JP3314154B2 - 研磨シート及びその製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する分野】本発明は、金属、鉱物等の研磨、
研削、又は車体等の表面の仕上げ研磨、又は磁気ハード
ディスク基板表面の鏡面研磨、又は磁気ヘッド、レンズ
等の表面の精密仕上げ研磨、又は光ファイバー端面等の
超精密研磨等、粗研磨から超精密研磨にわたる研磨に使
用するため、テープ状、ディスク状等に切断される研磨
シート及びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術及び発明の解決しようとする課題】一般
に、研磨シートは、プラスチックシート、織布、不織
布、紙等の可撓性の基板シートの表面に、研磨材粒子を
含む研磨層を形成したものであり、研磨の目的や形態に
応じて、テープ状、ディスク状又はその他の形状に適宜
に切断される。

【０００３】使用される研磨材粒子の材質、粒径及び硬
度、及び研磨層の厚さ及び平面形状（例えば、斜線状、
格子状、水玉状）等は、研磨の使用の目的に応じ、適宜
に選定される。

【０００４】研磨層は、研磨材粒子とバインダー接着剤
との混合物であるスラリーを基板シート表面に塗布し乾
燥させるか、又は、基板シート表面にバインダー接着剤
を塗布し、研磨材粒子を圧縮空気により吹き付け、乾燥
させて形成される。

【０００５】スラリーを基板シート表面に塗布すること
による研磨層形成方法では、形成した研磨層に研磨材粒
子が一様且つ均一に分布される、という利点がある。

【０００６】しかし、この研磨層形成方法では、形成し
た研磨層に、研磨材粒子が上下に重なり合うように配列
（以下、多層配列という）されており、実質的に、研磨
層の表面付近の最上層に分布する研磨材粒子のみが研磨
に寄与するので、研磨層の下層に分布する研磨材粒子は
無駄であり、不経済である。

【０００７】研磨材粒子としては、酸化アルミニウム、
緑色炭化珪素等の微粉が使用される。特に、ダイヤモン
ド、ボロンナイトライド、チタンカーボン等の材料を使
用する場合、これら材料は非常に高価であり、材料費の
削減のため、使用する材料の省量化が要求される。

【０００８】一方、バインダー接着剤を塗布した基板シ
ート表面に研磨材粒子を吹き付けることによる研磨層形
成方法では、基板シート表面に研磨材粒子を上下に重な
り合うことなく横並びに配列（以下、単層配列という）
させて固定するので、研磨に実質的に寄与する研磨材粒
子のみを基板シート表面に固定できる。

【０００９】しかし、この研磨層形成方法では、基板シ
ート表面と、基板シート表面から突出した研磨材粒子の
頂部との間の距離を研磨層全体にわたって一定にするた
め、研磨材粒子の分級を厳密に行っているが、粒径のバ
ラツキを無くすことは極めて困難であり、異常に突出し
た研磨材粒子が基板シート表面上に混在する。

【００１０】また、研磨材粒子を基板シート表面に吹き
付けた後、余分に吹き付けた研磨材粒子を圧縮空気やブ
ラッシング等により除去するのであるが、このとき、基
板シート表面に付着した研磨材粒子をも除去してしま
い、基板シート表面に付着する研磨材粒子の分布に斑が
生じる。

【００１１】このように粒径にバラツキがあり、基板シ
ート表面に研磨材粒子の分布斑のある研磨シートにより
研磨を行うと、異常に突出した研磨材粒子が被研磨物表
面を不要に傷つけ、所望の研磨を精密に行えない、とい
う問題が生じる。

【００１２】上述した研磨材粒子の使用量の省量化に関
する要求や、被研磨物表面に不要の傷を形成するといっ
た問題の他、特に超精密研磨において、被研磨物表面に
対する研磨材粒子の押圧力が被研磨物表面の形状等によ
り局所的に異なる場合があり、被研磨物表面を過度に研
磨してしまう、という問題が生じる。

【００１３】したがって、本発明の課題は、経済性があ
り、異常に突出した研磨材粒子のない研磨シート及びそ
の製造方法を提供することである。

【００１４】また、本発明の他の課題は、研磨中、被研
磨物表面を均一に押圧できる上記の研磨シート及びその
製造方法を提供することである。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決する本
発明の研磨シートは、基板シートと、この基板シートの
表面に形成した研磨層とから構成される。

