JP2005224725A - 液滴吐出装置、液滴吐出装置の整備方法、電気光学装置および電子機器 - Google Patents
液滴吐出装置、液滴吐出装置の整備方法、電気光学装置および電子機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005224725A JP2005224725A JP2004037268A JP2004037268A JP2005224725A JP 2005224725 A JP2005224725 A JP 2005224725A JP 2004037268 A JP2004037268 A JP 2004037268A JP 2004037268 A JP2004037268 A JP 2004037268A JP 2005224725 A JP2005224725 A JP 2005224725A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- droplet discharge
- head
- wiping
- unit
- ink
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Ink Jet (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Abstract
【課題】 効率的なワイピングが可能な液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】 ワイプユニット90は、複数の液滴吐出ヘッド34a,34b,34cに対応する複数の小ローラ94a,94b,94cと、各小ローラの表面に配置されたワイピングシート92とを備え、各小ローラは、対応する液滴吐出ヘッドの液滴吐出面に向かって進退自在に形成されている構成とした。
【選択図】 図8
【解決手段】 ワイプユニット90は、複数の液滴吐出ヘッド34a,34b,34cに対応する複数の小ローラ94a,94b,94cと、各小ローラの表面に配置されたワイピングシート92とを備え、各小ローラは、対応する液滴吐出ヘッドの液滴吐出面に向かって進退自在に形成されている構成とした。
【選択図】 図8
Description
本発明は、液滴吐出装置、液滴吐出装置の整備方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。
近年、コンピュータディスプレイや大型テレビジョン等の電子機器の発達に伴い、液晶表示装置、特にカラー液晶表示装置の使用が増加している。この種の液晶表示装置には、通常、表示画像をカラー化するためにカラーフィルタが用いられている。カラーフィルタには、例えばガラス基板に対してR(赤)、G(緑)、B(青)のインクを所定のパターンで吐出させ、このインクを基板上で乾燥させることで着色層を形成するものがある。このような基板に対してインクを吐出する方式として、例えばインクジェット方式の描画装置(液滴吐出装置)が採用されている。
液滴吐出装置を採用した場合、インクジェットヘッドからガラス基板に対して所定量のインクを吐出して着弾させる。この場合、直交する2方向(X方向、Y方向)のうち、例えばX方向にインクジェットヘッドを移動可能とし、Y方向に移動可能とされたテーブルにガラス基板を搭載するタイプの装置を用いることができる。このタイプの装置は、インクジェットヘッドおよび/またはテーブルの移動により両者を相対的に位置決めした後、インクジェットヘッドおよび/またはテーブルを走査しながらガラス基板に対してインクを吐出することで、ガラス基板全体の所定の位置にインクを着弾させる構成となっている。
上述したインクジェットヘッドは、所定量の液滴を所定位置に正確に吐出するものであり、定期的にまたは随時に整備を行う必要がある。具体的には、インクジェットヘッドのキャッピングやノズルの吸引、インク吐出面のワイピングなどを行う必要がある。そこで液滴吐出装置は、キャッピングユニットやクリーニングユニット(ワイプユニット)などを備えている(例えば、特許文献1参照)。
図18は、従来のワイプユニットの説明図であり、図18(a)は平面図であり、図18(b)は側面断面図である。図18に示す液滴吐出装置のヘッドユニット571は、複数の液滴吐出ヘッド(以下、単にヘッドと呼ぶ)534がヘッドキャリッジ573に搭載されて構成されている。また、ワイプユニット590は、複数のローラ間にワイピングシート592を掛け渡して構成されている。この液滴吐出装置においてヘッド534のワイピングを行うには、まず図18(b)に示すようにヘッドキャリッジ573を移動させて、ヘッド534の液滴吐出面をワイピングシート592に当接させる。次に、ローラを駆動してワイピングシート592を巻き取ることにより、ヘッド534の液滴吐出面をワイピングする。これにより、液滴吐出面に付着していたインク等をワイピングシート592により拭き取ることができる。
特開平11−248926号公報
近年では、30〜60インチといった大型の液晶テレビジョンが市場に提供されつつある。これに適応するような大型のカラーフィルタを製造するため、ガラス基板の搬送方向と直交する方向に複数のヘッドが配列されたヘッドユニットを備える液滴吐出装置が開発されている。このような液滴吐出装置を用いれば、大型のガラス基板の搬送中に、ガラス基板の全面に対して一気にインクの吐出を行うことができる。これにより、1枚のガラス基板を処理するのに必要なタクトタイムを短縮することができる。
しかしながら、複数のヘッドが配列された大型のヘッドユニットでは、異常と判断された一のヘッドのワイピングを行う場合に、隣接する他のヘッドも同時にワイピングされてしまう。これにより、ワイピングの効率が低下するとともに、ワイピングシートや洗浄液の消費量が多くなるという問題がある。なお、正常と判断されたヘッドをワイピングすることにより、ヘッドの故障を誘発するおそれもある。
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであって、効率的なワイピングが可能な、液滴吐出装置およびその整備方法の提供を目的とする。
また、低コストの電気光学装置および電子機器の提供を目的とする。
また、低コストの電気光学装置および電子機器の提供を目的とする。
上記目的を達成するため、本発明の液滴吐出装置は、複数の液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置であって、前記各液滴吐出ヘッドを個別にワイピング可能なワイピング手段を備えていることを特徴とする。
この構成によれば、異常と判断された液滴吐出ヘッドのみを個別にワイピングすることが可能になり、効率的なワイピングを行うことができる。この場合、正常な液滴吐出ヘッドをワイピングしないので、故障の誘発を防止することができる。
この構成によれば、異常と判断された液滴吐出ヘッドのみを個別にワイピングすることが可能になり、効率的なワイピングを行うことができる。この場合、正常な液滴吐出ヘッドをワイピングしないので、故障の誘発を防止することができる。
また、前記ワイピング手段は、前記各液滴吐出ヘッドに対して個別にワイピングシートを当接可能に形成されていることが望ましい。
この構成によれば、異常と判断された液滴吐出ヘッドのみをワイピングシートによりワイピングするので、ワイピングシートの消費量を低減することができる。
この構成によれば、異常と判断された液滴吐出ヘッドのみをワイピングシートによりワイピングするので、ワイピングシートの消費量を低減することができる。
