JP2019503971A - 非接触被覆ガラス、ならびに関連被覆システムおよび方法 - Google Patents

非接触被覆ガラス、ならびに関連被覆システムおよび方法 Download PDF

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Abstract

被覆ガラス物品、ならびに被覆ガラス物品を形成するためのシステムおよび方法が提供される。このプロセスは、第1の被覆前駆体材料をガラス物品の第1の表面に適用するステップと、気体軸受によりガラス物品を支持するステップと、を含む。このプロセスは、ガラス物品が気体軸受によって支持されながら、加熱中に、第1の前駆体材料からガラス物品の第1の表面上に被覆層が形成されるように、第1の被覆前駆体材料の特性が変化するように、ガラス物品および被覆前駆体材料をガラス物品のガラス転移温度を超える温度に加熱するステップを含む。高温および/または非接触被覆形成により、ガラス内の深い拡散層などの1つ以上の新規の物理的特性、を有する被覆層を形成することができ、ガラスの複数の側上に極めて均一な被覆を形成することができる。

Description

関連出願の相互参照
本出願は、米国特許法第119条の下で、2016年1月26日出願の米国仮出願第62/287,186号の優先権の利益を主張するものであり、この内容に依拠し、かつこの内容は、その全体が本明細書に参照により組み込まれる。
本開示は、概して、被覆ガラス(ガラスセラミックを含む)材料に関し、具体的には、非接触環境下で被覆材料が適用されるか、または被覆がガラス上に形成されるかかる材料に関する。
ガラス材料には、電子機器、表示装置、建物の窓などの建築用途、車両の窓などの自動車用途などを含む用途において多くの利用法がある。多くの用途では、ガラス材料は、低放射率、反射特性、帯電防止特性、耐擦傷性などの所望の機能をガラスに提供する1つ以上の被覆層を表面上に含む場合がある。
本開示の一実施形態は、被覆層をガラスに適用する方法に関する。この方法は、第1の表面および第1の表面の反対側にある第2の表面を有するガラス物品を提供するステップを含む。この方法は、第1の被覆前駆体材料をガラス物品の第1の表面に適用するステップを含む。この方法は、気体軸受によりガラス物品を支持するステップを含む。本方法は、ガラス物品が気体軸受によって支持されながら、ガラス物品および被覆前駆体材料を、ガラス物品のガラス転移温度を超える温度に加熱するステップを含む。加熱中に、第1の被覆層が第1の前駆体材料からガラス物品の第1の表面上に形成されるように、第1の被覆前駆体材料の特性が変化する。
本開示の追加の実施形態は、被覆ガラス物品に関する。被覆ガラス物品は、第1の主面、第1の主面の反対側にある第2の主面、および少なくとも50重量%の二酸化ケイ素からなるガラス材料を含む。被覆ガラス物品は、第1の主面上に位置する第1の被覆層を含み、第1の被覆層は、ガラス物品のガラス材料とは異なる材料から形成されている。第1の被覆層は、第1の被覆層とガラス物品の間の界面からガラス物品の中心に向かって延在する、ガラス物品の材料内に位置する第1の拡散ゾーンを含む。第1の拡散ゾーン内では、ガラス物品内への深さが増加するに従い、第1の被覆層の材料の濃度が減少し、拡散ゾーンが、50nmより深い深さを有する。
本開示の追加の実施形態は、ガラス板を被覆するためのシステムに関する。本システムは、ガラス板に熱を送達する加熱要素を含む加熱ステーションを含み、加熱ステーションは、加熱中に、ガラス板が第1のチャネル内に位置するように、第1のチャネルを画定する。ガラス板は、第1の主面、第2の主面、および第1の主面と第2の主面の間の厚さを含む。本システムは、冷却中に、ガラス板が第2のチャネル内に位置するように、間に第2のチャネルを画定する対向する第1の吸熱体表面および第2の吸熱体表面を含む、冷却ステーションを含む。本システムは、第1のチャネルおよび第2のチャネルに加圧気体を送達し、それにより、加熱中、ガラス板が加熱ステーションの表面に接触せずに気体によって第1のチャネル内に支持され、かつ冷却中、ガラス板が第1の吸熱体表面および第2の吸熱体表面に接触せずに気体によって第2のチャネル内に支持される、気体軸受を含む。本システムは、ガラス板が気体によって支持されながら、ガラス被覆前駆体材料が加圧気体によりガラス板の第1の主面および第2の主面のうちの少なくとも一方に送達されるように、気体軸受と連通しているガラス被覆前駆体材料の供給部を含む。
追加の特徴および利点が、以下の詳細な説明に記載され、それらの説明からある程度は、当業者には容易に明らかとなるか、または記載される説明および本明細書の特許請求の範囲、ならびに添付の図面で説明される実施形態の実施により認識されるであろう。
前述の一般的な説明および以下の詳細な説明は、単に例示的であり、特許請求の範囲の性質および特質を理解するための概要または枠組みを提供することを意図することが理解されよう。
添付の図面は、さらなる理解をもたらすために含められ、本明細書に組み込まれ、かつ本明細書の一部を構成する。図面は、1つ以上の実施形態(複数可)を例示し、説明と一緒になって、様々な実施形態の原理および実質を説明する働きをする。
例示的実施形態による被覆システムの断面図である。 例示的実施形態による被覆ガラス板の部分断面図である。 別の例示的実施形態による被覆システムの断面図である。 別の例示的実施形態による被覆システムの断面図である。 別の例示的実施形態による被覆システムの図である。 別の例示的実施形態による被覆システムの図である。 別の例示的実施形態による被覆システムの図である。 別の例示的実施形態による被覆システムの図である。 別の例示的実施形態による被覆システムの図である。 別の例示的実施形態による被覆システムの図である。 例示的実施形態による被覆ガラス板の部分断面図である。 例示的実施形態による、負荷下の図11の被覆ガラス板の部分断面図である。 例示的実施形態による、被覆され、かつ熱的に焼き戻しされたガラス板の部分断面図である。 例示的実施形態によるガラス物品またはガラスセラミック物品の推定される引張応力に対する厚さのグラフ表示である。 例示的実施形態によるガラス板上に被覆されたSiO粒子のSEM画像である。 例示的実施形態による被覆されたガラス板内へのCu拡散およびCl拡散を示すDSIMSプロットである。 例示的実施形態によるガラス板上に被覆されたBN粒子を示すAFMトポグラフィー画像である。 例示的実施形態によるガラス板上に被覆されたTiO粒子のSEM画像である。 例示的実施形態により被覆されたガラス板内へのTi拡散を示すDSIMSプロットである。 例示的実施形態により被覆されたガラス板内へのZn拡散を示すDSIMSプロットである。
全般的に図を参照すると、被覆ガラス(ガラスセラミックを含む)物品の様々な実施形態、ならびに被覆ガラス物品を形成するためのシステムおよび方法の様々な実施形態が示されている。本明細書で論じられる様々な実施形態では、被覆ガラス物品が、非接触被覆形成システムで少なくとも部分的に形成され、具体的には、ガラス物品の主面に接触せずに、ガラス物品上の被覆が形成され、かつ/または被覆材料が、ガラス物品上に適用される。様々な実施形態では、この非接触被覆形成は、ガラス物品上の被覆が形成され、かつ/または被覆材料がガラス物品に適用されている間、両側気体軸受内でガラス物品を支持するシステムによって提供される。
様々な実施形態では、この非接触被覆形成は、固体への接触に基づく被覆システムまたは固体による支持に基づく被覆システムでは達成することができないと思われる種々の特質を有する被覆層を、ガラス物品に提供することができると考えられる。以下でさらに詳細に説明されるとおり、かかる特性としては、低被覆欠陥率、高ガラス表面平滑性、低被覆厚さ変動などが挙げられる。特定の実施形態では、本明細書で論じられる非接触の気体軸受支持システムにより、ガラス物品の両面に被覆を形成することが可能になるため、極めて均一な被覆をガラス物品の複数の表面(例えば、ガラス板の両主面)上に達成することができると考えられる。これは、被覆中に固体の支持構造体(例えば、ローラ、ベルトなど)によりガラス物品を支持する多くの種類の従来の被覆システムとは対照的であると考えられる。
特定の実施形態では、本明細書で論じられる支持気体軸受構造体は、ガラス物品に熱を送達して、被覆前駆体材料からガラス物品上に被覆を形成する加熱ステーションとして構成される。本明細書で論じられる加熱気体軸受機構により、ガラス物品が気体軸受によって支持されながら、急速に高レベルの熱を被覆されたガラス物品に送達することが可能になる。特定の実施形態では、物品が気体軸受によって支持されながら、これらの高い熱レベルによって、前駆体材料から被覆層を形成するように被覆前駆体材料の特性を変えることにより、被覆層を形成することができる。様々な実施形態では、本明細書で論じられる気体軸受加熱システムで達成される高熱伝達率および高温は、少なくともいくつかの種類の従来の被覆システムより優れた利点をもたらすと考えられる。例えば、本明細書で論じられる加熱気体軸受機構では、多くの薄膜蒸着技法で必要とされる真空状態を必要としない。さらに、加熱軸受機構で達成可能な高温によって、少なくともいくつかの種類の従来の被覆システムと比較して、より揮発性が低い被覆前駆体材料を使用することが可能になり得る。
さらに、特定の実施形態では、本明細書に記載されるシステムおよび方法は、支持気体を気体軸受に供給する気流により、ガラス物品の表面上に被覆前駆体材料を送達するように構成される。かかる実施形態では、被覆前駆体材料が加熱前、または加熱と同時にガラス物品に適用される。さらに、かかる実施形態は、被覆前駆体材料層と(例えば、加熱による形成後の)最終被覆層がどちらも形成中に固体支持構造体に接触しない被覆ガラス物品を提供する。
さらに、特定の実施形態では、本明細書に記載されるシステムおよび方法は、被覆材料の適用および/または被覆形成後、ガラス物品が引き続き気体軸受によって支持されながら、被覆ガラス物品を冷却するように働く気体軸受に基づく冷却ステーションを含む。かかる実施形態では、被覆ガラス物品が固体支持体と接触する前に、ガラス物品および被覆を比較的低い温度(例えば、ガラス物品のガラス転移温度未満、被覆材料の融解温度未満、室温など)に冷却してもよい。
さらに、特定の実施形態では、本明細書に記載されるシステムおよび方法は、被覆材料適用および被覆形成後に、主に被覆ガラスから気体軸受の材料への熱伝導により被覆ガラス物品を冷却するように働く伝導性気体軸受に基づく冷却ステーションを含む。短い間隙距離(例えば、200μm未満、100μm未満、25μm未満)がガラス物品表面の各々と対向する気体軸受表面の各々の間に位置するように、かかる冷却ステーションは、対向する気体軸受表面間の狭い間隙の空気軸受構造によって加熱された被覆ガラス物品を支持する。主に伝導によってガラス物品を冷却することにより、ガラス物品内部の高い温度差が冷却中に生じ、次いでこれが、ガラス物品内部に高レベルの熱的焼き戻しをもたらす。したがって、かかる実施形態では、本開示のシステムおよび方法により、これまで従来の熱的焼き戻しシステムでは達成することができないと考えられていた高レベルの焼き戻しおよび/または高い表面仮想温度を有する非接触被覆ガラス物品を形成することができる。
図1を参照すると、被覆層をガラス物品に適用するためのシステム10および関連方法が示され、説明されている。一般に、システム10は、加熱ゾーン12、移行ゾーン14、および冷却ゾーン16を含む。示される実施形態では、ゾーン12、14、および16は各々、空気軸受18として示されている対向する気体軸受を含む。一般に、空気軸受18は、対向する空気軸受表面24間に画定されている軸受チャネル22内に空気を送達する複数の細孔、すなわち供給チャネル20を含む。供給チャネル20を介して軸受チャネル22に供給される空気は、ガラス物品が軸受表面24と接触しないように、ガラス物品26が軸受チャネル22内に支持されるような十分に早い速度または圧力で供給される。様々な実施形態では、ガラス表面と対向する空気軸受表面の間の空気軸受間隙は、1mm未満、600μm未満、400μm未満、300μm未満、200μm未満などの、システム10内にガラス物品26を支持するようにサイズ決定され得る。様々な実施形態では、システム10を使用して、個々のガラス板を被覆することができ、他の実施形態では、システム10を使用して、例えば、ロールツーロール被覆システムで、長いまたは連続したガラス板を被覆することができる。
空気軸受18は、任意の好適な空気支持システムであってもよい。様々な実施形態では、空気軸受本体は、固体であっても多孔質の形態であってもよい。空気軸受本体に好適な材料としては、アルミニウム、青銅、炭素または黒鉛、ステンレス鋼などが挙げられるが、これらに限定されない。空気軸受本体の寸法は、ガラス板のサイズに対処するのに十分であり、軸受チャネル22内にガラス物品を効率的かつ効果的に支持し、ガラス物品26への熱伝達(加熱または冷却のいずれか)を効率的かつ効果的に可能にするように設計されていることができる。軸受本体が多孔質である場合も、軸受本体は、依然として気体が流れるための追加の開孔もしくは穴を含んでいてもよく、かつ/または流れを提供するための多孔質構造を使用してもよい。
一般に、ガラス物品26は、ガラス物品26の1つ以上の表面に適用された被覆前駆体材料28の1つ以上の層を含む。図1に示される実施形態では、ガラス物品26は、ガラス物品26の反対側にある第1の主面および第2の主面(例えば、図1の配向では上面および下面)の両面上に被覆前駆体材料層28を含む。様々な実施形態では、物品26のうちの一方の表面のみが前駆体材料層28で被覆され、さらに他の実施形態では、外周縁表面(ガラス物品26の上面と下面の間に延在する)が、被覆前駆体材料層28で被覆される。
図1に示される実施形態では、被覆前駆体材料30の供給部が、空気軸受18に加圧空気を送達する空気供給部と連通している。かかる実施形態では、被覆前駆体材料32は、矢印33で表される軸受支持空気によって、供給チャネル20を通って軸受チャネル22内へと移動する。かかる実施形態では、ガラス物品26が加熱ゾーン12内で空気軸受18によって支持されながら、被覆前駆体材料32がガラス物品26に適用されて前駆体被覆層28を形成する。様々な実施形態では、被覆前駆体材料30がガラス物品26の両側に送達されて、物品26の両方の主面に被覆前駆体材料層28を形成するように、被覆前駆体材料30の供給部は、空気軸受18の両側と連通している。様々な実施形態では、被覆前駆体材料32は、本明細書で論じられる被覆前駆体材料および/または被覆反応物質のうちのいずれかであってもよく、様々な粒子、気体、反応性前駆体、結合剤、担体などを含んでいてもよい。
