JP3987442B2 - 液晶表示素子用貼り合わせ装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は製造装置に関し、特に大面積の液晶表示素子に有利な液晶滴下方式を適用した液晶表示素子の製造装置に関する。
【0002】
【関連の技術】
情報化社会の発展に伴い、表示装置に対する要求も多様な形態に増加しており、これに応じて、最近は液晶表示装置(LCD)、プラズマ表示装置(PDP)、電場発光表示装置(ELD)及び真空蛍光表示装置(VFD)など様々な平板表示装置が研究され、その一部は既に各種装置で表示装置として活用されている。
【0003】
その中、現在はLCDが優秀な画質、軽薄型、低消費電力などの長所を有するため、移動型画像表示装置の用途にCRTに代わって最も多く使われており、ノートパソコンのモニターのような移動型の用途の他にも、放送信号を受信してディスプレイするTV及びコンピュータのモニターなどにおいて多様に開発されている。
【0004】
このように、液晶表示素子は様々な分野で画面表示装置としての役割を果たすため多様な技術的な発展が進められてきているにも拘わらず、画面表示装置として画像の品質を高めるような作業に当たっては上記長所を減殺する面が多かった。
従って、液晶表示素子が一般的な画面表示装置として多様な部分に使用されるためには、軽薄型、低消費電力の特徴を維持しながらも、高精細、高輝度、大面積など、高品位の画像をどれほど実現できるかが重要な問題にされている。
【0005】
上記のような液晶表示素子の製造方法としては、大きく分けて、液晶注入口が形成されるように一方の基板上にシール剤を塗布して、真空中で一対の基板を接合した後、形成された注入口を介して液晶を注入する液晶注入方式と、特開2000−284295号及び特開2001−005405号公報で提案されたように、液晶注入口を設けないようにシール剤を閉じたパターンで形成した一方の基板を用意し、この基板上のシール剤で囲まれた領域に液晶を滴下した後、他方の基板を前記一方の基板上に配置し、真空中で上下の基板を近接させて接合する液晶滴下方式とがある。
【0006】
前記した各種方式のうち、液晶滴下方式は液晶注入方式に比べていくつかの工程(例えば、液晶注入口の形成、液晶の注入、液晶注入口の密封などのための各々の工程)を省略して行うことができることから、それらの工程に伴う装置が必要ではなくなるという長所を有する。このため、最近は液晶滴下方式を用いた各種製造装置の研究が行われている。
【0007】
図1及び図2はかかる関連技術の液晶滴下方式を適用した基板間の貼り合わせ装置を示す。即ち、関連技術の貼り合わせ装置は外形をなすフレーム10と、ステージ部21、22と、シール剤吐出部(図示せず)及び液晶滴下部30と、チャンバー部31、32と、チャンバー移動手段と、ステージ移動手段とから構成されている。
【0008】
この際、前記ステージ部は上部ステージ21と下部ステージ22とからなり、シール剤吐出部及び液晶滴下部30は基板の貼り合わせ工程が行われる位置である前記フレームの側部に装着され、前記チャンバー部は上部チャンバーユニット31と下部チャンバーユニット32とからなり、それらが互いに合体可能であるように構成される。
【0009】
これと共に、前記チャンバー移動手段は下部チャンバーユニット32を前記貼り合わせ工程が行われる位置とシール剤の吐出及び液晶の滴下が行われる位置との間で選択的に移動するように駆動する駆動モータ40で構成される。
そして、前記ステージ移動手段はシャフト61と、ハウジング62と、リニアガイド63と、モータ64と、ボールネジ65と、ナットハウジング66とからなる。
【0010】
即ち、上部ステージ21はシャフト61により支持され、前記シャフト61はナットハウジング66に固定され、前記ナットハウジング66はフレーム67に対してリニアガイド63で設定され、その上下駆動はフレーム67上のブラケット68に固定されたモータ64により行われる。
この際、駆動力の伝達は、ボールネジ65とナットハウジング66とで行われるように構成され、前記ナットハウジング66は荷重計69を経てナットハウジング66と繋がる。
【0011】
以下、上記した関連技術の貼り合わせ装置を用いた液晶表示素子の製造過程をその工程順序に従ってより詳細に説明する。
【0012】
まず、上部ステージ21には何れか一方の基板(以下、第2基板)51がローディングされて固定され、下部ステージ22には他方の基板52がローディングされて固定される。この状態で前記下部ステージ22を有する下部チャンバーユニット32はチャンバー移動手段40によって、図1に示すように、シール剤の塗布及び液晶滴下のための位置に移動される。
【0013】
そして、前記状態でシール剤吐出部及び液晶滴下部30によるシール剤の塗布及び液晶滴下が完了すると、再び前記チャンバー移動手段40によって、図2に示すように、基板間の貼り合わせのための位置に移動される。
【0014】
その後、チャンバー移動手段40による各チャンバーユニット31、32間の貼り合わせが行われて、各ステージ21、22が位置した空間が密閉され、別途の真空手段によって前記空間が真空状態を形成する。
そして、このような真空状態でステージ移動手段を構成するモータ64が駆動することに伴いシャフト61が下降し、このシャフト61の下降によって上部ステージ21が下向き移動しながら各基板51、52間の貼り合わせを行う。
この際、荷重計69はロードセル(加圧力センサー)として作用し、次第にフィードバックされた信号に従ってモータ64を制御して、貼り合わせのために必要な加圧力を設定分だけ与えることが可能である。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したような関連技術の貼り合わせ装置は次のような問題がある。
【0016】
第一に、前記上部ステージ21を上向き/下向きに移動させるための構成は、長期間の使用に伴って位置変動が発生して、上部ステージ21の平坦度の誤差が発生する。それにも拘わらず、前記誤差を補正するための別途の構成や手段が存在せず、前記平坦度の誤差だけの貼り合わせ不良が引き起こされる。
即ち、関連技術のステージ移動装置を構成するボールネジ65は、駆動モータ64の駆動力が伝達され、両側が等力で上部ステージ21を下向き移動させるため、初期作業の実行前に上部ステージ21の正確な平坦度のセッティングが容易でなかった。また、長期間使用に伴う駆動部間の偏差などによって平坦度が変更される可能性が考慮されていなかった。
【0017】
第二に、前記上部ステージ21の特定の部位の摩耗が生じる場合、前記摩耗された各基板の特定の部位に貼り合わせ不良が発生することがある。
即ち、図3に示すように、上部ステージ21の何れか一方の部位が摩耗などによって他の部位との高さの偏差が発生する場合、前記摩耗が発生した部位は各基板間の貼り合わせが円滑に行われないようにするため、貼り合わせ不良が発生するのである。
【0018】
特に、液晶の分散が円滑に行われていない状態で貼り合わせ工程が進行される場合、シール剤の塗布領域に比べて前記液晶が滴下された部位がより高い状態となり、前記シール剤の塗布領域と上部ステージとの間には、図3のように、所定の間隔(s)が発生した。このため、シール剤塗布領域の貼り合わせが円滑に行われない不具合が発生した。
即ち、基板51、52の液晶滴下部位がシール剤の塗布領域に比べて高い状態である場合、前記シール剤の塗布領域が十分に加圧されていないことにも拘わらず、ロードセルは基板間の貼り合わせが完全に行われたと判読する問題が生じ、このように不良が発生した部位はシール剤の塗布領域が破損するという問題点があった。
【0019】
また、上記したシール剤塗布領域の貼り合わせ不良が発生する場合、外部空気の流入によって製品不良が発生可能であることを考慮する時、上述した様な問題点は迅速に解決されるべきである。
【0020】
第三に、ある一方のステージの特定の部位が摩耗された場合、他の部位との偏差が発生して、前記摩耗が発生した部位は各基板間の貼り合わせが円滑に行われなかった。
特に、シール剤の塗布領域は一対の基板間の貼り合わせ工程の後、隙間が発生しやすいことを考慮する時、前記部位への基板間の貼り合わせ工程が正確に行われないと、関連技術では各ステージの特定の部位の摩耗に従う補償が行われなかったので、貼り合わせ不良は更に増加するという問題を有する。
【0021】
第四に、必要に応じて任意で、又は一時的に上部ステージの特定の部位を所望の力だけ更に加圧することが難かったため、前記上部ステージの特定の部位の摩耗が発生しても、これに伴う補償が困難であった。
【0022】
そこで、本発明の目的は、各基板間の貼り合わせ工程の進行前に各ステージの平坦度の測定が円滑に行われるようにすると共に、何れか一方のステージ、或いは該ステージを駆動する駆動部位のうち、ある一の部位が長期間の使用によって各部位間の偏差が発生した場合、これを補償できるようにした液晶表示素子用貼り合わせ装置を提供することにある。
【0023】
また、本発明の他の目的は、他の部位に比べ十分な加圧が必要な特定の部位がより大きな力で加圧されるようにすることで、貼り合わせ基板の貼り合わせ不良を未然に防止できるようにした液晶表示素子用貼り合わせ装置の補助加圧装置を提供することにある。
