれか一項に記載の液滴吐出装置が複数備えられ、各液滴吐出装置で用いる前記液状体がそれぞれ異なる色の色素を含み、各液滴吐出装置が異なる色の着色層をそれぞれ形成することを特徴とするカラーフィルター製造装置。
7. 前記複数の液滴吐出装置の後段に、各液滴吐出装置により形成された異なる色の着色層を一括して加熱する加熱装置が備えられたことを特徴とする請求項６に記載のカラーフィルター製造装置。

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