KR100807824B1 - 페이스트 디스펜서 - Google Patents

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KR100807824B1
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Abstract

본 발명은 페이스트 디스펜서를 개시한다. 본 발명에 따르면, 노즐과 기판 사이의 상대 위치를 변화시켜가면서, 기판 상에 노즐로부터 폐루프 형태로 페이스트를 도포하여, 페이스트 패턴을 형성하는 페이스트 디스펜서에 있어서, 노즐로부터 페이스트 도포가 시작되어 종료되기 전에 페이스트 도포가 실제로 시작된 실제 도포 시작위치를 측정하는 측정기; 및 측정기로부터 측정된 실제 도포 시작위치를 토대로 페이스트 도포가 종료되도록 제어하는 도포 제어부;를 구비한다.

Description

페이스트 디스펜서{Paste dispenser}
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 페이스트 디스펜서를 도시한 사시도.
도 2는 도 1에 있어서, 헤드 유닛을 도시한 사시도.
도 3 및 도 4는 도 2에 도시된 측정기에 의해 도포 시작위치를 측정하는 과정을 설명하기 위한 도면.
〈도면의 주요 부호에 대한 간단한 설명〉
10..기판 101..도포 제어부
110..프레임 120..스테이지
130..헤드 지지부 140..헤드 유닛
151..노즐 152..시린지
153..공기압 공급기 180..측정기
P..페이스트 패턴 RL..실제 도포 시작위치
SL..설정된 시작위치
본 발명은 각종 평판 디스플레이의 제조에 이용되는 것으로, 기판 상에 소정 패턴으로 페이스트를 도포하는 페이스트 디스펜서에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 디스플레이(Flat Panel Display; FPD)란 브라운관을 채용한 텔레비전이나 모니터보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치를 일컫는다. 이러한 평판 디스플레이로는 액정 디스플레이(Liquid Crystal Display; LCD), 플라즈마 디스플레이(Plasma Display Panel; PDP), 전계방출 디스플레이(Field Emission Display; FED), 유기 EL(Organic Light Emitting Diodes; OLED) 등이 개발되어 사용되고 있다.
이 중에서, 액정 디스플레이는 매트릭스 형태로 배열된 액정 셀들에 화상정보에 따른 데이터신호를 개별적으로 공급하여 액정 셀들의 광 투과율을 조절함으로써 원하는 화상을 표시할 수 있도록 한 표시장치이다. 액정 디스플레이는 얇고 가벼우며 소비전력과 동작 전압이 낮은 장점 등이 있어 널리 이용되고 있다. 이러한 액정 디스플레이에 일반적으로 채용되는 액정 패널의 제조 방법을 일 예로 설명하면 다음과 같다.
먼저, 상부 글라스 기판에 컬러 필터 및 공통 전극을 패턴 형성하고, 상부 글라스 기판과 대향이 되는 하부 글라스 기판에 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT) 및 화소 전극을 패턴 형성한다. 이어서, 기판들에 각각 배향막을 도포한 후 이들 사이에 형성될 액정층의 액정분자에 프리틸트 각(pretilt angle)과 배향 방향을 제공하기 위해 배향막을 러빙(rubbing)한다.
그리고, 기판들 사이의 간격을 유지하는 한편 액정이 외부로 새는 것을 방지하고 기판들 사이를 밀봉시키기 위한 페이스트(paste)를 어느 하나의 기판에 폐루 프 형태로 도포하여 페이스트 패턴을 형성한 다음, 기판들 사이에 액정층을 형성한 후 액정 패널을 제조하게 된다.
이처럼 액정 패널의 제조에 있어서, 기판 상에 페이스트 패턴을 형성하기 위해 페이스트 디스펜서(paste dispenser)라는 장비가 이용되고 있다. 페이스트 디스펜서는 형성하고자 하는 페이스트 패턴에 상응하도록 노즐과 기판 사이의 상대 위치를 변화시켜가면서, 노즐로부터 기판으로 페이스트를 토출시킴으로써, 페이스트 패턴을 형성하게 한다. 여기서, 페이스트 디스펜서는 노즐로부터 페이스트가 토출될 수 있도록 토출 압력을 제공하는 공기압 공급기를 구비하는 것이 일반적이다. 공기압 공급기는 페이스트가 저장된 시린지 내로 소정 압력을 갖는 공기를 공급하여 시린지 내의 페이스트에 토출 압력을 가함으로써, 시린지와 연결된 노즐로부터 페이스트가 토출될 수 있게 한다.