【0024】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明による液晶表示素子用貼り合わせ装置は、一対の基板間の貼り合わせ工程が行われる真空チャンバーと、前記真空チャンバー内の上側空間と下側空間とに対向して設けられた上部ステージ及び下部ステージと、前記何れか一方のステージに連結され、該ステージの各部位別に適切な加圧力を提供する加圧手段とを含むことを特徴とする。
【0025】
また、上記目的を達成するために、本発明による液晶表示素子用貼り合わせ装置の補助加圧装置は、前記各基板間の貼り合わせ時に特定の部位が他の部位に比べてより強い加圧力が適用され得るように形成された補助加圧手段を更に含むことを特徴とする。
【0026】
また、上記目的を達成するための本発明の形態によれば、各ステージのうち少なくとも一方のステージが有する作業面に収容部を形成し、その収容部内には、基板間の貼り合わせ部位のうち所定の部位を加圧する補助加圧手段を備えて構成される液晶表示素子用の真空貼り合わせ装置が提供される。
【0027】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい各実施形態を添付の図3乃至図6を参照してより詳細に説明する。
【0028】
まず、図4乃至図7は本発明の第1実施形態による液晶表示素子の貼り合わせ装置を概略的に示す。
これから分かるように、本発明の第1実施形態による貼り合わせ装置は、真空チャンバー100と、ステージ部と、加圧手段とを含めて構成される。前記真空チャンバー100は、その内部が選択的に真空され、各基板510、520間の貼り合わせ工程が行われる。
【0029】
そして、前記ステージ部は、前記真空チャンバー100の内部に搬入された各基板510,520を作業位置に固定し、この固定された基板間の貼り合わせが行われるように動作する。
このようなステージ部は、前記真空チャンバー100内の上側の空間と下側の区間とにそれぞれ対向して設けられる上部ステージ210、及び下部ステージ220を含む。
【0030】
そして、本発明による貼り合わせ装置を構成する加圧手段は、各ステージ210、220の互いに対向しない面(つまり、上部ステージ210の上面、或いは下部ステージ220の底面)の中央部、或いは周辺部にそれぞれ連結され、それぞれの部位に適切な加圧力を提供する。
【0031】
このような加圧手段は、主加圧手段と、少なくとも一つ以上の補助加圧手段とを含む。前記主加圧手段は、各基板510、520間の貼り合わせ工程時に前記各基板に貼り合わせのための加圧力を伝達し、各ステージ210、220の互いに対向しない面の中央部位に設けられる。この際、前記主加圧手段は、選択的に上下に移動するメイン螺旋軸311と、該メイン螺旋軸311を上下に移動させるメイン駆動モータ312と、前記メイン螺旋軸に結合されたナットハウジング313と、そのナットハウジング313に連結されたメイン移動軸314とを含む。
【0032】
前記メイン駆動モータ312は前記メイン螺旋軸311と軸結合され、フレーム1に固定される。また、前記メイン移動軸314は前記上部ステージ210の上面の中央部(或いは、下部ステージ220の底面の中央部)に連結される。
これと共に、本発明では、前記メイン移動軸314を介して伝達される加圧力が必要に応じて変動可能であるように、メインロードセル315が更に備えられる。この際、前記メインロードセル315は前記メイン螺旋軸311上に備えられる。
【0033】
そして、前記補助加圧手段は、各基板510、520間の貼り合わせ工程時、或いは貼り合わせの完了した各基板(以下、″貼り合わせ基板″)510、520を追加的に貼り合わせる場合、加圧力の補償が必要な部分や、追加的な加圧が必要される部位を、所望の力だけ加圧させる役割を果たし、各ステージ210、220の互いに対向しない面の周辺の部位に設けられる。
【0034】
前記補助加圧手段は、一つ以上のサブ螺旋軸321と、一つ以上のサブ駆動モータ322と、前記サブ螺旋軸に結合されたナットハウジング323と、前記ナットハウジング323に連結されたサブ移動軸324と、そして、一つ以上のサブロードセル325とを含む。
この際、前記各サブ螺旋軸321は前記各サブ駆動モータ322に軸結合され、前記サブ駆動モータ322はフレーム1に固定される。このような前記サブ駆動モータ322は、前記サブ螺旋軸321を選択的に上下に移動させながら加圧力を提供する。
そして、前記各サブ移動軸324は少なくとも2つ以上が備えられ、前記上部ステージ210の上面の周辺部位(或いは、下部ステージ220の底面の周辺部位)にそれぞれ連結される。
【0035】
より望ましくは、上部ステージ210の上面(或いは、下部ステージ220の底面)の各角部分や、上部ステージ210の上面(或いは、下部ステージ220の底面)のうち、長辺と短辺の周縁の中央部に前記各サブ移動軸324をそれぞれ連結する。
これにより、各ステージ210、220の特定の部位の位置変動や摩耗などによる偏差の補正が円滑に行われる。
【0036】
また、前記サブロードセル325は前記各サブ螺旋軸321にそれぞれ連結され、前記各サブ螺旋軸321に伝達される加圧力を必要に応じて変動する。
そして、上述したようなメインロードセル315、及びサブロードセル325は、それぞれ貼り合わせ装置の運転を制御するコントローラ(図示せず)と信号伝達が可能であるように連結される。
【0037】
また、本発明では、前記各ステージ210、220の特定の部位に偏差が発生したか、或いは特定の部位の摩耗が発生したかを確認するために、位置センシング用センサー(光センサーなど)、ダイアルゲージ、或いは感圧紙などのような平坦度測定手段(図示せず)を更に含む。
この際、前記光センサーのような各種の位置センシング用センサーは、真空チャンバー100の内部(或いは外部)に装着して、実時間測定が可能となるようにするので有利である。
【0038】
また、上述したような本発明の貼り合わせ装置による各加圧手段310、320の構成において、それぞれの駆動モータ312、322は、貼り合わせ装置を構成するフレーム1や真空チャンバー100の外壁面にそれぞれ固定され、各移動軸314、324は、前記真空チャンバー100の上部、或いは下部を貫通して各ステージ210、220に連結された状態であって、各ナットハウジング313、323によって各螺旋軸311、321の駆動力が伝達される。
勿論、この場合、前記各移動軸314、324と真空チャンバー100の間の結合部位は、前記真空チャンバー100の内部の真空状態が維持されるようにシーリングされる。
【0039】
本発明は、上部ステージ210の上昇/下降のための一つのメイン螺旋軸311と、上部ステージ210の平坦度による補正を行うための4つのサブ螺旋軸321とで構成して、初期状態の貼り合わせ作業の実行前に上部ステージ210の平坦度に対する基準を取り、長期間使用による偏差の発生、或いは摩耗による偏差が発生する場合、適切な加圧力を適用して、前記発生した各偏差が補正されるようにする。
【0040】
以下、上述したような構成を有する本発明の第1実施形態による液晶表示素子の貼り合わせ装置を用いた基板間の貼り合わせ過程について説明する。
【0041】
まず、貼り合わせ装置を所定の回数駆動させた時、或いは必要に応じて、各ステージ210、220の基板間の貼り合わせが行われる面の摩耗部位(或いは、各ステージの傾き程度)を確認する。この際、摩耗部位の確認は平坦度測定手段(図示せず)を用いて行われる。
【0042】
そして、図5に示すように、上部ステージ210の特定の部位の一部が摩耗して、他の部位に比べて偏差が見つかった場合、その偏差の程度(偏差値:s)、及び偏差部位に対する位置座標をコントローラに記憶させる。
【0043】
上記過程が完了し、貼り合わせ装置を動作させると、通常のロボットアーム300などによって真空チャンバー内の各ステージ210、220にそれぞれの基板510、520のローディングが行われる。
その後、前記過程が完了すると、真空チャンバー100の内部は外部と密閉された状態となり、このような状態は図6に示す通りである。
【0044】
そして、上記した過程によって真空チャンバー100の内部が完全な真空状態になると、コントローラ(図示せず)は各駆動モータ312、322を駆動させ、上部ステージ210に連結されたそれぞれの螺旋軸311、321を下向きに移動させる。
この際、前記コントローラが各駆動モータ312、322を駆動させるに当たって、既に記憶されていた各ステージ210、220の特定の部位に対する偏差程度(s)を確認して、前記偏差程度に対する補償値(R)を計算し、偏差の位置を確認して、前記偏差の位置を加圧する特定のサブ螺旋軸321の下向き移動距離の設定時に前記計算された補償値(R)を補償する。
この際、前記補償値の計算、及び補償方法は、該作業を実行できるプログラムを用いるか、作業者による受動計算及び操作によって行えるが、その具体的な説明は省略する。
【0045】
