JP2902637B1 - 研磨シート及びその製造方法 - Google Patents
研磨シート及びその製造方法Info
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- JP2902637B1 JP2902637B1 JP16684898A JP16684898A JP2902637B1 JP 2902637 B1 JP2902637 B1 JP 2902637B1 JP 16684898 A JP16684898 A JP 16684898A JP 16684898 A JP16684898 A JP 16684898A JP 2902637 B1 JP2902637 B1 JP 2902637B1
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Abstract
【要約】
【課題】 使用する研磨粒子の粒径にバラツキがあって
も、被研磨物の表面に不要の傷を付けることなく精密な
研磨が行え、研磨中に研磨層から研磨粒子が遊離しな
い、湿式研磨のための研磨シートを提供する。 【解決手段】 表面に多数の凹部（12）を有する基板シ
ート（11）と、研磨粒子（14、14′）とバインダー接着
剤とを混合したスラリーを基板シート（11）の表面に均
一に塗布し乾燥させて形成した研磨層（15）とから成
り、湿式研磨中、乾燥状態にあるバインダー接着剤（1
3）が、冷却液に接触して軟化し柔軟性を示し、柔軟な
バインダーとなり、研磨粒子（14、14′）が、柔軟なバ
インダーによって保持される、研磨シート。
も、被研磨物の表面に不要の傷を付けることなく精密な
研磨が行え、研磨中に研磨層から研磨粒子が遊離しな
い、湿式研磨のための研磨シートを提供する。 【解決手段】 表面に多数の凹部（12）を有する基板シ
ート（11）と、研磨粒子（14、14′）とバインダー接着
剤とを混合したスラリーを基板シート（11）の表面に均
一に塗布し乾燥させて形成した研磨層（15）とから成
り、湿式研磨中、乾燥状態にあるバインダー接着剤（1
3）が、冷却液に接触して軟化し柔軟性を示し、柔軟な
バインダーとなり、研磨粒子（14、14′）が、柔軟なバ
インダーによって保持される、研磨シート。
Description
【０００１】
【発明の属する分野】本発明は、金属、ガラス、鉱物、
セラミックス、プラスチック、木材、等の研磨、特に、
光ファイバーの端面、レンズや磁気ディスク、精密機械
部品の表面、等の精密な湿式研磨に用いる研磨シートに
関する。
セラミックス、プラスチック、木材、等の研磨、特に、
光ファイバーの端面、レンズや磁気ディスク、精密機械
部品の表面、等の精密な湿式研磨に用いる研磨シートに
関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明の解決しようとする課題】一般
に、表面に研磨粒子を配設した研磨シートを用いた湿式
研磨は、研磨シートを被研磨物の表面に押し付け、冷却
液を供給しつつ研磨シートと被研磨物とを相対的に移動
させることによって行われる。
に、表面に研磨粒子を配設した研磨シートを用いた湿式
研磨は、研磨シートを被研磨物の表面に押し付け、冷却
液を供給しつつ研磨シートと被研磨物とを相対的に移動
させることによって行われる。
【０００３】このような湿式研磨に用いる従来の研磨シ
ートには、酸化アルミニウム等の研磨粒子とポリエステ
ル系樹脂等のバインダー接着剤とを混合したスラリーを
プラスチックシート、不織布、等の可撓性の基板シート
の表面に均一に塗布し乾燥させて基板シートの表面に研
磨層を形成したものがある（例えば、特開昭53-68490号
を参照）。また、研磨粒子をバインダー接着剤にて可撓
性の基板シートの表面に固着させて基板シートの表面に
研磨層を形成したものもある（例えば、特開昭62-28177
号を参照）。
ートには、酸化アルミニウム等の研磨粒子とポリエステ
ル系樹脂等のバインダー接着剤とを混合したスラリーを
プラスチックシート、不織布、等の可撓性の基板シート
の表面に均一に塗布し乾燥させて基板シートの表面に研
