JP4182521B2 - 容器の一時的搬入、留置、搬出用装置 - Google Patents
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Description
【0001】
この発明は、形状が一定している容器を自動的に搬入、留置、搬出する装置に関する。詳しくは、精密電子部品用平板状物を清浄状態に収納した容器を一時保管するためのもので、その保管用筺体内には多数の棚段を形成したものとなし、各棚段に対する搬入、留置、搬出などの全ては自動制御で行われる。
【背景技術】
【0002】
半導体ウエハや液晶表示板用基板などの平板状物である精密電子部品は、フォトレジストの塗布、薄膜蒸着、酸化膜や硝化膜の作成、エッチング、熱処理などの種々の製造ステップや、検査ステップが行われる。これら各製造ステップや検査ステップでは、被処理平板状物は清浄容器に収納して搬送されるが、各ステップに於ける処理時間が一定でなく異なるため、滞留を余儀なくされるステップでは棚を設けて上記清浄容器を一時保管させたり、処理速度の遅いステップは複数列に分けて並行処理させたりして、各ステップでの待ち時間をできるだけ少なくするよう工夫がなされている。ところで、半導体製造工程用の清浄容器は人が手に持てる大きさに設計され、専ら人手によって棚に保管されるのであるが、精密電子部品はゴミなどの異物を嫌うため、搬送、一時保管といえども人手に頼らないで自動化するのが好ましい。
【0003】
装置最下部に、カセットから半導体ウエハを移載するドッキングステーションを2式備え、それらの間に上下方向の搬送用空間と、その空間の左右両側で且つドッキングステーションの上方に複数個の棚段を配した構造をなし、カセットムーバがカセットを掴んで上記空間を搬送して、ドッキングステーションに載置するようになした半導体デバイス用基板を搬送する中・小型のカセット自動保管装置が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
【0004】
しかしながら、この特許文献1に記載の上下左右方向駆動用カセットムーバは、1本の左右方向へ可動な垂直支柱からなり、清浄容器の上部把持部を掴み、装置の下方で片持ちする1本のエンドエフェクタをエレベータとして備えた構造となっている。従って、1本の支柱では、重いカセット(容器)を把持したまま移動を開始或いは停止させる場合、大きな慣性モーメントが働いて揺動や振動を発生させ、またこれらを容易に停止させることができないために、搬送スピードを上げることができなかったり、また移載ステージに正確に載置できない等の不具合がある。更に、カセットムーバはカセット上部側の突起を掴む構造となっているため、突起を掴んだときにカセット上面が膨らむ方向に変形して、カセットの容積が増加し、カセット内の内圧が低下して、蓋を開ける際に外気が流入し、これにより塵埃が流入したりする影響を受ける問題があった。
【特許文献1】
特開平2001−298069号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
本発明は容器運搬の際に、その把持手段が容器を変形させたりして内容物に影響を与えたりすることのない容器の一時的搬入、留置、搬出の自動化装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明は、蓋をした内部に精密電子部品を清浄状態に収納する容器の一時的搬入、留置、搬出用装置において、前後左右両脇に支柱を使用した筐体を作成し、該筐体の前面側支柱間には支持梁を水平方向の上下動可能となるように取り付けると共に、該支持梁には後面側支柱側に突出した左右一対の保持用フィンガを備えた搬送機を左右動可能となるように取り付け、一方、高さ方向へ容器を載置させるための棚板を容器の高さ寸法より大なる間隔で垂直方向に複数個配設させると共に、各棚板上には容器底面に設けられる凹みに契合してその載置位置を決める位置決めピンを突出させ、かつこれにより容器が棚板上方へ離間した状態で載置されるものとなし、他方、前記搬送機の突出した左右一対の保持用フィンガの対向間距離を拡大縮小させるものとなし、該左右一対の保持用フィンガを前記棚板上へ載置された容器底面の左右両側から差し入れ、該容器底面の左右側縁箇所に当接させるか、若しくは容器の左右両側面壁に設けられた鍔体の下面部へ当接させ、これにより容器を持ち上げ、棚板上へ載置させたり取り出したりするようになす。
【発明の効果】
【0007】
