JP7465552B2 - 基板貼り付け装置及び基板貼り付け方法 - Google Patents
基板貼り付け装置及び基板貼り付け方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7465552B2 JP7465552B2 JP2021019601A JP2021019601A JP7465552B2 JP 7465552 B2 JP7465552 B2 JP 7465552B2 JP 2021019601 A JP2021019601 A JP 2021019601A JP 2021019601 A JP2021019601 A JP 2021019601A JP 7465552 B2 JP7465552 B2 JP 7465552B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- load
- substrates
- substrate
- pressing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 330
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 44
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 66
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 43
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 13
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 54
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 8
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 8
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 7
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 7
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005485 electric heating Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000012811 non-conductive material Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67092—Apparatus for mechanical treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/185—Joining of semiconductor bodies for junction formation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment
- H01L21/67103—Apparatus for thermal treatment mainly by conduction
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
- H01L21/68742—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by a lifting arrangement, e.g. lift pins
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
- H01L21/68792—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by the construction of the shaft
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
また、本発明の態様に係る基板貼り付け装置は、複数の基板を重ねた状態で挟む第1プレート及び第2プレートと、第1プレート及び第2プレートのいずれか一方をいずれか他方に押し付ける押圧機構と、を有し、押圧機構は、複数の基板の中央部に対応して配置される中央荷重軸と、中央部を除いた複数の基板の周辺部に対応して配置される複数の周辺荷重軸と、中央荷重軸及び複数の周辺荷重軸のそれぞれを個別に駆動する複数の駆動部と、を備える。
また、本発明の態様に係る基板貼り付け方法では、複数の基板を重ねた状態で第1プレート及び第2プレートで挟むことにより複数の基板を貼り付ける方法であって、第1プレート及び第2プレートのいずれか一方をいずれか他方に押し付ける際に、複数の基板の中央部に対応する部分への押圧、及び中央部を除いた複数の基板の周辺部に対応する複数の部分への各押圧を、個別にそれぞれ設定することを含み、中央部に対応する部分への押圧は、目標荷重に達する駆動タイミングが周辺部に対応する複数の部分への各押圧の駆動タイミングよりも早く、目標荷重から荷重減少を開始する駆動タイミングが周辺部に対応する複数の部分よりも遅い、基板貼り付け方法が提供される。
また、本発明の態様に係る基板貼り付け方法では、複数の基板を重ねた状態で第1プレート及び第2プレートで挟むことにより複数の基板を貼り付ける方法であって、第1プレート及び第2プレートのいずれか一方をいずれか他方に押し付ける際に、複数の基板の中央部に対応する部分への押圧、及び中央部を除いた複数の基板の周辺部に対応する複数の部分への各押圧を、個別にそれぞれ設定することを含む。
実施形態に係る基板貼り付け装置100について説明する。図1は、実施形態に係る基板貼り付け装置100の一例を示す図である。図2は、図1に示す基板貼り付け装置100の平面図である。基板貼り付け装置100は、接着層Fを形成した基板S1と、接着層Fを形成した基板S2とを、互いの接着層Fを当接させて貼り付ける。なお、接着層Fは、基板S1及び基板S2の双方に形成されることに限定されず、いずれか一方の基板S1又は基板S2に形成される形態であってもよい。接着層Fは、基板貼り付け装置100に搬入される前に、例えば塗布装置等により基板S1、基板S2に塗布、乾燥されることで形成される。なお、この塗布装置は、基板貼り付け装置100に備える形態であってもよい。
