JP2005233979A - 反射屈折光学系 - Google Patents
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Abstract
【課題】有効な絞り設置部分を採ることができ、ワーキングデスタンスを充分採れ、大型になり勝ちな凹面鏡をできるだけ小さいもので構成することが可能な反射屈折光学系を提供する。
【解決手段】第1面Rより第2面W側へ順に、屈折レンズからなる第1結像光学系G1と、少なくとも1つの凹レンズと2つの反射鏡とを有する第2結像光学系G2と、屈折レンズからなる第3結像光学系G3と、を含み、前記第1結像光学系G1は、前記第1面Rの第1中間像IM1を形成し、前記第2結像光学系G2は、前記第1中間像IM1を再結像することで第2中間像IM2を形成し、前記第3結像光学G3系は、前記第2中間像IM2を前記第2面W上へ再結像することを特徴とする反射屈折光学系を提供する。
【選択図】 図2
【解決手段】第1面Rより第2面W側へ順に、屈折レンズからなる第1結像光学系G1と、少なくとも1つの凹レンズと2つの反射鏡とを有する第2結像光学系G2と、屈折レンズからなる第3結像光学系G3と、を含み、前記第1結像光学系G1は、前記第1面Rの第1中間像IM1を形成し、前記第2結像光学系G2は、前記第1中間像IM1を再結像することで第2中間像IM2を形成し、前記第3結像光学G3系は、前記第2中間像IM2を前記第2面W上へ再結像することを特徴とする反射屈折光学系を提供する。
【選択図】 図2
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、反射屈折光学系に関し、特に、半導体の製造に用いられるステッパーなどの露光装置の反射屈折光学系に関するものである。より具体的には、紫外線波長域でのサブミクロン単位の分解能を有する1/4倍程度の走査型縮小露光装置の反射屈折縮小光学系に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、半導体の製造や半導体チップ実装基板の製造では、ますますラインアンドスペースの微細化が進んでおり、これらのパターンを焼き付ける露光装置は、より解像力の高いものが要求されてきている。
【0003】
この要求を満足するためには、露光装置の光源の波長を短波長化し、かつ NA(光学系の開口数)を大きくしなければならない。しかしながら、波長が短くなると、光の吸収のため実用に耐える光学ガラスが限られてくる。
【0004】
このような場合、屈折光学系だけで露光装置の投影光学系を構成したのでは、色収差補正がまったく不可能となる。従って、要求される解像力を達成するために投影光学系を屈折系のみで光学系を構成し、投影レンズを作ることは、非常に難しいものとなる。
【0005】
これに対して、反射光学系のみで露光装置の投影光学系を構成することも試みられているが、この場合、投影光学系が大型化し、かつ反射面の非球面化が必要となる。高精度の反射非球面を多数用いることは、製作の面で極めて困難になる。
【0006】
そこで反射光学系と使用波長に使える光学ガラスからなる屈折光学系とを組み合せた、いわゆる反射屈折光学系が、色々提案されている。
【0007】
その中で、投影光学系の光路の途中で少なくとも1回以上の中間結像を行なうタイプは、これまでに、様々なものが提案されているが、途中1回結像のみ行うのものに限定してみると、特公平5- 25170号公報 、特開昭63-163319号公報 、特開平4- 234722号公報 、USP - 4,779,966号に開示されたもの が挙げられる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来技術の中で、凹面鏡を1枚だけ使用しているものは、特開平4-234722号公報及び USP-4,779,966号に開示された光学系である。これらの光学系は、凹面鏡で構成される往復兼用光学系において、負レンズのみが採用されており、正のパワーの光学系が使われていない。そのため、光束が広がって凹面鏡に入射するため、凹面鏡の径が大きくなりがちであった。
【0009】
また、特に、特開平4-234722号公報に開示された往復兼用光学系は、完全対称型であり、そこの光学系での収差発生を極力抑えて、後続の屈折光学系の収差補正負担を軽くしているが、対称光学系を採用しているため、第1面(レチクル又はマスク)側でのワーキングディスタンス(WD)が小さくなってしまう問題があった。
【0010】
また、USP-4,779,966号に開示された光学系では、中間像よりも後方の第2結像光学系に凹面鏡を使用している。したがって、光学系の必要な明るさを確保するためには、光束が広がって凹面鏡に入射することになり、凹面鏡の小型化が困難なものであった。
【0011】
また、複数の凹面鏡を使用するものでは、屈折光学系のレンズ枚数を削減できる可能性があるが、これらのタイプでは以下に示す問題があった。
【0012】
すなわち、最近、焦点深度を稼ぎながら解像力を上げるため、照明光学系のNAと投影光学系のNAとの比σ値を可変にすることが行なわれている。この場合、照明光学系には開口絞りを設置することができるが、前記に挙げた反射屈折光学系を投影光学系に採用すると、有効な絞り設置部分が投影光学系中のどこにも採れないことになってしまう。
【0013】
さらに、このような配置の往復光学系を縮小側の第2面(ウエハー又はプレート)側に採用するタイプの反射屈折光学系では、縮小倍率の関係から反射鏡で反射した後、第2面までの距離が長く採れないため、この光路中に挿入される投影光学系のレンズ枚数がそう多く採れず、そのため得られる光学系の明るさは限られたものとならざるを得なかった。たとえ高NAの光学系が実現出来ても、限られた長さに多くの光学部材が挿入されるため、ウエハーと投影光学系の端面との距離、いわゆるワーキングディスタンス(WD)が長く採れない光学系となっていた。
【0014】
また、以上のような従来の反射屈折光学系においては、光路の光軸を必ず途中で偏心させる必要があり、いわゆる偏心光学系となっていた。この偏心光学系の偏心部分の調整作業は、困難であり、なかなか高精度の光学系を実現することができなかった。
【0015】
本発明では、以上の問題点に鑑み、有効な絞り設置部分を採ることができ、ワーキングデスタンスを充分採れ、大型になり勝ちな凹面鏡をできるだけ小さいもので構成することが可能な反射屈折光学系を提供することを目的とする。
【0016】
【課題を解決するための手段】
本発明では、上記目的を達成するために、第1面Rより第2面W側へ順に、屈折レンズからなる第1結像光学系G1と、少なくとも1つの凹レンズと2つの反射鏡とを有する第2結像光学系G2と、屈折レンズからなる第3結像光学系G3と、を含み、前記第1結像光学系G1は、前記第1面Rの第1中間像IM1を形成し、前記第2結像光学系G2は、前記第1中間像IM1を再結像することで第2中間像IM2を形成し、前記第3結像光学G3系は、前記第2中間像IM2を前記第2面W上へ再結像することを特徴とする反射屈折光学系を提供する。
【0017】
また、本発明では、この反射屈折光学系を用いた投影露光装置及び投影露光方法も提供する。
【0018】
具体的には、光源と、光源からの光束を第1面R上に均一照射するための照明光学系と、第1面Rを第2面Wへ投影する前述の反射屈折光学系と、を含むことを特徴とする投影露光装置を提供する。
【0019】
また、光源より照明光を放射し、照明光学系により照明光を第1面R上に均一照射し、前述の反射屈折光学系を用いて第1面Rを第2面Wへ投影し、第2面Wの露光を行うことを特徴とする投影露光方法を提供する。
【0020】
【発明の実施の形態】
上述のような第1結像光学系G1〜第3結像光学系G3を採用することで、これらの結像光学系の光軸が1本の直線とになるように構成できる。
【0021】
従って、本発明の反射屈折光学系によれば、いわゆる従来からの反射屈折光学系で問題となっていた、光軸が偏心しているために問題となる偏心光学系の偏心部分の調整作業が不要となり、高精度の光学系を実現することができる。
【0022】
更に、反射屈折光学系で構成することにより、反射屈折光学系の特徴である色補正がなされるので、単一硝種による色補正が可能となる。
【0023】
また更に、屈折光学系部分(第1結像光学系及び第3結像光学系)に正のパワーを含んでいるため、正の値になりがちなペッツバール和も、凹面鏡部分の負のペッツバール値により、相殺され、完全に 0 とすることができる。
【0024】
もちろん、このような構成をとると、第1中間像IM1を第1凹面鏡K1(2つの凹面鏡のうち第1結像光学系G1の近くに配置されている凹面鏡)の中心開口付近に結像させ、第2中間像を第2凹面鏡K2(2つの凹面鏡のうち第3結像光学系G3の近くに配置されている凹面鏡)の中心開口付近に結像させ、各凹面鏡の中心開口を通して、光線光路を後方に導く必要がある。
【0025】
このため、入射瞳には、中心遮蔽部が存在するが、中間像の大きさが、凹面鏡の大きさに比して小さく、また中間像の結像位置が、凹面鏡の位置に対して大きく離れていないため、入射瞳の大きさに対する中心遮蔽部の大きさ、いわゆる中心遮蔽率は僅かであり、結像性能に大きな影響を与えない。
【0026】
また、本発明は、前記第2面側の開口数をNAOとし、前記第2結像光学系の少なくとも1つの凹レンズの有効径をΦとするとき、以下の条件を満足することが好ましい。
