JP5904098B2 - 物品搬送設備 - Google Patents
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Description
物品搬送設備の従来例として、高位置用の載置部及び低位置用の載置部の夫々が、他方の載置部の移動軌跡及び他方の載置部に載置された物品の移動軌跡と上下方向視で重複する状態で設けられて、高位置搬送装置と低位置搬送装置との水平方向での設置スペースの省スペース化が図られているものがある(例えば、特許文献1参照。)。
そして、上記特許文献1の物品搬送設備では、高位置搬送装置を、低位置用の載置部に載置された物品の上端より高い高さに設けて、低位置搬送装置にて物品を搬送するときに、当該物品が高位置搬送装置に干渉しないように構成されている。
前記高位置用の載置部が、前記低位置用の載置部における物品を載置する載置面の高さより高く且つ前記低位置用の載置部に載置された物品の上端より低い高さに設けられ、前記低位置用の載置部は、当該低位置用の載置部に載置された物品の移動軌跡が前記高位置用の載置部の移動軌跡及びその高位置用の載置部に載置された物品の移動軌跡と上下方向視で重複する部分と重複しない部分とが前記低位置用の載置部の移動方向に沿って並ぶ状態で設けられ、前記高位置用の載置部は、当該高位置用の載置部の移動軌跡及びその高位置用の載置部に載置された物品の移動軌跡が前記低位置用の載置部に載置された物品の移動軌跡と上下方向視で重複する部分と重複しない部分とが前記高位置用の載置部の移動方向に沿って並ぶ状態で設けられている点にある。
また、低位置用の載置部に載置された物品が、高位置用の載置部及びその高位置用の載置部に載置された物品と上下方向視で重複しない状態では、物品を載置した高位置用の載置部を移動させたときに、低位置用の載置部に載置された物品が邪魔にならず、高位置用の載置部を高位置第1搬送箇所に対応する位置と高位置第2搬送箇所に対応する位置とに移動させることで、物品を高位置第1搬送箇所もしくは高位置第2搬送箇所との間で搬送することができる。
第1搬送箇所と第2搬送箇所との間で物品を搬送する経路として、低位置用の載置部を移動させて物品を搬送する経路と、高位置用の載置部を移動させて物品を搬送する経路との2経路が設けられているため、第1搬送箇所と第2搬送箇所との間で物品を効率よく搬送することができる。
また、高位置用の載置部が、低位置用の載置部における物品を載置する載置面の高さより高く且つ低位置用の載置部に載置された物品の上端より低い高さに設けられているため、低位置搬送装置と高位置搬送装置との上下方向での設置スペースの省スペース化を図ることができる。
そして、載置部の旋回移動は、例えば、鉛直方向に沿う回転軸心周りに回転自在な連結部に載置部を連結してその連結部を電動モータにて回転させる等の簡単な構成で実現できるため、搬送装置の構成の簡素化を図ることができる。
また、搬送装置の載置部に容器を載置させた状態で、基板搬送装置にて基板を取り出すことができるため、搬送装置の載置部上から基板取り出し用に設定された基板取出箇所等の別箇所に容器を搬送する必要がなく、効率よく基板を搬送することができる。
図1〜図3に示すように、物品搬送設備には、第1搬送箇所1(図2及び図3参照)と第2搬送箇所2(図2及び図3参照)との間で複数枚の基板4を収納自在な容器3を搬送する搬送装置5と、第1搬送箇所1との間で容器3を搬送する天井搬送車6と、基板4に対して処理を行う基板処理装置7と、第2搬送箇所2に位置する容器3と基板処理装置7との間で基板4を搬送する基板搬送装置8と、が設けられている。
また、物品搬送設備は、基板搬送装置8にて、基板処理装置7による処理が完了した基板4を基板処理装置7から第2搬送箇所2に位置する容器3へ搬送して当該基板4を容器3に収納し、搬送装置5にて容器3を第2搬送箇所2から第1搬送箇所1に搬送し、天井搬送車6にて容器3を第1搬送箇所1から搬送するように構成されている。
尚、基板処理装置7では、基板4に対して塗布、露光及び現像等の所定の処理が行われている。
尚、第1搬送箇所1は容器搬送領域E1に設定され、第2搬送箇所2は、基板搬送領域E2に設定されている。
