JP3314154B2 - Polishing sheet and method for producing the same - Google Patents
Polishing sheet and method for producing the sameInfo
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Description
【0001】[0001]
【発明の属する分野】本発明は、金属、鉱物等の研磨、
研削、又は車体等の表面の仕上げ研磨、又は磁気ハード
ディスク基板表面の鏡面研磨、又は磁気ヘッド、レンズ
等の表面の精密仕上げ研磨、又は光ファイバー端面等の
超精密研磨等、粗研磨から超精密研磨にわたる研磨に使
用するため、テープ状、ディスク状等に切断される研磨
シート及びその製造方法に関する。The present invention relates to polishing of metals, minerals, etc.
From rough polishing to ultra-precision polishing, such as grinding, finishing polishing of the surface of the body, etc., or mirror polishing of the surface of the magnetic hard disk substrate, or precision finishing polishing of the surface of the magnetic head, lens, etc. The present invention relates to a polishing sheet cut into a tape shape, a disk shape, and the like for use in polishing, and a method for producing the same.
【0002】[0002]
【従来の技術及び発明の解決しようとする課題】一般
に、研磨シートは、プラスチックシート、織布、不織
布、紙等の可撓性の基板シートの表面に、研磨材粒子を
含む研磨層を形成したものであり、研磨の目的や形態に
応じて、テープ状、ディスク状又はその他の形状に適宜
に切断される。2. Description of the Related Art Generally, a polishing sheet is formed by forming a polishing layer containing abrasive particles on the surface of a flexible substrate sheet such as a plastic sheet, a woven fabric, a nonwoven fabric, and a paper. And is appropriately cut into a tape shape, a disk shape, or another shape according to the purpose and form of polishing.
【0003】使用される研磨材粒子の材質、粒径及び硬
度、及び研磨層の厚さ及び平面形状(例えば、斜線状、
格子状、水玉状)等は、研磨の使用の目的に応じ、適宜
に選定される。[0003] The material, particle size and hardness of the abrasive particles used, and the thickness and planar shape of the polishing layer (for example, diagonal lines,
The lattice shape, the polka dot shape, and the like are appropriately selected according to the purpose of use of polishing.
【0004】研磨層は、研磨材粒子とバインダー接着剤
との混合物であるスラリーを基板シート表面に塗布し乾
燥させるか、又は、基板シート表面にバインダー接着剤
を塗布し、研磨材粒子を圧縮空気により吹き付け、乾燥
させて形成される。[0004] The polishing layer is formed by applying a slurry, which is a mixture of abrasive particles and a binder adhesive, to the surface of the substrate sheet and drying it, or applying a binder adhesive to the surface of the substrate sheet to compress the abrasive particles with compressed air. And dried.
【0005】スラリーを基板シート表面に塗布すること
による研磨層形成方法では、形成した研磨層に研磨材粒
子が一様且つ均一に分布される、という利点がある。The method for forming a polishing layer by applying a slurry to the surface of a substrate sheet has the advantage that abrasive particles are uniformly and uniformly distributed in the formed polishing layer.
【0006】しかし、この研磨層形成方法では、形成し
た研磨層に、研磨材粒子が上下に重なり合うように配列
(以下、多層配列という)されており、実質的に、研磨
層の表面付近の最上層に分布する研磨材粒子のみが研磨
に寄与するので、研磨層の下層に分布する研磨材粒子は
無駄であり、不経済である。However, in this polishing layer forming method, abrasive particles are arranged in the formed polishing layer so as to overlap one another (hereinafter, referred to as a multilayer arrangement). Since only the abrasive particles distributed in the upper layer contribute to polishing, the abrasive particles distributed in the lower layer of the polishing layer are wasteful and uneconomical.
【0007】研磨材粒子としては、酸化アルミニウム、
緑色炭化珪素等の微粉が使用される。特に、ダイヤモン
ド、ボロンナイトライド、チタンカーボン等の材料を使
用する場合、これら材料は非常に高価であり、材料費の
削減のため、使用する材料の省量化が要求される。As abrasive particles, aluminum oxide,
Fine powder such as green silicon carbide is used. In particular, when materials such as diamond, boron nitride, and titanium carbon are used, these materials are very expensive, and the use of materials must be reduced in order to reduce material costs.
【0008】一方、バインダー接着剤を塗布した基板シ
ート表面に研磨材粒子を吹き付けることによる研磨層形
成方法では、基板シート表面に研磨材粒子を上下に重な
り合うことなく横並びに配列(以下、単層配列という)
させて固定するので、研磨に実質的に寄与する研磨材粒
子のみを基板シート表面に固定できる。On the other hand, in a method of forming a polishing layer by spraying abrasive particles on the surface of a substrate sheet coated with a binder adhesive, the abrasive particles are arranged side by side without overlapping vertically on the surface of the substrate sheet (hereinafter referred to as a single layer arrangement). That)
As a result, only abrasive particles that substantially contribute to polishing can be fixed to the surface of the substrate sheet.
【0009】しかし、この研磨層形成方法では、基板シ
ート表面と、基板シート表面から突出した研磨材粒子の
頂部との間の距離を研磨層全体にわたって一定にするた
め、研磨材粒子の分級を厳密に行っているが、粒径のバ
ラツキを無くすことは極めて困難であり、異常に突出し
た研磨材粒子が基板シート表面上に混在する。However, in this polishing layer forming method, the classification of the abrasive particles is strict because the distance between the surface of the substrate sheet and the top of the abrasive particles protruding from the surface of the substrate sheet is constant over the entire polishing layer. However, it is extremely difficult to eliminate the variation in the particle diameter, and abnormally protruding abrasive particles are mixed on the surface of the substrate sheet.
【0010】また、研磨材粒子を基板シート表面に吹き
付けた後、余分に吹き付けた研磨材粒子を圧縮空気やブ
ラッシング等により除去するのであるが、このとき、基
板シート表面に付着した研磨材粒子をも除去してしま
い、基板シート表面に付着する研磨材粒子の分布に斑が
生じる。Further, after the abrasive particles are sprayed on the surface of the substrate sheet, the excessively sprayed abrasive particles are removed by compressed air or brushing. At this time, the abrasive particles adhered to the surface of the substrate sheet are removed. Is also removed, resulting in uneven distribution of the abrasive particles adhering to the surface of the substrate sheet.
【0011】このように粒径にバラツキがあり、基板シ
ート表面に研磨材粒子の分布斑のある研磨シートにより
研磨を行うと、異常に突出した研磨材粒子が被研磨物表
面を不要に傷つけ、所望の研磨を精密に行えない、とい
う問題が生じる。As described above, when polishing is performed using a polishing sheet having a variation in particle size and a distribution of abrasive particles on the surface of the substrate sheet, abnormally protruding abrasive particles unnecessarily damage the surface of the object to be polished, There arises a problem that desired polishing cannot be performed precisely.
【0012】上述した研磨材粒子の使用量の省量化に関
する要求や、被研磨物表面に不要の傷を形成するといっ
た問題の他、特に超精密研磨において、被研磨物表面に
対する研磨材粒子の押圧力が被研磨物表面の形状等によ
り局所的に異なる場合があり、被研磨物表面を過度に研
磨してしまう、という問題が生じる。[0012] In addition to the above-mentioned demands for reducing the amount of abrasive particles used and the problem of forming unnecessary scratches on the surface of the object to be polished, especially in ultra-precision polishing, the pressing of the abrasive particles on the surface of the object to be polished is performed. The pressure may be locally different depending on the shape of the surface of the object to be polished or the like, causing a problem that the surface of the object to be polished is excessively polished.
【0013】したがって、本発明の課題は、経済性があ
り、異常に突出した研磨材粒子のない研磨シート及びそ
の製造方法を提供することである。It is therefore an object of the present invention to provide a polishing sheet which is economical and free of abnormally protruding abrasive particles and a method for producing the same.