【0027】
3×Φ<1000× NAO
この条件は、反射屈折光学系に使用される屈折レンズ及び反射鏡を小型化するための条件である。この条件を逸脱すると、屈折レンズ及び反射鏡の小型化が困難になる。
【0028】
また、反射屈折光学系は、より高性能なものを得ようとするときは、21枚以上の屈折レンズから構成されることが好ましい。もし、23枚以上の屈折レンズから構成されるようにすれば、更に良い結果が得られる。
【0029】
また、反射屈折光学系は、反射防止コートの性能が上げにくい場合や硝材の透過率に問題がある場合は、20枚以下の屈折レンズから構成されることが好ましい。もし、18枚以下の屈折レンズから構成されるようにすれば、更に良い結果が得られる。
【0030】
更に好ましい態様としては、前述の2つの反射鏡の間に開口を有したり、色収差を良好に補正するためには、前述の2つの反射鏡は、互いに凹面反射面を向かい会わせに配置された凹面鏡であることが好ましい。
【0031】
また、第1結像光学系G1は、少なくとも、2つ以上の正レンズで構成され、第3結像光学系G3は、少なくとも2つ以上の正レンズで構成されることが好ましい。
【0032】
更に、第1結像光学系G1または第3結像光学系G3に、少なくとも1つ以上の開口絞りを配置することが好ましい。また、第1結像光学系G1または第3結像光学系G3には、少なくとも1つ以上の中心遮蔽板を配置することが好ましい。このようにすることで、像質の改善を行うことが出来る。
【0033】
また、反射屈折光学系は、非球面を少なくとも5面以上含むことが好ましい。非球面を用いることで、投影光学系の高性能化やレンズの枚数削減が達成できる。
【0034】
更に、反射屈折光学系の屈折レンズを、すべて同一の硝材、特に、蛍石で構成することが好ましい。硝材としては、蛍石以外には、フッ素を添加した石英ガラスやフッ素化合物の結晶が考えられる。
【0035】
また、2つの凹面鏡のうち、第1面側Rに近い方に配置されているものを第1凹面鏡K1とし、第2面W側に近い方に配置されているものを第2凹面鏡K2とし、第1中間像IM1の位置から第1凹面鏡K1の位置までの距離をd1、第2中間像IM2の位置から第2凹面鏡K2の位置までの距離をd2とし、第2面W上の露光領域の直径をΦwとするとき、以下の条件を満足することが好ましい。
【0036】
| d1| < Φw
| d2| < Φw
d1に係る条件は、第1結像光学系G1及び第2結像光学系G2の適切な屈折力配分を規定するものであり、d2に係る条件は、第2結像光学系G2及び第3結像光学系G3の適切な屈折力配分を規定するものである。これら条件の範囲を逸脱すると、いずれかの結像光学系の屈折力が過大になり、良好な収差補正が困難になると同時に、凹面鏡の小型化が困難になる。
【0037】
また、反射屈折光学系は、第1面R側、または第2面W側でテレセントリックな光学系であることが好ましい。
【0038】
【実施例】
本発明による反射屈折光学系は、基本的には、図1に示すように、第1面Rより第2面W側へ順に、第1結像光学系G1、第2結像光学系G2及び第3結像光学系G3より構成されている。ここで、第1結像光学系G1は、第1面Rの第1中間像IM1を第2結像光学系G2の付近に形成する。更に、第2結像光学系G2は、第1中間像IM1の再結像像である第2中間像IM2を第3結像光学系G3の付近に形成し、第3結像光学系G3は、第2中間像IM2を第2面W上に結像させる。
【0039】
図1には、第1面R、第1中間像IM1、第2中間像IM2及び第2面Wの結像関係による物体及び像の向きが、矢印を用いて示されている。また、図1には、本発明による反射屈折光学系を走査型投影露光装置に適用したときの、第1面R及び第2面W上での走査方向も示されている。第1面R及び第2面W上での走査方向は、それぞれ反対の方向となる。また、照明領域及び露光領域は、光軸を中心とする長方形形状である。尚、第3結像光学系G3中には、開口絞りSTOが配置されている。
【0040】
また、以下に示す各実施例では非球面を用いており、非球面形状を表す式は以下の通りである。
【0041】
【数1】
【0042】
更に、以下に示す各実施例の投影光学系は、全て蛍石によって構成されている。蛍石の屈折率は、波長157nmで1.56000である。
【0043】
以下に、本発明による各実施例を示す。以下に示す表中で、CaF2は蛍石を示し、REFは反射鏡を示し、STOは開口絞りを示している。
〔第1実施例〕
第1実施例による反射屈折光学系は、図2に示すように、第1面Rより第2面W側へ順に、第1結像光学系G1、第2結像光学系G2及び第3結像光学系G3より構成されている。第1結像光学系G1は、第1面R側より順に、3枚の正メニスカスレンズ、3枚の負メニスカスレンズ、2枚の正レンズ及び3枚の正メニスカスレンズにより講成され、第2結像光学系G2は、1枚の凹面鏡、2枚の負メニスカスレンズ及び1枚の凹面鏡によって講成されている。また、第3結像光学系G3は、1枚の正メニスカスレンズ、1枚の負レンズ、2枚の正メニスカスレンズ、1枚の負レンズ、4枚の正メニスカスレンズ、1枚の負レンズ及び1枚の正メニスカスレンズにより講成されている。
【0044】
また、本実施例の反射屈折光学系は、縮小倍率 が1/4 倍、第2面W側の開口数( NA )が 0.75、第1面R側の最大物体高が 37.44 mm、第2面W側の最大像高が 9.36 mm であり、第2面W上の露光サイズを 17.5 × 6.6 mm の矩形開口としている。これにより、走査して露光を行うことで、全体の露光面積は 17.2 × 25 mmとしている。また、WDは、第1面R側で50.912830で、第2面W側で13.234625である。
【0045】
使用する凹面鏡の直径は、260.2 mm 以下、使用レンズの中で、2枚の最大のレンズの有効径は 246.9 mm 以下であり、その他の大部分のレンズの有効径は183.5 mm 以下であり、通常のこのスペックで使用される屈折系球面光学系の使用レンズの有効径よりも、かなり小さいものである。
【0046】
凹面鏡の遮蔽部の光束に対する遮蔽率は NA 比で 19.5 % であり、結像性能に与える影響は少なく、充分高性能を得ることができる。
【0047】
屈折レンズ部は蛍石を使用し、紫外線 F2 エキシマレーザーの 157 nm の波長における、半値幅 1 pm の色収差補正がなされている。
【0048】
また、図3及び図4に示すように、球面収差、コマ収差、非点収差及び歪曲収差ともほぼ無収差に近い状態まで良好に補正され、優れた性能の光学系を提供している。
【0049】
【表1】
〔第2実施例〕
第2実施例による投影光学系は、図5に示すように、第1面Rより第2面W側へ順に、第1結像光学系G1、第2結像光学系G2及び第3結像光学系G3より構成されている。第1結像光学系G1は、第1面R側より順に、3枚の正メニスカスレンズ、3枚の負メニスカスレンズ、2枚の正レンズ、1枚の負メニスカスレンズ、2枚の正メニスカスレンズ、により講成され、第2結像光学系G2は、1枚の凹面鏡、2枚の負メニスカスレンズ及び1枚の凹面鏡によって講成される。第3結像光学系G3は、1枚の正メニスカスレンズ、1枚の負レンズ、2枚の正メニスカスレンズ、1枚の負レンズ、4枚の正メニスカスレンズ、1枚の負レンズ及び1枚の正メニスカスレンズにより講成される。
【0050】
また、本実施例の反射屈折光学系は、縮小倍率が 1/4 倍、第2面W側の開口数( NA )が 0.75、第1面R側の最大物体高が 37.44 mm、第2面W側の最大像高が 9.36 mm であり、第2面W上の露光サイズは 17.5 × 6.6 mm の矩形開口としている。これにより、走査して露光し、全体の露光面積は 17.2 × 25 mm としている。また、WDは、第1面R側で50.000000で、第2面W側で12.335033である。
【0051】
使用する凹面鏡の直径は、251.2 mm 以下、使用レンズの中で、2枚の最大のレンズの有効径は 238.4 mm 以下であり、その他の大部分のレンズの有効径は187 mm 以下であり、通常のこのスペックで使用される屈折系球面光学系の使用レンズの有効径よりも、かなり小さいものである。
【0052】
凹面鏡の遮蔽部の光束に対する遮蔽率は NA 比で 19.5 % であり、結像性能に与える影響は少なく、充分高性能を得ることができる。
【0053】
屈折レンズ部は蛍石を使用し、紫外線エキシマレーザーの 157 nm の波長における、半値幅 1.0 pm の色収差補正がなされている。
【0054】
また、図6及び図7に示すように、球面収差、コマ収差、非点収差及び歪曲収差ともほぼ無収差に近い状態まで良好に補正され、優れた性能の光学系を提供している。
【0055】
【表2】
〔第3実施例〕
第3実施例による反射屈折光学系は、図8に示すように、第1面Rより第2面W側へ順に、第1結像光学系G1、第2結像光学系G2及び第3結像光学系G3より構成されている。第1結像光学系G1は、第1面R側より順に、1枚の負メニスカスレンズ、1枚の正レンズ、3枚の正メニスカスレンズ、1枚の負レンズ、2枚の正メニスカスレンズ、2枚の正レンズ及び2枚の正メニスカスレンズにより構成され、第2結像光学系G2は、1枚の凹面鏡、2枚の負メニスカスレンズ及び1枚の凹面鏡によって講成される。第3結像光学系G3は、1枚の正レンズ、1枚の負レンズ、1枚の正メニスカスレンズ、1枚の正レンズ、1枚の正メニスカスレンズ、1枚の負メニスカスレンズ、4枚の正メニスカスレンズ、1枚の正レンズ、1枚の負メニスカスレンズ及び1枚の正メニスカスレンズにより講成される。