磨層を形成したものがある（例えば、特開昭53-68490号
を参照）。また、研磨粒子をバインダー接着剤にて可撓
性の基板シートの表面に固着させて基板シートの表面に
研磨層を形成したものもある（例えば、特開昭62-28177
号を参照）。
【０００４】これら従来の研磨シートでは、研磨層中の
研磨粒子は、乾燥状態にあるバインダー接着剤によって
強固に固定されている。
研磨粒子は、乾燥状態にあるバインダー接着剤によって
強固に固定されている。
【０００５】すなわち、研磨粒子の粒径にバラツキがあ
ると、比較的粒径の大きい研磨粒子が、異常に突出して
研磨層に強固に固定され、湿式研磨の際に、被研磨物の
表面に不要の傷を付けてしまう。
ると、比較的粒径の大きい研磨粒子が、異常に突出して
研磨層に強固に固定され、湿式研磨の際に、被研磨物の
表面に不要の傷を付けてしまう。
【０００６】このため、研磨粒子の精密な分級が行われ
ているが、現状においては、研磨粒子の精密な分級を行
っても、例えば、粒径0.5〜5.0μm程度の研磨粒子を分
級しても粒径1μmを中心に0.5μm〜2.0μm程度の粒径の
分布幅があり（例えば、特開平9-206627号を参照）、使
用する研磨粒子の粒径にバラツキが生じる。
ているが、現状においては、研磨粒子の精密な分級を行
っても、例えば、粒径0.5〜5.0μm程度の研磨粒子を分
級しても粒径1μmを中心に0.5μm〜2.0μm程度の粒径の
分布幅があり（例えば、特開平9-206627号を参照）、使
用する研磨粒子の粒径にバラツキが生じる。
【０００７】このことから、上述の従来の研磨シートで
は、使用する研磨粒子の粒径にバラツキがあるので、異
常に突出した研磨粒子が研磨層に強固に固定され、研磨
の際に、被研磨物の表面に不要の傷を付けてしまうこと
は避けられない、という問題がある。
は、使用する研磨粒子の粒径にバラツキがあるので、異
常に突出した研磨粒子が研磨層に強固に固定され、研磨
の際に、被研磨物の表面に不要の傷を付けてしまうこと
は避けられない、という問題がある。
【０００８】その他の従来の研磨シートには、研磨粒子
と水溶性樹脂との混合物を可撓性の基板シートの表面に
均一に塗布し乾燥させて基板シートの表面に研磨層を形
成したものがある（例えば、特開平5-228845号を参
照）。
と水溶性樹脂との混合物を可撓性の基板シートの表面に
均一に塗布し乾燥させて基板シートの表面に研磨層を形
成したものがある（例えば、特開平5-228845号を参
照）。
【０００９】この研磨シートでは、研磨粒子は、水溶性
樹脂の乾燥物に仮保持されており、湿式研磨の際に、冷
却液により水溶性樹脂の乾燥物が溶解して研磨粒子が遊
離し、このように遊離した研磨粒子により被研磨物の表
面が研磨される。しかし、このように遊離した研磨粒子
による研磨では、被研磨物の縁部付近の研磨の際に、遊
離した研磨粒子が縁部を研磨し、縁部に不要の丸み、つ
まり縁弛れを形成してしまい、精密な研磨が行えない、
という問題がある。
樹脂の乾燥物に仮保持されており、湿式研磨の際に、冷
却液により水溶性樹脂の乾燥物が溶解して研磨粒子が遊
離し、このように遊離した研磨粒子により被研磨物の表
面が研磨される。しかし、このように遊離した研磨粒子
による研磨では、被研磨物の縁部付近の研磨の際に、遊
離した研磨粒子が縁部を研磨し、縁部に不要の丸み、つ
まり縁弛れを形成してしまい、精密な研磨が行えない、
という問題がある。
【００１０】したがって、本発明の課題は、使用する研
磨粒子の粒径にバラツキがあっても、被研磨物の表面に
不要の傷を付けることなく精密な研磨が行え、研磨中に
研磨層から研磨粒子が遊離しない、湿式研磨のための研
磨シートを提供することである。
磨粒子の粒径にバラツキがあっても、被研磨物の表面に
不要の傷を付けることなく精密な研磨が行え、研磨中に
研磨層から研磨粒子が遊離しない、湿式研磨のための研
磨シートを提供することである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明の研磨シートは、
表面に多数の凹部を有する基板シートと、この基板シー
トの表面に研磨粒子とバインダー接着剤とを混合したス