【0014】また、本発明の他の課題は、研磨中、被研
磨物表面を均一に押圧できる上記の研磨シート及びその
製造方法を提供することである。Another object of the present invention is to provide the above-mentioned polishing sheet which can uniformly press the surface of the object to be polished during polishing, and a method for producing the same.
【0015】[0015]
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決する本
発明の研磨シートは、基板シートと、この基板シートの
表面に形成した研磨層とから構成される。A polishing sheet according to the present invention for solving the above-mentioned problems comprises a substrate sheet and a polishing layer formed on the surface of the substrate sheet.
【0016】ここで、研磨層は、研磨材粒子と、研磨材
粒子の各々の下方部分を介して研磨材粒子を単層配列し
て固着した固着層とから成り、基板シートの表面と、研
磨層の研磨材粒子の頂部との間の距離が、研磨層にわた
って一定となっている。ここで、固着層は、基板シート
の表面に塗布したバインダー接着剤の層を乾燥して基板
シートの表面に固着、形成される。Here, the polishing layer is composed of abrasive particles and a fixed layer in which the abrasive particles are fixed in a single layer arrangement via the lower part of each of the abrasive particles. The distance between the layer and the top of the abrasive particles is constant across the polishing layer. Here, the fixing layer is formed by drying the layer of the binder adhesive applied to the surface of the substrate sheet and fixing it to the surface of the substrate sheet.
【0017】基板シートは、可撓性のシートと、この可
撓性のシートの表面に形成した弾性層とから構成され
(ここで、基板シートの表面は、弾性層の表面であり、
研磨層は弾性層の表面に形成される)、弾性層を可撓性
のシートと研磨層との間に介在させることによって、研
磨シートに弾力性が与えてもよい。The substrate sheet is composed of a flexible sheet and an elastic layer formed on the surface of the flexible sheet (where the surface of the substrate sheet is the surface of the elastic layer,
The polishing layer is formed on the surface of the elastic layer), and the elastic sheet may be provided with elasticity by interposing the elastic layer between the flexible sheet and the polishing layer.
【0018】このように構成される本発明の研磨シート
の製造方法は、バインダー接着剤に研磨材粒子を均一に
混合した低粘度のスラリーを調製し、この低粘度スラリ
ーを保持部材の表面に塗布して、保持部材の表面に研磨
材粒子を単層配列させる。ここで、保持部材は、低粘度
スラリーのバインダー接着剤の乾燥物に対して剥離性の
よい表面を有する。According to the method for producing a polishing sheet of the present invention thus constituted, a low-viscosity slurry in which abrasive particles are uniformly mixed with a binder adhesive is prepared, and the low-viscosity slurry is applied to the surface of the holding member. Then, the abrasive particles are arranged in a single layer on the surface of the holding member. Here, the holding member has a surface having good releasability from a dried product of the binder adhesive of the low viscosity slurry.
【0019】次に、低粘度スラリーを乾燥させて、研磨
材粒子を保持部材の表面に仮保持させる。ここで、研磨
材粒子は、低粘度スラリーのバインダー接着剤の乾燥物
により研磨材粒子の各々の下方部分を介して保持部材の
表面に単層配列して仮保持される。研磨材粒子の各々の
下方部分の端部は、保持部材の表面に沿って配列してい
る。また、研磨材粒子の各々の他方の部分は、バインダ
ー接着剤の乾燥物から突出している(以下、この突出し
た部分を突出部分という)。Next, the low-viscosity slurry is dried to temporarily hold the abrasive particles on the surface of the holding member. Here, the abrasive particles are temporarily held in a single layer arrangement on the surface of the holding member via the lower part of each of the abrasive particles by a dried binder adhesive of a low viscosity slurry. The edge of the lower portion of each of the abrasive particles is arranged along the surface of the holding member. The other portion of each of the abrasive particles protrudes from the dried binder adhesive (hereinafter, the protruding portion is referred to as a protruding portion).
【0020】次に、基板シートの表面に高粘度のバイン
ダー接着剤を塗布して、基板シートの表面に高粘度バイ
ンダー接着剤の層を形成し、この基板シートの高粘度バ
インダー接着剤の層を、保持部材の表面に仮保持した単
層配列の研磨材粒子に押し付けて、研磨材粒子の突出部
分を高粘度バインダー接着剤の層に押し込み、高粘度バ
インダー接着剤の層を乾燥させて、高粘度バインダー接
着剤の層の乾燥物である固着層に研磨材粒子を固着させ
る。Next, a high-viscosity binder adhesive is applied to the surface of the substrate sheet to form a layer of the high-viscosity binder adhesive on the surface of the substrate sheet. Pressing the abrasive particles of the single-layer arrangement temporarily held on the surface of the holding member, pushing the protruding portions of the abrasive particles into the layer of the high-viscosity binder adhesive, and drying the layer of the high-viscosity binder adhesive, The abrasive particles are fixed to a fixed layer which is a dried product of the layer of the viscosity binder adhesive.
【0021】ここで、研磨シートに弾力性を与えるとき
は、可撓性のシートの表面に弾性層を形成した基板シー
トが使用される。このとき、基板シートの表面は、上述
したように、弾性層の表面であり、研磨層は、弾性層の
表面に形成される。その後、保持部材を基板シートから
遠ざけて、基板シートの表面の固着層に固着させた研磨
材粒子を保持部材から剥離することによって、上記のよ
うに構成される本発明の研磨シートが製造される。Here, when giving elasticity to the polishing sheet, a substrate sheet having an elastic layer formed on the surface of a flexible sheet is used. At this time, as described above, the surface of the substrate sheet is the surface of the elastic layer, and the polishing layer is formed on the surface of the elastic layer. Thereafter, the holding member is moved away from the substrate sheet, and the abrasive particles fixed to the fixing layer on the surface of the substrate sheet are separated from the holding member, whereby the polishing sheet of the present invention configured as described above is manufactured. .
【0022】ここで、低粘度スラリーの粘度及び高粘度
バインダー接着剤の粘度は、それぞれ、保持部材を基板
シートから遠ざけるとき、低粘度スラリーのバインダー
接着剤の乾燥物によって保持部材の表面に仮保持された
研磨材粒子を、高粘度バインダー接着剤を乾燥させて基
板シートの表面に固着し形成した固着層に追従させ得る
程度の粘度であればよい。Here, the viscosity of the low-viscosity slurry and the viscosity of the high-viscosity binder adhesive are respectively determined when the holding member is moved away from the substrate sheet by temporarily drying the low-viscosity slurry binder adhesive on the surface of the holding member. The viscosity of the abrasive particles should be such that the high-viscosity binder adhesive is dried and adhered to the surface of the substrate sheet to follow the adhered layer formed.
【0023】また、可撓性のシートの表面に形成される
弾性層は、軟質ウレタン、発泡ウレタン又はゴムからな
り、その厚さは、10μm乃至200μmの範囲にあ
る。The elastic layer formed on the surface of the flexible sheet is made of soft urethane, foamed urethane or rubber, and has a thickness in the range of 10 μm to 200 μm.
【0024】[0024]
【発明の実施の形態】図1(a)に示すように、本発明
の研磨シート10は、基板シート11と、基板シート1
1の表面に形成した研磨層12とから構成される。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS As shown in FIG. 1A, a polishing sheet 10 of the present invention comprises a substrate sheet 11 and a substrate sheet 1.
1 and a polishing layer 12 formed on the surface.
【0025】研磨層12は、研磨材粒子13と、基板シ
ート11の表面にバインダー接着剤を塗布し乾燥して形
成した固着層14′とから構成される。The polishing layer 12 is composed of abrasive particles 13 and a fixed layer 14 ′ formed by applying a binder adhesive to the surface of the substrate sheet 11 and drying the binder.
