JPH10250836A - 天井走行車システム - Google Patents

天井走行車システム

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JPH10250836A
JPH10250836A JP8214197A JP8214197A JPH10250836A JP H10250836 A JPH10250836 A JP H10250836A JP 8214197 A JP8214197 A JP 8214197A JP 8214197 A JP8214197 A JP 8214197A JP H10250836 A JPH10250836 A JP H10250836A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 クリーンルームの床面を占有せずに、ワーク
を保管できるようにする。 【構成】 天井走行車２のレール１に沿って処理装置４
２を配置し、処理装置４２の上部に前後進装置５０を設
けてワーク６を保管し、前後進装置５０を前進させて処
理装置のステーション４４，４６の直上部で天井走行車
２とワーク６を受渡しする。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の利用分野】この発明は、クリーンルーム等での
ワーク搬送用の天井走行車システムに関する。
【０００２】
【従来技術】天井走行車システムは、工場や倉庫などで
ワークを搬送するためのものである。このシステムで
は、これらの建物の天井に沿って走行レールを敷設し、
このレールに沿ってワークの処理装置を配置すると共に
天井走行車を走行させて、処理装置間でワークを搬送す
る。天井走行車がワークを荷積みあるいは荷降ろしする
位置はステーションと呼ばれ、天井走行車はこのステー
ションの直上部で停止するように制御される。ところで
ステーションがワークで一杯でこれ以上ワークを収容で
きない場合、ワークを一時的に保管するバッファが必要
になる。そしてバッファを設けると、その分だけスペー
スが占有される。このことは例えばクリーンルームの場
合、スペースが貴重なため問題となる。
【０００３】
【発明の課題】この発明の課題は、以下の点にある（請
求項１〜３）。 1) 床面を占有せずに処理装置上部の空きスペースでワ
ークを保管できるようにし、スペースを有効に利用する
こと。請求項２での追加の課題は、 2) 処理装置のステーションと同じ位置で、天井走行車
がワーク保管用の前後進手段とワークの受渡しをできる
ようにし、天井走行車の停止制御を容易にすることにあ
る。請求項３での追加の課題は、 3) クリーンルーム内のスペースを有効に利用し、かつ
前後進手段の設置を容易にすることにある。
【０００４】
【発明の構成】この発明は、建て屋の天井付近に設けた
天井走行車の走行レールに沿ってワークの処理装置を配
置した天井走行車システムにおいて、前記処理装置の上
部に、ワークを載置して前後進する前後進手段を配設
し、かつ前後進により前記前後進手段を前記走行レール
の直下へせり出させて、天井走行車と前記前後進手段と
の間でワークの受渡しができるように構成したことを特
徴とする。
【０００５】好ましくは、天井走行車と前後進手段との
間のワークの受渡しを、前記処理装置のワーク受渡しス
テーションの直上部で行うようにする。また好ましく
は、天井走行車システムをクリーンルーム内に設け、か
つ前後進手段を前記処理装置の上面で支持する。
【０００６】
【発明の作用と効果】この発明では、処理装置の上部に
前後進手段を設けて、前後進手段上にワークを載置する
ので、床面のスペースを占有せずにワークを保管でき
る。ここで前後進手段が処理装置からせり出して、処理
装置本来のステーションの直上部で天井走行車とワーク
を受渡しするようにすれば、天井走行車の停止制御が容
易になる。即ち天井走行車は、同じ停止位置で処理装置
本来のステーションと前後進手段の双方に対してワーク
の受渡しができる。この発明の天井走行車システムをク
リーンルーム内に配置すれば、クリーンルームのスペー
スを有効利用でき、また前後進手段を処理装置の上面で
支持すれば、前後進手段の設置が容易になる。
【０００７】
【実施例】図１〜図９に実施例を示す。図１は処理装置
や前後進手段を除いた天井走行車システムの概要を示