【００１６】ここで、研磨層は、研磨材粒子と、研磨材
粒子の各々の下方部分を介して研磨材粒子を単層配列し
て固着した固着層とから成り、基板シートの表面と、研
磨層の研磨材粒子の頂部との間の距離が、研磨層にわた
って一定となっている。ここで、固着層は、基板シート
の表面に塗布したバインダー接着剤の層を乾燥して基板
シートの表面に固着、形成される。

【００１７】基板シートは、可撓性のシートと、この可
撓性のシートの表面に形成した弾性層とから構成され
（ここで、基板シートの表面は、弾性層の表面であり、
研磨層は弾性層の表面に形成される）、弾性層を可撓性
のシートと研磨層との間に介在させることによって、研
磨シートに弾力性が与えてもよい。

【００１８】このように構成される本発明の研磨シート
の製造方法は、バインダー接着剤に研磨材粒子を均一に
混合した低粘度のスラリーを調製し、この低粘度スラリ
ーを保持部材の表面に塗布して、保持部材の表面に研磨
材粒子を単層配列させる。ここで、保持部材は、低粘度
スラリーのバインダー接着剤の乾燥物に対して剥離性の
よい表面を有する。

【００１９】次に、低粘度スラリーを乾燥させて、研磨
材粒子を保持部材の表面に仮保持させる。ここで、研磨
材粒子は、低粘度スラリーのバインダー接着剤の乾燥物
により研磨材粒子の各々の下方部分を介して保持部材の
表面に単層配列して仮保持される。研磨材粒子の各々の
下方部分の端部は、保持部材の表面に沿って配列してい
る。また、研磨材粒子の各々の他方の部分は、バインダ
ー接着剤の乾燥物から突出している（以下、この突出し
た部分を突出部分という）。

【００２０】次に、基板シートの表面に高粘度のバイン
ダー接着剤を塗布して、基板シートの表面に高粘度バイ
ンダー接着剤の層を形成し、この基板シートの高粘度バ
インダー接着剤の層を、保持部材の表面に仮保持した単
層配列の研磨材粒子に押し付けて、研磨材粒子の突出部
分を高粘度バインダー接着剤の層に押し込み、高粘度バ
インダー接着剤の層を乾燥させて、高粘度バインダー接
着剤の層の乾燥物である固着層に研磨材粒子を固着させ
る。

【００２１】ここで、研磨シートに弾力性を与えるとき
は、可撓性のシートの表面に弾性層を形成した基板シー
トが使用される。このとき、基板シートの表面は、上述
したように、弾性層の表面であり、研磨層は、弾性層の
表面に形成される。その後、保持部材を基板シートから
遠ざけて、基板シートの表面の固着層に固着させた研磨
材粒子を保持部材から剥離することによって、上記のよ
うに構成される本発明の研磨シートが製造される。

【００２２】ここで、低粘度スラリーの粘度及び高粘度
バインダー接着剤の粘度は、それぞれ、保持部材を基板
シートから遠ざけるとき、低粘度スラリーのバインダー
接着剤の乾燥物によって保持部材の表面に仮保持された
研磨材粒子を、高粘度バインダー接着剤を乾燥させて基
板シートの表面に固着し形成した固着層に追従させ得る
程度の粘度であればよい。

【００２３】また、可撓性のシートの表面に形成される
弾性層は、軟質ウレタン、発泡ウレタン又はゴムからな
り、その厚さは、１０μｍ乃至２００μｍの範囲にあ
る。

【００２４】

【発明の実施の形態】図１（a）に示すように、本発明
の研磨シート１０は、基板シート１１と、基板シート１
１の表面に形成した研磨層１２とから構成される。

【００２５】研磨層１２は、研磨材粒子１３と、基板シ
ート１１の表面にバインダー接着剤を塗布し乾燥して形
成した固着層１４′とから構成される。

【００２６】このバインダー接着剤には、ウレタン系、
ポリエステル系等の樹脂が使用され、研磨材粒子１３の
平均粒径の１.５倍以上の厚さに基板シート１１の表面
に塗布される。

【００２７】基板シート１１には、プラスチックシー
ト、不織布、織布、紙等が使用できる。

【００２８】研磨シート１０に弾力性を与えるときは、
図１（b）に示すように、可撓性のシート１１′の表面
に弾性層１１″を形成した基板シート１１を使用するこ
とができる。（ここで、弾性層１１″を有する基板シー
ト１１を使用する場合には、基板シート１１の表面は、
弾性層１１″の表面である。）

