JPH08243931A

JPH08243931A - 研磨シート及びその製造方法

Info

Publication number: JPH08243931A
Application number: JP7245395A
Authority: JP
Inventors: Nobuyoshi Watanabe; 信義渡辺
Original assignee: Nihon Micro Coating Co Ltd
Current assignee: Nihon Micro Coating Co Ltd
Priority date: 1995-03-07
Filing date: 1995-03-07
Publication date: 1996-09-24

Abstract

(57)【要約】【目的】研磨シートの研磨面の平坦性を向上させ、被
研磨物表面に研磨によって形成される凹凸を減少させ
た、精密な研磨に適した研磨シート及びその製造方法を
提供する。【構成】研磨シートは、研磨材粒子（１）とバインダ
ー接着剤（２）とを混合したスラリー（３）を乾燥させ
た研磨層（３′）をプラスチックシート基板（６）に接
着させて成る研磨シートにおいて、研磨材粒子（１）と
バインダー接着剤（２）とを混合したスラリー（３）を
可剥離部材（４）の表面（４′）に塗布した後にこのス
ラリー（３）を乾燥させて可剥離部材（４）の表面
（４′）に研磨層（３′）を形成し、接着剤（５）を塗
布したプラスチックシート基板（６）を研磨層（３′）
の表面に重ねて接着し、プラスチックシート基板（６）
と共に研磨層（３′）を可剥離部材（４）から剥離させ
ることによって、可剥離部材（４）の表面（４′）に接
していた研磨層（３′）の表面に形成された、可剥離部
材（４）からの剥離面を当該研磨シートの研磨面（９）
とした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、磁気ハードデイス
ク、レンズ、磁気ヘッド等の研磨に使用するための研磨
シート及びその製造方法に関し、特に、精密な仕上げ研
磨に使用するための研磨シート及びその製造方法に関す
る。

【０００２】

【従来技術】従来の研磨シートは一般に、研磨材粒子と
バインダー接着剤とを混合したスラリーをプラスチック
フィルム上にローラやドクターブレードを使用して均一
且つ平坦に塗布した後、スラリーを乾燥させてプラスチ
ックフィルム上に研磨層を形成させて成るものである
（例えば、特公昭５３ー４４７１４号である）。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】このような従来の研磨
シートでは、乾燥前にスラリーの表面をローラやドクタ
ーブレードを使用して平坦に整えたにもかかわらず、シ
ート基板にスラリーを塗布した後の乾燥中にこのスラリ
ーの表面に凹凸を生じ、研磨層表面に突起部分が形成さ
れる。そのため、従来の研磨シートを使用して被研磨物
表面を研磨すると、この凹凸の突起部分が被研磨物表面
に食い込むために精密な仕上げ研磨ができなかった。

【０００４】従来の研磨シートの研磨層表面に凹凸が形
成される理由を、図６も参照して、以下に述べる。図
６は、従来の研磨シートの部分拡大断面図であり、プラ
スチックシート基板６の表面にスラリー３を塗布した後
にスラリー３を乾燥させたところを示し、図６（A）
は、スラリーの塗布直後の従来の研磨シートの部分拡大
断面図であり、図６（B）は、スラリーを乾燥中の従来
の研磨シートの部分拡大断面図である。

【０００５】従来の研磨シートでは、図６（A）に示す
ように、スラリー３の塗布後にその表面をローラーやブ
レードを使用して平坦に整えるので、塗布されたスラリ
ー３の表面は、乾燥工程前は平坦である。

【０００６】しかし、図６（B）に示すように、スラリ
ー３表面付近のバインダー接着剤２から溶剤が蒸発し気
化熱を奪うのでバインダー接着剤２の温度が下がるが、
スラリー３表面付近に比較的大きい研磨材粒子１′があ
ると、この研磨材粒子１′の大きい体積部分にはバイン
ダー接着剤２が少ないので蒸発による温度低下がほとん
どない。

【０００７】つまり、大きい研磨材粒子１′付近にある
バインダー接着剤２の温度は他の部分よりも高温なの
で、大きい研磨材粒子１′のある部分は他の部分よりも
蒸発が一層盛んに行われ、一層速く乾燥する。このた
め、大きい研磨材粒子１′付近のバインダー接着剤の表
面張力が増加し、この表面張力が図６（B）の矢印１３
の方向に働く。

