JP2018131334A - 貯蔵システム - Google Patents
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Abstract
Description
〔形態1〕
貯蔵システムであって、
処理すべき基板を取扱うために用いられるツールの高さよりも高い高さに位置決めされた貯蔵システム組立体を有し、前記貯蔵システムは、前記ツールによって処理される前又は処理された後の基板用の1つ又は2つ以上の容器を局所的に貯蔵するように構成され、 前記貯蔵システム組立体は、
(a)フレームと、
(b)前記フレームに結合されたベースプレートと、を含み、前記ベースプレートは、駆動プーリ、アイドラープーリ、ベルト、軌道、及びモータを有し、
(c)さらに、複数の貯蔵棚を含み、前記複数の貯蔵棚の各々は、容器を支持する棚特徴部を備えた棚プレートを有し、前記ベルトに結合されて移動可能であり、前記軌道に結合されて1つ又は2つ以上の位置まで案内され、
前記モータは、前記ベルトを移動させるように前記駆動プーリに結合され、前記複数の貯蔵棚の各々は、前記軌道に沿って前記1つ又は2つ以上の位置まで一緒に移動し、前記軌道は、少なくとも幾つかの直線部分と幾つかの非直線部分を有し、前記直線部分及び非直線部分は、前記ベースプレートの上方でループをなすように配置される、貯蔵システム。
〔形態2〕
(d)さらに、前記貯蔵システム組立体のフレームに連結されたアクティブポート組立体を有し、前記アクティブポート組立体は、前記軌道に沿う位置のうちの1つに位置決めされたポートプレートを有し、前記アクティブポート組立体は、
(i)前記フレームの外側の延長位置及び前記フレームの内側の引込み位置を定める水平方向移動組立体と、
(ii)ポート特徴部を備えた前記ポートプレートに結合された垂直方向移動組立体と、を含み、前記垂直方向移動組立体は、上位置及び下位置を定め、前記水平方向移動組立体は、前記垂直方向移動組立体に結合され、
引込み位置にある前記ポートプレートは、それが下位置にあるとき、前記棚プレートのうちの1つの下方に位置し、
引込み位置にある前記ポートプレートは、それが上位置にあるとき、前記棚プレートのうちの1つの上方に位置する、形態1に記載の貯蔵システム。
〔形態3〕
引込み位置に且つ上位置にある前記ポートプレートは、前記棚プレートの棚特徴部の上にあった容器を、前記ポートプレートのポート特徴部の上に持上げる、形態2に記載の貯蔵システム。
〔形態4〕
引込み位置に且つ下位置にある前記ポートプレートは、前記1つ又は2つ以上の位置への前記軌道に沿う前記貯蔵棚の妨げられない移動を可能にする、形態2に記載の貯蔵システム。
〔形態5〕
前記貯蔵棚の各々は、C字形空間を含み、前記C字形空間は、前記ポートプレートが引込み位置に且つ下位置にあるときの前記ポートプレート用の場所を提供し、前記ポートプレートが引込み位置に且つ下位置にあるとき、前記ポート特徴部は、前記プレート特徴部よりも下のレベルに維持される、形態2に記載の貯蔵システム。
〔形態6〕
前記ポートプレートは、その一方の側に開口部を有し、前記開口部は、前記棚プレートの寸法よりも大きく、前記ポートピンと前記棚ピンは、容器のベースのスロット箇所への係合を可能にするように互いに近接している、形態2に記載の貯蔵システム。
〔形態7〕
前記ベルトは、リンク付きチェーン又は成形ベルトの一方であり、前記駆動プーリ及び前記アイドラープーリは、スプロケット又はディスクの一方である、形態1に記載の貯蔵システム。
〔形態8〕
前記駆動プーリ及び前記アイドラープーリは、スプロケットであり、前記ベルトは、チェーンであり、前記貯蔵棚の各々は、前記貯蔵棚の各々が一緒に移動する設定位置で前記チェーンに結合される、形態7に記載の貯蔵システム。
〔形態9〕
前記貯蔵システム組立体のフレームは、前記ツールの組立体のフレームにその上方で結合され、前記ツールは、少なくとも1つのロードポートであり、前記少なくとも1つロードポートは、1つ又は2つ以上の基板処理ツールと相互作用する、形態1に記載の貯蔵システム。