이러한 페이스트 디스펜서에 의해 페이스트 패턴을 폐루프 형태로 형성하는 경우에 있어서, 페이스트 패턴은 전체적으로 일정한 선폭과 두께로 형성될 필요가 있다. 이는 페이스트 패턴이 화상 표시 영역 내로 침범하는 것을 방지하는 한편, 기판들 사이의 합착 후 합착한 부위에서 응력이 고르게 분포되도록 하기 위함이다. 이를 위해, 페이스트 도포를 시작하고자 하는 도포 시작위치를 설정하고, 설정된 도포 시작위치를 기준으로, 페이스트 패턴이 전체적으로 일정한 선폭과 두께를 가질 수 있게 페이스트 도포를 종료하고자 하는 도포 종료위치를 설정하고 있다.
이와 같이 페이스트 패턴을 폐루프 형태로 형성함에 있어서, 전술한 바와 같은 공기압 공급기에 의해 노즐로부터 페이스트를 토출하게 된 경우, 설정된 도포 시작위치에서 페이스트 도포가 시작되지 않고, 설정된 도포 시작위치를 지나서 페이스트 도포가 시작될 수 있다.
이는 공기압 공급기의 동작이 시작되더라도, 시린지 내의 페이스트에 토출 압력이 가해져 노즐로부터 페이스트 토출이 실제로 시작되기까지 응답 시간이 걸리기 때문이다. 따라서, 설정된 도포 시작위치에서 페이스트 토출이 즉각적으로 이루어지지 않고, 공기압 공급기의 응답 시간만큼 노즐이 이동한 위치에서 페이스트 토출이 이루어지는 것이다. 즉, 실제 도포 시작위치는 설정된 도포 시작위치와 다르게 되는 것이다.
그런데, 종래에 따르면, 도포 종료위치는 설정된 도포 시작위치를 기준으로 설정되고 있으므로, 설정된 도포 시작위치와 실제 도포 시작위치 간에 차이가 있게 되면, 페이스트 패턴의 선폭과 두께가 일정하지 않게 되는 문제가 야기될 수 있다. 한편, 공기압 공급기의 응답 시간을 고려하여, 설정된 도포 시작위치에서 페이스트가 토출되도록 보정할 수도 있으나, 응답 시간이 일정하지 않은 것이 일반적이어서, 전술한 바와 같은 문제를 해결하기는 어렵다 할 것이다.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 페이스트 도포가 실제로 시작된 실제 도포 시작위치를 측정하고 측정된 실제 도포 시작위치를 토대로 페이스트 도포가 수행되게 함으로써, 페이스트 패턴의 선폭과 두께를 일정하게 할 수 있는 페이스트 디스펜서를 제공함에 그 목적이 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 페이스트 디스펜서는, 노즐과 기판 사이의 상대 위치를 변화시켜가면서, 상기 기판 상에 상기 노즐로부터 폐루프 형태로 페이스트를 도포하여, 페이스트 패턴을 형성하는 페이스트 디스펜서에 있어서, 상기 노즐로부터 페이스트 도포가 시작되어 종료되기 전에 페이스트 도포가 실제로 시작된 실제 도포 시작위치를 측정하는 측정기; 및 상기 측정기로부터 측정된 실제 도포 시작위치를 토대로 페이스트 도포가 종료되도록 제어하는 도포 제어부;를 구비한다.
이하 첨부된 도면을 참조하여, 바람직한 실시예에 따른 본 발명을 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 페이스트 디스펜서에 대한 사시도이며, 도 2는 도 1에 도시된 헤드 유닛에 대한 사시도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 페이스트 디스펜서(100)는, 도포 제어부(101)에 의해 노즐(151)과 기판(10) 사이의 상대 위치를 변화시켜가면서, 기판(10) 상에 노즐(151)로부터 폐루프 형태로 페이스트를 도포하여, 페이스트 패턴(P, 도 2 참조)을 형성할 수 있도록 구성된다.