【０００８】そして、バインダー接着剤２の多い部分は
溶剤も比較的多く残留し流動性もあるので、この部分の
スラリーが、大きい研磨材粒子１′付近のバインダー接
着剤２の表面張力が働く方向１３に移動され、大きい研
磨材粒子１′の在る部分にスラリーが引き寄せられて盛
り上がり、突起部分１１を形成し、この突起部分１１の
周囲に谷間１２が形成される。

【０００９】そこで、従来は、研磨材粒子の平均粒径を
厳密に揃えるための努力がなされてきたが、研磨材粒子
の平均粒径を厳密に揃えることができず、粒径にバラツ
キがあった。結果として、従来のように研磨材粒子の
平均粒径を厳密に揃えたり、乾燥前にスラリーの表面を
平坦に整えたにもかかわらず、このスラリーを乾燥させ
てシート基板上に研磨層を形成させたときにはその研磨
面に凹凸又は突起部分を有する研磨シートが製造され
る。

【００１０】このように、従来の研磨シートでは、研磨
面に凹凸又は突起部分が形成されるため、この突起部分
が被研磨物表面に食い込むため被研磨物表面に凹凸を形
成し、精密な仕上げ研磨ができなかった。

【００１１】したがって、本発明の目的は、研磨シート
の研磨面の平坦性を向上させ、被研磨物表面に研磨によ
って形成される凹凸を減少させた、精密な研磨に適した
研磨シート及びその製造方法を提供することである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、研磨材粒子とバインダー接着剤とを混合
したスラリーを乾燥させた研磨層をプラスチックシート
基板に接着させて成る研磨シートにおいて、研磨材粒子
とバインダー接着剤とを混合したスラリーを可剥離部材
の表面に塗布しこのスラリーを乾燥させて可剥離部材の
表面に研磨層を形成した後に、接着剤を塗布したプラス
チックシート基板を研磨層の表面に重ねて接着し、プラ
スチックシート基板と共に研磨層を可剥離部材から剥離
させることによって、可剥離部材の表面に接していた研
磨層の表面に形成された、可剥離部材からの剥離面を当
該研磨シートの研磨面としたことを特徴とする研磨シー
トである。

【００１３】そして、本発明の研磨シートは、研磨材粒
子とバインダー接着剤とを混合したスラリーを可剥離部
材の表面に塗布し、可剥離部材の表面に塗布したスラリ
ーを乾燥させて可剥離部材の表面に研磨層を形成させた
後に、接着剤を塗布したプラスチックシート基板を研磨
層の表面に重ねて接着させ、可剥離部材からプラスチッ
クシート基板と共に研磨層を剥離させて製造される。

【００１４】上記本発明の研磨シート及びその製造方法
において、研磨材粒子には、ダイヤモンド（C）、アル
ミナ（Al₂O₃）、酸化鉄（Fe₂O₃）、カーボランダム（Si
C）、酸化クロム（Cr₂O₃）、若しくは酸化セリウム（Ce
O₂）又はそれらの混合物が使用される。バインダー接
着剤には、ニトロセルロース、アセチルセルロース、ト
リエチルセルロース、ポリビニルアセタール、ポリアク
リル酸エステル、ポリビニルアルコール、ポリ塩化ビニ
ル、エポキシ樹脂、ポリイソブチレン、若しくは天然ゴ
ム又はこれらの混合物が使用される。

【００１５】プラスチックシート基板を研磨層に接着さ
せるための接着剤が、紫外線硬化樹脂接着剤であるとき
は、光開始剤、増感剤を含む、エポキシアクリレート、
ポリエステルアクリレート、ウレタンアクリレート、ジ
エン系アクリレート、若しくはシリコン系アクリレート
又はこれらの混合物が好適である。このような紫外線硬
化樹脂接着剤を均一に塗布したプラスチックシート基板
を研磨層に重ね、紫外線を照射すると、プラスチックシ
ート基板を研磨層に接着することができる。

【００１６】また、プラスチックシート基板を研磨層に
接着させるための接着剤が、熱接着性樹脂であるとき
は、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリ塩化
ビニル樹脂、若しくはナイロン又はこれら混合物が好適
である。このような熱接着性樹脂を均一に塗布したプラ
スチックシート基板を研磨層に重ね、熱ローラ等で加熱
し加圧すると、プラスチックシート基板を研磨層に接着
することができる。

【００１７】プラスチックシート基板を研磨層に接着さ
せるための接着剤として、更に、常温で硬化する、ポリ
エステル樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリ酢酸樹脂、若し
くはポリ塩化ビニル樹脂、又はこれらの混合物を使用す
ることができる。このような接着性樹脂を均一に塗布し
たプラスチックシート基板を研磨層に重ね、ローラ等で
加圧する（又は、熱ローラで加熱し加圧する）と、常温
で、プラスチックシート基板を研磨層に接着することが
できる。