【0026】このバインダー接着剤には、ウレタン系、
ポリエステル系等の樹脂が使用され、研磨材粒子13の
平均粒径の1.5倍以上の厚さに基板シート11の表面
に塗布される。The binder adhesive includes a urethane type,
A resin such as a polyester resin is used and is applied to the surface of the substrate sheet 11 to a thickness of 1.5 times or more the average particle size of the abrasive particles 13.
【0027】基板シート11には、プラスチックシー
ト、不織布、織布、紙等が使用できる。As the substrate sheet 11, a plastic sheet, a nonwoven fabric, a woven fabric, paper, or the like can be used.
【0028】研磨シート10に弾力性を与えるときは、
図1(b)に示すように、可撓性のシート11′の表面
に弾性層11″を形成した基板シート11を使用するこ
とができる。(ここで、弾性層11″を有する基板シー
ト11を使用する場合には、基板シート11の表面は、
弾性層11″の表面である。)When giving elasticity to the polishing sheet 10,
As shown in FIG. 1B, a substrate sheet 11 having an elastic layer 11 ″ formed on the surface of a flexible sheet 11 ′ can be used (here, the substrate sheet 11 having the elastic layer 11 ″). Is used, the surface of the substrate sheet 11 is
This is the surface of the elastic layer 11 ″.)
【0029】可撓性のシート11′には、図1(a)に
示す基板シート11と同様に、プラスチックシート、不
織布、織布、紙等が使用できる。As the flexible sheet 11 ', a plastic sheet, a non-woven fabric, a woven fabric, paper, or the like can be used as in the case of the substrate sheet 11 shown in FIG.
【0030】弾性層11″は、軟質ウレタン、発泡ウレ
タン、ゴム等からなり、可撓性のシート11′に10μ
m乃至200μmの範囲の厚さに形成される。The elastic layer 11 "is made of soft urethane, foamed urethane, rubber, or the like.
The thickness is in the range of m to 200 μm.
【0031】研磨材粒子13の各々は、図示のように、
その下方部分を介して固着層14′に単層配列して固着
されており、基板シート11の表面と、研磨層12の研
磨材粒子13の頂部との間の距離(図1に、点線及び符
号Hで示す)が、研磨層12にわたって一定である。Each of the abrasive particles 13 is, as shown,
It is fixed in a single layer arrangement to the fixing layer 14 ′ through the lower part thereof, and is fixed to the distance between the surface of the substrate sheet 11 and the top of the abrasive particles 13 of the polishing layer 12 (in FIG. H) is constant over the polishing layer 12.
【0032】図2(a)に示す装置を使用して、図1に
示す本発明の研磨シートの製造について説明する。The production of the abrasive sheet of the present invention shown in FIG. 1 will be described using the apparatus shown in FIG.
【0033】本発明の研磨シートの製造は、まず、バイ
ンダー接着剤に研磨材粒子を均一に混合して低粘度のス
ラリーを調製し、この低粘度スラリーをキスロール塗工
等により保持部材の表面に塗布し、保持部材の表面に研
磨材粒子を単層配列させた後、赤外線等を使用する乾燥
機により低粘度スラリーを乾燥させる(図示せず)。In the production of the abrasive sheet of the present invention, first, abrasive particles are uniformly mixed with a binder adhesive to prepare a low-viscosity slurry, and the low-viscosity slurry is applied to the surface of the holding member by kiss roll coating or the like. After coating and arranging the abrasive particles in a single layer on the surface of the holding member, the low viscosity slurry is dried by a dryer using infrared rays or the like (not shown).
【0034】図2(a)に示す装置では、保持部材とし
てシート(以下、保持シートという)21が使用され
る。In the apparatus shown in FIG. 2A, a sheet (hereinafter, referred to as a holding sheet) 21 is used as a holding member.
【0035】保持シート21には、四フッ化エチレンの
重合体(例えば、テフロン(商標))、ポリプロピレ
ン、又はポリエチレン等のシート、低粘度スラリーのバ
インダー接着剤の乾燥物に対して剥離性のあるプラスチ
ックフィルムシートが使用される。The holding sheet 21 is releasable from a sheet of a polymer of tetrafluoroethylene (for example, Teflon (trademark)), polypropylene, polyethylene, or the like, or a dried low-viscosity slurry binder adhesive. Plastic film sheets are used.
【0036】保持部材に塗布する低粘度スラリーは、1
0cp乃至60cpの範囲の粘度にある。The low viscosity slurry applied to the holding member is 1
It has a viscosity in the range of 0 cp to 60 cp.
【0037】低粘度スラリーを構成する研磨材粒子とバ
インダー接着剤との重量比は、研磨材粒子が85重量%
乃至95重量%の範囲にあり、バインダー接着剤が15
重量%乃至5重量%の範囲にある。The weight ratio of the abrasive particles constituting the low viscosity slurry to the binder adhesive is such that the abrasive particles are 85% by weight.
To 95% by weight, and the binder adhesive is 15%.
% By weight to 5% by weight.
【0038】低粘度スラリーのバインダー接着剤には、
ポリエステル系、ウレタン系、アクリル系等の樹脂、又
はニトロセルロースが使用される。The low viscosity slurry binder adhesive includes:
A polyester-based, urethane-based, acrylic-based resin, or nitrocellulose is used.
【0039】低粘度スラリーが上記のような低粘度であ
り、その研磨材粒子の重量比が、上記のように、バイン
ダー接着剤に比較して著しく大きいので、低粘度スラリ
ーを保持シート21の表面に塗布し、研磨材粒子13を
単層配列させると、研磨材粒子13の各々が密集して保
持シート21の表面に沿って一様且つ均一に配列する。
また、保持シート21の表面の低粘度スラリーを乾燥さ
せると、図3に示すように、研磨材粒子13の各々の下
方部分を介してバインダー接着剤の乾燥物22′によっ
て研磨材粒子13が保持シート21の表面に仮保持され
る。Since the low-viscosity slurry has the low viscosity as described above and the weight ratio of the abrasive particles is significantly larger than the binder adhesive as described above, the low-viscosity slurry is applied to the surface of the holding sheet 21. When the abrasive particles 13 are arranged in a single layer, each of the abrasive particles 13 is densely arranged uniformly and uniformly along the surface of the holding sheet 21.
When the low-viscosity slurry on the surface of the holding sheet 21 is dried, as shown in FIG. 3, the abrasive particles 13 are held by the dry matter 22 'of the binder adhesive through each lower part of the abrasive particles 13. It is temporarily held on the surface of the sheet 21.
【0040】次に、基板シート11の表面に高粘度バイ
ンダー接着剤をキスロール塗工等(図示せず)により塗
布して、基板シートの表面に高粘度バインダー接着剤の
層14を形成する。Next, a high-viscosity binder adhesive is applied to the surface of the substrate sheet 11 by kiss-roll coating or the like (not shown) to form a layer 14 of the high-viscosity binder adhesive on the surface of the substrate sheet.
【0041】ここで、研磨シートに弾力性を与えるとき
は、図1(b)に関連して説明したように、可撓性のシ
ート11′の表面に弾性層11″を予め形成した基板シ
ート11を使用する。以下、可撓性のシート11′及び
弾性層11″から構成される図1(b)に示すような基
板シートについても、符号11にて表す。なお、図2
(a)の符号11(11′、11″)は、基板シート1
1、又は、可撓性のシート11′及び弾性層11″から
成る基板シート11を示す。Here, when giving elasticity to the polishing sheet, as described with reference to FIG. 1B, a substrate sheet in which an elastic layer 11 ″ is previously formed on the surface of a flexible sheet 11 ′ is used. In the following, a substrate sheet composed of a flexible sheet 11 'and an elastic layer 11 "as shown in FIG. Note that FIG.
Reference numeral 11 (11 ′, 11 ″) of (a) denotes the substrate sheet 1
1 or a substrate sheet 11 comprising a flexible sheet 11 'and an elastic layer 11 ".
【0042】基板シートの表面に塗布される高粘度バイ
ンダー接着剤は、100cp以上の粘度である。The high-viscosity binder adhesive applied to the surface of the substrate sheet has a viscosity of 100 cp or more.