상기 페이스트 디스펜서(100)는 프레임(110)을 구비한다. 프레임(110)은 지면에 지지가 되어 페이스트 디스펜서(100) 전체를 지지할 수 있게 한다. 상기 프레임(110)의 상측에는 페이스트가 도포될 기판(10)을 지지하기 위한 스테이지(120)가 배치된다. 여기서, 스테이지(120)는 프레임(110)의 일 측에서 공급되어 적재된 기판(10)을 하측에서 지지할 수 있게 형성될 수 있다.
그리고, 상기 스테이지(120)는 프레임(110)에 지지가 될 수 있다. 여기서, 스테이지(120)는 스테이지용 액추에이터에 의해 Y축 및/또는 X축 방향으로 슬라이드 이동할 수 있게 프레임(110)에 지지가 될 수 있다. 노즐(151)이 X축 및 Y축 방향으로 이동 가능하게 된 경우라면, 스테이지(120)가 프레임(110)에 고정됨으로써 지지가 되는 것도 가능하다.
상기 스테이지(120)의 상측에는 헤드 지지부(130)가 설치된다. 즉, 헤드 지지부(130)는 스테이지(120)의 상측에 X축 방향으로 길게 연장되며, 프레임(110)에 양단이 지지가 된다. 여기서, 헤드 지지부(130)는 헤드 지지부용 Y축 액추에이터에 의해 Y축 방향으로 슬라이드 이동할 수 있게 프레임(110)에 지지가 될 수 있다. 스테이지(120)가 Y축 방향으로 이동 가능하게 된 경우, 헤드 지지부(130)가 프레임(110)에 고정됨으로써 지지가 되는 것도 가능하다. 상기 헤드 지지부(130)는 기판(10)이 대면적으로 이루어진 경우, 생산성을 높이기 위해 복수 개로 구비될 수 있다.
이러한 헤드 지지부(130)의 일 측에는 노즐(151)이 장착된 헤드 유닛(140)이 설치된다. 헤드 유닛(140)은 스테이지(120)에 적재된 기판(10) 위에 페이스트를 토출하는 것이다. 헤드 유닛(140)은 헤드 지지부(130)에 대해 X축 방향을 따라 슬라이드 지지가 되며, 헤드 유닛용 X축 액추에이터에 의해 X축 방향으로 슬라이드 이동할 수 있다. 스테이지(120)가 X축 방향으로 이동 가능하게 된 경우, 헤드 유닛(140)이 헤드 지지부(130)에 고정됨으로써 지지가 되는 것도 가능하다. 상기 헤 드 유닛(140)은 복수 개로 구비될 수 있다. 이는 대면적의 기판(10)에 다수의 페이스트 패턴(P)을 동시에 형성하여 생산성 향상을 도모할 수 있도록 하기 위함이다.
상기 헤드 유닛(140)은 도 2에 도시된 바와 같이, 도포 헤드(141)를 구비한다. 도포 헤드(141)에는 페이스트가 토출되는 노즐(151)이 장착되며, 노즐(151)과 연결된 시린지(syringe, 152)가 장착된다.
시린지(152)는 페이스트가 저장되어 노즐(151)로 페이스트를 공급하기 위한 것이다. 상기 시린지(152)에는 노즐(151)로부터 페이스트가 토출될 수 있도록 토출 압력을 제공하는 공기압 공급기(153)가 연결될 수 있다. 공기압 공급기(153)는 페이스트가 저장된 시린지(152) 내로 소정 압력을 갖는 공기를 공급하여 시린지(152) 내의 페이스트에 토출 압력을 가함으로써, 시린지(152)와 연결된 노즐(151)로부터 페이스트가 토출될 수 있게 한다.
그리고, 도포 헤드(141)에는 갭 센서(161)가 장착될 수 있다. 갭 센서(161)는 기판(10)과 노즐(151) 사이의 갭을 측정하여, 노즐(151)과 기판(10) 사이의 갭이 일정하게 제어될 수 있게 한다. 헤드 유닛(140)에는 도시하고 있지는 않지만, 페이스트 패턴(P)의 단면적을 측정하기 위한 단면적 센서가 장착될 수도 있다.
이러한 도포 헤드(141)는 노즐(151)의 상하 위치를 조정할 수 있게 Z축 구동기구(171)에 의해 승강 가능하게 될 수 있다. Z축 구동기구(171)는 모터 등의 구동력에 의해 Z축으로 승강 가능하게 된 승강부를 도포 헤드(141)에 고정 결합시킴으로써, 도포 헤드(141)를 Z축 방향으로 승강시킬 수 있다.