【0056】
また、本実施例の反射屈折光学系は、縮小倍率が1/4倍、第2面W側の開口数NAが 0.75、第1面R側の最大物体高が 52.8 mm 、第2面W側の最大像高が 13.2 mm であり、第2面W上の露光サイズは 25 × 8.8 mm の矩形開口としている。これにより、走査して露光し、全体の露光面積は 25 × 33 mm としている。また、WDは、第1面R側で72.734695で、第2面W側で17.227255である。
【0057】
使用する凹面鏡の直径は、260 mm 以下、使用レンズの中で、2枚の最大のレンズの有効径は 259 mm 以下であり、その他の大部分のレンズの有効径は188 mm以下であり、通常のこのスペックで使用される屈折系球面光学系の使用レンズの有効径よりも、かなり小さいものである。
【0058】
凹面鏡の遮蔽部の光束に対する遮蔽率は NA 比で 20 % であり、結像性能に与える影響は少なく、充分高性能を得ることができる。
【0059】
屈折レンズ部は蛍石を使用し、紫外線 F2 エキシマレーザーの 157 nm の波長における、半値幅 2pm の色収差補正がなされている。
【0060】
また、図9及び図10に示すように、球面収差、コマ収差、非点収差及び歪曲収差ともほぼ無収差に近い状態まで良好に補正され、優れた性能の光学系を提供している。
【0061】
【表3】
〔第4実施例〕
第4実施例による反射屈折光学系は、図11に示すように、第1面Rより第2面W側へ順に、第1結像光学系G1、第2結像光学系G2及び第3結像光学系G3より構成されている。第1結像光学系G1は、第1面R側より順に、3枚の正メニスカスレンズ、1枚の負メニスカスレンズ、1枚の負レンズ、1枚の正メニスカスレンズ、2枚の正レンズ、1枚の正メニスカスレンズ、1枚の正レンズ及び1枚の正メニスカスレンズで構成され、第2結像光学系G2は、互いに対称形に向かい合って配置された2枚の凹面鏡と2枚の負メニスカスレンズとで構成されている。第3結像光学系G3は、1枚の正メニスカスレンズ、1枚の凹レンズ、2枚の正メニスカスレンズ、1枚の負メニスカスレンズ、4枚の正メニスカスレンズ、1枚の負レンズ及び1枚の正メニスカスレンズから構成されている。
【0062】
また本実施例の反射屈折光学系は、縮小倍率が1/4倍、第2面W側の開口数NAが 0.75、第1面R側の最大物体高が 52.8 mm 、第2面W側の最大像高が 13.2 mm であり、第2面W上の露光サイズは 25.0 × 8.8 mm の矩形開口としている。これにより、走査して露光し、全体の露光面積は 25.0 × 33 mm としている。また、WDは、第1面R側で78.864226で、第2面W側で12.628525である。
【0063】
使用する凹面鏡の直径は、265 mm 以下、使用レンズの中で、2枚の最大のレンズの有効径は 260 mm 以下であり、その他の大部分のレンズの有効径は183 mm以下であり、通常のこのスペックで使用される屈折系球面光学系の使用レンズの有効径よりも、かなり小さいものである。
【0064】
凹面鏡の遮蔽部の光束に対する遮蔽率は NA 比で 20 % であり、結像性能に与える影響は少なく、充分高性能を得ることができる。
【0065】
屈折レンズ部は蛍石を使用し、紫外線エキシマレーザーの 157 nm の波長における、半値幅 2.0 pm の色収差補正がなされている。
【0066】
また、図12及び13に示すように、球面収差、コマ収差、非点収差及び歪曲収差ともほぼ無収差に近い状態まで良好に補正され、優れた性能の光学系を提供している。
【0067】
【表4】
〔第5実施例〕
第5実施例による反射屈折光学系は、図14に示すように、第1面Rより第2面W側へ順に、第1結像光学系G1、第2結像光学系G2及び第3結像光学系G3より構成されている。第1結像光学系G1は、第1面R側より順に、1枚の正メニスカスレンズ、1枚の正レンズ、1枚の負メニスカスレンズ、1枚の負レンズ、2枚の正メニスカスレンズ2枚の正レンズ及び1枚の凹メニスカスレンズにより講成され、第2結像光学系G2は、1枚の凹面鏡、2枚の負メニスカスレンズ、1枚の凹面鏡によって講成されている。第3結像光学系G3は、2枚の正レンズ、1枚の負メニスカスレンズ、1枚の正メニスカスレンズ、1枚の正レンズ、1枚の正レンズ、1枚の正メニスカスレンズ、1枚の負メニスカスレンズ、2枚の正レンズ1枚の負メニスカスレンズ、1枚の正メニスカスレンズ及び1枚の負メニスカスレンズにより講成されている。
【0068】
また、本実施例の反射屈折光学系は、縮小倍率が1/4倍、第2面W側の開口数NAが 0.75、第1面R側の最大物体高が 52.8 mm 、第2面W側の最大像高が 13.2 mm であり、第2面W上の露光サイズは 25 × 8.8 mm の矩形開口としている。これにより、走査して露光し、全体の露光面積は 25 × 8.8 mm としている。また、WDは、第1面R側で110.490999で、第2面W側で13.000594である。
【0069】
使用する凹面鏡の直径は、313 mm 以下、使用レンズの中で、2枚の最大のレンズの有効径は 308 mm 以下であり、その他の大部分のレンズの有効径は195 mm以下であり、通常のこのスペックで使用される屈折系球面光学系の使用レンズの有効径よりも、かなり小さいものである。
【0070】
凹面鏡の遮蔽部の光束に対する遮蔽率は NA 比で 23 % であり、結像性能に与える影響は少なく、充分高性能を得ることができる。
【0071】
屈折レンズ部は蛍石を使用し、紫外線エキシマレーザーの 157 nm の波長における、半値幅 2pm の色収差補正がなされている。
【0072】
また、図15及び図16に示すように、球面収差、コマ収差、非点収差及び歪曲収差ともほぼ無収差に近い状態まで良好に補正され、優れた性能の光学系を提供している。
【0073】
【表5】
〔第6実施例〕
第6実施例による反射屈折光学系は、図17に示すように、第1面Rより第2面W側へ順に、第1結像光学系G1、第2結像光学系G2及び第3結像光学系G3より構成されている。第1結像光学系G1は、第1面R側より順に、1枚の正レンズ、1枚の正メニスカスレンズ、2枚の負メニスカスレンズ、2枚の正レンズ及び1枚の正メニスカスレンズにより講成され、第2結像光学系G2は、1枚の凹面鏡、2枚の負メニスカスレンズ及び1枚の凹面鏡によって講成されている。第3結像光学系G3は、1枚の正レンズ、2枚の正メニスカスレンズ、2枚の正レンズ、1枚の正メニスカスレンズ、1枚の正レンズ及び2枚の正メニスカスレンズにより講成される。
【0074】
また、本実施例の反射屈折光学系は、縮小倍率が1/4倍、像側の開口数NAが 0.75、最大物体高が 51.2 mm 、最大像高が 12.8 mm であり、ウエハー上の露光サイズは 25 × 5.5 mm の矩形開口としている。これにより、走査して露光し、全体の露光面積は 25 × 33 mm としている。また、WDは、第1面R側で224.250603で、第2面W側で18.245931である。
【0075】
使用する凹面鏡の直径は、272 mm 以下、使用レンズの中で、2枚の最大のレンズの有効径は 269.2 mm 以下であり、その他の大部分のレンズの有効径は191.6 mm 以下であり、通常のこのスペックで使用される屈折系球面光学系の使用レンズの有効径よりも、かなり小さいものである。
【0076】
凹面鏡の遮蔽部の光束に対する遮蔽率は NA 比で 20 % であり、結像性能に与える影響は少なく、充分高性能を得ることができる。
【0077】
屈折レンズ部は蛍石を使用し、紫外線 F2 エキシマレーザーの 157 nm の波長における、半値幅 2pm の色収差補正がなされている。
【0078】
また、図18及び図19に示すように、球面収差、コマ収差、非点収差及び歪曲収差ともほぼ無収差に近い状態まで良好に補正され、優れた性能の光学系を提供している。
【0079】
【表6】
〔第7実施例〕
第7実施例による反射屈折光学系は、図20に示すように、第1面Rより第2面W側へ順に、第1結像光学系G1、第2結像光学系G2及び第3結像光学系G3より構成されている。第1結像光学系G1は、第1面R側より順に、3枚の正メニスカスレンズ、1枚の負メニスカスレンズ、1枚の負レンズ、1枚の正メニスカスレンズ、2枚の正レンズ、1枚の正メニスカスレンズ、1枚の正レンズ、1枚の正メニスカスレンズ、で構成され、第2結像光学系G2は、互いに対称形に向かい合って配置された2枚の凹面鏡と2枚の負メニスカスレンズで構成されている。また、第3結像光学系G3は、1枚の正メニスカスレンズ、1枚の負レンズ、2枚の正メニスカスレンズ、1枚の負メニスカスレンズ、4枚の正メニスカスレンズ、1枚の負レンズ、1枚の正レンズから構成されている。
【0080】
また本実施例の反射屈折光学系は、縮小倍率が1/4倍、像側の開口数NAが 0.75、最大物体高が 41.6 mm 、最大像高が 10.4 mm であり、第2面W上の露光サイズは 20.0 × 5.5 mm の矩形開口としている。これにより、走査して露光し、全体の露光面積は 20.0 × 33 mm としている。また、WDは、第1面R側で166.292101で、第2面W側で15.484990である。
