JP2014221689A - 貯蔵システム - Google Patents
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Abstract
Description
〔形態1〕
貯蔵システムであって、
処理すべき基板を取扱うために用いられるツールの高さよりも高い高さに位置決めされた貯蔵システム組立体を有し、前記貯蔵システムは、前記ツールによって処理される前又は処理された後の基板用の1つ又は2つ以上の容器を局所的に貯蔵するように構成され、
前記貯蔵システム組立体は、
(a)フレームと、
(b)前記フレームに結合されたベースプレートと、を含み、前記ベースプレートは、駆動プーリ、アイドラープーリ、ベルト、軌道、及びモータを有し、
(c)さらに、複数の貯蔵棚を含み、前記複数の貯蔵棚の各々は、容器を支持する棚特徴部を備えた棚プレートを有し、前記ベルトに結合されて移動可能であり、前記軌道に結合されて1つ又は2つ以上の位置まで案内され、
前記モータは、前記ベルトを移動させるように前記駆動プーリに結合され、前記複数の貯蔵棚の各々は、前記軌道に沿って前記1つ又は2つ以上の位置まで一緒に移動し、前記軌道は、少なくとも幾つかの直線部分と幾つかの非直線部分を有し、前記直線部分及び非直線部分は、前記ベースプレートの上方でループをなすように配置される、貯蔵システム。
〔形態2〕
(d)さらに、前記貯蔵システム組立体のフレームに連結されたアクティブポート組立体を有し、前記アクティブポート組立体は、前記軌道に沿う位置のうちの1つに位置決めされたポートプレートを有し、前記アクティブポート組立体は、
(i)前記フレームの外側の延長位置及び前記フレームの内側の引込み位置を定める水平方向移動組立体と、
(ii)ポート特徴部を備えた前記ポートプレートに結合された垂直方向移動組立体と、を含み、前記垂直方向移動組立体は、上位置及び下位置を定め、前記水平方向移動組立体は、前記垂直方向移動組立体に結合され、
引込み位置にある前記ポートプレートは、それが下位置にあるとき、前記棚プレートのうちの1つの下方に位置し、
引込み位置にある前記ポートプレートは、それが上位置にあるとき、前記棚プレートのうちの1つの上方に位置する、形態1に記載の貯蔵システム。
〔形態3〕
引込み位置に且つ上位置にある前記ポートプレートは、前記棚プレートの棚特徴部の上にあった容器を、前記ポートプレートのポート特徴部の上に持上げる、形態2に記載の貯蔵システム。
〔形態4〕
引込み位置に且つ下位置にある前記ポートプレートは、前記1つ又は2つ以上の位置への前記軌道に沿う前記貯蔵棚の妨げられない移動を可能にする、形態2に記載の貯蔵システム。
〔形態5〕
前記貯蔵棚の各々は、C字形空間を含み、前記C字形空間は、前記ポートプレートが引込み位置に且つ下位置にあるときの前記ポートプレート用の場所を提供し、前記ポートプレートが引込み位置に且つ下位置にあるとき、前記ポート特徴部は、前記プレート特徴部よりも下のレベルに維持される、形態2に記載の貯蔵システム。
〔形態6〕
前記ポートプレートは、その一方の側に開口部を有し、前記開口部は、前記棚プレートの寸法よりも大きく、前記ポートピンと前記棚ピンは、容器のベースのスロット箇所への係合を可能にするように互いに近接している、形態2に記載の貯蔵システム。
〔形態7〕
前記ベルトは、リンク付きチェーン又は成形ベルトの一方であり、前記駆動プーリ及び前記アイドラープーリは、スプロケット又はディスクの一方である、形態1に記載の貯蔵システム。
〔形態8〕
前記駆動プーリ及び前記アイドラープーリは、スプロケットであり、前記ベルトは、チェーンであり、前記貯蔵棚の各々は、前記貯蔵棚の各々が一緒に移動する設定位置で前記チェーンに結合される、形態7に記載の貯蔵システム。