本発明によれば、蓋をした内部に精密電子部品を清浄状態に収納する容器の一時的搬入、留置、搬出用装置において、前後左右両脇に支柱を使用した筐体を作成し、該筐体の前面側支柱間には支持梁を水平方向の上下動可能となるように取り付けると共に、該支持梁には後面側支柱側に突出するとともに上面にフラットな面を有する左右一対の保持用フィンガを備えた搬送機を左右動可能となるように取り付け、一方、容器の奥行き寸法より大ならしめた奥行きを持ち、高さ方向へ容器を載置させるための棚板を容器の高さ寸法より大なる間隔で垂直方向に複数個配設させると共に、各棚板上には容器底面に設けられる凹みに契合してその載置位置を決める位置決めピンを突出させ、かつこれにより容器が棚板上方へ離間した状態で載置されるものとなし、他方、前記搬送機の突出した左右一対の保持用フィンガの対向間距離を拡大縮小させるものとなし、該左右一対の保持用フィンガを左右動させて棚板と容器の間の隙間を通して前記棚板上へ載置された容器底面の左右両側から差し入れ、前記フラットな面を該容器底面の左右側縁箇所に当接させるか、若しくは容器の左右両側面壁に設けられた鍔体の下面部へ当接させ、その後容器を持ち上げて位置決めピンとの契合を解除し、左右動させながら棚板上へ載置させたり取り出したりするものとなす。
【0008】
以下に、この発明の実施の形態を図面に従って説明する。
図1は装置全体の一部切り欠き正面図、図2は図1の左側を切除した状態の一部切り欠き斜視図、図3は図1の背面側から見た状態の要部説明図である。
各図に於いて、1は本実施例に係る容器の一時的搬入、留置、搬出用装置であり、2は該装置1を形成する筺体であって、左右両脇に夫々れ対向状態に2本の支柱3、3、3、3を使用して一定容積、例えば縦、横、高さ寸法凡そ1m×2m×3mのものに作成されたものである。4は上記筺体2の前面側支柱3、3間に跨設させる支持梁であり、該支持梁4の左右両側端部に於ける係合部材5、5が上記支柱3、3の対向する内面の縦方向に穿設した細溝3a、3a内に係合されて、次述する駆動手段で上下移動されるようになっている。即ち、6、6は支柱3、3の対向する内面側上部に取り付けてなる一対のモータであって、各モータのプーリ6a、6aと対応する他の支柱3、3の箇所には滑車7、7が取り付けてある。
【0009】
8、8は前記支持梁4の上下動を案内する支柱3、3と対向する反対側支柱3、3に対し、これと同様に各支柱3、3の対向する内面の縦方向へ穿設した細溝3a、3a内に係合されて上下動させられるバランス用荷重体であり、夫々れは前記支持梁4と後述する搬送機を含む全体重量を二分した重量でバランスする如くなさしめると共に、両者間をベルト9、9で連結したものとなされている。而して、モータ6、6の比較的小馬力の駆動で搬送機の取り付けられた支持梁4の上下動作用が行われるようになしてある。
【0010】
10は上記の上下動する如く構成した支持梁4の水平方向を、適宜往復移動する如く取り付けしめた搬送機であって、該構成は図3に見られる通り支持梁4の長さ方向内部へネジ軸11を設け、該ネジ軸11をその片端に取り付けたモータ12で駆動されるようになさしめるのである。即ち、搬送機10はネジ軸11に取り付けたモータ12の正転或いは逆転で、支持梁4の長さ方向をイ、ロの左右動させられるものとなる。
【0011】
ここに、搬送機10は、一定大きさ(縦、横寸法凡そ30cm×50cm)となした台板10aの裏面側に、上記ネジ軸11と螺合する雌ネジ体(図示せず)を取り付けたものとなし、且つその前面側には容器を保持するべく一対の保持用フィンガ13、13をその水平方向で対向間距離Lが拡大したり、縮小したりするように取り付けしめるのであり、これは図4に示す如き構成によって行われる。
【0012】
即ち、図4で、Aは図3に見られる搬送機10の前面カバー10bを取り除いた説明図であり、該図で14はピン15を支点に揺動自在となされるレバー棹、16、16は上記レバー棹14の支点となるピン15を等距離間に挟んで上下箇所に取り付けられる作動棹であり、各作動棹16、16の先端はピン15を点対称のL状部16a、16aに形成したものとなし、該L状部16a、16aを通過する線(図示一点鎖線17‘)は前面カバー10bに穿設したスリット17の直線上と一致するものとなすのであり、またL状部16a、16aには夫々れ容器の保持用フィンガ13、13を取り付け、且つ各保持用フィンガ13、13は前面カバー10bのスリット17を通過させると共に、スリット上面から一定長(凡そ30cm程度)の突出状態となるようにするのである。
【0013】
なお、18は上記レバー棹14がピン15を支点にしてハ、ニ方向へ揺動作動させられるためのエアーシリンダであって、片端を台板10aに揺動自在に固定させ、他端のピストンロッド18aはレバー棹14の下端部へ自由止着させるのである。本図のBはエアーシリンダ18を作動させて、即ちピストンロッド18aが一定距離突出されることにより、レバー棹14がハ方向に揺動して左右のL状部16a、16aの対向間距離Lが一点鎖線17’上で狭められ、これにより前面カバー10b側で保持用フィンガ13、13が前面カバー10bのスリット17内を内向きに摺動して容器19を保持する状態を示すものである。