【0081】
使用する凹面鏡の直径は、264.3 mm 以下、使用レンズの中で、2枚の最大のレンズの有効径は 259.8 mm 以下であり、その他の大部分のレンズの有効径は182.5 mm 以下であり、通常のこのスペックで使用される屈折系球面光学系の使用レンズの有効径よりも、かなり小さいものである。
【0082】
凹面鏡の遮蔽部の光束に対する遮蔽率は NA 比で 20 % であり、結像性能に与える影響は少なく、充分高性能を得ることができる。
【0083】
屈折レンズ部は蛍石を使用し、紫外線エキシマレーザーの 157 nm の波長における、半値幅 2.0 pm の色収差補正がなされている。
【0084】
また、図21及び図22に示すように、球面収差、コマ収差、非点収差及び歪曲収差ともほぼ無収差に近い状態まで良好に補正され、優れた性能の光学系を提供している。
【0085】
【表7】
〔第8実施例〕
第8実施例による反射屈折光学系は、図23に示すように、第1面Rより第2面W側へ順に、第1結像光学系G1、第2結像光学系G2及び第3結像光学系G3より構成されている。第1結像光学系G1は、第1面R側より順に、1枚の負メニスカスレンズ、1枚の正レンズ、3枚の正メニスカスレンズ、1枚の負メニスカスレンズ、2枚の正メニスカスレンズ、2枚の正レンズ、2枚の正メニスカスレンズにより構成され、第2結像光学系G2は、1枚の凹面鏡、2枚の負メニスカスレンズ、1枚の凹面鏡によって構成されている。また、第3結像光学系G3は、1枚の正レンズ、1枚の負メニスカスレンズ、1枚の正メニスカスレンズ、1枚の正レンズ、1枚の正メニスカスレンズ、1枚の負メニスカスレンズ、4枚の正メニスカスレンズ、1枚の正レンズ、1枚の負メニスカスレンズ、1枚の正メニスカスレンズに構成されている。
【0086】
また、本実施例の反射屈折光学系は、縮小倍率が1/4倍、像側の開口数NAが 0.75、最大物体高が 52.8 mm 、最大像高が 13.2 mm であり、第2面W上の露光サイズは 25 × 8.8 mm の矩形開口としている。これにより、走査して露光し、全体の露光面積は 25 × 33 mm としている。また、WDは、第1面R側で181.103882で、第2面W側で18.788119である。
【0087】
使用する凹面鏡の直径は、260.0 mm 以下、使用レンズの中で、2枚の最大のレンズの有効径は 258.1 mm 以下であり、その他の大部分のレンズの有効径は174 mm 以下であり、通常のこのスペックで使用される屈折系球面光学系の使用レンズの有効径よりも、かなり小さいものである。
【0088】
凹面鏡の遮蔽部の光束に対する遮蔽率は NA 比で 24.0 % であり、結像性能に与える影響は少なく、充分高性能を得ることができる。
【0089】
屈折レンズ部は蛍石を使用し、紫外線エキシマレーザーの 157 nm の波長における、半値幅 2pm の色収差補正がなされている。
【0090】
また、図24及び図25に示すように、球面収差、コマ収差、非点収差及び歪曲収差ともほぼ無収差に近い状態まで良好に補正され、優れた性能の光学系を提供している。
【0091】
【表8】
次に、上述の反射屈折光学系を投影光学系として搭載した投影露光装置の実施例を、図26を用いて説明する。
【0092】
投影光学系PLの第1面Rには所定の回路パターンが形成された投影原板としてのレチクルが配置され、投影光学系PLの第2面Wには、基板としてのフォトレジストが塗布されたウエハが配置されている。レチクルはレチクルステージRS上に保持され、ウエハーはウエハーステージWS上に保持され、レチクルの上方には、レチクルを均一照明するための照明光学装置ISが配置されている。
【0093】
照明光学装置は、露光光を放射する光源、及びこの光源からの光束をレチクル上に均一照射するための照明光学系から構成されている。本実施例では、光源は、F2エキシマレーザー光源であり、波長157nmの露光光を放射している。照明光学系は、照度分布を均一化するためのフライアイレンズ、照明系開口絞り、可変視野絞り(レチクルブラインド)、及びコンデンサーレンズ系等から構成されている。
【0094】
投影光学系PLは、上述のようにレチクル側及びウエハー側において、実質的にテレセントリックになっている。また、照明光学装置ISから供給される露光光はレチクルを照明し、投影光学系PLの開口絞りSTOの位置には照明光学装置ISの光源の像が形成され、いわゆるケーラー照明が行われる。そして、ケーラー照明されたレチクルの回路パターンは、投影光学系PLを介して所定の倍率で縮小され、ウエハー上に投影される。
【0095】
この投影露光装置を用いて、ウエハー上に所定の回路パターンを形成する際の動作の一例につき、図27のフローチャートを参照して説明する。先ず、ステップ1において、1ロットのウエハー上に金属膜を蒸着する。ステップ2において、その金属膜上にフォトレジストを塗布する。その後、ステップ3において、上述の投影露光装置を用いて、レチクル上のパターンを、投影光学系PLを介して、ウエハー上の各露光領域に順次走査露光する。そして、ステップ4において、ウエハー上のフォトレジストの現像を行う。これにより、ウエハー上には、レジストパターンが形成される。次に、ステップ5において、レジストパターンの形成されたウエハーをエッチングすることによって、レチクル上のレジストパターンに対応する回路パターンが、ウエハー上の各露光領域に形成される。
【0096】
その後、更に上の層の回路パターンの形成等を行う事によって、半導体素子等のデバイスが製造される。
【0097】
【発明の効果】
以上のように、本発明では、結像部分を構成する第1結像光学系G1〜第3結像光学系G3を1本の光軸になるように構成したため、光学系全体を光軸を中心としてで調べることができ、各内部レンズの傾きや位置ずれを検知することができる。
【0098】
その結果、最終的には、有効な絞り設置部分を採ることができ、ワーキングデスタンスを充分採れ、劇的に小型の凹面鏡を有した光学系を得ることができ、最小の非球面要素を使いながら、調整に容易な1本の光軸で構成し、レチクル走査方向を重力と直交する方向に採ることができたものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】 図1は、本発明による反射屈折光学系の原理図である。
【図2】 図2は、第1実施例の反射屈折光学系の光路図である。
【図3】 図3は、第1実施例のコマ収差図である。
【図4】 図4は、第1実施例の球面収差図、非点収差図及び歪曲収差図である。
【図5】 図5は、第2実施例の反射屈折光学系の光路図である。
【図6】 図6は、第2実施例のコマ収差図である。
【図7】 図7は、第2実施例の球面収差図、非点収差図及び歪曲収差図である。
【図8】 図8は、第3実施例の反射屈折光学系の光路図である。
【図9】 図9は、第3実施例のコマ収差図である。
【図10】 図10は、第3実施例の球面収差図、非点収差図及び歪曲収差図である。
【図11】 図11は、第4実施例の反射屈折光学系の光路図である。
【図12】 図12は、第4実施例のコマ収差図である。
【図13】 図13は、第4実施例の球面収差図、非点収差図及び歪曲収差図である。
【図14】 図14は、第5実施例の反射屈折光学系の光路図である。
【図15】 図15は、第5実施例のコマ収差図である。
【図16】 図16は、第5実施例の球面収差図、非点収差図及び歪曲収差図である。
【図17】 図17は、第6実施例の反射屈折光学系の光路図である。
【図18】 図18は、第6実施例のコマ収差図である。
【図19】 図19は、第6実施例の球面収差図、非点収差図及び歪曲収差図である。
【図20】 図20は、第7実施例の反射屈折光学系の光路図である。
【図21】 図21は、第7実施例のコマ収差図である。
【図22】 図22は、第7実施例の球面収差図、非点収差図及び歪曲収差図である。
【図23】 図23は、第8実施例の反射屈折光学系の光路図である。
【図24】 図24は、第8実施例のコマ収差図である。
【図25】 図25は、第8実施例の球面収差図、非点収差図及び歪曲収差図である。
【図26】 図26は、本発明による投影露光装置の図である。
【図27】 図27は、本発明による投影露光方法の手順を示した図である。
【符号の説明】
G1 第1結像光学系
G2 第2結像光学系
G3 第3結像光学系
R 第1面
W 第2面
IM1 第1中間像
IM2 第2中間像
K1 第1凹面鏡
K2 第2凹面鏡
【発明の属する技術分野】
本発明は、反射屈折光学系に関し、特に、半導体の製造に用いられるステッパーなどの露光装置の反射屈折光学系に関するものである。より具体的には、紫外線波長域でのサブミクロン単位の分解能を有する1/4倍程度の走査型縮小露光装置の反射屈折縮小光学系に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、半導体の製造や半導体チップ実装基板の製造では、ますますラインアンドスペースの微細化が進んでおり、これらのパターンを焼き付ける露光装置は、より解像力の高いものが要求されてきている。
【0003】
この要求を満足するためには、露光装置の光源の波長を短波長化し、かつ NA(光学系の開口数)を大きくしなければならない。しかしながら、波長が短くなると、光の吸収のため実用に耐える光学ガラスが限られてくる。
