JP2013149902A - ウエハ搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ウエハ搬送中のウエハの位置ずれを迅速に検出することができるウエハ搬送装置を提供すること。
【解決手段】実施形態によれば、ウエハ搬送装置が提供される。ウエハ搬送装置は、ウエハを載置するとともに載置されたウエハの一部を撮像する撮像部を有した載置部と、前記載置部を移動させることにより、前記載置部上のウエハを搬送する搬送部と、前記載置部上に載置されたウエハの位置ずれを検出する位置ずれ検出部と、を備えている。前記撮像部は、前記ウエハが載置された場合に前記ウエハの裏面側となる位置に配置されるとともに、前記ウエハの搬送中に、前記ウエハの外縁部と前記ウエハが載置されない領域との境界部の一部を境界部画像として前記ウエハの裏面側から撮像する。そして、前記位置ずれ検出部は、前記境界部画像に基づいて、搬送中の前記ウエハの位置ずれを検出する。
【選択図】図2
【解決手段】実施形態によれば、ウエハ搬送装置が提供される。ウエハ搬送装置は、ウエハを載置するとともに載置されたウエハの一部を撮像する撮像部を有した載置部と、前記載置部を移動させることにより、前記載置部上のウエハを搬送する搬送部と、前記載置部上に載置されたウエハの位置ずれを検出する位置ずれ検出部と、を備えている。前記撮像部は、前記ウエハが載置された場合に前記ウエハの裏面側となる位置に配置されるとともに、前記ウエハの搬送中に、前記ウエハの外縁部と前記ウエハが載置されない領域との境界部の一部を境界部画像として前記ウエハの裏面側から撮像する。そして、前記位置ずれ検出部は、前記境界部画像に基づいて、搬送中の前記ウエハの位置ずれを検出する。
【選択図】図2
Description
本発明の実施形態は、ウエハ搬送装置に関する。
半導体デバイスが形成されるウエハは、ウエハ搬送装置によって半導体製造装置内の搬送を行なっている。このウエハ搬送装置は、ロボットアームを有しており、ロボットアームのエンドエフェクタ上にウエハを載置してウエハの搬送を行なっている。
このようなウエハ搬送装置では、ウエハ裏面に付着している異物やウエハの反りなどが原因で、エンドエフェクタ上でウエハが滑り、エンドエフェクタ上でのウエハの位置ずれが生じる場合がある。特に、ウエハが高速搬送される場合には、ウエハの位置ずれが生じやすい。ウエハの位置ずれを防止するために、エンドエフェクタ上のパッド数を増やすと、個々のパッドの高さを揃えることが難しくなり、この結果、ウエハが偏り、高速搬送中にウエハが滑るおそれがある。また、パッド外形をウエハ裏面に合わせて設計しても、裏面が工程変更や条件変更等で変化するので、その都度パッド外形の設計が必要になる。
従来、エンドエフェクタ上でのウエハの位置ずれは、半導体製造装置のウエハ搬出入口近傍に設けられた透過センサが検出していた。しかしながら、透過センサは、ウエハが透過センサ近傍まで近付くまでウエハの位置ずれを検出することができない。このため、ウエハの搬送中にウエハの位置ずれが生じても、透過センサでウエハの位置ずれが検出されるまでウエハ搬送が続けられる。このような場合、ウエハ搬送中にウエハの落下などが引き起こされるおそれがある。したがって、ウエハ搬送中のウエハの位置ずれを迅速に検出し、可能であれば、ウエハの位置ずれを修正することが望まれる。
本発明が解決しようとする課題は、ウエハ搬送中のウエハの位置ずれを迅速に検出し、位置ずれを修正することができるウエハ搬送装置を提供することである。
実施形態によれば、ウエハ搬送装置が提供される。ウエハ搬送装置は、ウエハを載置するとともに載置されたウエハの一部を撮像する撮像部を有した載置部と、前記載置部を移動させることにより、前記載置部上のウエハを搬送する搬送部と、前記載置部上に載置されたウエハの位置ずれを検出する位置ずれ検出部と、を備えている。前記撮像部は、前記ウエハが載置された場合に前記ウエハの裏面側となる位置に配置されるとともに、前記ウエハの搬送中に、前記ウエハの外縁部と前記ウエハが載置されない領域との境界部の一部を境界部画像として前記ウエハの裏面側から撮像する。そして、前記位置ずれ検出部は、前記境界部画像に基づいて、搬送中の前記ウエハの位置ずれを検出する。
以下に添付図面を参照して、実施形態に係るウエハ搬送装置を詳細に説明する。なお、この実施形態により本発明が限定されるものではない。