【0043】高粘度バインダー接着剤には、ウレタン
系、ポリエステル系等の樹脂が使用される。As the high-viscosity binder adhesive, a resin such as urethane or polyester is used.
【0044】好適に、高粘度バインダー接着剤の層14
の厚さは、上記の低粘度スラリーの研磨材粒子13の平
均粒径の1.5倍以上となるように塗布される。Preferably, the high viscosity binder adhesive layer 14
Is applied so as to have a thickness of 1.5 times or more the average particle size of the abrasive particles 13 of the above low viscosity slurry.
【0045】図2(a)に示すように、高粘度バインダ
ー接着剤の層14を表面に形成した基板シート11を矢
印Tの方向に走行させる。また、上述のようにして単層
配列の研磨材粒子13を表面に仮保持した保持シート2
1を矢印tの方向に走行させ、基板シート11の表面の
高粘度バインダー接着剤の層14を、保持シート21の
表面の単層配列の研磨材粒子13に、ローラ33を介し
て重ね合わせ、上下に対向して配置した加圧ローラ3
1、32で基板シート11と保持シート21とをサンド
イッチ状に挟み込む。As shown in FIG. 2A, the substrate sheet 11 having the surface of the high-viscosity binder adhesive layer 14 formed thereon is run in the direction of arrow T. Further, as described above, the holding sheet 2 temporarily holding the abrasive particles 13 in a single layer arrangement on the surface.
1 is run in the direction of arrow t, and the layer 14 of the high-viscosity binder adhesive on the surface of the substrate sheet 11 is superimposed on the abrasive particles 13 in a single-layer arrangement on the surface of the holding sheet 21 via the roller 33, Pressure roller 3 arranged facing up and down
The substrate sheet 11 and the holding sheet 21 are sandwiched between 1 and 32 in a sandwich shape.
【0046】これにより、保持シート21に仮保持され
た研磨材粒子13の突出部分(図3の研磨材粒子13
の、バインダー接着剤の乾燥物22′から突出した部
分)が、基板シート11のバインダー接着剤の層14に
押し込まれる。Thus, the protruding portion of the abrasive particles 13 temporarily held on the holding sheet 21 (the abrasive particles 13 shown in FIG. 3).
Of the binder adhesive protruding from the dried binder adhesive 22) is pressed into the binder adhesive layer 14 of the substrate sheet 11.
【0047】このとき、加圧ローラ31又は32の軸圧
力は、1kg重/cm乃至10kg重/cmの範囲にあ
る。At this time, the axial pressure of the pressure roller 31 or 32 is in the range of 1 kg / cm to 10 kg / cm.
【0048】次に、保持シート21に仮保持された研磨
材粒子13の突出部分を基板シートのバインダー接着剤
の層14に押し込んだ状態で、乾燥機34を通過させ、
バインダー接着剤の層14を乾燥して固着層14′を形
成する。Next, with the protruding portions of the abrasive particles 13 temporarily held by the holding sheet 21 being pushed into the binder adhesive layer 14 of the substrate sheet, the abrasive particles 13 are passed through a dryer 34,
The binder adhesive layer 14 is dried to form a fixed layer 14 '.
【0049】これにより、研磨材粒子13が、基板シー
ト11の表面の固着層14′に固着する。Thus, the abrasive particles 13 are fixed to the fixing layer 14 ′ on the surface of the substrate sheet 11.
【0050】その後、ローラ35を介して保持シート2
1を基板シート11から遠ざけて、基板シート11の表
面の固着層14′に固着した研磨材粒子13を保持シー
ト21から剥離する。Thereafter, the holding sheet 2 is
1 is separated from the substrate sheet 11, and the abrasive particles 13 fixed to the fixing layer 14 ′ on the surface of the substrate sheet 11 are separated from the holding sheet 21.
【0051】このとき、保持部材としての保持シート2
1には、上述のように、低粘度スラリーのバインダー接
着剤の乾燥物22′に対して剥離性のよい材料が使用さ
れているので、乾燥物22′の一部が研磨材粒子13に
付着したまま保持シート21から剥離され得る。At this time, the holding sheet 2 as a holding member
As described above, a material having good releasability from the dried product 22 ′ of the binder adhesive of the low-viscosity slurry is used in Part 1, so that a part of the dried product 22 ′ adheres to the abrasive particles 13. It can be peeled off from the holding sheet 21 as it is.
【0052】このため、研磨材粒子13を保持シート2
1から剥離した後に、基板シート11の表面の固着層1
4′に固着した研磨材粒子13の表面を、有機溶剤を含
んだブラシ等(図示せず)にて払拭って、研磨材粒子1
3に付着した乾燥物22′を除去することができる。For this reason, the abrasive particles 13 are applied to the holding sheet 2
1 after peeling from the fixing layer 1 on the surface of the substrate sheet 11.
The surface of the abrasive particles 13 fixed to 4 ′ is wiped off with a brush or the like (not shown) containing an organic solvent.
3 can be removed.
【0053】以上により、図2(a)に示す装置を使用
して図1に示す本発明の研磨シート10が製造される。As described above, the polishing sheet 10 of the present invention shown in FIG. 1 is manufactured using the apparatus shown in FIG.
【0054】本発明は、図1に示す研磨層12を基板シ
ート11の表面に、斜線、格子、水玉、又はその他のパ
ターンを描くように形成した研磨シートを含む。The present invention includes a polishing sheet in which the polishing layer 12 shown in FIG. 1 is formed on the surface of the substrate sheet 11 so as to draw oblique lines, lattices, polka dots, or other patterns.
【0055】このような本発明の研磨シートは、図2
(a)に関連して上説した製造方法において、所望のパ
ターンを表面に有するグラビアローラ等を使用して高粘
度バインダー接着剤を基板シート11の表面に塗布し、
所望のパターンを描くように高粘度バインダー接着剤の
層14を基板シート11の表面に形成することによって
製造できる。The polishing sheet of the present invention is shown in FIG.
In the manufacturing method described above in relation to (a), a high-viscosity binder adhesive is applied to the surface of the substrate sheet 11 using a gravure roller or the like having a desired pattern on the surface,
It can be manufactured by forming a layer 14 of a high-viscosity binder adhesive on the surface of the substrate sheet 11 so as to draw a desired pattern.
【0056】また、このような本発明の研磨シートは、
図2(a)に示す装置の、保持シート21の側に配置さ
れる平坦な表面の加圧ローラ32に代えて、表面に所望
のパターンの凸部を有する加圧ローラを使用し、図2
(a)に関連して上説した製造方法に従って製造でき
る。The polishing sheet of the present invention is
In the apparatus shown in FIG. 2A, instead of the pressure roller 32 having a flat surface disposed on the side of the holding sheet 21, a pressure roller having a convex portion having a desired pattern on the surface is used.
It can be manufactured according to the manufacturing method described above in relation to (a).
【0057】例えば、図2(a)に示す加圧ローラ32
に代えて、図2(b)に示すような凸部32′を略ハ字
状に配列した加圧ローラを使用すると、図2(c)に示
すような略ハ字状に配列した研磨層12を基板シート1
1の表面(又は、弾性層11″を有する基板シート11
にあっては、弾性層11″の表面)に形成することがで
きる。For example, the pressure roller 32 shown in FIG.
Instead of using a pressing roller having convex portions 32 'arranged in a substantially C shape as shown in FIG. 2B, a polishing layer arranged in a substantially C shape as shown in FIG. 12 is the substrate sheet 1
1 (or a substrate sheet 11 having an elastic layer 11 ″)
Can be formed on the surface of the elastic layer 11 ″).
【0058】次に、図4に示す装置を使用して、図1に
示す本発明の研磨シート10の製造について説明する。Next, the production of the polishing sheet 10 of the present invention shown in FIG. 1 will be described using the apparatus shown in FIG.