〔形態10〕
前記ツールは、ロードポート棚を備えたロードポートを有し、前記ロードポート棚は、前記ロードポートから遠ざかるように延びて容器ロード領域内に入り、延長位置にある前記ポートプレートは、前記容器ロード領域内に配置され、
延長位置にある前記ポートプレートは、整列した向き又は整列していない向きの一方において前記ロードポート棚の上方に位置する、形態2に記載の貯蔵システム。
〔形態11〕
さらに、前記貯蔵システム組立体のフレームの上方に配置された移送ホイストを有し、前記ポートプレートが延長位置に且つ前記ロードポート棚の方向にあるとき、前記移送ホイストは、前記ポートプレートの方向に前記貯蔵システム組立体から遠ざかるように延び、前記移送ホイストは、
(i)容器を、延長位置にある前記ポートプレートから持上げ又はそれに置くように、又は、
(ii)容器を前記ロードポート棚から持上げ又はそれに置くように、又は、
(iii)容器を、延長位置にある前記ポートプレートと前記ロードポート棚から持上げ又はそれらに置くように構成される、形態10に記載の貯蔵システム。
〔形態12〕
さらに、延長位置にある前記ポートプレートの上方に且つ前記ロードポート棚の上方に位置する前記移送ホイストを水平方向に移動させるリニア駆動装置を有する、形態11に記載の貯蔵システム。
〔形態13〕
前記貯蔵システム組立体は、オーバーヘッド移送車の下方に位置決めされる、形態1に記載の貯蔵システム。
〔形態14〕
前記オーバーヘッド移送車の経路は、容器を前記貯蔵棚の1つから直接配送し又は取出すことが可能である、形態13に記載の貯蔵システム。
〔形態15〕
前記貯蔵システム組立体は、オーバーヘッド移送車の下方に位置決めされる、形態2に記載の貯蔵システム。
〔形態16〕
前記オーバーヘッド移送車の経路は、容器を前記貯蔵棚のうちの1つ、延長位置にあるポートプレート、引込み位置に且つ上位置にある前記ポートプレート、又は、前記ツールの棚から直接配送し又は取出すことが可能である、形態13に記載の貯蔵システム。
〔形態17〕
2つ以上のアクティブポート組立体が、前記フレームに連結され、前記軌道に沿う異なる位置に位置決めされる、形態2に記載の貯蔵システム。
〔形態18〕
前記アクティブポート組立体の各々は、前記フレームの同じ側に又は異なる側に位置決めされる、形態17に記載の貯蔵システム。
〔形態19〕
1つ又は2つ以上のオーバーヘッド移送車が、1つ又は2つ以上のアクティブポート組立体と相互作用し、前記1つ又は2つ以上のアクティブポート組立体は、前記フレームの同じ側に又は異なる側に配置される、形態18に記載の貯蔵システム。
〔形態20〕
前記貯蔵棚は、前記軌道に取付けられたローラ、又は、前記軌道に取付けられたベアリングを有する、形態1に記載の貯蔵システム。
〔形態21〕
2つ又は3つ以上の貯蔵システム組立体が、前記ツールの上に積重ねられ、各貯蔵システム組立体の各々は、レベルを有する、形態1に記載の貯蔵システム。
〔形態22〕
貯蔵システムであって、
処理すべき基板を取扱うために用いられるツールの高さよりも高い高さに位置決めされた貯蔵システム組立体を有し、前記貯蔵システムは、基板用の1つ又は2つ以上の容器を局所的に貯蔵するように構成され、
前記貯蔵システム組立体は、
(a)複数の貯蔵棚を含み、前記複数の貯蔵棚の各々は、容器を支持する棚特徴部を備えた棚プレートを有し、ベルトに結合されて水平方向移動可能であり、レールに結合されて1つ又は2つ以上の位置まで案内され、
(b)さらに、前記ベルトを移動させるように駆動プーリに結合されたモータを含み、前記複数の貯蔵棚の各々は、前記レールに沿って前記1つ又は2つ以上の位置まで一緒に移動し、前記レールは、少なくとも幾つかの直線部分と幾つかの非直線部分を有し、前記直線部分及び非直線部分は、ループをなすように配置される、貯蔵システム。
〔形態23〕
前記ベルトは、リンク付きチェーン又は成形ベルトの一方であり、前記駆動プーリは、スプロケット又はディスクの一方である、形態22に記載の貯蔵システム。