ラリーを均一に塗布し乾燥させて形成した研磨層とから
構成される。
表面に多数の凹部を有する基板シートと、この基板シー
トの表面に研磨粒子とバインダー接着剤とを混合したス
ラリーを均一に塗布し乾燥させて形成した研磨層とから
構成される。
【００１２】上記の課題を解決するため、本発明の研磨
シートは、湿式研磨中、乾燥状態にあるバインダー接着
剤が、冷却液に接触して軟化し柔軟性を示し、柔軟なバ
インダーとなり、研磨粒子は、この柔軟なバインダーに
よって保持される。
シートは、湿式研磨中、乾燥状態にあるバインダー接着
剤が、冷却液に接触して軟化し柔軟性を示し、柔軟なバ
インダーとなり、研磨粒子は、この柔軟なバインダーに
よって保持される。
【００１３】ここで、柔軟なバインダーは、湿式研磨中
に、研磨粒子を強固に固定するものでも、研磨粒子を遊
離させてしまうものでもなく、以下で説明するように、
湿式研磨中、研磨粒子を研磨層中に保持するものであ
る。
に、研磨粒子を強固に固定するものでも、研磨粒子を遊
離させてしまうものでもなく、以下で説明するように、
湿式研磨中、研磨粒子を研磨層中に保持するものであ
る。
【００１４】すなわち、湿式研磨中、研磨層の表面にあ
る研磨粒子が被研磨物の表面に押し付けられ、被研磨物
と相対的に移動する。このとき、研磨層の表面にある研
磨粒子、特に研磨層の表面から異常に突出した研磨粒子
が、上述のように冷却液により軟化した柔軟なバインダ
ーの中に押し倒され、押し込まれて、周囲にある研磨粒
子の突出量と同程度となり、また、被研磨物に引きずら
れて研磨層から遊離することがない。
る研磨粒子が被研磨物の表面に押し付けられ、被研磨物
と相対的に移動する。このとき、研磨層の表面にある研
磨粒子、特に研磨層の表面から異常に突出した研磨粒子
が、上述のように冷却液により軟化した柔軟なバインダ
ーの中に押し倒され、押し込まれて、周囲にある研磨粒
子の突出量と同程度となり、また、被研磨物に引きずら
れて研磨層から遊離することがない。
【００１５】また、研磨層の表面から異常に突出した研
磨粒子の粒径が顕著に大きい場合、例えば、研磨粒子の
粒径が研磨層の厚さと同程度である場合であっても、基
板シートの表面には多数の凹部があるため、このような
研磨粒子は、その下方部分が基板シートの表面の凹部に
引っかかり、被研磨物との相対的な移動により基板シー
トの凹部に関して回転し、柔軟なバインダーの中に押し
倒され、押し込まれて、周囲にある研磨粒子の突出量と
同程度となり、また、被研磨物に引きずられて研磨層か
ら遊離することがない。
磨粒子の粒径が顕著に大きい場合、例えば、研磨粒子の
粒径が研磨層の厚さと同程度である場合であっても、基
板シートの表面には多数の凹部があるため、このような
研磨粒子は、その下方部分が基板シートの表面の凹部に
引っかかり、被研磨物との相対的な移動により基板シー
トの凹部に関して回転し、柔軟なバインダーの中に押し
倒され、押し込まれて、周囲にある研磨粒子の突出量と
同程度となり、また、被研磨物に引きずられて研磨層か
ら遊離することがない。
【００１６】上述のように、柔軟なバインダーは、湿式
研磨中、研磨層の表面にある研磨粒子（特に、研磨層の
表面から異常に突出した研磨粒子）を遊離することなく
柔軟なバインダーの中に押し倒し、押し込んで、周囲に
ある研磨粒子の突出量と同程度となるように保持するも
のであり、研磨粒子がこのように柔軟なバインダーに保
持されるので、湿式研磨中、被研磨物の表面が研磨層の
表面にある研磨粒子によって均一に押し付けられる。
研磨中、研磨層の表面にある研磨粒子（特に、研磨層の
表面から異常に突出した研磨粒子）を遊離することなく
柔軟なバインダーの中に押し倒し、押し込んで、周囲に
ある研磨粒子の突出量と同程度となるように保持するも
のであり、研磨粒子がこのように柔軟なバインダーに保
持されるので、湿式研磨中、被研磨物の表面が研磨層の
表面にある研磨粒子によって均一に押し付けられる。
【００１７】バインダー接着剤には、カルボキシメチル
セルロースナトリウム塩、親水性アクリル樹脂、親水性
ポリエステル樹脂、又はこれら混合物が使用される。