【0014】
本実施例に於いて、上記搬送機10の保持用フィンガ13、13は筺体2内方へ向かって突出する如くなして支持梁4に取り付けるのであり、該保持用フィンガ13、13の突出側には即ち、上下動する支持梁4の対向側の筺体2内には多数の容器19を受け入れ且つこれら容器19を一時的に留置させておくための棚板20が設置されるのであり、具体的には後方側支柱3、3間に壁板21を取り付け、該壁板21に対し棚板20の多数を並設するのである。
【0015】
上記の並設に際して各棚板20は筺体の上下方向へ容器の高さ寸法hより少し大なる間隔寸法Hを有するものになし、且つ各棚板20は後述する移載及び搬出の点から、高さ方向へ一列設けるだけでなく、専ら横方向へ複数列に並設させるのである。本図の実施例(図1、図2)では二列に並設したものであり、斯有る配列にするとき隣接する列間の距離Wは容器19の横巾寸法wよりやや大なる寸法となされるのである。
【0016】
なお、図面で22は棚板20上に設けた位置決めピンであって、容器19の底面部に設けた円錐状の凹み(図示せず)と対合することにより、棚板20上に於ける容器19の的確な位置決めが自動的に行われるものとなる。又これにより容器19は棚板20上へ少し持ち上げられた状態に載置されるものとなり、これは後述する移載や搬出の際の保持用フィンガ13、13の差し入れによる持ち上げを容易ならしめる上に優れる。
【0017】
上記容器19に市販の一般容器を使用し且つウエハなどの被処理物を収納したものでは、その重量は凡そ10kg程度のものであり、これを搬送機10の保持用フィンガ13、13上に支持させて支持梁4の長さ方向でイ、ロの左右動させながら容器19の搬入、留置、搬出などを行うとき、支持梁4は動的偏荷重によりその水平状態や上下動作に悪影響の及ぼされるものとなるが、本実施例では図5に示す如く支持梁4の端縁部に於ける係合部材5として、金属板材を多段に屈曲させた折り返し型歪吸収部材23を取り付け、該折り返し型歪吸収部材23を介して支柱3に穿設した細溝3a内と係合させるのであり、具体的には該図に見られる通り、折り返し型歪吸収部材23に対し、内周面にボールベアリング24を有する滑動体25をボルトネジ26で取り付け、該滑動体25が細溝3aに止着されているレール部材27を抱くようにした構成にする。
【0018】
上記実施例では支持梁4の片端のみに折り返し型歪吸収部材23を取り付けたものを示したが、他端側の係合部材5も同様に実施することも差し支えない。該折り返し型歪吸収部材23は支持梁4と支柱3との滑動案内箇所で考慮されるのであり、バランス用荷重体8が支柱3によって案内される滑動箇所に対しては考慮される必要はない。即ち、図3で見られる通りバランス用荷重体8の係合部材5は、その側端に取り付けた滑動体25‘を支柱3のレール部材27に対し直接的な嵌合状態となすのである。
【0019】
なお、図面で28は筺体2内の下部に配置したロードポート(ドッキングステーション)であり、筺体2内へ随時搬入される容器19は上記棚板20上へ適宜載置されて一時的に貯留されるものとなるが、適時該ロードポート28のステージ28a上に移載させて必要な処理や検査用に供されるものとなすのである。また、29は上記構成に係る装置全体の作動及び容器19の取り扱い指令などを行わしめるための制御装置である。
【0020】
次に使用例及び作動について説明する。
装置外部から吊下式自動搬送台(図示せず)等で、筺体2内の最上部の棚板20の1つへ被処理物の収納された容器19が搬入載置される。而して、該容器19は支持梁4の上下動及び該支持梁4上の搬送機10の作動により、ロードポート28のステージ28a上へ搬送させ、該ロードポート28上で順次内部の被処理物を取り出しながら必要な処理が行われるようになし、これらの処理全てが完了すると再び支持梁4及び搬送機10の作動で最上部の他(n)の棚板20上へ戻し、該所から他所へ別途吊下式自動搬送台(図示せず)などによる搬出が行われるように待機させるのである。ところで、ロードポート28のステージ28a上に載置した容器19の処理作業が未だ終了しない時点では、上記の支持梁4及び搬送機10は最上段で容器が搬入されて載置される棚板20(図示例でm)上の容器を、随時他の空き棚板上へ移し替えるようにするのであり、これにより搬入用の棚板(m)は常に次の容器の搬入が支障なく行える状態になしておく。
【0021】