또한, 도포 헤드(141)는 노즐(151)을 Y축 방향으로 수평 이동시킬 수 있게 Y축 구동기구(172)에 의해 Y축 방향으로 이동 가능하게 될 수 있다. 여기서, Y축 구동기구(172)는 Z축 구동기구(171) 측에 설치될 수 있다. 즉, Y축 구동기구(172)에서 Y축 방향으로 모터 등의 구동력에 의해 이동 가능하게 된 이동부를 Z축 구동기구(171)에 고정 결합시킴으로써, Z축 구동기구(171)와 함께 도포 헤드(141)가 Y축 방향으로 이동할 수 있다.
상기 도포 헤드(141)에는 노즐(151)의 상하 위치를 미세 조정하기 위한 ZZ축 구동기구(173)가 더 마련될 수 있다. ZZ축 구동기구(173)는 전술한 Z축 구동기구(171)에 의해 노즐(151)을 Z축 방향으로 승강시키는 것과는 별개로 노즐(151)을 Z축 방향으로 승강시켜 노즐(151)의 상하 위치를 조정하기 위한 것이다. 여기서, ZZ축 구동기구(173)에 의해 노즐(151)이 승강할 수 있도록, 도포 헤드(141)에 승강 블록(142)을 마련하고, 승강 블록(142)에 노즐(151), 시린지(152), 및 갭 센서(161)를 장착시킬 수 있다. 그리고, ZZ축 구동기구(173)에서 모터 등의 구동력에 의해 승강 가능하게 된 승강부를 승강 블록(142)에 연결함으로써, 노즐(151)을 Z축 방향으로 승강시킬 수 있다.
본 실시예에 따르면, 페이스트 디스펜서(100)는 노즐(151)로부터 기판(10) 상에 페이스트 도포가 시작되어 종료되기 전에, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 페이스트 도포가 실제로 시작된 실제 도포 시작위치(RL)를 측정할 수 있도록 측정기(180)를 구비한다. 측정기(180)에 의해 실제 도포 시작위치(RL)를 측정하는 이유는 다음과 같다.
도 2에 도시된 바와 같은 폐루프 형태의 페이스트 패턴(P)을 형성함에 있어서, 전술한 바와 같이 공기압 공급기(153)에 의해 노즐(151)로부터 페이스트를 토출하게 된 경우, 공기압 공급기(153)의 동작이 시작되더라도, 시린지(152) 내의 페이스트에 토출 압력이 가해져 노즐(151)로부터 페이스트 토출이 실제로 시작되기까지 응답 시간이 소요된다.
이에 따라, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 페이스트 도포시 노즐(151)이 이동하기 시작하는 위치에 해당하는 설정된 도포 시작위치(SL)에서 페이스트 토출이 즉각적으로 이루어지지 않고, 공기압 공급기(153)의 응답 시간만큼 노즐(151)이 이동한 위치에서 페이스트 토출이 실제로 이루어질 수 있다. 실제 도포 시작위치(RL)가 설정된 도포 시작위치(SL)와 달라질 수 있는 것이다. 이러한 현상은 전술한 원인 외에도 여러 원인으로 인해서도 발생할 수 있다.
이러한 경우, 설정된 도포 시작위치(SL)를 기준으로 도포 종료위치를 설정하여 페이스트 도포를 한다면, 실제 도포위치(RL)와 설정된 도포 시작위치(SL) 간에 차이로 인해, 페이스트 패턴(P)의 선폭과 두께가 일정하지 않을 수 있다. 따라서, 페이스트 패턴(P)이 전체적으로 일정한 선폭과 두께를 가지기 위해서는, 실제 도포 시작위치(RL)를 기준으로 페이스트 도포가 종료될 수 있도록, 실제 도포 시작위치(RL)가 측정될 필요가 있는 것이다.