【0059】ここで、図2(a)に関連して上説したよ
うに、研磨シートに弾力性を与えるために、図1(b)
に示すような弾性層11″を有する基板シート11を使
用できるので、可撓性のシート11′及び弾性層11″
から構成される基板シートについても、符号11にて表
す。なお、図4の符号11(11′、11″)は、図2
(a)と同様に、基板シート11、又は、可撓性のシー
ト11′及び弾性層11″から成る基板シート11を示
す。Here, as described above with reference to FIG. 2A, in order to give elasticity to the polishing sheet, FIG.
Since the substrate sheet 11 having the elastic layer 11 ″ as shown in FIG. 1 can be used, the flexible sheet 11 ′ and the elastic layer 11 ″ can be used.
Is also denoted by reference numeral 11. Note that reference numeral 11 (11 ', 11 ") in FIG.
As in (a), a substrate sheet 11 or a substrate sheet 11 comprising a flexible sheet 11 'and an elastic layer 11 "is shown.
【0060】図4に示すように、保持部材として保持ロ
ーラ21′が使用され、保持ローラ21′の下方部分
は、低粘度スラリー22に浸されている。As shown in FIG. 4, a holding roller 21 'is used as a holding member, and a lower portion of the holding roller 21' is immersed in a low viscosity slurry 22.
【0061】保持ローラ21′は、ガラス表面、鏡面研
磨した金属表面、又は四フッ化エチレンの重合体(例え
ば、テフロン(商標))のコーティングを施した表面
等、低粘度スラリー22のバインダー接着剤の乾燥物2
2′に対して剥離性のよい表面を有する。The holding roller 21 ′ is a binder adhesive of the low viscosity slurry 22 such as a glass surface, a mirror-polished metal surface, or a surface coated with a polymer of ethylene tetrafluoride (for example, Teflon (trademark)). Dried product 2
2 'has a surface with good peelability.
【0062】ここで使用する低粘度スラリー22は、図
2(a)に関連して説明した低粘度スラリーと同一であ
る。The low viscosity slurry 22 used here is the same as the low viscosity slurry described with reference to FIG.
【0063】保持ローラ21′が回転(図4の矢印Rの
方向)すると、保持ローラ21′の表面に塗布された低
粘度スラリー22は、ブレード41によって低粘度スラ
リー22の研磨材粒子が単層配列されるように整えら
れ、赤外線等を使用する乾燥機42を通過して、バイン
ダー接着剤が乾燥し、図3に示すように、研磨材粒子1
3が、研磨材粒子13の下方部分を介してバインダー接
着剤の乾燥物22′によって保持ローラ21′の表面に
仮保持される。When the holding roller 21 ′ rotates (in the direction of arrow R in FIG. 4), the low-viscosity slurry 22 applied to the surface of the holding roller 21 ′ is turned by the blade 41 into a single layer of abrasive particles of the low-viscosity slurry 22. It is arranged so as to be arranged and passes through a dryer 42 using infrared rays or the like, and the binder adhesive is dried, and as shown in FIG.
3 is temporarily held on the surface of the holding roller 21 ′ by the dried matter 22 ′ of the binder adhesive through the lower part of the abrasive particles 13.
【0064】次に、図2(a)に関連して上説したよう
に高粘度バインダー接着剤の層14を表面に形成した基
板シート11を矢印Tの方向に走行させ、基板シート1
1の表面の高粘度バインダー接着剤の層14を、保持ロ
ーラ21′の表面の単層配列の研磨材粒子13に、ロー
ラ43を介して重ね合わせ、保持ローラ21′に対向し
て配置した熱ローラ44で基板シート11と保持シート
21とをサンドイッチ状に挟み込む。Next, as described above with reference to FIG. 2A, the substrate sheet 11 having the surface of the high-viscosity binder adhesive layer 14 formed thereon is run in the direction of arrow T to
The high-viscosity binder adhesive layer 14 on the surface 1 is superimposed on the abrasive particles 13 in a single-layer arrangement on the surface of the holding roller 21 ′ via the roller 43, and the heat is disposed opposite the holding roller 21 ′. The substrate sheet 11 and the holding sheet 21 are sandwiched between the rollers 44 in a sandwich shape.
【0065】これにより、保持ローラ21′に仮保持さ
れた研磨材粒子13の突出部分が、基板シート11の高
粘度バインダー接着剤の層14に押し込まれるととも
に、バインダー接着剤の層14が乾燥して固着層14′
が形成され、研磨材粒子13が、基板シート11の表面
の固着層14′に固着する。As a result, the protruding portions of the abrasive particles 13 temporarily held by the holding roller 21 ′ are pushed into the high-viscosity binder adhesive layer 14 of the substrate sheet 11, and the binder adhesive layer 14 is dried. Fixed layer 14 '
Is formed, and the abrasive particles 13 are fixed to the fixing layer 14 ′ on the surface of the substrate sheet 11.
【0066】このとき、熱ローラ44の軸圧力は、図2
(a)に関連して説明した加圧ローラ31又は32の軸
圧力と同一の範囲にある。At this time, the axial pressure of the heat roller 44 is
It is in the same range as the axial pressure of the pressure roller 31 or 32 described in relation to (a).
【0067】また、熱ローラ44の温度は、使用される
基板シート11が熱ローラ44の熱により変形せず、高
粘度バインダー接着剤の層14の固着層14′が短時間
で形成できる温度に設定される。The temperature of the heat roller 44 is set so that the substrate sheet 11 used is not deformed by the heat of the heat roller 44 and the fixing layer 14 ′ of the high-viscosity binder adhesive layer 14 can be formed in a short time. Is set.
【0068】ここで使用される高粘度バインダー接着剤
は、図2(a)に関連して上説した高粘度バインダー接
着剤と同一である。The high-viscosity binder adhesive used here is the same as the high-viscosity binder adhesive described above with reference to FIG.
【0069】その後、基板シート11を図4に示す矢印
Tの方向に走行させると、基板シート11が、矢印Rの
方向に回転する保持ローラ21′から遠ざかり、基板シ
ート11の表面の固着層14′に固着した研磨材粒子1
3が保持ローラ21′から剥離される。Thereafter, when the substrate sheet 11 is moved in the direction of arrow T shown in FIG. 4, the substrate sheet 11 moves away from the holding roller 21 ′ rotating in the direction of arrow R, and the fixing layer 14 on the surface of the substrate sheet 11. Abrasive particles fixed to '
3 is peeled off from the holding roller 21 '.
【0070】このとき、保持部材としての保持ローラ2
1′には、上述のように、低粘度スラリーのバインダー
接着剤の乾燥物22′に対して剥離性のよい材料が使用
されているので、乾燥物22′の一部が研磨材粒子13
に付着したまま保持ローラ21′から剥離され得る。At this time, the holding roller 2 as a holding member
As described above, since the material 1 ′ has a good releasability with respect to the dried product 22 ′ of the binder adhesive of the low-viscosity slurry, a part of the dried product 22 ′ is a part of the abrasive particles 13 ′.
Can be peeled off from the holding roller 21 ′ while being adhered.
【0071】このため、図2(a)に関連して上説した
ように、研磨材粒子13を保持ローラ21′から剥離し
た後に、基板シート11の表面の固着層14′に固着し
た研磨材粒子13の表面を、有機溶剤を含んだブラシ等
(図示せず)にて払拭って、研磨材粒子13に付着した
乾燥物22′を除去することができる。Therefore, as described above with reference to FIG. 2A, after the abrasive particles 13 are separated from the holding roller 21 ', the abrasive particles fixed to the fixing layer 14' on the surface of the substrate sheet 11 are removed. The surface of the particles 13 can be wiped off with a brush or the like (not shown) containing an organic solvent to remove the dried matter 22 ′ attached to the abrasive particles 13.