今若し、上記作業で搬入箇所(m)の棚板を予め定められた一定時間内に空き状態とすることが困難な場合には、同じく最上段で隣接する別の棚板を予備用として使用するのであり、このことは上記した搬出用に載置させる棚板(n)についても同様であって、棚段を図示例以外の三列、四列などに設計する使用態様の採用で対応するものとなる。
【0022】
さて、搬送機10がその保持用フィンガ13、13上へ容器19を保持する部分は、概ね容器19の左右両側壁面の下端部或いは容器底面部箇所とするのであり、即ち図2に見られる如き保持用フィンガ13、13上面をフラットになしたものでは容器19の底面部に於ける凡そ両端縁箇所へ当接させて持ち上げるようになすのであり、これに対し図3に見られる如き保持用フィンガ13、13を断面L字状に形成したものでは、容器19に於ける左右両側壁面下方の角部を保持用フィンガ13、13の断面L字状のアングルと一致させるようにして保持するのである。なお、市販の容器の形態によっては左右両側壁面に対し手持ち用などのために水平方向へ少し突出させた鍔体などを取り付けたものがあり、このものの容器の使用では当該鍔体の下方を保持用フィンガ13、13を当接させることにより保持が可能となる。
【0023】
一方、各棚板20上面やロードポート28のステージ28a上面には、夫々れ3個の位置決めピン22が垂直上方へ凡そ3cm程度の突出状態に設けてあり、他方各容器19の底面部には上記位置決めピン22と対応する3箇所を円錐状の凹み(図示せず)に形成することにより、容器19を保持してなる保持用フィンガ13、13が上記位置決めピン22上でその保持を解放するとき、容器はその定められた適正位置へ自動的に位置決めされて載置されるものとなる。
【0024】
上記の載置状態では棚板20上面やロードポート28のステージ28a上面と、位置決めピン22に載置される容器19の底面部間には凡そ1cm程度の隙間S(図1参照)が生ずるものとなるのであり、従って次にこれら載置状態に於ける容器19の取り出しでは該隙間Sを利用して、搬送機10の保持用フィンガ13、13を差し入れ、容器底部の保持を容易に行うようになすことができ、容器底部からの持ち上げに何ら支障の無い円滑な実施が可能となる。
【0025】
上記実施例では位置決めピンの使用で位置決めと同時に隙間Sが形成されることにより、容器底面部に対する保持用フィンガ13、13の差し入れを可能にしたものについて説明したが、容器の左右両側壁面の底面部より少し上方箇所に対し、短冊板状の鍔体を水平方向に突出形成させたものとなし、該鍔体の下部に上記保持用フィンガ13、13を当接させて保持するものとなしても差し支えない。
【図面の簡単な説明】
【0026】
【図1】本実施例に係る装置全体の一部切り欠き正面図である。
【図2】図1の左側を切除した状態の一部切り欠き斜視図である。
【図3】図1の背面側から見た状態の要部説明図である。
【図4】搬送機に於ける容器把持の構成を示す説明図であって、Aは保持用フィンガが容器を保持していない状態を、Bは保持用フィンガが容器を保持した状態を示す。
【図5】折り返し型歪吸収部材箇所の部分詳細断面図である。
【符号の説明】
【0027】
1 容器の一時的搬入、留置、搬出用装置
2 筺体
3 支柱
4 支持梁
5 係合部材
6 モータ
6a プーリ
7 滑車
8 バランス用荷重体
9 ベルト
10 搬送機
11 ネジ軸
12 モータ
13 保持用フィンガ
14 レバー棹
15 ピン
16 作動棹
17 スリット
18 エアーシリンダ
19 容器
20 棚板
21 壁板
22 位置決めピン
23 折り返し歪吸収部材
24 ボールベアリング
25 滑動体
26 ボルトネジ
27 レール部材
28 ロードポート
Claims (7)
- 蓋をした内部に精密電子部品を清浄状態に収納する容器の一時的搬入、留置、搬出用装置(1)において、前後左右両脇に支柱(3)を使用した筐体(2)を作成し、該筐体の前面側支柱間には支持梁(4)を水平方向の上下動可能となるように取り付けると共に、
該支持梁には後面側支柱側に突出するとともに上面にフラットな面を有する左右一対の保持用フィンガ(13)を備えた搬送機(10)を左右動可能となるように取り付け、