【００１８】プラスチックシート基板は、好適には、ポ
リエステル、ポリプロピレン、ポリエチレン、又はポリ
ウレタンシートである。

【００１９】可剥離部材には研磨層に対して剥離性のよ
い材料を使用することが望ましく、可剥離部材は、テフ
ロン、ポリプロピレン、ガラス、又は鏡面研磨した金属
から成ることが望ましい。

【００２０】また、可剥離部材は、テフロンシート、ポ
リプロピレンシート、又はポリエチレンシートであって
もよい。

【００２１】

【作用】砥粒とバインダー接着剤とを混合したスラリー
を可剥離部材に塗布し、このスラリーを乾燥させて可剥
離部材表面に研磨層を形成させると、研磨層表面には凹
凸が生じるが、可剥離部材の表面に接している研磨層の
表面には、上述のような凹凸を生じることなく、可剥離
部材表面に沿った表面が形成される。

【００２２】可剥離部材として研磨層に対して剥離性の
よい材料を使用することで、接着剤を塗布したプラスチ
ックシート基板を可剥離部材表面に形成された研磨層の
表面に重ねて接着した後、プラスチックシート基板を可
剥離部材から引き離すと、プラスチックシート基板に接
着した研磨層が可剥離部材から容易に剥離され、凹凸の
形成された研磨層の表面はプラスチックシート基板に接
着剤によって接着され、可剥離部材表面に沿った形状の
表面が形成された研磨層が露出する。

【００２３】

【実施例】本発明の研磨シート及びその製造方法につい
て添付図面に従って具体的に説明する。

【００２４】図１は、本発明の研磨シートの製造方法
の、スラリーを可剥離部材の表面に塗布する工程と、可
剥離部材の表面に塗布したスラリーを乾燥させて可剥離
部材の表面に研磨層を形成させる工程とに従って、スラ
リーを可剥離部材の表面に塗布して乾燥させたところを
示す部分拡大断面図であり、図２は、本発明の研磨シー
トの製造方法の、接着剤を塗布したプラスチックシート
基板を研磨層の表面に重ねて接着させる工程に従って、
スラリーを乾燥させて形成した研磨層の表面にプラスチ
ックシート基板を接着させたところを示す部分拡大断面
図である。

【００２５】図１に示すように、本発明の実施におい
て、まず、研磨材粒子１とバインダー接着剤２とを混合
したスラリー３を可剥離部材４の表面４′に塗布し、可
剥離部材４の表面４′に塗布したスラリー３を乾燥させ
て可剥離部材４の表面４′に研磨層３′を形成する。

【００２６】このとき、研磨層３′の表面には上述のよ
うな凹凸（図７の符号１１及び１２を参照）が形成され
るが、可剥離部材４の表面に接している研磨層３′の表
面には、上述のような凹凸が形成されず、可剥離部材４
の表面４′に沿った表面が形成されている。

【００２７】次に、図２に示すように、接着剤５を塗布
したプラスチックシート基板６を凹凸が形成された研磨
層３′の表面に重ねて接着する。

【００２８】次に、本発明の研磨シートの製造方法の、
可剥離部材からプラスチックシート基板と共に研磨層を
剥離させる工程に従って、図３に示すように、可剥離部
材４からプラスチックシート基板６と共に研磨層３′を
剥離する。

【００２９】ここで、可剥離部材４には、研磨層３′に
対して剥離性のよい材料、例えばテフロンを使用するこ
とで、可剥離部材４に接している研磨層３′の表面を損
傷させることなく、可剥離部材４の表面４′に沿った研
磨層３′の表面を露出させることができる。図４は、
上記本発明の研磨シートの製造方法に従って製造された
研磨シートの部分拡大断面図である。

【００３０】上述のように製造された本発明の研磨シー
トは、図４に示すように、研磨材粒子１とバインダー接
着剤２とを混合したスラリー３を乾燥させた研磨層３′
をプラスチックシート基板６に接着剤５で接着させて成
り、可剥離部材４の表面４′に接していた研磨層３′の
表面に形成された可剥離部材４からの剥離面を当該研磨
シートの研磨面９とする。研磨面９は、可剥離部材４の
表面４′に沿った平坦な面となっている。

