JP6025274B2 - 基板用容器貯蔵システムと相互作用する一体システム - Google Patents
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Description
100C フレーム
110 貯蔵棚
113 モータ
119 ポートプレート
119a アクティブポート組立体
119a−1 水平方向移動組立体
120 棚プレート
122 棚特徴部
123 ポート特徴部
124 垂直方向空気圧シリンダ(垂直方向移動組立体)
125 垂直方向リニアベアリング(垂直方向移動組立体)
129 ベースプレート
131 オーバーヘッド移送車
132 オーバーヘッドレール
135 ツール
136 移送ホイスト
137 ホイスト用リニア駆動装置
138 片持ち式支持体
140 移送ホイストグリッパ
141 移送ホイストベルト
142 移送ホイストフレーム
172 ロードステーション
174a、174b 静止棚
176a、176b 横配送コンベヤ部分
200 ツールの組立体
Claims (16)
- 貯蔵システムであって、
(a)フレームと、
(b)前記フレームに結合されたベースプレートと、を含み、前記ベースプレートは、モータによって駆動される回転機構に連結され、且つ、水平方向面を定める向きに配置され、
(c)さらに、前記回転機構に結合された複数の貯蔵棚を含み、前記複数の貯蔵棚の各々は、容器を支持する複数の棚特徴部を備えた棚プレートを有し、
前記貯蔵棚は、複数の位置に一緒に移動し、
前記貯蔵システムのフレームは、ツールの上方に位置決めされ、
(d)さらに、前記貯蔵システムのフレームに連結されたアクティブポート組立体を含み、前記アクティブポート組立体は、前記位置のうちの1つに位置決めされたポートプレートを有し、前記ポートプレートは、複数のポート特徴部を備え、
前記アクティブポート組立体は、さらに、
(i)前記貯蔵システムのフレームの外側の延長位置及び前記貯蔵システムのフレームの内側の引込み位置を定める水平方向移動組立体と、
(ii)前記ポートプレートに結合された垂直方向移動組立体と、を含み、前記垂直方向移動組立体は、上位置及び下位置を定め、前記水平方向移動組立体に結合され、
前記下位置では、前記ポートプレートを前記棚プレートのうちの1つの下方に配置し、 前記上位置では、前記ポートプレートを前記棚プレートのうちの1つの上方に配置する、貯蔵システム。 - さらに、前記容器又は他の容器を支持するために、前記貯蔵システムのフレームに結合された静止棚を含み、前記静止棚において、オーバーヘッド移送車からの容器又は他の容器の配置が行われる、請求項1に記載の貯蔵システム。
- 前記静止棚は、前記ツールのロードポートの方向に延びる、請求項2に記載の貯蔵システム。
- 前記静止棚は、前記貯蔵システムのフレームに対して引込み可能ではない、請求項2に記載の貯蔵システム。
- さらに、前記容器又は他の容器を支持するために、前記貯蔵システムのフレームに結合された静止棚を含み、前記静止棚は、オーバーヘッド移送車による容器又は他の容器の持上げを容易にするのに使用される、請求項1に記載の貯蔵システム。
- 前記静止棚は、前記ツールのロードポートの方向に延びる、請求項5に記載の貯蔵システム。
- 前記静止棚は、前記貯蔵システムのフレームに対して引込み可能ではない、請求項5に記載の貯蔵システム。
- 前記貯蔵システムのフレームは、ホイスト用リニア駆動装置に沿って、前記ツールの一部分に沿って、且つ、追加のツールの一部分に沿って延び、
前記貯蔵システムのフレームは、前記ホイスト用リニア駆動装置の下方に配置され、
前記ホイスト用リニア駆動装置は、移送ホイストを前記ホイスト用リニア駆動装置に沿って直線方向に駆動するように前記移送ホイストに連結され、前記移送ホイストは、容器を前記ツールと前記追加のツールの間で、又は、前記ツールと前記オーバーヘッド移送車との間で、又は、前記追加のツールと前記オーバーヘッド移送車との間で移送するのに使用される、請求項1に記載の貯蔵システム。 - 前記追加のツールは、前記ツールの横に配置される、請求項8に記載の貯蔵システム。