이러한 측정기(180)는 도 2에 도시된 바와 같이, 노즐(151)을 지지하는 헤드 유닛(140)에 노즐(151)과 함께 장착될 수 있다. 이에 따라, 노즐(151)로부터 페이스트가 토출되어 페이스트 도포가 이루어질 때, 측정기(180)는 노즐(151)과 함께 기판(10)에 대해 상대 이동할 수 있다. 측정기(180)는 노즐(151)로부터 페이스트 도포가 시작되어 종료되기 전에, 노즐(151)로부터 페이스트 토출이 실제로 시작되는 위치를 측정할 수 있도록 헤드 유닛(140)에 배치되어 장착된다. 예컨대, 기판(10)이 이동하지 않고 노즐(151)이 이동하게 된 경우, 측정기(180)는 노즐(151)이 이동하는 방향을 기준으로 노즐(151)의 후방에 배치된다. 만일, 노즐(151)이 이동하지 않고 기판(10)이 이동하게 된 경우, 측정기(180)는 기판(10)이 이동하는 방향을 기준으로 노즐(151)의 후방에 배치된다.
상기 측정기(180)는 헤드 유닛(140)이 복수 개로 이루어진 경우, 헤드 유닛(140)마다 장착되는 것이 바람직하다. 이는 헤드 유닛(140)마다 실제 도포 시작위치가 모두 다를 수 있으므로, 각각의 헤드 유닛(140)에 의해 형성되는 페이스트 패턴이 모두 일정한 선폭과 두께를 가질 수 있도록 하기 위함이다.
이러한 측정기(180)는 촬상부(181)와 산출부(182)를 포함하여 구성될 수 있다. 촬상부(181)는 노즐(151)이 기판(10)에 대해 상대 이동하는 과정에서 노즐(151)의 후방 영역을 촬상하여 산출부(182)로 제공한다. 산출부(182)는 촬상부(181)로부터 촬상된 화상 정보와 촬상부(181)의 위치 정보를 제공받아서 실제 도포 시작위치(RL)를 산출한다.
예컨대, 산출부(182)는 촬상부(181)로부터 촬상되어 실시간으로 제공되는 화상을 분석하여, 노즐(151)로부터 페이스트가 실제로 도포되기 시작하는지 여부를 판단한다. 이와 함께, 산출부(182)는 노즐(151)로부터 페이스트가 실제로 도포되기 시작한 것으로 판단된다면, 실제 도포 시작위치(RL)가 촬상된 화상에서 페이스 트가 실제로 도포되기 시작한 포인트를 찾은 후, 화상의 기준위치와 대비하여 실제 도포 시작위치(RL)를 산출한다. 상기 화상의 기준위치는 촬상부(181) 중심이 기판(10)에 대해 상대 이동하는 위치에 해당할 수 있다. 촬상부(181)가 노즐(151)과 함께 기판(10)에 대해 상대 이동하게 된 경우, 산출부(182)는 촬상부(181) 중심과 노즐(151) 중심 사이의 간격 값과, 노즐(151)의 위치 값을 실시간으로 제공받음으로써, 화상의 기준위치를 간접적으로 얻을 수 있다.
이와 같은 측정기(180)에 의해 측정된 실제 도포 시작위치(RL)는 도포 제어부(101)로 제공된다. 도포 제어부(101)는 측정기(180)로부터 측정된 실제 도포 시작위치(RL)를 토대로, 페이스트 패턴(P)이 폐루프 형태를 이루되, 일정한 선폭과 두께로 형성될 수 있게 제어한다.
예컨대, 도포 제어부(101)에는 페이스트 도포 작업에 앞서, 테스트나 시뮬레이션 작업 등에 의해 구해진 페이스트 패턴 데이터가 기입력된다. 여기서, 페이스트 패턴 데이터는 페이스트 패턴(P)을 도 2에 도시된 바와 같이, 폐루프 형태를 이루고 일정한 선폭과 두께로 형성할 수 있게 하는 데이터이다. 이러한 페이스트 패턴 데이터는 도포 시작위치 및 도포 종료위치 데이터와, 도포 시작위치로부터 페이스트 도포가 시작되어 도포 종료위치에서 종료될 때까지 노즐(151)과 기판(10) 사이의 상대 위치변화 데이터 등과 같은 데이터를 포함할 수 있다.