【００２９】可撓性のシート１１′には、図１（a）に
示す基板シート１１と同様に、プラスチックシート、不
織布、織布、紙等が使用できる。

【００３０】弾性層１１″は、軟質ウレタン、発泡ウレ
タン、ゴム等からなり、可撓性のシート１１′に１０μ
ｍ乃至２００μｍの範囲の厚さに形成される。

【００３１】研磨材粒子１３の各々は、図示のように、
その下方部分を介して固着層１４′に単層配列して固着
されており、基板シート１１の表面と、研磨層１２の研
磨材粒子１３の頂部との間の距離（図１に、点線及び符
号Ｈで示す）が、研磨層１２にわたって一定である。

【００３２】図２（a）に示す装置を使用して、図１に
示す本発明の研磨シートの製造について説明する。

【００３３】本発明の研磨シートの製造は、まず、バイ
ンダー接着剤に研磨材粒子を均一に混合して低粘度のス
ラリーを調製し、この低粘度スラリーをキスロール塗工
等により保持部材の表面に塗布し、保持部材の表面に研
磨材粒子を単層配列させた後、赤外線等を使用する乾燥
機により低粘度スラリーを乾燥させる（図示せず）。

【００３４】図２（a）に示す装置では、保持部材とし
てシート（以下、保持シートという）２１が使用され
る。

【００３５】保持シート２１には、四フッ化エチレンの
重合体（例えば、テフロン（商標））、ポリプロピレ
ン、又はポリエチレン等のシート、低粘度スラリーのバ
インダー接着剤の乾燥物に対して剥離性のあるプラスチ
ックフィルムシートが使用される。

【００３６】保持部材に塗布する低粘度スラリーは、１
０ｃｐ乃至６０ｃｐの範囲の粘度にある。

【００３７】低粘度スラリーを構成する研磨材粒子とバ
インダー接着剤との重量比は、研磨材粒子が８５重量％
乃至９５重量％の範囲にあり、バインダー接着剤が１５
重量％乃至５重量％の範囲にある。

【００３８】低粘度スラリーのバインダー接着剤には、
ポリエステル系、ウレタン系、アクリル系等の樹脂、又
はニトロセルロースが使用される。

【００３９】低粘度スラリーが上記のような低粘度であ
り、その研磨材粒子の重量比が、上記のように、バイン
ダー接着剤に比較して著しく大きいので、低粘度スラリ
ーを保持シート２１の表面に塗布し、研磨材粒子１３を
単層配列させると、研磨材粒子１３の各々が密集して保
持シート２１の表面に沿って一様且つ均一に配列する。
また、保持シート２１の表面の低粘度スラリーを乾燥さ
せると、図３に示すように、研磨材粒子１３の各々の下
方部分を介してバインダー接着剤の乾燥物２２′によっ
て研磨材粒子１３が保持シート２１の表面に仮保持され
る。

【００４０】次に、基板シート１１の表面に高粘度バイ
ンダー接着剤をキスロール塗工等（図示せず）により塗
布して、基板シートの表面に高粘度バインダー接着剤の
層１４を形成する。

【００４１】ここで、研磨シートに弾力性を与えるとき
は、図１（b）に関連して説明したように、可撓性のシ
ート１１′の表面に弾性層１１″を予め形成した基板シ
ート１１を使用する。以下、可撓性のシート１１′及び
弾性層１１″から構成される図１（b）に示すような基
板シートについても、符号１１にて表す。なお、図２
（a）の符号１１（１１′、１１″）は、基板シート１
１、又は、可撓性のシート１１′及び弾性層１１″から
成る基板シート１１を示す。

【００４２】基板シートの表面に塗布される高粘度バイ
ンダー接着剤は、１００ｃｐ以上の粘度である。

【００４３】高粘度バインダー接着剤には、ウレタン
系、ポリエステル系等の樹脂が使用される。

【００４４】好適に、高粘度バインダー接着剤の層１４
の厚さは、上記の低粘度スラリーの研磨材粒子１３の平
均粒径の１.５倍以上となるように塗布される。

【００４５】図２（a）に示すように、高粘度バインダ
ー接着剤の層１４を表面に形成した基板シート１１を矢
印Ｔの方向に走行させる。また、上述のようにして単層
配列の研磨材粒子１３を表面に仮保持した保持シート２
１を矢印ｔの方向に走行させ、基板シート１１の表面の
高粘度バインダー接着剤の層１４を、保持シート２１の
表面の単層配列の研磨材粒子１３に、ローラ３３を介し
て重ね合わせ、上下に対向して配置した加圧ローラ３
１、３２で基板シート１１と保持シート２１とをサンド
イッチ状に挟み込む。