〔形態24〕
貯蔵システムであって、
処理すべき基板を取扱うために用いられるツールの高さよりも高い高さに位置決めされた貯蔵システム組立体を有し、前記貯蔵システムは、基板の1つ又は2つ以上の容器を局所的に貯蔵するように構成され、
前記貯蔵システム組立体は、
(a)複数の貯蔵棚を含み、前記複数の貯蔵棚の各々は、容器を支持する棚特徴部を備えた棚プレートを有し、ベルトに結合されて水平方向移動可能であり、軌道に結合されて1つ又は2つ以上の位置まで案内され、
(b)さらに、前記ベルトを移動させるように駆動プーリに結合されたモータを含み、前記複数の貯蔵棚の各々は、前記レールに沿って前記1つ又は2つ以上の位置まで一緒に移動し、前記レールは、少なくとも幾つかの直線部分と幾つかの非直線部分を有し、前記直線部分及び非直線部分は、ループをなすように配置され、
(c)前記レールに沿う位置のうちの1つに位置決めされたポートプレートを有するアクティブポート組立体を含み、前記アクティブポート組立体は、
(i)延長位置と引込み位置を定める水平方向移動組立体と、
(ii)ポート特徴部を備えた前記ポートプレートに結合された垂直方向移動組立体と、を含み、前記垂直方向移動組立体は、前記垂直方向移動組立体は、上位置と下位置を定め、前記水平方向移動組立体は、前記垂直方向移動組立体に結合される、貯蔵システム。
〔形態25〕
前記ベルトは、リンク付きチェーン又は成形ベルトの一方であり、前記駆動プーリは、スプロケット又はディスクの一方である、形態24に記載の貯蔵システム。
〔形態26〕
引込み位置にある前記ポートプレートは、それが下位置にあるとき、前記棚プレートのうちの1つの下方に位置し、
引込み位置にある前記ポートプレートは、それが上位置にあるとき、前記棚プレートのうちの1つの上方に位置する、形態24に記載の貯蔵システム。
〔形態27〕
引込み位置に且つ上位置にある前記ポートプレートは、前記棚プレートの棚特徴部の上にあった容器を、前記ポートプレートのポート特徴部の上に持上げる、形態24に記載の貯蔵システム。
〔形態28〕
引込み位置に且つ下位置にある前記ポートプレートは、前記1つ又は2つ以上の位置への前記レールに沿う前記貯蔵棚の妨げられない移動を可能にする、形態24に記載の貯蔵システム。
〔形態29〕
前記貯蔵棚の各々は、C字形空間を含み、前記C字形空間は、前記ポートプレートが引込み位置に且つ下位置にあるときの前記ポートプレート用の場所を提供し、前記ポートプレートが引込み位置に且つ下位置にあるとき、前記ポート特徴部は、前記プレート特徴部よりも下のレベルに維持される、形態24に記載の貯蔵システム。
〔形態30〕
前記ポートプレートは、その一方の側に開口部を有し、前記開口部は、前記棚プレートの寸法よりも大きく、前記ポート特徴部と前記棚特徴部は、容器のベースのスロット箇所への係合を可能にするように互いに近接している、形態24に記載の貯蔵システム。
〔形態31〕
前記貯蔵システム組立体は、前記ツールの組立体のフレームにその上方で結合され、前記ツールは、少なくとも1つのロードポートであり、前記少なくとも1つロードポートは、1つ又は2つ以上の基板処理ツールと相互作用する、形態24に記載の貯蔵システム。
〔形態32〕
前記ツールは、ロードポート棚を備えたロードポートを有し、前記ロードポート棚は、前記ロードポートから遠ざかるように延びて容器ロード領域内に入り、延長位置にある前記ポートプレートは、前記容器ロード領域内に配置され、
延長位置にある前記ポートプレートは、整列した向き又は整列していない向きの一方において前記ロードポート棚の上方に位置する、形態24に記載の貯蔵システム。
〔形態33〕
さらに、前記貯蔵システム組立体の上方に配置された移送ホイストを有し、前記ポートプレートが延長位置に且つ前記ロードポート棚の方向にあるとき、前記移送ホイストは、前記ポートプレートの方向に前記貯蔵システム組立体から遠ざかるように延び、前記移送ホイストは、