【0072】また、保持ローラ21′の表面に残留した
乾燥物22′は、ブレード41′にて除去される。The dried material 22 'remaining on the surface of the holding roller 21' is removed by the blade 41 '.
【0073】以上により、図4に示す装置を使用して図
1に示す本発明の研磨シート10が製造される。As described above, the polishing sheet 10 of the present invention shown in FIG. 1 is manufactured using the apparatus shown in FIG.
【0074】次に、図5に示す装置を使用して、図1に
示す本発明の研磨シート10の製造について説明する。Next, the production of the polishing sheet 10 of the present invention shown in FIG. 1 will be described using the apparatus shown in FIG.
【0075】ここで、図2(a)に関連して上説したよ
うに、研磨シートに弾力性を与えるために、図1(b)
に示すような弾性層11″を有する基板シート11を使
用できるので、可撓性のシート11′及び弾性層11″
から構成される基板シートについても、符号11にて表
す。なお、図5の符号11(11′、11″)は、図2
(a)と同様に、基板シート11、又は、可撓性のシー
ト11′及び弾性層11″から成る基板シート11を示
す。Here, as described above with reference to FIG. 2A, in order to give elasticity to the polishing sheet, FIG.
Since the substrate sheet 11 having the elastic layer 11 ″ as shown in FIG. 1 can be used, the flexible sheet 11 ′ and the elastic layer 11 ″ can be used.
Is also denoted by reference numeral 11. Note that reference numeral 11 (11 ′, 11 ″) in FIG.
As in (a), a substrate sheet 11 or a substrate sheet 11 comprising a flexible sheet 11 'and an elastic layer 11 "is shown.
【0076】図5に示すように、保持部材として、図2
(a)に関連して上説した保持シート21と同一の保持
シート21が使用され、保持シート21は、下方部分が
低粘度スラリー22に浸されるように配置された回転ロ
ーラ45に巻き付けられている。As shown in FIG. 5, as a holding member, FIG.
A holding sheet 21 identical to the holding sheet 21 described above in connection with (a) is used, and the holding sheet 21 is wrapped around a rotating roller 45 arranged such that the lower part is immersed in the low viscosity slurry 22. ing.
【0077】ここで使用する低粘度スラリー22は、図
2(a)に関連して上説した低粘度スラリーと同一であ
る。The low viscosity slurry 22 used here is the same as the low viscosity slurry described above with reference to FIG.
【0078】回転ローラ45が回転(図5の矢印Rの方
向)すると、保持シート21が回転ローラ45の回転に
追従して走行(図5の矢印tの方向)し、保持シート2
1の表面に低粘度スラリー22が塗布される。When the rotating roller 45 rotates (in the direction of arrow R in FIG. 5), the holding sheet 21 runs following the rotation of the rotating roller 45 (in the direction of arrow t in FIG. 5), and the holding sheet 2 moves.
The low viscosity slurry 22 is applied to the surface of the first.
【0079】保持シート21に塗布された低粘度スラリ
ー22は、ブレード41によって低粘度スラリー22の
研磨材粒子が単層配列されるように整えられ、赤外線等
を使用する乾燥機42を通過して、バインダー接着剤が
乾燥し、図3に示すように、研磨材粒子13が、研磨材
粒子13の下方部分を介して、バインダー接着剤の乾燥
物22′によって、保持シート21の表面に仮保持され
る。The low-viscosity slurry 22 applied to the holding sheet 21 is arranged by a blade 41 so that the abrasive particles of the low-viscosity slurry 22 are arranged in a single layer, and passes through a dryer 42 using infrared rays or the like. The binder adhesive is dried, and as shown in FIG. 3, the abrasive particles 13 are temporarily held on the surface of the holding sheet 21 by the dried binder adhesive 22 ′ through the lower part of the abrasive particles 13. Is done.
【0080】次に、図2(a)に関連して上説したよう
に高粘度バインダー接着剤の層14を表面に形成した基
板シート11を矢印Tの方向に走行させ、基板シート1
1の表面の高粘度バインダー接着剤の層14を、保持シ
ート21の表面の単層配列の研磨材粒子13に、ローラ
43を介して重ね合わせ、回転ローラ45に対向して配
置した熱ローラ44で基板シート11と保持シート21
とをサンドイッチ状に挟み込む。Next, as described above with reference to FIG. 2A, the substrate sheet 11 having the surface of the high-viscosity binder adhesive layer 14 formed thereon is run in the direction of arrow T to
The high-viscosity binder adhesive layer 14 on the first surface is superimposed on the single-layer array of abrasive particles 13 on the surface of the holding sheet 21 via a roller 43, and a heat roller 44 disposed opposite to a rotating roller 45. And the substrate sheet 11 and the holding sheet 21
And sandwich them in a sandwich.
【0081】これにより、保持シート21の表面に仮保
持された研磨材粒子13の突出部分が、基板シート11
の高粘度バインダー接着剤の層14に押し込まれるとと
もに、バインダー接着剤の層14が乾燥して固着層1
4′が形成され、研磨材粒子13が、基板シート11の
表面の固着層14′に固着する。As a result, the projecting portion of the abrasive particles 13 temporarily held on the surface of the holding sheet 21 is
Is pressed into the high-viscosity binder adhesive layer 14 and the binder adhesive layer 14 is dried to form the fixing layer 1.
4 'is formed, and the abrasive particles 13 are fixed to the fixing layer 14' on the surface of the substrate sheet 11.
【0082】このとき、熱ローラ44の軸圧力は、図2
(a)に関連して説明した加圧ローラ31又は32の軸
圧力と同一の範囲にあり、熱ローラ44の温度は、図4
に関連して上説した熱ローラ44の温度に設定される。At this time, the axial pressure of the heat roller 44 is
The temperature of the heat roller 44 is in the same range as the axial pressure of the pressure roller 31 or 32 described in relation to (a),
Is set to the temperature of the heat roller 44 described above in relation to.
【0083】ここで使用される高粘度バインダー接着剤
は、図2(a)に関連して上説した高粘度バインダー接
着剤と同一である。The high-viscosity binder adhesive used here is the same as the high-viscosity binder adhesive described above with reference to FIG.
【0084】その後、基板シート11を図5に示す矢印
Tの方向に走行させ、保持シート21を図5に示す矢印
tの方向に走行させて、保持シート21を基板シート1
1をから遠ざけ、基板シート11の表面の固着層14′
に固着した研磨材粒子13を保持ローラ21′から剥離
する。Thereafter, the substrate sheet 11 is caused to travel in the direction of arrow T shown in FIG. 5, and the holding sheet 21 is caused to travel in the direction of arrow t shown in FIG.
1 away from the fixing layer 14 ′ on the surface of the substrate sheet 11.
The abrasive particles 13 adhered to the support roller 21 'are separated from the holding roller 21'.
【0085】このとき、保持部材としての保持シート2
1には、図2(a)に関連して上説したように、低粘度
スラリーのバインダー接着剤の乾燥物22′に対して剥
離性のよい材料が使用されているので、乾燥物22′の
一部又は全部が研磨材粒子13に付着したまま保持シー
ト21から剥離され得る。At this time, the holding sheet 2 as a holding member
As described above with reference to FIG. 2 (a), a material 1 having good releasability is used for the dried material 22 ′ of the binder adhesive of the low-viscosity slurry. Can be peeled off from the holding sheet 21 with some or all of them adhered to the abrasive particles 13.
【0086】このため、図2(a)に関連して上説した
ように、研磨材粒子13を保持シート21から剥離した
後に、基板シート11の表面の固着層14′に固着した
研磨材粒子13の表面を、有機溶剤を含んだブラシ等
(図示せず)にて払拭って、研磨材粒子13に付着した
上記の乾燥物22′を除去することができる。For this reason, as described above with reference to FIG. 2A, after the abrasive particles 13 are peeled from the holding sheet 21, the abrasive particles fixed to the fixing layer 14 'on the surface of the substrate sheet 11 are removed. The surface of 13 can be wiped with a brush or the like (not shown) containing an organic solvent to remove the dried matter 22 ′ attached to the abrasive particles 13.