【0004】
このような場合、屈折光学系だけで露光装置の投影光学系を構成したのでは、色収差補正がまったく不可能となる。従って、要求される解像力を達成するために投影光学系を屈折系のみで光学系を構成し、投影レンズを作ることは、非常に難しいものとなる。
【0005】
これに対して、反射光学系のみで露光装置の投影光学系を構成することも試みられているが、この場合、投影光学系が大型化し、かつ反射面の非球面化が必要となる。高精度の反射非球面を多数用いることは、製作の面で極めて困難になる。
【0006】
そこで反射光学系と使用波長に使える光学ガラスからなる屈折光学系とを組み合せた、いわゆる反射屈折光学系が、色々提案されている。
【0007】
その中で、投影光学系の光路の途中で少なくとも1回以上の中間結像を行なうタイプは、これまでに、様々なものが提案されているが、途中1回結像のみ行うのものに限定してみると、特公平5- 25170号公報 、特開昭63-163319号公報 、特開平4- 234722号公報 、USP - 4,779,966号に開示されたもの が挙げられる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来技術の中で、凹面鏡を1枚だけ使用しているものは、特開平4-234722号公報及び USP-4,779,966号に開示された光学系である。これらの光学系は、凹面鏡で構成される往復兼用光学系において、負レンズのみが採用されており、正のパワーの光学系が使われていない。そのため、光束が広がって凹面鏡に入射するため、凹面鏡の径が大きくなりがちであった。
【0009】
また、特に、特開平4-234722号公報に開示された往復兼用光学系は、完全対称型であり、そこの光学系での収差発生を極力抑えて、後続の屈折光学系の収差補正負担を軽くしているが、対称光学系を採用しているため、第1面(レチクル又はマスク)側でのワーキングディスタンス(WD)が小さくなってしまう問題があった。
【0010】
また、USP-4,779,966号に開示された光学系では、中間像よりも後方の第2結像光学系に凹面鏡を使用している。したがって、光学系の必要な明るさを確保するためには、光束が広がって凹面鏡に入射することになり、凹面鏡の小型化が困難なものであった。
【0011】
また、複数の凹面鏡を使用するものでは、屈折光学系のレンズ枚数を削減できる可能性があるが、これらのタイプでは以下に示す問題があった。
【0012】
すなわち、最近、焦点深度を稼ぎながら解像力を上げるため、照明光学系のNAと投影光学系のNAとの比σ値を可変にすることが行なわれている。この場合、照明光学系には開口絞りを設置することができるが、前記に挙げた反射屈折光学系を投影光学系に採用すると、有効な絞り設置部分が投影光学系中のどこにも採れないことになってしまう。
【0013】
さらに、このような配置の往復光学系を縮小側の第2面(ウエハー又はプレート)側に採用するタイプの反射屈折光学系では、縮小倍率の関係から反射鏡で反射した後、第2面までの距離が長く採れないため、この光路中に挿入される投影光学系のレンズ枚数がそう多く採れず、そのため得られる光学系の明るさは限られたものとならざるを得なかった。たとえ高NAの光学系が実現出来ても、限られた長さに多くの光学部材が挿入されるため、ウエハーと投影光学系の端面との距離、いわゆるワーキングディスタンス(WD)が長く採れない光学系となっていた。
【0014】
また、以上のような従来の反射屈折光学系においては、光路の光軸を必ず途中で偏心させる必要があり、いわゆる偏心光学系となっていた。この偏心光学系の偏心部分の調整作業は、困難であり、なかなか高精度の光学系を実現することができなかった。
【0015】
本発明では、以上の問題点に鑑み、有効な絞り設置部分を採ることができ、ワーキングデスタンスを充分採れ、大型になり勝ちな凹面鏡をできるだけ小さいもので構成することが可能な反射屈折光学系を提供することを目的とする。
【0016】
【課題を解決するための手段】
本発明では、上記目的を達成するために、第1面Rより第2面W側へ順に、屈折レンズからなる第1結像光学系G1と、少なくとも1つの凹レンズと2つの反射鏡とを有する第2結像光学系G2と、屈折レンズからなる第3結像光学系G3と、を含み、前記第1結像光学系G1は、前記第1面Rの第1中間像IM1を形成し、前記第2結像光学系G2は、前記第1中間像IM1を再結像することで第2中間像IM2を形成し、前記第3結像光学G3系は、前記第2中間像IM2を前記第2面W上へ再結像することを特徴とする反射屈折光学系を提供する。
【0017】
また、本発明では、この反射屈折光学系を用いた投影露光装置及び投影露光方法も提供する。
【0018】
具体的には、光源と、光源からの光束を第1面R上に均一照射するための照明光学系と、第1面Rを第2面Wへ投影する前述の反射屈折光学系と、を含むことを特徴とする投影露光装置を提供する。
【0019】
また、光源より照明光を放射し、照明光学系により照明光を第1面R上に均一照射し、前述の反射屈折光学系を用いて第1面Rを第2面Wへ投影し、第2面Wの露光を行うことを特徴とする投影露光方法を提供する。
【0020】
【発明の実施の形態】
上述のような第1結像光学系G1〜第3結像光学系G3を採用することで、これらの結像光学系の光軸が1本の直線とになるように構成できる。
【0021】
従って、本発明の反射屈折光学系によれば、いわゆる従来からの反射屈折光学系で問題となっていた、光軸が偏心しているために問題となる偏心光学系の偏心部分の調整作業が不要となり、高精度の光学系を実現することができる。
【0022】
更に、反射屈折光学系で構成することにより、反射屈折光学系の特徴である色補正がなされるので、単一硝種による色補正が可能となる。
【0023】
また更に、屈折光学系部分(第1結像光学系及び第3結像光学系)に正のパワーを含んでいるため、正の値になりがちなペッツバール和も、凹面鏡部分の負のペッツバール値により、相殺され、完全に 0 とすることができる。
【0024】
もちろん、このような構成をとると、第1中間像IM1を第1凹面鏡K1(2つの凹面鏡のうち第1結像光学系G1の近くに配置されている凹面鏡)の中心開口付近に結像させ、第2中間像を第2凹面鏡K2(2つの凹面鏡のうち第3結像光学系G3の近くに配置されている凹面鏡)の中心開口付近に結像させ、各凹面鏡の中心開口を通して、光線光路を後方に導く必要がある。
【0025】
このため、入射瞳には、中心遮蔽部が存在するが、中間像の大きさが、凹面鏡の大きさに比して小さく、また中間像の結像位置が、凹面鏡の位置に対して大きく離れていないため、入射瞳の大きさに対する中心遮蔽部の大きさ、いわゆる中心遮蔽率は僅かであり、結像性能に大きな影響を与えない。
【0026】
また、本発明は、前記第2面側の開口数をNAOとし、前記第2結像光学系の少なくとも1つの凹レンズの有効径をΦとするとき、以下の条件を満足することが好ましい。
【0027】
3×Φ<1000× NAO
この条件は、反射屈折光学系に使用される屈折レンズ及び反射鏡を小型化するための条件である。この条件を逸脱すると、屈折レンズ及び反射鏡の小型化が困難になる。
【0028】
また、反射屈折光学系は、より高性能なものを得ようとするときは、21枚以上の屈折レンズから構成されることが好ましい。もし、23枚以上の屈折レンズから構成されるようにすれば、更に良い結果が得られる。
【0029】
また、反射屈折光学系は、反射防止コートの性能が上げにくい場合や硝材の透過率に問題がある場合は、20枚以下の屈折レンズから構成されることが好ましい。もし、18枚以下の屈折レンズから構成されるようにすれば、更に良い結果が得られる。
【0030】
更に好ましい態様としては、前述の2つの反射鏡の間に開口を有したり、色収差を良好に補正するためには、前述の2つの反射鏡は、互いに凹面反射面を向かい会わせに配置された凹面鏡であることが好ましい。
【0031】
また、第1結像光学系G1は、少なくとも、2つ以上の正レンズで構成され、第3結像光学系G3は、少なくとも2つ以上の正レンズで構成されることが好ましい。
【0032】
更に、第1結像光学系G1または第3結像光学系G3に、少なくとも1つ以上の開口絞りを配置することが好ましい。また、第1結像光学系G1または第3結像光学系G3には、少なくとも1つ以上の中心遮蔽板を配置することが好ましい。このようにすることで、像質の改善を行うことが出来る。
【0033】
また、反射屈折光学系は、非球面を少なくとも5面以上含むことが好ましい。非球面を用いることで、投影光学系の高性能化やレンズの枚数削減が達成できる。
【0034】
更に、反射屈折光学系の屈折レンズを、すべて同一の硝材、特に、蛍石で構成することが好ましい。硝材としては、蛍石以外には、フッ素を添加した石英ガラスやフッ素化合物の結晶が考えられる。
【0035】
また、2つの凹面鏡のうち、第1面側Rに近い方に配置されているものを第1凹面鏡K1とし、第2面W側に近い方に配置されているものを第2凹面鏡K2とし、第1中間像IM1の位置から第1凹面鏡K1の位置までの距離をd1、第2中間像IM2の位置から第2凹面鏡K2の位置までの距離をd2とし、第2面W上の露光領域の直径をΦwとするとき、以下の条件を満足することが好ましい。
【0036】
| d1| < Φw
| d2| < Φw