【００３１】研磨シートの研磨面９に在る研磨材粒子が
バインダー接着剤２により実質的に被覆されているとき
は、表面から研磨材粒子を露出させるために、例えば、
この研磨面９に圧縮空気を利用してメチルケトンとアセ
トンとの混合溶剤を噴霧するか又はこの溶剤を含んだフ
ェルトブラシで研磨面９を軽く払い拭って（米国特許第
４８３５０５２号を参照）、研磨材粒子を被覆している
バインダー接着剤２を除去して、研磨面９′を形成する
（図５を参照）。

【００３２】［実施例１］図７は、本発明の実施例１の
研磨シートを製造するための装置である。

【００３３】図７に示すように、実施例１の研磨シート
はの製造として、まず、矢印Rの方向に回転する円筒状
のテフロン製可剥離部材４aにスラリー３を塗布し、ブ
レードBによってスラリー３の表面を整え、赤外線加熱
器Hによってこのスラリー３を乾燥させて円筒状可剥離
部材４aの表面に研磨層３′を形成した。

【００３４】そして、紫外線硬化樹脂接着剤５aを塗布
した厚さ２０μmのポリエステルシート６を円筒状可剥
離部材４aの表面の研磨層３′にポリエステルシート６
の張力を利用して圧接し、紫外線照射装置２０（例え
ば、水銀灯光源）からの紫外線を照射してポリエステル
シート６を研磨層３′に接着し、ポリエステルシート６
を可剥離部材４aから遠ざける方向（図８の矢印Tの方
向）へと走行させてポリエステルシート６に接着した研
磨層３′を可剥離部材４aの表面から剥離した。

【００３５】ここで、研磨材粒子には平均粒径３μmの
アルミナが使用され、バインダー接着剤にはニトロセル
ロースが使用された。そして、スラリー３は、バインダ
ー接着剤の重量１に対して重量０.５〜１０.０の研磨材
粒子を混合し、分散機により均一に撹拌して製造され、
８０〜５００cpの粘度を有する。

【００３６】ブレードBと可剥離部材４aとの距離は、研
磨層３′の厚さが１０μmとなるように調節された。

【００３７】紫外線硬化樹脂接着剤５aは、表１に示す
組成の薬剤を撹拌して製造される。

【表１】表１薬剤（重量％）ベースレンジ：エポキシアクリレート（60.5％）架橋剤：トリメチロールプロパントリアクレート（10.0％）反応性希釈剤：２-エチルヘキシルアクリレート（15.0％）反応性希釈剤：酢酸ビニル（ 5.0％）光開始剤：ベンゾインエチルエーテル（ 7.0％）接着促進剤：i-オクチルチオグリコレート（ 1.5％）安定剤：Mark 275 （ 1.0％）

【００３８】この接着剤５aは、在来の手段（図示せ
ず）によってポリエステルシート６の表面に均一に塗布
される。この接着剤５aを塗布したポリエステルシート
６を研磨層３′に圧接し、紫外線を照射すると、接着剤
５aが硬化し、ポリエステルシート６が研磨層３′に接
着される。このとき、研磨層３′を可剥離部材４aから
剥離できる程度にポリエステルシート６を研磨層３′に
紫外線硬化樹脂接着剤５aを硬化させればよいので、研
磨層３′をポリエステルシート６に接着させたまま可剥
離部材４aから剥離させた後、紫外線照射手段２３によ
って紫外線を照射して紫外線硬化樹脂接着剤５aを十分
に硬化させた。

【００３９】［実施例２］図８は、本発明の実施例２の
研磨シートを製造するための装置である。

【００４０】図８に示すように、実施例２の研磨シート
の製造として、まず、矢印Rの方向に回転する円筒状の
テフロン製可剥離部材４aにスラリー３を塗布し、ブレ
ードBによってスラリー３の表面を整え、赤外線加熱器H
によってこのスラリー３を乾燥させて円筒状可剥離部材
４aの表面に研磨層３′を形成した。

【００４１】そして、熱接着性樹脂５bを塗布した厚さ
２０μmのポリエステルシート６を円筒状可剥離部材４a
の表面の研磨層３′に熱ローラ２１を利用して加圧し、
同時にこの熱ローラ２１の熱によりポリエステルシート
６を研磨層３′に接着し、ポリエステルシート６を可剥
離部材４aから遠ざける方向（図９の矢印Tの方向）へと
走行させてポリエステルシート６に接着した研磨層３′
を可剥離部材４aの表面から剥離した。

【００４２】ここで、研磨材粒子には平均粒径３μmの
アルミナが使用され、バインダー接着剤にはニトロセル
ロースが使用された。そして、スラリー３は、バインダ
ー接着剤の重量１に対して重量０.５〜１０.０の研磨材
粒子を混合し、分散機により均一に撹拌して製造され、
８０〜５００cpの粘度を有する。