そして、搬送装置5は、容器3を載置する単一の載置部11を水平方向に沿って移動させることで、容器3を第1搬送箇所1と第2搬送箇所2との間で搬送するように構成されている。単一の載置部11は、上下方向視でコ字状に形成された板状部材にて構成されている。
説明を加えると、図8に示すように、低位置電動モータ13Lの出力軸に低位置連結部14Lが軸心P周りに回転自在に連結されており、その低位置連結部14Lに低位置用の載置部11Lが片持ち状に連結されている。そして、低位置電動モータ13Lにて低位置連結部14Lが軸心P周りに回転駆動することで、低位置用の載置部11Lを軸心P周りに旋回移動させて容器3を低位置第1搬送箇所1Lと低位置第2搬送箇所2Lとの間で搬送するように構成されている。
また同様に、高位置搬送装置5Hも、高位置用の載置部11Hを鉛直方向に沿う軸心P周りに旋回移動自在に設けられており、高位置電動モータ13Hにて高位置連結部14Hが軸心P周りに回転駆動することで、高位置用の載置部11Hを軸心P周りに旋回移動させて容器3を高位置第1搬送箇所1Hと高位置第2搬送箇所2Hとの間で搬送するように構成されている。
このように、低位置用の載置部11Lと高位置用の載置部11Hとは同一軸心周りに旋回移動自在に設けられている。
低位置電動モータ13Lは、出力軸が上方に向けて突出する姿勢で設けられており、その低位置電動モータ13Lの出力軸に、低位置連結部14Lの上側連結部分14aから上方に突出した上突出部分14cが一体回転する状態で連結されている。
また、高位置電動モータ13Hは、出力軸が下方に向けて突出する姿勢で設けられており、その高位置電動モータ13Hの出力軸に、高位置連結部14Hの下側連結部分14bから下方に突出した下突出部分14dが一体回転する状態で連結されている。
また、低位置連結部14Lの上側連結部分14aと高位置連結部14Hの下側連結部分14bとの間には支持フレーム12に支持された部材15が介在しており、低位置連結部14Lの上側連結部分14aは、軸心P周りに回転自在な状態で部材15の上端部に連結され、高位置連結部14Hの下側連結部分14bは、軸心P周りに回転自在な状態で部材15の下端部に連結されている。
そして、低位置連結部14Lに連結された低位置用の載置部11L及び高位置連結部14Hに連結された高位置用の載置部11Hは、高位置用の載置部11Hが、低位置用の載置部11Lにおける容器3を載置する載置面(載置部11Hの上面)の高さより高く且つ低位置用の載置部11Lに載置された容器3の上端より低い高さに位置する状態で設けられている。
低位置用の載置部11Lは、軸心Pを中心に上下方向視で反時計回りに旋回移動させて容器搬送領域E1に突出移動させることで、低位置第1搬送箇所1Lに対応する位置(図5(a)に実線で示す位置)に旋回移動するように構成されている。このとき、低位置用の載置部11Lは、軸心Pに対して設備前後方向の容器搬送領域E1が位置する側に位置している。
また、低位置用の載置部11Lは、軸心Pを中心に上下方向視で時計回りに旋回移動させて基板搬送領域E2に引退移動させることで、低位置第2搬送箇所2Lに対応する位置(図5(a)に仮想線で示す位置)に旋回移動するように構成されている。このとき、低位置用の載置部11Lは、軸心Pに対して設備左右方向の一方側(天井搬送車6の走行方向上手側)に位置している。
また、高位置用の載置部11Hは、軸心Pを中心に上下方向視で反時計回りに旋回移動させて基板搬送領域E2に引退移動させることで、高位置第2搬送箇所2Hに対応する位置(図5(b)に仮想線で示す位置)に旋回移動するように構成されている。このとき、高位置用の載置部11Hは、軸心Pに対して設備左右方向の他方側(天井搬送車6の走行方向下手側)に位置している。
ちなみに、図3における上側に位置する低位置搬送装置5Lと高位置搬送装置5Hとの組は、図5(b)に示す位置関係となっており、図3における下側に位置する低位置搬送装置5Lと高位置搬送装置5Hとの組は、図5(a)に示す位置関係となっている。
また、高位置用の載置部11Hは、高位置第1搬送箇所1Hに対応する位置に移動させた状態では、低位置用の載置部11Lの移動軌跡及びその低位置用の載置部11Lに載置された容器3の移動軌跡と上下方向視で重複し、高位置第2搬送箇所2Hに対応する位置に移動させた状態では、低位置用の載置部11Lの移動軌跡及びその低位置用の載置部11Lに載置された容器3の移動軌跡と上下方向視で重複しないように設けられている。