d1に係る条件は、第1結像光学系G1及び第2結像光学系G2の適切な屈折力配分を規定するものであり、d2に係る条件は、第2結像光学系G2及び第3結像光学系G3の適切な屈折力配分を規定するものである。これら条件の範囲を逸脱すると、いずれかの結像光学系の屈折力が過大になり、良好な収差補正が困難になると同時に、凹面鏡の小型化が困難になる。
【0037】
また、反射屈折光学系は、第1面R側、または第2面W側でテレセントリックな光学系であることが好ましい。
【0038】
【実施例】
本発明による反射屈折光学系は、基本的には、図1に示すように、第1面Rより第2面W側へ順に、第1結像光学系G1、第2結像光学系G2及び第3結像光学系G3より構成されている。ここで、第1結像光学系G1は、第1面Rの第1中間像IM1を第2結像光学系G2の付近に形成する。更に、第2結像光学系G2は、第1中間像IM1の再結像像である第2中間像IM2を第3結像光学系G3の付近に形成し、第3結像光学系G3は、第2中間像IM2を第2面W上に結像させる。
【0039】
図1には、第1面R、第1中間像IM1、第2中間像IM2及び第2面Wの結像関係による物体及び像の向きが、矢印を用いて示されている。また、図1には、本発明による反射屈折光学系を走査型投影露光装置に適用したときの、第1面R及び第2面W上での走査方向も示されている。第1面R及び第2面W上での走査方向は、それぞれ反対の方向となる。また、照明領域及び露光領域は、光軸を中心とする長方形形状である。尚、第3結像光学系G3中には、開口絞りSTOが配置されている。
【0040】
また、以下に示す各実施例では非球面を用いており、非球面形状を表す式は以下の通りである。
【0041】
【数1】
【0042】
更に、以下に示す各実施例の投影光学系は、全て蛍石によって構成されている。蛍石の屈折率は、波長157nmで1.56000である。
【0043】
以下に、本発明による各実施例を示す。以下に示す表中で、CaF2は蛍石を示し、REFは反射鏡を示し、STOは開口絞りを示している。
〔第1実施例〕
第1実施例による反射屈折光学系は、図2に示すように、第1面Rより第2面W側へ順に、第1結像光学系G1、第2結像光学系G2及び第3結像光学系G3より構成されている。第1結像光学系G1は、第1面R側より順に、3枚の正メニスカスレンズ、3枚の負メニスカスレンズ、2枚の正レンズ及び3枚の正メニスカスレンズにより講成され、第2結像光学系G2は、1枚の凹面鏡、2枚の負メニスカスレンズ及び1枚の凹面鏡によって講成されている。また、第3結像光学系G3は、1枚の正メニスカスレンズ、1枚の負レンズ、2枚の正メニスカスレンズ、1枚の負レンズ、4枚の正メニスカスレンズ、1枚の負レンズ及び1枚の正メニスカスレンズにより講成されている。
【0044】
また、本実施例の反射屈折光学系は、縮小倍率 が1/4 倍、第2面W側の開口数( NA )が 0.75、第1面R側の最大物体高が 37.44 mm、第2面W側の最大像高が 9.36 mm であり、第2面W上の露光サイズを 17.5 × 6.6 mm の矩形開口としている。これにより、走査して露光を行うことで、全体の露光面積は 17.2 × 25 mmとしている。また、WDは、第1面R側で50.912830で、第2面W側で13.234625である。
【0045】
使用する凹面鏡の直径は、260.2 mm 以下、使用レンズの中で、2枚の最大のレンズの有効径は 246.9 mm 以下であり、その他の大部分のレンズの有効径は183.5 mm 以下であり、通常のこのスペックで使用される屈折系球面光学系の使用レンズの有効径よりも、かなり小さいものである。
【0046】
凹面鏡の遮蔽部の光束に対する遮蔽率は NA 比で 19.5 % であり、結像性能に与える影響は少なく、充分高性能を得ることができる。
【0047】
屈折レンズ部は蛍石を使用し、紫外線 F2 エキシマレーザーの 157 nm の波長における、半値幅 1 pm の色収差補正がなされている。
【0048】
また、図3及び図4に示すように、球面収差、コマ収差、非点収差及び歪曲収差ともほぼ無収差に近い状態まで良好に補正され、優れた性能の光学系を提供している。
【0049】
【表1】
〔第2実施例〕
第2実施例による投影光学系は、図5に示すように、第1面Rより第2面W側へ順に、第1結像光学系G1、第2結像光学系G2及び第3結像光学系G3より構成されている。第1結像光学系G1は、第1面R側より順に、3枚の正メニスカスレンズ、3枚の負メニスカスレンズ、2枚の正レンズ、1枚の負メニスカスレンズ、2枚の正メニスカスレンズ、により講成され、第2結像光学系G2は、1枚の凹面鏡、2枚の負メニスカスレンズ及び1枚の凹面鏡によって講成される。第3結像光学系G3は、1枚の正メニスカスレンズ、1枚の負レンズ、2枚の正メニスカスレンズ、1枚の負レンズ、4枚の正メニスカスレンズ、1枚の負レンズ及び1枚の正メニスカスレンズにより講成される。
【0050】
また、本実施例の反射屈折光学系は、縮小倍率が 1/4 倍、第2面W側の開口数( NA )が 0.75、第1面R側の最大物体高が 37.44 mm、第2面W側の最大像高が 9.36 mm であり、第2面W上の露光サイズは 17.5 × 6.6 mm の矩形開口としている。これにより、走査して露光し、全体の露光面積は 17.2 × 25 mm としている。また、WDは、第1面R側で50.000000で、第2面W側で12.335033である。
【0051】
使用する凹面鏡の直径は、251.2 mm 以下、使用レンズの中で、2枚の最大のレンズの有効径は 238.4 mm 以下であり、その他の大部分のレンズの有効径は187 mm 以下であり、通常のこのスペックで使用される屈折系球面光学系の使用レンズの有効径よりも、かなり小さいものである。
【0052】
凹面鏡の遮蔽部の光束に対する遮蔽率は NA 比で 19.5 % であり、結像性能に与える影響は少なく、充分高性能を得ることができる。
【0053】
屈折レンズ部は蛍石を使用し、紫外線エキシマレーザーの 157 nm の波長における、半値幅 1.0 pm の色収差補正がなされている。
【0054】
また、図6及び図7に示すように、球面収差、コマ収差、非点収差及び歪曲収差ともほぼ無収差に近い状態まで良好に補正され、優れた性能の光学系を提供している。
【0055】
【表2】
〔第3実施例〕
第3実施例による反射屈折光学系は、図8に示すように、第1面Rより第2面W側へ順に、第1結像光学系G1、第2結像光学系G2及び第3結像光学系G3より構成されている。第1結像光学系G1は、第1面R側より順に、1枚の負メニスカスレンズ、1枚の正レンズ、3枚の正メニスカスレンズ、1枚の負レンズ、2枚の正メニスカスレンズ、2枚の正レンズ及び2枚の正メニスカスレンズにより構成され、第2結像光学系G2は、1枚の凹面鏡、2枚の負メニスカスレンズ及び1枚の凹面鏡によって講成される。第3結像光学系G3は、1枚の正レンズ、1枚の負レンズ、1枚の正メニスカスレンズ、1枚の正レンズ、1枚の正メニスカスレンズ、1枚の負メニスカスレンズ、4枚の正メニスカスレンズ、1枚の正レンズ、1枚の負メニスカスレンズ及び1枚の正メニスカスレンズにより講成される。
【0056】
また、本実施例の反射屈折光学系は、縮小倍率が1/4倍、第2面W側の開口数NAが 0.75、第1面R側の最大物体高が 52.8 mm 、第2面W側の最大像高が 13.2 mm であり、第2面W上の露光サイズは 25 × 8.8 mm の矩形開口としている。これにより、走査して露光し、全体の露光面積は 25 × 33 mm としている。また、WDは、第1面R側で72.734695で、第2面W側で17.227255である。
【0057】
使用する凹面鏡の直径は、260 mm 以下、使用レンズの中で、2枚の最大のレンズの有効径は 259 mm 以下であり、その他の大部分のレンズの有効径は188 mm以下であり、通常のこのスペックで使用される屈折系球面光学系の使用レンズの有効径よりも、かなり小さいものである。
【0058】
凹面鏡の遮蔽部の光束に対する遮蔽率は NA 比で 20 % であり、結像性能に与える影響は少なく、充分高性能を得ることができる。
【0059】
屈折レンズ部は蛍石を使用し、紫外線 F2 エキシマレーザーの 157 nm の波長における、半値幅 2pm の色収差補正がなされている。
【0060】
また、図9及び図10に示すように、球面収差、コマ収差、非点収差及び歪曲収差ともほぼ無収差に近い状態まで良好に補正され、優れた性能の光学系を提供している。
【0061】
【表3】
〔第4実施例〕
第4実施例による反射屈折光学系は、図11に示すように、第1面Rより第2面W側へ順に、第1結像光学系G1、第2結像光学系G2及び第3結像光学系G3より構成されている。第1結像光学系G1は、第1面R側より順に、3枚の正メニスカスレンズ、1枚の負メニスカスレンズ、1枚の負レンズ、1枚の正メニスカスレンズ、2枚の正レンズ、1枚の正メニスカスレンズ、1枚の正レンズ及び1枚の正メニスカスレンズで構成され、第2結像光学系G2は、互いに対称形に向かい合って配置された2枚の凹面鏡と2枚の負メニスカスレンズとで構成されている。第3結像光学系G3は、1枚の正メニスカスレンズ、1枚の凹レンズ、2枚の正メニスカスレンズ、1枚の負メニスカスレンズ、4枚の正メニスカスレンズ、1枚の負レンズ及び1枚の正メニスカスレンズから構成されている。