(実施形態)
図1は、実施形態に係る搬送ロボットを備えた半導体製造装置の構成例を示す図である。半導体製造装置100は、枚葉マルチチャンバ構成の装置であり、ウエハ搬送装置としての搬送ロボット9,10と、プロセスチャンバ30A〜30Dと、ロードロック室31A,31Bと、ロードポート32A〜32Cと、オリエンター33と、を備えている。
図1は、実施形態に係る搬送ロボットを備えた半導体製造装置の構成例を示す図である。半導体製造装置100は、枚葉マルチチャンバ構成の装置であり、ウエハ搬送装置としての搬送ロボット9,10と、プロセスチャンバ30A〜30Dと、ロードロック室31A,31Bと、ロードポート32A〜32Cと、オリエンター33と、を備えている。
搬送ロボット9,10は、ウエハWなどの基板を搬送するロボットである。搬送ロボット10は、プロセスチャンバ30A〜30D、ロードロック室31A,31Bで囲まれた真空搬送室34に配置されている。搬送ロボット10は、プロセスチャンバ30A〜30Dとロードロック室31A,31Bとの間のウエハ搬送や、プロセスチャンバ30A〜30D間のウエハ搬送を、真空搬送室34を介して行う。
また、搬送ロボット9は、ロードロック室31A,31B、ロードポート32A〜32C、オリエンター33で囲まれた大気搬送室35に配置されている。搬送ロボット9は、ロードポート32A〜32Cからオリエンター33への間のウエハ搬送、オリエンター33からロードロック室31A,31Bへの間のウエハ搬送、ロードロック室31A,31Bからロードポート32A〜32Cへのウエハ搬送を、大気搬送室35を介して行う。
本実施形態の搬送ロボット9,10は、ウエハWを載置する箇所にカメラ3を有しており、カメラ3で撮像した画像に基づいてウエハWの保持状態をモニタする。また、搬送ロボット9,10は、ピエゾ素子2を用いてウエハWを保持するとともに、ウエハWに位置ずれが生じた場合には、ピエゾ素子2を用いてウエハWの位置ずれを修正する。これにより、搬送ロボット9,10は、ウエハWの裏面状態にかかわらず、ウエハWの位置ずれや落下等を防止しつつ、高い加減速度でウエハWを搬送する。
ロードポート32A〜32Cは、ウエハWの搬出入が行われるウエハ搬出入口である。半導体製造装置100がウエハ処理を行なう際には、ウエハWを格納したFOUPがロードポート32A〜32C内に搬入される。
オリエンター33は、ウエハWの面内方向の向きを整える装置である。ロードロック室31A,31Bは、ウエハWをプロセスチャンバ30A〜30Dに搬送するまでの中継室であり、ウエハWが搬入された後、所定値まで減圧される。
プロセスチャンバ30A〜30Dは、ウエハプロセスを行うチャンバであり、ウエハプロセスを行う際には、搬送ロボット10によってプロセスチャンバ30A〜30D内にウエハが搬入される。
搬送ロボット9は、ウエハWがロードポート32A〜32Cの何れかに搬入されると、ウエハWをロードポート32A〜32Cからオリエンター33に搬送する。そして、オリエンター33でウエハWの面内方向の向きが整えられると、搬送ロボット9は、ウエハWをオリエンター33からロードロック室31A,31Bの何れかに搬送する。なお、半導体製造装置100は、マルチチャンバ構成の装置に限らず、他の構成を有した装置であってもよい。
半導体製造装置100では、ウエハW待ちのプロセスチャンバにウエハWを搬送するため、搬送ロボット9を制御する装置制御PCからの指示出力またはプロセスチャンバ30A〜30Dからの要求出力が行われる。これにより、搬送ロボット10側に移動量指令が送られ、搬送ロボット10は、未処理ウエハWがあるロードロック室へアームを伸ばす。
この後、搬送ロボット10がロードロック室31A,31BからウエハWを取り出す。具体的には、半導体製造装置100は、ウエハWをエンドエフェクタ上に載置するため、ロードロック室31A,31B内のリフターピン(図示せず)上にウエハWを載置しておく。その後、搬送ロボット10は、ロードロック室31A,31B内のウエハWを十分確保できる位置までエンドエフェクタを伸ばす。そして、半導体製造装置100は、リフターピンまたはエンドエフェクタを昇降させることにより、ウエハWをエンドエフェクタ上に載置する。
