JP2015076507A - ウエーハの搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の搬送装置(1)は、テーブル(5)に載置されているウエーハ(W)を保持して搬送するものであり、ウエーハに対向する外周保持プレート(11)と、ウエーハの外周を保持するように外周保持プレートに進退可能に配置された外周保持部(12)と、外周保持プレートの下面(22)とテーブル上のウエーハの上面(37)との距離を認識する3つ以上の認識センサ(16)と、各認識センサの認識結果から外周保持プレートに対するウエーハの姿勢を検出して、ウエーハの外周を保持するか否かを判断する判断部(17)を備えた。
【選択図】図1
Description
2、4 外周保持機構
3 昇降手段
5 テーブル(第1のテーブル)
11 外周保持プレート
12 外周保持部
15 移動手段
16、41 認識センサ
17 判断部
22 外周保持プレートの下面
29 V字溝
37 ウエーハの上面
42 上下ピン
43 上昇センサ
52 リフタ
W ウエーハ
Claims (3)
- ウエーハの外周を保持する外周保持機構と、該外周保持機構を用いて第1のテーブルから第2のテーブルにウエーハを搬送するため該外周保持機構を昇降させる昇降手段を含むウエーハの搬送装置であって、
該外周保持機構は、該昇降手段に接続される外周保持プレートと、該外周保持プレートに配設されウエーハの外周を保持する少なくとも3つの外周保持部と、該外周保持部を放射方向に移動させる移動手段と、該外周保持プレートの下面と外周保持部が保持しようとする該第1のテーブルに載置されているウエーハの上面との間隔を認識する少なくとも3つの認識センサと、を備え、
該各々の認識センサの認識によって該移動手段を作動させ該外周保持部でウエーハを保持するか否かを判断する判断部を備えたウエーハの搬送装置。 - 該少なくとも3つの認識センサは、光学式変位計であって、
該各々の認識センサが認識する少なくとも3カ所の距離の差が予め設定する規定値を超えないときにウエーハを保持すると該判断部が判断し、該規定値を超えているときにウエーハを保持しないと該判断部が判断する請求項1記載のウエーハの搬送装置。 - 該少なくとも3つの認識センサは、該外周保持プレートの下面に垂直方向で上下する上下ピンと、該上下ピンが所定距離上昇したとき反応する上昇センサと、を備え、
該外周保持機構を該昇降手段で下降させることにより、該第1のテーブルに載置されているウエーハの上面に該上下ピンの下端が接触し、更に該外周保持機構を下降させたとき該上下ピンが上昇し該上昇センサの反応が同時のときウエーハを保持し、該上昇センサの反応が同時でないときウエーハを保持しないと該判断部が判断する請求項1記載のウエーハの搬送装置。
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