そして、上記貼り合わせ過程が行われる途中、各加圧手段310、320に装着されたそれぞれのロードセル315、325は、各ステージ210、220間の加圧程度を持続的に把握して、これをコントローラにフィードバックし、各駆動モータ312、322は前記コントローラによる適切な加圧の実行のための動作が制御され、駆動しながら各螺旋軸311、321を移動させる。
【0046】
例えば、上部ステージ210の特定の角部が他の部位に比べて2mm程度の偏差が発生した場合、コントローラ(図示せず)は該角部に設けられたサブ移動軸324を前記2mmに対応する距離だけ更に下向き移動するようにサブ螺旋軸321の回転量をセッティングすることで、前記角部が他の部位に比べて2mm分更に加圧されるようにする。
この場合、ナットハウジング323は、前記サブ螺旋軸321の回転量に従って下向き移動しながら前記サブ移動軸324を下向き移動させる。
【0047】
上記した特定の補助加圧手段の補償作業が完了すると、前記補償されたセッティング値に基づいて各加圧手段310、320の各駆動モータ312、322が駆動しながら各基板510、520間の貼り合わせを行う。
この過程のうち、加圧力の補償が行われた特定の補助加圧手段は、前記補償された加圧力だけ更に加圧することで、該部位の貼り合わせの程度を高める。
【0048】
即ち、補償が行われた部位を加圧する何れか一方のサブ移動軸324を除いた他のサブ移動軸は既設定された力での加圧が完了しても、前記補償が行われた部位を加圧する何れか一方のサブ移動軸は加圧を行い続き、該部位の貼り合わせ工程が続けて行われる。このような状態は図7に示す通りである。
【0049】
仮に、偏差の部位が何れか一方のサブ移動軸が位置した部位と正確に対応せず、前記何れか一方のサブ移動軸が位置した部位と、他方のサブ移動軸が位置した部位との間で生じる場合、前記それぞれのサブ移動軸を昇降するように駆動するサブ駆動モータ322のセッティング値を補償することで、貼り合わせが円滑に進行する。
【0050】
一方、本発明の第2実施形態では、上記した本発明の第1実施形態の各補助加圧手段とは異なり、必要な部位だけ加圧が可能であるようにした構成が提示される。
【0051】
以下、上記本発明の第2実施形態による構成をより具体的に説明する。
【0052】
まず、図8乃至図14は本発明の第2実施形態による液晶表示素子の貼り合わせ装置を概略的に示す。
即ち、本発明の第2実施形態による補助加圧手段は、各ステージ210、220のうち少なくとも何れか一方のステージが有する作業面から突出可能に備えられる。特に、本発明では、前記補助加圧手段が上部ステージ210に備えられることをその実施形態に挙げる。
【0053】
このような補助加圧手段は、大きく分けて押圧部410と、少なくとも一つ以上の昇降軸420と、そして、少なくとも一つ以上の駆動部430とから構成される。この際、前記押圧部410は単一体で形成され、前記各昇降軸420の昇降に伴う移動力が伝達され、上下に移動する。
また、前記各昇降軸420は上部ステージ210を貫通しており、前記上部ステージ210の作業実行が行われる面(つまり、上部ステージの底面)には前記押圧部410の収容される収容部211がそれぞれ形成される。
【0054】
前記押圧部410は、前記基板510、520に傷をつけないようにコーティング剤で形成するか、或いは前記押圧部410の各面のうち、基板510、520と接触する面をコーティング剤でコーティングして形成する。
この際、前記押圧部410が押圧する部位は、各基板510、520のシール剤が塗布される部位、或いはダミー領域が形成された部位となる。
【0055】
この場合、前記上部ステージ210に形成される収容部211は、大体前記シール剤の塗布部位、或いはダミー領域が形成された部位に沿って形成される。
そして、前記各駆動部430は、前記各昇降軸420が昇降するように駆動する役割を果たす。この際、前記各駆動部430は、流空圧シリンダーやモータなど、加圧力を提供できる装置で構成し、前記押圧部410の全部分が円滑に力を伝達され得るように多数個で構成する。
【0056】
以下、上述したような構成を有する本発明の第2実施形態による補助加圧手段を用いた各基板510、520間の補助加圧過程について説明する。
【0057】
まず、各ステージ210、220にそれぞれの基板510、520がローディングされた状態で真空チャンバー100の内部が真空状態になることで、その貼り合わせのための準備が完了する
そして、上記した状態で主加圧手段の駆動によって上部ステージ210が下向き移動しながら、各ステージ210、220に固定された基板510、520間の貼り合わせが行われる。
【0058】
かかる過程の進行中に、本発明による補助加圧手段は、図10に示すように、別途の制御を受けて下向きに移動する。
即ち、駆動部430が主加圧手段のメイン駆動モータ312とは別途の制御を受けて駆動しながら昇降軸420を下向きに移動させる。
この際、前記上部ステージ210の収容部211に収容されていた押圧部410は、前記昇降軸420の移動によって収容部211から所定の高さだけ突出され、前記上部ステージ210の底面に比べて下向きに突出した状態となる。
【0059】
これにより、前記押圧部410に対応する各基板の特定の部位(例えば、シール剤塗布部位)は、他の部位(例えば、液晶滴下部位)に比べてより大きな加圧力が伝達され、貼り合わせが更に堅固に行われるので、該部位、つまり、シール剤塗布部位の貼り合わせ不良を未然に防止できる。
そして、上記した過程による基板間の貼り合わせが完了すると、主加圧手段は上部ステージ210を上向きに移動させ、補助加圧手段400を構成する駆動部430は、昇降軸420を上向きに移動させ、押圧部410が収容部211に収容された状態となるようにする。
【0060】
これと共に、前記上部ステージ210を介して第1基板510を吸着していた吸着力は解除され、前記上部ステージ210と第1基板510とは互いに離れた状態となり、貼り合わせの完了した第1基板及び第2基板(貼り合わせ基板)510、520は下部ステージ220に固定された状態となる。これは図11に示す通りである。
【0061】
その後、真空チャンバー100の内部のベント過程、及び貼り合わせ基板510、520のアンローディングは、関連技術と同様に行われても構わないので、その具体的な説明は省略する。
【0062】
一方、本発明による補助加圧手段の構成は、必ず基板間の貼り合わせ過程でのみ用いられるものではない。
即ち、貼り合わせ工程が完了した後、必要に応じて基板の特定の部位の更なる加圧が行われるようにも用いられる。
【0063】
尚、本発明による押圧部410は、図12に示すように、各セル領域のシール剤塗布部位をそれぞれ加圧するように多数個で形成することができ、図13のように、所定の個数のセルの有するシール剤塗布部位を一つの工程範囲に有するように形成することもできる。
【0064】
上記した構成の場合、追加的な加圧が必要な特定の部位のみを選択的に加圧できるという長所を有する。
例えば、貼り合わせ装置の長期間の使用によって各駆動部位の動作偏差が発生し得ることを考慮する時、この補償作業が行われるようにすることもできる。
これは、貼り合わせ工程の実行前(或いは、周期的に)に各ステージ210、220の特定の部位の偏差有無を確認して、前記特定の部位の偏差が発生した場合は、この偏差を補償できるように、該部位に設けられた特定の押圧部410の昇降を制御することで可能である。
この際、前記偏差の発生部位を押圧する補助加圧手段の駆動部430は、他の補助加圧手段の駆動部に比べてより大きな力を提供して、押圧部410を下向き移動させ得るようにすることで、全般的に均一且つ正確な貼り合わせ工程が実行可能である。
【0065】
また、本発明は、図14に示すように、各基板のモデル別のシール剤塗布部位が互いに異なっていても、各モデル別のシール剤塗布部位に対する加圧が可能であるように構成できる。
これは、各基板のモデル別のシール剤塗布部位に従う形状に対応して選択的に突出が行われるように押圧部410を多数のブロックに分割して形成し、各々のブロックは、各々の駆動部430、及び昇降軸420による選択的な昇降が行われるようにすることで可能である。
【0066】
一方、本発明による各加圧手段の構成は必ず貼り合わせ装置にのみ適用できるものではない。
即ち、通常の基板間の貼り合わせ工程を行う貼り合わせ装置だけでなく、貼り合わせ工程が完了した後、再度加圧(特に、特定の部位の追加加圧)を行える別途の装備に適用することもできる。
【0067】
従って、本発明による第3実施形態では、別途の補助加圧装置が選択的に装着されるように備えることを提示する。
この際、本発明の第3実施形態は、各ステージ210、220の特定の部位の偏差に対する補償を行うだけでなく、シール剤塗布部位のように他の部位に比べてより大きい加圧が必要な部位を適切に加圧して、貼り合わせ不良を未然に遮断できるように構成される。
【0068】
図15乃至図18は本発明の第3実施形態による補助加圧装置が装着された状態を概略的に示す。
これから分かるように、本発明の第3実施形態による補助加圧装置は、上部ステージ210、或いは下部ステージ220に装着可能な加圧マスク600で構成され、他の部位に比べてより大きい加圧力が必要な部位には突出部610が突出して形成される。