セルロースナトリウム塩、親水性アクリル樹脂、親水性
ポリエステル樹脂、又はこれら混合物が使用される。
【００１８】基板シートには、表面に多数の凹部を形成
したプラスチックシート、表面に気泡空隙からなる多数
の凹部を形成した発泡ポリウレタンのシート、又は表面
に多数の凹部を有する不織布のシートが使用される。
したプラスチックシート、表面に気泡空隙からなる多数
の凹部を形成した発泡ポリウレタンのシート、又は表面
に多数の凹部を有する不織布のシートが使用される。
【００１９】上記の本発明の研磨シートは、上記の基板
シートの表面に、上記のバインダー接着剤と研磨粒子と
を混合したスラリーを均一に塗布し乾燥させて、基板シ
ートの表面に研磨層を形成することによって製造され
る。
シートの表面に、上記のバインダー接着剤と研磨粒子と
を混合したスラリーを均一に塗布し乾燥させて、基板シ
ートの表面に研磨層を形成することによって製造され
る。
【００２０】
【発明の実施の形態】図１に示すように、本発明の研磨
シート10は、表面に多数の凹部12を有する基板シート11
と、この基板シート11の表面に、研磨粒子14とバインダ
ー接着剤とを混合したスラリーを均一に塗布し乾燥させ
て形成した研磨層15とから構成される（図中、比較的粒
径の大きい研磨粒子を符号14′で示し、乾燥状態にある
バインダー接着剤を符号13で示す）。
シート10は、表面に多数の凹部12を有する基板シート11
と、この基板シート11の表面に、研磨粒子14とバインダ
ー接着剤とを混合したスラリーを均一に塗布し乾燥させ
て形成した研磨層15とから構成される（図中、比較的粒
径の大きい研磨粒子を符号14′で示し、乾燥状態にある
バインダー接着剤を符号13で示す）。
【００２１】図１に示す研磨シート10は、研磨粒子14と
バインダー接着剤と水（及び、若干のアルコールやケト
ン類を加えてもよい）とを混合撹拌してスラリーとし、
このスラリーを基板シート11の表面に均一に塗布し、乾
燥させることによって製造される。ここで、スラリー
は、キスロール塗工法、グラビア塗工法といった既知の
塗工法にて基板シート11の表面に塗布することができ
る。
バインダー接着剤と水（及び、若干のアルコールやケト
ン類を加えてもよい）とを混合撹拌してスラリーとし、
このスラリーを基板シート11の表面に均一に塗布し、乾
燥させることによって製造される。ここで、スラリー
は、キスロール塗工法、グラビア塗工法といった既知の
塗工法にて基板シート11の表面に塗布することができ
る。
【００２２】バインダー接着剤には、カルボキシメチル
セルロースナトリウム塩、親水性アクリル樹脂、親水性
ポリエステル樹脂、又はこれら混合物が使用される。こ
れら材料には、乾燥状態にあるバインダー接着剤13に冷
却液が接触すると、軟化して柔軟性を示し、柔軟なバイ
ンダーとなる性質がある。
セルロースナトリウム塩、親水性アクリル樹脂、親水性
ポリエステル樹脂、又はこれら混合物が使用される。こ
れら材料には、乾燥状態にあるバインダー接着剤13に冷
却液が接触すると、軟化して柔軟性を示し、柔軟なバイ
ンダーとなる性質がある。
【００２３】基板シート11には、表面に多数の凹部を形
成したポリエステル、ポリエチレンナフタレート、等の
プラスチックシートが使用され得る。このような凹部
は、圧縮空気等により硬質の結晶粒子をプラスチックシ
ートの表面に衝突させる（サンドブラスト）によって形
成することができる。また、基板シート11として、内部
に多数の気泡空隙を有するシート状の発泡ウレタンの表
面を薄く削いで、表面に気泡空隙からなる多数の凹部を
形成した発泡ポリウレタンのシート、又は表面に多数の
凹部を有する不織布のシートを使用してもよい。このよ
うな基板シート11の厚さは、数μm〜100μm程度が好適
であるが、研磨シートの用途の応じて適宜に選定でき
る。
成したポリエステル、ポリエチレンナフタレート、等の
プラスチックシートが使用され得る。このような凹部
は、圧縮空気等により硬質の結晶粒子をプラスチックシ
ートの表面に衝突させる（サンドブラスト）によって形
成することができる。また、基板シート11として、内部
