JP4482531B2 - リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
この投影システムの最終素子が凹面屈折レンズであり、および
この投影システムがこのパターン化した放射線ビームをこの投影システムの光軸を外して配置した像界に投影するように配置してある装置が提供される。
− 放射線ビームPB(例えば、UV放射線またはEUV放射線)を調整するように構成した照明システム(照明器)IL、
− パターニング装置(例えば、マスク)MAを支持するように構築し、且つこのパターニング装置をあるパラメータに従って正確に位置決めするように構成した第1位置決め装置PMに結合した支持構造体(例えば、マスクテーブル)MT、
− 基板(例えば、レジストを塗被したウエハ)Wを保持するように構築し、且つこの基板をあるパラメータに従って正確に位置決めするように構成した第2位置決め装置PWに結合した基板テーブル(例えば、ウエハテーブル)WT、および
− パターニング装置MAによって放射線ビームPBに与えたパターンを基板Wの目標部分C(例えば、一つ以上のダイを含む)上に投影するように構成した投影システム(例えば、屈折性投影レンズシステム)PLを含む。
1.ステップモードでは、放射線ビームに与えた全パターンを目標部分C上に一度に(即ち、単一静的露光で)投影しながら、マスクテーブルMTおよび基板テーブルWTを本質的に固定して保持する。次に基板テーブルWTをXおよび/またはY方向に移動して異なる目標部分Cを露光できるようにする。ステップモードでは、露光領域の最大サイズが単一静的露光で結像する目標部分Cのサイズを制限する。
2.走査モードでは、放射線ビームの与えたパターンを目標部分C上に投影(即ち、単一動的露光)しながら、マスクテーブルMTおよび基板テーブルWTを同期して走査する。マスクテーブルMTに対する基板テーブルWTの速度および方向は、投影システムPLの(縮)倍率および像反転特性によって決る。走査モードでは、露光領域の最大サイズが単一動的露光での目標部分の幅(非走査方向の)を制限し、一方走査運動の長さが目標部分の高さ(走査方向の)を決める。
3.もう一つのモードでは、プログラム可能パターニング装置を保持するマスクテーブルMTを本質的に固定し、放射線ビームに与えたパターンを目標部分C上に投影しながら、基板テーブルWTを動かしまたは走査する。このモードでは、一般的にパルス化した放射線源を使用し、プログラム可能パターニング装置を基板テーブルWTの各運動後または走査中の連続する放射線パルスの間に必要に応じて更新する。この作動モードは、上に言及した型式のプログラム可能ミラーアレイのような、プログラム可能パターニング装置を利用するマスクレス・リソグラフィに容易に適用できる。
上に説明した使用モードの組合せおよび/または変形または全く異なった使用モードも使ってよい。
“レンズ”という用語は、事情が許せば、屈折式、反射式光学部品を含む、種々の型式の光学部品の何れか一つまたは組合せを指してもよい。
上記の説明は、例示を意図し、限定を意図しない。従って、当業者は、説明したこの発明に以下に示す請求項の範囲から逸脱することなく修正を施すことができることが分るだろう。
30 最終素子、凹面屈折レンズ
30’ 最終素子、凹面屈折レンズ
32 貫通孔
C 目標部分
EF 像界
OA 光軸
PB 放射線ビーム
PL 投影システム
W 基板
Claims (12)
- パターン化した放射線ビームを基板(W)の目標部分上に投影するように構成した投影システムおよび該投影システムの最終素子と基板の間のスペースに液体を供給するための液体供給システムを有するリソグラフィ投影装置において、
前記投影システムの最終素子が凹面屈折レンズであり、
前記投影システムがパターン化した放射線ビームを投影システムの光軸を外して配置した像界(EF)に投影するように配置し、
前記凹面屈折レンズが前記光軸の前記像界と反対側を切り落してある装置。 - パターン化した放射線ビームを基板(W)の目標部分上に投影するように構成した投影システムおよび該投影システムの最終素子と基板の間のスペースに液体を供給するための液体供給システムを有するリソグラフィ投影装置において、
前記投影システムの最終素子が凹面屈折レンズであり、
前記投影システムがパターン化した放射線ビームを投影システムの光軸を外して配置した像界(EF)に投影するように配置し、
前記凹面屈折レンズが上記光軸の第1側の第1側縁および上記光軸の第2側の第2側縁を有し、この第1側縁がこの第2側縁が上記光軸に近いよりも一層上記光軸に近くおよび上記像界が上記光軸のこの第2側にある装置。 - パターン化した放射線ビームを基板(W)の目標部分上に投影するように構成した投影システムおよび該投影システムの最終素子と基板の間のスペースに液体を供給するための液体供給システムを有するリソグラフィ投影装置において、
前記投影システムの最終素子が凹面屈折レンズであり、
前記投影システムがパターン化した放射線ビームを投影システムの光軸を外して配置した像界(EF)に投影するように配置し、
前記凹面屈折レンズがその凹面側の最高点近くに貫通孔開口を備え、それによって浸漬液を前記貫通孔から供給できる装置。 - 請求項1乃至請求項3に記載のリソグラフィ装置において、前記投影システムが反射屈折式システムである装置。
- 請求項1又は請求項2に記載のリソグラフィ装置において、前記凹面屈折レンズが前記光軸を含む平面の周りに非対称である装置。
- 請求項1又は請求項2に記載のリソグラフィ装置において、上記凹面屈折レンズは、実質的に、上記放射線ビームが横切る位置にだけある装置。
- 請求項1に記載のリソグラフィ装置に於いて、前記液体供給システムが前記凹面屈折レンズの上記切り落しに隣接する位置から液体を供給するように配置してある装置。
- 請求項1乃至請求項7に記載のリソグラフィ装置に於いて、前記液体供給システムが前記光軸に近い位置から液体を供給するように配置してある装置。
- 請求項2に記載のリソグラフィ装置に於いて、前記液体供給システムが前記第1側縁に近い位置から液体を供給するように配置してある装置。
- 投影システムを使ってパターンの像を液体を通して基板の目標部分上へ投影する工程を含み、前記投影システムの最終素子が凹面屈折レンズであり、および前記投影システムの像界が光軸外であり、
前記凹面屈折レンズが前記光軸の前記像界と反対側を切り落してあるデバイス製造方法。 - 投影システムを使ってパターンの像を液体を通して基板の目標部分上へ投影する工程を含み、前記投影システムの最終素子が凹面屈折レンズであり、および前記投影システムの像界が光軸外であり、
前記凹面屈折レンズが上記光軸の第1側の第1側縁および上記光軸の第2側の第2側縁を有し、この第1側縁がこの第2側縁が上記光軸に近いよりも一層上記光軸に近くおよび上記像界が上記光軸のこの第2側にあるデバイス製造方法。 - 投影システムを使ってパターンの像を液体を通して基板の目標部分上へ投影する工程を含み、前記投影システムの最終素子が凹面屈折レンズであり、および前記投影システムの像界が光軸外であり、
前記凹面屈折レンズがその凹面側の最高点近くに貫通孔開口を備え、それによって浸漬液を前記貫通孔から供給するデバイス製造方法。
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