【００４６】これにより、保持シート２１に仮保持され
た研磨材粒子１３の突出部分（図３の研磨材粒子１３
の、バインダー接着剤の乾燥物２２′から突出した部
分）が、基板シート１１のバインダー接着剤の層１４に
押し込まれる。

【００４７】このとき、加圧ローラ３１又は３２の軸圧
力は、１ｋｇ重／ｃｍ乃至１０ｋｇ重／ｃｍの範囲にあ
る。

【００４８】次に、保持シート２１に仮保持された研磨
材粒子１３の突出部分を基板シートのバインダー接着剤
の層１４に押し込んだ状態で、乾燥機３４を通過させ、
バインダー接着剤の層１４を乾燥して固着層１４′を形
成する。

【００４９】これにより、研磨材粒子１３が、基板シー
ト１１の表面の固着層１４′に固着する。

【００５０】その後、ローラ３５を介して保持シート２
１を基板シート１１から遠ざけて、基板シート１１の表
面の固着層１４′に固着した研磨材粒子１３を保持シー
ト２１から剥離する。

【００５１】このとき、保持部材としての保持シート２
１には、上述のように、低粘度スラリーのバインダー接
着剤の乾燥物２２′に対して剥離性のよい材料が使用さ
れているので、乾燥物２２′の一部が研磨材粒子１３に
付着したまま保持シート２１から剥離され得る。

【００５２】このため、研磨材粒子１３を保持シート２
１から剥離した後に、基板シート１１の表面の固着層１
４′に固着した研磨材粒子１３の表面を、有機溶剤を含
んだブラシ等（図示せず）にて払拭って、研磨材粒子１
３に付着した乾燥物２２′を除去することができる。

【００５３】以上により、図２（a）に示す装置を使用
して図１に示す本発明の研磨シート１０が製造される。

【００５４】本発明は、図１に示す研磨層１２を基板シ
ート１１の表面に、斜線、格子、水玉、又はその他のパ
ターンを描くように形成した研磨シートを含む。

【００５５】このような本発明の研磨シートは、図２
（a）に関連して上説した製造方法において、所望のパ
ターンを表面に有するグラビアローラ等を使用して高粘
度バインダー接着剤を基板シート１１の表面に塗布し、
所望のパターンを描くように高粘度バインダー接着剤の
層１４を基板シート１１の表面に形成することによって
製造できる。

【００５６】また、このような本発明の研磨シートは、
図２（a）に示す装置の、保持シート２１の側に配置さ
れる平坦な表面の加圧ローラ３２に代えて、表面に所望
のパターンの凸部を有する加圧ローラを使用し、図２
（a）に関連して上説した製造方法に従って製造でき
る。

【００５７】例えば、図２（a）に示す加圧ローラ３２
に代えて、図２（b）に示すような凸部３２′を略ハ字
状に配列した加圧ローラを使用すると、図２（c）に示
すような略ハ字状に配列した研磨層１２を基板シート１
１の表面（又は、弾性層１１″を有する基板シート１１
にあっては、弾性層１１″の表面）に形成することがで
きる。

【００５８】次に、図４に示す装置を使用して、図１に
示す本発明の研磨シート１０の製造について説明する。

【００５９】ここで、図２（a）に関連して上説したよ
うに、研磨シートに弾力性を与えるために、図１（b）
に示すような弾性層１１″を有する基板シート１１を使
用できるので、可撓性のシート１１′及び弾性層１１″
から構成される基板シートについても、符号１１にて表
す。なお、図４の符号１１（１１′、１１″）は、図２
（a）と同様に、基板シート１１、又は、可撓性のシー
ト１１′及び弾性層１１″から成る基板シート１１を示
す。