に多数の気泡空隙を有するシート状の発泡ウレタンの表
面を薄く削いで、表面に気泡空隙からなる多数の凹部を
形成した発泡ポリウレタンのシート、又は表面に多数の
凹部を有する不織布のシートを使用してもよい。このよ
うな基板シート11の厚さは、数μm〜100μm程度が好適
であるが、研磨シートの用途の応じて適宜に選定でき
る。
【００２４】研磨粒子13には、平均粒径0.004μm〜20μ
mの、ダイヤモンド、酸化アルミニウム、酸化鉄、二酸
化珪素、シリコンカーバイド、酸化クロム、酸化セリウ
ム、等の既知の研磨粒子が使用できる。研磨粒子13の材
質及び粒径は、研磨シートの用途の応じて適宜に選定で
きる。
mの、ダイヤモンド、酸化アルミニウム、酸化鉄、二酸
化珪素、シリコンカーバイド、酸化クロム、酸化セリウ
ム、等の既知の研磨粒子が使用できる。研磨粒子13の材
質及び粒径は、研磨シートの用途の応じて適宜に選定で
きる。
【００２５】図１に示す本発明の研磨シート10を用いた
湿式研磨は、例えば、図２又は３に示す湿式研磨用装置
30、30′を使用して行うことができる。
湿式研磨は、例えば、図２又は３に示す湿式研磨用装置
30、30′を使用して行うことができる。
【００２６】図２に示す湿式研磨用装置30を使用した湿
式研磨は、研磨シート10をテープ状に裁断して研磨テー
プ10′を製作し、この研磨テープ10′をローラー32を介
してディスク状の被研磨物20の表面に押し付けた状態
で、研磨テープ10′を矢印Tの方向に走行させ、被研磨
物20を矢印Rの方向に回転させつつ、ノズル31から冷却
液を供給して行う。
式研磨は、研磨シート10をテープ状に裁断して研磨テー
プ10′を製作し、この研磨テープ10′をローラー32を介
してディスク状の被研磨物20の表面に押し付けた状態
で、研磨テープ10′を矢印Tの方向に走行させ、被研磨
物20を矢印Rの方向に回転させつつ、ノズル31から冷却
液を供給して行う。
【００２７】また、図３に示す湿式研磨用装置30′を使
用した湿式研磨は、研磨シート10をディスク状に裁断し
て研磨パッド10″を製作し、この研磨パッド10″を回転
盤33上に貼り付け、この回転盤33上の研磨パッド10″に
柱状の被研磨物20′の端面を押しつけた状態で、回転盤
33を矢印Sの方向に回転させつつ、ノズル31から冷却液
を供給して行う。
用した湿式研磨は、研磨シート10をディスク状に裁断し
て研磨パッド10″を製作し、この研磨パッド10″を回転
盤33上に貼り付け、この回転盤33上の研磨パッド10″に
柱状の被研磨物20′の端面を押しつけた状態で、回転盤
33を矢印Sの方向に回転させつつ、ノズル31から冷却液
を供給して行う。
【００２８】図２又は３に示すような装置30、30′を使
用した湿式研磨中、冷却液に接触した図１に示す研磨シ
ート10の研磨層15中の乾燥状態にあるバインダー接着剤
13が軟化して柔軟性を示し、柔軟なバインダーとなる。
用した湿式研磨中、冷却液に接触した図１に示す研磨シ
ート10の研磨層15中の乾燥状態にあるバインダー接着剤
13が軟化して柔軟性を示し、柔軟なバインダーとなる。
【００２９】使用される研磨粒子14の粒径にはバラツキ
があることから、図１に示すように、研磨層15中に、異
常に突出した研磨粒子14′があり得る。
があることから、図１に示すように、研磨層15中に、異
常に突出した研磨粒子14′があり得る。
【００３０】異常に突出した研磨粒子14′は、被研磨物
20の表面に押し付けられ、被研磨物20、20′と相対的に
移動すると、乾燥状態にあったバインダー接着剤13が冷
却水により柔軟なバインダーとなっていることから、研
磨粒子14′の下方部分が、基板シート11の凹部12に引っ
かかり、基板シート11の凹部12の付近で、柔軟なバイン
ダーの中に押し倒され、押し込まれて、周囲の研磨粒子
の突出量と同程度になり、また、被研磨物20、20′に引
きずられて研磨層15から遊離することない。これによ
り、被研磨物20、20′の表面は、研磨層15の表面にある
研磨粒子14、14′によって均一に押し付けられる。
20の表面に押し付けられ、被研磨物20、20′と相対的に