この際、前記突出部610は、各基板510、520のうちシール剤が塗布された基板520の前記シール剤が塗布された領域と対応して位置するように突出して形成する。特に、前記加圧マスク600は、上部ステージ210に装着され得るようにすることを実施形態として提示する。
【0069】
従って、貼り合わせ工程が完了した場合、下部ステージ220の上面に固定された貼り合わせ基板(第1基板及び第2基板)510、520の除去を行わず、前記上部ステージ210に前記加圧マスク600を装着して、前記貼り合わせ基板510、520で必要な部位を再度加圧可能である。
勿論、前記加圧マスク600は、下部ステージ220に装着された後、この加圧マスク600の上面に貼り合わせ基板510、520を位置させた状態で特定の部位が再度加圧されるように構成することもできる。
【0070】
また、前記加圧マスク600は、必ず上部ステージの全体を包む形態に限らず、上部ステージ210の底面(下部ステージ220と対向する面)に多数個の結合溝(図示せず)を形成し、そのうち再度の加圧が必要な部位の結合溝に所定の高さの突起を装着することで構成することもできる。
【0071】
上記のような加圧マスク600と上部ステージ210間の装着は、前記加圧マスク600が作業中に分離されることを防止できるように、固定手段620を用いて装着する。
この際、前記固定手段は、図16に示すように、前記加圧マスク600、或いは上部ステージ210のうち何れか一方にはフック621を形成すると共に、他方にはフック掛止段622を形成することで構成される。
【0072】
また、図18に示すように、前記加圧マスク600及び上部ステージ210の互いに対応する面に締結孔623をそれぞれ形成して、相互間にネジ624結合が行われるように構成することもできる。
【0073】
尚、本発明による加圧マスク600は、上記したように、上部ステージ210とは別途の構成として、必要時ごとに前記上部ステージ210に結合して使用することに限定するわけではない。
即ち、前記加圧マスク600が常に上部ステージ210に結合されている状態となるようにすることで、真空貼り合わせ固定時にも分離を行う必要なく、直ぐに使用可能であるように構成することもできる。
勿論、この場合、前記加圧マスク600は、上部ステージ210が第1基板510をローディングできるように、真空吸着、或いは静電吸着可能な構造で構成される。
【0074】
以下、上述したような構成を有する本発明の液晶表示素子用貼り合わせ装置の補助加圧装置を用いた各基板510、520間の補助加圧過程、特に、各基板510、520間の貼り合わせが完了した状態で貼り合わせ基板のシール剤塗布部位に再度加圧を行うための一連の過程について説明する。
【0075】
まず、主加圧手段の駆動によって一対の基板510、520間の貼り合わせが完了した状態で、この貼り合わせ基板の特定の部位(例えば、シール剤塗布部位)、或いは前記貼り合わせ基板の全般的な部位を再度加圧しようとする場合、上部ステージ210に本発明による加圧マスク600を装着する。
この際、前記加圧マスク600と前記上部ステージ210は固定手段620を用いて装着する。
【0076】
そして、上記した加圧マスク600の装着が完了すると、主加圧手段のメイン駆動モータ312が駆動して、上部ステージ210に連結されたメイン螺旋軸311を下向き移動させる。従って、前記上部ステージ210に固定された加圧マスク600が貼り合わせ基板を再度加圧する。
この際、前記加圧マスク600の突出部610は、他の部位に比べて下向きに突出した状態であるので、図17に示すように、下部ステージ220に固定された貼り合わせ基板の特定の部位、つまり、貼り合わせ基板のシール剤塗布部位を他の部位に比べてより大きな加圧力で加圧する。
このため、前記シール剤塗布部位は他の部位に比べてより堅固に貼り合わせが行われ、前記シール剤塗布部位の貼り合わせ不良を未然に防止できる。
【0077】
そして、上記過程による再度の加圧が完了すると、主加圧手段のメイン駆動モータ312が駆動しながら上部ステージ210を再び上向き移動させる。
前記上部ステージ210の上向き移動が完了すると、ロボットアーム300による貼り合わせ基板のアンローディングが行われると共に、一対の貼り合わせ対象の基板がローディングされ、上述した貼り合わせ工程、及び特定の部位への再度の加圧工程が繰り返して行われる。
【0078】
一方、本発明による加圧マスク600の構成は必ず貼り合わせ装置にのみ適用可能なものではない。
即ち、通常の基板間の貼り合わせ工程を行う貼り合わせ装置ではなく、貼り合わせ工程が完了した後、再度加圧(特定の部位の追加加圧)を行える別途の装備に適用することもできる。
【0079】
また、本発明による加圧マスク600は必ず一対の基板510、520間の貼り合わせ工程が完了した後にのみ使用するものに限定されず、貼り合わせ工程時に装着して基板間の貼り合わせ程度を高めるために使用することもできる。
また、本発明による加圧マスク600は、貼り合わせ基板のシール剤塗布部位など、他の部位に比べてより大きな加圧力が必要な部位を再度加圧する作用のみを行えるものではなく、各ステージ210、220の特定の部位の偏差が発生した場合、この補償作用を行うこともできる。
即ち、貼り合わせ工程の実行前(或いは、周期的に)各ステージ210、220の特定の部位の摩耗有無を確認して、前記特定の部位の摩耗が発生した場合、この摩耗に伴う偏差を補償できるよう前記摩耗された部位に突出部310を有する加圧マスク600を装着して基板間の貼り合わせが行われるようにすることもできる。
【0080】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の各実施形態によれば次のような効果が得られる。
【0081】
第一に、各ステージの位置偏差が発生するか、或いは特定の部位の摩耗が発生する場合にもその補償が行われることで均一な貼り合わせ程度が得られるという効果がある。
即ち、本発明は、特定のステージのある部位が他の部位と偏差が発生しても、前記偏差の発生部位に対する加圧力の補償が行われるようにすることで、全体的に均一な基板間の貼り合わせが行われ得る。
【0082】
第二に、本発明は、シール剤塗布部位のように、他の部位に比べて更に加圧力が必要な部位のみを選択的に追加加圧できるようにすることで、貼り合わせ不良が発生可能な部位の貼り合わせ補償が可能となり、基板間の貼り合わせ不良を未然に防止できるという効果がある。
【0083】
第三に、本発明による補助加圧装置は上部ステージ或いは下部ステージに装着されているため、基板のモデルによって対処が容易な効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】関連技術の液晶表示素子の製造装置のうち貼り合わせ装置を概略的に示す構成図である。
【図2】関連技術の液晶表示素子の製造装置のうち貼り合わせ装置を概略的に示す構成図である。
【図3】関連技術の液晶表示素子の製造工程のうち基板間の貼り合わせが行われる状態の要部拡大断面図である。
【図4】本発明の第1実施形態による各加圧手段の装着状態を概略的に示す要部斜視図である。
【図5】本発明の第1実施形態による各加圧手段が真空チャンバー内に装着された状態による概略的な構成図である。
【図6】本発明の第1実施形態による各加圧手段を用いて貼り合わせが行われる状態を概略的に示す構成図である。
【図7】本発明の第1実施形態による各加圧手段を用いて貼り合わせが行われる状態を概略的に示す構成図である。
【図8】本発明の第2実施形態による補助加圧手段が装着された真空貼り合わせ装置を示す構成図である。
【図9】本発明の第2実施形態による補助加圧手段の装着状態を概略的に示す要部斜視図である。
【図10】本発明の第2実施形態による構成を用いた基板間の貼り合わせが行われる状態を示す構成図である。
【図11】本発明の第2実施形態による構成を用いた基板間の貼り合わせが行われる状態を示す構成図である。
【図12】本発明の第2実施形態による補助加圧手段の装着状態に対する一例を概略的に示す平面図である。
【図13】本発明の第2実施形態による補助加圧手段の装着状態に対する他の例を概略的に示す平面図である。
【図14】本発明の第2実施形態による補助加圧手段の装着状態に対するまた他の例を概略的に示す平面図である。
【図15】本発明の第3実施形態による補助加圧手段の装着状態を示す分解斜視図である。
【図16】本発明の第3実施形態による補助加圧手段を用いて貼り合わせが行われる状態を概略的に示す構成図である。
【図17】本発明の第3実施形態による補助加圧手段を用いて貼り合わせが行われる状態を概略的に示す構成図である。
【図18】本発明の第3実施形態による固定手段に対する他の例を概略的に示す要部拡大断面図である。
【符号の説明】
100:真空チャンバー
210:上部ステージ
220:下部ステージ
311:メイン螺旋軸
312:メイン駆動モータ
313、324:ナットハウジング
314:メイン移動軸
315:メインロードセル
321:サブ螺旋軸
322:サブ駆動モータ
324:サブ移動軸
325:サブロードセル
410:押圧部
420:昇降軸
430:駆動部
600:加圧マスク
610:突出部
620:固定手段
Claims (11)