一方、容器(19)の奥行き寸法より大ならしめた奥行きを持ち、高さ方向へ容器を載置させるための棚板(20)を容器の高さ寸法より大なる間隔で垂直方向に複数個配設させると共に、各棚板(20)上には容器底面に設けられる凹みに契合してその載置位置を決める位置決めピン(22)を突出させ、かつこれにより容器が棚板上方へ離間した状態で載置されるものとなし、他方、前記搬送機の突出した左右一対の保持用フィンガ(13)の対向間距離を拡大縮小させるものとなし、該左右一対の保持用フィンガ(13)を左右動させて棚板(20)と容器(19)の間の隙間を通して前記棚板上へ載置された容器底面の左右両側から差し入れ、前記フラットな面を該容器底面の左右側縁箇所に当接させるか、若しくは容器の左右両側面壁に設けられた鍔体の下面部へ当接させ、その後容器(19)を持ち上げて位置決めピン(22)との契合を解除し、左右動させながら棚板(20)上へ載置させたり取り出したりするものとなしたことを特徴とする容器の一時的搬入、留置、搬出用装置。 - 前記左右一対の保持用フィンガは、片側を揺動可能に固定されたシリンダと、シリンダによりピンを支点に揺動自在となされるレバー棹と、前記ピンを等距離間に挟んで上下箇所に取り付けられる作動棹と、これら作動棹の先端に取り付けられるL字状部と、前記L字状部の先端に備えられるフィンガとからなることを特徴とする請求の範囲1に記載の容器の一時的搬入、留置、搬出用装置。
- 前記左右一対の保持用フィンガの突出長さは、容器の奥行き寸法以下で、その半分以上の長さ寸法となされることを特徴とする請求の範囲1又は2に記載の容器の一時的搬入、留置、搬出用装置。
- 前面側の支柱の少なくとも片方で、搬送機の支持梁は金属板を屈曲させた歪吸収部材を介して取り付けられることを特徴とした請求の範囲1に記載の容器の一時的搬入、留置、搬出用装置。
- 後面側の支柱の夫々れに対し、上下動可能なように荷重体を取り付け、かつ搬送機の支持梁の荷重とバランスするように連結されることを特徴とした請求の範囲1に記載の容器の一時搬入、留置、搬出用装置。
- 支持梁の上下動は一対のモータと滑車及びベルトを使用して行われることを特徴とした請求の範囲1に記載の容器の一時搬入、留置、搬出用装置。
- 前記垂直方向に複数個配設された容器の列をさらに複数列設け、かつ隣り合う列の間隔は、少なくとも容器の横幅寸法より大なる間隔になされていることを特徴とした請求の範囲1に記載の容器の一時搬入、留置、搬出用装置。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102386053A (zh) * | 2010-09-01 | 2012-03-21 | 株式会社日立国际电气 | 衬底处理装置和制造半导体器件的方法 |
US8287222B2 (en) | 2009-02-10 | 2012-10-16 | Muratec Automation Co., Ltd. | Transfer system |
KR101788646B1 (ko) * | 2015-05-12 | 2017-10-23 | 서지석 | 냉장고 |
KR20180066559A (ko) * | 2016-12-09 | 2018-06-19 | 서지석 | 냉장고 |
WO2021145087A1 (ja) | 2020-01-14 | 2021-07-22 | ローツェ株式会社 | Foup移載装置 |
Families Citing this family (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20070092359A1 (en) * | 2002-10-11 | 2007-04-26 | Brooks Automation, Inc. | Access to one or more levels of material storage shelves by an overhead hoist transport vehicle from a single track position |
AU2003304270A1 (en) * | 2003-07-04 | 2005-01-21 | Rorze Corporation | Transfer device, thin plate-like article transfer method, and thin plate-like article production system |
US7218983B2 (en) * | 2003-11-06 | 2007-05-15 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for integrating large and small lot electronic device fabrication facilities |
US7720557B2 (en) * | 2003-11-06 | 2010-05-18 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for enhanced operation of substrate carrier handlers |
US7177716B2 (en) | 2004-02-28 | 2007-02-13 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for material control system interface |