つまり、図5(a)に示すように、高位置用の載置部11Hが高位置第2搬送箇所2Hに対応する位置に位置する状態では、高位置用の載置部11Hやこの高位置用の載置部11Hに載置された容器3に接触することなく、低位置用の載置部11Lを、低位置第1搬送箇所1Lに対応する位置や低位置第2搬送箇所2Lに対応する位置に移動させて、容器3を低位置第1搬送箇所1Lや低位置第2搬送箇所2Lに搬送できるようになっている。
また、図5(b)に示すように、低位置用の載置部11Lが低位置第2搬送箇所2Lに対応する位置に位置する状態では、低位置用の載置部11Lやこの低位置用の載置部11Lに載置された容器3に接触することなく、高位置用の載置部11Hを、高位置第1搬送箇所1Hに対応する位置や高位置第2搬送箇所2Hに対応する位置に移動させて、容器3を高位置第1搬送箇所1Hや高位置第2搬送箇所2Hに搬送できるようになっている。
この基板搬送装置8は、昇降台17の昇降移動及び移動ロボット18の設備左右方向に沿う移動、並びに、支持部18aの昇降、回転及び出退によって、低位置用の載置部11Lに載置された状態で低位置第2搬送箇所2Lに位置する容器3から基板4を取り出して当該基板4を基板処理装置7に搬送し、高位置用の載置部11Hに載置された状態で高位置第2搬送箇所2Hに位置する容器3から基板4を取り出して当該基板4を基板処理装置7に搬送し、且つ、基板処理装置7にて処理を終えた基板4を高位置用もしくは低位置用の載置部11に載置されて第2搬送箇所2に位置する容器3へ搬送して当該基板4を容器3に収納するように構成されている。
そして、天井搬送車6は、図3に示すように、支持体21を上昇位置に上昇移動させた状態で走行移動自在に構成され、且つ、支持体21を上昇位置から下降移動させて載置部11上に容器3を卸す形態で第1搬送箇所1に容器3を搬送し、支持体21を上昇位置に上昇移動させて載置部11上から容器3を引き上げる形態で第1搬送箇所1から容器3を搬送するように構成されている。
また、天井搬送車6は、第1搬送箇所1の真上の停止位置に停止した状態で、容器3を支持しない支持体21を下降移動させ、支持体21により第1搬送箇所1に位置する容器3を支持し、容器3を支持した支持体21を上昇移動させることにより、第1搬送箇所1から容器3を搬送するように構成されている。
ちなみに、天井搬送車6を停止位置に停止させた状態において、第1搬送箇所1に対応する位置に低位置用の載置部11Lが位置しているときは、低位置第1搬送箇所1Lとの間で容器3が搬送され、第1搬送箇所1に対応する位置に高位置用の載置部11Hが位置しているときは、高位置第1搬送箇所1Hとの間で容器3が搬送される。
そのため、第1搬送箇所1が天井搬送車6に近く、天井搬送車6が第1搬送箇所1に搬送するときの支持体21の下降量を少なくでき、容器3を第1搬送箇所1に迅速に搬送することができる。また、第1搬送箇所1に容器3が存在していたとしても、容器3を支持しない走行用状態の天井搬送車6を自由に走行移動させることができる。
搬送制御装置Hは、天井搬送車6を第1搬送箇所1の真上に位置する停止位置まで走行移動させる授受前走行処理と、天井搬送車6を第1搬送箇所1の真上の停止位置から走行移動させる授受後走行処理と、天井搬送車6にて容器3を第1搬送箇所1に搬送する卸し処理と、天井搬送車6にて容器3を第1搬送箇所1から搬送する掬い処理と、を実行するべく、天井搬送車6の作動を制御するように構成されている。
また、搬送制御装置Hは、載置部11を第1搬送箇所1に対応する位置から第2搬送箇所2に対応する位置に移動させる引退処理と、載置部11を第2搬送箇所2に対応する位置から第1搬送箇所1に対応する位置に移動させる突出処理と、を実行するべく、搬送装置5の作動を制御するように構成されている。
ちなみに、授受前走行処理と突出処理とでは、通常では授受前走行処理の方が長い時間を要し、天井搬送車6が第1搬送箇所1の真上の停止位置まで移動する前に載置部11は第1搬送箇所1に対応する位置への移動を完了している。そのため、天井搬送車6を第1搬送箇所1の真上に走行させた後、載置部11が第1搬送箇所1に突出移動するまで卸し処理の開始を待機させる必要なく、迅速に第1搬送箇所1に容器3を搬送できるようになっている。