- 各基板間の貼り合わせ工程が行われる真空チャンバーと、
前記真空チャンバー内の上側区間と下側空間とに対向して設けられた上部ステージ及び下部ステージと、
前記各ステージのうち少なくとも一方のステージが有する作業面に形成された少なくとも一つ以上の収容部と、
前記収容部内に前記作業面から突出可能であるように備えられた補助加圧手段とを備えて構成されることを特徴とする液晶表示素子用貼り合わせ装置。 - 補助加圧手段は、
各基板のシール剤が塗布された領域に向けて突出するように位置していることを特徴とする請求項1記載の液晶表示素子用貼り合わせ装置。 - 補助加圧手段は、
各基板上の任意の領域と接触する押圧部と、
前記収容部を貫通して前記押圧部と連結された昇降軸と、
前記昇降軸に連結された駆動部とを含むことを特徴とする請求項1記載の液晶表示素子用貼り合わせ装置。 - 押圧部が接触する基板上の任意の領域は、シール剤が形成された部位であることを特徴とする請求項3記載の液晶表示素子用貼り合わせ装置。
- 押圧部が接触する基板上の任意の領域はダミー領域であることを特徴とする請求項3記載の液晶表示素子用貼り合わせ装置。
- 押圧部は前記基板に傷をつけないような材質で形成されることを特徴とする請求項3記載の液晶表示素子用貼り合わせ装置。
- 駆動部は、
流空圧シリンダー、或いはモータなど、加圧力を提供できる少なくとも一方の装置で構成されることを特徴とする請求項3記載の液晶表示素子用貼り合わせ装置。 - 補助加圧手段は、上部ステージに備えられることを特徴とする請求項1記載の液晶表示素子用貼り合わせ装置。
- 2つの基板間の貼り合わせ工程が行われる真空チャンバーと、
前記真空チャンバー内の上側区間と下側空間とに対向して設けられた上部ステージ及び下部ステージと、
いずれか一方のステージに装着され、一方の基板のシール剤塗布領域に対応して突出した多数の突出部が形成された加圧マスクとを含むことを特徴とする液晶表示素子用貼り合わせ装置の補助加圧装置。 - 前記マスクには上部ステージに形成されたフック掛止段に整合するフックが形成されることを特徴とする請求項9記載の液晶表示素子用貼り合わせ装置の補助加圧装置。
- 前記補助加圧手段及び上部ステージの互いに対応する面上に締結孔が形成され、互いにネジ結合されることを特徴とする請求項9記載の液晶表示素子用貼り合わせ装置の補助加圧装置。
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Families Citing this family (39)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4243499B2 (ja) * | 2002-06-11 | 2009-03-25 | 富士通株式会社 | 貼合せ基板製造装置及び貼合せ基板製造方法 |
KR101256711B1 (ko) | 2004-01-07 | 2013-04-19 | 가부시키가이샤 니콘 | 적층 장치 및 집적 회로 소자의 적층 방법 |
JP2005309332A (ja) * | 2004-04-26 | 2005-11-04 | Fujitsu Ltd | 貼合せ基板製造装置及び貼合せ基板製造方法 |
JP4723946B2 (ja) * | 2005-08-04 | 2011-07-13 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 基板貼り合せ装置及び基板貼り合せ方法 |
KR101289038B1 (ko) * | 2006-06-30 | 2013-07-23 | 엘지디스플레이 주식회사 | 합착 장치 및 이를 이용한 전계발광소자의 제조방법 |
KR101367661B1 (ko) * | 2006-08-25 | 2014-02-27 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 척의 평행도 및 평편도 조절유닛을 가진 기판 합착장치 |
KR101378072B1 (ko) * | 2006-11-29 | 2014-03-27 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 기판 합착 장치 |
JP2009092811A (ja) * | 2007-10-05 | 2009-04-30 | Panasonic Corp | プラズマディスプレイ装置の製造方法 |
JP5015264B2 (ja) * | 2007-11-08 | 2012-08-29 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 液滴塗布装置、液滴塗布方法、液晶表示パネルの製造装置及び液晶表示パネルの製造方法 |
KR100947082B1 (ko) * | 2009-04-24 | 2010-03-10 | 한동희 | 패널부착장치 |
US8617343B2 (en) * | 2009-12-25 | 2013-12-31 | Japan Display Central Inc. | Manufacturing method of flat-panel display device and bonding press apparatus therefor |
JP2011205074A (ja) * | 2010-03-03 | 2011-10-13 | Toshiba Corp | 半導体製造装置 |
US9299594B2 (en) | 2010-07-27 | 2016-03-29 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Substrate bonding system and method of modifying the same |
KR101767567B1 (ko) * | 2010-11-30 | 2017-08-14 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 평판 디스플레이 셀의 보강 실링 방법 |
US9884475B2 (en) | 2011-01-19 | 2018-02-06 | Precision Valve & Automation, Inc. | Machine for optical bonding, system and method of use thereof |
US20120180935A1 (en) * | 2011-01-19 | 2012-07-19 | Vannorden Jeffrey James | Robotic placement machine for optical bonding, system and method of use thereof |
JP2012156163A (ja) * | 2011-01-21 | 2012-08-16 | Toshiba Corp | 半導体製造装置 |
KR101380978B1 (ko) * | 2011-12-09 | 2014-04-02 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 합착장치 |
JP2013218198A (ja) * | 2012-04-11 | 2013-10-24 | Hitachi High-Technologies Corp | 基板貼り合わせ装置 |
JP6046926B2 (ja) * | 2012-06-20 | 2016-12-21 | 東京応化工業株式会社 | 貼付装置 |
CN102981289B (zh) | 2012-11-08 | 2015-03-04 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种加压设备 |
WO2014119418A1 (ja) * | 2013-01-30 | 2014-08-07 | コニカミノルタ株式会社 | 液滴吐出ヘッド基板及び液滴吐出ヘッドの製造方法 |
US9868273B2 (en) | 2013-09-20 | 2018-01-16 | Lg Display Co., Ltd. | Pressure-sensing stages for lamination systems |
CN103913862B (zh) * | 2014-03-01 | 2016-09-07 | 合肥工业大学 | 用于加固液晶显示模块的测量装置及检测低透过率的方法 |
CN104192344B (zh) * | 2014-07-22 | 2018-10-19 | 广东格林精密部件股份有限公司 | 一种前壳体背胶贴胶方法及其治具 |
JP5810207B1 (ja) * | 2014-11-14 | 2015-11-11 | 株式会社日立製作所 | 基板組立装置とそれを用いた基板組立方法 |
CN104669762B (zh) * | 2015-03-24 | 2017-03-29 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种真空贴合装置 |