ウエハWをエンドエフェクタ上に載置したことを示す動作完了信号が、搬送ロボット10から送られ、動作完了信号を装置制御PCが受信した後、搬送ロボット10は、エンドエフェクタ上でウエハWを保持する。その後、搬送ロボット10は、アームを真空搬送室34側に引き戻す。搬送ロボット10は、アームを真空搬送室34内へ引き込んだ後、アームやエンドエフェクタを回転させることにより、目的のプロセスチャンバの位置までウエハWを移動させる。
ウエハWがプロセスチャンバ30A〜30Dの前まで移動すると、搬送ロボット10は、アームを伸ばすことにより、エンドエフェクタをプロセスチャンバ30A〜30D内の所定の位置まで移動させる。
搬送ロボット10は、プロセスチャンバ30A〜30D内の目的設置位置までアームを入れ終えた後、エンドエフェクタをリフターピンまで下降させることにより、ウエハWをリフターピン上に置く。なお、半導体製造装置100は、リフターピンを上昇させることにより、エンドエフェクタ上のウエハWをリフターピンで持ち上げてもよい。
つぎに、実施形態に係る搬送ロボット9,10が備えるエンドエフェクタの構成について説明する。図2は、実施形態に係る搬送ロボットが備えるエンドエフェクタの構成例を示す図である。なお、搬送ロボット9,10が備えるエンドエフェクタは、同様の構成を有しているので、ここでは搬送ロボット10が備えるエンドエフェクタ1Xの構成について説明する。図2の(a)では、搬送ロボット10の上面図を示し、図2の(b)では、エンドエフェクタ1Xが備えるピエゾ素子2の移動方向(上面図)を示している。
搬送ロボット10は、エンドエフェクタ1Xと、アーム11,12と、回転台13と、を備えている。エンドエフェクタ1Xは、一方の端部側にウエハWを載置するとともに、他方の端部側がアーム11に接続されている。エンドエフェクタ1Xの他方の端部側は、アーム11の一方の端部側に回転自在に接続されており、接続位置を回転軸としてエンドエフェクタ1Xは回転する。
また、アーム11の他方の端部側は、アーム12の一方の端部側に回転自在に接続されており、接続位置を回転軸としてアーム11は回転する。また、アーム12の他方の端部側は、回転台13に回転自在に接続されており、接続位置を回転軸としてアーム12は回転する。
エンドエフェクタ1Xは、一方の端部側がU字形状の板状部材(以下、U字部という)で構成され、他方の端部側が概略矩形状の板状部材で構成されている。ウエハWは、エンドエフェクタ1Xが有するU字部上に載置される。
エンドエフェクタ1Xには、U字部上に、複数のパッド4と、複数のピエゾ素子2と、2Dカメラなどのカメラ3と、が配置されている。カメラ3は、例えばエリアセンサであり、U字部上に載置されたウエハWの位置を検出する。具体的には、カメラ3は、ウエハWの外周(円周部)の一部(ウエハWが載置される箇所とされない箇所との境界)を二次元的に撮像する。カメラ3は、例えば、ウエハWが載置される領域(ウエハ裏面)とされない領域(非ウエハ部分)とがカメラ視野内に均等に写る位置に配置しておく。カメラ3は、撮像した画像を装置制御PCに送る。これにより、装置制御PCは、カメラ3が撮像した画像に基づいて、ウエハWの位置ずれ量を検出する。
ピエゾ素子2は、U字部上にウエハWが載置された場合にウエハWよりも僅かに外側となる位置に配置されている。エンドエフェクタ1Xでは、複数のピエゾ素子2によってウエハWを囲えるよう、各ピエゾ素子2が配置されている。図2の(a)では、エンドエフェクタ1X上に4つのピエゾ素子2が配置され、4つのピエゾ素子2がウエハWを囲うよう配置されている場合を示している。
図2の(b)に示すように、各ピエゾ素子2は、電圧が印加されることにより、ウエハWの中心方向に移動し、電圧の印加が停止されることにより、ウエハWの外側に移動する。
本実施形態では、ウエハWがエンドエフェクタ1X上に載置されると、ピエゾ素子2に、所定の電圧(基準電圧)が印加される。これにより、ピエゾ素子2は、ウエハW側に移動してウエハWの側面部に当接する。そして、各ピエゾ素子2がウエハWの側面部に当接することにより、ウエハWは、エンドエフェクタ1X上に保持される。
このように、ウエハWがエンドエフェクタ1X上に載置された際に、ピエゾ素子2に基準電圧が印加され、これにより、ウエハWがピエゾ素子2によってエンドエフェクタ1X上の所定位置(初期位置)に固定される。