次に、本実施形態に係る基板貼り付け方法について説明する。図6及び図7は、本実施形態に係る基板貼り付け方法の一例を示すフローチャートである。この基板貼り付け方法は、例えば、制御部Cからの指示により実行される。図8から図14、及び図16は、基板貼り付け装置100の動作の一例を示す工程図である。なお、これらの工程図では、各部の動きが分かり易くなるように、記載を簡略化している。以下、図6及び図7のフローチャートに沿って説明する。
上記した実施形態では、第2プレート30は、複数の荷重軸51の下端に接合した形態を例に挙げて説明しているが、この形態に限定されない。図17は、変形例に係る第2プレート30Aの一例を示す図である。なお、上記した実施形態と同様の部材については同一の符号を付して、その説明を省略又は簡略化する。図17に示すように、荷重プレート31の上面側には支持体35を備える。支持体35は、取付部35aにより荷重プレート31の上面31aに取り付けられる。支持体35は、荷重プレート31の上面側を覆うように設けられている。支持体35は、第1荷重軸51A~第5荷重軸51Eが挿入される5個の穴部35bを備える。各穴部35bは、平面視で円形状であり、その内径は第1荷重軸51A等の外径より僅かに大きく形成されている。
S、S1、S2・・・基板
10・・・チャンバ
11・・・開口部
12・・・ゲートバルブ
20・・・第1プレート
22・・・ヒータ(加熱部)
30、30A・・・第2プレート
32・・・ヒータ(加熱部)
40・・・リフト部
41・・・リフトピン
50・・・押圧機構
51・・・荷重軸
51A・・・第1荷重軸(中央荷重軸)
51B・・・第2荷重軸(周辺荷重軸)
51C・・・第3荷重軸(周辺荷重軸)
51D・・・第4荷重軸(周辺荷重軸)
51E・・・第5荷重軸(周辺荷重軸)
52・・・駆動部
51A・・・第1荷重軸(中央荷重軸)
51B・・・第2荷重軸(周辺荷重軸)
51C・・・第3荷重軸(周辺荷重軸)
51D・・・第4荷重軸(周辺荷重軸)
51E・・・第5荷重軸(周辺荷重軸)
60・・・アライメント機構
70・・・スペーサ機構
100・・・基板貼り付け装置
Claims (12)
- 複数の基板を重ねた状態で挟む第1プレート及び第2プレートと、
前記第1プレート及び前記第2プレートのいずれか一方をいずれか他方に押し付ける押圧機構と、を有し、
前記押圧機構は、
前記複数の基板の中央部に対応して配置される中央荷重軸と、
前記中央部を除いた前記複数の基板の周辺部に対応して配置される複数の周辺荷重軸と、
前記中央荷重軸及び前記複数の周辺荷重軸のそれぞれを個別に駆動する複数の駆動部と、を備え、
前記第1プレートは、固定された状態で設けられ、前記複数の基板を載せて支持可能であり、
前記第2プレートは、前記第1プレートの上方で昇降可能であり、
前記押圧機構は、前記第2プレートを下降させて前記第1プレートに向けて押し付け、
前記中央荷重軸及び前記複数の周辺荷重軸は、前記第2プレートから離間した状態で配置され、前記第1プレート及び前記第2プレートで前記複数の基板を挟む際に前記第2プレートに当接する、基板貼り付け装置。 - 前記複数の周辺荷重軸のそれぞれは、前記中央荷重軸との間の距離が同一である、請求項1に記載の基板貼り付け装置。
- 前記複数の基板のそれぞれは、平面視で矩形状であり、
前記複数の周辺荷重軸は、前記基板の4つの角部に対応して配置される、請求項2に記載の基板貼り付け装置。 - 前記第1プレートは、複数の脚部の上端で支持されることにより固定されている、請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の基板貼り付け装置。
- 前記第1プレートを貫通して設けられ、前記第2プレートに対して前記複数の基板又は1つの前記基板を昇降させるリフトピンを備える、請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の基板貼り付け装置。
- 前記第1プレート及び前記第2プレートの一方又は双方は、前記複数の基板を加熱するための加熱部を備える、請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の基板貼り付け装置。
- 前記第1プレート及び前記第2プレートを収容するチャンバを備える、請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の基板貼り付け装置。
- 前記複数の駆動部を制御する制御部を備え、
前記制御部は、前記中央荷重軸及び前記複数の周辺荷重軸のそれぞれについて個別に駆動タイミング及び荷重の一方又は双方を制御する、請求項1から請求項7のいずれか一項に記載の基板貼り付け装置。 - 複数の基板を重ねた状態で第1プレート及び第2プレートで挟むことにより前記複数の基板を貼り付ける方法であって、
前記第1プレート及び前記第2プレートのいずれか一方をいずれか他方に押し付ける際に、前記複数の基板の中央部に対応する部分への中央荷重軸による押圧、及び前記中央部を除いた前記複数の基板の周辺部に対応する複数の部分への複数の周辺荷重軸による各押圧を、個別にそれぞれ設定することを含み、
前記第1プレートは、固定された状態で設けられ、前記複数の基板を載せて支持可能であり、
前記第2プレートは、前記第1プレートの上方で昇降可能であり、
前記中央荷重軸及び前記複数の周辺荷重軸は、前記第2プレートから離間した状態で配置され、前記第1プレート及び前記第2プレートで前記複数の基板を挟む際に前記第2プレートに当接する、基板貼り付け方法。 - 前記中央部に対応する部分への押圧、及び前記周辺部に対応する複数の部分への各押圧は、それぞれの目標荷重に達するまで段階的に荷重を増加させるように行う、請求項9に記載の基板貼り付け方法。
- 前記中央部に対応する部分への押圧、及び前記周辺部に対応する複数の部分への各押圧は、駆動タイミングが異なる、請求項9又は請求項10に記載の基板貼り付け方法。
- 複数の基板を重ねた状態で第1プレート及び第2プレートで挟むことにより前記複数の基板を貼り付ける方法であって、
前記第1プレート及び前記第2プレートのいずれか一方をいずれか他方に押し付ける際に、前記複数の基板の中央部に対応する部分への押圧、及び前記中央部を除いた前記複数の基板の周辺部に対応する複数の部分への各押圧を、個別にそれぞれ設定することを含み、