【００４３】ブレードBと可剥離部材４aとの距離は、研
磨層３′の厚さが１０μmとなるように調節された。

【００４４】熱接着性樹脂５bとしては熱接着性ポリエ
チレン樹脂が使用され、この熱接着性樹脂は、在来の手
段（図示せず）によってポリエステルシート６の表面に
均一に塗布される。

【００４５】熱ローラ２１は１００〜１５０℃の範囲に
加熱される。

【００４６】この接着剤５bを塗布したポリエステルシ
ート６を研磨層３′に重ね、熱ローラ２１で加熱し加圧
すると、接着剤５bが硬化し、ポリエステルシート６が
研磨層３′に接着される。このとき、研磨層３′を可剥
離部材４aから剥離できる程度にポリエステルシート６
を研磨層３′に熱接着性樹脂５aを硬化させ、研磨層
３′をポリエステルシート６に接着させたまま可剥離部
材４aから剥離させた後、乾燥手段２４によって熱接着
性樹脂５bを十分に硬化させる。

【００４７】プラスチックシート基板６としてのポリエ
ステルシートは、熱接着性ポリエチレン樹脂５bよりも
耐熱性はあるが、長時間高温にすると軟化し変形してし
まうので、熱ロール２１の温度及びプラスチックシート
基板６への加圧時間を適宜に調節し、プラスチックシー
ト基板６の変形を防ぐ。ここで、テフロン製可剥離部材
４aには、十分な耐熱性がある。

【００４８】［実施例３］図９は、本発明の実施例３の
研磨シートを製造するための装置である。

【００４９】実施例３の研磨シートでは、可剥離部材４
には、バインダー接着剤に対して剥離性のよいシートが
使用され、厚さ１６μmのポリプロピレンシート４bが使
用された。

【００５０】図９に示すように、ポリプロピレンシート
４bをローラ２２に巻き付けるようにしてローラ２２の
回転方向（図１０の矢印Rの方向）に走行させながらポ
リプロピレンシート４bの表面にスラリー３を塗布し、
ブレードBによってスラリー３の表面を整え、赤外線加
熱器Hによってこのスラリー３を乾燥させてローラ２２
と共に回転するポリプロピレンシート４bの表面に研磨
層３′を形成した。

【００５１】そして、接着剤５cを塗布した厚さ１６μm
のポリエステルシート６をポリプロピレンシート４bの
表面の研磨層３′に熱ローラ２１を利用して加圧してポ
リエステルシート６を研磨層３′に接着し、ポリエステ
ルシート６を図１０の矢印Tの方向へと走行させ、図１
０の矢印tの方向へと走行するポリプロピレンシート４b
から遠ざけてポリエステルシート６に接着した研磨層
３′をポリプロピレンシート４bの表面から剥離し、そ
の後、ポリエステルシート６に研磨層３′を確実に接着
させるために乾燥手段２４で十分に乾燥させた。

【００５２】ここで、研磨材粒子には平均粒径１μmの
アルミナが使用され、バインダー接着剤には、ニトロセ
ルロースにその５重量％のエポキシ樹脂をメチルケトン
とアセトンとの混合溶剤中で撹拌して製造したものが使
用された。そして、スラリーは、バインダー接着剤の重
量１に対して重量１.０〜１０.０の研磨材粒子を混合
し、分散機により均一に撹拌して製造され、８０〜５０
０cpの粘度を有する。

【００５３】ブレードBと可剥離部材４bとの距離は、研
磨層３′の厚さが５μmとなるように調節された。

【００５４】接着剤５cにはポリエステル樹脂が使用さ
れ、このポリエステル樹脂は、在来の手段（図示せず）
によってポリエステルシート６の表面に均一に塗布され
常温で接着性を失わない程度に乾燥された。

【００５５】熱ローラ２１は６０〜８０℃の範囲に加熱
される。

【００５６】この接着剤５cを塗布したポリエステルシ
ート６を研磨層３′に重ね、熱ローラ２１で加熱し加圧
すると、接着剤５cが硬化し、ポリエステルシート６が
研磨層３′に接着される。このとき、研磨層３′を可剥
離部材４bから剥離できる程度にポリエステルシート６
を研磨層３′に熱接着性樹脂を硬化させ、研磨層３′を
ポリエステルシート６に接着させたまま可剥離部材４b
から剥離させた後、乾燥手段２４によって熱接着性樹脂
を十分に硬化させる。