示される実施形態では、加熱ゾーン12は、1つ以上の加熱要素34を含む。加熱要素34は、加熱ゾーン12内の軸受18の軸受本体の固体部分、および/または軸受チャネル22の加熱されるゾーン部分に送達される空気と連通している。特定の実施形態では、加熱要素34は、加熱ゾーン12内の軸受チャネル22に送達される空気を加熱する軸受18の加熱されるゾーン部分内に位置するか、または埋め込まれたカートリッジ加熱要素であってもよい。一般に、加熱要素34は、ガラス物品26が加熱ゾーン12内にある間に加熱されるように、熱を生成する。
様々な実施形態では、加熱要素34は、以下でさらに詳細に論じられる最終ガラス物品に被覆層を形成するように、層28の被覆前駆体材料の1つ以上の物理的特性を変化させるのに十分な熱を生成する。様々な実施形態では、加熱ゾーン12内にある間に変化する層28の被覆前駆体材料の物理的特性には、バルク材料組成の変化(例えば、犠牲担体材料の使い果たし)、化学組成の変化(例えば、酸化、追加の被覆前駆体材料との化学反応、分解、「熱分解」など)、前駆体粒子形状の変化、ガラス物品26の材料内への拡散、ガラス物品26の材料内への拡散プロファイルの変化、物品26の表面に対する位置の変化(例えば、物品26の材料内への粒子の埋め込み)などが含まれ得る。特定の実施形態では、層28の被覆前駆体材料には、有機金属前駆体材料が含まれ、加熱ゾーン12内の熱を使用して、有機金属前駆体を「熱分解」して、被覆層が形成される。さらに他の実施形態では、層28の前駆体材料の被覆は、前駆体材料の再結合および副生成物の生成を含む。
様々な実施形態では、加熱ゾーン12は、(例えば、加熱要素34によって生成されるエネルギーと、加熱ゾーン12内の物品26の滞留時間(例えば、いくつかの実施形態では10から15秒)の組み合わせにより)700℃超かつガラス材料の軟化点未満の温度に、物品26および被覆前駆体層28を加熱するように構成される。他の実施形態では、加熱ゾーン12は、物品26をガラス軟化点を超えて加熱するように構成される。様々な実施形態では、加熱ゾーン12は、物品26および被覆前駆体層28を、物品26の材料のガラス転移温度を超える温度に加熱するように構成される。次いで、いくつかのかかる実施形態では(および以下にさらに詳細に説明される)、加熱された物品26は、冷却ゾーン16で急速に冷却され、表面圧縮応力および中央張力(例えば、ガラス物品を熱的焼き戻しするための)、ならびに/または高表面仮想温度が形成される。
様々な実施形態では、加熱ゾーン12内の加工温度は、ガラスの組成、ガラスの厚さ、ガラスの特性(CTEなど)、被覆反応速度、所望の強化レベル、所望の仮想温度などを含むいくつかの要因によって決まる。いくつかの実施形態では、システム10は、ガラス物品26を、ガラス転移温度とリトルトン軟化点(Littleton softening point)の間の温度、またはいくつかの実施形態では、さらにより高い温度に加熱する。いくつかの実施形態では、システム10は、ガラス物品26を、620℃を超える温度、具体的には約(例えば、±1%)620から約800℃、約640から約770℃、約660から約750℃、約680から約750℃、約690から約740℃、または約690から約730℃の温度に加熱する。SLGに関しては、例えば、システム10は、ガラス物品26を、640℃を超える温度、具体的には約(例えば、±1%)640から約730℃、または約690と約730℃の間の温度に加熱する。いくつかの実施形態では、加熱ゾーン12が物品26の温度を予加熱温度から最終温度(例えば、室温から最終温度ではなく)に上昇させるように、加熱ゾーン12に入る物品26は、予加熱されていてもよい。
いくつかの実施形態では、空気軸受18の高温ゾーン部分と、ガラス物品26の上面および下面の間の間隙31は、約0.05インチ(1.27mm)から0.125インチ(3.175mm)以上と比較的広い場合があり、かかる実施形態では、ガラス物品26は、空気軸受18の高温ゾーンからガラス物品26内への熱放射により加熱される。他の実施形態では、高温ゾーン間隙31は、ガラス物品26の各々の側とも、150マイクロメートルと500マイクロメートルの間もの狭さであってもよい。かかる狭い間隙の加熱ゾーンでは、物品26の加熱は、大幅にまたは主に空気軸受18の本体から物品26への熱伝導により行われ得る。さらに、いくつかの実施形態では、これらの狭い間隙により、軸受がより良好な「剛性」、すなわち、ガラスが軟化状態にある間に、ガラスを中心に集め、したがってガラスを平坦にする能力を有することが可能になるため、これらの間隙は有利であると考えられる。いくつかの実施形態では、本プロセスは、例えば、空気軸受18によって供給される圧力により、最初の加熱ステップで、ガラス板を再成形、すなわちガラスを平坦にし得る。
加熱ゾーン12内での加熱および/または被覆後、加熱されたガラス物品26を、移行ゾーン14を通って、冷却ゾーン16内へと移動させてもよい。図1の実施形態に示すように、対向する軸受表面24間の距離は、加熱ゾーン12における距離が冷却ゾーン16における距離よりも広く、移行ゾーン14内の対向する軸受表面24は、先細形状を有し、加熱ゾーン12内のより広い距離から、D1で示される、冷却ゾーン16におけるより狭い距離への移行をもたらす。いくつかの実施形態では、被覆ガラス物品36が冷却ゾーン16を出た後に、例えば、超疎水性被覆を形成するための低温被覆が適用されるように、追加の低温被覆適用ゾーンが冷却ゾーン16の後に続く。
様々な実施形態では、ガラス物品26を、冷却ゾーン16内にある間に、所望により、被覆ガラス物品36として示される適切なガラス物品または被覆組成物を形成するように、冷却する。特定の実施形態では、冷却ゾーン16内にある間に、ガラス物品26を空気軸受18によって支持しながら、ガラス物品26をガラス物品26の材料のガラス転移温度未満に冷却する。別の実施形態では、冷却ゾーン16内にある間に、ガラス物品26を空気軸受18によって支持しながら、ガラス物品26を室温に冷却する。この冷却が、前駆体被覆物品26から、冷却された被覆ガラス物品36を形成する。
示される特定の実施形態では、冷却ゾーン16は、加熱されたガラス物品26および被覆前駆体層28が実質的に物品26から軸受18への伝導性熱伝達により冷却されて、被覆ガラス物品36を形成するように、構築される。様々な実施形態では、実質的伝導性冷却は、ガラス物品26の外側表面と軸受表面24の間の距離D2が比較的狭くなるように、ガラス物品の厚さに対して軸受チャネル22をサイズ決定することにより達成される。様々な実施形態では、チャネル22は、冷却中に加熱された物品26から出る熱エネルギーの少なくとも20%が間隙D2を渡り、空気軸受18の本体によって受けられるように、具体的には、冷却中に加熱された物品26から出る熱エネルギーの少なくとも50%が間隙D2を渡り、空気軸受18の本体によって受けられるように、サイズ決定される。
特定の実施形態では、D2は、200μm未満、具体的には10μm超かつ200μm未満であり、本出願者は、これらの狭い空気軸受間隙は、比較的少ない空気流量(例えば、対流で冷却するためではなく、ガラス物品26を支持するために選択された流量)と組み合わせたとき、上記の高レベルの伝導性熱伝達をもたらすことを確認した。様々な実施形態では、冷却ゾーン16は、物品26の主面の単位面積あたり450kW/mを超える空気軸受18への熱伝達率を有する。以下にさらに詳述されるように、いくつかのかかる実施形態では、冷却ゾーン16によって提供される急速な伝導性冷却は、最終被覆ガラス物品36内に表面圧縮応力および中央張力を形成することによりガラス物品26を熱的に焼き戻しする。いくつかの実施形態では、空気軸受18の冷却ゾーン16部分を、特に連続システムにおいて早い冷却速度をさらに促進するために、(例えば、軸受本体を通して冷却流体を流すことにより)積極的に冷却する。
様々な実施形態では、システム10および関連プロセスは、2015年7月30日出願の米国特許出願第14/814,232号、2015年7月30日出願の同第14/814,181号、および2015年10月2日出願の米国仮特許出願第62/236,296号に記載されるシステムもしくはプロセスのいずれかであってもよいか、またはシステム構成要素、要素、特徴、もしくはプロセスステップのいずれかが、組み合わされて組み込まれていてもよい。これらの特許のうちの3つすべてが、参照によりその全体が本明細書に組み込まれる。様々な実施形態では、ガラス物品26および/またはガラス物品36は、2015年7月30日出願の米国特許出願第14/814,232号、2015年7月30日出願の同第14/814,181号、および2015年10月2日出願の米国仮特許出願第62/236,296号に記載されるガラス物品もしくは材料のいずれかであってもよいか、またはガラス物品特徴、特質などのいずれかが、組み合わされて組み込まれていてもよい。これらの特許のうちの3つすべてが、参照によりその全体が本明細書に組み込まれる。
様々な実施形態では、本出願者は、加熱ゾーン12などの非接触の空気軸受に基づく加熱ゾーンを利用すると、様々な従来の被覆システムと比較して、広い範囲の被覆材料に、いくつかの有益かつ/または固有のガラス被覆特質および特徴がもたらされると確信している。例えば、真空化学蒸着(CVD)およびスパッタリングなどの様々な真空に基づく被覆技法と比較して、加熱ゾーン12は、被覆形成のために真空条件を必ずしも必要としないため、本明細書で論じられる被覆プロセスは、建物の窓、車両の窓、および大型表示装置に使用される大型ガラス物品などのある特定のガラス物品の被覆に、より効率的で頑強かつ経済的な手法をもたらすと考えられる。さらに、加熱ゾーン12によって送達される高温により、高熱動態がある特定の被覆形成に必要な反応を引き起こすことに依存することによって、極めて反応性かつ揮発性の被覆前駆体材料を利用するいくつかの被覆技法(例えば、常圧CVD被覆プロセス)と比較して、より反応性が低いかまたはより揮発性が低い被覆前駆体材料を利用した被覆形成が可能になる。
さらに、ガラス被覆適用および/または被覆層形成中に高温を利用すると、典型的には、温度が上昇することによりガラス物品が柔らかい間に固体支持体に接触することで引き起こされる、(例えば、高レベルのひずみ、表面粗度の上昇などの)ガラス物品の質の低下が引き起される。本明細書で論じられる非接触被覆プロセスにより、ガラス物品の質のこのような低下を引き起こすことなく、被覆中に高温を利用することが可能になると考えられる。少なくともいくつかの実施形態では、本明細書で論じられる非接触被覆プロセスは、被覆欠陥を低減し、かつピンホール形成の可能性を低減することにより、優れた被覆の質ももたらすと考えられる。本システムおよび方法は、被覆適用および/または形成中、ならびにガラス物品の冷却中に、加熱されたガラス物品を支持するために空気軸受を利用することにより、かかる問題を対処する。さらに、ガラス物品上に被覆層を被覆または形成するための空気軸受に基づく加熱および冷却プロセスを利用すると、CVD技法に典型的なバッチプロセスとは対照的に、連続製造プロセスが可能になる。
さらに、高温被覆適用または形成により、加熱ゾーン12内の高温によってもたらされるガラス物品内への高レベルの拡散を伴って被覆層が形成されることを可能にすることができる。かかる高拡散率は、被覆材料とガラス物品の間に高レベルの結合をもたらし得る。耐磨耗性被覆などのいくつかの適用に関しては、加熱ゾーン12内の高温によって作り出された拡散プロファイルが、被覆層の物理的特性からガラス物品の物理的特性への漸進的移行をもたらすと考えられ、この漸進的移行が、ガラス表面に隣接した被覆拡散がほとんど起こらないかまたは全く起こらない被覆適用よりも、接触応力を均一に分散させると考えられる。
さらに、両側の空気軸受支持により、被覆を1つの加熱/被覆ステップで、同じ条件下で同時にガラス物品の両面に適用および/または形成することが可能になる。このシステムおよびプロセスにより、互いに対して高度に一貫的性があるか、または同一の物理的特性および/または化学特性を有する被覆層を、ガラス物品の両面上に形成することが可能になる。
図2を参照すると、被覆層形成および冷却後の、最終被覆ガラス物品36の詳細な断面図が示される。示される実施形態では、ガラス物品36は、ガラス材料40を含み、被覆層42は、ガラス材料40の両面にある主面上に位置している。被覆層42は、システム10を通る処理に従って被覆前駆体材料28から形成された層であり、いくつかの実施形態では、被覆前駆体材料28または被覆前駆体材料28の一部分が、形成後に被覆層42内に残留する。
様々な実施形態では、被覆層42は、ガラス材料40の主面のすべてまたは実質的にすべてを被覆する、接触している連続被覆層である。被覆層42は各々、概して、単一層状のコンフォーマル被覆として示されているが、各被覆層42は各層に異なる機能を提供する異なる材料の多層を含むことができ、個々の粒子を含むことができ、変造された表面構造を含むことができ、変造された表面化学構造を含むことができ、かつ/またはこれらの層の種類のいずれかのパターン形成したゾーンもしくは領域を含むことができることを理解されたい。いくつかの実施形態では、パターン形成した被覆層42は、ガラス表面の被覆されていない区域、またはガラスの別様に被覆された区域によって中断された1つ以上の被覆ゾーンを含む1つ以上の被覆層であることができる。かかる実施形態では、パターン形成した被覆層42は、ガラスの主面の一部分(例えば、全てより少ない)を被覆する。かかる実施形態では、パターン形成した被覆層42は、ガラス物品の表面全体を完全には被覆しない。いくつかのかかる実施形態では、パターン形成した被覆層42は、被覆機能がガラス表面の特定の区域にのみ提供される様々な用途のための被覆層であることができる。特定の実施形態では、パターン形成した被覆層42は、ガラス物品に沿って異なる屈折率を有するゾーン、および/またはガラス物品の特定の部分の把持を改善するために表面粗度を増加させたゾーンを提供することができる。
ガラス物品36のガラス材料40は、厚さT1を有し、各被覆層42は、厚さT2を有する。様々な実施形態では、T1は、特定の用途に応じて、10μmと15mmの間、具体的には10μmと7mmの間である。特定の実施形態では、ガラス物品36は、6mmの厚さを有するソーダ石灰建築用ガラスである。特定の実施形態では、T1は、極めて薄い厚さであり、かかる実施形態では、システム10によって提供される空気軸受支持および/または伝導性焼き戻しによって、T1が、固体接触に基づく支持システムおよび/または従来の熱的焼き戻しシステムと比較して、特に薄くなることが可能になる。かかる実施形態では、T1は、10μmと2mmの間、より具体的には、100μmと2mmの間である。様々な実施形態では、T2は、特定の被覆用途または被覆材料に基づいても、選択され得る。一般に、T2は、T1の50%未満、T1の10%未満、T1の1%未満、0.001%と10%の間など、T1より小さい。様々な実施形態では、T2は、1nmと1000nmの間である。