〔形態9〕
前記貯蔵システム組立体のフレームは、前記ツールの組立体のフレームにその上方で結合され、前記ツールは、少なくとも1つのロードポートであり、前記少なくとも1つロードポートは、1つ又は2つ以上の基板処理ツールと相互作用する、形態1に記載の貯蔵システム。
〔形態10〕
前記ツールは、ロードポート棚を備えたロードポートを有し、前記ロードポート棚は、前記ロードポートから遠ざかるように延びて容器ロード領域内に入り、延長位置にある前記ポートプレートは、前記容器ロード領域内に配置され、
延長位置にある前記ポートプレートは、整列した向き又は整列していない向きの一方において前記ロードポート棚の上方に位置する、形態2に記載の貯蔵システム。
〔形態11〕
さらに、前記貯蔵システム組立体のフレームの上方に配置された移送ホイストを有し、前記ポートプレートが延長位置に且つ前記ロードポート棚の方向にあるとき、前記移送ホイストは、前記ポートプレートの方向に前記貯蔵システム組立体から遠ざかるように延び、前記移送ホイストは、
(i)容器を、延長位置にある前記ポートプレートから持上げ又はそれに置くように、又は、
(ii)容器を前記ロードポート棚から持上げ又はそれに置くように、又は、
(iii)容器を、延長位置にある前記ポートプレートと前記ロードポート棚から持上げ又はそれらに置くように構成される、形態10に記載の貯蔵システム。
〔形態12〕
さらに、延長位置にある前記ポートプレートの上方に且つ前記ロードポート棚の上方に位置する前記移送ホイストを水平方向に移動させるリニア駆動装置を有する、形態11に記載の貯蔵システム。
〔形態13〕
前記貯蔵システム組立体は、オーバーヘッド移送車の下方に位置決めされる、形態1に記載の貯蔵システム。
〔形態14〕
前記オーバーヘッド移送車の経路は、容器を前記貯蔵棚の1つから直接配送し又は取出すことが可能である、形態13に記載の貯蔵システム。
〔形態15〕
前記貯蔵システム組立体は、オーバーヘッド移送車の下方に位置決めされる、形態2に記載の貯蔵システム。
〔形態16〕
前記オーバーヘッド移送車の経路は、容器を前記貯蔵棚のうちの1つ、延長位置にあるポートプレート、引込み位置に且つ上位置にある前記ポートプレート、又は、前記ツールの棚から直接配送し又は取出すことが可能である、形態13に記載の貯蔵システム。
〔形態17〕
2つ以上のアクティブポート組立体が、前記フレームに連結され、前記軌道に沿う異なる位置に位置決めされる、形態2に記載の貯蔵システム。
〔形態18〕
前記アクティブポート組立体の各々は、前記フレームの同じ側に又は異なる側に位置決めされる、形態17に記載の貯蔵システム。
〔形態19〕
1つ又は2つ以上のオーバーヘッド移送車が、1つ又は2つ以上のアクティブポート組立体と相互作用し、前記1つ又は2つ以上のアクティブポート組立体は、前記フレームの同じ側に又は異なる側に配置される、形態18に記載の貯蔵システム。
〔形態20〕
前記貯蔵棚は、前記軌道に取付けられたローラ、又は、前記軌道に取付けられたベアリングを有する、形態1に記載の貯蔵システム。
〔形態21〕
2つ又は3つ以上の貯蔵システム組立体が、前記ツールの上に積重ねられ、各貯蔵システム組立体の各々は、レベルを有する、形態1に記載の貯蔵システム。
〔形態22〕
貯蔵システムであって、
処理すべき基板を取扱うために用いられるツールの高さよりも高い高さに位置決めされた貯蔵システム組立体を有し、前記貯蔵システムは、基板用の1つ又は2つ以上の容器を局所的に貯蔵するように構成され、
前記貯蔵システム組立体は、
(a)複数の貯蔵棚を含み、前記複数の貯蔵棚の各々は、容器を支持する棚特徴部を備えた棚プレートを有し、ベルトに結合されて水平方向移動可能であり、レールに結合されて1つ又は2つ以上の位置まで案内され、