(i)容器を、延長位置にある前記ポートプレートから持上げ又はそれに置くように、又は、
(ii)容器を前記ロードポート棚から持上げ又はそれに置くように、又は、
(iii)容器を、延長位置にある前記ポートプレートと前記ロードポート棚から持上げ又はそれらに置くように構成される、形態32に記載の貯蔵システム。
〔形態34〕
さらに、延長位置にある前記ポートプレートの上方に且つ前記ロードポート棚の上方に位置する前記移送ホイストを水平方向に移動させるリニア駆動装置を有する、形態33に記載の貯蔵システム。
〔形態35〕
前記貯蔵システム組立体は、オーバーヘッド移送車の下方に位置決めされる、形態33に記載の貯蔵システム。
〔形態36〕
前記オーバーヘッド移送車の経路は、容器を前記貯蔵棚の1つから直接配送し又は取出すことが可能である、形態35に記載の貯蔵システム。
〔形態37〕
2つ以上のアクティブポート組立体が、前記貯蔵システム組立体に連結され、前記軌道に沿う異なる位置に位置決めされる、形態24に記載の貯蔵システム。
〔形態38〕
前記アクティブポート組立体の各々は、前記フレームの同じ側に又は異なる側に位置決めされる、形態37に記載の貯蔵システム。
〔形態39〕
1つ又は2つ以上のオーバーヘッド移送車が、1つ又は2つ以上のアクティブポート組立体と相互作用し、前記1つ又は2つ以上のアクティブポート組立体は、前記貯蔵システム組立体の同じ側に又は異なる側に配置される、形態37に記載の貯蔵システム。
100c フレーム
110 貯蔵棚
111 駆動チェーン
112 レール
113 モータ
114 駆動スプロケット
115 アイドラースプロケット
117、118 アクティブポート
119 ポートプレート
119a アクティブポート組立体
119a−1 水平方向移動組立体
120 棚プレート
122 棚ピン(棚特徴部)
123 ポートピン(ポート特徴部)
126 アクティブポートベース
127 空気圧シリンダ
128 リニアベアリング
129 ベースプレート
130 FOUP(容器)
131b オーバーヘッド移送車
135 ツール
136 移送ホイスト
137 ホイスト用リニア駆動装置
138 片持ち式支持体
140 グリッパ
141 移送ホイストベルト
142 ホイストフレーム
158 ストッカロボット
Claims (25)
- 貯蔵システムであって、
ツールの組立体のフレームにその上方で結合された前記貯蔵システムのフレームと、
前記貯蔵システムのフレームに結合されたベースプレートと、を有し、前記ベースプレートは、モータによって駆動される回転機構に結合され、水平方向平面を構成する向きに配置され、前記モータよりも下に位置し、
更に、複数の貯蔵棚を有し、前記複数の貯蔵棚は、その水平方向移動のために前記回転機構に結合され、1つ又は2つ以上の位置まで一緒に移動し、
更に、前記貯蔵システムのフレームに結合されたアクティブポート組立体を有し、前記アクティブポート組立体は、前記位置のうちの1つのところに位置決めされたポートプレートを有し、前記アクティブポート組立体は、更に、前記貯蔵システムのフレームの外側の延長位置及び前記貯蔵システムのフレームの内側の引込み位置を定める水平方向移動組立体を含む、貯蔵システム。 - 更に、前記アクティブポート組立体に結合されたアクティブポートを有し、前記貯蔵システムのフレームと前記アクティブポートは一緒に、前記ベースプレート、前記回転機構、及び前記貯蔵棚を部分的に包囲する壁を構成する、請求項1に記載の貯蔵システム。
- 前記ツールは、容器内に貯蔵されるように構成されたウェーハを処理するように構成され、
前記貯蔵棚の各々は、容器が貯蔵棚の上に配置されたときに容器を支持するように構成された多数の棚特徴部を有し、