【００６０】図４に示すように、保持部材として保持ロ
ーラ２１′が使用され、保持ローラ２１′の下方部分
は、低粘度スラリー２２に浸されている。

【００６１】保持ローラ２１′は、ガラス表面、鏡面研
磨した金属表面、又は四フッ化エチレンの重合体（例え
ば、テフロン（商標））のコーティングを施した表面
等、低粘度スラリー２２のバインダー接着剤の乾燥物２
２′に対して剥離性のよい表面を有する。

【００６２】ここで使用する低粘度スラリー２２は、図
２（a）に関連して説明した低粘度スラリーと同一であ
る。

【００６３】保持ローラ２１′が回転（図４の矢印Ｒの
方向）すると、保持ローラ２１′の表面に塗布された低
粘度スラリー２２は、ブレード４１によって低粘度スラ
リー２２の研磨材粒子が単層配列されるように整えら
れ、赤外線等を使用する乾燥機４２を通過して、バイン
ダー接着剤が乾燥し、図３に示すように、研磨材粒子１
３が、研磨材粒子１３の下方部分を介してバインダー接
着剤の乾燥物２２′によって保持ローラ２１′の表面に
仮保持される。

【００６４】次に、図２（a）に関連して上説したよう
に高粘度バインダー接着剤の層１４を表面に形成した基
板シート１１を矢印Ｔの方向に走行させ、基板シート１
１の表面の高粘度バインダー接着剤の層１４を、保持ロ
ーラ２１′の表面の単層配列の研磨材粒子１３に、ロー
ラ４３を介して重ね合わせ、保持ローラ２１′に対向し
て配置した熱ローラ４４で基板シート１１と保持シート
２１とをサンドイッチ状に挟み込む。

【００６５】これにより、保持ローラ２１′に仮保持さ
れた研磨材粒子１３の突出部分が、基板シート１１の高
粘度バインダー接着剤の層１４に押し込まれるととも
に、バインダー接着剤の層１４が乾燥して固着層１４′
が形成され、研磨材粒子１３が、基板シート１１の表面
の固着層１４′に固着する。

【００６６】このとき、熱ローラ４４の軸圧力は、図２
（a）に関連して説明した加圧ローラ３１又は３２の軸
圧力と同一の範囲にある。

【００６７】また、熱ローラ４４の温度は、使用される
基板シート１１が熱ローラ４４の熱により変形せず、高
粘度バインダー接着剤の層１４の固着層１４′が短時間
で形成できる温度に設定される。

【００６８】ここで使用される高粘度バインダー接着剤
は、図２（a）に関連して上説した高粘度バインダー接
着剤と同一である。

【００６９】その後、基板シート１１を図４に示す矢印
Ｔの方向に走行させると、基板シート１１が、矢印Ｒの
方向に回転する保持ローラ２１′から遠ざかり、基板シ
ート１１の表面の固着層１４′に固着した研磨材粒子１
３が保持ローラ２１′から剥離される。

【００７０】このとき、保持部材としての保持ローラ２
１′には、上述のように、低粘度スラリーのバインダー
接着剤の乾燥物２２′に対して剥離性のよい材料が使用
されているので、乾燥物２２′の一部が研磨材粒子１３
に付着したまま保持ローラ２１′から剥離され得る。

【００７１】このため、図２（a）に関連して上説した
ように、研磨材粒子１３を保持ローラ２１′から剥離し
た後に、基板シート１１の表面の固着層１４′に固着し
た研磨材粒子１３の表面を、有機溶剤を含んだブラシ等
（図示せず）にて払拭って、研磨材粒子１３に付着した
乾燥物２２′を除去することができる。

【００７２】また、保持ローラ２１′の表面に残留した
乾燥物２２′は、ブレード４１′にて除去される。

【００７３】以上により、図４に示す装置を使用して図
１に示す本発明の研磨シート１０が製造される。

【００７４】次に、図５に示す装置を使用して、図１に
示す本発明の研磨シート１０の製造について説明する。

【００７５】ここで、図２（a）に関連して上説したよ
うに、研磨シートに弾力性を与えるために、図１（b）
に示すような弾性層１１″を有する基板シート１１を使
用できるので、可撓性のシート１１′及び弾性層１１″
から構成される基板シートについても、符号１１にて表
す。なお、図５の符号１１（１１′、１１″）は、図２
（a）と同様に、基板シート１１、又は、可撓性のシー
ト１１′及び弾性層１１″から成る基板シート１１を示
す。