JP5837247B1 (ja) * | 2015-03-31 | 2015-12-24 | 株式会社日立製作所 | 基板組立装置とそれを用いた基板組立方法 |
JP6737575B2 (ja) * | 2015-09-30 | 2020-08-12 | Aiメカテック株式会社 | 基板組立システム、そのシステムに用いる基板組立装置、及び、そのシステムを用いた基板組立方法 |
JP6587909B2 (ja) * | 2015-11-10 | 2019-10-09 | Aiメカテック株式会社 | 基板組立システム、そのシステムに用いる基板組立装置、及び、そのシステムを用いた基板組立方法 |
CN106827766B (zh) * | 2017-02-14 | 2019-01-22 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种贴合机 |
CN106707573B (zh) * | 2017-02-17 | 2019-10-15 | 福州京东方光电科技有限公司 | 绑定装置、显示面板、绑定***及其操作方法 |
US11220093B2 (en) | 2019-08-27 | 2022-01-11 | Rockwell Collins, Inc. | Clam shell lamination system |
JP7290375B2 (ja) * | 2020-04-14 | 2023-06-13 | Aiメカテック株式会社 | 基板組立装置 |
JP7125151B2 (ja) * | 2020-04-14 | 2022-08-24 | Aiメカテック株式会社 | 基板組立システム、そのシステムに用いる基板組立装置、及び、そのシステムを用いた基板組立方法 |
CN112379541B (zh) * | 2020-12-04 | 2021-06-11 | 江西芯智景光电有限公司 | 一种液晶显示屏制造加工方法 |
CN112855684B (zh) * | 2020-12-30 | 2022-05-17 | 安徽鸿程光电有限公司 | 真空贴合固化装置及面板组件的固化方法 |
JP7465552B2 (ja) * | 2021-02-10 | 2024-04-11 | Aiメカテック株式会社 | 基板貼り付け装置及び基板貼り付け方法 |
JP7486244B2 (ja) | 2022-08-04 | 2024-05-17 | Aiメカテック株式会社 | 基板組立装置 |
Family Cites Families (108)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3629035A (en) * | 1966-12-19 | 1971-12-21 | Minoru Kuroda | Method of forming applique designs |
US3978580A (en) * | 1973-06-28 | 1976-09-07 | Hughes Aircraft Company | Method of fabricating a liquid crystal display |
JPS5165656A (ja) | 1974-12-04 | 1976-06-07 | Shinshu Seiki Kk | |
US4094058A (en) * | 1976-07-23 | 1978-06-13 | Omron Tateisi Electronics Co. | Method of manufacture of liquid crystal displays |
JPS6032575B2 (ja) * | 1979-02-20 | 1985-07-29 | 三菱化学株式会社 | 大形合成樹脂成形品の溶着装置 |
JPS5738414A (en) | 1980-08-20 | 1982-03-03 | Showa Denko Kk | Spacer for display panel |
JPS5788428A (en) | 1980-11-20 | 1982-06-02 | Ricoh Elemex Corp | Manufacture of liquid crystal display body device |
JPS5827126A (ja) | 1981-08-11 | 1983-02-17 | Nec Corp | 液晶表示パネルの製造方法 |
US4557889A (en) * | 1981-09-26 | 1985-12-10 | Kawasaki Yucoh Co., Ltd. | Method and apparatus for producing sheet molding compound parts by compression |
JPS5957221A (ja) | 1982-09-28 | 1984-04-02 | Asahi Glass Co Ltd | 表示素子の製造方法及び製造装置 |
JPS59195222A (ja) | 1983-04-19 | 1984-11-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶パネルの製造法 |
JPS60111221A (ja) | 1983-11-19 | 1985-06-17 | Nippon Denso Co Ltd | 液晶充填方法および装置 |
JPS60164723A (ja) | 1984-02-07 | 1985-08-27 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 液晶表示装置 |
JPS60217343A (ja) | 1984-04-13 | 1985-10-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示装置およびその製造方法 |
JPS617822A (ja) | 1984-06-22 | 1986-01-14 | Canon Inc | 液晶素子の製造方法 |
JPS6155625A (ja) | 1984-08-24 | 1986-03-20 | Nippon Denso Co Ltd | 液晶素子製造方法 |
US4775225A (en) * | 1985-05-16 | 1988-10-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid crystal device having pillar spacers with small base periphery width in direction perpendicular to orientation treatment |
JP2616761B2 (ja) | 1985-07-15 | 1997-06-04 | 株式会社 半導体エネルギー研究所 | 液晶表示装置の作製方法 |
US4691995A (en) * | 1985-07-15 | 1987-09-08 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Liquid crystal filling device |
JPS6254228A (ja) | 1985-07-15 | 1987-03-09 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 液晶表示装置の作製方法 |
JP2535142B2 (ja) | 1985-07-15 | 1996-09-18 | 株式会社 半導体エネルギー研究所 | 液晶表示装置の作製方法 |
JPS6289025A (ja) | 1985-10-15 | 1987-04-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示パネルの製造方法 |
JPS6290622A (ja) | 1985-10-17 | 1987-04-25 | Seiko Epson Corp | 液晶表示装置 |
US4653864A (en) * | 1986-02-26 | 1987-03-31 | Ovonic Imaging Systems, Inc. | Liquid crystal matrix display having improved spacers and method of making same |
JPH0668589B2 (ja) | 1986-03-06 | 1994-08-31 | キヤノン株式会社 | 強誘電性液晶素子 |
US5963288A (en) * | 1987-08-20 | 1999-10-05 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Liquid crystal device having sealant and spacers made from the same material |
US5379139A (en) * | 1986-08-20 | 1995-01-03 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Liquid crystal device and method for manufacturing same with spacers formed by photolithography |