また、前記ワイピング手段は、前記各液滴吐出ヘッドに対応する複数の小ローラと、前記各小ローラの表面に配置されたワイピングシートとを備え、前記各小ローラは、対応する前記液滴吐出ヘッドに向かって進退自在に形成されていることが望ましい。
この構成によれば、各液滴吐出ヘッドの前記液滴吐出面に対して個別にワイピングシートを当接させることができる。
この構成によれば、各液滴吐出ヘッドの前記液滴吐出面に対して個別にワイピングシートを当接させることができる。
また、前記各小ローラの表面に、一の前記ワイピングシートが配置されていることが望ましい。
この構成によれば、ワイピングシートの変形により各液滴吐出ヘッドに対して個別にワイピングシートを当接させることができる。また、一のワイピングシートのみを使用するので、ワイピングシートの交換等の取り扱いが容易になる。
この構成によれば、ワイピングシートの変形により各液滴吐出ヘッドに対して個別にワイピングシートを当接させることができる。また、一のワイピングシートのみを使用するので、ワイピングシートの交換等の取り扱いが容易になる。
また、前記ワイピング手段は、前記ワイピングシートにおける前記各液滴吐出ヘッドとの当接領域に対して選択的に、前記液滴吐出ヘッドの洗浄液を塗布しうるように形成されていることを特徴とする。
この構成によれば、異常と判断された液滴吐出ヘッドとの当接領域のみに洗浄液を塗布することができるので、洗浄液の消費量を低減することができる。
この構成によれば、異常と判断された液滴吐出ヘッドとの当接領域のみに洗浄液を塗布することができるので、洗浄液の消費量を低減することができる。
一方、本発明の液滴吐出装置の整備方法は、複数の液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置の整備方法であって、異常と判断された前記液滴吐出ヘッドのみを個別にワイピングすることを特徴とする。
この構成によれば、効率的なワイピングを行うことが可能になる。また、正常な液滴吐出ヘッドにおける故障の誘発を防止することができる。
この構成によれば、効率的なワイピングを行うことが可能になる。また、正常な液滴吐出ヘッドにおける故障の誘発を防止することができる。
また、前記ワイピングは、前記液滴吐出ヘッドの前記液滴吐出面に対して個別にワイピングシートを当接させることによって行うことが望ましい。
この構成によれば、ワイピングシートの消費量を低減することができる。
この構成によれば、ワイピングシートの消費量を低減することができる。
また、前記ワイピングは、前記ワイピングシートにおける前記各液滴吐出ヘッドとの当接領域に対して選択的に、前記液滴吐出ヘッドの洗浄液を塗布することによって行うことが望ましい。
この構成によれば、洗浄液の消費量を低減することができる。
この構成によれば、洗浄液の消費量を低減することができる。
一方、本発明の電気光学装置は、上述した液滴吐出装置を使用して製造したことを特徴とする。
この構成によれば、効率的にワイピングされた液滴吐出装置を使用して製造されるので、低コストの電気光学装置を提供することができる。
この構成によれば、効率的にワイピングされた液滴吐出装置を使用して製造されるので、低コストの電気光学装置を提供することができる。
一方、本発明の電子機器は、上述した電気光学装置を備えたことを特徴とする。
この構成によれば、低コストの電子機器を提供することができる。
この構成によれば、低コストの電子機器を提供することができる。
以下、本発明に係る液状体の塗布方法およびその装置の実施形態につき、図面を参照して説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
[第1実施形態]
最初に、本発明の第1実施形態につき、図1ないし図8を用いて説明する。
[第1実施形態]
最初に、本発明の第1実施形態につき、図1ないし図8を用いて説明する。
[カラーフィルタ製造装置]
図1は本実施形態のカラーフィルタ製造装置の概略構成図であり、R、G、Bの3色の着色層を備えたカラーフィルタを製造するための装置である。
本実施形態のカラーフィルタ製造装置1は、図1に示すように、上流側からインク受容層形成装置2、R着色層形成装置3、G着色層形成装置4、B着色層形成装置5、本焼成装置6(加熱装置)が配置され、これらの装置が任意の搬送装置(図示略)を介して連結されたものである。このカラーフィルタ製造装置1には、R、G、Bの各着色層のパターンを区画する隔壁(バンクとも言う)が形成されたガラス、プラスチック等からなる透明基板(基板)が供給される。インク受容層形成装置2は、隔壁で区画された領域内に樹脂組成物からなるインク受容層を下地層として形成するための装置である。R着色層形成装置3、G着色層形成装置4、B着色層形成装置5は、それぞれ後で着色層となるR、G、Bのインクからなる液状体を塗布するための装置である。本焼成装置6は、塗布後のR、G、Bのインクからなる液状体を一括して加熱、焼成するための装置である。
図1は本実施形態のカラーフィルタ製造装置の概略構成図であり、R、G、Bの3色の着色層を備えたカラーフィルタを製造するための装置である。
本実施形態のカラーフィルタ製造装置1は、図1に示すように、上流側からインク受容層形成装置2、R着色層形成装置3、G着色層形成装置4、B着色層形成装置5、本焼成装置6(加熱装置)が配置され、これらの装置が任意の搬送装置(図示略)を介して連結されたものである。このカラーフィルタ製造装置1には、R、G、Bの各着色層のパターンを区画する隔壁(バンクとも言う)が形成されたガラス、プラスチック等からなる透明基板(基板)が供給される。インク受容層形成装置2は、隔壁で区画された領域内に樹脂組成物からなるインク受容層を下地層として形成するための装置である。R着色層形成装置3、G着色層形成装置4、B着色層形成装置5は、それぞれ後で着色層となるR、G、Bのインクからなる液状体を塗布するための装置である。本焼成装置6は、塗布後のR、G、Bのインクからなる液状体を一括して加熱、焼成するための装置である。
ここでは、R着色層形成装置3を一例として説明する。R着色層形成装置3には、上流側から下流側(図1における右側から左側)に向けて、給材部61、表面改質部62、描画部63、検査部64、仮焼成部65、除材部66が備えられている。大まかな処理の流れとしては、給材部61から供給された描画前の基板に対し、表面改質部62において親液処理、撥液処理が施され、描画部63において隔壁で区画された所定の領域にRのインクが吐出、描画される。次いで、検査部64において描画状態が検査され、仮焼成部65でインクの仮焼成が施された後、描画後の基板が除材部66により排出される。本装置において、これら各部は基板の流れ方向に沿って直線状に配置されている。
[液滴吐出装置]
図2は、描画部63の近傍のみを示す概略構成斜視図である。描画部63においては、基板Sに対して描画を行う液滴吐出装置72が設置されている。液滴吐出装置72は、基板Sに対して液滴(液状体)を吐出することで描画を行う描画装置(液滴吐出装置本体)Bと、描画装置の+Y側に接続される整備ユニット80と、描画装置Bと整備ユニット80との間で後述する液滴吐出ヘッド34を駆動させる(駆動処理する)駆動ユニット172とを主体として構成されている。