ガラス物品36は、ガラス材料40の主面に隣接する拡散ゾーン44を含む。当然のことながら、拡散ゾーン44は、特に加熱ゾーン12内での加熱中に被覆層42の1つ以上の構成成分がガラス材料40内に移動するゾーンである。様々な実施形態では、本出願者は、加熱ゾーン12内が高温であることに起因して、かつ/またはガラス物品26が加熱ゾーン12内で費やす時間量に起因して、拡散ゾーン44は、被覆中にガラスが比較的低温である被覆システムと比較した場合、特に深くてもよいと確信している。さらに、本出願者は、被覆中にガラスが比較的低温である被覆システムと比較した場合、拡散ゾーン44が、被覆材料からガラス材料への漸進的移行のゾーンを提供すると確信している。少なくともいくつかの実施形態では、本出願者は、拡散ゾーン44によってもたらされる深さおよび/または移行が、被覆機能の改善をもたらすと確信している。例えば、本出願者は、本明細書で論じられる拡散ゾーン44は、ガラス内にほとんど拡散しないかまたはまったく拡散しない被覆よりも改善された被覆とガラスの界面をもたらすことができると考え、被覆とガラスの界面の改善が、被覆剥離および/または層間剥離のリスクを減少/排除すると考えられる。
図2に示すように、拡散ゾーン44は、T3と示される深さを有する。様々な実施形態では、T3は、50nm超であり、具体的には、50nm超かつ2μm未満、より具体的には50nm超かつ1.5μm未満である。様々な実施形態では、拡散深さT3は、被覆材料の濃度が、ガラスの表面にある被覆材料の濃度の10%と20%の間、より具体的には、ガラスの表面にある被覆材料の濃度の15%であるガラス内の深さである。当然のことながら、拡散ゾーン44の深さは、加熱ゾーン12の温度、ガラス物品26が加熱ゾーン12内で費やす時間、拡散被覆構成成分の電荷、拡散被覆構成成分のサイズなどを含む様々な要因に左右される。様々な実施形態では、拡散ゾーン44は、X線光電子分光法(XPS)もしくは動的二次イオン質量分析法(DSIMS)などの方法、またはガラス材料内への化学組成の深さプロファイリングを可能にする任意の他の好適な技法を使用して特質を明らかにされ得る。
様々な実施形態では、被覆層の厚さT2および拡散ゾーンの深さT3は、物品36の長さまたは幅に沿って変化し得る。かかる実施形態では、T2およびT3を、物品26が加熱ゾーン12を横切る速度を調節することにより、調節することができる。さらに、拡散ゾーン44の深さおよび/または組成プロファイルを、物品26が加熱ゾーン12を横切るときに異なる時点で温度を変化させることによりさらに調節することができる。物品26の上面または下面に沿った被覆における勾配または変動を、ガラス物品26が加熱ゾーン12を横切る間に、空気軸受18の長さもしくは幅にわたって空間的に気体もしくは前駆体送達組成物を変化させることにより、かつ/または経時的に気体もしくは前駆体送達組成物を変化させることにより、形成することができる。特定の実施形態では、これら3つの寸法すべてが異なる被覆層42および/または拡散層44を、これらの技法を組み合わせることにより形成する。
一般に、拡散ゾーン44が、ガラス材料40の表面と、拡散ゾーン44の最も内側の部分または最も深い部分の間に拡散プロファイルを略画定する。様々な実施形態では、拡散ゾーン44内で、1つ以上の被覆構成成分の濃度は、ガラス材料40内への距離が増加するに従い減少する。いくつかの実施形態では、被覆構成成分の濃度は、ガラス材料40内への距離が増加するに従い、直線的に減少し、別の実施形態では、被覆構成成分の濃度は、ガラス材料40内への距離が増加するに従い、非直線的に減少する。
特定の実施形態では、システム10内で提供される非接触空気軸受支持は、上部被覆層および下部被覆層42の両方の様々な特性が互いに対して高度に一貫性があることを確実にする。特定の実施形態では、この高レベルの一貫性は、(例えば、各ガラス表面を別個の連続したステップで被覆するガラス被覆プロセスとは対照的に)上部被覆層および下部被覆層42の両方の前駆体が加熱ゾーン12内の同じ条件下で同時に適用され、かつ/または同時に形成されたという事実から少なくとも部分的にもたらされる。特定の実施形態では、上部被覆層および下部被覆層42の両方の厚さT2は、互いの10%以内、具体的には、互いの1%以内、より具体的には、互いの0.1%以内である。特定の実施形態では、上部拡散ゾーンおよび下部拡散ゾーン44の両方の厚さT3は、互いの10%以内、具体的には、互いの1%以内、より具体的には、互いの0.1%以内である。
いくつかの実施形態では、被覆強度、被覆一体性、被覆頑丈さ、屈折率、電気板抵抗、光透過率、反射、硬度、弾性率などの他の特性は、上部被覆層および下部被覆層42間で同じであってもよいか、または類似していてもよい(例えば、互いに対して10%、5%、1%、または0.1%以内)。様々な実施形態では、上部被覆層および下部被覆層42の電気抵抗間の差異は、5%未満、より具体的には、3%未満などと低い。様々な実施形態では、上部被覆層および下部被覆層42の光透過率間の差異は、5%未満、より具体的には、3%未満などと低い。様々な実施形態では、上部被覆層および下部被覆層42の反射率間の差異は、5%未満、より具体的には、3%未満などと低い。様々な実施形態では、上部被覆層および下部被覆層42の硬度および/またはヤング弾性率間の差異は、5%未満、より具体的には、3%未満などと低い。
様々な実施形態では、広い範囲の異なる被覆を、システム10を使用して適用および/または形成することができる。様々な実施形態では、前駆体被覆層28の材料を、広い範囲の特性を提供する被覆を形成するように選択してもよい。様々な実施形態では、前駆体被覆層28の材料を、低放射率被覆(例えば、熱管理のために)、帯電防止被覆、防眩性被覆、防眩物(例えば、フッ化物被覆)、反射防止被覆、低摩擦性被覆、抗菌性被覆、ガラスの色合い、耐磨耗性被覆または耐擦傷性被覆、耐水性被覆、水溶性被覆、関連するガラス物品の表面圧縮応力/強度/焼き戻しを上昇させるための被覆などのうちの1つ以上を形成するように選択してもよい。いくつかの実施形態では、接着を上昇させる被覆を、有機または無機基材への積層の目的のために適用してもよい。さらに、本明細書で論じられるように、前駆体被覆層28の材料を、物品の光学的性質を変化させ、物品の表面の手触り、粗さなどの物理的表面特性を変化させ、かつ/または物品の化学的表面特性を変化させる被覆を形成するように選択してもよい。
いくつかの実施形態では、前駆体被覆層28から形成された被覆層を、ガラスの熱膨張率(CTE)とは異なる熱膨張率を有する材料から形成してもよい。被覆のCTEがガラス材料40のCTEよりも高い少なくともいくつかの実施形態では、被覆層は、圧縮下にあり、ガラス材料40は、張力下にある。被覆のCTEがガラス材料40のCTEよりも低い少なくともいくつかの実施形態では、被覆層は、張力下にあり、ガラス材料40は、圧縮下にある。いくつかのかかる実施形態では、上昇したCTEを有する被覆層に圧縮応力を付与すると、熱的焼き戻しまたは化学的焼き戻しに類似したより強い耐損傷性ガラス物品がもたらされる。他の実施形態では、減少したCTEを有する被覆層に引張表面応力に付与すると、緊急解放/アクセスパネル、火災警報器、非常出口、および他の「ここを破る」物品などのある特定の用途に使用することができる弱化ガラス物品をもたらす。いくつかの実施形態では、上述のように、圧縮が被覆層に形成されて、最初の亀裂核形成を防止するように、拡散ゾーンを有する被覆を使用して、より低いCTEを有するようにガラスの表面を変造することができる。
様々な実施形態では、前駆体被覆層28は、無機被覆材料の1つ以上の層であってもよい。様々な実施形態では、前駆体被覆層28は、金属酸化物(酸素の存在下で)、窒化物(窒素の存在下で)、炭化物(アセチレンの存在下で)、硫化物、セレン化物、有機金属材料などを形成するための金属前駆体を含んでもよい。様々な実施形態では、前駆体被覆層28は、SiO、Ag塩(例えば、AgCl)、Cu塩(例えば、CuCl)、Na塩(例えば、NaCl)、BN、TiO、ZnO、MgF、アルミニウムドープZnO、リチウム塩、Cu、Au、Ag、Al、Sn、C、酸化物、窒化物、炭化物、硫化物、セレン化物、フッ化物、酸窒化アルミニウム、TiN、TiSi、有機金属材料、非晶質ケイ素、多晶質ケイ素およびフッ素ドープSnOのうちの1つ以上を含んでもよい。様々な実施形態では、前駆体被覆層28は、溶液中の固体材料(例えば、粒子材料)であっても、被覆材料であってもよい。特定の実施形態では、前駆体被覆層28は、固体塩もしくは固体有機金属材料(例えば、微粒子材料)であってもよいか、または塩もしくは有機金属溶液であってもよい。様々な実施形態では、前駆体被覆層28は、担体または結合剤に担持された1つ以上の前駆体材料を含んでもよい。様々な実施形態では、前駆体被覆層28は、水溶液中の1つ以上の被覆前駆体材料を含んでもよい。いくつかの実施形態では、前駆体被覆層28は、加熱ゾーン12内の加熱条件下で反応して、被覆層を形成する1つ以上の反応性構成成分を含んでもよい。かかる実施形態では、前駆体被覆層28内の複数の反応性構成成分は、反応して、被覆層を形成することができ、かつ/または前駆体被覆層28の反応性構成成分は、加熱ゾーン12内の軸受チャネル22に送達される気体(例えば、酸素、窒素など)と反応することができる。いくつかの実施形態では、前駆体被覆層28を、加熱ゾーン12内の高温を利用して分解される気体の前駆体材料から形成することができる。いくつかの実施形態では、前駆体被覆層28を、溶液および/または気体として適用される有機金属材料から形成することができる。いくつかの実施形態では、前駆体被覆層28は、ガラス物品の周囲に密閉炭素層を形成する炭素材料であり得る。
様々な実施形態では、被覆ガラス物品36のガラス材料40は、異なる用途に応じて任意の好適なガラスまたはガラスセラミック材料であり得る。様々な実施形態では、ガラス材料40は、少なくとも50重量%、より具体的には、少なくとも70重量%の二酸化ケイ素(SiO)を含む任意のガラスであり得る。いくつかの企図される実施形態では、本明細書で論じられるプロセスおよびシステムにより被覆され、かつ/または強化されたガラス(ガラス物品36などの)は、非晶質材料、結晶性材料、またはガラスセラミック材料などのこれらの組み合わせを含み得る。本明細書で論じられるプロセスおよびシステムにより被覆され、かつ/または強化されたガラス(ガラス物品36などの)としては、ソーダ石灰ガラス(SLG)、アルカリアルミノケイ酸ガラス、アルカリ含有ホウケイ酸ガラス、アルカリアルミノリンケイ酸ガラス、アルカリホウ素−アルミニウム−リンケイ酸ガラス、またはアルカリアルミノホウケイ酸ガラスが挙げられ得る。様々な実施形態では、被覆ガラス物品36は、二重窓、モノリシック建築用ガラス、建築用窓ガラス、カバーガラス、カウンター甲板などの建築用表面のためのガラス、構造ガラス、自動車のガラス、表示装置ガラス、蒸着基材、電子基板などを含む多岐にわたる用途に好適である。企図される実施形態では、本明細書で論じられるガラス物品を、モノリシックガラスまたは積層ガラスから形成することができる。企図される実施形態では、本明細書に開示される被覆物品は、窓などのガラスであってもよく、かつ/または1つ以上の湾曲、***、圧痕、うねりなどを有するガラス物品などの平坦な板でなくてもよい。
図3を参照すると、システム10が、別の例示的実施形態に従って示されており、この実施形態では、システム10が冷却後に多構成成分被覆層または多層被覆層を形成するために前駆体被覆材料の多層をガラス物品26上に適用するように構成されている。この実施形態では、システム10は、追加の加熱ゾーン50として示される1つ以上の追加の加熱されるゾーンを含む。この実施形態では、被覆前駆体材料52の第2の供給部は、加圧空気を空気軸受18に送達する空気供給部と連通している。かかる実施形態では、第2の被覆前駆体材料54は、軸受空気と共に追加の加熱ゾーン50内の軸受チャネル22内に移動する。
かかる一実施形態では、第2の被覆前駆体材料54は、第1の被覆前駆体材料32の上に外側層を形成する。いくつかのかかる実施形態では、加熱中に、第1の前駆体材料32から形成される内側部分と、第2の被覆前駆体材料54から形成される外側部分と、を有する多層被覆層42が形成される。他の実施形態では、第1の前駆体材料32は、第1の反応物質であり、第2の前駆体材料54は、第2の反応物質であり、追加の加熱ゾーン50内で加熱されている間にこれらが互いに反応し合って、第1の前駆体材料32と第2の前駆体材料54との反応生成物から形成される被覆層42を形成する。他の実施形態では、多構成成分被覆層または多層被覆は、ガラス物品26が単一の加熱ゾーン内にある間に、異なる被覆材料の流れの時間を調節することにより、形成することができる。
図4を参照すると、システム10が、別の例示的実施形態に従って示されており、この実施形態では、システム10は、ガラス物品26が加熱ゾーン12の中に入る前に、被覆前駆体材料62を適用するように構成された予備被覆ゾーン60を含む。かかる実施形態では、被覆ゾーン60は、空気軸受に基づかない被覆システムであり、このシステムにおいて、被覆前駆体材料62は、加熱ゾーン12に入る前に供給部64からガラス物品26に適用される。被覆ゾーン60は、スピン被覆、噴霧被覆、ミスト被覆、浸漬被覆、エアロゾル型被覆、静電気に基づく被覆、などを含む任意の好適な被覆プロセスを含んでもよい。かかる実施形態では、加熱ゾーン12が、前駆体材料62で被覆された物品26に熱を加え、材料の物理的特性を変化させて、層42などの被覆層を形成してもよい。いくつかの実施形態では、加熱ゾーン12が、上で論じたように被覆前駆体材料32を送達してもよい。かかる一実施形態では、多層被覆42が冷却後に形成されるように、前駆体材料32が、被覆ゾーン60によって適用される前駆体材料62の層上に外側層を形成する。
別のかかる実施形態では、第1の前駆体材料32は、第1の反応物質であり、前駆体材料62は、第2の反応物質であり、追加の加熱ゾーン50内で加熱されている間にこれらが互いに反応し合って、第1の前駆体材料32と第2の前駆体材料62の反応生成物から形成される被覆層42を形成する。
図5を参照すると、システム10を利用して被覆ガラス物品を形成するプロセスの様々な実施形態が示されている。図5(a)では、被覆前のガラス物品26は、加熱ゾーン12に送達され、気相反応物質70および熱は、冷却後に被覆層42がガラス物品26上に形成されるように、加熱ゾーン12に送達される。
図5(b)では、被覆前駆体材料62などの被覆前駆体材料は、ガラス物品26の片面に適用され、もう一方の表面は被覆されないままになる。次いで、物品26は、加熱ゾーン12に送達され、冷却後に単一の被覆層42が被覆ガラス物品36上に形成され、一方で下面は被覆されないままになるように、気相反応物質70および熱が、加熱ゾーン12によって送達される。様々な実施形態では、気相反応物質70は、大気混合物、酸素含有混合物、窒素含有混合物、または他のキャリアガス含有混合物もしくは他の反応性気体含有混合物、あるいはそれらの組み合わせを含む気体混合物で送達されてもよい。