前記中央部に対応する部分への押圧は、目標荷重に達する駆動タイミングが前記周辺部に対応する複数の部分への各押圧の駆動タイミングよりも早く、目標荷重から荷重減少を開始する駆動タイミングが前記周辺部に対応する複数の部分よりも遅い、基板貼り付け方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021019601A JP7465552B2 (ja) | 2021-02-10 | 2021-02-10 | 基板貼り付け装置及び基板貼り付け方法 |
TW110144314A TW202236451A (zh) | 2021-02-10 | 2021-11-29 | 基板黏貼裝置及基板黏貼方法 |
KR1020220015740A KR20220115520A (ko) | 2021-02-10 | 2022-02-07 | 기판 첩부 장치 및 기판 첩부 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021019601A JP7465552B2 (ja) | 2021-02-10 | 2021-02-10 | 基板貼り付け装置及び基板貼り付け方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022122403A JP2022122403A (ja) | 2022-08-23 |
JP7465552B2 true JP7465552B2 (ja) | 2024-04-11 |
Family
ID=82939226
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021019601A Active JP7465552B2 (ja) | 2021-02-10 | 2021-02-10 | 基板貼り付け装置及び基板貼り付け方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7465552B2 (ja) |
KR (1) | KR20220115520A (ja) |
TW (1) | TW202236451A (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN117012682B (zh) * | 2023-09-27 | 2023-12-22 | 常州铭赛机器人科技股份有限公司 | 带加热功能的上压合治具及其使用方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003270646A (ja) | 2002-03-08 | 2003-09-25 | Lg Phillips Lcd Co Ltd | 液晶表示素子用貼り合わせ装置 |
JP2004241568A (ja) | 2003-02-05 | 2004-08-26 | Tokyo Electron Ltd | 基板脱着装置、基板脱着方法及び基板処理システム |
JP2004268113A (ja) | 2003-03-11 | 2004-09-30 | Fujitsu Ltd | 基板貼合せ装置及び基板貼合せ方法 |
JP2006195482A (ja) | 2006-02-27 | 2006-07-27 | Hitachi Industries Co Ltd | 基板の組立方法およびその装置 |
JP2007310041A (ja) | 2006-05-17 | 2007-11-29 | Hitachi Plant Technologies Ltd | 基板組立装置とそれを用いた基板組立方法 |
JP2009200117A (ja) | 2008-02-19 | 2009-09-03 | Nikon Corp | 接合装置および製造方法 |
KR101367661B1 (ko) | 2006-08-25 | 2014-02-27 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 척의 평행도 및 평편도 조절유닛을 가진 기판 합착장치 |
JP7142431B2 (ja) | 2017-12-20 | 2022-09-27 | 株式会社三共 | 遊技機 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3487833B2 (ja) | 2001-04-24 | 2004-01-19 | 株式会社 日立インダストリイズ | 基板貼り合わせ方法及び貼り合わせ装置 |
JP3799378B2 (ja) | 2003-01-27 | 2006-07-19 | 株式会社 日立インダストリイズ | 基板の組立方法とその装置 |
JP2007311683A (ja) | 2006-05-22 | 2007-11-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 貼り合せ方法及びその装置 |
JP4841412B2 (ja) | 2006-12-06 | 2011-12-21 | 日東電工株式会社 | 基板貼合せ装置 |
JP5799501B2 (ja) * | 2010-06-24 | 2015-10-28 | 日産自動車株式会社 | 接合方法および接合装置 |
JP2013062431A (ja) * | 2011-09-14 | 2013-04-04 | Tokyo Electron Ltd | 接合装置、接合方法、接合システム、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
JP6587909B2 (ja) * | 2015-11-10 | 2019-10-09 | Aiメカテック株式会社 | 基板組立システム、そのシステムに用いる基板組立装置、及び、そのシステムを用いた基板組立方法 |
JP6799988B2 (ja) * | 2016-10-07 | 2020-12-16 | 東京応化工業株式会社 | 貼付装置 |
-
2021
- 2021-02-10 JP JP2021019601A patent/JP7465552B2/ja active Active
- 2021-11-29 TW TW110144314A patent/TW202236451A/zh unknown
-
2022
- 2022-02-07 KR KR1020220015740A patent/KR20220115520A/ko unknown
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003270646A (ja) | 2002-03-08 | 2003-09-25 | Lg Phillips Lcd Co Ltd | 液晶表示素子用貼り合わせ装置 |