図2は、描画部63の近傍のみを示す概略構成斜視図である。描画部63においては、基板Sに対して描画を行う液滴吐出装置72が設置されている。液滴吐出装置72は、基板Sに対して液滴(液状体)を吐出することで描画を行う描画装置(液滴吐出装置本体)Bと、描画装置の+Y側に接続される整備ユニット80と、描画装置Bと整備ユニット80との間で後述する液滴吐出ヘッド34を駆動させる(駆動処理する)駆動ユニット172とを主体として構成されている。
図3は、図2の左側面図である。図3に示すように、描画装置Bは、搬送方向であるX方向に移動可能なベース150と、ベース150上に載置され描画対象となる基板Sを吸着保持するテーブル70と、下面側に複数個の液滴吐出ヘッドを備え、各液滴吐出ヘッドのノズルから下方の基板Sに対してインク滴(液滴)を吐出するY方向(基板Sの搬送方向と垂直方向)に延びるヘッドユニット71とから概略構成されている。ベース150上には、テーブル70をθZ方向(Z軸周りの方向)に駆動するθ駆動装置151と、テーブル70の+X側に位置し液滴吐出ヘッドから予備吐出(フラッシング)が行われるフラッシングユニット152とが設けられている。これら描画装置Bは、基台170上に一体化された状態で設置される。
図4は、ヘッドユニット71の底面図である。ヘッドユニット71は、相互に独立して移動するY方向に配列された複数(例えば7枚)のキャリッジ153を備えている。各キャリッジ153は、X方向に延びる矩形のプレート74と、それぞれが複数(所定個数;ここでは12個)の液滴吐出ヘッド34を保持(支持)するヘッドキャリッジ(サブキャリッジ)73と、ヘッドキャリッジ73をプレート74に対してθZ方向に駆動するθ駆動装置154(図3参照)と、ヘッドキャリッジ73をZ方向に昇降させる昇降装置155(図3参照)とから構成されており、ヘッドキャリッジ153はθ駆動装置154及び昇降装置155を介してプレート74に着脱自在に取り付けられている。
各液滴吐出ヘッド34には、複数の液滴吐出ノズル(以下、単にノズルと呼ぶ)が配列形成されている。なお、そのノズル列の配列方向をY方向に一致させて、各ヘッド34がヘッドキャリッジ73に固定されている。また、各ヘッド34は、Y方向に順次ずれた状態で階段状に配置されている。これにより、ヘッドユニット71の全幅にわたって等ピッチでノズルが配置されている。この構成により、ヘッドユニット71は、基板Sの搬送方向と垂直方向に例えば数mにわたって、所定のピッチでインク滴を吐出可能となっている。そして、ヘッド34の配列方向と直交する方向に基板Sを搬送しつつインク滴を吐出することで、基板Sの全面にわたって所望のパターン形状でRのインクを描画することができる。
一方、図3に示す駆動ユニット172は、整備ユニット80を挟んだX方向両側に、Y方向に延在するように平行に配置された架台156に設けられたガイドレール157と、各プレート74(すなわちキャリッジ153)をガイドレール157に沿って駆動するシャフト型リニアモータ158とを主体に構成されており、各架台156上には、液滴吐出ヘッド34に接続されるインクケーブルやリニアモータ158(の可動子)に接続される電力供給線等を収容するためのケース171がY方向に沿って設置されている。
プレート74のX方向両側にはリニアガイド75、75が設けられており、ガイドレール157に沿ってY方向に移動自在となっている。リニアモータ158は、各プレート74の両側に設けられた円筒状の可動子159と、描画装置Bと整備ユニット80とに亙ってY方向に沿って配置され各プレート74の可動子159がそれぞれ挿通する固定子160とから構成される。本実施の形態では、可動子159がコイル体で構成され、固定子160が発磁体で構成されるムービングコイル型のリニアモータ158が用いられ、各可動子159に通電する電流を調整することにより、各キャリッジ153の位置を独立して制御できる。
図3に示す描画装置Bにおいて描画を行うには、まず描画部のアライメント調整を行う必要がある。そのアライメント調整を行うために、まず各ヘッドの各ノズルから描画前フラッシング(液滴の予備吐出)を行う。この描画前フラッシングは、基板Sを載置したテーブル70を移動させる前に、基板S上の液滴吐出領域に対して行う。次に、基板S上に吐出された液滴をCCD78により撮影し、吐出位置および吐出径を算出する。そして、この吐出位置の算出結果に基づいて、描画部のアライメント調整を行う。まずX方向のアライメントは、各ノズルの液滴吐出タイミングを調整することによって行う。またY方向のアライメントは、リニアガイド75により各プレート74の位置を調整することによって行う。ここで本実施形態のヘッドユニット71では、複数のヘッドがグループごとに異なるヘッドキャリッジ73に装着されているので、描画部のアライメント調整を簡単に行うことができる。なお、アライメント以外の描画前フラッシングや描画間フラッシングは、フラッシングユニット152に対して行われる。
また、使用不可能となったヘッドを交換する場合には、ヘッドキャリッジ73単位で交換すればよい。具体的には、あらかじめ各ヘッドが精度良く配置されたヘッドキャリッジ73を補修用として準備しておく。そして、使用不可能となったヘッドをヘッドキャリッジ73ごとプレート74から取り外す。その際、ヘッドキャリッジ73を図2に示す整備ユニット80に移動させ、キャップキャリッジを下降させて作業エリアを確保した上で、ヘッドキャリッジ73を取り外す。そして図4に示すように、あらかじめ準備しておいたヘッドキャリッジ73をプレート74に取付ける。この作業はロボットにより行ってもよいが、ヘッドキャリッジ73単位であれば人手により行うことも可能である。その後、上記と同様に描画部のアライメントを行えばよい。このように本実施形態のヘッドユニットでは、複数のヘッドがグループごとに異なるヘッドキャリッジに装着されているので、使用不可能となったヘッド34を簡単に交換することができる。
[液滴吐出ヘッド]
図5(a)は液滴吐出ヘッドの構造説明図、図5(b)は正面断面図である。ヘッド34は、例えばピエゾ素子によって液室を圧縮してその圧力波で液体を吐出させるもので、上述したように、一列または複数列に配列された複数のノズル18を有している。このヘッド34の構造の一例を説明すると、ヘッド34は、図5(a)に示すように、例えばステンレス製のノズルプレート12と振動板13とを備え、両者を仕切部材(リザーバプレート)14を介して接合したものである。ノズルプレート12と振動板13との間には、仕切部材14によって複数の空間15と液溜まり16とが形成されている。各空間15と液溜まり16の内部はインクで満たされており、各空間15と液溜まり16とは供給口17を介して連通したものとなっている。また、ノズルプレート12には、空間15からインクを噴射するためのノズル18が形成されている。一方、振動板13には、液溜まり16にインクを供給するための孔19が形成されている。
図5(a)は液滴吐出ヘッドの構造説明図、図5(b)は正面断面図である。ヘッド34は、例えばピエゾ素子によって液室を圧縮してその圧力波で液体を吐出させるもので、上述したように、一列または複数列に配列された複数のノズル18を有している。このヘッド34の構造の一例を説明すると、ヘッド34は、図5(a)に示すように、例えばステンレス製のノズルプレート12と振動板13とを備え、両者を仕切部材(リザーバプレート)14を介して接合したものである。ノズルプレート12と振動板13との間には、仕切部材14によって複数の空間15と液溜まり16とが形成されている。各空間15と液溜まり16の内部はインクで満たされており、各空間15と液溜まり16とは供給口17を介して連通したものとなっている。また、ノズルプレート12には、空間15からインクを噴射するためのノズル18が形成されている。一方、振動板13には、液溜まり16にインクを供給するための孔19が形成されている。