- 前記移送ホイストは、前記容器を前記ツールから前記ポートプレートに、又は、前記追加のツールから前記ポートプレートに、又は、前記ポートプレートから前記ツールに、又は、前記ポートプレートから前記追加のツールに移送し、又は、前記容器又は他の容器を前記ツールと前記追加のツールの間で前記ポートプレートを介して移送する、請求項8に記載の貯蔵システム。
- 前記貯蔵システムのフレームは、前記ツールの上に少なくとも部分的に配置され、前記追加のツールの上に少なくとも部分的に配置され、且つ、ホイストに結合されたリニア駆動装置の下方に位置し、前記ホイストは、前記ツール及び前記追加のツールの上を摺動し、前記貯蔵システム内の容器を前記ツール又は前記隣接したツール又はオーバーヘッド移送車のいずれかと交換される、請求項1に記載の貯蔵システム。
- 前記容器は、前記延長位置にある時の前記ポートプレートとオーバーヘッド移送車との間で移送され、前記オーバーヘッド移送車は、部屋の天井に取付けられたオーバーヘッドレールに取付けられる、請求項1に記載の貯蔵システム。
- 前記延長位置において、前記ポートプレートと移送ホイストとの間の容器の移送を容易にし、
前記移送ホイストは、ホイスト用リニア駆動装置に結合され、前記ホイスト用リニア駆動装置に沿って直線方向に移動し、前記ホイスト用リニア駆動装置は、前記貯蔵システムのフレームに連結され、
前記貯蔵システムのフレームは、ロードステーションの上に配置され、前記ロードステーションは、前記ツールのフレームに隣接して配置され、前記容器を前記ポートプレートから前記移送ホイストを介して受入れ、又は、前記容器を前記ポートプレートに前記移送ホイストを介して移送する、請求項1に記載の貯蔵システム。 - 貯蔵システムであって、
ベースプレートを含み、前記ベースプレートは、フレームに結合され且つツールよりも上の水平方向面内に配置され、前記ツールは、基板を容器と前記ツールの間で移送するためのロードポートを含み、
さらに、前記ベースプレートに結合された移動機構と、
前記移動機構に結合された複数の貯蔵棚と、を含み、前記貯蔵棚の各々は、容器を支持し、棚プレートを有し、
さらに、前記フレームに連結されたアクティブポートを含み、前記アクティブポートは、容器を前記貯蔵棚の1つから移動させるために前記貯蔵棚の1つから遠ざかるように延び、容器を前記貯蔵棚の1つに移動させるために前記貯蔵棚の1つに向かって引込み、
さらに、前記貯蔵棚の1つの棚プレートよりも下方の下位置及び引込み位置に位置するように構成されたポートプレートと、
容器を前記貯蔵棚から取出すために、前記ポートプレートを前記下位置及び引込み位置から垂直方向に上昇させるように構成された垂直方向移動組立体と、を有する、貯蔵システム。 - さらに、リニア駆動装置と、
片持ち式支持体を介して前記リニア駆動装置に連結された移送ホイストと、を含み、
前記移送ホイストは、前記リニア駆動装置に沿って摺動するように構成され、前記移送ホイストは、ホイストフレームから延びる複数の移送ホイストベルトと、容器を把持するために前記移送ホイストベルトに連結されたホイストグリッパとを有する、請求項14に記載の貯蔵システム。 - さらに、前記フレームに取付けられたコンベヤを有し、前記コンベヤは、容器をオーバーヘッド移送車と移送ホイストとの間で移送するように構成され、
前記移送ホイストは、前記フレームに結合されたホイスト用リニア駆動装置に結合され、前記ホイスト用リニア駆動装置に沿って直線方向に移動し、
前記オーバーヘッド移送車は、部屋の天井に取付けられたオーバーヘッド移送レールに取付けられる、請求項14に記載の貯蔵システム。
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