JP2004241568A (ja) | 2003-02-05 | 2004-08-26 | Tokyo Electron Ltd | 基板脱着装置、基板脱着方法及び基板処理システム |
JP2004268113A (ja) | 2003-03-11 | 2004-09-30 | Fujitsu Ltd | 基板貼合せ装置及び基板貼合せ方法 |
JP2006195482A (ja) | 2006-02-27 | 2006-07-27 | Hitachi Industries Co Ltd | 基板の組立方法およびその装置 |
JP2007310041A (ja) | 2006-05-17 | 2007-11-29 | Hitachi Plant Technologies Ltd | 基板組立装置とそれを用いた基板組立方法 |
KR101367661B1 (ko) | 2006-08-25 | 2014-02-27 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 척의 평행도 및 평편도 조절유닛을 가진 기판 합착장치 |
JP2009200117A (ja) | 2008-02-19 | 2009-09-03 | Nikon Corp | 接合装置および製造方法 |
JP7142431B2 (ja) | 2017-12-20 | 2022-09-27 | 株式会社三共 | 遊技機 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2022122403A (ja) | 2022-08-23 |
TW202236451A (zh) | 2022-09-16 |
KR20220115520A (ko) | 2022-08-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8136564B2 (en) | Attaching device and attaching apparatus for supporting plate, and attaching method for supporting plate | |
JP5314607B2 (ja) | 接合装置、接合方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | |
WO2006003820A1 (ja) | 移載装置 | |
JP5183659B2 (ja) | 基板処理装置、基板処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | |
JP7465552B2 (ja) | 基板貼り付け装置及び基板貼り付け方法 | |
JP4679890B2 (ja) | サポートプレートの貼り付け装置 | |
JP4417432B1 (ja) | ワーク搬送装置及び真空貼り合わせ方法 | |
CN210805713U (zh) | 加热装置 | |
TWI630048B (zh) | Bonding device, bonding system, bonding method, and computer memory medium | |
KR20200021138A (ko) | 웨이퍼의 접합을 위한 웨이퍼 지그 및 이를 포함하는 웨이퍼 접합 장치 | |
JP5662486B2 (ja) | ラミネート装置及びこれを用いたラミネート処理システム | |
JP6535828B1 (ja) | 基板処理装置 | |
JP7469817B2 (ja) | 基板貼り付け装置及び基板貼り付け方法 | |
WO2023189648A1 (ja) | 基板貼り合わせ装置及び基板貼り合わせ方法 | |
KR20230146468A (ko) | 기판 중합 장치 및 기판 중합 방법 | |
JP5577652B2 (ja) | 接合装置、接合方法および半導体装置の製造方法 | |
JP5323730B2 (ja) | 接合装置、接合方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | |
JP6492528B2 (ja) | 加熱装置、基板接合装置、加熱方法および積層半導体装置の製造方法 | |
JP2023154839A (ja) | 基板貼り付け装置及び基板貼り付け方法 | |
JP2017220571A (ja) | 接合方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体、接合装置及び接合システム | |
JP2017196645A (ja) | 加圧方法および加圧装置 | |
KR20230030535A (ko) | 반도체 장치의 제조 방법, 워크 일체화 장치, 필름 적층체, 및 반도체 장치 | |
CN117276165A (zh) | 对准装置、基板重合装置以及对准方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20230308 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20230622 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230712 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20230821 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20230821 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20231010 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20231207 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240312 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240325 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7465552 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |