JPH1055713A - 紫外線照射装置 - Google Patents
紫外線照射装置Info
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- JPH1055713A JPH1055713A JP22463196A JP22463196A JPH1055713A JP H1055713 A JPH1055713 A JP H1055713A JP 22463196 A JP22463196 A JP 22463196A JP 22463196 A JP22463196 A JP 22463196A JP H1055713 A JPH1055713 A JP H1055713A
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- elliptical
- lamp
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Securing Globes, Refractors, Reflectors Or The Like (AREA)
- Common Detailed Techniques For Electron Tubes Or Discharge Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 放電ランプを取りつけた後、当該放電ランプ
の位置調整が不要な紫外線照射装置を提供すること。 【解決手段】 ショートアーク型の放電ランプ（１０）
と、中央部に開口を有する楕円集光鏡（２１）と、楕円
集光鏡（２１）を保持する楕円集光鏡保持部材（２０）
とを備えた紫外線照射装置に、放電ランプ（１０）の一
方の口金（１３）はフランジ部（１５）を有し、楕円集
光鏡保持部材（２０）の底部には口金（１３）が嵌合す
る嵌合孔（２２）が設けてあり、また、楕円集光鏡保持
部材（２０）には、嵌合孔（２２）に嵌合した口金（１
３）に離脱可能に係合し、口金（１３）のフランジ部
（１５）を楕円集光鏡保持部材（２０）側に付勢するバ
ネ（３０）を設ける。
の位置調整が不要な紫外線照射装置を提供すること。 【解決手段】 ショートアーク型の放電ランプ（１０）
と、中央部に開口を有する楕円集光鏡（２１）と、楕円
集光鏡（２１）を保持する楕円集光鏡保持部材（２０）
とを備えた紫外線照射装置に、放電ランプ（１０）の一
方の口金（１３）はフランジ部（１５）を有し、楕円集
光鏡保持部材（２０）の底部には口金（１３）が嵌合す
る嵌合孔（２２）が設けてあり、また、楕円集光鏡保持
部材（２０）には、嵌合孔（２２）に嵌合した口金（１
３）に離脱可能に係合し、口金（１３）のフランジ部
（１５）を楕円集光鏡保持部材（２０）側に付勢するバ
ネ（３０）を設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する利用分野】本発明は、紫外線硬化性樹脂
の硬化や、半導体、液晶基板等の露光に用いられる紫外
線照射装置に関するものである。
の硬化や、半導体、液晶基板等の露光に用いられる紫外
線照射装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】紫外線硬化性樹脂を接着剤として用いた
電子部品、光学部品の精密接着や、半導体露光、液晶基
板露光、ソーラシミュレータ等に紫外線を含む光を放射
する紫外線照射装置が用いられている。このような紫外
線照射装置の光学系としては、紫外線を含む放射光を効
率良く利用するようにショートアーク型の放電ランプと
楕円集光鏡とを組み合わせたものが多い。
電子部品、光学部品の精密接着や、半導体露光、液晶基
板露光、ソーラシミュレータ等に紫外線を含む光を放射
する紫外線照射装置が用いられている。このような紫外
線照射装置の光学系としては、紫外線を含む放射光を効
率良く利用するようにショートアーク型の放電ランプと
楕円集光鏡とを組み合わせたものが多い。
【０００３】図８は、電子部品、光学部品の精密接着に
使用される紫外線照射装置の光学系の一例であり、楕円
集光鏡２により集光されるショートアーク型の放電ラン
プ１からの紫外線を含む放射光が折り返しミラー３によ
り折り返された後に光ファイバ４の光入射端６に入射
し、光出射端７から放出される。
使用される紫外線照射装置の光学系の一例であり、楕円
集光鏡２により集光されるショートアーク型の放電ラン
プ１からの紫外線を含む放射光が折り返しミラー３によ
り折り返された後に光ファイバ４の光入射端６に入射
し、光出射端７から放出される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】放電ランプ１は、その
一端部の口金が雄ネジになっており、不図示のランプ保
持部材に設けられた雌ネジ部に上記雄ネジを所定の位置
までねじ込むことにより固定される。しかし、放電ラン
プ１の雄ネジを介したねじ込みが十分でないまま放電ラ
ンプ１が取り付けられたり、何度も放電ランプ１の交換
を重ねるうちに上記ランプ保持部材の雌ネジ部に磨耗や
変形が生じて、放電ランプ１を所定の位置までねじ込む
ことができなくなったりすることにより、放電ランプ１
が所定の位置に設置できない場合がある。
一端部の口金が雄ネジになっており、不図示のランプ保
持部材に設けられた雌ネジ部に上記雄ネジを所定の位置
までねじ込むことにより固定される。しかし、放電ラン
プ１の雄ネジを介したねじ込みが十分でないまま放電ラ
ンプ１が取り付けられたり、何度も放電ランプ１の交換
を重ねるうちに上記ランプ保持部材の雌ネジ部に磨耗や
変形が生じて、放電ランプ１を所定の位置までねじ込む
ことができなくなったりすることにより、放電ランプ１
が所定の位置に設置できない場合がある。
【０００５】図８に示した光学系の場合、光ファイバ４
への集光精度を良くするためには、ショートアーク型放
電ランプ１のアークの位置が楕円集光鏡２の楕円の焦点
位置に正確に配置する必要があるので、上記のような場
合には、放電ランプ１と楕円集光鏡２の位置関係を調整
しなければならない。通常、楕円集光鏡２は紫外線照射
装置の不図示の筐体に固定されているので、上記の位置
関係の調整は、例えば、実開平１−４４５１８号に示さ
れた位置調節機構を用いて放電ランプ１の位置を調整す
ることにより行われる。
への集光精度を良くするためには、ショートアーク型放
電ランプ１のアークの位置が楕円集光鏡２の楕円の焦点
位置に正確に配置する必要があるので、上記のような場
合には、放電ランプ１と楕円集光鏡２の位置関係を調整
しなければならない。通常、楕円集光鏡２は紫外線照射
装置の不図示の筐体に固定されているので、上記の位置
関係の調整は、例えば、実開平１−４４５１８号に示さ
れた位置調節機構を用いて放電ランプ１の位置を調整す
ることにより行われる。
【０００６】具体的な手順は以下のとおりである。 （１）ファイバ４の光出射端７からの放射光が照射され
る位置に、照度モニタを設置する。 （２）位置調節機構部における筐体カバーを外し、位置
調節機構を露出させる。 （３）放電ランプ１を点灯し、シャッタ５を開ける。 （４）照度モニタにより表示される放射光の照度が最大
になるように、位置調節機構を手動で駆動して、放電ラ
ンプ１の位置を調整する。
る位置に、照度モニタを設置する。 （２）位置調節機構部における筐体カバーを外し、位置
調節機構を露出させる。 （３）放電ランプ１を点灯し、シャッタ５を開ける。 （４）照度モニタにより表示される放射光の照度が最大
になるように、位置調節機構を手動で駆動して、放電ラ
ンプ１の位置を調整する。
【０００７】このように放電ランプ１の位置調整時に
は、放電ランプ１を点灯させてファイバ４の光出射端７
から紫外線を含む放射光を放出させて行うので、調整作