(b)さらに、前記ベルトを移動させるように駆動プーリに結合されたモータを含み、前記複数の貯蔵棚の各々は、前記レールに沿って前記1つ又は2つ以上の位置まで一緒に移動し、前記レールは、少なくとも幾つかの直線部分と幾つかの非直線部分を有し、前記直線部分及び非直線部分は、ループをなすように配置される、貯蔵システム。
〔形態23〕
前記ベルトは、リンク付きチェーン又は成形ベルトの一方であり、前記駆動プーリは、スプロケット又はディスクの一方である、形態22に記載の貯蔵システム。
〔形態24〕
貯蔵システムであって、
処理すべき基板を取扱うために用いられるツールの高さよりも高い高さに位置決めされた貯蔵システム組立体を有し、前記貯蔵システムは、基板の1つ又は2つ以上の容器を局所的に貯蔵するように構成され、
前記貯蔵システム組立体は、
(a)複数の貯蔵棚を含み、前記複数の貯蔵棚の各々は、容器を支持する棚特徴部を備えた棚プレートを有し、ベルトに結合されて水平方向移動可能であり、軌道に結合されて1つ又は2つ以上の位置まで案内され、
(b)さらに、前記ベルトを移動させるように駆動プーリに結合されたモータを含み、前記複数の貯蔵棚の各々は、前記レールに沿って前記1つ又は2つ以上の位置まで一緒に移動し、前記レールは、少なくとも幾つかの直線部分と幾つかの非直線部分を有し、前記直線部分及び非直線部分は、ループをなすように配置され、
(c)前記レールに沿う位置のうちの1つに位置決めされたポートプレートを有するアクティブポート組立体を含み、前記アクティブポート組立体は、
(i)延長位置と引込み位置を定める水平方向移動組立体と、
(ii)ポート特徴部を備えた前記ポートプレートに結合された垂直方向移動組立体と、を含み、前記垂直方向移動組立体は、前記垂直方向移動組立体は、上位置と下位置を定め、前記水平方向移動組立体は、前記垂直方向移動組立体に結合される、貯蔵システム。
〔形態25〕
前記ベルトは、リンク付きチェーン又は成形ベルトの一方であり、前記駆動プーリは、スプロケット又はディスクの一方である、形態24に記載の貯蔵システム。
〔形態26〕
引込み位置にある前記ポートプレートは、それが下位置にあるとき、前記棚プレートのうちの1つの下方に位置し、
引込み位置にある前記ポートプレートは、それが上位置にあるとき、前記棚プレートのうちの1つの上方に位置する、形態24に記載の貯蔵システム。
〔形態27〕
引込み位置に且つ上位置にある前記ポートプレートは、前記棚プレートの棚特徴部の上にあった容器を、前記ポートプレートのポート特徴部の上に持上げる、形態24に記載の貯蔵システム。
〔形態28〕
引込み位置に且つ下位置にある前記ポートプレートは、前記1つ又は2つ以上の位置への前記レールに沿う前記貯蔵棚の妨げられない移動を可能にする、形態24に記載の貯蔵システム。
〔形態29〕
前記貯蔵棚の各々は、C字形空間を含み、前記C字形空間は、前記ポートプレートが引込み位置に且つ下位置にあるときの前記ポートプレート用の場所を提供し、前記ポートプレートが引込み位置に且つ下位置にあるとき、前記ポート特徴部は、前記プレート特徴部よりも下のレベルに維持される、形態24に記載の貯蔵システム。
〔形態30〕
前記ポートプレートは、その一方の側に開口部を有し、前記開口部は、前記棚プレートの寸法よりも大きく、前記ポート特徴部と前記棚特徴部は、容器のベースのスロット箇所への係合を可能にするように互いに近接している、形態24に記載の貯蔵システム。
〔形態31〕
前記貯蔵システム組立体は、前記ツールの組立体のフレームにその上方で結合され、前記ツールは、少なくとも1つのロードポートであり、前記少なくとも1つロードポートは、1つ又は2つ以上の基板処理ツールと相互作用する、形態24に記載の貯蔵システム。