【００７６】図５に示すように、保持部材として、図２
（a）に関連して上説した保持シート２１と同一の保持
シート２１が使用され、保持シート２１は、下方部分が
低粘度スラリー２２に浸されるように配置された回転ロ
ーラ４５に巻き付けられている。

【００７７】ここで使用する低粘度スラリー２２は、図
２（a）に関連して上説した低粘度スラリーと同一であ
る。

【００７８】回転ローラ４５が回転（図５の矢印Ｒの方
向）すると、保持シート２１が回転ローラ４５の回転に
追従して走行（図５の矢印ｔの方向）し、保持シート２
１の表面に低粘度スラリー２２が塗布される。

【００７９】保持シート２１に塗布された低粘度スラリ
ー２２は、ブレード４１によって低粘度スラリー２２の
研磨材粒子が単層配列されるように整えられ、赤外線等
を使用する乾燥機４２を通過して、バインダー接着剤が
乾燥し、図３に示すように、研磨材粒子１３が、研磨材
粒子１３の下方部分を介して、バインダー接着剤の乾燥
物２２′によって、保持シート２１の表面に仮保持され
る。

【００８０】次に、図２（a）に関連して上説したよう
に高粘度バインダー接着剤の層１４を表面に形成した基
板シート１１を矢印Ｔの方向に走行させ、基板シート１
１の表面の高粘度バインダー接着剤の層１４を、保持シ
ート２１の表面の単層配列の研磨材粒子１３に、ローラ
４３を介して重ね合わせ、回転ローラ４５に対向して配
置した熱ローラ４４で基板シート１１と保持シート２１
とをサンドイッチ状に挟み込む。

【００８１】これにより、保持シート２１の表面に仮保
持された研磨材粒子１３の突出部分が、基板シート１１
の高粘度バインダー接着剤の層１４に押し込まれるとと
もに、バインダー接着剤の層１４が乾燥して固着層１
４′が形成され、研磨材粒子１３が、基板シート１１の
表面の固着層１４′に固着する。

【００８２】このとき、熱ローラ４４の軸圧力は、図２
（a）に関連して説明した加圧ローラ３１又は３２の軸
圧力と同一の範囲にあり、熱ローラ４４の温度は、図４
に関連して上説した熱ローラ４４の温度に設定される。

【００８３】ここで使用される高粘度バインダー接着剤
は、図２（a）に関連して上説した高粘度バインダー接
着剤と同一である。

【００８４】その後、基板シート１１を図５に示す矢印
Ｔの方向に走行させ、保持シート２１を図５に示す矢印
ｔの方向に走行させて、保持シート２１を基板シート１
１をから遠ざけ、基板シート１１の表面の固着層１４′
に固着した研磨材粒子１３を保持ローラ２１′から剥離
する。

【００８５】このとき、保持部材としての保持シート２
１には、図２（a）に関連して上説したように、低粘度
スラリーのバインダー接着剤の乾燥物２２′に対して剥
離性のよい材料が使用されているので、乾燥物２２′の
一部又は全部が研磨材粒子１３に付着したまま保持シー
ト２１から剥離され得る。

【００８６】このため、図２（a）に関連して上説した
ように、研磨材粒子１３を保持シート２１から剥離した
後に、基板シート１１の表面の固着層１４′に固着した
研磨材粒子１３の表面を、有機溶剤を含んだブラシ等
（図示せず）にて払拭って、研磨材粒子１３に付着した
上記の乾燥物２２′を除去することができる。

【００８７】以上により、図５に示す装置を使用して図
１に示す本発明の研磨シート１０が製造される。

【００８８】図４又は５に示す装置を使用して、図１に
示す研磨層１２を、基板シート１１の表面に、斜線、格
子、水玉等のパターンを描くように形成した本発明の研
磨シートを製造できる。

【００８９】このような本発明の研磨シートは、図２
（a）に関連して上説したように、所望のパターンを表
面に有するグラビアローラ等を使用して高粘度バインダ
ー接着剤を基板シート１１の表面に塗布し、所望のパタ
ーンを描くように高粘度バインダー接着剤の層１４を基
板シート１１の表面に形成し、図４又は５に関連して説
明した製造方法に従って製造できる。