業中の作業者に対し、遮光カバー等の紫外線被曝対策を
する必要がある。また、照度モニタに表示される値を観
察しながら手動で行うので、調整にある程度の熟練を要
する。
は、放電ランプ１を点灯させてファイバ４の光出射端７
から紫外線を含む放射光を放出させて行うので、調整作
業中の作業者に対し、遮光カバー等の紫外線被曝対策を
する必要がある。また、照度モニタに表示される値を観
察しながら手動で行うので、調整にある程度の熟練を要
する。
【０００８】本発明は以上のような事情によりなされた
ものであって、その課題は、放電ランプを取りつけた
後、当該放電ランプの位置調整が不要な紫外線照射装置
を提供することにある。
ものであって、その課題は、放電ランプを取りつけた
後、当該放電ランプの位置調整が不要な紫外線照射装置
を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明による紫外線照射
装置は、ショートアーク型の放電ランプと、中央部に開
口を有する楕円集光鏡と、該楕円集光鏡を保持する楕円
集光鏡保持部材とを備えた紫外線照射装置において、上
記放電ランプの一端にフランジ型の口金を設け、 上記
楕円集光鏡保持部材の底部には上記口金が嵌合する嵌合
孔が形成され、一方、上記楕円集光鏡保持部材には、上
記嵌合孔に嵌合した上記口金に離脱可能に係合し、該口
金のフランジ部を上記楕円集光鏡保持部材側に付勢する
付勢部材を設けたものである。
装置は、ショートアーク型の放電ランプと、中央部に開
口を有する楕円集光鏡と、該楕円集光鏡を保持する楕円
集光鏡保持部材とを備えた紫外線照射装置において、上
記放電ランプの一端にフランジ型の口金を設け、 上記
楕円集光鏡保持部材の底部には上記口金が嵌合する嵌合
孔が形成され、一方、上記楕円集光鏡保持部材には、上
記嵌合孔に嵌合した上記口金に離脱可能に係合し、該口
金のフランジ部を上記楕円集光鏡保持部材側に付勢する
付勢部材を設けたものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】図１に本発明の紫外線照射装置の
光学系を示す。１０はショートアーク型の放電ランプで
あり、内部に陰極１１と陽極１２からなる一対の電極を
有する。放電ランプ１０の陽極１２側の口金１３はフラ
ンジ部１５が設けられている。口金１３は一対の電極と
所定の位置関係にあるように高精度に機械加工されてい
る。一方、放電ランプ１０の陰極１１側の口金１４には
電力供給用のケーブルＣ１が接続されている。
光学系を示す。１０はショートアーク型の放電ランプで
あり、内部に陰極１１と陽極１２からなる一対の電極を
有する。放電ランプ１０の陽極１２側の口金１３はフラ
ンジ部１５が設けられている。口金１３は一対の電極と
所定の位置関係にあるように高精度に機械加工されてい
る。一方、放電ランプ１０の陰極１１側の口金１４には
電力供給用のケーブルＣ１が接続されている。
【００１１】２０は集光鏡ブラケットであり、内部に楕
円集光鏡２１を保持する。集光鏡ブラケット２０の底部
中央には嵌合孔２２が設けられていて、嵌合孔２２に放
電ランプ１０の口金１３の小径部１６を挿入することに
より、放電ランプ１０が定置される。ここで嵌合孔２２
は、楕円集光鏡２１の楕円の２つの焦点を通る光軸Ｌ上
に放電ランプ１０のアークの位置が位置するよう放電ラ
ンプ１０が定置されるように、設けられる。なお、楕円
集光鏡２１はランプ点灯時に放射光が光ファイバＦの光
入射端Ｆｉｎに入射するように位置調整されている。ま
た、Ｓｔはシャッタである。
円集光鏡２１を保持する。集光鏡ブラケット２０の底部
中央には嵌合孔２２が設けられていて、嵌合孔２２に放
電ランプ１０の口金１３の小径部１６を挿入することに
より、放電ランプ１０が定置される。ここで嵌合孔２２
は、楕円集光鏡２１の楕円の２つの焦点を通る光軸Ｌ上
に放電ランプ１０のアークの位置が位置するよう放電ラ