また、ウエハWの搬送中にウエハWの位置ずれが検出されると、ピエゾ素子2に基準電圧よりも大きな電圧が印加され、これにより、ウエハWがピエゾ素子2によってエンドエフェクタ1X上の初期位置に戻されて初期位置で固定される。ウエハWを初期位置で固定した後、ピエゾ素子2に印加する電圧は基準電圧に戻される。なお、半導体製造装置100は、ウエハWを初期位置に戻した後、ピエゾ素子2に印加する電圧をゼロにしてもよい。
ウエハWをエンドエフェクタ1Xから他の場所へ移動させる際には、ピエゾ素子2への印加電圧がゼロにされる。これにより、ピエゾ素子2はウエハW側の外側に移動し、その結果、ピエゾ素子2とウエハWの側面部との当接が解除される。
エンドエフェクタ1Xは、ピエゾ素子2によってウエハWを保持することにより、エンドエフェクタ1X上のウエハWの位置ずれや、エンドエフェクタ1XからウエハWが落下することを防止する。
パッド4は、U字部上にウエハWが載置された際にウエハWの裏面と接する位置に配置されている。パッド4は、ウエハWの裏面と接することにより、ウエハWの滑りを防止する。
図3は、エンドエフェクタの断面構成を示す図である。図3の(a)では、エンドエフェクタ1Xをパッド4に沿って切断した場合のエンドエフェクタ1Xの断面図を示している。図3の(b)では、エンドエフェクタ1Xをピエゾ素子2に沿って切断した場合のエンドエフェクタ1Xの断面図を示している。図3の(c)では、エンドエフェクタ1Xをカメラ3に沿って切断した場合のエンドエフェクタ1Xの断面図を示している。
図3の(a)に示すように、パッド4は、エンドエフェクタ1Xの上面に配置される。そして、エンドエフェクタ1X上にウエハWが載置されると、ウエハWはパッド4によって支持される。
また、図3の(b)に示すように、ピエゾ素子2は、エンドエフェクタ1Xの上面であって且つウエハWがエンドエフェクタ1X上に載置された際にウエハWよりも外側となる位置に配置される。そして、エンドエフェクタ1X上にウエハWが載置されてピエゾ素子2に電圧が印加されることにより、ピエゾ素子2がウエハWの側面と当接する。
また、図3の(c)に示すように、カメラ3は、ウエハWがエンドエフェクタ1X上に載置された際に、ウエハWの裏面と衝突しない位置(例えば、エンドエフェクタ1Xの内部)に配置される。これにより、エンドエフェクタ1X上にウエハWが載置されると、ウエハWの裏面がカメラ3に向けられる。なお、カメラ3をエンドエフェクタ1Xの裏面に配置してもよい。この場合、エンドエフェクタ1Xのうちカメラ3が配置される箇所(カメラ3とウエハWの裏面が対向する位置)に貫通穴を設けておく。
なお、搬送ロボット10は、カメラ3の代わりにラインセンサを用いてウエハWの位置ずれを検出してもよい。この場合、エンドエフェクタには、ラインセンサが配設される。また、搬送ロボット10は、測長センサ(近接センサ)を用いて、ウエハWの高さ方向の位置ずれを検出してもよい。この場合、エンドエフェクタには、測長センサが配設される。
図4は、実施形態に係る搬送ロボットが備えるエンドエフェクタの他の構成例を示す図である。なお、図4では、パッド4やピエゾ素子2の図示を省略している。エンドエフェクタ1Yは、ラインセンサ5X,5Yと測長センサ6とを備えている。ラインセンサ5X,5Yおよび測長センサ6は、カメラ3と同様に、ウエハWがエンドエフェクタ1Y上に載置された際に、ウエハWの裏面と衝突しない位置(例えば、エンドエフェクタ1Yの内部)に配置される。また、ラインセンサ5X,5Yは、例えば、ウエハWが載置される領域とされない領域とがカメラ視野内に均等に写る位置に配置しておく。また、測長センサ6は、ウエハWが載置される領域に配置しておく。
ラインセンサ5Xは、エンドエフェクタ1Y上に載置されたウエハWのX方向の位置を検出する。また、ラインセンサ5Yは、エンドエフェクタ1Y上に載置されたウエハWのY方向の位置を検出する。
ラインセンサ5Xは、ウエハWが載置される箇所とされない箇所とのX方向の境界部近傍に配置される。また、ラインセンサ5Yは、ウエハWが載置される箇所とされない箇所とのX方向の境界部近傍に配置される。
ラインセンサ5X,5Yは、ウエハWが載置される箇所とされない箇所との境界を一次元的に撮像する。ラインセンサ5X,5Yは、撮像した画像を装置制御PCに送る。これにより、装置制御PCは、ラインセンサ5X,5Yが撮像した画像に基づいて、ウエハWの位置ずれ量を検出する。