図5(c)では、被覆前駆体材料62などの被覆前駆体材料は、ガラス物品26の上面および下面の両方に適用される。次いで、物品26は、加熱ゾーン12に送達され、冷却後に、被覆層42が被覆ガラス物品36の上面および下面の両方に形成されるように、気相反応物質70および熱が、加熱ゾーン12によって送達される。
図5(d)では、被覆前駆体材料62などの第1の被覆前駆体材料は、ガラス物品26の片面に適用され、前駆体材料72として示されている異なる被覆前駆体材料は、ガラス物品26のもう一方の面に適用される。次いで、物品26は、加熱ゾーン12に送達され、冷却後に被覆層42が前駆体材料62から被覆ガラス物品36の上面上に形成されるように、かつ冷却後に被覆層74が前駆体材料72から被覆ガラス物品36の下面上に形成されるように、気相反応物質70および熱が、加熱ゾーン12によって送達される。この実施形態では、被覆ガラス物品36は、被覆ガラス物品36の上面および下面上に異なる被覆層を含む。
図6を参照すると、被覆ガラス物品を形成するためのプロセスが、例示的実施形態により示されている。この実施形態では、被覆前駆体層28を、ガラス物品26の1つ以上の表面に適用する。被覆前駆体層28を、加熱ゾーン12内の空気軸受によって送達される空気を通して、かつ/または予備被覆プロセスによって、例えば被覆ステーション60によって、のいずれかで適用してもよい。この特定の実施形態では、被覆前駆体層28は、反応物質および犠牲結合剤材料を含む。次いで、ガラス物品26を、システム10を通して処理し、被覆物品36を形成する。この実施形態では、層28の犠牲結合剤構成成分の使い果たしによって被覆前駆体層28の少なくとも組成を変化させ、主に被覆層42を形成する反応物質構成成分を残すことにより、被覆層42を形成する。図6の特定の実施形態では、任意の残留結合剤および/または反応物質を除去するための洗浄またはエッチングステップ76を行い、最終被覆層78を形成する。拡大挿入図に示すように、被覆層42と同様、層78は、被覆物品36のガラス材料40内に拡散ゾーン44を含む。
図7を参照すると、被覆ガラス物品を形成するためのプロセスが、例示的実施形態により示されている。この実施形態では、被覆前駆体層28を、ガラス物品26の1つ以上の表面に適用する。被覆前駆体層28を、加熱ゾーン12内の空気軸受によって送達される空気を通して、かつ/または予備被覆プロセスによって、例えば被覆ステーション60によって、のいずれかで適用してもよい。この特定の実施形態では、被覆前駆体層28は、複数の被覆粒子80を含み、犠牲結合剤材料82によって支持されている。様々な実施形態では、粒子80は、SiO粒子および/またはTiO粒子である。次いで、ガラス物品26を、システム10を通して処理し、被覆物品36を形成する。この実施形態では、加熱ゾーン12内の熱により引き起こされる層28の犠牲結合剤82の使い果たしによって、被覆前駆体層28の少なくとも組成を変化させることにより、被覆層42を形成する。さらにこの実施形態では、加熱ゾーン12内の熱により、粒子80のガラス材料40内への埋め込みまたは融合も引き起こされる。いくつかの実施形態では、埋め込まれる粒子80を、被覆ガラス物品36に所望の被覆機能をもたらす材料から形成する。
他の実施形態では、粒子80を使用して、物品36のガラス部分40の外側表面に表面構造または所望の表面粗度を形成または刻み込み得る。かかる実施形態では、ステップ84で、物品36を洗浄またはエッチングして、ガラス部分40から粒子80を除去する。これにより、粒子80のサイズに基づいてサイズ決定および成形された表面特徴を有する滑らかでない外側表面85を有するガラス物品36が残る。様々な実施形態では、滑らかでない外側表面85は、所望の光学的特性、化学的機能、下流で蒸着される層に結合するための面積の増加などをもたらすことができる。
図8を参照すると、被覆ガラス物品を形成するためのプロセスが、例示的実施形態により示されている。この実施形態では、被覆前駆体層28を、ガラス物品26の1つ以上の表面に適用する。被覆前駆体層28を、加熱ゾーン12内の空気軸受によって送達される空気を通して、かつ/または予備被覆プロセスによって、例えば被覆ステーション60によって、適用してもよい。この特定の実施形態では、被覆前駆体層28は、複数の被覆粒子86を含む。いくつかの実施形態では、被覆粒子86を、結合剤材料を含めずに適用する。次いで、ガラス物品26を、システム10を通して処理し、被覆物品36を形成する。この実施形態では、例えば、加熱ゾーン12内の熱により引き起こされる融解によって被覆前駆体層28の粒子86の少なくとも形状を変化させることにより、被覆層42を形成する。図8に示すように、この融解が、粒子86の変形、組み込み、散らばりなどを引き起こし、成形粒子88が形成される。一実施形態では、成形粒子88が、滑らかでない表面を物品36にもたらす。一実施形態では、粒子88は、物品36に防眩特性をもたらすSiO粒子であってもよい。
一実施形態では、粒子86を、ガラス材料40の融解温度よりも低い融解温度を有するガラス材料から形成する。かかる一実施形態では、粒子86が融解して、成形粒子88がレンズとして働くような形状を形成する。様々な実施形態では、粒子86は、ナノサイズの粒子および/またはミクロサイズの粒子であってもよい。かかる実施形態では、融解した成形粒子88の形状を、所望の粘度、表面エネルギー、および/または表面張力を有する粒子86の材料を選択することにより制御することができる。
図9を参照すると、被覆ガラス物品を形成するためのプロセスが、例示的実施形態により示されている。この実施形態では、被覆前駆体層28を、ガラス物品26の1つ以上の表面に適用する。被覆前駆体層28を、加熱ゾーン12内の空気軸受によって送達される空気を通して、かつ/または予備被覆プロセスによって、例えば被覆ステーション60によって、適用してもよい。この特定の実施形態では、被覆前駆体層28は、被覆材料前駆体の複数の個々の液滴90を含む。示される実施形態では、被覆前駆体液滴90は、犠牲結合剤/インク材料によって担持された複数の被覆粒子92を含む。液滴90で被覆した後に、ガラス物品26を、システム10を通して処理し、被覆物品36を形成する。この実施形態では、加熱ゾーン12内の熱により引き起こされる前駆体液滴90の各々の犠牲結合剤/インク材料の使い果たしによって、被覆前駆体層28の少なくとも組成を変化させることにより、被覆層42を形成する。さらに、いくつかの実施形態では、加熱ゾーン12内の熱により、粒子92の融解または互いとの融合も引き起こされ、被覆ガラス物品36のガラス材料40と結合しているかまたはガラス材料40に埋め込まれた被覆構造体94を形成する。成形粒子88と同様に、構造体94は、レンズとして働くように成形されてもよい。
図10を参照すると、被覆ガラス物品を形成するためのプロセスが、例示的実施形態により示されている。図10は、加熱ゾーン12によりガラス物品上にCVD型被覆を形成するステップを概略的に示している。図10に示すように、加熱ゾーン12内では、反応性被覆前駆体100は、物品26のガラス材料40上に方向付けられる。かかる実施形態では、反応性被覆前駆体は、図1の被覆前駆体32に関して上述されるように、空気軸受空気流により送達されてもよい。加熱ゾーン12内の熱によって引き起こされて、反応性被覆前駆体100が、吸着反応および/または表面反応を起こし、表面に付着した被覆前駆体102が形成される。プロセスが続くにつれて、加熱ゾーン12内の熱によって引き起こされて、膜成長が続き、反応性前駆体100から被覆層42が形成される。いくつかのかかる実施形態では、揮発性副生成物104がプロセス中に放出される。しかしながら、本出願者は、少なくとも一部のCVD型プロセスと比較して、ゾーン12の高熱により、より少ないか、またはより揮発性が低い副生成物104を放出する反応性前駆体から被覆を形成することが可能になると確信している。反応性前駆体100を、不活性(Ar)であってもよいか、または同様に金属酸化物(例えば、酸素含有気体で)もしくは金属窒化物(例えば、窒素で)もしくは金属炭化物(例えばアセチレンで)、または他のもの、およびそれらの組み合わせ(オキシ炭化物、オキシ窒化物など)の形成などの反応性構成成分として機能する異なるキャリアガスを使用して、添加することができる。さらに他の実施形態では、例えば、追加の特性を付与するのに望ましいか、または特性強化(すなわち伝導性)に望ましい量のドーパントレベルを形成するように、様々なドーパントを反応性被覆前駆体100と共に空気軸受空気流により送達する。
図11および12を参照すると、耐擦傷性被覆層を含む被覆ガラス物品36が、例示的実施形態により示されている。この実施形態では、被覆層42を、硬質高弾性率材料(SiOとAlONの交互積層など)から形成する。さらに、この実施形態では、ガラス材料40は、相対的に低い弾性率を有する層42に隣接する表面ガラス層110を有する。硬質被覆を有する一部のガラス物品において、硬質高弾性率被覆42は、ある程度柔軟なガラス層110によって支持されており、荷重または押し込み下では、被覆は、上部の柔軟なガラス層によってもたらされる低レベルの抵抗性のために生じる応力集中が原因で、ひびが入る傾向があり得る。本出願者は、拡散ゾーン44などの本明細書で論じられる拡散ゾーンが、硬質高弾性率被覆42およびより柔軟なガラス層110からのより漸進的移行をもたらす弾性率勾配をもたらし、これが、荷重下での応力分布を改善し、被覆42にひびが入り得る可能性を低減すると確信している。
上で述べたように、いくつかの実施形態では、システム10の冷却ゾーン16は、例えば、実質的に伝導性の冷却により、ガラス物品26を急速に冷却するように構成される。かかる実施形態では、ガラス物品26を急速に冷却すると、物品の表面に高い仮想温度を有する最終被覆ガラス物品36が生じる。いくつかのかかる実施形態では、柔軟なガラス層110は、高仮想温度を有し得、層110内により密度が低いガラスマトリックスが生じ、これが、衝撃下で力がどのように分散されるかを変え得ると本出願者は確信している。さらに、硬質層42と結合したガラス層110の表面における高仮想温度も、被覆層42に生じたひびが界面を超えてガラス材料40内に伝搬する能力を制限し、次いで、これが、ガラス物品が被覆層42のひびによって弱化される可能性を制限すると考えられる。これは、被覆層内のひびがガラス物品内に伝搬し、それによりガラスが弱化されやすい典型的な硬質被覆物品とは対照的である。したがって、本出願者は、冷却ゾーン16によって提供される急速冷却により形成される高仮想温度物品を利用することにより、ガラス強度を犠牲にすることなく、硬質被覆層42を適用することができると確信している。
特定の実施形態では、最終被覆ガラス物品36は、被覆層42と結合している表面において、ガラス材料40のガラス転移温度より少なくとも50℃高い仮想温度を有する。例示的実施形態によれば、ガラス物品36は、例えば、物品36の主面に、またはこの主面の付近に、少なくとも600℃、さらにはいくつかの実施形態では、少なくとも700℃などの少なくとも500℃などの特に高い仮想温度を有する、ガラス物品36の部分を有する。いくつかのかかる実施形態では、ガラス物品36を、ソーダ石灰ガラス(SLG)から形成する。例示的実施形態によれば、ガラス物品36は、例えば、物品36の主面に、またはこの主面の付近に、同じ化学組成の焼きなましガラスと比較して、例えば、少なくとも10℃高い、少なくとも30℃高い、少なくとも50℃高い、少なくとも70℃高い、さらには少なくとも100℃高い、特に高い仮想温度を有するガラス物品36の部分を有する。強化システムにおける加熱ゾーンから冷却ゾーンへの急速な移行、および冷却ゾーン16内での高速冷却に少なくとも部分的に依り、本開示の本発明の技術によって高仮想温度を達成することができる。本出願者は、高仮想温度が、ガラスの耐損傷性の上昇と一致または関係し得ると確信している。表面仮想温度は、示差走査熱量測定法、フーリエ変換赤外分光法、ブリルアン分光法、またはラマン分光法を含む、任意の好適な方法で決定してもよい。
図13および14を参照すると、被覆ガラス物品36が例示的実施形態に従って示されており、この実施形態では、冷却ゾーン16内での冷却は、主に上述の伝達により、高熱伝達率で行う。具体的には、図13は、例示的実施形態による高表面圧縮応力および/または高中央張力を有するガラス材料40の熱強化板の図式部分断面図を示す。
図13に示すように、強化ガラス物品36(例えば、板、はり、プレート)は、第1の主面112、第2の主面114、およびそれらの間に延在する本体117を含む。第2の主面114は、物品36の厚さT1が第1の主面と第2の主面112、114の間の距離として画定されるように、第1の主面112からは、本体117の反対側上にある。当然のことながら、物品36は、厚さT1に対して直角の第1の主面または第2の主面112、114うちの一方の第1の寸法として画定される幅と、厚さT1および幅の両方に対して直角の第1の主面または第2の主面112、114のうちの一方の第2の寸法として画定される長さと、も含む。
例示的実施形態では、ガラス物品36の厚さT1は、ガラス物品36の長さおよび/または幅より小さい。図13に示すように、ガラス物品36は、第1の主面および第2の主面112、114に、かつ/またはそれらの付近に、板の中央部分の恒久的熱誘導中心引張応力の領域120(すなわち、張力)によってバランスが取られている恒久的熱誘導圧縮応力の領域116および118をさらに有する。
システム10および関連プロセスを使用して、多岐にわたる厚さ範囲を有するガラス板または物品を被覆および強化することができる。様々な実施形態では、ガラス物品36の厚さT1は、終了点の値に加えて、0.2mm、0.28mm、0.4mm、0.5mm、0.55mm、0.7mm、1mm、1.1mm、1.5mm、1.8mm、2mm、および3.2mmを含む0.1mmから5.7または6.0mmの範囲にわたる。企図される実施形態には、0.1から20mm、0.1から16mm、0.1から12mm、0.1から8mm、0.1から6mm、0.1から4mm、0.1から3mm、0.1から2mm、0.1から2mm未満、0.1から1.5mm、0.1から1mm、0.1から0.7mm、0.1から0.5mm、および0.1から0.3mmの範囲の厚さT1を有する熱強化ガラス物品36が含まれる。