ンプ１０が定置されるように、設けられる。なお、楕円
集光鏡２１はランプ点灯時に放射光が光ファイバＦの光
入射端Ｆｉｎに入射するように位置調整されている。ま
た、Ｓｔはシャッタである。
【００１２】３０は定置された放電ランプ１０を固定す
るための固定用板バネであり、バネ取付け台３１により
集光鏡ブラケット２０の下側表面に取りつけられてい
る。
るための固定用板バネであり、バネ取付け台３１により
集光鏡ブラケット２０の下側表面に取りつけられてい
る。
【００１３】図２に放電ランプ固定前の状態を、図３に
放電ランプ固定後の状態を示す。ここで図２（ａ），図
３（ａ）は断面図であり、図２（ｂ），図３（ｂ）は集
光鏡ブラケット２０の下側表面から集光鏡ブラケット２
０を見た図である。図２、図３に示すように、固定用板
バネ３０は図２，３において下側にふくらんだ凸形状で
あり、その一端部が９０度上方に折れ曲がっている。ま
た固定用板バネ３０には取付け用長穴３４とランプ固定
用穴３５が設けられている。固定用板バネ３０は、バネ
取付け台３１、取付け用長穴３４を貫通して集光鏡ブラ
ケット２０と接続しているネジ３２により、集光鏡ブラ
ケット２０に取り付けられ、取付け用長穴３４の長さ方
向に取付け用長穴３４の長さの分だけ移動可能になって
いる。
放電ランプ固定後の状態を示す。ここで図２（ａ），図
３（ａ）は断面図であり、図２（ｂ），図３（ｂ）は集
光鏡ブラケット２０の下側表面から集光鏡ブラケット２
０を見た図である。図２、図３に示すように、固定用板
バネ３０は図２，３において下側にふくらんだ凸形状で
あり、その一端部が９０度上方に折れ曲がっている。ま
た固定用板バネ３０には取付け用長穴３４とランプ固定
用穴３５が設けられている。固定用板バネ３０は、バネ
取付け台３１、取付け用長穴３４を貫通して集光鏡ブラ
ケット２０と接続しているネジ３２により、集光鏡ブラ
ケット２０に取り付けられ、取付け用長穴３４の長さ方
向に取付け用長穴３４の長さの分だけ移動可能になって
いる。
【００１４】図２においては、放電ランプ１０の口金１
３はバネ３０のランプ固定用穴３５を貫通しているの
で、放電ランプ１０は固定されていない。一方、図３の
ように、固定用板バネ３０を矢印Ａの方向に押し込む
と、ランプ固定用穴３５の直径の小さい部分が口金１３
の溝部１７に入り込み、放電ランプ１０は、固定用板バ
ネ３０によって矢印Ｂの方向の力を受けて集光鏡ブラケ
ット２０に押しつけられ、集光鏡ブラケット２０の底面
と口金１３のフランジ部１５の下面により規定される位
置に固定される。この規定される位置は、放電ランプ１
０のアークの位置が、楕円集光鏡２１の楕円の焦点（２
つの焦点のうち、ファイバ側ではない方の焦点）の光軸
Ｌ方向における位置と等しくなるように設定されてい
る。
３はバネ３０のランプ固定用穴３５を貫通しているの
で、放電ランプ１０は固定されていない。一方、図３の
ように、固定用板バネ３０を矢印Ａの方向に押し込む
と、ランプ固定用穴３５の直径の小さい部分が口金１３
の溝部１７に入り込み、放電ランプ１０は、固定用板バ
ネ３０によって矢印Ｂの方向の力を受けて集光鏡ブラケ
ット２０に押しつけられ、集光鏡ブラケット２０の底面
と口金１３のフランジ部１５の下面により規定される位
置に固定される。この規定される位置は、放電ランプ１
０のアークの位置が、楕円集光鏡２１の楕円の焦点（２
つの焦点のうち、ファイバ側ではない方の焦点）の光軸
Ｌ方向における位置と等しくなるように設定されてい
る。
【００１５】すなわち、固定用板バネ３０が図２の状態
にあるとき、集光鏡ブラケット２０の嵌合孔２２に放電
ランプ１０の口金１３の小径部１６を嵌合して、放電ラ
ンプ１０のアークの位置が光軸Ｌ上に位置するように、
放電ランプ１０を定置する。次に、固定用板バネ３０を
図３の矢印Ａの方向に押し込むことにより、放電ランプ