また、振動板13の空間15に対向する面と反対側の面上には、図5(b)に示すように、圧電素子(ピエゾ素子)20が接合されている。この圧電素子20は、圧電材料を一対の電極21で挟持したものであり、一対の電極21に通電すると圧電材料が収縮するよう構成されたものである。そして、このような構成のもとに圧電素子20が接合されている振動板13は、圧電素子20と一体になって同時に外側へ撓曲するようになっており、これによって空間15の容積が増大するようになっている。したがって、空間15内に増大した容積分に相当するインクが、液溜まり16から供給口17を介して流入する。また、このような状態から圧電素子20への通電を解除すると、圧電素子20と振動板13はともに元の形状に戻る。したがって、空間15も元の容積に戻ることから、空間15内部のインクの圧力が上昇し、ノズル18から基板に向けてインクの液滴Lが吐出される。
なお、ヘッド34のインクジェット方式としては、前記の圧電素子20を用いたピエゾジェットタイプ以外の方式でもよく、例えば、エネルギー発生素子として電気熱変換体を用いた方式を採用してもよい。
[整備ユニット]
図2に示すように、ヘッドユニット71におけるプレート74の配列方向(Y方向)の延長線上には、整備ユニット80が設けられている。
図6は、整備ユニット80の平面図である。整備ユニット80には、各ヘッドのインク吐出面を覆うキャップユニット(キャッピング手段)81と、各ヘッドのインク吐出面を拭うワイプユニット(ワイピング手段)90とが、隣接して形成されている。
図2に示すように、ヘッドユニット71におけるプレート74の配列方向(Y方向)の延長線上には、整備ユニット80が設けられている。
図6は、整備ユニット80の平面図である。整備ユニット80には、各ヘッドのインク吐出面を覆うキャップユニット(キャッピング手段)81と、各ヘッドのインク吐出面を拭うワイプユニット(ワイピング手段)90とが、隣接して形成されている。
キャップユニット81は、前記ヘッドキャリッジに対応して、Y方向に整列配置された複数のキャップキャリッジ83を備えている。なお、各キャップキャリッジ83はZ方向(上下方向)に移動可能とされている。そして、各キャップキャリッジ83には、前記ヘッドに対応して、複数のキャップ82が階段状に配置されている。このキャップ82は、ヘッドのインク吐出面を覆うことにより、ヘッドにおけるノズル内のインクの乾燥を防止する保湿キャップとして機能するものである。
図7は、図6のC−C線における正面断面図である。図7に示すように、キャップ82は、その上面をヘッド34のインク吐出面12aに当接させて使用する。そのため、キャップ82の上面には凹部84が形成されている。この凹部84は、ヘッド34に形成されたすべてのノズル18を内包しうる大きさに形成されている。これにより、ヘッド34のノズル18とキャップ82の上面との接触が回避され、各ノズル18の開口部に形成されるインクのメニスカスが維持される。また、凹部84を取り囲むキャップ82の上面は面精度良く形成されている。これにより、ヘッド34のインク吐出面12aに形成された各ノズル18を密閉封止することができるようになっている。
なお、ワイプユニット90寄りのキャップキャリッジ83aに配置されたキャップは、ヘッド34におけるノズル内のインクを吸引可能な吸引キャップ82aとして機能するようになっている。吸引キャップ82aにおいては、凹部84から外部のポンプ86にかけて配管88が形成されている。そして、このポンプ86を運転することにより、凹部84内の空気が吸引されて、各ノズル18内のインクを吸引しうるようになっている。
一方、ワイプユニット90には、例えばポリエステルの織布等からなるワイピングシート92が配置されている。このワイピングシート92は、図3に示すように、ヘッドキャリッジ73に搭載されたヘッド群と同等以上の幅に形成されている。また図7に示すように、ワイプユニット80には、ワイピングシート92の繰り出しローラ93および巻き取りローラ96が配置されている。なお巻き取りローラ96は、図示しないモータ等により回転駆動されるようになっている。またワイプユニット81の上方には、ガイドローラ94が配置されている。なお、各ローラ93,94,96は平行に配置され、ワイピングシート92は繰り出しローラ93からガイドローラ94を介して巻き取りローラ96に巻き回されている。そして、ガイドローラ94の上端部に配置されたワイピングシート92が、ヘッド34のインク吐出面12aと当接するようになっている。
また、繰り出しローラ93とガイドローラ94との間には、ワイピングシート92に対する洗浄液塗布装置98が設けられている。この洗浄液塗布装置98は、ワイピングシート92の全幅にわたって洗浄液を塗布しうるように形成されている。なおワイプユニット90は、洗浄液の塗布されたワイピングシート92によってヘッド34のインク吐出面12aを拭うことにより、インク吐出面12aに付着したインク54aを除去するものである。そこで洗浄液として、インクとの親和性がよく、なおかつインク吐出面12aから揮発し易い物質を使用するのが望ましい。具体的には、ヘッド34により吐出されるインクの溶媒を洗浄液として使用することができる。
[描画装置の整備方法]
次に、上述した整備ユニットにおいて、ヘッドユニットを整備する方法につき、図7および図8を用いて説明する。
上述した描画前フラッシングでは、液滴の吐出位置に加えて吐出径を算出するので、各ヘッドにおけるノズル詰まりを検出することが可能である。また、描画状態の検査や定期フラッシング等においても、ノズル詰まりが検出される場合がある。そして、ノズル詰まりが検出された場合には、これを解消する必要がある。ノズル詰まりの解消は、当該ヘッドをキャッピングした上で、ノズルを吸引することによって行う。
次に、上述した整備ユニットにおいて、ヘッドユニットを整備する方法につき、図7および図8を用いて説明する。
上述した描画前フラッシングでは、液滴の吐出位置に加えて吐出径を算出するので、各ヘッドにおけるノズル詰まりを検出することが可能である。また、描画状態の検査や定期フラッシング等においても、ノズル詰まりが検出される場合がある。そして、ノズル詰まりが検出された場合には、これを解消する必要がある。ノズル詰まりの解消は、当該ヘッドをキャッピングした上で、ノズルを吸引することによって行う。
具体的には、図7の中央に示すように、ノズル詰まりが検出されたヘッド34を、吸引キャップ82aの上方まで移動させる。なお上述したように、各ヘッドキャリッジ73は、独立してY方向に移動させることが可能である。このとき吸引対象となるヘッド34よりも整備ユニット80側に他のヘッド(キャリッジ153)が存在する場合はこれらのキャリッジ153も一体的に移動させる。次に、吸引キャップ82aが搭載されたキャップキャリッジ83を上昇させ、吸引キャップ82aの上面をヘッド34のインク吐出面12aに当接させる。その際、ヘッド34のすべてのノズル18が、吸引キャップ82aの凹部84に内包されるように、あらかじめ両者を位置決めしておく。これにより、ヘッド34のすべてのノズル18が、吸引キャップ82aにより密閉封止される。