前記ポートプレートは、容器がポートプレートの上に配置されたときに容器を支持するように構成された多数のポート特徴部を有する、請求項1に記載の貯蔵システム。 - 前記回転機構は、複数のスプロケットと、レールと、チェーンと、モータを含み、前記スプロケットは、駆動スプロケットと、アイドラースプロケットを含み、前記レールは、前記ベースプレートに結合され、前記モータは、前記駆動スプロケットに結合され、前記複数のスプロケットは、前記チェーンに結合され、前記チェーンは、前記複数の貯蔵棚に結合され、前記モータは、前記チェーンを移動させるために、前記駆動スプロケットを回転させるように構成され、前記チェーンは、前記貯蔵棚を前記ベースプレートに対して移動させるように移動する、請求項1に記載の貯蔵システム。
- 前記回転機構は、レールと、前記レールの上に支持された複数のベアリングプレートを含み、前記レールは、前記ベースプレートに結合され、前記ベアリングプレートは、前記レールに対して回転するように構成され、前記貯蔵棚は、複数の棚プレートを有し、前記棚プレートのうちの1つは、前記ベアリングプレートのうちの1つに、それらの間に垂直方向隙間を形成するように結合され、それにより、容器を貯蔵棚のうちの1つに移送し又は容器を貯蔵棚のうちの前記1つから受入れる前、前記ポートプレートが前記垂直方向隙間を部分的に包囲することを可能にする、請求項1に記載の貯蔵システム。
- 前記貯蔵棚の各々は、容器を支持するように構成された棚プレートと、多数の棚特徴部を有し、前記棚特徴部は、容器が前記貯蔵棚の上に配置されたときに容器を前記貯蔵棚に対してロックするように容器のポートと係合する、請求項1に記載の貯蔵システム。
- 前記水平方向移動組立体は、空気圧シリンダと、複数のリニアベアリングと、前記ベースプレートに結合されたアクティブポートベースを含み、前記リニアベアリングは、前記アクティブポートベースに結合され、前記空気圧シリンダは、前記引込み位置を定めるために前記アクティブポートベースに対して引込むように構成され、前記延長位置を定めるために前記アクティブポートベースに対して延長するように構成される、請求項1に記載の貯蔵システム。
- 前記延長位置において、前記ポートプレートは、容器がポートプレートの上に支持されているときに容器をオーバーヘッド移送車に移送するように構成され、且つ、容器を前記ポートプレートの上に支持するために容器を前記オーバーヘッド移送車から受入れるように構成される、請求項1に記載の貯蔵システム。
- 前記貯蔵棚は、多数の水平方向列を前記ベースプレートの水平方向平面よりも上に形成するように構成され、ストッカロボットのラックが、前記水平方向列の間に設けられる、請求項1に記載の貯蔵システム。
- 前記ツールは、複数のロードポートを有し、前記ロードボートのうちの1つは、前記アクティブポート組立体が延長位置にあるときの前記ポートプレートと垂直方向に整列する、請求項1に記載の貯蔵システム。
- 貯蔵システムであって、
ツールの組立体のフレームにその上方で結合された前記貯蔵システムのフレームと、
前記貯蔵システムのフレームに結合されたベースプレートと、を有し、前記ベースプレートは、モータによって駆動される回転機構に結合され、水平方向平面を構成する向きに配置され、前記モータよりも下に位置し、
更に、複数の貯蔵棚を有し、前記複数の貯蔵棚は、その水平方向移動のために前記回転機構に結合され、1つ又は2つ以上の位置まで一緒に移動し、
更に、前記貯蔵システムのフレームに結合されたアクティブポート組立体を有し、前記アクティブポート組立体は、前記位置のうちの1つのところに位置決めされたポートプレートを有し、前記アクティブポート組立体は、更に、前記貯蔵システムのフレームの外側の延長位置及び前記貯蔵システムのフレームの内側の引込み位置を定める水平方向移動組立体を含み、
更に、前記貯蔵システムのフレームの上方に配置され且つ前記貯蔵システムのフレームに結合された移送ホイスト組立体を有する、貯蔵システム。 - 前記移送ホイスト組立体は、ホイスト用リニア駆動装置組立体と、片持ち式支持体と、ホイストフレームを含み、前記ホイスト用リニア駆動装置組立体は、前記貯蔵システムのフレームに結合され、前記片持ち式支持体は、前記ホイスト用リニア駆動装置組立体及び前記ホイストフレームに結合され、前記ホイストフレームは、延長位置にあるときの前記アクティブポートへの及び前記アクティブポートからの容器の移送を容易にするために、前記貯蔵システムのフレームに対して水平方向に移動するように構成される、請求項11に記載の貯蔵システム。