１０は図３の矢印Ｂの方向に押しつけられ、放電ランプ
１０のアークの位置が楕円集光鏡２１の楕円の焦点（２
つの焦点のうち、ファイバ側ではない方の焦点）に位置
するよう保持・固定される。ここで、ネジ３２の締めつ
け具合を調整することにより、固定用板バネ３０の放電
ランプ１０を押しつける力を調整することが可能とな
る。
にあるとき、集光鏡ブラケット２０の嵌合孔２２に放電
ランプ１０の口金１３の小径部１６を嵌合して、放電ラ
ンプ１０のアークの位置が光軸Ｌ上に位置するように、
放電ランプ１０を定置する。次に、固定用板バネ３０を
図３の矢印Ａの方向に押し込むことにより、放電ランプ
１０は図３の矢印Ｂの方向に押しつけられ、放電ランプ
１０のアークの位置が楕円集光鏡２１の楕円の焦点（２
つの焦点のうち、ファイバ側ではない方の焦点）に位置
するよう保持・固定される。ここで、ネジ３２の締めつ
け具合を調整することにより、固定用板バネ３０の放電
ランプ１０を押しつける力を調整することが可能とな
る。
【００１６】なお、放電ランプ１０の口金１３や集光鏡
ブラケット２０の嵌合孔２２の形状は、図１、図２、図
３に示す形状に限られるものではなく、例えば、図４に
示すように構成してもよい。図４に示す構造において
は、フランジ部１５は、その下面と集光鏡ブラケット２
２の底面とにより、放電ランプ１０のアークの光軸Ｌ方
向の位置を規定するとともに、嵌合孔２２に嵌合される
ことにより、放電ランプ１０のアークの位置が光軸Ｌ上
に位置するように放電ランプ１０を定置する。
ブラケット２０の嵌合孔２２の形状は、図１、図２、図
３に示す形状に限られるものではなく、例えば、図４に
示すように構成してもよい。図４に示す構造において
は、フランジ部１５は、その下面と集光鏡ブラケット２
２の底面とにより、放電ランプ１０のアークの光軸Ｌ方
向の位置を規定するとともに、嵌合孔２２に嵌合される
ことにより、放電ランプ１０のアークの位置が光軸Ｌ上
に位置するように放電ランプ１０を定置する。
【００１７】図１にもどり、４０は電力供給用部材であ
り、電力供給用のケーブルＣ２が接続されている。すな
わち、ケーブルＣ１，Ｃ２により放電ランプ１０に電力
が供給される。
り、電力供給用のケーブルＣ２が接続されている。すな
わち、ケーブルＣ１，Ｃ２により放電ランプ１０に電力
が供給される。
【００１８】図５は電力供給用部材４０の詳細を示す図
である。４１は、電力供給用のケーブルＣ２が接続さ
れ、底部が球面状になっているランプ固定用ホルダであ
り、電気絶縁性材料であるホルダ保持部材４７上に設置
されている。ランプ固定用ホルダ４１にはすり割り部４
２が設けられおり、すり割り部４２には、放電ランプ１
０の口金１３の先端が挿入される固定部４３が設けられ
ている。４４は締めつけ軸であり、締めつけ軸４４に接
続されたレバー４５が図５のように垂直方向に起こされ
たとき、すり割り部４２を締めつける。
である。４１は、電力供給用のケーブルＣ２が接続さ
れ、底部が球面状になっているランプ固定用ホルダであ
り、電気絶縁性材料であるホルダ保持部材４７上に設置
されている。ランプ固定用ホルダ４１にはすり割り部４
２が設けられおり、すり割り部４２には、放電ランプ１
０の口金１３の先端が挿入される固定部４３が設けられ
ている。４４は締めつけ軸であり、締めつけ軸４４に接
続されたレバー４５が図５のように垂直方向に起こされ
たとき、すり割り部４２を締めつける。
【００１９】図６はすり割りの締め付けについて説明す
るための図であり、ランプ固定用ホルダ４１および締め
つけ軸４４の断面構造を示している。締めつけ軸４４は
先端が雄ネジ状になっており、段部Ｃを有する。また、
ランプ固定用ホルダ４１の締めつけ軸４４挿入部分は、
締めつけ軸４４の雄ネジ状部分の直径より大きく、か
つ、段部Ｃより直径の小さい穴部Ｄと、上記雄ネジ状部
分と係合する雌ネジ状のネジ穴部Ｅからなる。