【0062】
また本実施例の反射屈折光学系は、縮小倍率が1/4倍、第2面W側の開口数NAが 0.75、第1面R側の最大物体高が 52.8 mm 、第2面W側の最大像高が 13.2 mm であり、第2面W上の露光サイズは 25.0 × 8.8 mm の矩形開口としている。これにより、走査して露光し、全体の露光面積は 25.0 × 33 mm としている。また、WDは、第1面R側で78.864226で、第2面W側で12.628525である。
【0063】
使用する凹面鏡の直径は、265 mm 以下、使用レンズの中で、2枚の最大のレンズの有効径は 260 mm 以下であり、その他の大部分のレンズの有効径は183 mm以下であり、通常のこのスペックで使用される屈折系球面光学系の使用レンズの有効径よりも、かなり小さいものである。
【0064】
凹面鏡の遮蔽部の光束に対する遮蔽率は NA 比で 20 % であり、結像性能に与える影響は少なく、充分高性能を得ることができる。
【0065】
屈折レンズ部は蛍石を使用し、紫外線エキシマレーザーの 157 nm の波長における、半値幅 2.0 pm の色収差補正がなされている。
【0066】
また、図12及び13に示すように、球面収差、コマ収差、非点収差及び歪曲収差ともほぼ無収差に近い状態まで良好に補正され、優れた性能の光学系を提供している。
【0067】
【表4】
〔第5実施例〕
第5実施例による反射屈折光学系は、図14に示すように、第1面Rより第2面W側へ順に、第1結像光学系G1、第2結像光学系G2及び第3結像光学系G3より構成されている。第1結像光学系G1は、第1面R側より順に、1枚の正メニスカスレンズ、1枚の正レンズ、1枚の負メニスカスレンズ、1枚の負レンズ、2枚の正メニスカスレンズ2枚の正レンズ及び1枚の凹メニスカスレンズにより講成され、第2結像光学系G2は、1枚の凹面鏡、2枚の負メニスカスレンズ、1枚の凹面鏡によって講成されている。第3結像光学系G3は、2枚の正レンズ、1枚の負メニスカスレンズ、1枚の正メニスカスレンズ、1枚の正レンズ、1枚の正レンズ、1枚の正メニスカスレンズ、1枚の負メニスカスレンズ、2枚の正レンズ1枚の負メニスカスレンズ、1枚の正メニスカスレンズ及び1枚の負メニスカスレンズにより講成されている。
【0068】
また、本実施例の反射屈折光学系は、縮小倍率が1/4倍、第2面W側の開口数NAが 0.75、第1面R側の最大物体高が 52.8 mm 、第2面W側の最大像高が 13.2 mm であり、第2面W上の露光サイズは 25 × 8.8 mm の矩形開口としている。これにより、走査して露光し、全体の露光面積は 25 × 8.8 mm としている。また、WDは、第1面R側で110.490999で、第2面W側で13.000594である。
【0069】
使用する凹面鏡の直径は、313 mm 以下、使用レンズの中で、2枚の最大のレンズの有効径は 308 mm 以下であり、その他の大部分のレンズの有効径は195 mm以下であり、通常のこのスペックで使用される屈折系球面光学系の使用レンズの有効径よりも、かなり小さいものである。
【0070】
凹面鏡の遮蔽部の光束に対する遮蔽率は NA 比で 23 % であり、結像性能に与える影響は少なく、充分高性能を得ることができる。
【0071】
屈折レンズ部は蛍石を使用し、紫外線エキシマレーザーの 157 nm の波長における、半値幅 2pm の色収差補正がなされている。
【0072】
また、図15及び図16に示すように、球面収差、コマ収差、非点収差及び歪曲収差ともほぼ無収差に近い状態まで良好に補正され、優れた性能の光学系を提供している。
【0073】
【表5】
〔第6実施例〕
第6実施例による反射屈折光学系は、図17に示すように、第1面Rより第2面W側へ順に、第1結像光学系G1、第2結像光学系G2及び第3結像光学系G3より構成されている。第1結像光学系G1は、第1面R側より順に、1枚の正レンズ、1枚の正メニスカスレンズ、2枚の負メニスカスレンズ、2枚の正レンズ及び1枚の正メニスカスレンズにより講成され、第2結像光学系G2は、1枚の凹面鏡、2枚の負メニスカスレンズ及び1枚の凹面鏡によって講成されている。第3結像光学系G3は、1枚の正レンズ、2枚の正メニスカスレンズ、2枚の正レンズ、1枚の正メニスカスレンズ、1枚の正レンズ及び2枚の正メニスカスレンズにより講成される。
【0074】
また、本実施例の反射屈折光学系は、縮小倍率が1/4倍、像側の開口数NAが 0.75、最大物体高が 51.2 mm 、最大像高が 12.8 mm であり、ウエハー上の露光サイズは 25 × 5.5 mm の矩形開口としている。これにより、走査して露光し、全体の露光面積は 25 × 33 mm としている。また、WDは、第1面R側で224.250603で、第2面W側で18.245931である。
【0075】
使用する凹面鏡の直径は、272 mm 以下、使用レンズの中で、2枚の最大のレンズの有効径は 269.2 mm 以下であり、その他の大部分のレンズの有効径は191.6 mm 以下であり、通常のこのスペックで使用される屈折系球面光学系の使用レンズの有効径よりも、かなり小さいものである。
【0076】
凹面鏡の遮蔽部の光束に対する遮蔽率は NA 比で 20 % であり、結像性能に与える影響は少なく、充分高性能を得ることができる。
【0077】
屈折レンズ部は蛍石を使用し、紫外線 F2 エキシマレーザーの 157 nm の波長における、半値幅 2pm の色収差補正がなされている。
【0078】
また、図18及び図19に示すように、球面収差、コマ収差、非点収差及び歪曲収差ともほぼ無収差に近い状態まで良好に補正され、優れた性能の光学系を提供している。
【0079】
【表6】
〔第7実施例〕
第7実施例による反射屈折光学系は、図20に示すように、第1面Rより第2面W側へ順に、第1結像光学系G1、第2結像光学系G2及び第3結像光学系G3より構成されている。第1結像光学系G1は、第1面R側より順に、3枚の正メニスカスレンズ、1枚の負メニスカスレンズ、1枚の負レンズ、1枚の正メニスカスレンズ、2枚の正レンズ、1枚の正メニスカスレンズ、1枚の正レンズ、1枚の正メニスカスレンズ、で構成され、第2結像光学系G2は、互いに対称形に向かい合って配置された2枚の凹面鏡と2枚の負メニスカスレンズで構成されている。また、第3結像光学系G3は、1枚の正メニスカスレンズ、1枚の負レンズ、2枚の正メニスカスレンズ、1枚の負メニスカスレンズ、4枚の正メニスカスレンズ、1枚の負レンズ、1枚の正レンズから構成されている。
【0080】
また本実施例の反射屈折光学系は、縮小倍率が1/4倍、像側の開口数NAが 0.75、最大物体高が 41.6 mm 、最大像高が 10.4 mm であり、第2面W上の露光サイズは 20.0 × 5.5 mm の矩形開口としている。これにより、走査して露光し、全体の露光面積は 20.0 × 33 mm としている。また、WDは、第1面R側で166.292101で、第2面W側で15.484990である。
【0081】
使用する凹面鏡の直径は、264.3 mm 以下、使用レンズの中で、2枚の最大のレンズの有効径は 259.8 mm 以下であり、その他の大部分のレンズの有効径は182.5 mm 以下であり、通常のこのスペックで使用される屈折系球面光学系の使用レンズの有効径よりも、かなり小さいものである。
【0082】
凹面鏡の遮蔽部の光束に対する遮蔽率は NA 比で 20 % であり、結像性能に与える影響は少なく、充分高性能を得ることができる。
【0083】
屈折レンズ部は蛍石を使用し、紫外線エキシマレーザーの 157 nm の波長における、半値幅 2.0 pm の色収差補正がなされている。
【0084】
また、図21及び図22に示すように、球面収差、コマ収差、非点収差及び歪曲収差ともほぼ無収差に近い状態まで良好に補正され、優れた性能の光学系を提供している。
【0085】
【表7】
〔第8実施例〕
第8実施例による反射屈折光学系は、図23に示すように、第1面Rより第2面W側へ順に、第1結像光学系G1、第2結像光学系G2及び第3結像光学系G3より構成されている。第1結像光学系G1は、第1面R側より順に、1枚の負メニスカスレンズ、1枚の正レンズ、3枚の正メニスカスレンズ、1枚の負メニスカスレンズ、2枚の正メニスカスレンズ、2枚の正レンズ、2枚の正メニスカスレンズにより構成され、第2結像光学系G2は、1枚の凹面鏡、2枚の負メニスカスレンズ、1枚の凹面鏡によって構成されている。また、第3結像光学系G3は、1枚の正レンズ、1枚の負メニスカスレンズ、1枚の正メニスカスレンズ、1枚の正レンズ、1枚の正メニスカスレンズ、1枚の負メニスカスレンズ、4枚の正メニスカスレンズ、1枚の正レンズ、1枚の負メニスカスレンズ、1枚の正メニスカスレンズに構成されている。
【0086】
また、本実施例の反射屈折光学系は、縮小倍率が1/4倍、像側の開口数NAが 0.75、最大物体高が 52.8 mm 、最大像高が 13.2 mm であり、第2面W上の露光サイズは 25 × 8.8 mm の矩形開口としている。これにより、走査して露光し、全体の露光面積は 25 × 33 mm としている。また、WDは、第1面R側で181.103882で、第2面W側で18.788119である。
【0087】