測長センサ6は、測長センサ6からウエハWまでの距離を測長するセンサである。エンドエフェクタ1Y上へは、測長センサ6を1つだけ配置してもよいし、2つ以上配置してもよい。図4では、エンドエフェクタ1Y上に2つの測長センサ6が配置されている場合を示している。エンドエフェクタ1Y上に複数の測長センサ6を配置しておくことにより、半導体製造装置100は、ウエハWの傾き(反り)を検出することが可能となる。なお、エンドエフェクタ1Xに測長センサ6を設けてもよい。
図5は、カメラおよびラインセンサによって撮像される画像の一例を示す図である。図5の(a)は、カメラ3によって撮像される画像21を示している。また、図5の(b)は、ラインセンサ5Xによって撮像される画像22Xを示し、図5の(c)は、ラインセンサ5Yによって撮像される画像22Yを示している。
図5の(a)に示すように、画像21は2次元的な画像であり、画像21に基づいてウエハWの位置を検出することが可能となる。また、図5の(b)に示すように、画像22Xは1次元方向の画像であり、画像22Xに基づいてウエハWのX方向の位置を検出することが可能となる。また、図5の(c)に示すように、画像22Yは1次元方向の画像であり、画像22Yに基づいてウエハWのY方向の位置を検出することが可能となる。
図6は、実施形態に係る搬送ロボットを備えた搬送制御システムの構成例を示す図である。搬送制御システム101は、搬送ロボット10と、装置制御PC(Personal Computer)40と、信号処理部41と、動作コントローラ42と、モータドライバ(サーボドライバ)43と、を備えている。
搬送ロボット10のアーム11,12、回転台13などの搬送系は、モータドライバ43に接続されている。また、搬送ロボット10のエンドエフェクタ1Xが有するピエゾ素子2は、信号処理部41に接続されている。また、装置制御PC40は、信号処理部41、動作コントローラ42に接続されている。そして、動作コントローラ42が、モータドライバ43に接続されている。
搬送制御システム101のうち、装置制御PC40の一部、ピエゾ素子2、カメラ3、測長センサ6、信号処理部41がウエハWの位置制御に用いられるウエハ位置制御系である。ウエハ位置制御系は、エンドエフェクタ1Xのウエハ搭載部分(U字部)に設けられたカメラ3などからの情報に基づいて、ウエハWの位置ずれなどを検出し、モニタ結果に基づいてウエハWの位置を補正する。
また、搬送制御システム101のうち、装置制御PC40の一部、搬送ロボット10の搬送系、モータドライバ43、動作コントローラ42が、ウエハWの搬送制御に用いられるウエハ搬送制御系である。ウエハ搬送制御系は、搬送ロボット10と、搬送ロボット10に設けられたエンコーダ(位置検出センサ)と、モータドライバ43と、を有したフィードバックループを構成している。
エンドエフェクタ1X上に載置されたウエハWは、カメラ3および測長センサ6によって位置が監視されている。カメラ3は、ウエハWの外縁部を撮像し、撮像した画像を信号処理部41に送る。また、測長センサ6は、ウエハWまでの距離を測長し、測長結果(距離)を信号処理部41に送る。
信号処理部41は、例えばDIO/AIOボードであり、種々の信号処理を行う。信号処理部41は、エンドエフェクタ1X上に載置されたウエハWの位置ずれを検出する位置ずれ検出部としての処理を行う。具体的には、信号処理部41は、カメラ3から送られてくる画像に基づいて、ウエハWの面内方向の位置ずれ量を算出する。また、信号処理部41は、測長センサ6から送られてくる距離に基づいて、ウエハWの高さ方向の位置ずれ量を算出する。
信号処理部41は、ウエハWの面内方向の位置ずれ量を面内位置ずれ量として装置制御PC40に送る。また、信号処理部41は、ウエハWの高さ方向の位置ずれ量を高さ位置ずれ量として装置制御PC40に送る。また、信号処理部41は、装置制御PC40からピエゾ素子2の移動要求が送られてくると、移動要求内に含まれているピエゾ素子2の移動調整量に基づいて、移動調整量に応じた電圧(ピエゾ素子2を移動させる電圧)をピエゾ素子2に印加する。
装置制御PC40は、信号処理部41から送られてくる高さ位置ずれ量に基づいて、エンドエフェクタ1X上のウエハWの保持状態を判定する。装置制御PC40は、ウエハWの保持状態は異常であると判定すると、搬送ロボット10を停止させる。