るための図であり、ランプ固定用ホルダ４１および締め
つけ軸４４の断面構造を示している。締めつけ軸４４は
先端が雄ネジ状になっており、段部Ｃを有する。また、
ランプ固定用ホルダ４１の締めつけ軸４４挿入部分は、
締めつけ軸４４の雄ネジ状部分の直径より大きく、か
つ、段部Ｃより直径の小さい穴部Ｄと、上記雄ネジ状部
分と係合する雌ネジ状のネジ穴部Ｅからなる。
【００２０】すなわち、締めつけ軸４４の雄ネジ状先端
がランプ固定用ホルダ４１のネジ穴部Ｅに係合するよう
に締めつけ軸４４を回転させると、締めつけ軸４４は矢
印Ｆの方向に進もうとするが、段部Ｃより矢印Ｆの方向
への進行が規制されているので、結果として、ランプ固
定用ホルダ４１のネジ穴部Ｅ側の部分が矢印Ｇ方向の力
を受け、すり割り部４２が締まり、固定部４３に挿入さ
れた放電ランプ１０の先端部が締め付けられる。
がランプ固定用ホルダ４１のネジ穴部Ｅに係合するよう
に締めつけ軸４４を回転させると、締めつけ軸４４は矢
印Ｆの方向に進もうとするが、段部Ｃより矢印Ｆの方向
への進行が規制されているので、結果として、ランプ固
定用ホルダ４１のネジ穴部Ｅ側の部分が矢印Ｇ方向の力
を受け、すり割り部４２が締まり、固定部４３に挿入さ
れた放電ランプ１０の先端部が締め付けられる。
【００２１】図５にもどり、一体となっているランプ固
定用ホルダ４１、締めつけ軸４４、レバー４５はネジ固
定部材４６により、ホルダ保持部材４７に固定されてい
る。
定用ホルダ４１、締めつけ軸４４、レバー４５はネジ固
定部材４６により、ホルダ保持部材４７に固定されてい
る。
【００２２】ランプ固定用ホルダ４１の底部が球面状に
なっているのは以下の理由による。図７はランプ固定用
ホルダの形状の違いによる作用について説明する図であ
る。図７（ａ）のように、ランプ固定用ホルダ４１の底
部が平面状であるとき、放電ランプ１０の口金１３の先
端部が傾いている場合には、すり割り４２を締め付ける
と、図７（ｂ）のように、口金１３の先端部の傾きに応
じてランプ固定用ホルダ４１も傾く。その際、Ｈを支点
にして、放電ランプ１０に対して矢印Ｉ方向に力を及ぼ
す。放電ランプ１０は図３に示す固定用板バネ３０によ
り図７の矢印Ｂ方向に力を受け、集光鏡ブラケット２０
に押しつけられて固定されているが、上記矢印Ｉ方向の
力により矢印Ｂ方向の力が一部相殺され、放電ランプ１
０の固定が不十分になってしまう。
なっているのは以下の理由による。図７はランプ固定用
ホルダの形状の違いによる作用について説明する図であ
る。図７（ａ）のように、ランプ固定用ホルダ４１の底
部が平面状であるとき、放電ランプ１０の口金１３の先
端部が傾いている場合には、すり割り４２を締め付ける
と、図７（ｂ）のように、口金１３の先端部の傾きに応
じてランプ固定用ホルダ４１も傾く。その際、Ｈを支点
にして、放電ランプ１０に対して矢印Ｉ方向に力を及ぼ
す。放電ランプ１０は図３に示す固定用板バネ３０によ
り図７の矢印Ｂ方向に力を受け、集光鏡ブラケット２０
に押しつけられて固定されているが、上記矢印Ｉ方向の
力により矢印Ｂ方向の力が一部相殺され、放電ランプ１
０の固定が不十分になってしまう。
【００２３】一方、図７（ｃ）のように、ランプ固定用
ホルダ４１の底部が球面状であれば放電ランプ１０の口
金１３の先端部が傾いていても、すり割り４２を締め付
けた際、ランプ固定用ホルダ４１は口金１３の先端部の
傾きに応じて傾くだけであり、図７（ｂ）のように、放
電ランプ１０に対して矢印Ｉ方向に力を及ぼすことはな
い。よって、放電ランプ１０の挿入が不十分になること
はない。
ホルダ４１の底部が球面状であれば放電ランプ１０の口
金１３の先端部が傾いていても、すり割り４２を締め付
けた際、ランプ固定用ホルダ４１は口金１３の先端部の
傾きに応じて傾くだけであり、図７（ｂ）のように、放
電ランプ１０に対して矢印Ｉ方向に力を及ぼすことはな
い。よって、放電ランプ１０の挿入が不十分になること