いくつかの実施形態では、厚さが3mm以下のガラス板を使用する。いくつかの実施形態では、ガラス厚さは、約(例えば、±1%)8mm以下、約6mm以下、約3mm以下、約2.5mm以下、約2mm以下、約1.8mm以下、約1.6mm以下、約1.4mm以下、約1.2mm以下、約1mm以下、約0.8mm以下、約0.7mm以下、約0.6mm以下、約0.5mm以下、約0.4mm以下、約0.3mm以下、または約0.28mm以下である。様々な実施形態では、ガラス物品36は、2.5cm以下、1cm以下、5mm以下、2.5mm以下、2mm以下、1.7mm以下、1.5mm以下、1.2mm以下、さらには企図される実施形態では、0.8mm以下などの1mm以下などの、5cmより薄い厚さT1を有し、かつ/または厚さT1は、少なくとも50μm、少なくとも100μm、少なくとも300μmなどの少なくとも10μmである。
いくつかの実施形態では、熱強化ガラス板は、高いアスペクト比を有し、すなわち、長さおよび幅と厚さの比率が大きい。本明細書で論じられる熱的焼き戻しプロセスは高圧力または大量の空気に依存しないため、表面粗度および平坦度などの様々なガラス板特性を、本明細書で論じられる気体軸受および高熱伝達率システムを使用することにより、焼き戻し後も維持することができる。同様に、本明細書で論じられる熱的焼き戻しプロセスにより、所望の形状または必要な形状を保持しながら、高いアスペクト比のガラス板(すなわち、長さと厚さとの比率が高いか、または幅と厚さとの比率が高いか、それらの両方であるガラス板)を熱強化することが可能になる。具体的には、およそ少なくとも10:1、少なくとも20:1、ならびに最大1000:1および1000:1より大きい長さと厚さとの比率および/または幅と厚さとの比率(「アスペクト比」)を有する板を、強化することができる。企図される実施形態では、少なくとも200:1、少なくとも500:1、少なくとも1000:1、少なくとも2000:1、少なくとも4000:1のアスペクト比を有する板を、強化することができる。例示的実施形態によれば、強化ガラス物品36の長さは、幅の2倍超、幅5倍超、および/または幅の50倍以下などの幅以上である。いくつかのかかる実施形態では、強化ガラス物品36の幅は、厚さT1の2倍超、厚さT1の5倍超、および/または厚さT1の50倍以下などの厚さT1以上である。
いくつかの実施形態では、建物の窓、自動車の窓、表示装置などのガラスでは、ガラス物品36の長さは、少なくとも3cm、少なくとも5cm、少なくとも7.5cm、少なくとも20cm、少なくとも50cmなどの少なくとも1cmであり、かつ/または10m以下、7.5m以下、5m以下などの50m以下である。いくつかのかかる実施形態では、ガラス物品36の幅は、少なくとも3cm、少なくとも5cm、少なくとも7.5cm、少なくとも20cm、少なくとも50cmなどの少なくとも1cm、かつ/または10m以下、7.5m以下、5m以下などの50m以下である。
いくつかの実施形態では、ガラス物品36の第1の表面または第2の表面112、114のうちの少なくとも一方が、相対的に大きい表面積を有する。様々な実施形態では、第1の表面および/または第2の表面112、114が、少なくとも900mm、少なくとも2500mm、少なくとも5000mm、少なくとも100cm、少なくとも900cm、少なくとも2500cm、少なくとも5000cmなどの少なくとも100mm、および/または100m以下、5000cm以下、2500cm以下、1000cm以下、500cm以下、100cm以下などの2500m以下の面積を有する。したがって、ガラス物品36は、比較的大きい表面積を有することができ、ガラス物品36は、本明細書で論じられる伝導性熱的焼き戻しによらない限り、特に、本明細書で論じられるガラス板の厚さ、表面の質、および/またはひずみ均一性を有しながら、熱強化するのは困難であるか、または不可能であり得る。さらに、本明細書に開示される方法およびシステムによらない限り、イオン交換またはガラスの種類の変更に頼らずに応力プロファイル、特に応力プロファイルの負の引張応力部分(図14を全般的に参照)を達成するのは困難であるか、または不可能であり得る。
上で述べたように、システム10の非接触的性質により、少なくとも一部の他の高温の接触に基づく被覆システムと比較して、高レベルの平坦度を有する表面を有するガラス物品が生成される。様々な実施形態では、本明細書で論じられる被覆システムは、移送、加熱、および被覆形成中にガラス材料を支持するように制御された気体軸受を利用し、いくつかの実施形態では、この被覆システムは、特に、薄く、かつ/または高度に強化されたガラス板に関して、ガラス板または被覆を制御および/または改善する上で補助し、これまで入手可能であったものよりも高い平坦度をもたらすために使用することができる。本明細書で具現化される被覆され、かつ/または熱強化されたガラス板の平坦度は、ガラス板の第1の表面または第2の表面のうちの一方に沿った任意の50mmの長さに沿って100μm以下の総指示器振れ(TIR)、第1の表面または第2の表面のうちの一方上の50mmの長さ以内で300μmTIR以下、第1の表面または第2の表面のうちの一方上の50mmの長さ以内で、200μmTIR以下、100μmTIR以下、または70μmTIR以下を含み得る。例示的実施形態では、平坦度は、ガラス板の任意の50mm以下の輪郭に沿って測定される。企図される実施形態では、本明細書に開示される厚さを有する板は、第1の表面または第2の表面のうちの一方上の20mmの長さ以内で、100μmTIR以下の平坦度、70μmTIR以下の平坦度、50μmTIR以下の平坦度などの、200μmTIR以下の平坦度を有する。
上で述べたように、本明細書で論じられる熱強化ガラス板は、例えば、図13に示される領域116、118に驚くほど高い表面圧縮応力、例えば、図13に示される領域120に驚くほど高い中心引張応力、および/または独特な応力プロファイル(図14参照)を有することができる。本明細書で論じられるガラス物品36の薄い厚さおよび/または他の独特な物理的特性(例えば、極めて低い粗面度、高平坦度、様々な光学的特性、仮想温度特性など)を考えれば、これは特に正当である。
本明細書に開示される伝導性焼き戻しプロセスおよびシステムによって形成されたガラスの圧縮応力(例えば、図13に示される領域116、118における)は、ガラスの厚さT1に応じて変化し得る。様々な実施形態では、3mm以下の厚さを有するガラス、例えば、ガラス物品36は、少なくとも80MPa、少なくとも100MPa、少なくとも150MPa、少なくとも200MPa、少なくとも250MPa、少なくとも300MPa、少なくとも350MPa、少なくとも400MPa、および/または1GPa以下の圧縮応力(例えば、表面圧縮応力)を有する。企図される実施形態では、2mm以下の厚さを有するガラスは、少なくとも80MPa、少なくとも100MPa、少なくとも150MPa、少なくとも175MPa、少なくとも200MPa、少なくとも250MPa、少なくとも300MPa、少なくとも350MPa、少なくとも400MPa、および/または1GPa以下の圧縮応力を有する。企図される実施形態では、1.5mm以下の厚さを有するガラスは、少なくとも80MPa、少なくとも100MPa、少なくとも150MPa、少なくとも175MPa、少なくとも200MPa、少なくとも250MPa、少なくとも300MPa、少なくとも350MPa、および/または1GPa以下の圧縮応力を有する。企図される実施形態では、1mm以下の厚さを有するガラスは、少なくとも80MPa、少なくとも100MPa、少なくとも150MPa、少なくとも175MPa、少なくとも200MPa、少なくとも250MPa、少なくとも300MPa、および/または1GPa以下の圧縮応力を有する。企図される実施形態では、0.5mm以下の厚さを有するガラスは、少なくとも50MPa、少なくとも80MPa、少なくとも100MPa、少なくとも150MPa、少なくとも175MPa、少なくとも200MPa、少なくとも250MPa、および/または1GPa以下の圧縮応力を有する。
いくつかの実施形態では、本明細書に開示されるプロセスおよびシステムによって形成されたガラスの熱誘導中央張力(例えば、図14に示される領域120における)は、40MPa超、50MPa超、75MPa超、100MPa超であり得る。他の実施形態では、熱誘導中央張力は、300MPa未満、または400MPa未満であり得る。いくつかの実施形態では、熱誘導中央張力は、約50MPaから約300MPa、約60MPaから約200MPa、約70MPaから約150MPa、または約80MPaから約140MPaであり得る。いくつかの実施形態では、熱強化ガラス板は、高い薄さを有し、すなわち、特に薄い。本明細書で論じられるシステムおよび方法により極めて高い熱伝達率を適用することができるため、大きな熱的効果、例えば少なくとも10、さらには少なくとも20MPaの中央張力が、0.3mm未満の厚さのソーダ石灰ガラス板に生じる場合がある。実際、少なくとも0.1mmもの薄さの板などの極めて薄い板を、熱強化することができる。
図14を参照すると、25℃の室温および標準気圧での図13の強化ガラス物品36の概念的応力プロファイル122が、正の引張応力下にある強化ガラス物品36の内部120と、負の引張応力(例えば、正の圧縮応力)下にある内部120の外側かつ内部120に接している強化ガラス物品36の部分116、118とを示している。本出願者は、負の引張応力が、少なくとも部分的には、強化ガラス物品36を通るひびが入り、かつ/または伝搬するのを制限することにより、強化ガラス物品36を強固にすると確信している。
本明細書に開示される強化ガラス物品36の比較的大きい表面積および/または薄い厚さを所与として、応力プロファイル122における引張応力は、内部120の正の引張応力と、内部120の外にあり、かつ内部120と隣接した部分116、118の負の引張応力の間で急激に移行している。この急激な移行は、引張応力の移行率(すなわち、傾斜)として理解することができ、この移行率は、応力の大きさ(例えば、100MPa、200MPa、250MPa、300MPa、400MPa;正の引張応力+σのピーク値と負の引張応力−σのピーク値の差)を、500μm、250μm、100μmの距離などの、1mmの距離などの、変化が起こる厚さの距離(この距離は、物品の厚さ部分であってもよいが、必ずしも物品の形状の寸法でなくてもよい、変化率を定量化するために使用される距離である)で除したものと表現され得る。いくつかのかかる実施形態では、引張応力の変化率は、5000MPa以下を1mmで除したものなどの7000MPaを1mmで除したもの以下である。企図される実施形態では、正の引張応力のピーク値と負の引張応力のピーク値の差は、少なくとも100MPa、少なくとも150MPa、少なくとも200MPa、少なくとも250MPa、少なくとも300MPa、少なくとも400MPa、少なくとも500MPa、および/または50GPa以下などの少なくとも50MPaである。企図される実施形態では、ガラス物品36は、少なくとも100MPa、少なくとも150MPa、少なくとも200MPa、少なくとも250MPa、少なくとも300MPa、少なくとも400MPa、少なくとも500MPaなどの、大きさが少なくとも50MPaのピーク負引張応力を有する。本明細書で論じられるシステムおよび方法で生じる急勾配引張曲線移行は、所与の厚さに関しては、ガラス板表面においてより大きい負の引張応力を達成することができ、かつ/または本明細書に開示されるように、例えば、ダイシングの断片化潜在能力を達成するためにより薄いガラス物品をより高い負の引張応力度へと製造することができることを示していると考えられる。従来の熱的焼き戻し手法を使用して、かかる急勾配の引張応力曲線を達成することはできない場合がある。
例示的実施形態によれば、引張応力の高変化率は、応力プロファイル122の厚さ方向の伸びにわたって維持される上述の大きさのうちの少なくとも1つまたはそれら以上であり、この伸びは、ガラス物品36の厚さの少なくとも5%、厚さの少なくとも10%、厚さの少なくとも15%、または厚さの少なくとも25%などの厚さの少なくとも2%である。企図される実施形態では、強化は、引張応力の高変化率を有する厚さ方向の伸びが第1の表面から厚さ内部への20%と80%の間の深さに集中するように、強化ガラス物品36内部深くにまでわたり、これが、例えば、化学的焼き戻しとさらに区別し得る。
少なくともいくつかの企図される実施形態では、強化ガラス物品36は、図14に点線126で概念的に示されている、イオン含有量に関する強化ガラス物品36の組成の変化を含む。より具体的には、かかる実施形態では、強化ガラス物品36の組成は、応力プロファイル122に影響を与える交換イオンまたは注入イオンを含む。いくつかのかかる実施形態では、負の引張応力も本明細書に開示される熱的焼き戻しの結果であるため、交換イオンまたは注入イオンは、負の引張応力下では強化ガラス物品36の部分116、118を通って完全に広がらない。
したがって、イオン交換強度増大での引張応力プロファイル122の曲線は、曲線の接線が断絶すなわち急激な変化124の左右で互いに異なる、断絶すなわち方向の急激な変化124を含む。負の引張応力下では、急激な変化124は、引張応力が断絶または急激な変化124のすぐ隣のいずれかの側で負になるように、部分116、118内に位置する。断絶または急激な変化124は、異なるイオン含有量の深さに対応し得るが、いくつかのかかる実施形態では、負の引張応力下での部分116、118の他の部分は、イオン含有量に関して、正の引張応力下での部分120と同じ組成を依然として有する。
少なくともいくつかの強化ガラス物品36に関しては、イオン交換またはイオン注入の有無に関わらず、負の引張応力下にあり、かつ内部120の外側かつ内部120に隣接する、強化ガラス物品36の部分116、118の少なくとも一部の組成は、正の引張応力下にある内部120の少なくとも一部の組成と同じである。かかる実施形態では、応力プロファイルの負の引張応力の少なくとも一部は、強化ガラス物品36の組成(例えば、イオン組成)の変化に左右されない。かかる構造により、化学焼き戻しなしで、かつ/またはより少ない化学焼き戻しを用いて充分な強度をもたらすことにより、少なくともある程度は強化ガラス物品36の組成を単純化することができる。特定の実施形態では、ガラス材料40の組成にばらつきが生じないように(被覆拡散ゾーン44の少なくとも内部)、ガラス物品は、化学的に焼き戻しされない。
具体的な被覆実施例
SiOナノ粒子
様々な実施形態では、被覆層42を、SiO微粒子および/またはナノ粒子から形成することができる。一試験では、脱イオン水を使用して30重量%から5重量%に希釈した、Nissan Chemicalsから入手可能なSnowtexSiO粒子の溶液を、Coring Gorilla(登録商標)ガラス板上にスピン被覆する(5秒で0から500rpm(8.3sec−1)にし、10秒間500rpm(8.3sec−1)で維持し、5秒で500(8.3sec−1)から1000rpm(16.7sec−1)にし、30秒間1000rpm(16.7sec−1)で維持する)ことにより、試料を調製した。試料を、使用前にオーブンで乾燥させた。3つの試料を、システム10などの非接触加熱/冷却システムを通過させ、具体的には、加熱ゾーン12などの非接触加熱ゾーン内で10、20または30秒間、820℃で加熱した。試料をSEMで分析する前に洗浄した(Crestline)。図15は、30秒試料のSEM画像を示す。図15に見ることができるように、SiO粒子130は、ガラス材料40の表面と融合し、ガラス材料40内に埋め込まれている。特定の実施形態では、SiO粒子130は、防眩性被覆としても機能することができる。