- 前記移送ホイスト組立体は、ホイスト用リニア駆動装置組立体と、片持ち式支持体と、ホイストフレームと、移送ホイストベルトと、グリッパを含み、前記ホイスト用リニア駆動装置組立体は、前記貯蔵システムのフレームに結合され、前記片持ち式支持体は、前記ホイスト用リニア駆動装置組立体及び前記ホイストフレームに結合され、前記ホイストフレームは、前記移送ホイストベルトに結合され、前記移送ホイストベルトは、前記グリッパに結合され、前記ホイストフレームは、延長位置にあるときの前記アクティブポートへの及び前記アクティブポートからの容器の移送を容易にするために、前記貯蔵システムのフレームに対して水平方向に移動するように構成され、前記グリッパは、容器が延長位置のポートプレートの上に配置されているときに容器を前記ポートプレートから移送するために、又は、容器を延長位置のポートプレートの上に配置するために、前記ホイストフレームに対して前記移送ホイストベルトを介して延びるように構成される、請求項11に記載の貯蔵システム。
- 更に、前記アクティブポート組立体に結合されたアクティブポートを有し、前記貯蔵システムのフレームと前記アクティブポートは一緒に、前記ベースプレート、前記回転機構、及び前記貯蔵棚を部分的に包囲する壁を構成し、
前記貯蔵棚の各々は、容器が貯蔵棚の上に配置されたときに容器を支持するように構成された多数の棚特徴部を有し、前記ポートプレートは、容器がポートプレートの上に配置されたときに容器を支持するように構成された多数のポート特徴部を有する、請求項11に記載の貯蔵システム。 - 前記回転機構は、複数のスプロケットと、レールと、チェーンと、モータを含み、前記スプロケットは、駆動スプロケットと、アイドラースプロケットを含み、前記レールは、前記ベースプレートに結合され、前記モータは、前記駆動スプロケットに結合され、前記複数のスプロケットは、前記チェーンに係合するように構成され、前記チェーンは、前記複数の貯蔵棚に結合され、前記モータは、前記チェーンを更に移動させるために、前記駆動スプロケットを回転させるように構成され、前記チェーンは、前記貯蔵棚を前記ベースプレートに対して移動させるように移動する、請求項11に記載の貯蔵システム。
- 前記回転機構は、レールと、前記レールの上に支持された複数のベアリングプレートを含み、前記レールは、前記ベースプレートに結合され、前記ベアリングプレートは、前記レールに対して回転するように構成され、前記貯蔵棚は、複数の棚プレートを有し、前記棚プレートのうちの1つは、前記ベアリングプレートのうちの1つに、それらの間に垂直方向隙間を形成するように結合され、それにより、容器を貯蔵棚のうちの1つに移送し又は容器を貯蔵棚のうちの前記1つから受入れる前、前記ポートプレートが前記垂直方向隙間を部分的に包囲することを可能にする、請求項11に記載の貯蔵システム。
- 前記貯蔵棚の各々は、容器を支持するように構成された棚プレートと、多数の棚特徴部を有し、前記棚特徴部は、容器が前記貯蔵棚の上に配置されたときに容器を前記貯蔵棚に対してロックするように容器のポートと係合する、請求項11に記載の貯蔵システム。
- 前記水平方向移動組立体は、空気圧シリンダと、複数のリニアベアリングと、前記ベースプレートに結合されたアクティブポートベースを含み、前記リニアベアリングは、前記アクティブポートベースに結合され、前記空気圧シリンダは、前記引込み位置を定めるために前記アクティブポートベースに対して引込むように構成され、前記延長位置を定めるために前記アクティブポートベースに対して延長するように構成される、請求項11に記載の貯蔵システム。
- 貯蔵システムであって、
ツールの組立体のフレームにその上方で結合された前記貯蔵システムの第1のフレームと、