はない。
【００２４】以上のように、上記紫外線照射装置におい
ては、放電ランプ１０の陽極側の口金１３を放電ランプ
１０の一対の電極と所定の位置関係にあるようにフラン
ジ部１５を設けておく一方で、楕円集光鏡２１を保持す
る集光鏡ブラケット２０に上記口金１３と嵌合する嵌合
孔２２を設けたので、嵌合孔２２に放電ランプ１０の口
金１３を挿入することにより放電ランプ１０が所定位
置、すなわち、放電ランプ１０のアークの位置が楕円集
光鏡２１の楕円の焦点を通る光軸Ｌ上に定置され、集光
鏡ブラケット２１の下部に設けられた固定用板バネ３０
により、放電ランプ１０のアークの位置が楕円集光鏡２
１の楕円の焦点位置となるように簡便に固定することが
できる。
ては、放電ランプ１０の陽極側の口金１３を放電ランプ
１０の一対の電極と所定の位置関係にあるようにフラン
ジ部１５を設けておく一方で、楕円集光鏡２１を保持す
る集光鏡ブラケット２０に上記口金１３と嵌合する嵌合
孔２２を設けたので、嵌合孔２２に放電ランプ１０の口
金１３を挿入することにより放電ランプ１０が所定位
置、すなわち、放電ランプ１０のアークの位置が楕円集
光鏡２１の楕円の焦点を通る光軸Ｌ上に定置され、集光
鏡ブラケット２１の下部に設けられた固定用板バネ３０
により、放電ランプ１０のアークの位置が楕円集光鏡２
１の楕円の焦点位置となるように簡便に固定することが
できる。
【００２５】よって、従来のようにランプを点灯させて
照度モニタをモニタしながら放電ランプ１０の位置合わ
せを行う必要はなく、位置合わせ時に必要であった遮光
カバーが不要となった。
照度モニタをモニタしながら放電ランプ１０の位置合わ
せを行う必要はなく、位置合わせ時に必要であった遮光
カバーが不要となった。
【００２６】さらに、集光鏡ブラケット２０のはめあい
部２２に放電ランプ１０の端部１３を挿入すると、端部
１３の先端部はケーブルＣ２と接続された電力供給用部
材４０の固定部４３に挿入され、レバー４５を傾けるこ
とにより、すり割り構造の固定部４３が端部１３の先端
部を締め付けるので、放電ランプ１０への電力の供給手
段も簡便に放電ランプ１０と接続できる。
部２２に放電ランプ１０の端部１３を挿入すると、端部
１３の先端部はケーブルＣ２と接続された電力供給用部
材４０の固定部４３に挿入され、レバー４５を傾けるこ
とにより、すり割り構造の固定部４３が端部１３の先端
部を締め付けるので、放電ランプ１０への電力の供給手
段も簡便に放電ランプ１０と接続できる。
【００２７】特に、図１のように、固定用板バネ３０が
放電ランプ１０を固定していない状態（図１の破線の状
態）で、レバー４５を垂直にしようするときにレバー４
５が固定用板バネ３０にぶつかるように構成しておけ
ば、放電ランプ１０の固定がされないまま、放電ランプ
１０が電力供給用部材４０に固定されるという不具合も
防止することができる。
放電ランプ１０を固定していない状態（図１の破線の状
態）で、レバー４５を垂直にしようするときにレバー４
５が固定用板バネ３０にぶつかるように構成しておけ
ば、放電ランプ１０の固定がされないまま、放電ランプ
１０が電力供給用部材４０に固定されるという不具合も
防止することができる。
【００２８】
【発明の効果】本発明の紫外線照射装置によれば、放電
ランプの一方の端部を段差を有するフランジ構造とし
て、楕円集光鏡の開口部の下方にある楕円集光鏡保持部
材の底部には上記フランジ構造の端部が嵌合する嵌合部
が設け、上記放電ランプの端部を上記楕円集光鏡の開口
部を貫通して上記楕円集光鏡保持部材の底部の嵌合部に
嵌合させると、上記放電ランプのアークの位置が上記楕
円集光鏡の焦点位置に略一致するようにしたので、従来
のようにランプを点灯させて照度モニタに表示される値
を観察しながら放電ランプの位置合わせを行う必要はな
く、位置合わせ作業中の作業者に対する遮光カバー等の