移動すると、乾燥状態にあったバインダー接着剤13が冷
却水により柔軟なバインダーとなっていることから、研
磨粒子14′の下方部分が、基板シート11の凹部12に引っ
かかり、基板シート11の凹部12の付近で、柔軟なバイン
ダーの中に押し倒され、押し込まれて、周囲の研磨粒子
の突出量と同程度になり、また、被研磨物20、20′に引
きずられて研磨層15から遊離することない。これによ
り、被研磨物20、20′の表面は、研磨層15の表面にある
研磨粒子14、14′によって均一に押し付けられる。
【００３１】
【実施例】［実施例１］ 本発明の研磨シートを製造
し、磁気ハードディスクの表面を研磨した。
し、磁気ハードディスクの表面を研磨した。
【００３２】実施例１の本発明の研磨シートの製造に使
用したバインダー接着剤は、カルボキシメチルセルロー
スナトリウム塩と、親水性ポリエステル樹脂とを6：4の
重量比で混合したものである。このバインダー接着剤
と、研磨粒子と、水とを3：2：95の重量比で混合、撹拌
してスラリーを製造した。研磨粒子には平均粒径3μmの
酸化アルミニウムを使用した。次に、表面部分を削い
で、表面に多数の凹部を形成した厚さ16μmの発泡ウレ
タン製のシートの表面に、上記のスラリーをキスロール
塗工法にて均一に塗布し乾燥させて、本発明の研磨シー
トを製造した。
用したバインダー接着剤は、カルボキシメチルセルロー
スナトリウム塩と、親水性ポリエステル樹脂とを6：4の
重量比で混合したものである。このバインダー接着剤
と、研磨粒子と、水とを3：2：95の重量比で混合、撹拌
してスラリーを製造した。研磨粒子には平均粒径3μmの
酸化アルミニウムを使用した。次に、表面部分を削い
で、表面に多数の凹部を形成した厚さ16μmの発泡ウレ
タン製のシートの表面に、上記のスラリーをキスロール
塗工法にて均一に塗布し乾燥させて、本発明の研磨シー
トを製造した。
【００３３】このようにして製造した研磨シートをテー
プ状に裁断して研磨テープを製作し、図２に示す装置を
使用してNi-Pメッキを施したアルミニウム製の磁気ハー
ドディスクの表面の湿式研磨を行った。
プ状に裁断して研磨テープを製作し、図２に示す装置を
使用してNi-Pメッキを施したアルミニウム製の磁気ハー
ドディスクの表面の湿式研磨を行った。
【００３４】この湿式研磨は、磁気ハードディスクの表
面に研磨テープを押し付けた状態で、研磨テープを走行
させつつ、磁気ハードディスクを回転させ、冷却液を供
給して行った。
面に研磨テープを押し付けた状態で、研磨テープを走行
させつつ、磁気ハードディスクを回転させ、冷却液を供
給して行った。
【００３５】その結果、不要な傷のない均一な磁気ハー
ドディスク表面が得られた。
ドディスク表面が得られた。
【００３６】［実施例２］ 本発明の研磨シートを製造
し、柱状ガラスの端面を研磨した。実施例２の本発明の
研磨シートでは、表面にサンドブラスト（圧縮空気で硬
質結晶粒子を吹き付けて基板シートの表面に多数の凹部
を形成する）にて多数の凹部を形成した厚さ100μmのポ
リエステル製の基板シートを使用した。バインダー接着
剤には、カルボキシメチルセルロースナトリウム塩が使
用され、バインダー接着剤と、研磨粒子と、水とを2：
2：96の重量比で混合、撹拌してスラリーを製造した。
研磨粒子には平均粒径0.005μmの二酸化珪素を使用し
た。次に、このスラリーを上記の基板シートの表面に均
一に塗布し乾燥させて本発明の研磨シートを製造した。
し、柱状ガラスの端面を研磨した。実施例２の本発明の
研磨シートでは、表面にサンドブラスト（圧縮空気で硬
質結晶粒子を吹き付けて基板シートの表面に多数の凹部
を形成する）にて多数の凹部を形成した厚さ100μmのポ
リエステル製の基板シートを使用した。バインダー接着
剤には、カルボキシメチルセルロースナトリウム塩が使
用され、バインダー接着剤と、研磨粒子と、水とを2：
2：96の重量比で混合、撹拌してスラリーを製造した。
研磨粒子には平均粒径0.005μmの二酸化珪素を使用し
た。次に、このスラリーを上記の基板シートの表面に均
一に塗布し乾燥させて本発明の研磨シートを製造した。