し、１は走行レールで例えばクリーンルームの天井に沿
って敷設し、２はこのレール１に沿って走行する天井走
行車で、３，３は一対の台車である。４は台車３の下部
の巻き上げユニットで、昇降台５をベルトやロープ等の
吊持材で昇降させ、６は搬送対象のワークである。ワー
クは物品そのものやあるいは物品を収容したケース等を
意味し、実施例の場合、ワーク６は半導体基板や液晶基
板等を収容したケースからなる。図２に台車３の構造を
示すと、１０は走行モータで、ギア１２を介して走行車
輪１４を駆動し、１６は台車３をレール１に沿ってスム
ーズに走行させるためのガイドローラである。台車３の
底部にはピボット軸１８があり、巻き上げユニット４等
の天井走行車本体をピボット連結している。
【０００８】図３に移り、２０はレール支持部材で、２
２はボルト、２４はそのカバーで、ボルト２２によりレ
ール支持部材２０をクリーンルームの天井２６に固着す
る。３２はレール１に設けた架線で、３４は台車３の集
電子である。３６は通信ケーブルで、３８は停止位置を
示すマーク、４０はマーク３８の読み取りセンサであ
る。
【０００９】図４に、処理装置４２と前後進装置５０を
示す。処理装置４２は半導体基板や液晶基板等に種々の
処理を施す装置で、例えば成膜装置や熱処理装置、洗浄
装置等からなる。処理装置４２は走行レール１の直下に
沿ってワーク６の受渡し用ステーション４４，４６を有
し、例えばステーション４４を処理装置４２の入口側
に、ステーション４６を出口側に配置する。前後進装置
５０は処理装置４２の上面に設置され、前後進装置５０
の上面にワーク６を例えば５個程度保管でき、レール１
の下部へと前進できる。前後進装置５０は処理装置４２
の上面に配置するものに限らず、例えば前後進装置５０
を天井２６から処理装置４２の上部の位置へ吊持しても
良いが、処理装置４２の上面で支持すると設置が簡単に
なる。
【００１０】図５に前後進装置５０の制御を示すと、４
８は天井走行車システムのホストコンピュータで、天井
走行車２と前後進装置５０のコントローラ５２の双方を
制御する。図６，図７に前後進装置５０の構造を示す
と、５６は前後進装置のベース、５８は１枚目のスライ
ド、６０はスライド５８の底面のラック、６２は２枚目
のスライド、６４はチェーンベルト、６６はギアであ
る。そして前後進装置５０は例えばネジ６８で処理装置
４２の上面に固定されている。
【００１１】前後進装置５０は通常時は処理装置４２の
上面上で待機しており、天井走行車２とのワーク６の受
渡し時に、ギア６６，６６を回転させてラック６０によ
りスライド５８を前進させる。この時、スライド６２は
チェーンベルト６４によりスライド５８よりさらにせり
出す。このためステーション４４，４６の直上の位置
で、天井走行車２とワーク６の受渡しができ、かつ受渡
しが終了すると、元の位置へ復帰する。実施例では２枚
のスライド５８，６２を用いて前後進装置５０を構成し
たが、例えば油圧や空気圧等のシリンダで前後進するも
のでも良い。例えばベルトコンベア等のコンベア全体を
シリンダで前後進させ、かつコンベアのベルトを駆動し
てコンベアに対してワークをさらに前後進させても良
い。前後進装置５０ではステーション４４，４６の直上
で天井走行車２とワーク６の受渡しを行うようにしたの
で、天井走行車２の停止位置の数が減少し、天井走行車
２の停止制御が容易になる。
【００１２】前後進装置５０は処理装置４２の入口側や
出口側でのワーク６のバッファとして用い、ステーショ
ン４４にワーク６がある際にその上部の前後進装置５０
にワーク６を一時保管し、同様にステーション４６から
のワーク６をその上部の前後進装置５０で一時保管す
る。前後進装置５０からステーション４４へワーク６を
移動させる場合、天井走行車２は昇降台で前後進装置５
０からワーク６を受け取り、前後進装置５０を復帰させ
た後に、さらに降下してステーション４４へワーク６を
渡せば良い。同様にステーション４６からその上部の前
後進装置５０へワーク６を渡す場合、ステーション４６
上で昇降台５によりワーク６を把持して昇降台５を上昇
させ、次に前後進装置５０を前進させてワーク６を荷降
ろしすれば良い。このように天井走行車２は同じ位置で
ステーション４４，４６と前後進装置５０間のワーク６
の受渡しができる。
【００１３】図８に天井走行車システムの配置を示す
と、クリーンルーム内に設置したレール１に沿って天井