紫外線被曝対策が不要となった。
ランプの一方の端部を段差を有するフランジ構造とし
て、楕円集光鏡の開口部の下方にある楕円集光鏡保持部
材の底部には上記フランジ構造の端部が嵌合する嵌合部
が設け、上記放電ランプの端部を上記楕円集光鏡の開口
部を貫通して上記楕円集光鏡保持部材の底部の嵌合部に
嵌合させると、上記放電ランプのアークの位置が上記楕
円集光鏡の焦点位置に略一致するようにしたので、従来
のようにランプを点灯させて照度モニタに表示される値
を観察しながら放電ランプの位置合わせを行う必要はな
く、位置合わせ作業中の作業者に対する遮光カバー等の
紫外線被曝対策が不要となった。
【図１】本発明の紫外線照射装置の光学系を示す図であ
る。
る。
【図２】放電ランプ固定前の状態を示す図である。
【図３】放電ランプ固定後の状態を示す図である。
【図４】口金と嵌合孔の別の形状を示す図である。
【図５】電力供給用部材の詳細を示す図である。
【図６】すり割りの締め付けについて説明するための図
である。
である。
【図７】ランプ固定用ホルダの形状の違いによる作用に
ついて説明する図である。
ついて説明する図である。
【図８】紫外線照射装置の光学系の一例を示す図であ
る。
る。
１０ 放電ランプ １１ 陰極 １２ 陽極 １３ 口金 １５ フランジ部 １６ 小径部 １７ 溝部 ２０ 集光鏡ブラケット ２１ 楕円集光鏡 ２２ 嵌合孔 ３０ 固定用板バネ ３１ バネ取付け台 ３２ バネ取付台固定ネジ ３４ 取付け用長穴 ３５ ランプ固定用穴 ４０ 電力供給用部材 ４１ ランプ固定用ホルダ ４２ すり割り部 ４３ 固定部 ４４ 締めつけ軸 ４５ レバー ４６ ネジ固定部材 ４７ ホルダ保持部材
Claims (1)
- 【請求項１】 ショートアーク型の放電ランプと、 中央部に開口を有する楕円集光鏡と、 該楕円集光鏡を保持する楕円集光鏡保持部材とを備えた
紫外線照射装置において、 上記放電ランプの一端にフランジ型の口金を設け、 上記楕円集光鏡保持部材の底部には上記口金が嵌合する
嵌合孔が形成され、 一方、上記楕円集光鏡保持部材には、上記嵌合孔に嵌合
した上記口金に離脱可能に係合し、該口金のフランジ部
を上記楕円集光鏡保持部材側に付勢する付勢部材を設け
たことを特徴とする紫外線照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22463196A JPH1055713A (ja) | 1996-08-08 | 1996-08-08 | 紫外線照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22463196A JPH1055713A (ja) | 1996-08-08 | 1996-08-08 | 紫外線照射装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1055713A true JPH1055713A (ja) | 1998-02-24 |
Family
ID=16816747
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22463196A Pending JPH1055713A (ja) | 1996-08-08 | 1996-08-08 | 紫外線照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| JP (1) | JPH1055713A (ja) |
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-
1996
- 1996-08-08 JP JP22463196A patent/JPH1055713A/ja active Pending
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