〔形態32〕
前記ツールは、ロードポート棚を備えたロードポートを有し、前記ロードポート棚は、前記ロードポートから遠ざかるように延びて容器ロード領域内に入り、延長位置にある前記ポートプレートは、前記容器ロード領域内に配置され、
延長位置にある前記ポートプレートは、整列した向き又は整列していない向きの一方において前記ロードポート棚の上方に位置する、形態24に記載の貯蔵システム。
〔形態33〕
さらに、前記貯蔵システム組立体の上方に配置された移送ホイストを有し、前記ポートプレートが延長位置に且つ前記ロードポート棚の方向にあるとき、前記移送ホイストは、前記ポートプレートの方向に前記貯蔵システム組立体から遠ざかるように延び、前記移送ホイストは、
(i)容器を、延長位置にある前記ポートプレートから持上げ又はそれに置くように、又は、
(ii)容器を前記ロードポート棚から持上げ又はそれに置くように、又は、
(iii)容器を、延長位置にある前記ポートプレートと前記ロードポート棚から持上げ又はそれらに置くように構成される、形態32に記載の貯蔵システム。
〔形態34〕
さらに、延長位置にある前記ポートプレートの上方に且つ前記ロードポート棚の上方に位置する前記移送ホイストを水平方向に移動させるリニア駆動装置を有する、形態33に記載の貯蔵システム。
〔形態35〕
前記貯蔵システム組立体は、オーバーヘッド移送車の下方に位置決めされる、形態33に記載の貯蔵システム。
〔形態36〕
前記オーバーヘッド移送車の経路は、容器を前記貯蔵棚の1つから直接配送し又は取出すことが可能である、形態35に記載の貯蔵システム。
〔形態37〕
2つ以上のアクティブポート組立体が、前記貯蔵システム組立体に連結され、前記軌道に沿う異なる位置に位置決めされる、形態24に記載の貯蔵システム。
〔形態38〕
前記アクティブポート組立体の各々は、前記フレームの同じ側に又は異なる側に位置決めされる、形態37に記載の貯蔵システム。
〔形態39〕
1つ又は2つ以上のオーバーヘッド移送車が、1つ又は2つ以上のアクティブポート組立体と相互作用し、前記1つ又は2つ以上のアクティブポート組立体は、前記貯蔵システム組立体の同じ側に又は異なる側に配置される、形態37に記載の貯蔵システム。
100b 貯蔵システム組立体
110 貯蔵棚
111 駆動チェーン(ベルト)
112 レール
112a 真直ぐな部分(直線部分)
112b 湾曲した部分(非直線部分)
113 モータ
114 駆動スプロケット(駆動プーリ)
120 棚プレート
122 棚ピン(棚特徴部)
130 FOUP(容器)
135 ツール
Claims (2)
- 貯蔵システムであって、
処理すべき基板を取扱うために用いられるツールの高さよりも高い高さに位置決めされた貯蔵システム組立体を有し、前記貯蔵システムは、基板用の1つ又は2つ以上の容器を局所的に貯蔵するように構成され、
前記貯蔵システム組立体は、
(a)複数の貯蔵棚を含み、前記複数の貯蔵棚の各々は、容器を支持する棚特徴部を備えた棚プレートを有し、ベルトに結合されて水平方向移動可能であり、レールに結合されて1つ又は2つ以上の位置まで案内され、
(b)さらに、前記ベルトを移動させるように駆動プーリに結合されたモータを含み、前記複数の貯蔵棚の各々は、前記レールに沿って前記1つ又は2つ以上の位置まで一緒に移動し、前記レールは、少なくとも幾つかの直線部分と幾つかの非直線部分を有し、前記直線部分及び非直線部分は、ループをなすように配置される、貯蔵システム。 - 前記ベルトは、リンク付きチェーン又は成形ベルトの一方であり、前記駆動プーリは、スプロケット又はディスクの一方である、請求項1に記載の貯蔵システム。
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