また、装置制御PC40は、信号処理部41から送られてくる面内位置ずれ量に基づいて、ウエハWに必要な位置調整量を算出する。そして、装置制御PC40は、ウエハWに必要な位置調整量に基づいて、ピエゾ素子2に必要な移動調整量を算出する。装置制御PC40は、ピエゾ素子2に必要な移動調整量を移動要求に付加して、信号処理部41に送る。また、装置制御PC40は、動作コントローラ42に動作指令を送る。この動作指令には、搬送系(アーム11,12、回転台13など)を動作させる指令が含まれている。
動作コントローラ42は、装置制御PC40から送られてくる動作指令に基づいて移動量指令を生成し、移動量指令をモータドライバ43に送る。この移動量指令には、搬送系を移動させるための移動量などが含まれている。
また、動作コントローラ42は、モータドライバ43から送られてくる移動量に基づいて、搬送系の実際の座標を算出し、装置制御PC40に座標の通知を行う。モータドライバ43から送られてくる移動量は、搬送系の実際の移動量であり、装置制御PC40に通知する座標は、搬送系の実際の座標である。
モータドライバ43は、動作コントローラ42から送られてくる移動量指令に基づいて、搬送系を移動させるための搬送電圧を搬送系に出力する。また、モータドライバ43は、搬送系から送られてくるエンコーダ値に基づいて、搬送系の移動量を動作コントローラ42に通知する。
つぎに、搬送制御システム101の動作手順について説明する。装置制御PC40は、動作コントローラ42に動作指令を送る。これにより、ウエハ搬送制御系が動作する。そして、エンドエフェクタ1X上にウエハWが載置されると、カメラ3は、ウエハWの外縁部を撮像し、撮像した画像を信号処理部41に送る。また、測長センサ6は、ウエハWまでの距離を測長し、測長結果を信号処理部41に送る。
これにより、信号処理部41は、カメラ3から送られてくる画像に基づいて、ウエハWの面内方向の位置ずれ量を算出し、面内位置ずれ量として装置制御PCに送る。また、信号処理部41は、測長センサ6から送られてくる距離に基づいて、ウエハWの高さ方向の位置ずれ量を算出し、高さ位置ずれ量として装置制御PC40に送る。
装置制御PC40は、面内位置ずれ量、高さ位置ずれ量に基づいて、ウエハWに必要な位置調整量を算出し、ウエハWに必要な位置調整量に基づいて、ピエゾ素子2に必要な移動調整量を算出する。このとき、装置制御PC40は、ピエゾ素子2毎に移動調整量を算出してもよい。装置制御PC40は、ピエゾ素子2毎に必要な移動調整量を移動要求に付加して、信号処理部41に送る。
信号処理部41は、装置制御PC40からピエゾ素子2の移動要求が送られてくると、移動要求内に含まれているピエゾ素子2の移動調整量に基づいて、移動調整量に応じた電圧をピエゾ素子2に印加する。これにより、ピエゾ素子2が印加電圧に応じた位置まで移動する。そして、ピエゾ素子2がウエハWの側面に当接してウエハWを初期位置まで移動させることにより、ウエハWのエンドエフェクタ1X上での位置が補正される。
ウエハWの搬送中は、カメラ3、測長センサ6による画像の撮像と、装置制御PC40によるウエハWの位置ずれ検出が継続される。装置制御PC40は、高さ方向の位置ずれ量が送られてくると、高さ位置ずれ量に基づいて、エンドエフェクタ1X上のウエハWの保持状態を再判定する。また、装置制御PC40は、ウエハWの面内方向の位置ずれ量が送られてくると、面内位置ずれ量に基づいて、ウエハWに必要な位置調整量を再算出し、ウエハWに必要な位置調整量に基づいて、ピエゾ素子2に必要な移動調整量を再算出する。そして、装置制御PC40は、ピエゾ素子2に必要な移動調整量を移動要求に付加して、信号処理部41に送る。そして、信号処理部41は、装置制御PC40からピエゾ素子2の移動要求が送られてくると、移動要求内に含まれているピエゾ素子2の移動調整量に基づいて、移動調整量に応じた電圧をピエゾ素子2に印加する。これにより、ピエゾ素子2によってウエハWのエンドエフェクタ1X上での位置が補正される。
搬送制御システム101では、ウエハWがエンドエフェクタ1X上に載置されている間、カメラ3および測長センサ6によるウエハWの位置ずれ検出と、ピエゾ素子2によるウエハWの位置ずれ補正が行われる。
なお、搬送制御システム101は、高さ位置ずれ量に基づいて、面内位置ずれ量を補正してもよい。例えば、ウエハWが高さ方向にずれた場合と、ウエハWが高さ方向にずれていない場合とでは、カメラ3が撮像する画像に差が生じる。したがって、装置制御PC40は、ウエハWの高さ方向の位置ずれ量分だけ、カメラ3が撮像した画像を補正する。これにより、装置制御PC40は、正確な面内位置ずれ量を算出することが可能となる。