次に、吸引キャップ82aに接続されたポンプ86を運転する。このポンプ86により、各キャップ82における凹部84内の空気が吸引されて、ヘッド34のノズル18が吸引される。これにより、ヘッド34内のインクが各ノズル18に導入されて、ノズル詰まりが解消される。なお、ヘッド34のノズル18を吸引すると、ノズル18から若干のインクが凹部84内に漏れ出すことになる。この漏れ出したインクは、ポンプ86により図示しない廃液タンクに回収して再利用する。このとき、吸引対象ではない他のヘッドについては、保湿キャップ82で密閉封止することにより、インク溶媒の蒸発を防いで増粘状態となることを回避する。
なお、ヘッド34のノズル18を吸引すると、ノズル18から漏れ出したインクがヘッド34のインク吐出面12aに付着することがある。そして、インク吐出面12aにおけるノズル18の開口部周辺にインク54aが付着した状態でヘッド34からインクを吐出すると、吐出されたインクの飛行曲がりが発生するおそれがある。そこで、ヘッド34のノズル18を吸引した後に、インク吐出面12aに付着したインク54aを除去するため、インク吐出面12aのワイピングを行う。
具体的には、図7の左側に示すように、吸引後のヘッド34をワイプユニット90の上方まで移動させる。次に、図示しないモータ等により巻き取りローラ96を回転させ、各ローラに沿ってワイピングシート92を移動させる。また、洗浄液塗布装置98からワイピングシート92に対して洗浄液を塗布する。そして、ワイプユニット90を上昇させ、ガイドローラ94の上端部に配置されたワイピングシート92をインク吐出面12aに押し当てる。すると、インク吐出面12aに付着したインクが、ワイピングシート92に塗布された洗浄液に溶解されつつ、ワイピングシート92に吸収される。また、ワイピングシート92をインク吐出面12aに当接させつつ移動させるので、常にフレッシュなワイピングシート92によりインク吐出面12aが払拭される。なお、ワイピングシート92と逆方向にヘッドキャリッジ73を移動させてもよい。以上により、インク吐出面12aに付着したインクが除去される。
ところで、図3に示すように、ヘッドキャリッジ73に搭載されたヘッド34を、ワイプユニット90によりY方向にワイピングする場合には、隣接するヘッド34が同時にワイピングされることになる。しかしながら、ノズル詰まりが検出されたヘッド以外の正常なヘッドをワイピングすると、ワイピングシートや洗浄液を無駄に消費することになる。また、正常なヘッドに何らかの故障を誘発させるおそれもある。したがって、ノズル詰まりが検出されたヘッドのみをワイピングすることが望まれる。
図8は、図7のD−D線における側面断面図である。図8に示すように、本実施形態の液滴吐出装置では、ワイプユニット90のガイドローラ94を、複数の小ローラ94a,94b,94cによって構成する。各小ローラ94a,94b,94cは、その幅がヘッド34の幅と同等に形成され、各ヘッド34a,34b,34cとX座標を一致させて配置されている。また、各小ローラ94a,94b,94cは、支持機構95により回転自在に支持され、なおかつ独立してZ方向に昇降可能に形成されている。そして、各小ローラ94a,94b,94cの表面には、共通のワイピングシート92が巻き回されている。
ここでは、ヘッド34bにノズル詰まりが検出された場合を例にして説明する。この場合、ヘッド34bに対応する小ローラ94bのみを上昇させる。これにより、小ローラ94bの表面に配置されたワイピングシート92が押し出されてヘッド34bの液滴吐出面に当接する。なお織布等で構成されたワイピングシート92は伸縮性を有するので、小ローラ94a,94cの表面に配置されたワイピングシート92はヘッド34a,34cの液滴吐出面に当接しない。この状態でワイピングシート92を巻き取ることにより、ノズル詰まりが検出されたヘッド34bのみをワイピングすることが可能になる。なお、複数のヘッドにノズル詰まりが検出された場合には、当該ヘッドに対応する小ローラをそれぞれ上昇させることにより、当該ヘッドのみをワイピングすることが可能になる。また、すべての小ローラを上昇させれば、すべてのヘッドをワイピングすることが可能である。
なお、図7に示す洗浄液塗布装置98は、前記各小ローラに対応して複数設けることが望ましい。この場合、各洗浄液塗布装置98は、小ローラの上昇に連動して洗浄液を吐出するように形成する。これにより、ワイピングシート92におけるヘッド34との当接領域に対して選択的に洗浄液を吐出することが可能になり、洗浄液の消費量を低減することができる。
以上に詳述したように、本実施形態の液滴吐出装置の整備方法では、異常と判断されたヘッドのみを個別にワイピングする構成とした。これにより、効率的なワイピングを行うことができる。また、ワイピングシートや洗浄液の消費量を低減することが可能になり、液滴吐出装置の整備コストを削減することができる。また、正常なヘッドをワイピングしないので、故障の誘発を防止することができる。
図9は、X方向にワイピングを行う場合の説明図である。以上には、ヘッドの液滴吐出面をY方向にワイピングする場合について述べたが、X方向にワイピングすることも可能である。この場合、キャップユニットの配列方向の側方にワイプユニット90を配置する。そして、各ヘッドのキャッピング終了後に、キャップキャリッジとともにワイプユニット90をX方向に移動させてワイピングを行う。
ところで、図9(a)に示すように、複数のヘッドキャリッジ73と同等の長さにワイプユニット90を形成した場合や、図9(b)に示すように、一つのヘッドキャリッジ73に複数列のヘッド34を配置した場合には、複数のヘッド34が同時にワイピングされることになる。この場合にも、第1実施形態と同様の構成を採用することにより、異常と判断されたヘッドのみを個別にワイピングすることができる。
ところで、図9(a)に示すように、複数のヘッドキャリッジ73と同等の長さにワイプユニット90を形成した場合や、図9(b)に示すように、一つのヘッドキャリッジ73に複数列のヘッド34を配置した場合には、複数のヘッド34が同時にワイピングされることになる。この場合にも、第1実施形態と同様の構成を採用することにより、異常と判断されたヘッドのみを個別にワイピングすることができる。
また以上には、ワイピングシートによりワイピングを行う場合について説明したが、可撓性を有するゴムベラによりワイピングを行うことも可能である。このゴムベラは、図8に示す小ロ−ラ94a,94b,94cに代えてワイプユニット90に設置する。そして、各ゴムベラを独立して昇降可能に構成する。この場合でも、正常なヘッドをワイピングすることなく、異常と判断されたヘッドのみを個別にワイピングすることが可能になり、故障の誘発を防止することができる。また、ゴムベラを使用したワイプユニットは、ワイピングシート92を使用したワイプユニット90より、低コストで構築することができる。なお、ワイピングシートやゴムベラ以外の整備手段によりワイプユニットを構成してもよい。
[液滴吐出装置の変形例]
次に、第1実施形態に係る液滴吐出装置の変形例につき、図10ないし図12を用いて説明する。
図10は、液滴吐出装置の第1変形例の説明図である。第1変形例は、各ヘッドキャリッジ173に対応して複数の整備ユニット180を設けたものである。各整備ユニット180は、それぞれキャップユニット181およびワイプユニット190を備えている。なお、各整備ユニット180の間には、ヘッドキャリッジ173の交換作業エリア160が設けられている。この構成によれば、各ヘッドの整備時間を短縮することが可能になる。また、各ヘッドキャリッジ173に搭載されたヘッドのキャッピングからワイピングまでの時間を統一することが可能になり、各ヘッドを同じ状態で使用することができる。
次に、第1実施形態に係る液滴吐出装置の変形例につき、図10ないし図12を用いて説明する。