前記貯蔵システムのフレームに結合されたベースプレートと、を有し、前記ベースプレートは、モータによって駆動される回転機構に結合され、水平方向平面を構成する向きに配置され、前記モータよりも下に位置し、
更に、複数の貯蔵棚を有し、前記複数の貯蔵棚は、その水平方向移動のために前記回転機構に結合され、1つ又は2つ以上の位置まで一緒に移動し、
更に、前記貯蔵システムの第1のフレームに結合されたアクティブポート組立体を有し、前記アクティブポート組立体は、前記位置のうちの1つのところに位置決めされたポートプレートを有し、前記アクティブポート組立体は、更に、前記貯蔵システムのフレームの外側の延長位置及び前記貯蔵システムのフレームの内側の引込み位置を定める水平方向移動組立体を含み、
更に、前記第1のフレームにその上方で結合された前記貯蔵システムの第2のフレームを有する、貯蔵システム。 - 更に、前記貯蔵システムの第2のフレームに結合されたアクティブポート組立体を有し、前記アクティブポート組立体は、前記位置のうちの1つに位置決めされたポートプレートを有し、前記アクティブポート組立体は、更に、前記貯蔵システムの第2のフレームの外側の延長位置及び前記貯蔵システムの第2のフレームの内側の引込み位置を定める水平方向移動組立体を含む、請求項19に記載の貯蔵システム。
- 更に、前記アクティブポート組立体に結合されたアクティブポートを有し、前記貯蔵システムの第1のフレームと前記アクティブポートは一緒に、前記ベースプレート、前記回転機構、及び前記貯蔵棚を部分的に包囲する壁を構成し、
前記貯蔵棚の各々は、容器が貯蔵棚の上に配置されたときに容器を支持するように構成された多数の棚特徴部を有し、前記ポートプレートは、容器がポートプレートの上に配置されたときに容器を支持するように構成された多数のポート特徴部を有する、請求項19に記載の貯蔵システム。 - 前記回転機構は、複数のスプロケットと、レールと、チェーンと、モータを含み、前記スプロケットは、駆動スプロケットと、アイドラースプロケットを含み、前記レールは、前記ベースプレートに結合され、前記モータは、前記駆動スプロケットに結合され、前記複数のスプロケットは、前記チェーンに結合され、前記チェーンは、前記複数の貯蔵棚に結合され、前記モータは、前記チェーンを移動させるために、前記駆動スプロケットを回転させるように構成され、前記チェーンは、前記貯蔵棚を前記ベースプレートに対して移動させるように移動する、請求項19に記載の貯蔵システム。
- 前記回転機構は、レールと、前記レールの上に支持された複数のベアリングプレートを含み、前記レールは、前記ベースプレートに結合され、前記ベアリングプレートは、前記レールに対して回転するように構成され、前記貯蔵棚は、複数の棚プレートを有し、前記棚プレートのうちの1つは、前記ベアリングプレートのうちの1つに、それらの間に垂直方向隙間を形成するように結合され、それにより、容器を貯蔵棚のうちの1つに移送し又は容器を貯蔵棚のうちの前記1つから受入れる前、前記ポートプレートが前記垂直方向隙間を部分的に包囲することを可能にする、請求項19に記載の貯蔵システム。
- 前記貯蔵棚の各々は、容器を支持するように構成された棚プレートと、多数の棚特徴部を有し、前記棚特徴部は、容器が前記貯蔵棚の上に配置されたときに容器を前記貯蔵棚に対してロックするように容器のポートと係合する、請求項19に記載の貯蔵システム。
- 前記水平方向移動組立体は、空気圧シリンダと、複数のリニアベアリングと、アクティブポートベースを含み、前記アクティブポートベースは、前記ベースプレートに結合され、前記リニアベアリングは、前記アクティブポートベースに結合され、前記空気圧シリンダは、前記引込み位置を定めるために前記アクティブポートベースに対して引込むように構成され、前記延長位置を定めるために前記アクティブポートベースに対して延長するように構成される、請求項19に記載の貯蔵システム。
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