なお、本実施の形態では、装置制御PC40が、面内位置ずれ量に基づいてピエゾ素子2に必要な移動調整量を算出する場合について説明したが、装置制御PC40は、面内位置ずれ量が所定置以上である場合に、ピエゾ素子2への移動調整量として所定値を設定してもよい。
図7は、ウエハ位置制御系の制御ループを示す図である。ウエハWは、エンドエフェクタ1Xに載置されると、例えば、ピエゾ素子2に、最低限のウエハ保持電圧が印加される。この状態で、アーム11,12などへの移動指令が出されると、ウエハWの搬送が開始され、搬送中のウエハWの位置が、エンドエフェクタ1Xに取り付けられたカメラ3で検出される。
具体的には、ウエハ位置制御系では、装置制御PC40から信号処理部41に移動調整量が付加された移動要求が送られる。信号処理部41は、移動調整量に応じた電圧をピエゾ素子2に出力し、これによりピエゾ素子2が移動し、制御対象となっているウエハWの位置補正が行われる。ウエハWは、その側面でピエゾ素子2に当接しているので、ウエハWには、静止摩擦力が働く。
また、ウエハWは、カメラ3によって撮像され、測長センサ6によってウエハWまでの距離が測定される。カメラ3によって撮像された画像を用いてウエハWの面内位置ずれ量が算出されると、この面内位置ずれ量は装置制御PC40に入力される。また、測長センサ6によって測定されたウエハWまでの距離に基づいて、ウエハWの高さ位置ずれ量が算出されると、この高さ位置ずれ量は装置制御PC40に入力される。
装置制御PC40は、ウエハWの面内位置ずれ量に基づいて、ピエゾ素子2の移動調整量を算出し、移動調整量を指定した移動要求を信号処理部41に送る。また、装置制御PC40は、高さ位置ずれ量に基づいて、ウエハWの保持異常を検出する。
半導体製造装置100は、例えば成膜装置、エッチング装置、リソグラフィ装置などである。半導体装置(半導体集積回路)を製造する際には、フォトマスクなどのマスクが作製され、レジストの塗布されたウエハにマスクを用いて露光を行ない、その後ウエハWを現像してウエハW上にレジストパターンが形成される。そして、レジストパターンをマスクとしてウエハWの下層側がエッチングされる。これにより、レジストパターンに対応する実パターンがウエハW上に形成される。半導体装置を製造する際には、成膜処理、露光処理、現像処理、エッチング処理などがレイヤ毎に繰り返される。
なお、搬送ロボット10を、半導体製造装置以外の装置に配置してもよい。例えば、搬送ロボット10を、ウエハWの検査装置、ウエハWの試験装置などに配置してもよい。また、本実施の形態では、ウエハWをエンドエフェクタ1Xに載置した際にピエゾ素子2によってウエハWを保持したが、ピエゾ素子2は、ウエハWに位置ずれを生じるまではウエハWを保持せず、ウエハWに位置ずれが生じた場合にウエハWの位置を補正してもよい。
このように実施形態によれば、エンドエフェクタ1Xにカメラ3を設けているので、ウエハ搬送中のウエハWの位置ずれを迅速に検出することが可能となる。また、ウエハWがエンドエフェクタ1Xに載置されるとピエゾ素子2によってウエハWを保持するので、ウエハWの位置ずれや落下を防止することが可能となる。また、ウエハWの位置ずれをカメラ3で検出し、ウエハWの位置ずれが発生した場合には、ピエゾ素子2に与える電圧を調整するので、ピエゾ素子2によってウエハWの位置を補正することができる。
また、ピエゾ素子2を用いてウエハWの位置ずれを補正するので、搬送ロボット10を停止させることなくウエハWの搬送中にウエハWの位置を補正することができる。したがって、半導体製造装置100のスループットを向上させることが可能となる。また、測長センサ6によって、ウエハWと測長センサ6との間の距離を測長しているので、ウエハWの保持異常を検出できる。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
1X,1Y…エンドエフェクタ、2…ピエゾ素子、3…カメラ、5X,5Y…ラインセンサ、6…測長センサ、9,10…搬送ロボット、21,22X,22Y…画像、40…装置制御PC、41…信号処理部、42…動作コントローラ、43…モータドライバ、100…半導体製造装置、101…搬送制御システム、W…ウエハ。