【００３７】このようにして製造した研磨シートをディ
スク状に裁断して研磨パッドを製作し、図３に示す装置
を使用して柱状ガラスの端面の湿式研磨を行った。
スク状に裁断して研磨パッドを製作し、図３に示す装置
を使用して柱状ガラスの端面の湿式研磨を行った。
【００３８】この湿式研磨は、回転盤上に貼り付けた研
磨パッドに柱状ガラスの端面を押し付け、回転盤を回転
させつつ、冷却液を供給して行った。
磨パッドに柱状ガラスの端面を押し付け、回転盤を回転
させつつ、冷却液を供給して行った。
【００３９】その結果、柱状ガラスの端面の縁部に縁弛
れを生じることなく不要な傷のない均一なガラス表面が
得られた。
れを生じることなく不要な傷のない均一なガラス表面が
得られた。
【００４０】
【発明の効果】本発明の研磨シートが、以上のように構
成されるので、研磨層中の研磨粒子の粒径にバラツキが
あっても、研磨層中の異常に突出した研磨粒子が柔軟な
バインダーの中に押し倒され、押し込まれることで、研
磨層の表面にある研磨粒子が、遊離することなく、周囲
にある研磨粒子の突出量と同程度となり、研磨層の表面
にある研磨粒子によって被研磨物の表面が均一に押し付
けられるので、被研磨物の表面に不要の傷を付けること
なく精密な研磨を行うことができる、という効果を奏す
る。
成されるので、研磨層中の研磨粒子の粒径にバラツキが
あっても、研磨層中の異常に突出した研磨粒子が柔軟な
バインダーの中に押し倒され、押し込まれることで、研
磨層の表面にある研磨粒子が、遊離することなく、周囲
にある研磨粒子の突出量と同程度となり、研磨層の表面
にある研磨粒子によって被研磨物の表面が均一に押し付
けられるので、被研磨物の表面に不要の傷を付けること
なく精密な研磨を行うことができる、という効果を奏す
る。
【図１】図１は、本発明の研磨シートの断面図である。
【図２】図２は、湿式研磨用の装置の略図である。
【図３】図３は、他の湿式研磨用の装置の略図である。
10 ・・・ 本発明の研磨シート 10′・・・ 研磨テープ 10″・・・ 研磨パッド 11 ・・・ 基板シート 12 ・・・ 凹部 13 ・・・ バインダー接着剤の乾燥物 14 ・・・ 研磨粒子 14′・・・ 比較的粒径の大きい研磨粒子 15 ・・・ 研磨層 20、20′・・・ 被研磨物 30、30′・・・ 湿式研磨用装置 31 ・・・ 冷却液供給用のノズル 32 ・・・ ローラー 33 ・・・ 回転盤 R ・・・ ディスク状被研磨物の回転方向 S ・・・ 回転盤の回転方向 T ・・・ テープ状の研磨シートの走行方向
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−155313（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−203075（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B24D 11/00 B24D 3/28 B24D 3/34
Claims (6)
- 【請求項１】 表面に多数の凹部を有する基板シート
と、研磨粒子とバインダー接着剤とを混合したスラリー
を前記基板シートの前記表面に均一に塗布し乾燥させて
形成した研磨層とから成り、 湿式研磨中、乾燥状態にある前記バインダー接着剤が、
冷却液に接触して軟化し柔軟性を示し、柔軟なバインダ
ーとなり、前記研磨粒子が、前記柔軟なバインダーによ
って保持される、研磨シート。 - 【請求項２】 前記バインダー接着剤が、カルボキシメ
チルセルロースナトリウム塩、親水性アクリル樹脂、親
水性ポリエステル樹脂、又はこれら混合物である、請求
項１に記載の研磨シート。 - 【請求項３】 前記基板シートが、表面に多数の凹部を
形成したプラスチックシート、表面に気泡空隙からなる
多数の凹部を形成した発泡ポリウレタンのシート、又は
表面に多数の凹部を有する不織布のシートである、請求
項１又は２に記載の研磨シート。 - 【請求項４】 表面に多数の凹部を有する基板シートの
前記表面に、研磨粒子とバインダー接着剤とを混合した
スラリーを均一に塗布し乾燥させて研磨層を形成する工
