JP6196870B2 - ウエーハの搬送装置 - Google Patents
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Description
2、4 外周保持機構
3 昇降手段
5 テーブル(第1のテーブル)
11 外周保持プレート
12 外周保持部
15 移動手段
16、41 認識センサ
17 判断部
22 外周保持プレートの下面
29 V字溝
37 ウエーハの上面
42 上下ピン
43 上昇センサ
52 リフタ
W ウエーハ
Claims (1)
- ウエーハの外周を保持する外周保持機構と、該外周保持機構を用いて第1のテーブルから第2のテーブルにウエーハを搬送するため該外周保持機構を昇降させる昇降手段を含むウエーハの搬送装置であって、
該外周保持機構は、該昇降手段に接続される外周保持プレートと、該外周保持プレートに配設されウエーハの外周を保持する少なくとも3つの外周保持部と、該外周保持部を放射方向に移動させる移動手段と、該外周保持プレートの下面と外周保持部が保持しようとする該第1のテーブルに載置されているウエーハの上面との間隔を認識する少なくとも3つの認識センサと、を備え、
該少なくとも3つの認識センサは、該外周保持プレートの下面に垂直方向で上下する上下ピンと、該上下ピンが所定距離上昇したとき反応する上昇センサと、を備え、
該外周保持機構を該昇降手段で下降させることにより、該第1のテーブルに載置されているウエーハの上面に該上下ピンの下端が接触し、更に該外周保持機構を下降させたとき該上下ピンが上昇し該上昇センサの反応が同時のときウエーハを保持すると判断し、該上昇センサの反応が同時でないときウエーハを保持しないと判断する判断部を備えるウエーハの搬送装置。
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Applications Claiming Priority (1)
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JP2013211734A JP6196870B2 (ja) | 2013-10-09 | 2013-10-09 | ウエーハの搬送装置 |
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Family Applications (1)
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