銀塩および/または銅塩
様々な実施形態では、被覆層42を、ガラス材料内に融合するAg塩またはCu塩溶液などの金属イオン溶液から形成することができる。いくつかの実施形態では、これは、抗菌表面を形成することができ、さらに他の実施形態では、被覆が、被覆ガラスにわずかな着色色合いを加えることができる。一試験では、塩化銅(I)(0.5重量%)を、PVP結合剤(ポリビニルピロリドン、CuClに対して5重量%)を使用して、水溶液中に分散させた。この分散液を、スピン被覆によってCoring「Gorilla」ガラス板上に被覆した。3つの試料を、システム10などの非接触加熱/冷却システムを通過させ、具体的には、加熱ゾーン12などの非接触加熱ゾーン内で10、20または30秒間、820℃で加熱した。試料を、DSIMSを用いて分析する前に洗浄した(Crestline)。試料の拡散プロファイルを、高レベルの銅塩沈殿物が検出されたガラスの領域、および低レベルの銅塩沈殿物が検出された領域でDSIMSを使用して分析した。図16は、試料のDSIMS分析を示し、10秒間加熱した試料においては、沈殿物領域内のおよそ800nmの深さ、および30秒間加熱した試料においては、沈殿物領域内のおよそ1400nmの深さにCu(I)が実質的に拡散していることを示す。Cu(II)SO溶液を使用した同じ試験手順下では、Cu(II)の拡散率がより低いことを見出した。
BN被覆
様々な実施形態では、被覆層42を、BN予備被覆またはBN粒子被覆から形成することができる。様々な実施形態では、加熱後に、Bがガラス内に拡散することにより、Bが可溶性になり、さらに、残りのBNを加熱後にすすぐと、滑らかでない表面が残り得る。一試験では、BNを缶のBN源から噴霧してもよく、被覆ガラスを、システム10などの非接触加熱/冷却システムを通し、具体的には、加熱ゾーン12などの非接触加熱ゾーン内で10から15秒の間、670から700℃の温度で加熱した。図17は、およそ50nmの高さを有するBN粒子ピーク132を示す、洗浄後のガラスのトポグラフィを示す原子間力顕微鏡検査(AFM)の画像を示し、くぼみ134は、およそ50nmの深さを有するBN粒子を除去したことにより形成されたと考えられる。これは、約2.5nmの最大ピークおよび約2.5nmの最小くぼみを有する被覆されていないガラスとは対照的である。特定の実施形態では、図17に示されるBN微粒子被覆は、防眩性被覆として機能することができる。
TiO ZnOおよび/またはAZO被覆
様々な実施形態では、被覆層42を、TiO、ZnOおよび/またはアルミニウムドープZO(AZO)材料から形成することができる。特定の実施形態では、TiOを、結合剤材料を使用して適用し、AZOを、スパッタ被覆する。かかる実施形態では、粒子は、加熱ゾーン12内で加熱中に、表面内に沈み、かつ/またはガラス材料内に拡散する。一試験では、5%のTiOを、Coring「Gorilla」ガラス板に適用した。試料を、システム10などの非接触加熱/冷却システムを通し、具体的には、加熱ゾーン12などの非接触加熱ゾーン内で20秒間、820℃で加熱した。図18は、試料のSEM画像を示す。図18に見ることができるように、TiO粒子136は、ガラス材料40の表面と融合し、ガラス材料40内に埋め込まれている。
図19は、試料のDSIMS分析を示し、試料におけるおよそ150nmの深さにTiが実質的に拡散していることを示す。図19の他のプロット、Na、Mg、Al、K、Ca、およびSiプロットは、Ti拡散ゾーンの外側では、実質的に一定の濃度を示すガラス材料の構成成分である。特定の実施形態では、Ti拡散ゾーンを使用して、ガラス強度を向上させることができ、かかる実施形態では、Ti被覆は、冷却後のガラス材料の表面圧縮を上昇させると考えられる。
別の試験では、Coring「Gorilla」ガラス板を、1%のアルミニウムドーピングでAZO−Zinc酸化物をスパッタ被覆した。試料を、システム10などの非接触加熱/冷却システムを通し、具体的には、加熱ゾーン12などの非接触加熱ゾーン内で20秒間、820℃で加熱した。AZO被覆を、5から10%の酢酸水溶液を使用してエッチングした。図20は、試料のDSIMS分析を示し、試料中のおよそ100nmの深さにZnが実質的に拡散していることを示し、図20の他のプロットO、Na、H、Si、およびAlプロットは、Zn拡散ゾーンの外側で実質的に一定の濃度を示すガラス材料の構成成分である。
リチウム塩
様々な実施形態では、本明細書で論じられるシステムおよびプロセスにより、加熱ゾーン12内でひずみ点を超えてガラス物品を加熱することに起因して、ガラス材料内にリチウムイオンが拡散することが可能になる。このプロセスにより、標準的な被覆技法に典型的に関連するひびまたは損傷を引き起こさずに、Liイオンがガラス内に拡散することが可能になると考えられる。いくつかの実施形態では、リチウムイオン被覆および/または拡散ゾーンは、ガラス内への水の拡散に対する障壁を付与し、ガラスを化学的により安定させる。いくつかの実施形態では、このプロセスは、高表面圧縮応力(例えば、ガラス焼き戻しで通常使用されるカリウムイオン交換よりも高い)を生じさせるLiイオン交換ももたらす。一例としては、これがナトリウムガラスに対して行われていた場合、今では、表面交換の一部は、より高い圧縮応力をもたらすLi−Kになっていたであろう。
低放射率および太陽光制御被覆
本明細書で論じられるように、層42などの被覆層は、多岐にわたる低放射率被覆であってもよい。一実施形態では、低放射率被覆は、SnOの第1の層と、SiOの第2の層と、フッ素ドープSnO層を有する多層被覆である。特定の実施形態では、低放射率被覆層42は、SnOの25nmの層、SiOの25nmの層、および約(例えば、±1%)0.5μmの厚さを有する1%FドープSnOの層を含む。かかる実施形態では、第1の2つの25nm層は、フッ素ドープ酸化スズ層を表面から変位させることにより、フッ素ドープ酸化スズ層の真珠光を最小化するように働く。さらに、SnO被覆は、耐磨耗性も提供することができ、容器のホットエンド被覆として使用することができる。
他の実施形態では、本明細書で論じられる被覆層は、参照によりその全体が本明細書に組み込まれる米国特許第3,850,679号に記載されている、可視光線と赤外線の両方を吸収する、コバルトと鉄とクロムの混合酸化物を含む太陽光制御被覆であってもよく、かかる被覆は、中間的な灰色または落ち着いた色味を有し得る。他の実施形態では、本明細書で論じられる被覆層は、金属酸化物よりも光および熱を吸収せずに反射する、窒化チタン、および/またはチタンシリサイドもしくはケイ素を含む太陽光制御被覆であってもよい。いくつかの実施形態では、酸化スズの最上層により、窒化チタン、および/またはチタンシリサイドもしくはケイ素層を保護することができる。様々な追加の被覆が、米国特許第4,690、871号および同第5,057,375号に記載されており、これらは、参照により本明細書にその全体が組み込まれる。
非晶質および/または多晶質ケイ素
様々な実施形態では、本出願者は、本明細書で論じられるシステムおよび方法を使用して、非晶質ケイ素(a−Si)および/または多晶質ケイ素(p−Si)の被覆を形成することができると確信している。かかる実施形態では、システム10を使用して、通常約650℃のガラス温度で早い蒸着速度を有するシラン気体SiHを反応させて、非晶質ケイ素(a−Si)を生成することができる。より高い温度により、多晶質ケイ素(p−Si)が生じる。かかる被覆を有するガラスは、OLEDの用途などの様々な用途で使用することができる。
SiO膜蒸着
様々な実施形態では、本出願者は、本明細書で論じられるシステムおよび方法を使用して、SiO膜被覆を形成することができると確信している。かかる実施形態では、システム10は、酸素と共にシラン気体の存在を利用する。この材料は自然発火性であるため、低濃度のシランを使用して、粉末(粒子)を形成するよりもむしろ膜を形成する。エチレン(ラジカルトラップ)を使用することができるが、典型的には600℃以上のガラス温度を使用する。より大きい屈折率(1.45に対して最大2)を有する亜酸化ケイ素は、酸素よりもむしろ二酸化炭素または一酸化二窒素の存在下で、シランを使用して生成することができる。ソーダ石灰ガラスまたは他のナトリウム含有ガラスに関しては、ジクロロシランを酸素の存在下で反応させて、SiO膜を生成することができる。TEOS(テトラエチルオルトシリケート)を酸素と反応させて、SiOを生成することができるが、反応速度は700℃未満では緩徐であり、したがって、TEOSを利用する実施形態では、加熱ゾーン12は、700℃超で動作する。焼き戻しのためにより高い温度が利用される一部のガラス材料(Gorillaガラス、表示装置ガラス基材など)に関しては、SiO膜を、反応を加速させるためにトリエチルホスファイトを使用するか使用しないかに関わらず蒸着させることができるTEOSを利用して、蒸着させることができる。他の実施形態では、他の有機シランも、軟化点が異なるガラスの焼き戻しのために使用され得る適切な温度範囲および反応速度のために使用することができる。
他の金属酸化物被覆
他の実施形態では、有機金属前駆体(アルミニウム酸化物のトリエチル−ジアルミニウムトリ−sec−ブトキシドを含む)を使用して、対応する金属酸化物被覆を生成することができる。
Ag被覆
一実施形態では、システム10を使用して、Ag被覆などの金属被覆を有するガラス物品を形成することができる。かかる実施形態では、金属ナノ粒子を、ガラス上に被覆しこのガラスを加熱ゾーン12内で加熱し、この加熱により、ナノ粒子をガラス表面内に部分的にまたは完全に沈めるかまたは埋め込むことが可能になる。金属酸化物被覆が所望の最終生成品でない限りは、酸化物の形成を防ぐために、非酸化環境を使用することができる。あるいは、金属イオンを、結合剤の使用の有無に関わらず、ガラス表面上に被覆し、次いで、金属イオンを還元してその金属形態にするための還元環境下で加熱ゾーン12を用いて加熱してもよい。
TiN、TiSi
様々な実施形態では、二酸化炭素および一酸化二窒素を使用して、様々な金属酸化物の反応/蒸着速度を調整することができるため、金属窒化物を、加熱ゾーン12で、アンモニアなどの窒素含有気体を利用することにより、作製してもよい。かかる一実施形態では、窒化チタンは、加熱ゾーン12内で窒素含有気体の存在下、500℃を超える温度に加熱されるガラス基材上に形成することができる。同様に、別の実施形態では、加熱ゾーン12内でガラス物品26と共にTiClとSiHを反応させると、加熱ゾーン12内で600から650℃の温度に加熱されたときに、ガラス物品26上に形成されたチタンシリサイド被覆が生じる。
SiOおよびAlON多層被覆
様々な実施形態では、SiOとAlONの交互積層を、高温のガラス物品26上に蒸着させて、SiOおよびAlONまたは他の金属酸化物/オキシ窒化物/窒化物積層構造体からなる耐擦傷性被覆を生成することができる。多層被覆を生成するために、例えば、上記の図3に示される多段階被覆システムを利用して、異なる前駆体をガラス上に連続的に導入してもよい。他の実施形態では、反射防止被覆多層を、高屈折率材料および低屈折率材料の交互層の同様の被覆戦略を利用して、生成してもよい。
密閉炭素被覆
様々な実施形態では、被覆層42は、密閉炭素被覆層であってもよい。様々な実施形態では、密閉炭素被覆形成は、高温(700から1000℃)を使用し、本出願者は、従来の被覆プロセスが、高融解温度基材へのかかる被覆を制限していると確信している。様々な実施形態では、加熱ゾーン12は、空気軸受がこれらの温度で物品を支持しながら、密閉炭素被覆形成を可能にする最低限の歪みで、物品26などのガラス物品を、ガラスのTgよりも100℃超高い温度に加熱することができる。
いくつかの企図される実施形態では、被覆ガラス物品は、本明細書に開示されるように、ガラス材料から形成されたガラス物品を含む。ガラス材料は、本明細書に開示されるように、少なくとも主にガラスおよび/またはガラスセラミックを含む。いくつかのかかる実施形態では、ガラス物品は、第1の主面を有し、かつ拡散ゾーンを含む。拡散ゾーンは、ガラス物品の第1の主面からガラス物品の中心に向かってガラス物品のガラス材料内へと延在する被覆材料を有する。拡散ゾーン内では、ガラス物品内への深さが増加する(例えば、直線的に、指数関数的に、全体的に、不均一の様式で)に従い、被覆材料の濃度が減少し、拡散ゾーンが、ガラス物品の第1の主面からガラス物品の横方向の中央に向かう、100nm超、150nm超などの50nm超、および/または物品の幅の25%以下などの物品の中間以下の深さを有する。他の企図される実施形態では、拡散ゾーンの深さは、50nm以下であってもよい。
本明細書に開示されるプロセスに少なくとも部分的に起因して、ガラス物品の第1の主面に面する方向とは反対の方を向く被覆ガラス物品の外面は、第1の主面内への被覆の拡散に関わらず、略平坦である。被覆が例えば少なくとも50nmの深さに拡散するために、本明細書に開示されるように、リチウムまたは銅などの、ガラス材料内に拡散する被覆は、ガラス材料のガラス転移温度を超えてガラス材料を加熱する必要があり得るため、かかる物品は、当業者にとっては驚きであり得るか、または半直感的であり得る。ガラス材料のかかる加熱および軟化は、通常、ガラス物品の第1の主面に面する方向とは反対の方を向く被覆ガラス物品の外面を変形せることがあり、かつ/またはこの外面に付着することがある取付板などの固体表面によって従来支持され得る被覆ガラス物品の底面を変形させると思われる場合がある。しかしながら本明細書に開示される技法に起因して、ガラス物品の第1の主面に面する方向とは反対の方を向く被覆ガラス物品の外面は、50mmの輪郭に沿って、かつ/または第1の主面に面する方向とは反対の方を向く外面を完全に横切る輪郭に沿って、平坦ないし、少なくとも40μmの総指示器振れ、および/または少なくとも30μmの総指示器振れなどの少なくとも50μmの総指示器振れであり得る。他のかかる実施形態では、第1の主面に面する方向とは反対の方を向く外面は、あまり平坦でなくてもよい。
被覆材料およびガラス材料は、かかる実施形態のうちの少なくともいくつかによれば、特定のガラス材料内の50nm超(例えば、75nm超、100nm超)の深さに、ガラス材料にひびを入れずに特定の被覆材料を拡散させるには、ガラス材料をガラスの少なくともガラス転移温度に加熱する必要があるように、互いに関連している。企図される実施形態では、被覆材料は、銅および/またはリチウムであるか、またはこれらを含み、ガラス材料は、ソーダ石灰ガラスである。他の企図される実施形態では、被覆材料は、本明細書に開示される他の被覆のうちのいくつかもしくはいずれか、および/または本明細書に開示されるガラス材料のうちのいくつかもしくはいずれかであるか、またはこれらを含む。