US20060216137A1 (en) * | 2004-07-02 | 2006-09-28 | Katsunori Sakata | Carrying apparatus and carrying control method for sheet-like substrate |
US9834378B2 (en) * | 2006-12-22 | 2017-12-05 | Brooks Automation, Inc. | Loader and buffer for reduced lot size |
TW200911654A (en) * | 2007-09-06 | 2009-03-16 | Asyst Technologies Japan Inc | Storage, transporting system and storage set |
JP5369419B2 (ja) * | 2007-10-18 | 2013-12-18 | 村田機械株式会社 | 保管庫、保管庫セット及び保管庫付き搬送システム |
KR101015225B1 (ko) * | 2008-07-07 | 2011-02-18 | 세메스 주식회사 | 기판 처리장치 및 이의 기판 이송 방법 |
JP5284808B2 (ja) | 2009-01-26 | 2013-09-11 | 株式会社Sokudo | ストッカー装置及び基板処理装置 |
JP4720932B2 (ja) * | 2009-02-10 | 2011-07-13 | ムラテックオートメーション株式会社 | 移載装置 |
KR101088050B1 (ko) * | 2009-02-25 | 2011-11-30 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 |
EP2433299B1 (en) * | 2009-05-18 | 2022-10-26 | Brooks Automation US, LLC | Substrate container storage system |
TWI496732B (zh) * | 2009-07-31 | 2015-08-21 | Murata Machinery Ltd | 供工具利用之緩衝儲存和運輸裝置 |
WO2011049726A1 (en) * | 2009-10-20 | 2011-04-28 | Illinois Tool Works Inc. | Dual side acting hydraulic grips synchronization |
WO2011141966A1 (ja) | 2010-05-13 | 2011-11-17 | ムラテックオートメーション株式会社 | 移載装置 |
US8897914B2 (en) * | 2010-06-10 | 2014-11-25 | Murata Machinery, Ltd. | Conveyance system and method of communication in conveyance system |
EP2627592B1 (en) | 2010-10-15 | 2015-01-28 | Sanofi-Aventis U.S. LLC | Apparatus and method for loading items |
US9090411B2 (en) | 2010-10-15 | 2015-07-28 | Sanofi-Aventis U.S. Llc | Apparatus and method for loading and unloading containers |
US10515834B2 (en) | 2015-10-12 | 2019-12-24 | Lam Research Corporation | Multi-station tool with wafer transfer microclimate systems |
KR102648735B1 (ko) * | 2017-04-20 | 2024-04-03 | 다이후쿠 클린룸 아메리카 코퍼레이션 | 고밀도 스토커 |
CN110562734A (zh) * | 2018-06-05 | 2019-12-13 | 湖南英格斯坦智能科技有限公司 | 手机膜抓取储存*** |
US10919747B2 (en) * | 2019-01-22 | 2021-02-16 | Amazon Technologies, Inc. | Inventory conveyance system that transfers storage containers to and from a vertically arranged array of storage containers |