【００５７】［比較例］比較例として従来の研磨シート
A及びBを製造し、上記の実施例１、２及び３と比較し
た。比較例で使用される研磨材粒子は、その粒径が揃う
ように、再度にわたって分級された。

【００５８】従来の研磨シートAは、ニトロセルロース
のバインダー接着剤と、平均粒径が３μmのアルミナの
研磨材粒子とを１：１０.０の重量比で分散機で均一に
撹拌して粘度８０〜５００cpのスラリーを製造し、厚さ
２０μmのポリエステルシート基板に、スラリーを１０
μmの厚さに塗布した後に乾燥させて製造され、実施例
１及び２と比較した。

【００５９】従来の研磨シートBは、ニトロセルロース
にその５重量％のエポキシ樹脂をメチルケトンとアセト
ンとの混合溶剤中で撹拌して製造したバインダー接着剤
と、平均粒径が１μmのアルミナの研磨材粒子とを１：
１０.０の重量比で分散機で均一に撹拌して粘度８０〜
５００cpのスラリーを製造し、厚さ１６μmのポリエス
テルシート基板に、スラリーを５μmの厚さに塗布した
後に乾燥させて製造され、実施例３と比較した。

【００６０】実施例１、２及び３と、従来の研磨シート
A及びBとを使用して、磁気ハードデイスク表面を研磨
し、研磨後のハードデイスク表面に形成された凹凸量を
観察した結果、実施例１、２及び３の研磨シートを使用
したときのハードデイスク表面に形成された凹凸距離
（つまり、凹凸の高低差）は、従来の研磨シートを使用
したときの凹凸距離の半分以下であった。

【００６１】

【発明の効果】以上のように本発明が構成されるので、
以下のような効果を奏する。

【００６２】研磨シートの研磨層の表面が可剥離部材か
ら剥離することで形成されることから、本発明の研磨シ
ートの研磨層の表面には、凹凸が生じることなく可剥離
部材表面に沿った表面を形成することができる。したが
って、被研磨物表面を精密に仕上げ研磨することができ
る。

【００６３】また、従来技術では、研磨材粒子の平均粒
径を厳密に揃える必要があったが、本発明に従った研磨
シートでは、研磨材粒子の平均粒径を厳密に揃える必要
がないので、製造コストが削減できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明の研磨シートの製造方法の、ス
ラリーを可剥離部材の表面に塗布する工程と、可剥離部
材の表面に塗布したスラリーを乾燥させて可剥離部材の
表面に研磨層を形成させる工程とに従って、スラリーを
可剥離部材の表面に塗布して乾燥させたところを示す部
分拡大断面図である。

【図２】図２は、本発明の研磨シートの製造方法の、接
着剤を塗布したプラスチックシート基板を研磨層の表面
に重ねて接着させる工程に従って、スラリーを乾燥させ
て形成した研磨層の表面にプラスチックシート基板を接
着させたところを示す部分拡大断面図である。

【図３】図３は、本発明の研磨シートの製造方法の、可
剥離部材からプラスチックシート基板と共に研磨層を剥
離させる工程に従って、プラスチックシート基板と共に
研磨層を可剥離部材から剥離させるところを示す部分拡
大断面図である。

【図４】図４は、本発明の研磨シートの製造方法に従っ
て製造された研磨シートの部分拡大断面図である。

【図５】図５は、本発明の研磨シートの製造方法に従っ
て製造された研磨シートの研磨層表面において、研磨材
粒子を被覆しているときのバインダーを、溶剤を噴霧又
はブラシで払拭って除去し、研磨層表面に研磨材粒子を
露出させたところを示す、研磨シートの部分拡大断面図
である。

【図６】図６は、従来の研磨シートの部分拡大断面図で
あり、プラスチックシート基板の表面にスラリーを塗布
した後にスラリーを乾燥させたところを示し、図６
（A）は、スラリーの塗布直後の従来の研磨シートの部
分拡大断面図であり、図６（B）は、スラリーを乾燥中
の従来の研磨シートの部分拡大断面図である。