図10は、液滴吐出装置の第1変形例の説明図である。第1変形例は、各ヘッドキャリッジ173に対応して複数の整備ユニット180を設けたものである。各整備ユニット180は、それぞれキャップユニット181およびワイプユニット190を備えている。なお、各整備ユニット180の間には、ヘッドキャリッジ173の交換作業エリア160が設けられている。この構成によれば、各ヘッドの整備時間を短縮することが可能になる。また、各ヘッドキャリッジ173に搭載されたヘッドのキャッピングからワイピングまでの時間を統一することが可能になり、各ヘッドを同じ状態で使用することができる。
図11は、液滴吐出装置の第2変形例の説明図である。第2変形例は、各ヘッドキャリッジ273のグループごとに整備ユニット280を設けたものである。例えば、第1整備ユニット280aには3個のキャップキャリッジ283が配置され、第2整備ユニット280bおよび第3整備ユニット280cにはそれぞれ2個のキャップキャリッジ283が配置されている。また各整備ユニットには、それぞれヘッドキャリッジ273の交換作業用(メンテナンス作業用)の作業エリアとしての凹部260a〜260cと、ワイプユニット290とが設けられている。この構成によっても、各ヘッドの整備時間を短縮することができる。また、図10の変形例と比べて、ヘッドキャリッジ273の移動距離を短くすることが可能になり、液滴吐出装置の製造コストを低減することができる。
図12は、液滴吐出装置の第3変形例の説明図である。第3変形例は、各ヘッドキャリッジを2列に配置するとともに、列間で整備ユニットを共用可能としたものである。例えば、第1列には3個のヘッドキャリッジ373が配置され、第2列には4個のヘッドキャリッジ373が配置されている。なお、各ヘッドキャリッジをY方向にずらして配置することにより、各ヘッドのノズルがY方向に等ピッチで配置されている。また、第1整備ユニット380aないし第4整備ユニット380dと第1列および第2列との交点には、それぞれ1個のキャップキャリッジが配置されている。さらに、各整備ユニットにはワイプユニット390が設けられている。これにより、各列に属するヘッドキャリッジ373が整備ユニットを共用しうるようになっている。この構成によっても、各ヘッドの整備時間を短縮することができる。また、上記各変形例と比べて、ヘッドキャリッジ373の移動距離を短くすることが可能になり、液滴吐出装置の製造コストを低減することができる。
[カラーフィルタの製造方法]
次に、本実施形態のカラーフィルタ製造装置1を用いたカラーフィルタの製造方法の一例を説明する。図13は、基板Sにおけるカラーフィルタ領域51の説明図である。上記カラーフィルタ製造装置を用いたカラーフィルタの製造方法は、生産性を高める観点から長方形状の基板S上に、複数個のカラーフィルタ領域51をマトリクス状に形成する際に適用することができる。これらのカラーフィルタ領域51は、後で基板Sを切断することにより、液晶表示装置に適合する個々のカラーフィルタとして用いることができる。なお、各カラーフィルタ領域51においては、図13に示したように、Rのインク、Gのインク、およびBのインクをそれぞれ所定のパターン、本例では従来公知のストライプ型で形成して配置する。なお、この形成パターンとしては、ストライプ型のほかに、モザイク型やデルタ型あるいはスクウェア型等としてもよい。
次に、本実施形態のカラーフィルタ製造装置1を用いたカラーフィルタの製造方法の一例を説明する。図13は、基板Sにおけるカラーフィルタ領域51の説明図である。上記カラーフィルタ製造装置を用いたカラーフィルタの製造方法は、生産性を高める観点から長方形状の基板S上に、複数個のカラーフィルタ領域51をマトリクス状に形成する際に適用することができる。これらのカラーフィルタ領域51は、後で基板Sを切断することにより、液晶表示装置に適合する個々のカラーフィルタとして用いることができる。なお、各カラーフィルタ領域51においては、図13に示したように、Rのインク、Gのインク、およびBのインクをそれぞれ所定のパターン、本例では従来公知のストライプ型で形成して配置する。なお、この形成パターンとしては、ストライプ型のほかに、モザイク型やデルタ型あるいはスクウェア型等としてもよい。
図14は、カラーフィルタの製造方法の説明図である。このようなカラーフィルタ領域51を形成するには、まず、図14(a)に示すように、透明の基板Sの一方の面に対し、ブラックマトリクス52を形成する。このブラックマトリクス52を形成する際には、光透過性のない樹脂(好ましくは黒色樹脂)を、スピンコート等の方法で所定の厚さ(例えば2μm程度)に塗布し、フォトリソグラフィ技術を用いてパターニングする。このブラックマトリクス52の格子で囲まれる最小の表示要素、すなわちフィルタエレメント53については、例えばX軸方向の幅を30μm、Y軸方向の長さを100μm程度とする。このブラックマトリクスは充分な高さを有しており、インク吐出時の隔壁として機能する。
次に、本実施形態のカラーフィルタ製造装置におけるインク受容層形成装置の液滴吐出ヘッドから、図14(b)に示すようにインク受容層となる樹脂組成物を含有するインク滴54(液状体)を吐出し、これを基板S上に着弾させる。吐出するインク滴54の量については、加熱工程におけるインクの体積減少を考慮した十分な量とする。次いで、インク受容層形成装置の焼成部においてインク滴の焼成を行い、図14(c)に示すようなインク受容層60とする。
次に、R着色層形成装置の液滴吐出ヘッド34から、図14(d)に示すようにRのインク滴54R(液状体)を吐出し、これを基板S上に着弾させる。吐出するインク滴54の量については、加熱工程におけるインクの体積減少を考慮した十分な量とする。次いで、R着色層形成装置の仮焼成部においてインクの仮焼成を行い、図14(e)に示すようなR着色層34Rとする。以上の工程を、G着色層形成装置、B着色層形成装置においても繰り返し、図14(f)に示すように、G着色層34G、B着色層34Bを順次形成する。R着色層34R、G着色層34G、B着色層34Bを全て形成した後、本焼成装置においてこれら着色層34R,34G,34Bを一括して焼成する。
次いで、基板Sを平坦化し、かつ着色層34R,34G,34Bを保護するため、図14(g)に示すように各着色層34R,34G,34Bやブラックマトリクス52を覆うオーバーコート膜(保護膜)56を形成する。このオーバーコート膜56の形成にあたっては、スピンコート法、ロールコート法、リッピング法等の方法を採用することもできるが、着色層34R,34G,34Bの場合と同様に液滴吐出装置を用いることもできる。
ところで、図1に示す本実施形態のカラーフィルタ製造装置1は、給材部61と除材部66とを結ぶ直線状の基板搬送ラインの途中に描画部63を備え、基板Sの搬送方向と交差する方向に配列された液滴吐出ヘッドからインクを吐出することで、所望形状のパターンを形成するものである。つまり、描画前の基板Sを描画部63の一端から供給し、描画後の基板Sを描画部63の他端から排出する構成であるから、基板Sを描画部63内に連続的に流すことができ、一方向のみの搬送中に複数の液滴吐出ヘッド34を用いて一気に描画を行うことができる。そのため、1枚の基板を処理するのに必要なタクトタイムを短縮でき、生産性に優れた装置を実現することができる。また、給材部61、描画部63、および除材部66が直線状に配列されているため、装置の占有スペースを縮小することができる。さらに、基板の搬送方向を変える機能を持つ搬送装置が不要となるので、装置構成を簡略化することができる。