CN111646083B (zh) * | 2020-06-24 | 2021-01-22 | 广州市穗佳物流有限公司 | 一种仓库管理用自动化上货卸货架 |
KR20220063853A (ko) * | 2020-11-10 | 2022-05-18 | 삼성전자주식회사 | 반송물 보관 장치 |
CN113697275B (zh) * | 2021-08-12 | 2024-07-05 | 北京远鲸科技有限公司 | 货柜及其储物箱调度方法、组合货柜 |
CN117227854B (zh) * | 2023-11-16 | 2024-02-02 | 沈阳微控新能源技术有限公司 | 运输平台和运输车 |
Family Cites Families (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2586464A (en) * | 1949-10-04 | 1952-02-19 | Rotary Lift Company | Single rail elevator guide equalizer |
US3032377A (en) * | 1958-10-07 | 1962-05-01 | Acla Werke Ag | Rail engaging slide guide for elevator cars |
DE7728040U1 (de) * | 1977-09-10 | 1978-03-09 | Acla-Werke Ag, 5000 Koeln | Fuehrungsschuh fuer aufzuege |
AT382135B (de) * | 1984-01-31 | 1987-01-12 | Otis Elevator Co | Gleitschuhanordnung fuer einen fahrkorb |
US4716991A (en) * | 1986-07-21 | 1988-01-05 | Carl Riechers | Elevator guide shoe |
US4696503A (en) * | 1986-10-27 | 1987-09-29 | The Singer Company | Pneumatic actuated cam driven parallel gripper |
US4735452A (en) * | 1986-12-19 | 1988-04-05 | Texas Instruments Incorporated | Article gripper assembly |
JPH0620925B2 (ja) | 1987-10-02 | 1994-03-23 | 株式会社ダイフク | クレーンの昇降キャレッジ駆動装置 |
JPH0193733A (ja) | 1987-10-06 | 1989-04-12 | Fuji Photo Film Co Ltd | 超硬調ネガ型ハロゲン化銀写真感光材料 |
JPH0613787Y2 (ja) * | 1987-12-10 | 1994-04-13 | 日産自動車株式会社 | ワーク位置決め装置 |
US4865375A (en) * | 1988-05-31 | 1989-09-12 | Amp Incorporated | Gripper head |
US4968077A (en) * | 1989-06-09 | 1990-11-06 | The United States Of America As Represented By The Administrator National Aeronautics And Space Administration | Portable hand hold device |
US5162047A (en) * | 1989-08-28 | 1992-11-10 | Tokyo Electron Sagami Limited | Vertical heat treatment apparatus having wafer transfer mechanism and method for transferring wafers |
JPH061257A (ja) | 1992-06-17 | 1994-01-11 | Kayaba Ind Co Ltd | 後輪転舵構造 |
US5570990A (en) * | 1993-11-05 | 1996-11-05 | Asyst Technologies, Inc. | Human guided mobile loader stocker |
JP3331746B2 (ja) * | 1994-05-17 | 2002-10-07 | 神鋼電機株式会社 | 搬送システム |