【図７】図７は、本発明の研磨シートの実施例１の製造
装置の概念図である。

【図８】図８は、本発明の研磨シートの実施例２の製造
装置の概念図である。

【図９】図９は、本発明の研磨シートの実施例３の製造
装置の概念図である。

【符号の説明】

１．．．研磨材粒子１′．．．比較的大きい研磨材粒子２．．．バインダー接着剤３．．．スラリー３′．．．研磨層４．．．可剥離部材４a ．．．可剥離ローラ４b ．．．可剥離シート４′．．．可剥離部材の表面５．．．接着剤５a ．．．紫外線硬化樹脂接着剤５b、５c ．．．熱接着性樹脂６．．．プラスチックシート基板９、９′．．．研磨面１１．．．突出部１２．．．谷間部１３．．．表面張力による盛り上がり方向２０．．．紫外線照射装置２１．．．熱ローラ２２．．．ローラ２３．．．紫外線照射手段２４．．．乾燥手段 H ．．．赤外線熱加熱器 B ．．．ブレード R ．．．ローラの回転方向 T、t ．．．シートの走行方向

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【手続補正書】

【提出日】平成８年１月１１日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２６

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２６】このとき、研磨層３′の表面には上述の
ような凹凸（図６（Ｂ）の符号１１及び１２を参照）が
形成されるが、可剥離部材４の表面に接している研磨層
３′の表面には、上述のような凹凸が形成されず、可剥
離部材４の表面４′に沿った表面が形成されている。

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３４

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３４】そして、紫外線硬化樹脂接着剤５ａを塗
布した厚さ２０μｍのポリエステルシート６を円筒状可
剥離部材４ａの表面の研磨層３′にポリエステルシート
６の張力を利用して圧接し、紫外線照射装置２０（例え
ば、水銀灯光源）からの紫外線を照射してポリエステル
シート６を研磨層３′に接着し、ポリエステルシート６
を可剥離部材４ａから遠ざける方向（図７の失印Ｔの方
向）へと走行させてポリエステルシート６に接着した研
磨層３′を可剥離部材４ａの表面から剥離した。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００４１

【補正方法】変更

【補正内容】

【００４１】そして、熱接着性樹脂５ｂを塗布した厚
さ２０μｍのポリエステルシート６を円筒状可剥離部材
４ａの表面の研磨層３′に熱ローラ２１を利用して加圧
し、同時にこの熱ローラ２１の熱によりポリエステルシ
ート６を研磨層３′に接着し、ポリエステルシート６を
可剥離部材４ａから遠ざける方向（図８の失印Ｔの方
向）へと走行させてポリエステルシート６に接着した研
磨層３′を可剥離部材４ａの表面から剥離した。

【手続補正４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００５０

【補正方法】変更

【補正内容】

【００５０】図９に示すように、ポリプロピレンシー
ト４ｂをローラ２２に巻き付けるようにしてローラ２２
の回転方向（図^９の失印Ｒの方向）に走行させながらポ
リプロピレンシート４ｂの表面にスラリー３を塗布し、
ブレードＢによってスラリー３の表面を整え、赤外線加
熱器Ｈによってこのスラリー３を乾燥させてローラ２２
と共に回転するポリプロピレンシート４ｂの表面に研磨
層３′を形成した。