被覆材料およびガラス材料は、ガラス材料にひびを入れずに、ガラス材料内の50nm超の深さに被覆材料を拡散させるには、ガラス材料をガラスの少なくともガラス転移温度に加熱する必要があるような材料である、請求項26記載の被覆ガラス物品。
例示的実施形態によれば、ガラス物品の第1の主面に面する方向とは反対の方を向く被覆ガラス物品の外面は、少なくとも平方センチメートルの面積(例えば、窓サイズなどの少なくとも3cm、少なくとも10cm、少なくとも50cm、および/または少なくとも10m以下)を有し、かつ/あるいはこの面積のすべてが、接着による10個未満の表面欠陥(例えば、5個未満のかかる表面欠陥、2以下個のかかる表面欠陥)ならびに/または5マイクロメートル超(例えば、7μm超、10μm超、および/または1cm以下、あるいは、50nm超、100nm超、および/もしくは100μm以下)の寸法、ならびにいくつかのかかる実施形態では、第1の主面に面する方向とは反対の方を向く隣接する外面部分に対して、少なくとも150nmなどの、少なくとも100nmなどの、少なくとも50nmの最大深さの摩耗を有する。物品が被覆プロセス中に支持され、この支持が被覆ガラス物品の機能または有用性を制限し得る欠陥を引き起こす従来の被覆ガラス物品では、裏側表面の損傷が欠点となることがあり、被覆ガラス物品のかかる高品質な裏面は、本明細書に開示される物品に関して、具体的には、本明細書に開示される薄い物品に関しては、驚きであり得る。
例示的実施形態によれば、本明細書に開示される技法は、物品の両主面上に被覆を有し、被覆が各側共に物品内のほぼ同じ深さに拡散している被覆ガラス物品の製造を促進する。かかる物品は、被覆が物品内に拡散するようにガラス物品の両側を被覆するための別個の加熱サイクルに頼っている当業者には予想外であり得、これは、このような被覆はまず片側に適用および拡散され次いで物品がひっくり返され、加熱されて第2の側内に被覆を拡散させるが、こうすることにより、第1の被覆が物品内に拡散し続け、両側の被覆が、互いに実質的に異なる深さにまで拡散することがあるためである。かかる非対称性には、かかる被覆ガラス物品の安定した使用のために、より深く拡散した被覆であると印をつけるか、さもなければ示す必要がある場合があり、かつ/またはこの非対称性は、それぞれの被覆ガラス物品の強度に影響を与え(例えば、減少させ)、かつ/もしくはそれぞれの被覆ガラス物品をゆがませる応力を生じさせ得る。しかしながら、少なくともいくつかの企図される実施形態では、被覆(複数可)は、本明細書に開示されるガラス物品の両側に同時に適用することができ、かつ/または同時に拡散することができる。
例示的実施形態によれば、被覆ガラス物品は、第1の主面と、第1の主面の反対側にある第2の主面と、を有するガラス物品を含む。被覆ガラス物品は、第1の主面上に位置する第1の被覆層をさらに含み、第1の被覆層は、本明細書に開示される被覆材料とガラス材料の拡散される組み合わせなどのガラス物品の材料とは異なる材料、または被覆材料のみから形成されている。いくつかのかかる実施形態では、第1の被覆層は、第1の被覆層とガラス物品の間の界面からガラス物品の中心に向かって延在する、ガラス物品の材料内に位置する第1の拡散ゾーンを含む。界面は、ガラス物品の第1の表面であり得る。いくつかの実施形態では、第1の拡散ゾーン内では、本明細書に開示されるように、ガラス物品内への深さが増加するに従い、第1の被覆層の材料の濃度は減少する。いくつかのかかる実施形態では、被覆ガラス材料は、第2の主面上に位置する第2の被覆層をさらに含み、ここで、第2の被覆層は、第1の被覆層と同じ材料および/または本明細書に開示される任意の他の被覆材料などの、ガラス物品のガラス材料とは異なる材料からも形成される。いくつかの実施形態では、第2の被覆層は、同様に、ガラス物品の材料内に位置し、かつ第2の被覆層とガラス物品の間の界面(例えば、第2の主面)からガラス物品の中心に向かって延在する第2の拡散ゾーンを含む。第2の拡散ゾーン内では、ガラス物品内への深さが増加するに従い、第2の被覆層の材料の濃度は減少する。実施形態によれば、第1の拡散ゾーンおよび第2の拡散ゾーンは各々、150nm超などの、100nm超などの、50nm超などの深さを有する。本明細書に開示される技法に少なくとも部分的に起因して、第2の拡散ゾーンの深さは、第1の拡散ゾーンの深さの20%以内、10%以内、約5%以内などの30%以内であり、かつ/または第1の拡散ゾーンの深さと等しい深さにさらにより近く、他の製造プロセスに起因して非対称性である被覆ガラス物品と比較して、被覆ガラス物品に対称性の改善をもたらす。
特に明示的に指定されていない限り、本明細書に記載されるいずれの方法もそのステップが特定の順序で行われなければならないと解釈されることを決して意図しない。したがって、方法の請求項が、実際にそのステップが従う順序を列挙していないか、またはさもなければ、ステップが特定の順序に制限されると特許請求の範囲または説明に具体的に記載されないていない場合、任意の特定の順序を暗示することを決して意図しない。さらに、本明細書で使用される場合、冠詞「a」は、1つまたは2つ以上の構成成分または要素を含むことを意図し、1つのみを意味すると解釈されることを意図しない。
当業者には、様々な変更および変形が開示される実施形態の趣旨または範囲から逸脱することなく行われ得ることが明らかであろう。実施形態の趣旨または物質を組み込む開示される実施形態の変更、組み合わせ、部分的組み合わせ、および変形を当業者は思い浮かべ得るため、開示される実施形態は、添付の特許請求の範囲およびそれらの同等物の範囲内のすべてが含まれると解釈されるべきである。
以下、本発明の好ましい実施形態を項分け記載する。
実施形態1
ガラスに被覆層を適用する方法であって、
第1の表面および該第1の表面の反対側にある第2の表面を有するガラス物品を提供するステップと、
第1の被覆前駆体材料を前記ガラス物品の前記第1の表面に適用するステップと、
気体軸受により前記ガラス物品を支持するステップと、
前記ガラス物品が前記気体軸受によって支持されながら、前記ガラス物品および前記被覆前駆体材料を、前記ガラス物品のガラス転移温度を超える温度に加熱するステップと、
を含み、
加熱中に、第1の被覆層が前記第1の前駆体材料から前記ガラス物品の前記第1の表面上に形成されるように、前記第1の被覆前駆体材料の特性が変化する、方法。
実施形態2
前記第1の被覆前駆体が、前記ガラス物品の温度が前記ガラス転移温度を超えているとき、かつ前記ガラス物品が前記気体軸受によって支持されながら、前記ガラス物品の前記第1の表面に適用される、実施形態1記載の方法。
実施形態3
前記第1の被覆層を形成するように加熱中に変化する前記第1の被覆前駆体の前記特性が、化学組成、酸化状態、形状、拡散深さ、および拡散プロファイルのうちの少なくとも1つである、実施形態1記載の方法。
実施形態4
前記第1の被覆前駆体が、前記ガラス物品の加熱中に前記気体軸受によって送達される気体により前記第1の表面に適用される、実施形態1記載の方法。
実施形態5
前記第1の被覆層が、該第1の被覆層と前記ガラス物品の間の界面から前記ガラス物品の中心に向かって延在する、前記ガラス物品の前記材料内に位置する拡散ゾーンを含み、該拡散ゾーン内では、前記ガラス物品内への深さが増加するに従い、前記被覆層の構成成分の濃度が減少する、実施形態1記載の方法。
実施形態6
前記拡散ゾーンの深さが、50nmより深い、実施形態5記載の方法。
実施形態7
第2の被覆前駆体材料を前記ガラス物品の前記第2の表面に適用するステップをさらに含み、加熱中に、第2の被覆層が前記第2の前駆体材料から前記ガラス物品の前記第2の表面上に形成されるように、前記第2の被覆前駆体材料の特性が変化する、実施形態6記載の方法。
実施形態8
前記第1の被覆前駆体材料が、前記第2の被覆前駆体材料と同じであり、前記第2の被覆層が、該第2の被覆層と前記ガラス物品の間の界面から前記ガラス物品の中心に向かって延在する前記ガラス物品の前記材料内に位置する第2の拡散ゾーンを含み、該第2の拡散ゾーン内では、前記ガラス物品内への深さが増加するに従い、前記第2の被覆層の構成成分の濃度が減少する、実施形態7記載の方法。
実施形態9
前記第2の拡散ゾーンの深さが、50nmより深く、前記第1の被覆層の前記拡散ゾーンの前記深さおよび前記第2の被覆層の前記第2の拡散ゾーンの前記深さが、互いの10%以内である、実施形態8記載の方法。
実施形態10
前記第1の被覆層の測定される特性が、前記第2の被覆層の測定される物理的特性の10%以内であり、前記第1の被覆層および前記第2の被覆層の該測定される特性が、電気抵抗、屈折率、光透過率、反射率、硬度、および弾性率のうちの少なくとも1つである、実施形態8記載の方法。
実施形態11
前記ガラス物品が前記気体軸受によって支持されながら、前記ガラス物品および前記第1の被覆層を前記ガラス物品の前記ガラス転移温度未満に冷却するステップをさらに含む、実施形態1記載の方法。
実施形態12
前記加熱ステップ中に、前記物品が、前記ガラス転移温度超かつ前記ガラス材料の軟化点未満の温度に加熱され、冷却中に、冷却中の前記物品からの熱伝達率が前記第1の表面積に関して450kW/mより高い、実施形態11記載の方法。
実施形態13
冷却が、吸熱体を含む冷却ステーションで行われ、前記ガラス物品が、前記気体軸受からの気体によって支持され、かつ間隙が前記ガラス物品の前記第1の表面と、対向する吸熱体表面の間に位置するように、前記吸熱体から離間され、前記間隙が200μm未満であり、前記加熱された物品から出る熱エネルギーの20%超が前記間隙を渡り、前記吸熱体によって受けられるような、前記間隙を超える伝導により、前記ガラス物品が、前記熱エネルギーを前記加熱されたガラス物品から前記吸熱体に伝達することによって冷却される、実施形態12記載の方法。
実施形態14
冷却中に、表面圧縮応力および中心引張応力が前記ガラス物品内に生じ、前記表面圧縮応力が、150MPaより大きい、実施形態13記載の方法。
実施形態15
前記第1の被覆前駆体材料が、前記ガラス物品のガラス材料とは異なり、前記第1の被覆前駆体材料が、SiO、Ag塩、Cu塩、Na塩、BN、TiO、ZnO、MgF、アルミニウムドープZnO、リチウム塩、Cu、Au、Ag、Al、Sn、C、酸化物、窒化物、炭化物、硫化物、セレン化物、フッ化物、酸窒化アルミニウム、TiN、TiSi、有機金属材料、非晶質ケイ素、多晶質ケイ素、およびフッ素ドープSnOのうちの少なくとも1つを含み、前記ガラス物品は、少なくとも50重量%が二酸化ケイ素であり、前記第1の被覆層は、ガラス物品の前記第1の表面を被覆する連続しかつ接触している被覆、および前記ガラス物品の前記第1の表面の全体未満の表面を被覆するパターン形成した被覆層のうちの少なくとも一方である、実施形態1記載の方法。
実施形態16
被覆ガラス物品において、
ガラス物品であって、
第1の主面、
前記第1の主面の反対側にある第2の主面、および
少なくとも50重量%の二酸化ケイ素からなるガラス材料を含む、
ガラス物品と、
前記第1の主面上に位置する第1の被覆層であって、該第1の被覆層が、前記ガラス物品の前記ガラス材料とは異なる材料から形成され、前記第1の被覆層が、該第1の被覆層と前記ガラス物品の間の界面から前記ガラス物品の中心に向かって延在する、前記ガラス物品の前記材料内に位置する第1の拡散ゾーンを含み、前記第1の拡散ゾーン内では、前記ガラス物品内への深さが増加するに従い、前記第1の被覆層の材料の濃度が減少する、第1の被覆層と、
を備え、
前記拡散ゾーンが、50nmを超える深さを有する、被覆ガラス物品。
実施形態17
前記第2の主面上に位置する第2の被覆層をさらに備え、該第2の被覆層が、前記ガラス物品の前記ガラス材料とは異なる材料から形成され、前記第2の被覆層が、該第2の被覆層と前記ガラス物品の間の前記界面から前記ガラス物品の中心に向かって延在する、前記ガラス物品の前記材料内に位置する第2の拡散ゾーンを含み、該第2の拡散ゾーンでは、前記ガラス物品内への深さが増加するに従い、前記第2の被覆層の材料の濃度が減少する、実施形態16記載の被覆ガラス物品。
実施形態18
前記第1の被覆層および前記第2の被覆層が各々、前記第1の主面と前記第2の主面の間で測定される、前記ガラス物品の平均厚さの0.001%と10%の間の厚さを有する、実施形態17記載の被覆ガラス物品。
実施形態19
第2の拡散ゾーンが、50nmを超える深さを有し、前記第2の拡散ゾーンの前記深さが、前記第1の拡散ゾーンの前記深さの1%以内である、実施形態17記載の被覆ガラス物品。
実施形態20
前記第1の被覆層が、SiO、Ag塩、Cu塩、Na塩、BN、TiO、ZnO、MgF、アルミニウムドープZnO、リチウム塩、Cu、Au、Ag、Al、Sn、C、酸化物、窒化物、炭化物、硫化物、セレン化物、フッ化物、酸窒化アルミニウム、TiN、TiSi、有機金属材料、非晶質ケイ素、多晶質ケイ素、およびフッ素ドープSnOのうちの少なくとも1つを含む、実施形態16記載の被覆ガラス物品。
実施形態21
前記第1の主面および前記第2の主面が、該第1の主面および該第2の主面の50mmの輪郭に沿って、平坦ないし少なくとも50μmの総指示器振れである、実施形態16記載の被覆ガラス物品。
実施形態22
前記第1の主面上で測定される表面仮想温度が、前記ガラス物品のガラス転移温度よりも少なくとも50℃高い、実施形態16記載の被覆ガラス物品。
実施形態23
前記第1の主面の圧縮応力および前記第2の主面の圧縮応力が、150MPaより大きい、実施形態16記載の被覆ガラス物品。
実施形態24
前記第1の被覆層が、低放射率被覆、帯電防止被覆、防眩性被覆、防眩物、反射防止被覆、低摩擦性被覆、抗菌性被覆、ガラスの色合い、耐磨耗性被覆または耐擦傷性被覆、耐水性被覆、水溶性被覆、および表面圧縮応力を増加させるための被覆のうちの少なくとも1つである、実施形態16記載の被覆ガラス物品。
実施形態25
ガラス板を被覆するためのシステムにおいて、
前記ガラス板に熱を送達する加熱要素を含む加熱ステーションであって、加熱中に、前記ガラス板が第1のチャネル内に位置するように、前記加熱ステーションが、前記第1のチャネルを画定し、前記ガラス板が、第1の主面、第2の主面、および該第1の主面と該第2の主面の間の厚さを含む、加熱ステーションと、
冷却中に、前記ガラス板が第2のチャネル内に位置するように、間に該第2のチャネルを画定する対向する第1の吸熱体表面および第2の吸熱体表面を含む、冷却ステーションと、
