JP4662803B2 - ガスセンサ用のセラミック加熱エレメント - Google Patents
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Description
金属性抵抗導体路は付加的に物質を含有しており、当該物質は前記抵抗導体路の1つまたは複数の金属成分とバリウムの反応を阻止する、セラミック加熱エレメントは次の利点を有している。すなわち、ヒータ電圧が相応するガスセンサの測定信号に干渉することが回避されるのにもかかわらず、セラミック加熱エレメントの材料構造が長期間にわたって良好な安定性を有するように構成されているという利点である。これは、加熱エレメントの抵抗導体路が、抵抗導体路の1つまたは複数の金属成分とバリウムの反応を阻止する物質を有していることによって実現される。ここでこの物質は有利には、抵抗導体路内に内方拡散したバリウムとともに化学的な安定性の化合物を形成する。これは例えば相応の混合酸化物である。これによって抵抗導体路の1つまたは複数の金属成分と酸化バリウムの反応が二成分の混合酸化物を形成することで阻止される。
図1には、本発明の第1の実施形態の基本構成が示されている。参照番号10によって、例えば電気化学的なガスセンサのセラミック加熱エレメントがあらわされている。このセラミック加熱エレメントは、有利には第1の、電気的に絶縁されたセラミック層21を有している。このセラミック層は例えばバリウムを含有した酸化アルミニウムから構成されている。さらにこのセラミック加熱エレメント10は、別の絶縁層13を有している。この絶縁層13は絶縁性層18の他に、2つのさらなるセラミック層14,15を有している。絶縁性層18は、例えば同じようにバリウムを含有している酸化アルミニウムから構成されている。さらなるセラミック層14,15は、場合によっては機械的またはセラミック応力をとらえるために単にオプションで設けられている。この応力は、セラミック加熱エレメント10が相応のセンサエレメント内に組み込まれており、層18,15,14の連続体が例えばセンサエレメントのセラミック固体電解質層に接続されている場合に生じる。
Claims (7)
- ガス混合気内のガスを検出するセンサ用のセラミック加熱エレメントであって、
少なくとも1つの金属含有抵抗導体路(19)と、
少なくとも1つの絶縁層(13,21)を有している形式のものにおいて、
前記金属性抵抗導体路(19)は付加的に酸化チタンまたは二酸化ハフニウムまたは二酸化ケイ素または五酸化タンタルまたは五酸化ニオブを、前記抵抗導体路(19)の1つまたは複数の金属成分とバリウムの反応を阻止する物質として含有している、
ことを特徴とするセラミック加熱エレメント。 - 前記酸化チタンまたは二酸化ハフニウムまたは二酸化ケイ素または五酸化タンタルまたは五酸化ニオブはバリウムと混合酸化物を生成し、
当該混合酸化物は、酸化バリウムと前記抵抗導体路(19)の金属成分から成る混合酸化物より安定している、請求項1記載のセラミック加熱エレメント。 - 当該酸化チタンまたは二酸化ハフニウムまたは二酸化ケイ素は抵抗導体路(19)内に、チタンまたはハフニウムまたはケイ素の含有量に対して、100〜10000ppmの濃度で含有されている、請求項1または2記載のセラミック加熱エレメント。
- 当該五酸化タンタルまたは五酸化ニオブは前記抵抗導体路(19)内に、タンタルまたはニオブの含有量に対して、100〜50000ppmの濃度で含有されている、請求項1または2記載のセラミック加熱エレメント。
- 前記抵抗導体路(19)の金属成分は白金である、請求項1から4までのいずれか1項記載のセラミック加熱エレメント。
- 前記抵抗導体路(19)はさらに酸化アルミニウムを含有している、請求項1から5までのいずれか1項記載のセラミック加熱エレメント。
- 少なくとも1つの金属含有抵抗導体路(19)と、少なくとも1つの絶縁層(13,21)を有するセラミック加熱エレメントの製造方法であって、
第1のステップにおいてセラミック印刷ペーストを作成し、
当該印刷ペーストは金属成分と、セラミック成分と、前記抵抗導体路の金属成分とバリウムの反応を阻止する物質として酸化チタンまたは二酸化ハフニウムまたは二酸化ケイ素または五酸化タンタルまたは五酸化ニオブを含有しており、
第2のステップにおいて前記セラミック印刷ペーストを用いて、前記絶縁層(13,21)上に抵抗導体路(19)を印刷する、
ことを特徴とする、セラミック加熱エレメントの製造方法。
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04249089A (ja) * | 1991-02-05 | 1992-09-04 | Noritake Co Ltd | セラミックスヒーター |
JP2001281219A (ja) * | 2000-03-29 | 2001-10-10 | Kyocera Corp | 空燃比センサ素子 |
JP2002296225A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-09 | Kyocera Corp | ヒータ一体型酸素センサ素子 |
JP2003504604A (ja) * | 1999-07-13 | 2003-02-04 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | ヒータ回路、殊にセンサ用のヒータ回路及び該ヒータ回路の製造法 |
JP2003098148A (ja) * | 2001-09-26 | 2003-04-03 | Kyocera Corp | 空燃比センサ素子 |
JP2004151017A (ja) * | 2002-10-31 | 2004-05-27 | Denso Corp | 積層型ガスセンサ素子 |
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---|---|---|---|---|
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04249089A (ja) * | 1991-02-05 | 1992-09-04 | Noritake Co Ltd | セラミックスヒーター |
JP2003504604A (ja) * | 1999-07-13 | 2003-02-04 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | ヒータ回路、殊にセンサ用のヒータ回路及び該ヒータ回路の製造法 |
JP2001281219A (ja) * | 2000-03-29 | 2001-10-10 | Kyocera Corp | 空燃比センサ素子 |
JP2002296225A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-09 | Kyocera Corp | ヒータ一体型酸素センサ素子 |
JP2003098148A (ja) * | 2001-09-26 | 2003-04-03 | Kyocera Corp | 空燃比センサ素子 |
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