【００９０】

【実施例】図２（a）に示す装置を使用して本発明の研
磨シートを製造した。

【００９１】平均粒径３μの研磨材粒子（９５重量％）
と、ニトロセルロース（５重量％）とを均一に混合し、
粘度１０ｃｐの低粘度スラリーを調製した。

【００９２】この低粘度スラリーを、キスロール塗工に
て、保持シートとしての厚さ２０μｍのポリプロピレン
シートの片面に塗布し、乾燥させて、研磨材粒子をシー
ト表面に単層配列して仮保持させた。

【００９３】ポリエステル樹脂及びイソシアネート系硬
化剤を混合して粘度１００ｃｐの高粘度バインダー接着
剤を調製し、この高粘度バインダー接着剤を、キスロー
ル塗工にて、基板シートとしての、厚さ２０μｍのポリ
エステルシートの表面に一様に塗布し、厚さ１０μｍの
高粘度バインダー接着剤の層を形成した。

【００９４】基板シートと保持シートとを、上下に配置
した加圧ローラ（軸圧力：１０ｋｇ重／ｃｍ）の間を通
過させて、単層配列した研磨材粒子を高粘度バインダー
接着剤の層に押し込み、乾燥機を通過させて高粘度バイ
ンダー接着剤の層を乾燥させ、高粘度バインダー接着剤
の乾燥物である固着層に研磨材粒子を固着させた後に、
固着層に固着した研磨材粒子を保持シートから剥離し
た。

【００９５】次に、研磨材粒子に付着した低粘度スラリ
ーのバインダー接着剤の乾燥物を有機溶剤とブラシにて
除去し、本発明に従った研磨シートを製造した。

【００９６】この研磨シートをテープ状に切断して製造
した研磨テープと、上記実施例の本発明の研磨シートに
使用した基板シートと同一の基板シート表面に上記実施
例と同一の高粘度バインダー接着剤を塗布し、圧縮空気
にて平均粒径１μｍの酸化アルミニウムを吹き付けて製
造した従来の研磨テープとを使用して、アルミニウム製
のディスクの表面を研磨し、ディスクの表面粗さ及び研
削力について調べたところ、本発明に従った研磨テープ
により研磨したディスク表面の粗さは非常に小さくな
り、しかも研削力は同程度であることが確認された。

【００９７】

【発明の効果】本発明に従うと、研磨シートの研磨層の
研磨材粒子が単層配列しているので、研磨材粒子の使用
量を省量化でき、経済的である、という効果を奏する。

【００９８】本発明に従うと、研磨シートの研磨層の単
層配列した研磨材粒子の各々の頂部と、基板シート表面
との間の距離が研磨層にわたって一定であるので、研磨
層に異常に突出した研磨材粒子がなく、研磨の際に、被
研磨物表面を不要に傷つけることなく研磨できる、とい
う効果を奏する。

【００９９】本発明に従って、弾性層を可撓性のシート
と研磨層との間に介在させることによって、研磨シート
に弾力性が与えると、研磨中、研磨材粒子が被研磨物表
面を均一に押圧することができる、という効果を奏す
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明の研磨シートの部分拡大断面図
である。

【図２】図２（a）は、本発明の研磨シートを製造する
ための装置の略図であり、図２（b）は、図２（a）の装
置の加圧ローラの表面の部分拡大図であり、図２（c）
は、図２（b）の表面を有する加圧ローラを使用して製
造された本発明の研磨シート表面の部分拡大図である。

【図３】図３は、保持部材の表面に研磨材粒子が保持さ
れた状態を示す。

【図４】図４は、本発明の研磨シートを製造するための
他の装置の略図である。

【図５】図５は、本発明の研磨シートを製造するため
の、その他の装置の略図である。

【符号の説明】

１０・・・研磨シート １１・・・基板シート １１′・・・可撓性のシート １１″・・・弾性層 １２・・・研磨層 １３・・・研磨材粒子 １４・・・高粘度バインダー接着剤の層 １４′・・・固着層 １５・・・弾性層 ２１・・・保持シート ２１′・・・保持ローラ ２２・・・低粘度スラリー ２２′・・・低粘度スラリーのバインダー接着剤の乾燥
物 ３１、３２・・・加圧ローラ ３２′・・・凸部 ３３、３５、４３・・・ローラ ３４、４２・・・乾燥機 ４１、４１′・・・ブレード ４４・・・熱ローラ ４５・・・回転ローラ Ｈ・・・基板シート表面と研磨材粒子の頂部との間の距
離 Ｒ・・・回転方向 Ｔ、ｔ・・・走行方向