また、搬送制御装置Hは、搬出指令があれば、突出処理を実行して、高位置用の載置部11Hを高位置第1搬送箇所1Hに対応する位置に突出移動させるべく、搬送装置5の作動を制御する。その後、搬送制御装置Hは、掬い処理を実行して、搬出対象の容器3を天井搬送車6にて支持した後、授受後走行処理と引退処理とを実行して、搬出対象の容器3を支持した天井搬送車6を第1搬送箇所1の真上の停止位置から走行させ且つ高位置用の載置部11Hを高位置第2搬送箇所2Hに対応する位置に引退移動させるべく、天井搬送車6及び搬送装置5の作動を制御する。
また、高位置用の載置部11Hが、低位置用の載置部11Lにおける容器3を載置する載置面の高さより高く且つ低位置用の載置部11Lに載置された容器3の上端より低い高さに設けられているため、低位置搬送装置5Lと高位置搬送装置5Hとの上下方向での設置スペースの省スペース化を図ることができる。また、低位置用の載置部11Lの移動軌跡と高位置用の載置部11Hの移動軌跡及びその高位置用の載置部11Hに載置された容器3とを上下方向視で一部重複させることで、低位置搬送装置5Lと高位置搬送装置5Hとの水平方向での設置スペースの省スペース化を図ることができる。
また、低位置用の載置部11Lが低位置第2搬送箇所2Lに対応する位置に位置する状態では、高位置用の載置部11Hを移動させても、高位置用の載置部11Hやその高位置用の載置部11Hに支持された容器3が低位置用の載置部11Lに支持された容器3に干渉することがなく、容器3を高位置第1搬送箇所1Hと高位置第2搬送箇所2Hとの間で搬送することができる。
そのため、低位置搬送装置5Lと高位置搬送装置5Hとを水平方向及び上下方向での設置スペースの省スペース化を図りながら、低位置搬送装置5Lにて低位置第1搬送箇所1Lと低位置第2搬送箇所2Lとの間で容器3を搬送することができ、また、高位置搬送装置5Hにて高位置第1搬送箇所1Hと高位置第2搬送箇所2Hとの間で容器3を搬送することができるようになっている。
(1) 上記実施形態では、低位置用の載置部11Lと高位置用の載置部11Hとを同一軸心周りに旋回移動自在に設けたが、低位置用の載置部11Lと高位置用の載置部11Hとを異なる軸心周りに旋回移動自在に設けてもよい。
また、低位置用の載置部11Lと高位置用の載置部11Hとの夫々を、鉛直方向に沿う軸心周りに旋回移動させることで第1搬送箇所1に対応する位置と第2搬送箇所2に対応する位置とに移動させるように構成したが、低位置用の載置部11Lと高位置用の載置部11Hとの夫々を、水平方向に沿って直線移動させることで第1搬送箇所1に対応する位置と第2搬送箇所2に対応する位置とに移動させるように構成してもよい。
また、上記実施形態では、基板搬送装置8にて、第2搬送箇所2に位置する容器3に対して基板4を出し入れするように構成したが、物品搬送装置を設けて、物品搬送装置にて第2搬送箇所2との間で容器3(物品)を搬送するように構成してもよい。
ちなみに、低位置第1搬送箇所1Lと高位置第1搬送箇所1Hとを上下方向視で同じ位置に設定し、低位置第2搬送箇所2Lと高位置第2搬送箇所2Hとを上下方向視で同じ位置に設定する場合は、低位置用の載置部11Lと高位置用の載置部11Hとを、これらの載置部11にて上下方向視で円形状の移動軌跡を形成するように設けることが考えられる。
ちなみに、低位置第1搬送箇所1Lと高位置第1搬送箇所1Hとを上下方向視で異なる位置に設定し、低位置第2搬送箇所2Lと高位置第2搬送箇所2Hとを上下方向視で異なる位置に設定する場合は、低位置用の載置部11Lと高位置用の載置部11Hとを、これらの載置部11にて上下方向視でX状の移動軌跡を形成するように設けることが考えられる。
また、搬送装置5にて、高さの異なる複数種類の物品を搬送してもよく、その場合は、高位置用の載置部11Hを、最も背の高い種類の物品を低位置用の載置部11Lに載置した場合において、当該物品の上端より低い高さに設ければよい。
具体的には、例えば、上記実施形態において、載置部11の平面視形状をくし歯状に形成する等により、低位置第1搬送箇所1Lに対応する位置の低位置用の載置部11Lと、高位置第1搬送箇所1Hに対応する位置の高位置用の載置部11Hとが、上下方向視で重ならないように構成して、低位置用の載置部11Lと高位置用の載置部11Hとを、移動軌跡が上下方向視で重複しない状態で設けてもよい。
1L 低位置第1搬送箇所
1H 高位置第1搬送箇所