JPS63109413A (ja) | 1986-10-27 | 1988-05-14 | Fujitsu Ltd | 液晶デイスプレイの製造方法 |
JPS63110425A (ja) | 1986-10-29 | 1988-05-14 | Toppan Printing Co Ltd | 液晶封入用セル |
JPS63128315A (ja) | 1986-11-19 | 1988-05-31 | Victor Co Of Japan Ltd | 液晶表示素子 |
JPS63311233A (ja) | 1987-06-12 | 1988-12-20 | Toyota Motor Corp | 液晶セル |
DE3825066A1 (de) * | 1988-07-23 | 1990-01-25 | Roehm Gmbh | Verfahren zur herstellung von duennen, anisotropen schichten auf oberflaechenstrukturierten traegern |
US4964078A (en) | 1989-05-16 | 1990-10-16 | Motorola, Inc. | Combined multiple memories |
JPH0536425A (ja) | 1991-02-12 | 1993-02-12 | Tokyo Electric Power Co Inc:The | 固体電解質型燃料電池用合金セパレータ及びその製造 方法 |
EP0509490A3 (en) * | 1991-04-16 | 1993-05-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid crystal apparatus |
US5225025A (en) * | 1991-05-14 | 1993-07-06 | Aluminum Company Of America | Apparatus and method for resistance welding |
US5231923A (en) * | 1991-07-12 | 1993-08-03 | Sintogokio Ltd. | Press apparatus used for manufacturing a liquid crystal panel |
EP0528542B1 (en) * | 1991-07-19 | 1998-09-16 | SHARP Corporation | Optical modulating element and apparatuses using it |
JP3068264B2 (ja) | 1991-07-31 | 2000-07-24 | 三菱重工業株式会社 | 固体電解質燃料電池 |
JPH05107533A (ja) | 1991-10-16 | 1993-04-30 | Shinetsu Eng Kk | 液晶表示板用ガラス基板の貼り合せ方法及びその貼り合せ装置 |
JPH05127179A (ja) | 1991-11-01 | 1993-05-25 | Ricoh Co Ltd | 液晶表示素子の製造方法 |
JP2609386B2 (ja) | 1991-12-06 | 1997-05-14 | 株式会社日立製作所 | 基板組立装置 |
JP3159504B2 (ja) * | 1992-02-20 | 2001-04-23 | 松下電器産業株式会社 | 液晶パネルの製造方法 |
JPH05265011A (ja) | 1992-03-19 | 1993-10-15 | Seiko Instr Inc | 液晶表示素子の製造方法 |
JPH05281562A (ja) | 1992-04-01 | 1993-10-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶パネルの製造方法 |
JP2939384B2 (ja) | 1992-04-01 | 1999-08-25 | 松下電器産業株式会社 | 液晶パネルの製造方法 |
US5507323A (en) * | 1993-10-12 | 1996-04-16 | Fujitsu Limited | Method and dispenser for filling liquid crystal into LCD cell |
JPH05307160A (ja) | 1992-04-30 | 1993-11-19 | Ricoh Co Ltd | 液晶表示素子の製造装置及びその方法 |
JP2604090B2 (ja) | 1992-06-30 | 1997-04-23 | 信越エンジニアリング株式会社 | 液晶表示板用ガラス基板の貼り合せ装置 |
JPH0651256A (ja) | 1992-07-30 | 1994-02-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶吐出装置 |
JPH0664229A (ja) | 1992-08-24 | 1994-03-08 | Toshiba Corp | 光プリンタヘッド |
JP3084975B2 (ja) | 1992-11-06 | 2000-09-04 | 松下電器産業株式会社 | 液晶表示用セルの製造装置 |
JPH06160871A (ja) | 1992-11-26 | 1994-06-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示パネルおよびその製造方法 |
JPH06194637A (ja) | 1992-12-24 | 1994-07-15 | Shinetsu Eng Kk | 液晶表示板用ガラス基板の貼り合せ方法 |
JPH06235925A (ja) | 1993-02-10 | 1994-08-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示素子の製造方法 |
JPH06265915A (ja) | 1993-03-12 | 1994-09-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶充填用吐出装置 |
JP3210126B2 (ja) * | 1993-03-15 | 2001-09-17 | 株式会社東芝 | 液晶表示装置の製造方法 |
JP3170773B2 (ja) | 1993-04-28 | 2001-05-28 | 株式会社日立製作所 | 基板組立装置 |
US5539545A (en) * | 1993-05-18 | 1996-07-23 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method of making LCD in which resin columns are cured and the liquid crystal is reoriented |
JP2957385B2 (ja) * | 1993-06-14 | 1999-10-04 | キヤノン株式会社 | 強誘電性液晶素子の製造方法 |
US5407519A (en) * | 1993-07-07 | 1995-04-18 | Interserv Corp. | Apparatus for manufacturing liquid crystal display screens |
JP3260511B2 (ja) | 1993-09-13 | 2002-02-25 | 株式会社日立製作所 | シール剤描画方法 |
CA2108237C (en) * | 1993-10-12 | 1999-09-07 | Taizo Abe | Method and dispenser for filling liquid crystal into lcd cell |
JPH07128674A (ja) | 1993-11-05 | 1995-05-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示素子の製造方法 |
JPH07181507A (ja) | 1993-12-21 | 1995-07-21 | Canon Inc | 液晶表示装置及び該液晶表示装置を備えた情報伝達装置 |
JP2809588B2 (ja) | 1994-04-06 | 1998-10-08 | 日立テクノエンジニアリング株式会社 | ペースト塗布機 |
JP2880642B2 (ja) | 1994-04-11 | 1999-04-12 | 日立テクノエンジニアリング株式会社 | ペースト塗布機 |
US5507328A (en) * | 1994-07-13 | 1996-04-16 | Donovan; Terrence | Pouring spout |
US5589545A (en) * | 1994-07-18 | 1996-12-31 | Union Carbide Chemicals & Plastics Technology Corporation | Lubricious polymer blends comprising polyethylene oxide, polyethylene and a polylactone |