使用する凹面鏡の直径は、260.0 mm 以下、使用レンズの中で、2枚の最大のレンズの有効径は 258.1 mm 以下であり、その他の大部分のレンズの有効径は174 mm 以下であり、通常のこのスペックで使用される屈折系球面光学系の使用レンズの有効径よりも、かなり小さいものである。
【0088】
凹面鏡の遮蔽部の光束に対する遮蔽率は NA 比で 24.0 % であり、結像性能に与える影響は少なく、充分高性能を得ることができる。
【0089】
屈折レンズ部は蛍石を使用し、紫外線エキシマレーザーの 157 nm の波長における、半値幅 2pm の色収差補正がなされている。
【0090】
また、図24及び図25に示すように、球面収差、コマ収差、非点収差及び歪曲収差ともほぼ無収差に近い状態まで良好に補正され、優れた性能の光学系を提供している。
【0091】
【表8】
次に、上述の反射屈折光学系を投影光学系として搭載した投影露光装置の実施例を、図26を用いて説明する。
【0092】
投影光学系PLの第1面Rには所定の回路パターンが形成された投影原板としてのレチクルが配置され、投影光学系PLの第2面Wには、基板としてのフォトレジストが塗布されたウエハが配置されている。レチクルはレチクルステージRS上に保持され、ウエハーはウエハーステージWS上に保持され、レチクルの上方には、レチクルを均一照明するための照明光学装置ISが配置されている。
【0093】
照明光学装置は、露光光を放射する光源、及びこの光源からの光束をレチクル上に均一照射するための照明光学系から構成されている。本実施例では、光源は、F2エキシマレーザー光源であり、波長157nmの露光光を放射している。照明光学系は、照度分布を均一化するためのフライアイレンズ、照明系開口絞り、可変視野絞り(レチクルブラインド)、及びコンデンサーレンズ系等から構成されている。
【0094】
投影光学系PLは、上述のようにレチクル側及びウエハー側において、実質的にテレセントリックになっている。また、照明光学装置ISから供給される露光光はレチクルを照明し、投影光学系PLの開口絞りSTOの位置には照明光学装置ISの光源の像が形成され、いわゆるケーラー照明が行われる。そして、ケーラー照明されたレチクルの回路パターンは、投影光学系PLを介して所定の倍率で縮小され、ウエハー上に投影される。
【0095】
この投影露光装置を用いて、ウエハー上に所定の回路パターンを形成する際の動作の一例につき、図27のフローチャートを参照して説明する。先ず、ステップ1において、1ロットのウエハー上に金属膜を蒸着する。ステップ2において、その金属膜上にフォトレジストを塗布する。その後、ステップ3において、上述の投影露光装置を用いて、レチクル上のパターンを、投影光学系PLを介して、ウエハー上の各露光領域に順次走査露光する。そして、ステップ4において、ウエハー上のフォトレジストの現像を行う。これにより、ウエハー上には、レジストパターンが形成される。次に、ステップ5において、レジストパターンの形成されたウエハーをエッチングすることによって、レチクル上のレジストパターンに対応する回路パターンが、ウエハー上の各露光領域に形成される。
【0096】
その後、更に上の層の回路パターンの形成等を行う事によって、半導体素子等のデバイスが製造される。
【0097】
【発明の効果】
以上のように、本発明では、結像部分を構成する第1結像光学系G1〜第3結像光学系G3を1本の光軸になるように構成したため、光学系全体を光軸を中心としてで調べることができ、各内部レンズの傾きや位置ずれを検知することができる。
【0098】
その結果、最終的には、有効な絞り設置部分を採ることができ、ワーキングデスタンスを充分採れ、劇的に小型の凹面鏡を有した光学系を得ることができ、最小の非球面要素を使いながら、調整に容易な1本の光軸で構成し、レチクル走査方向を重力と直交する方向に採ることができたものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】 図1は、本発明による反射屈折光学系の原理図である。
【図2】 図2は、第1実施例の反射屈折光学系の光路図である。
【図3】 図3は、第1実施例のコマ収差図である。
【図4】 図4は、第1実施例の球面収差図、非点収差図及び歪曲収差図である。
【図5】 図5は、第2実施例の反射屈折光学系の光路図である。
【図6】 図6は、第2実施例のコマ収差図である。
【図7】 図7は、第2実施例の球面収差図、非点収差図及び歪曲収差図である。
【図8】 図8は、第3実施例の反射屈折光学系の光路図である。
【図9】 図9は、第3実施例のコマ収差図である。
【図10】 図10は、第3実施例の球面収差図、非点収差図及び歪曲収差図である。
【図11】 図11は、第4実施例の反射屈折光学系の光路図である。
【図12】 図12は、第4実施例のコマ収差図である。
【図13】 図13は、第4実施例の球面収差図、非点収差図及び歪曲収差図である。
【図14】 図14は、第5実施例の反射屈折光学系の光路図である。
【図15】 図15は、第5実施例のコマ収差図である。
【図16】 図16は、第5実施例の球面収差図、非点収差図及び歪曲収差図である。
【図17】 図17は、第6実施例の反射屈折光学系の光路図である。
【図18】 図18は、第6実施例のコマ収差図である。
【図19】 図19は、第6実施例の球面収差図、非点収差図及び歪曲収差図である。
【図20】 図20は、第7実施例の反射屈折光学系の光路図である。
【図21】 図21は、第7実施例のコマ収差図である。
【図22】 図22は、第7実施例の球面収差図、非点収差図及び歪曲収差図である。
【図23】 図23は、第8実施例の反射屈折光学系の光路図である。
【図24】 図24は、第8実施例のコマ収差図である。
【図25】 図25は、第8実施例の球面収差図、非点収差図及び歪曲収差図である。
【図26】 図26は、本発明による投影露光装置の図である。
【図27】 図27は、本発明による投影露光方法の手順を示した図である。
【符号の説明】
G1 第1結像光学系
G2 第2結像光学系
G3 第3結像光学系
R 第1面
W 第2面
IM1 第1中間像
IM2 第2中間像
K1 第1凹面鏡
K2 第2凹面鏡
Claims (15)
- 第1面より第2面側へ順に、屈折レンズからなる第1結像光学系と、少なくとも1つの凹レンズと2つの反射鏡とを有する第2結像光学系と、屈折レンズからなる第3結像光学系と、を含み、
前記第1結像光学系は、前記第1面の第1中間像を形成し、前記第2結像光学系は、前記第1中間像を再結像することで第2中間像を形成し、前記第3結像光学系は、前記第2中間像を前記第2面上へ再結像することを特徴とする反射屈折光学系。 - 前記第2面側の開口数をNAOとし、前記第2結像光学系の少なくとも1つの凹レンズの有効径をΦとするとき、以下の条件を満足することを特徴とする請求項1記載の反射屈折光学系。
3×Φ<1000× NAO - 前記反射屈折光学系は、21枚以上の屈折レンズから構成されることを特徴とする請求項1又は2記載の反射屈折光学系。
- 前記反射屈折光学系は、20枚以下の屈折レンズから構成されることを特徴とする請求項1又は2記載の反射屈折光学系。
- 前記2つの反射鏡の間に開口を持つことを特徴とする請求項1乃至4記載の反射屈折光学系。
- 前記2つの反射鏡は、互いに凹面反射面を向かい会わせに配置された凹面鏡であることを特徴とする請求項1乃至5記載の反射屈折投影光学系。
- 前記第1結像光学系は、少なくとも2つ以上の正レンズで構成され、前記第3結像光学系は、少なくとも2つ以上の正レンズで構成されることを特徴とする請求項1乃至6記載の反射屈折光学系。
- 前記第1結像光学系または前記第3結像光学系に、少なくとも1つ以上の開口絞りを配置することを特徴とする請求項1乃至7に記載の反射屈折光学系。
- 前記第1結像光学系または前記第3結像光学系には、少なくとも1つ以上の中心遮蔽板を配置することを特徴とする請求項1乃至8に記載の反射屈折光学系。
- 前記反射屈折光学系は、非球面を少なくとも5面以上含むことを特徴とする請求項1乃至9に記載の反射屈折光学系。
- 前記反射屈折光学系の屈折レンズを、すべて同一の硝材で構成したことを特徴とする請求項1乃至10記載の反射屈折光学系。
- 前記2つの凹面鏡のうち、前記第1面側に近い方に配置されているものを第1凹面鏡とし、前記第2面側に近い方に配置されているものを第2凹面鏡とし、前記第1中間像の位置から前記第1凹面鏡の位置までの距離をd1、前記第2中間像位置から前記第2凹面鏡の位置までの距離をd2とし、前記第2面上の露光領域の径をΦwとするとき、以下の条件を満足することを特徴とする請求項1乃至11記載の反射屈折光学系。
| d1| < Φw
| d2| < Φw - 前記反射屈折光学系は、前記第1面側、または前記第2面側でテレセントリックな光学系であることを特徴とする請求項1乃至12に記載の反射屈折光学系。
- 光源と、該光源からの光束を前記第1面上に均一照射するための照明光学系と、前記第1面を前記第2面へ投影する前記請求項1乃至13に記載の反射屈折光学系と、を含むことを特徴とする投影露光装置。
- 光源より照明光を放射し、照明光学系により前記照明光を前記第1面上に均一照射し、前記請求項1乃至13に記載された反射屈折光学系を用いて前記第1面を前記第2面へ投影し、前記第2面の露光を行うことを特徴とする投影露光方法。
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