2 第2搬送箇所
2L 低位置第2搬送箇所
2H 高位置第2搬送箇所
3 容器(物品)
4 基板
5 搬送装置
5L 低位置搬送装置
5H 高位置搬送装置
6 天井搬送車(搬送車)
7 基板処理装置
8 基板搬送装置
11 載置部
11L 低位置用の載置部
11H 高位置用の載置部
20 走行レール
21 支持体
P 軸心
Claims (7)
- 第1搬送箇所と第2搬送箇所との間で物品を搬送する搬送装置が設けられ、
前記第1搬送箇所として、低位置第1搬送箇所と、当該低位置第1搬送箇所より高い位置に設定された高位置第1搬送箇所と、が設定され、
前記第2搬送箇所として、低位置第2搬送箇所と、当該低位置第2搬送箇所より高い位置に設定された高位置第2搬送箇所と、が設定され、
前記搬送装置として、物品を載置する低位置用の載置部を水平方向に沿って移動させて物品を前記低位置第1搬送箇所と前記低位置第2搬送箇所との間で搬送する低位置搬送装置と、物品を載置する高位置用の載置部を水平方向に沿って移動させて物品を前記高位置第1搬送箇所と前記高位置第2搬送箇所との間で搬送する高位置搬送装置と、が設けられている物品搬送設備であって、
前記高位置用の載置部が、前記低位置用の載置部における物品を載置する載置面の高さより高く且つ前記低位置用の載置部に載置された物品の上端より低い高さに設けられ、
前記低位置用の載置部は、当該低位置用の載置部に載置された物品の移動軌跡が前記高位置用の載置部の移動軌跡及びその高位置用の載置部に載置された物品の移動軌跡と上下方向視で重複する部分と重複しない部分とが前記低位置用の載置部の移動方向に沿って並ぶ状態で設けられ、
前記高位置用の載置部は、当該高位置用の載置部の移動軌跡及びその高位置用の載置部に載置された物品の移動軌跡が前記低位置用の載置部に載置された物品の移動軌跡と上下方向視で重複する部分と重複しない部分とが前記高位置用の載置部の移動方向に沿って並ぶ状態で設けられている物品搬送設備。 - 前記低位置搬送装置が、前記低位置用の載置部を鉛直方向に沿う軸心周りに旋回移動自在に設けられ、
前記高位置搬送装置が、前記高位置用の載置部を鉛直方向に沿う軸心周りに旋回移動自在に設けられている請求項1記載の物品搬送設備。 - 前記低位置用の載置部と前記高位置用の載置部とが同一軸心周りに旋回移動自在に設けられている請求項2記載の物品搬送設備。
- 前記搬送装置が、複数枚の基板を収納自在な容器を物品として搬送するように構成され、
前記基板に対して処理を行う基板処理装置が設けられ、
前記低位置用の載置部に載置された状態で前記低位置第2搬送箇所に位置する前記容器から前記基板を取り出して前記基板処理装置に搬送し、且つ、前記高位置用の載置部に載置された状態で前記高位置第2搬送箇所に位置する前記容器から前記基板を取り出して前記基板処理装置に搬送する基板搬送装置が設けられている請求項1〜3のいずれか1項に記載の物品搬送設備。 - 前記低位置第1搬送箇所と前記高位置第1搬送箇所とが上下方向視で同じ位置に設定されている請求項1〜3のいずれか1項に記載の物品搬送設備。
- 水平方向に移動自在で且つ前記第1搬送箇所との間で物品を搬送する搬送車が設けられ、
前記搬送車が、前記低位置第1搬送箇所及び前記高位置第1搬送箇所に対して共通して設定された停止位置に停止した状態で、前記低位置第1搬送箇所もしくは前記高位置第1搬送箇所との間で物品を搬送自在に構成されている請求項5記載の物品搬送設備。 - 天井に配設された走行レールに案内支持された状態で前記走行レールに沿って走行自在で且つ物品を支持する支持体を昇降自在に備えた天井搬送車が設けられ、
前記天井搬送車は、物品を前記低位置用の載置部に卸すべく前記支持体を下降移動させて前記低位置第1搬送箇所に物品を搬送し、且つ、物品を前記高位置用の載置部に卸すべく前記支持体を下降移動させて前記高位置第1搬送箇所に物品を搬送し、且つ、物品を前記低位置用の載置部から持ち上げるべく前記支持体を上昇移動させて前記低位置第1搬送箇所から物品を搬送し、且つ、物品を前記高位置用の載置部から持ち上げるべく前記支持体を上昇移動させて前記高位置第1搬送箇所から物品を搬送するように構成されている請求項1〜5のいずれか1項に記載の物品搬送設備。
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