前記第1のチャネルおよび前記第2のチャネルに加圧気体を送達し、それにより、加熱中、前記ガラス板が前記加熱ステーションの表面に接触せずに前記気体によって前記第1のチャネル内に支持され、かつ冷却中、前記ガラス板が前記第1の吸熱体表面および前記第2の吸熱体表面に接触せずに前記気体によって前記第2のチャネル内に支持される、気体軸受と、
前記ガラス板が前記気体によって支持されながら、ガラス被覆前駆体材料が前記加圧気体により前記ガラス板の前記第1の主面および前記第2の主面のうちの少なくとも一方に送達されるように、前記気体軸受と連通しているガラス被覆前駆体材料の供給部と、
を備える、システム。
実施形態26
被覆ガラス物品において、
ガラスおよび/またはガラスセラミックを少なくとも主に含むガラス材料から形成されたガラス物品であって、該ガラス物品が第1の主面を含む、ガラス物品、および
前記ガラス物品の前記第1の主面から前記ガラス物品の中心に向かって前記ガラス物品の前記ガラス材料内へと延在する被覆材料を含む、拡散ゾーン、
を備え、
前記拡散ゾーン内では、前記ガラス物品内への深さが増加するに従い、前記被覆材料の濃度が減少し、前記拡散ゾーンが、前記ガラス物品の前記第1の主面から前記ガラス物品の横方向の中央に向かう、50nmより深い深さを有し、
前記ガラス物品の前記第1の主面に面する方向とは反対の方を向く前記被覆ガラス物品の外面が、50mmの輪郭に沿って、かつ/または前記第1の主面に面する方向とは反対の方を向く前記外面を完全に横切る輪郭に沿って平坦ないし少なくとも50μmの総指示器振れである、被覆ガラス物品。
実施形態27
前記被覆材料および前記ガラス材料が、前記ガラス材料にひびを入れずに、前記ガラス材料内の50nm超の深さに前記被覆材料を拡散させるには、前記ガラス材料を前記ガラスの少なくともガラス転移温度に加熱する必要があるような材料である、実施形態26記載の被覆ガラス物品。
実施形態28
前記被覆材料が、リチウムまたは銅を含み、前記ガラス材料が、ソーダ石灰ガラスを含む、実施形態26記載の被覆ガラス物品。
実施形態29
被覆ガラス物品において、
ガラスおよび/またはガラスセラミックを少なくとも主に含むガラス材料から形成されたガラス物品であって、該ガラス物品が第1の主面を含む、ガラス物品、および
前記ガラス物品の前記第1の主面から前記ガラス物品の中心に向かって前記ガラス物品の前記ガラス材料内へと延在する被覆材料を含む、拡散ゾーン、
を備え、
前記拡散ゾーン内では、前記ガラス物品内への深さが増加するに従い、前記被覆材料の濃度が減少し、前記拡散ゾーンが、前記ガラス物品の前記第1の主面から前記ガラス物品の横方向の中央に向かう、50nmより深い深さを有し、
前記ガラス物品の前記第1の主面に面する方向とは反対の方を向く前記被覆ガラス物品の外面が、平坦ないし前記第2の主面の50mmの輪郭に沿って、かつ/または外面を完全に横切る輪郭に沿って少なくとも50μmの総指示器振れであり、
前記ガラス物品の前記第1の主面に面する方向とは反対の方を向く前記被覆ガラス物品の外面が、接着による10個未満の表面欠陥、または5マイクロメートル超の寸法および前記第1の主面に面する方向とは反対の方を向く隣接する前記外面部分に対して少なくとも50nmの最大深さを有する摩耗を有する少なくとも平方センチメートルの面積および/またはその前記面積のすべてを有する、被覆ガラス物品。
実施形態30
前記被覆材料および前記ガラス材料が、前記ガラス材料にひびを入れずに、前記ガラス材料内の50nm超の深さに前記被覆材料を拡散させるには、前記ガラス材料を前記ガラスの少なくともガラス転移温度に加熱する必要があるような材料である、実施形態29記載の被覆ガラス物品。
実施形態31
前記被覆材料が、リチウムまたは銅を含み、前記ガラス材料が、ソーダ石灰ガラスを含む、実施形態29記載の被覆ガラス物品。
実施形態32
被覆ガラス物品において、
第1の主面、および該第1の主面の反対側にある第2の主面を備えるガラス物品と、
前記第1の主面上に位置する第1の被覆層であって、該第1の被覆層が、前記ガラス物品の材料とは異なる材料から形成され、前記第1の被覆層が、該第1の被覆層と前記ガラス物品の間の界面から前記ガラス物品の中心に向かって延在する、前記ガラス物品の前記材料内に位置する第1の拡散ゾーンを含み、前記第1の拡散ゾーン内では、前記ガラス物品内への深さが増加するに従い、前記第1の被覆層の材料の濃度が減少する、第1の被覆層と、
前記第2の主面上に位置する第2の被覆層であって、該第2の被覆層が、前記ガラス物品の前記ガラス材料とは異なる材料から形成され、前記第2の被覆層が、該第2の被覆層と前記ガラス物品の間の界面から前記ガラス物品の中心に向かって延在する、前記ガラス物品の前記材料内に位置する第2の拡散ゾーンを含み、前記第2の拡散ゾーン内では、前記ガラス物品内への深さが増加するに従い、前記第2の被覆層の材料の濃度が減少する、第2の被覆層と、
を備え、
前記第1の拡散ゾーンおよび前記第2の拡散ゾーンが各々、50nmより深い深さを有し、
前記第2の拡散ゾーンの前記深さが、前記第1の拡散ゾーンの前記深さの30%以内である、被覆ガラス物品。
10 システム
12 加熱ゾーン
14 移行ゾーン
16 冷却ゾーン
18 空気軸受
20 供給チャネル
22 軸受チャネル
24 空気軸受表面
26 ガラス物品
28 被覆前駆体材料層
30、32、52、62 被覆前駆体材料
31 高温ゾーン間隙
33 矢印
34 加熱要素
36 被覆ガラス物品
40 ガラス材料
42、74 被覆層
44 拡散ゾーン
50 追加の加熱ゾーン
54 第2の被覆前駆体材料
60 被覆ゾーン
64 供給部
70 気相反応物質
72 前駆体材料
76 洗浄またはエッチングステップ
78 最終被覆層
80、86、92 被覆粒子
82 犠牲結合剤材料
84 ステップ
85 外側表面
88 成形粒子
90 被覆前駆体液滴
94 被覆構造体
100 反応性被覆前駆体
102 表面に付着した被覆前駆体
104 揮発性副生成物
110 表面ガラス層
112 第1の主面
114 第2の主面
116、118 恒久的熱誘導圧縮応力の領域/部分
117 本体
120 恒久的熱誘導中心引張応力の領域
122 概念的応力プロファイル
124 急激な変化
126 点線
130 SiO粒子
132 BN粒子ピーク
134 くぼみ
136 TiO粒子
D2 間隙
T1、T2 厚さ
T3 拡散深さ

Claims (10)

  1. ガラスに被覆層を適用する方法であって、
    第1の表面および該第1の表面の反対側にある第2の表面を有するガラス物品を提供するステップと、
    第1の被覆前駆体材料を前記ガラス物品の前記第1の表面に適用するステップと、
    気体軸受により前記ガラス物品を支持するステップと、
    前記ガラス物品が前記気体軸受によって支持されながら、前記ガラス物品および前記被覆前駆体材料を、前記ガラス物品のガラス転移温度を超える温度に加熱するステップと、
    を含み、
    加熱中に、第1の被覆層が前記第1の前駆体材料から前記ガラス物品の前記第1の表面上に形成されるように、前記第1の被覆前駆体材料の特性が変化する、方法。
  2. 前記第1の被覆前駆体が、前記ガラス物品の温度が前記ガラス転移温度を超えているとき、かつ前記ガラス物品が前記気体軸受によって支持されながら、前記ガラス物品の前記第1の表面に適用され、前記第1の被覆層を形成するように加熱中に変化する前記第1の被覆前駆体の前記特性が、化学組成、酸化状態、形状、拡散深さ、および拡散プロファイルのうちの少なくとも1つであり、前記第1の被覆前駆体が、前記ガラス物品の加熱中に前記気体軸受によって送達される気体によって前記第1の表面に適用される、請求項1記載の方法。
  3. 前記第1の被覆層が、該第1の被覆層と前記ガラス物品の間の界面から前記ガラス物品の中心に向かって延在する、前記ガラス物品の前記材料内に位置する拡散ゾーンを含み、該拡散ゾーン内では、前記ガラス物品内への深さが増加するに従い、前記被覆層の構成成分の濃度が減少し、前記拡散ゾーンの深さは、50nmを超える、請求項1または2記載の方法。
  4. 第2の被覆前駆体材料を前記ガラス物品の前記第2の表面に適用するステップをさらに含み、加熱中に、第2の被覆層が前記第2の前駆体材料から前記ガラス物品の前記第2の表面上に形成されるように、前記第2の被覆前駆体材料の特性が変化し、前記第1の被覆前駆体材料が、前記第2の被覆前駆体材料と同じであり、前記第2の被覆層が、該第2の被覆層と前記ガラス物品の間の界面から前記ガラス物品の中心に向かって延在する前記ガラス物品の前記材料内に位置する第2の拡散ゾーンを含み、該第2の拡散ゾーン内では、前記ガラス物品内への深さが増加するに従い、前記第2の被覆層の構成成分の濃度が減少し、第1の被覆層の前記拡散ゾーンの深さおよび前記第2の被覆層の前記第2の拡散ゾーンの深さが、互いの10%以内であり、前記第1の被覆層の測定される特性が、前記第2の被覆層の測定される物理的特性の10%以内であり、前記第1の被覆層および前記第2の被覆層の該測定される特性が、電気抵抗、屈折率、光透過率、反射率、硬度、および弾性率のうちの少なくとも1つである、請求項3記載の方法。
  5. 前記ガラス物品が前記気体軸受によって支持されながら、前記ガラス物品および前記第1の被覆層を前記ガラス物品の前記ガラス転移温度未満に冷却するステップをさらに含み、前記加熱ステップ中に、前記物品が、前記ガラス転移温度超かつ前記ガラス材料の軟化点未満の温度に加熱され、冷却中に、冷却中の前記物品からの熱伝達率が前記第1の表面積に関して450kW/mより高く、冷却が、吸熱体を含む冷却ステーションで行われ、前記ガラス物品が、前記気体軸受からの気体によって支持され、かつ間隙が前記ガラス物品の前記第1の表面と、対向する吸熱体表面の間に位置するように、前記吸熱体から離間され、前記間隙が200μm未満であり、前記加熱された物品から出る熱エネルギーの20%超が前記間隙を渡り、前記吸熱体によって受けられるような、前記間隙を超える伝導により、前記ガラス物品が、前記熱エネルギーを前記加熱されたガラス物品から前記吸熱体に伝達することによって冷却され、冷却中に、表面圧縮応力および中心引張応力が前記ガラス物品内に生じ、前記表面圧縮応力が、150MPaより大きく、前記第1の被覆前駆体材料が、前記ガラス物品のガラス材料とは異なり、前記第1の被覆前駆体材料が、SiO、Ag塩、Cu塩、Na塩、BN、TiO、ZnO、MgF、アルミニウムドープZnO、リチウム塩、Cu、Au、Ag、Al、Sn、C、酸化物、窒化物、炭化物、硫化物、セレン化物、フッ化物、酸窒化アルミニウム、TiN、TiSi、有機金属材料、非晶質ケイ素、多晶質ケイ素、およびフッ素ドープSnOのうちの少なくとも1つを含み、前記ガラス物品は、少なくとも50重量%が二酸化ケイ素である、請求項1から4のいずれか1項記載の方法。
  6. 被覆ガラス物品において、
    ガラス物品であって、
    第1の主面、
    前記第1の主面の反対側にある第2の主面、および
    少なくとも50重量%の二酸化ケイ素からなるガラス材料を含む、
    ガラス物品と、
    前記第1の主面上に位置する第1の被覆層であって、該第1の被覆層が、前記ガラス物品の前記ガラス材料とは異なる材料から形成され、前記第1の被覆層が、該第1の被覆層と前記ガラス物品の間の界面から前記ガラス物品の中心に向かって延在する、前記ガラス物品の前記材料内に位置する第1の拡散ゾーンを含み、前記第1の拡散ゾーン内では、前記ガラス物品内への深さが増加するに従い、前記第1の被覆層の材料の濃度が減少する、第1の被覆層と、
    を備え、
    前記拡散ゾーンが、50nmを超える深さを有する、被覆ガラス物品。
  7. 前記第2の主面上に位置する第2の被覆層をさらに備え、該第2の被覆層が、前記ガラス物品の前記ガラス材料とは異なる材料から形成され、前記第2の被覆層が、該第2の被覆層と前記ガラス物品の間の前記界面から前記ガラス物品の中心に向かって延在する、前記ガラス物品の前記材料内に位置する第2の拡散ゾーンを含み、該第2の拡散ゾーンでは、前記ガラス物品内への深さが増加するに従い、前記第2の被覆層の材料の濃度が減少し、前記第1の被覆層および前記第2の被覆層が各々、前記第1の主面と前記第2の主面の間で測定される、前記ガラス物品の平均厚さの0.001%と10%の間の厚さを有し、第2の拡散ゾーンが、50nmを超える深さを有し、前記第2の拡散ゾーンの前記深さが、前記第1の拡散ゾーンの前記深さの1%以内である、請求項6記載の被覆ガラス物品。
  8. 前記第1の被覆層が、SiO、Ag塩、Cu塩、Na塩、BN、TiO、ZnO、MgF、アルミニウムドープZnO、リチウム塩、Cu、Au、Ag、Al、Sn、C、酸化物、窒化物、炭化物、硫化物、セレン化物、フッ化物、酸窒化アルミニウム、TiN、TiSi、有機金属材料、非晶質ケイ素、多晶質ケイ素、およびフッ素ドープSnOのうちの少なくとも1つを含み、前記第1の被覆層が、低放射率被覆、帯電防止被覆、防眩性被覆、防眩、反射防止被覆、低摩擦性被覆、抗菌性被覆、ガラスの色合い、耐磨耗性被覆または耐擦傷性被覆、耐水性被覆、水溶性被覆、および表面圧縮応力を増加させるための被覆のうちの少なくとも1つである、請求項6または7記載の被覆ガラス物品。
  9. 前記第1の主面および前記第2の主面が、該第1の主面および該第2の主面の50mmの輪郭に沿って、平坦ないし少なくとも50μmの総指示器振れであり、前記第1の主面上で測定される表面仮想温度が、前記ガラス物品のガラス転移温度よりも少なくとも50℃高く、前記第1の主面の圧縮応力および前記第2の主面の圧縮応力が、150MPaより大きい、請求項6から8のいずれか1項記載の被覆ガラス物品。
  10. ガラス板を被覆するためのシステムにおいて、
    前記ガラス板に熱を送達する加熱要素を含む加熱ステーションであって、加熱中に、前記ガラス板が第1のチャネル内に位置するように、前記加熱ステーションが、前記第1のチャネルを画定し、前記ガラス板が、第1の主面、第2の主面、および該第1の主面と該第2の主面の間の厚さを含む、加熱ステーションと、
    冷却中に、前記ガラス板が第2のチャネル内に位置するように、間に該第2のチャネルを画定する対向する第1の吸熱体表面および第2の吸熱体表面を含む、冷却ステーションと、
    前記第1のチャネルおよび前記第2のチャネルに加圧気体を送達し、それにより、加熱中、前記ガラス板が前記加熱ステーションの表面に接触せずに前記気体によって前記第1のチャネル内に支持され、かつ冷却中、前記ガラス板が前記第1の吸熱体表面および前記第2の吸熱体表面に接触せずに前記気体によって前記第2のチャネル内に支持される、気体軸受と、
    前記ガラス板が前記気体によって支持されながら、ガラス被覆前駆体材料が前記加圧気体により前記ガラス板の前記第1の主面および前記第2の主面のうちの少なくとも一方に送達されるように、前記気体軸受と連通しているガラス被覆前駆体材料の供給部と、
    を備える、システム。
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