[液晶装置]
次に、上記カラーフィルタを備えた液晶装置(電気光学装置)の一実施形態を示す。図15はパッシブマトリクス型の液晶装置の側面断面図であり、図15中の符号30は液晶装置である。この液晶装置30は透過型のもので、一対のガラス基板31、32の間にSTN(Super Twisted Nematic)液晶等からなる液晶層33が挟持されてなるものである。
次に、上記カラーフィルタを備えた液晶装置(電気光学装置)の一実施形態を示す。図15はパッシブマトリクス型の液晶装置の側面断面図であり、図15中の符号30は液晶装置である。この液晶装置30は透過型のもので、一対のガラス基板31、32の間にSTN(Super Twisted Nematic)液晶等からなる液晶層33が挟持されてなるものである。
一方のガラス基板31には、その内面に上記カラーフィルタ55が形成されている。カラーフィルタ55は、R、G、Bの各色からなる着色層34R、34G、34Bが規則的に配列されて構成されたものである。なお、これらの色素層34R(34G、34B)間には、ブラックマトリクス52が形成されている。そして、これらカラーフィルタ55およびブラックマトリクス52の上には、カラーフィルタ55やブラックマトリクス52によって形成される段差をなくしてこれを平坦化するため、オーバーコート膜(保護膜)56が形成されている。オーバーコート膜56の上には複数の電極37がストライプ状に形成され、さらにその上には配向膜38が形成されている。
他方のガラス基板32には、その内面に、カラーフィルタ55側の電極37と直交するようにして、複数の電極39がストライプ状に形成されており、これら電極39上には、配向膜40が形成されている。なお、前記カラーフィルタ55の各着色層34R、34G、34Bは、それぞれ各ガラス基板32上の電極39、37の交差する位置に配置されている。また、電極37、39は、ITO(Indium Tin Oxide)などの透明導電材料によって形成されている。さらに、ガラス基板32とカラーフィルタ55の外面側にはそれぞれ偏光板(図示せず)が設けられ、ガラス基板31、32間にはこれら基板31、32間の間隔(セルギャップ)を一定に保持するためスペーサ41が設けられている。さらに、これらガラス基板31、32間には液晶33を封入するためのシール材42が設けられている。
本実施形態の液晶装置30では、上記カラーフィルタ製造装置を用いて製造されるカラーフィルタ55を適用しているため、安価で品質の良いカラー液晶表示装置を実現することができる。
[第2実施形態]
次に、本発明の第2実施形態につき、図16を用いて説明する。図16は、第2実施形態のカラーフィルタ製造装置の概略構成図である。なお、第1実施形態と同様の構成となる部分については、その詳細な説明を省略する。
次に、本発明の第2実施形態につき、図16を用いて説明する。図16は、第2実施形態のカラーフィルタ製造装置の概略構成図である。なお、第1実施形態と同様の構成となる部分については、その詳細な説明を省略する。
第2実施形態のカラーフィルタ製造装置は、基板Sの搬送ラインの側方に描画部63を有しており、前工程側から後工程側に搬送される基板Sをメイン搬送ライン460から引き込んで描画を行い、描画後に再度メイン搬送ライン460に戻す構成である。そのため、メイン搬送ライン460から描画部63への分岐点に、基板の搬送方向を90°切り替える搬送装置Pが設けられている。なお、この搬送装置Pと描画部63との間に、表面改質部62が設けられている。本実施形態の構成とすることにより、基板Sをメイン搬送ライン460から引き込む過程でカラーフィルタの描画を行い、基板Sを再度メイン搬送ライン460に戻す過程で描画不良の補修を行うことができる。
そして、第2実施形態のカラーフィルタ製造装置における描画部63にも、第1実施形態と同様の液滴吐出装置を採用することが可能であり、第1実施形態と同様の効果を奏することができる。
そして、第2実施形態のカラーフィルタ製造装置における描画部63にも、第1実施形態と同様の液滴吐出装置を採用することが可能であり、第1実施形態と同様の効果を奏することができる。
[電子機器]
次に、上記液晶装置からなる表示手段を備えた電子機器の具体例について説明する。
図17は、液晶テレビジョンの一例を示した斜視図である。図17において、符号500は液晶テレビジョン本体を示し、符号501は上記実施形態の液晶装置を備えた液晶表示部を示している。このように、図17に示す電子機器は、上記実施形態の液晶装置を備えたものであるから、安価で表示品位に優れたカラー液晶表示を有する電子機器を実現することができる。
次に、上記液晶装置からなる表示手段を備えた電子機器の具体例について説明する。
図17は、液晶テレビジョンの一例を示した斜視図である。図17において、符号500は液晶テレビジョン本体を示し、符号501は上記実施形態の液晶装置を備えた液晶表示部を示している。このように、図17に示す電子機器は、上記実施形態の液晶装置を備えたものであるから、安価で表示品位に優れたカラー液晶表示を有する電子機器を実現することができる。
なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。例えば上記実施形態のカラーフィルタ製造装置の細部の具体的な構成等に関しては適宜変更が可能である。また、上記実施形態では本発明の描画装置をカラーフィルタの製造に応用する例を挙げたが、カラーフィルタのみならず、有機EL素子等のデバイス形成技術、あるいは各種配線形成技術に適用することも可能である。
34a,34b,34c液滴吐出ヘッド 90ワイプユニット 92ワイピングシート 94a,94b,94c小ローラ
Claims (10)
- 複数の液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置であって、
前記各液滴吐出ヘッドを個別にワイピング可能なワイピング手段を備えていることを特徴とする液滴吐出装置。 - 前記ワイピング手段は、前記各液滴吐出ヘッドに対して個別にワイピングシートを当接可能に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の液滴吐出装置。
- 前記ワイピング手段は、前記各液滴吐出ヘッドに対応する複数の小ローラと、前記各小ローラの表面に配置されたワイピングシートとを備え、
前記各小ローラは、対応する前記液滴吐出ヘッドに向かって進退自在に形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の液滴吐出装置。 - 前記各小ローラの表面に、一の前記ワイピングシートが配置されていることを特徴とする請求項3に記載の液滴吐出装置。
- 前記ワイピング手段は、前記ワイピングシートにおける前記各液滴吐出ヘッドとの当接領域に対して選択的に、前記液滴吐出ヘッドの洗浄液を塗布しうるように形成されていることを特徴とする請求項2ないし請求項4のいずれかに記載の液滴吐出装置。
- 複数の液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置の整備方法であって、
異常と判断された前記液滴吐出ヘッドのみを個別にワイピングすることを特徴とする液滴吐出装置の整備方法。 - 前記ワイピングは、前記液滴吐出ヘッドに対して個別にワイピングシートを当接させることによって行うことを特徴とする請求項6に記載の液滴吐出装置の整備方法。