【0087】以上により、図5に示す装置を使用して図
1に示す本発明の研磨シート10が製造される。As described above, the polishing sheet 10 of the present invention shown in FIG. 1 is manufactured using the apparatus shown in FIG.
【0088】図4又は5に示す装置を使用して、図1に
示す研磨層12を、基板シート11の表面に、斜線、格
子、水玉等のパターンを描くように形成した本発明の研
磨シートを製造できる。Using the apparatus shown in FIG. 4 or 5, the polishing sheet of the present invention in which the polishing layer 12 shown in FIG. 1 was formed on the surface of the substrate sheet 11 so as to draw a pattern such as diagonal lines, grids, and polka dots. Can be manufactured.
【0089】このような本発明の研磨シートは、図2
(a)に関連して上説したように、所望のパターンを表
面に有するグラビアローラ等を使用して高粘度バインダ
ー接着剤を基板シート11の表面に塗布し、所望のパタ
ーンを描くように高粘度バインダー接着剤の層14を基
板シート11の表面に形成し、図4又は5に関連して説
明した製造方法に従って製造できる。The polishing sheet of the present invention as shown in FIG.
As described above in connection with (a), a high-viscosity binder adhesive is applied to the surface of the substrate sheet 11 using a gravure roller or the like having a desired pattern on the surface, and the high-viscosity binder adhesive is applied to draw the desired pattern. A layer 14 of the viscosity binder adhesive is formed on the surface of the substrate sheet 11 and can be manufactured according to the manufacturing method described in connection with FIG.
【0090】[0090]
【実施例】図2(a)に示す装置を使用して本発明の研
磨シートを製造した。EXAMPLE A polishing sheet of the present invention was manufactured using the apparatus shown in FIG.
【0091】平均粒径3μの研磨材粒子(95重量%)
と、ニトロセルロース(5重量%)とを均一に混合し、
粘度10cpの低粘度スラリーを調製した。Abrasive particles having an average particle diameter of 3 μm (95% by weight)
And nitrocellulose (5% by weight) are uniformly mixed,
A low viscosity slurry having a viscosity of 10 cp was prepared.
【0092】この低粘度スラリーを、キスロール塗工に
て、保持シートとしての厚さ20μmのポリプロピレン
シートの片面に塗布し、乾燥させて、研磨材粒子をシー
ト表面に単層配列して仮保持させた。This low-viscosity slurry was applied to one side of a polypropylene sheet having a thickness of 20 μm as a holding sheet by kiss roll coating and dried, and the abrasive particles were temporarily arranged in a single layer on the sheet surface and temporarily held. Was.
【0093】ポリエステル樹脂及びイソシアネート系硬
化剤を混合して粘度100cpの高粘度バインダー接着
剤を調製し、この高粘度バインダー接着剤を、キスロー
ル塗工にて、基板シートとしての、厚さ20μmのポリ
エステルシートの表面に一様に塗布し、厚さ10μmの
高粘度バインダー接着剤の層を形成した。A polyester resin and an isocyanate-based curing agent were mixed to prepare a high-viscosity binder adhesive having a viscosity of 100 cp. The high-viscosity binder adhesive was applied to a 20 μm-thick polyester sheet as a substrate sheet by kiss roll coating. The composition was uniformly applied to the surface of the sheet to form a layer of a high-viscosity binder adhesive having a thickness of 10 μm.
【0094】基板シートと保持シートとを、上下に配置
した加圧ローラ(軸圧力:10kg重/cm)の間を通
過させて、単層配列した研磨材粒子を高粘度バインダー
接着剤の層に押し込み、乾燥機を通過させて高粘度バイ
ンダー接着剤の層を乾燥させ、高粘度バインダー接着剤
の乾燥物である固着層に研磨材粒子を固着させた後に、
固着層に固着した研磨材粒子を保持シートから剥離し
た。The substrate sheet and the holding sheet are passed between pressure rollers (axial pressure: 10 kgf / cm) arranged vertically, and the abrasive particles arranged in a single layer are formed into a layer of a high-viscosity binder adhesive. Push, pass through a dryer to dry the layer of high-viscosity binder adhesive, and after fixing the abrasive particles to the fixing layer, which is a dried product of the high-viscosity binder adhesive,
The abrasive particles fixed to the fixing layer were peeled off from the holding sheet.
【0095】次に、研磨材粒子に付着した低粘度スラリ
ーのバインダー接着剤の乾燥物を有機溶剤とブラシにて
除去し、本発明に従った研磨シートを製造した。Next, the dried binder adhesive of the low-viscosity slurry adhered to the abrasive particles was removed with an organic solvent and a brush to produce a polishing sheet according to the present invention.
【0096】この研磨シートをテープ状に切断して製造
した研磨テープと、上記実施例の本発明の研磨シートに
使用した基板シートと同一の基板シート表面に上記実施
例と同一の高粘度バインダー接着剤を塗布し、圧縮空気
にて平均粒径1μmの酸化アルミニウムを吹き付けて製
造した従来の研磨テープとを使用して、アルミニウム製
のディスクの表面を研磨し、ディスクの表面粗さ及び研
削力について調べたところ、本発明に従った研磨テープ
により研磨したディスク表面の粗さは非常に小さくな
り、しかも研削力は同程度であることが確認された。A polishing tape manufactured by cutting this polishing sheet into a tape shape, and the same high-viscosity binder adhesive as in the above embodiment on the same substrate sheet surface as the substrate sheet used for the polishing sheet of the present invention in the above embodiment. The surface of an aluminum disk is polished using a conventional polishing tape manufactured by applying an agent and spraying aluminum oxide having an average particle diameter of 1 μm with compressed air, and the surface roughness and grinding force of the disk are determined. Upon examination, it was confirmed that the roughness of the disk surface polished with the polishing tape according to the present invention was very small, and that the grinding power was almost the same.
【0097】[0097]
【発明の効果】本発明に従うと、研磨シートの研磨層の
研磨材粒子が単層配列しているので、研磨材粒子の使用
量を省量化でき、経済的である、という効果を奏する。According to the present invention, since the abrasive particles of the abrasive layer of the abrasive sheet are arranged in a single layer, the amount of the abrasive particles used can be reduced, which is economical.
【0098】本発明に従うと、研磨シートの研磨層の単
層配列した研磨材粒子の各々の頂部と、基板シート表面
との間の距離が研磨層にわたって一定であるので、研磨
層に異常に突出した研磨材粒子がなく、研磨の際に、被
研磨物表面を不要に傷つけることなく研磨できる、とい
う効果を奏する。According to the present invention, since the distance between the top of each of the abrasive particles arranged in a single layer of the polishing layer of the polishing sheet and the surface of the substrate sheet is constant over the polishing layer, the polishing layer protrudes abnormally. There is an effect that the abrasive particles can be polished without unnecessary damage to the surface of the object to be polished during polishing.
【0099】本発明に従って、弾性層を可撓性のシート
と研磨層との間に介在させることによって、研磨シート
に弾力性が与えると、研磨中、研磨材粒子が被研磨物表
面を均一に押圧することができる、という効果を奏す
る。According to the present invention, by providing an elastic layer between the flexible sheet and the polishing layer to give elasticity to the polishing sheet, the abrasive particles uniformly polish the surface of the object to be polished during polishing. This has the effect of being able to be pressed.
【図1】図1は、本発明の研磨シートの部分拡大断面図
である。FIG. 1 is a partially enlarged cross-sectional view of a polishing sheet of the present invention.