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B24D 11/00

Claims (11)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 研磨シートの製造方法であって、 （１）バインダー接着剤に研磨材粒子を均一に混合した
   低粘度スラリーを保持部材の表面に塗布し、前記保持部
   材の前記表面に前記研磨材粒子を単層配列させる工程、 （２）前記低粘度スラリーを乾燥させて、前記研磨材粒
   子を前記保持部材の前記表面に仮保持させる工程であっ
   て、 前記研磨材粒子が、前記低粘度スラリーの前記バインダ
   ー接着剤の乾燥物により前記研磨材粒子の各々の下方部
   分を介して前記保持部材の前記表面に単層配列して仮保
   持され、 前記研磨材粒子の各々の前記下方部分の端部が、前記保
   持部材の前記表面に沿って配列し、 前記研磨材粒子の各々が、前記乾燥物から突出した突出
   部分を有する、 ところの工程、 （３）基板シートの表面に高粘度バインダー接着剤を塗
   布して前記基板シートの前記表面に前記高粘度バインダ
   ー接着剤の層を形成する工程、 （４）前記高粘度バインダー接着剤の前記層に、前記単
   層配列した前記研磨材粒子を押し付け、前記研磨材粒子
   の前記突出部分を前記高粘度バインダー接着剤の層に押
   し込む工程、 （５）前記高粘度バインダー接着剤の前記層を乾燥させ
   て前記基板シートの前記表面に固着層を形成させ、前記
   研磨材粒子を前記固着層に固着する工程、及び （６）前記保持部材を前記基板シートから遠ざけて、前
   記固着層に固着した前記研磨材粒子を前記保持部材から
   剥離する工程、 を含む製造方法。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の製造方法であって、 前記低粘度スラリーの粘度が、１０ｃｐ乃至６０ｃｐの
   範囲にあり、前記高粘度バインダー接着剤の粘度が、１
   ００ｃｐ以上である、 ところの製造方法。
3. 【請求項３】 請求項１に記載の製造方法であって、 前記低粘度スラリーにおける前記研磨材粒子と前記バイ
   ンダー接着剤との重量比が、前記研磨材粒子が８５重量
   ％乃至９５重量％の範囲にあり、前記バインダー接着剤
   が１５重量％乃至５重量％の範囲にある、 ところの製造方法。
4. 【請求項４】 請求項１に記載の製造方法であって、 前記高粘度バインダー接着剤に、ウレタン系樹脂、又は
   ポリエステル系樹脂が使用される、 ところの製造方法。
5. 【請求項５】 請求項１に記載の製造方法であって、 前記高粘度バインダー接着剤の前記層の厚さが、前記研
   磨材粒子の平均粒径の１.５倍以上である、 ところの製造方法。
6. 【請求項６】 請求項１に記載の製造方法であって、 前記保持部材が、乾燥させた前記バインダー接着剤の前
   記乾燥物に対して剥離性のあるプラスチックフィルムシ
   ートである、 ところの製造方法。
7. 【請求項７】 請求項６に記載の製造方法であって、 前記プラスチックフィルムシートが、四フッ化エチレン
   の重合体、ポリプロピレン、又はポリエチレンのシート
   である、 ところの製造方法。
8. 【請求項８】 請求項１に記載の製造方法であって、 前記保持部材の前記表面が、ガラスの表面、鏡面研磨し
   た金属表面、又は四フッ化エチレンの重合体の表面であ
   る、 ところの製造方法。
9. 【請求項９】 請求項１に記載の製造方法であって、 前記基板シートが、 可撓性のシート、及び前記可撓性のシートの前記表面に
   形成した、前記研磨シートに弾力性を与えるための弾性
   層、 から成り、 前記基板シートの前記表面が、前記弾性層の表面であ
   り、 前記研磨層が、前記弾性層の前記表面に形成される、 ところの製造方法。
10. 【請求項１０】 請求項９に記載の製造方法であって、 前記弾性層が、軟質ウレタン、発泡ウレタン又はゴムか
    らなる、 ところの製造方法。
11. 【請求項１１】 請求項９に記載の製造方法であって、 前記弾性層の厚さが、１０μｍ乃至２００μｍの範囲に
    ある、 ところの製造方法。