JP3023282B2 (ja) | 1994-09-02 | 2000-03-21 | 信越エンジニアリング株式会社 | 液晶表示板用ガラス基板の貼り合せ装置における定盤構造 |
US5854664A (en) * | 1994-09-26 | 1998-12-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Liquid crystal display panel and method and device for manufacturing the same |
JP3189591B2 (ja) | 1994-09-27 | 2001-07-16 | 松下電器産業株式会社 | 液晶素子の製造方法 |
JPH08101395A (ja) | 1994-09-30 | 1996-04-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示素子の製造方法 |
JPH08106101A (ja) | 1994-10-06 | 1996-04-23 | Fujitsu Ltd | 液晶表示パネルの製造方法 |
JP2665319B2 (ja) | 1994-10-13 | 1997-10-22 | 信越エンジニアリング株式会社 | 液晶表示板用ガラス基板の加熱装置 |
JP3053535B2 (ja) | 1994-11-09 | 2000-06-19 | 信越エンジニアリング株式会社 | 液晶表示板用ガラス基板の加圧加熱装置 |
JPH08171094A (ja) | 1994-12-19 | 1996-07-02 | Nippon Soken Inc | 液晶表示器への液晶注入方法及び注入装置 |
JP3122708B2 (ja) | 1994-12-26 | 2001-01-09 | 日立テクノエンジニアリング株式会社 | ペースト塗布機 |
JP3545076B2 (ja) | 1995-01-11 | 2004-07-21 | 富士通ディスプレイテクノロジーズ株式会社 | 液晶表示装置及びその製造方法 |
JP3216869B2 (ja) * | 1995-02-17 | 2001-10-09 | シャープ株式会社 | 液晶表示素子およびその製造方法 |
US6001203A (en) * | 1995-03-01 | 1999-12-14 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Production process of liquid crystal display panel, seal material for liquid crystal cell and liquid crystal display |
JP3534474B2 (ja) | 1995-03-06 | 2004-06-07 | 富士通ディスプレイテクノロジーズ株式会社 | 液晶表示パネルのシール方法 |
JPH095762A (ja) | 1995-06-20 | 1997-01-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶パネルの製造法 |
JPH091026A (ja) | 1995-06-23 | 1997-01-07 | Hitachi Techno Eng Co Ltd | ペースト塗布機 |
JP3978241B2 (ja) | 1995-07-10 | 2007-09-19 | シャープ株式会社 | 液晶表示パネル及びその製造方法 |
JPH0980447A (ja) * | 1995-09-08 | 1997-03-28 | Toshiba Electron Eng Corp | 液晶表示素子 |
JP3358935B2 (ja) * | 1995-10-02 | 2002-12-24 | シャープ株式会社 | 液晶表示素子およびその製造方法 |
JP3658110B2 (ja) * | 1995-11-27 | 2005-06-08 | キヤノン株式会社 | 画像表示装置のための製造方法及び製造装置 |
US6236445B1 (en) * | 1996-02-22 | 2001-05-22 | Hughes Electronics Corporation | Method for making topographic projections |
JP2616754B2 (ja) | 1996-04-08 | 1997-06-04 | セイコーエプソン株式会社 | 液晶装置の製造方法 |
KR100208475B1 (ko) * | 1996-09-12 | 1999-07-15 | 박원훈 | 자기장 처리에 의한 액정배향막의 제조방법 |
EP0829748A3 (en) * | 1996-09-13 | 1999-12-15 | Sony Corporation | Reflective guest-host liquid-crystal display device |
JPH10153785A (ja) * | 1996-09-26 | 1998-06-09 | Toshiba Corp | 液晶表示装置 |
KR100207506B1 (ko) * | 1996-10-05 | 1999-07-15 | 윤종용 | 액정 표시 소자의 제조방법 |
JP3472422B2 (ja) * | 1996-11-07 | 2003-12-02 | シャープ株式会社 | 液晶装置の製造方法 |
JPH10274768A (ja) * | 1997-03-31 | 1998-10-13 | Denso Corp | 液晶セルおよびその製造方法 |
JPH1195230A (ja) * | 1997-09-19 | 1999-04-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶パネルの製造方法および製造装置 |
JP4028043B2 (ja) * | 1997-10-03 | 2007-12-26 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 液晶光変調素子および液晶光変調素子の製造方法 |
US5875922A (en) * | 1997-10-10 | 1999-03-02 | Nordson Corporation | Apparatus for dispensing an adhesive |
US6055035A (en) * | 1998-05-11 | 2000-04-25 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for filling liquid crystal display (LCD) panels |
US6337730B1 (en) * | 1998-06-02 | 2002-01-08 | Denso Corporation | Non-uniformly-rigid barrier wall spacers used to correct problems caused by thermal contraction of smectic liquid crystal material |
JP2000066163A (ja) * | 1998-08-24 | 2000-03-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示素子の製造方法および基板貼り合わせ装置 |
JP3828670B2 (ja) | 1998-11-16 | 2006-10-04 | 松下電器産業株式会社 | 液晶表示素子の製造方法 |
US6219126B1 (en) * | 1998-11-20 | 2001-04-17 | International Business Machines Corporation | Panel assembly for liquid crystal displays having a barrier fillet and an adhesive fillet in the periphery |
JP3568862B2 (ja) | 1999-02-08 | 2004-09-22 | 大日本印刷株式会社 | カラー液晶表示装置 |
JP3410983B2 (ja) * | 1999-03-30 | 2003-05-26 | 株式会社 日立インダストリイズ | 基板の組立方法およびその装置 |
JP3483809B2 (ja) | 1999-08-31 | 2004-01-06 | シャープ株式会社 | 基板の貼り合わせ方法および貼り合わせ装置並びに液晶表示装置の製造方法 |
JP2001215459A (ja) | 2000-02-02 | 2001-08-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示素子製造装置 |
-
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