이러한 페이스트 패턴 데이터가 도포 제어부(101)에 기입력된 상태에서, 도포 제어부(101)는 측정기(180)로부터 실제 도포 시작위치(RL)를 입력받게 되면, 실제 도포 시작위치(RL)와 기입력된 도포 시작위치 차이만큼 도포 종료위치를 재설정 할 수 있다. 그리고, 도포 제어부(101)는 실제 도포 시작위치(RL)로부터 페이스트 도포가 시작되어 재설정된 도포 종료위치에서 종료될 때까지, 기입력된 노즐(151)과 기판(10) 사이의 상대 위치변화 데이터를 토대로 페이스트 도포를 제어함으로써, 페이스트 패턴(P)이 일정한 선폭과 두께로 형성되도록 할 수 있는 것이다.
상술한 바와 같은 본 발명에 따르면, 페이스트 도포가 실제로 시작된 실제 도포 시작위치를 측정하고, 측정된 실제 도포 시작위치를 토대로 페이스트 도포를 수행함으로써, 페이스트 패턴이 일정한 선폭과 두께로 형성될 수 있다. 이에 따라, 페이스트 패턴이 화상 표시 영역 내로 침범하는 것이 방지될 수 있다. 그리고, 기판들 사이의 합착 후 합착한 부위에서 응력이 고르게 분포될 수 있으므로, 기판들 사이의 합착 상태가 견고할 수 있다.
게다가, 생산성 향상을 위해, 대면적의 기판에 다수의 헤드 유닛에 의해 다수의 페이스트 패턴을 동시에 형성하는 경우, 헤드 유닛마다 실제 도포 시작위치를 측정하고 측정된 실제 도포 시작위치를 토대로 페이스트 도포를 수행할 수 있으므로, 각각의 헤드 유닛에 의해 형성되는 페이스트 패턴이 모두 일정한 선폭과 두께로 형성될 수 있는 효과가 있다.
본 발명은 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구 범위에 의해서만 정해져야 할 것이 다.

Claims (4)

  1. 삭제
  2. 노즐과 기판 사이의 상대 위치를 변화시켜가면서, 상기 기판 상에 상기 노즐로부터 폐루프 형태로 페이스트를 도포하여, 페이스트 패턴을 형성하는 페이스트 디스펜서에 있어서,
    상기 노즐로부터 페이스트 도포가 시작되어 종료되기 전에 페이스트 도포가 실제로 시작된 실제 도포 시작위치를 측정하는 측정기; 및
    상기 측정기로부터 측정된 실제 도포 시작위치를 토대로 페이스트 도포가 종료되도록 제어하는 도포 제어부;를 구비하며,
    상기 도포 제어부는 실제 도포 시작위치와 설정된 도포 시작위치 차이만큼 도포 종료위치를 재설정함과 아울러, 상기 기판 상에 페이스트 패턴이 일정한 선폭과 두께로 형성되도록 제어하는 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서.
  3. 노즐과 기판 사이의 상대 위치를 변화시켜가면서, 상기 기판 상에 상기 노즐로부터 폐루프 형태로 페이스트를 도포하여, 페이스트 패턴을 형성하는 페이스트 디스펜서에 있어서,
    상기 노즐로부터 페이스트 도포가 시작되어 종료되기 전에 페이스트 도포가 실제로 시작된 실제 도포 시작위치를 측정하는 측정기; 및
    상기 측정기로부터 측정된 실제 도포 시작위치를 토대로 페이스트 도포가 종료되도록 제어하는 도포 제어부;를 구비하며,
    상기 측정기는 촬상부와, 상기 촬상부로부터 촬상된 화상 정보와 상기 촬상부의 위치 정보를 제공받아서 실제 도포 시작위치를 산출하는 산출부를 구비하는 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서.
  4. 노즐과 기판 사이의 상대 위치를 변화시켜가면서, 상기 기판 상에 상기 노즐로부터 폐루프 형태로 페이스트를 도포하여, 페이스트 패턴을 형성하는 페이스트 디스펜서에 있어서,
    상기 노즐로부터 페이스트 도포가 시작되어 종료되기 전에 페이스트 도포가 실제로 시작된 실제 도포 시작위치를 측정하는 측정기; 및
    상기 측정기로부터 측정된 실제 도포 시작위치를 토대로 페이스트 도포가 종료되도록 제어하는 도포 제어부;를 구비하며,
    상기 노즐 및 측정기는 헤드 유닛에 모두 장착되어 지지가 된 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서.
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