Claims (6)
- ウエハを載置するとともに載置されたウエハの一部を撮像する撮像部を有した載置部と、
前記載置部を移動させることにより、前記載置部上のウエハを搬送する搬送部と、
前記載置部上に載置されたウエハの位置ずれを検出する位置ずれ検出部と、
を備え、
前記撮像部は、前記ウエハが載置された場合に前記ウエハの裏面側となる位置に配置されるとともに、前記ウエハの搬送中に、前記ウエハの外縁部と前記ウエハが載置されない領域との境界部の一部を境界部画像として前記ウエハの裏面側から撮像し、
前記位置ずれ検出部は、前記境界部画像に基づいて、搬送中の前記ウエハの位置ずれを検出し、
前記載置部は、前記ウエハが載置された場合に前記ウエハの側面部よりも外側となる位置に配置される複数のピエゾ素子をさらに有し、
前記ピエゾ素子は、所定の電圧が印加されると前記ウエハの側面に当接するよう前記ウエハの中心方向に移動し、前記位置ずれ検出部が前記ウエハの位置ずれを検出した場合に、前記ウエハの側面に当接しながら前記ウエハを基準位置まで移動させるよう第1の電圧が印加されることを特徴とするウエハ搬送装置。 - ウエハを載置するとともに載置されたウエハの一部を撮像する撮像部を有した載置部と、
前記載置部を移動させることにより、前記載置部上のウエハを搬送する搬送部と、
前記載置部上に載置されたウエハの位置ずれを検出する位置ずれ検出部と、
を備え、
前記撮像部は、前記ウエハが載置された場合に前記ウエハの裏面側となる位置に配置されるとともに、前記ウエハの搬送中に、前記ウエハの外縁部と前記ウエハが載置されない領域との境界部の一部を境界部画像として前記ウエハの裏面側から撮像し、
前記位置ずれ検出部は、前記境界部画像に基づいて、搬送中の前記ウエハの位置ずれを検出することを特徴とするウエハ搬送装置。 - 前記載置部は、前記ウエハが載置された場合に前記ウエハの側面部よりも外側となる位置に配置される複数のピエゾ素子をさらに有し、
前記ピエゾ素子は、所定の電圧が印加されると前記ウエハの側面に当接するよう前記ウエハの中心方向に移動することを特徴とする請求項2に記載のウエハ搬送装置。 - 前記ピエゾ素子は、前記位置ずれ検出部が前記ウエハの位置ずれを検出した場合に、前記ウエハの側面に当接しながら前記ウエハを基準位置まで移動させるよう第1の電圧が印加されることを特徴とする請求項3に記載のウエハ搬送装置。
- 前記ピエゾ素子は、前記ウエハが前記載置部に載置された際に、前記ウエハの基準位置で前記ウエハの側面に当接して前記ウエハを保持するよう第2の電圧が印加されることを特徴とする請求項3に記載のウエハ搬送装置。
- 前記位置ずれ検出部は、前記境界部画像に基づいて、搬送中の前記ウエハの位置ずれ量を検出し、
前記ピエゾ素子は、前記位置ずれ量に応じた電圧が印加されることにより、前記ウエハの側面に当接しながら前記ウエハを基準位置まで移動させることを特徴とする請求項3に記載のウエハ搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012010971A JP2013149902A (ja) | 2012-01-23 | 2012-01-23 | ウエハ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012010971A JP2013149902A (ja) | 2012-01-23 | 2012-01-23 | ウエハ搬送装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013149902A true JP2013149902A (ja) | 2013-08-01 |
Family
ID=49047100
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012010971A Pending JP2013149902A (ja) | 2012-01-23 | 2012-01-23 | ウエハ搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2013149902A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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