【手続補正５】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００５１

【補正方法】変更

【補正内容】

【００５１】そして、接着剤５ｃを塗布した厚さ１６
μｍのポリエステルシート６をポリプロピレンシート４
ｂの表面の研磨層３′に熱ローラ２１を利用して加圧し
てポリエステルシート６を研磨層３′に接着し、ポリエ
ステルシート６を図９の矢印Ｔの方向へと走行させ、図
９の矢印ｔの方向へと走行するポリプロピレンシート４
ｂから遠ざけてポリエステルシート６に接着した研磨層
３′をポリプロピレンシート４ｂの表面から剥離し、そ
の後、ポリエステルシート６に研磨層３′を確実に接着
させるために乾燥手段２４で十分に乾燥させた。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】研磨材粒子とバインダー接着剤とを混合し
たスラリーを乾燥させた研磨層をプラスチックシート基
板に接着させて成る研磨シートにおいて、前記スラリー
を可剥離部材の表面に塗布し乾燥させて前記可剥離部材
の表面に前記研磨層を形成させた後に、接着剤を塗布し
た前記プラスチックシート基板を前記研磨層の表面に重
ねて接着し、前記プラスチックシート基板と共に前記研
磨層を前記可剥離部材から剥離させることによって、前
記可剥離部材の表面に接していた前記研磨層の表面に形
成された、前記可剥離部材からの剥離面を当該研磨シー
トの研磨面としたことを特徴とする、研磨シート。
【請求項２】前記研磨材粒子が、ダイヤモンド（C）、
アルミナ（Al₂O₃）、酸化鉄（Fe₂O₃）、カーボランダム
（SiC）、酸化クロム（Cr₂O₃）、若しくは酸化セリウム
（CeO₂）又はそれらの混合物である、請求項１記載の研
磨シート。
【請求項３】前記バインダー接着剤が、ニトロセルロー
ス、アセチルセルロース、トリエチルセルロース、ポリ
ビニルアセタール、ポリアクリル酸エステル、ポリビニ
ルアルコール、ポリ塩化ビニル、エポキシ樹脂、ポリイ
ソブチレン、若しくは天然ゴム又はこれらの混合物であ
る、請求項１記載の研磨シート。
【請求項４】前記接着剤が、紫外線硬化樹脂接着剤であ
って、光開始剤、増感剤を含む、エポキシアクリレー
ト、ポリエステルアクリレート、ウレタンアクリレー
ト、ジエン系アクリレート、若しくはシリコン系アクリ
レート又はこれらの混合物である、請求項１記載の研磨
シート。
【請求項５】前記接着剤が、熱接着性樹脂であって、ポ
リエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリ塩化ビニル
樹脂、若しくはナイロン又はこれら混合物である、請求
項１記載の研磨シート。
【請求項６】前記接着剤が、常温で硬化する、ポリエス
テル樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリ酢酸樹脂、若しくは
ポリ塩化ビニル樹脂、又はこれらの混合物である、請求
項１記載の研磨シート。
【請求項７】前記プラスチックシート基板が、ポリエス
テル、ポリプロピレン、ポリエチレン、又はポリウレタ
ンシートである、請求項１記載の研磨シート。
【請求項８】前記可剥離部材が、テフロン、ポリプロピ
レン、ガラス、又は鏡面研磨した金属から成る、請求項
１記載の研磨シート。
【請求項９】前記可剥離部材が、テフロンシート、ポリ
プロピレンシート、又はポリエチレンシートである、請
求項１記載の研磨シート。
【請求項１０】研磨材粒子とバインダー接着剤とを混
合したスラリーを乾燥させた研磨層をプラスチックシー
ト基板に接着させて成る研磨シートの製造方法におい
て、前記スラリーを可剥離部材の表面に塗布する工程と、前記可剥離部材の表面に塗布した前記スラリーを乾燥さ
せて前記可剥離部材の表面に研磨層を形成させる工程
と、接着剤を塗布したプラスチックシート基板を前記研磨層
の表面に重ねて接着させる工程と、前記可剥離部材から前記プラスチックシート基板と共に
前記研磨層を剥離させる工程とから成ることを特徴とす
る、研磨シートの製造方法。
【請求項１１】前記研磨材粒子が、ダイヤモンド
（C）、アルミナ（Al₂O₃）、酸化鉄（Fe₂O₃）、カーボ
ランダム（SiC）、酸化クロム（Cr₂O₃）、若しくは酸化
セリウム（CeO₂）又はそれらの混合物である、請求項１
０記載の方法。
【請求項１２】前記バインダー接着剤が、ニトロセルロ
ース、アセチルセルロース、トリエチルセルロース、ポ
リビニルアセタール、ポリアクリル酸エステル、ポリビ
ニルアルコール、ポリ塩化ビニル、エポキシ樹脂、ポリ
イソブチレン、若しくは天然ゴム又はこれらの混合物で
ある、請求項１０記載の方法。
【請求項１３】前記接着剤が、紫外線硬化樹脂接着剤で
あって、光開始剤、増感剤を含む、エポキシアクリレー
ト、ポリエステルアクリレート、ウレタンアクリレー
ト、ジエン系アクリレート、若しくはシリコン系アクリ
レート又はこれらの混合物である、請求項１０記載の方
法。
【請求項１４】前記接着剤が、熱接着性樹脂であって、
ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリ塩化ビニ
ル樹脂、若しくはナイロン又はこれら混合物である、請
求項１０記載の方法。
【請求項１５】前記接着剤が、常温で硬化する、ポリエ
ステル樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリ酢酸樹脂、若しく
はポリ塩化ビニル樹脂、又はこれらの混合物である、請
求項１０記載の方法。
【請求項１６】前記プラスチックシート基板が、ポリエ
ステル、ポリプロピレン、ポリエチレン、又はポリウレ
タンシートである、請求項１０記載の方法。
【請求項１７】前記可剥離部材が、テフロン、ポリプロ
ピレン、ガラス、又は鏡面研磨した金属から成る、請求
項１０記載の方法。
【請求項１８】前記可剥離部材が、テフロンシート、ポ
リプロピレンシート、又はポリエチレンシートである、
請求項１０記載の方法。