程を含み、 湿式研磨中、乾燥状態にある前記バインダー接着剤が、
冷却液に接触して軟化し柔軟性を示し、柔軟なバインダ
ーとなり、前記研磨粒子が、前記柔軟なバインダーによ
って保持される、研磨シートの製造方法。 - 【請求項５】 前記バインダー接着剤が、カルボキシメ
チルセルロースナトリウム塩、親水性アクリル樹脂、親
水性ポリエステル樹脂、又はこれら混合物である、請求
項４に記載の研磨シートの製造方法。 - 【請求項６】 前記基板シートが、表面に多数の凹部を
形成したプラスチックシート、表面に気泡空隙からなる
多数の凹部を形成した発泡ポリウレタンのシート、又は
表面に多数の凹部を有する不織布のシートである、請求
項４又は５に記載の研磨シートの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16684898A JP2902637B1 (ja) | 1998-06-15 | 1998-06-15 | 研磨シート及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16684898A JP2902637B1 (ja) | 1998-06-15 | 1998-06-15 | 研磨シート及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2902637B1 true JP2902637B1 (ja) | 1999-06-07 |
| JP2000000771A JP2000000771A (ja) | 2000-01-07 |
Family
ID=15838782
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16684898A Expired - Fee Related JP2902637B1 (ja) | 1998-06-15 | 1998-06-15 | 研磨シート及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2902637B1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2537971A (en) * | 2015-03-05 | 2016-11-02 | Zenon Corp | Method of manufacturing an abrasive tool and an abrasive tool for removing keratin |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101000822B1 (ko) * | 2005-03-15 | 2010-12-14 | 에이치티씨 스웨덴 에이비 | 경질의 표면들을 유지하기 위한 방법들과 툴 및 그러한툴의 제조 방법 |
| JP6465676B2 (ja) * | 2015-01-30 | 2019-02-06 | 富士紡ホールディングス株式会社 | 研磨パッド及び研磨パッドの製造方法 |
| JP6465675B2 (ja) * | 2015-01-30 | 2019-02-06 | 富士紡ホールディングス株式会社 | 研磨パッド |
-
1998
- 1998-06-15 JP JP16684898A patent/JP2902637B1/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2537971A (en) * | 2015-03-05 | 2016-11-02 | Zenon Corp | Method of manufacturing an abrasive tool and an abrasive tool for removing keratin |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000000771A (ja) | 2000-01-07 |
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