- 前記ワイピングは、前記ワイピングシートにおける前記各液滴吐出ヘッドとの当接領域に対して選択的に、前記液滴吐出ヘッドの洗浄液を塗布することによって行うことを特徴とする請求項6または請求項7に記載の液滴吐出装置。
- 請求項1ないし請求項5のいずれかに記載の液滴吐出装置を使用して製造したことを特徴とする電気光学装置。
- 請求項9に記載の電気光学装置を備えたことを特徴とする電子機器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004037268A JP2005224725A (ja) | 2004-02-13 | 2004-02-13 | 液滴吐出装置、液滴吐出装置の整備方法、電気光学装置および電子機器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004037268A JP2005224725A (ja) | 2004-02-13 | 2004-02-13 | 液滴吐出装置、液滴吐出装置の整備方法、電気光学装置および電子機器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005224725A true JP2005224725A (ja) | 2005-08-25 |
Family
ID=34999853
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004037268A Withdrawn JP2005224725A (ja) | 2004-02-13 | 2004-02-13 | 液滴吐出装置、液滴吐出装置の整備方法、電気光学装置および電子機器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005224725A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008229962A (ja) * | 2007-03-19 | 2008-10-02 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | ヘッドメンテナンス装置及びインクジェット記録装置 |
JP2010214732A (ja) * | 2009-03-16 | 2010-09-30 | Riso Kagaku Corp | 記録ヘッドの洗浄方法及び洗浄機構 |
JP2012126090A (ja) * | 2010-12-17 | 2012-07-05 | Seiko Epson Corp | クリーニング装置、クリーニング方法及び液体噴射装置 |
-
2004
- 2004-02-13 JP JP2004037268A patent/JP2005224725A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008229962A (ja) * | 2007-03-19 | 2008-10-02 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | ヘッドメンテナンス装置及びインクジェット記録装置 |
JP2010214732A (ja) * | 2009-03-16 | 2010-09-30 | Riso Kagaku Corp | 記録ヘッドの洗浄方法及び洗浄機構 |
JP2012126090A (ja) * | 2010-12-17 | 2012-07-05 | Seiko Epson Corp | クリーニング装置、クリーニング方法及び液体噴射装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4029895B2 (ja) | 液滴吐出装置、液滴吐出方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
TWI394616B (zh) | 功能液供給裝置及液滴噴出裝置、與光電裝置之製造方法、光電裝置及電子機器 | |
JP3849676B2 (ja) | 液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器 | |
KR100730856B1 (ko) | 액적 토출 장치, 전기 광학 장치 및 그의 제조 방법, 및전자기기 | |
KR20060043737A (ko) | 액체방울 토출 장치 및 전기 광학 장치의 제조 방법, 전기광학 장치 및 전자 기기 | |
JP5671975B2 (ja) | 液滴吐出装置の描画方法 | |
JP2010198028A (ja) | 液滴吐出装置 | |
JP2008233833A (ja) | 液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
JP2009006212A (ja) | 液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法および電気光学装置 | |
JP4691874B2 (ja) | 液滴吐出装置及びカラーフィルター製造装置 | |
JP4259107B2 (ja) | 液滴吐出ヘッド清掃装置、液滴吐出ヘッド清掃方法および液滴吐出装置 | |
JP2007275794A (ja) | ワイピング装置、ワイピング装置の運転方法およびワイピング方法、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
JP2004337709A (ja) | 液滴吐出装置、カラーフィルター製造装置、カラーフィルター及びその製造方法、液晶装置、電子機器 | |
JP2005224725A (ja) | 液滴吐出装置、液滴吐出装置の整備方法、電気光学装置および電子機器 | |
JP4729852B2 (ja) | 液滴吐出装置とその製造方法 | |
JP4547928B2 (ja) | 液滴吐出装置の制御方法、液滴吐出装置 | |
JP2008126196A (ja) | ワイピング装置及び描画装置並びにワイピング方法及び描画方法 | |
JP2005224726A (ja) | 液滴吐出装置、液滴吐出装置の整備方法、電気光学装置および電子機器 | |
JP4742768B2 (ja) | 機能液滴吐出ヘッドの保守装置およびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法 | |
JP2008126193A (ja) | 検出装置、ワイピング装置及び描画装置並びに検出方法、ワイピング方法及び描画方法 | |
JP5182248B2 (ja) | 液滴吐出装置 | |
JP2008188807A (ja) | フラッシングユニット、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
JP2008126195A (ja) | 記録装置、ワイピング装置及び描画装置並びに記録方法、ワイピング方法及び描画方法 | |
JP2005254799A (ja) | 機能液滴吐出ヘッドのワイピング方法、ワイピング装置およびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
JP2004337705A (ja) | 描画装置およびその整備方法、電気光学装置ならびに電子機器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20070501 |