【図2】図2(a)は、本発明の研磨シートを製造する
ための装置の略図であり、図2(b)は、図2(a)の装
置の加圧ローラの表面の部分拡大図であり、図2(c)
は、図2(b)の表面を有する加圧ローラを使用して製
造された本発明の研磨シート表面の部分拡大図である。FIG. 2 (a) is a schematic view of an apparatus for producing the polishing sheet of the present invention, and FIG. 2 (b) is a partially enlarged view of the surface of a pressure roller of the apparatus of FIG. 2 (a). FIG. 2 (c)
FIG. 2 is a partially enlarged view of the surface of the polishing sheet of the present invention manufactured using the pressure roller having the surface of FIG. 2 (b).
【図3】図3は、保持部材の表面に研磨材粒子が保持さ
れた状態を示す。FIG. 3 shows a state in which abrasive particles are held on the surface of a holding member.
【図4】図4は、本発明の研磨シートを製造するための
他の装置の略図である。FIG. 4 is a schematic view of another apparatus for producing the abrasive sheet of the present invention.
【図5】図5は、本発明の研磨シートを製造するため
の、その他の装置の略図である。FIG. 5 is a schematic view of another apparatus for producing the polishing sheet of the present invention.
10・・・研磨シート 11・・・基板シート 11′・・・可撓性のシート 11″・・・弾性層 12・・・研磨層 13・・・研磨材粒子 14・・・高粘度バインダー接着剤の層 14′・・・固着層 15・・・弾性層 21・・・保持シート 21′・・・保持ローラ 22・・・低粘度スラリー 22′・・・低粘度スラリーのバインダー接着剤の乾燥
物 31、32・・・加圧ローラ 32′・・・凸部 33、35、43・・・ローラ 34、42・・・乾燥機 41、41′・・・ブレード 44・・・熱ローラ 45・・・回転ローラ H・・・基板シート表面と研磨材粒子の頂部との間の距
離 R・・・回転方向 T、t・・・走行方向DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Abrasive sheet 11 ... Substrate sheet 11 '... Flexible sheet 11 "... Elastic layer 12 ... Abrasive layer 13 ... Abrasive particles 14 ... High viscosity binder adhesion Agent layer 14 ': fixed layer 15: elastic layer 21: holding sheet 21': holding roller 22: low viscosity slurry 22 ': drying of binder adhesive of low viscosity slurry Object 31, 32 ... Pressure roller 32 '... Convex part 33, 35, 43 ... Roller 34, 42 ... Dryer 41, 41' ... Blade 44 ... Heat roller 45 ..Rotating roller H: distance between substrate sheet surface and top of abrasive particles R: rotating direction T, t: running direction
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B24D 11/00 Continuation of front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) B24D 11/00
Claims (11)
低粘度スラリーを保持部材の表面に塗布し、前記保持部
材の前記表面に前記研磨材粒子を単層配列させる工程、 (2)前記低粘度スラリーを乾燥させて、前記研磨材粒
子を前記保持部材の前記表面に仮保持させる工程であっ
て、 前記研磨材粒子が、前記低粘度スラリーの前記バインダ
ー接着剤の乾燥物により前記研磨材粒子の各々の下方部
分を介して前記保持部材の前記表面に単層配列して仮保
持され、 前記研磨材粒子の各々の前記下方部分の端部が、前記保
持部材の前記表面に沿って配列し、 前記研磨材粒子の各々が、前記乾燥物から突出した突出
部分を有する、 ところの工程、 (3)基板シートの表面に高粘度バインダー接着剤を塗
布して前記基板シートの前記表面に前記高粘度バインダ
ー接着剤の層を形成する工程、 (4)前記高粘度バインダー接着剤の前記層に、前記単
層配列した前記研磨材粒子を押し付け、前記研磨材粒子
の前記突出部分を前記高粘度バインダー接着剤の層に押
し込む工程、 (5)前記高粘度バインダー接着剤の前記層を乾燥させ
て前記基板シートの前記表面に固着層を形成させ、前記
研磨材粒子を前記固着層に固着する工程、及び (6)前記保持部材を前記基板シートから遠ざけて、前
記固着層に固着した前記研磨材粒子を前記保持部材から
剥離する工程、 を含む製造方法。1. A method for manufacturing a polishing sheet, comprising: (1) applying a low-viscosity slurry in which abrasive particles are uniformly mixed with a binder adhesive to a surface of a holding member; (2) drying the low-viscosity slurry and temporarily holding the abrasive particles on the surface of the holding member, wherein the abrasive particles have a low viscosity. An end of the lower portion of each of the abrasive particles is temporarily held in a single layer arrangement on the surface of the holding member through a lower portion of each of the abrasive particles by a dried product of the binder adhesive of the slurry. A portion is arranged along the surface of the holding member, and each of the abrasive particles has a protruding portion protruding from the dried material. (3) High-viscosity binder bonding to the surface of the substrate sheet Agent Forming a layer of the high-viscosity binder adhesive on the surface of the substrate sheet by applying, (4) pressing the abrasive particles arranged in a single layer against the layer of the high-viscosity binder adhesive; Pushing the protruding portions of the abrasive particles into the layer of the high viscosity binder adhesive; (5) drying the layer of the high viscosity binder adhesive to form a fixed layer on the surface of the substrate sheet; Fixing the abrasive particles to the fixing layer; and (6) separating the abrasive particles fixed to the fixing layer from the holding member by moving the holding member away from the substrate sheet. .
範囲にあり、前記高粘度バインダー接着剤の粘度が、1
00cp以上である、 ところの製造方法。2. The method according to claim 1, wherein the viscosity of the low viscosity slurry is in a range of 10 cp to 60 cp, and the viscosity of the high viscosity binder adhesive is 1 cp.
The production method according to any one of the preceding claims, wherein
ンダー接着剤との重量比が、前記研磨材粒子が85重量
%乃至95重量%の範囲にあり、前記バインダー接着剤
が15重量%乃至5重量%の範囲にある、 ところの製造方法。3. The production method according to claim 1, wherein the weight ratio of the abrasive particles to the binder adhesive in the low viscosity slurry is such that the abrasive particles have a weight ratio of 85% to 95% by weight. Wherein the binder adhesive is in the range of 15% to 5% by weight.
ポリエステル系樹脂が使用される、 ところの製造方法。 4. The production method according to claim 1, wherein a urethane-based resin or a polyester-based resin is used for the high-viscosity binder adhesive .
磨材粒子の平均粒径の1.5倍以上である、 ところの製造方法。5. The method according to claim 1, wherein the thickness of the layer of the high-viscosity binder adhesive is at least 1.5 times the average particle size of the abrasive particles. Production method.
記乾燥物に対して剥離性のあるプラスチックフィルムシ
ートである、 ところの製造方法。6. The manufacturing method according to claim 1, wherein the holding member is a plastic film sheet that is releasable from the dried binder adhesive. .
の重合体、ポリプロピレン、又はポリエチレンのシート
である、 ところの製造方法。7. The production method according to claim 6, wherein the plastic film sheet is a sheet of a polymer of tetrafluoroethylene, polypropylene, or polyethylene.
た金属表面、又は四フッ化エチレンの重合体の表面であ
る、 ところの製造方法。8. The manufacturing method according to claim 1, wherein the surface of the holding member is a glass surface, a mirror-polished metal surface, or a polymer surface of ethylene tetrafluoride. Production method.
形成した、前記研磨シートに弾力性を与えるための弾性
層、 から成り、 前記基板シートの前記表面が、前記弾性層の表面であ
り、 前記研磨層が、前記弾性層の前記表面に形成される、 ところの製造方法。9. The manufacturing method according to claim 1, wherein the substrate sheet is a flexible sheet, and gives elasticity to the polishing sheet formed on the surface of the flexible sheet. The manufacturing method according to claim 1, wherein the surface of the substrate sheet is a surface of the elastic layer, and the polishing layer is formed on the surface of the elastic layer.
らなる、 ところの製造方法。10. The method according to claim 9, wherein the elastic layer is made of soft urethane, foamed urethane, or rubber.
ある、 ところの製造方法。11. The method according to claim 9, wherein the thickness of the elastic layer is in a range of 10 μm to 200 μm.
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