走行車２が走行し、このレール１に沿って処理装置４２
ａ〜４２ｆが配置され、各処理装置４２の上面に各々一
対の前後進装置５０が支持されている。また前後進装置
５０は前進時にステーション４４，４６の真上の位置で
ワーク６を受渡しできる。
【００１４】図９に前後進装置５０の制御を示すと、例
えばホストコンピュータ４８から入庫の指令があると、
コントローラ５２は前後進装置５０が一杯かどうか調
べ、一杯の場合はその旨ホストコンピュータ４８に報告
する。これ以外の場合、前後進装置５０はその上面の空
き位置がステーション４４，４６の真上に表れるように
前進し、天井走行車２からワーク６を受け取ったことを
確認した後、元の位置へ復帰する。コントローラ５２は
ワーク６を図９の下部に示すように例えばリスト形式で
管理し、リストの各位置には前後進装置５０の上面のア
ドレスを記録し、最も早く受け取ったワーク６のアドレ
スをリストの先頭に、最後に受け取ったワーク６のアド
レスをリストの末尾に記録する。従って入庫があると、
リストの末尾に、入庫したワーク６の前後進装置５０上
でのアドレスを追加する。
【００１５】出庫の指令を受けると、リストの先頭のワ
ーク６がステーション４４，４６の真上に来るように前
後進装置５０は前進し、昇降台５でワーク６を把持した
ことを確認するチャック信号を待って元の位置へ後退
し、リストの先頭のアドレスを削除する。このようにす
ると、前後進装置５０でワーク６を先入れ先出しで処理
でき、古いワーク６が前後進装置５０に残ることが無
い。
【００１６】実施例では、処理装置４２の上面を利用し
て前後進装置５０を設置するので、クリーンルーム内の
空きスペースを有効に利用でき、前後進装置５０の設置
も簡単である。前後進装置５０と天井走行車２とのワー
ク６の受渡しは、処理装置４２のステーション４４，４
６の直上部で行うので、天井走行車２の停止制御が容易
になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 実施例の天井走行車の斜視図
【図２】 実施例の天井走行車の台車の要部正面図
【図３】 実施例の天井走行車の台車部の鉛直面での
要部断面図
【図４】 実施例での処理装置と前後進装置を示す斜
視図
【図５】 実施例での天井走行車と前後進装置とホス
トコンピュータの接続を示す図
【図６】 実施例での停止時の前後進装置を示す図
【図７】 実施例での前後進装置動作を示す図
【図８】 実施例の天井走行車システムの配置を示す
平面図
【図９】 実施例の動作フローチャート
【符号の説明】
１ 走行レール ２ 天井走行車 ３ 台車 ４ 巻き上げユニット ５ 昇降台 ６ ワーク １０ 走行モータ １２ ギア １４ 走行車輪 １６ ガイドローラ １８ ピボット軸 ２０ レール支持部材 ２２ ボルト ２４ カバー ２６ 天井 ３２ 架線 ３４ 集電子 ３６ 通信ケーブル ３８ マーク ４０ 読み取りセンサ ４２ 処理装置 ４４，４６ ステーション ４８ ホストコンピュータ ５０ 前後進装置 ５２ コントローラ ５４ モータ ５６ ベース ５８ スライド ６０ ラック ６２ スライド ６４ チェーンベルト ６６ ギア ６８ ネジ

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 建て屋の天井付近に設けた天井走行車の
    走行レールに沿ってワークの処理装置を配置した天井走
    行車システムにおいて、 前記処理装置の上部に、ワークを載置して前後進する前
    後進手段を配設し、かつ前後進により前記前後進手段を
    前記走行レールの直下へせり出させて、天井走行車と前
    記前後進手段との間でワークの受渡しができるように構
    成したことを特徴とする、天井走行車システム。
  2. 【請求項２】 天井走行車と前後進手段との間のワーク
    の受渡しを、前記処理装置のワーク受渡しステーション
    の直上部で行うようにしたことを特徴とする、請求項１
    の天井走行車システム。
  3. 【請求項３】 天井走行車システムをクリーンルーム内
    に設け、かつ前後進手段を前記処理装置の上面で支持し
    たことを特徴とする、請求項１または２の天井走行車シ
    ステム。
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