KR970023964A (ko) | 1995-10-13 | 1997-05-30 | 김광호 | 반도체 제조용 스톡커의 트랜스퍼 이송장치 |
JPH09221203A (ja) | 1996-02-19 | 1997-08-26 | Hitachi Ltd | 自動搬送システム |
US5980183A (en) * | 1997-04-14 | 1999-11-09 | Asyst Technologies, Inc. | Integrated intrabay buffer, delivery, and stocker system |
US6579052B1 (en) * | 1997-07-11 | 2003-06-17 | Asyst Technologies, Inc. | SMIF pod storage, delivery and retrieval system |
JP2000012644A (ja) | 1998-06-25 | 2000-01-14 | Kokusai Electric Co Ltd | カセット移載システム |
JP2000044015A (ja) | 1998-07-30 | 2000-02-15 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 半導体ウェーハの保管設備およびこれを用いた半導体ウェーハの保管管理方法 |
US6604624B2 (en) * | 1998-09-22 | 2003-08-12 | Hirata Corporation | Work conveying system |
US6283692B1 (en) * | 1998-12-01 | 2001-09-04 | Applied Materials, Inc. | Apparatus for storing and moving a cassette |
JP2000003894A (ja) | 1999-05-10 | 2000-01-07 | Tokyo Electron Ltd | 洗浄装置及びその方法 |
US6506009B1 (en) * | 2000-03-16 | 2003-01-14 | Applied Materials, Inc. | Apparatus for storing and moving a cassette |
US6592324B2 (en) * | 2001-02-26 | 2003-07-15 | Irm, Llc | Gripper mechanism |
-
2002
- 2002-12-04 JP JP2003550277A patent/JP4182521B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2002-12-04 US US10/496,650 patent/US7695234B2/en not_active Expired - Fee Related
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8287222B2 (en) | 2009-02-10 | 2012-10-16 | Muratec Automation Co., Ltd. | Transfer system |
CN102386053A (zh) * | 2010-09-01 | 2012-03-21 | 株式会社日立国际电气 | 衬底处理装置和制造半导体器件的方法 |
KR101788646B1 (ko) * | 2015-05-12 | 2017-10-23 | 서지석 | 냉장고 |
KR20180066559A (ko) * | 2016-12-09 | 2018-06-19 | 서지석 | 냉장고 |
KR101947551B1 (ko) * | 2016-12-09 | 2019-02-14 | 서지석 | 냉장고 |
WO2021145087A1 (ja) | 2020-01-14 | 2021-07-22 | ローツェ株式会社 | Foup移載装置 |
KR20220126717A (ko) | 2020-01-14 | 2022-09-16 | 로제 가부시키가이샤 | Foup 이송 장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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WO2003049181A1 (fr) | 2003-06-12 |
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