JP2011091246A - 板状ワーク着脱方法及び加工装置 - Google Patents

Abstract

【課題】板状ワークの被保持面を適切にチャックテーブルの保持面から離反させることができるようにする。
【解決手段】ポーラス部材で形成され板状ワークＷを負圧によって保持するチャックテーブル２の保持面２００に液体及び気体を供給する機能を有するとともに、保持面２００において保持された板状ワークＷを側面側から保持して搬出する搬送機構１０を有する加工装置を用い、保持面２００に液体を供給して板状ワークＷを浮上させ、さらに保持面２００に気体を供給して液体の表面張力を緩和し、その状態で板状ワークＷを保持して持ち上げて保持面２００から離脱させることにより、板状ワークＷを破損させずに、確実に保持面から搬出する。
【選択図】図９

Description

本発明は、チャックテーブルに保持された半導体ウェーハ等の板状ワークを保持してチャックテーブルから離脱させる方法及びその方法が使用される加工装置に関する。

半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウェーハの表面に格子状に配列されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって複数の領域が区画され、この区画された領域にＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスを形成する。そして、半導体ウェーハをストリートに沿って切断することによりデバイスが形成された領域を分割して個々の半導体チップを製造している。また、サファイア基板の表面に窒化ガリウム系化合物半導体等が積層された光デバイスウエーハも、ストリートに沿って切断することにより個々の発光ダイオード、レーザーダイオード等の光デバイスに分割され、電気機器に広く利用されている。上述したように分割されるウェーハは、ストリートに沿って切断する前に裏面を研削またはエッチングすることによって所定の厚さに形成される。近年、電気機器の軽量化、小型化を達成するためにウェーハの厚さを５０μm以下に形成することが要求されている。

しかるに、研削やエッチングによってウェーハの厚さを５０μm以下に形成すると、ウェーハが破損しやすくなり、ウェーハの搬送等の取り扱いが困難になるという問題がある。そこで、このような問題を解消するために、本出願人は、研削装置のチャックテーブルにおいてウェーハの表面側を保持し、ウェーハの裏面のうちデバイス領域の裏側のみを研削してデバイス領域部分の厚さを所定厚さに形成するとともに、その外周側については研削を行わずに当初の厚さを維持残存させて環状の補強部を形成することにより、剛性を有するウェーハを形成することができるウェーハの加工方法を提案し(特許文献１)、そのための搬送機構も提案している(特許文献２)。

特開２００７−０１９４６１号公報 特開２００７−２５８４５０号広報

しかし、デバイス領域の裏側の研削が終了した後、環状の補強部が形成された板状ワークを次の工程に搬送するには、特許文献２に示されているように板状ワークの外周縁を保持する必要がある。そして、そのためには、板状ワークをチャックテーブルの保持面から離反させる必要があるため、気体を保持面に供給することによって保持面から板状ワークを離反させていたが、気体によって板状ワークを離反させる場合は、板状ワークの被保持面全体に均一に浮力が働かず、場合によっては、板状ワークが破損したり、適切に搬送機構が板状ワークを保持できなかったりするという問題があった。このような問題は、研削装置以外の加工装置においても起こりうる。

本発明は、これらの事実に鑑みて成されたものであって、その主な技術的課題は、板状ワークを破損させることなく、板状ワークの被保持面を適切にチャックテーブルの保持面から離反させることができるようにすることにある。

第一の発明は、ポーラス部材で形成され板状ワークを負圧によって保持する保持面を有するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された板状ワークを加工する加工機構と、チャックテーブルに対する板状ワークの搬入及び搬出を行う搬送機構と、保持面に液体を供給する液体源と、保持面に気体を供給する気体源と、保持面と液体源とを連通させる液体連通路と、液体連通路に配設された液体弁と、保持面と気体源とを連通させる気体連通路と、気体連通路に配設された気体弁とを有し、搬送機構は、板状ワークの外周縁を保持する少なくとも３個の保持部材と、保持部材を該板状ワークの外周縁に対して水平方向に移動可能に支持する支持プレートと、支持プレートに設けられ該保持部材よりも下方に突出し板状ワークの水平方向の移動を規制する少なくとも３個の水平方向移動規制ピンと、保持部材を支持した支持プレートを鉛直方向に移動させる垂直方向駆動部とを有する加工装置によって、チャックテーブルの保持面に保持された板状ワークを保持面から離脱させる板状ワーク離脱方法に関し、以下の工程を具備する。
（１）少なくとも３個の水平方向移動規制ピンを保持面に保持された板状ワークの周囲に位置付ける水平方向移動規制ピン位置付け工程、
（２）液体弁を開放し液体源から保持面に液体を供給することによって保持面から染み出す液体で板状ワークを保持面から浮上させて離反させる離反工程、
（３）気体弁を開放し気体源から保持面に気体を供給することによって液体の表面張力を緩和する表面張力緩和工程、
（４）保持部材を板状ワークの外周縁へ向けて移動させて板状ワーク保持する保持工程、
（５）板状ワークを保持した保持部を支持した支持プレートを上方に移動させて板状ワークを保持面から離脱させる離脱工程。

また、第二の発明は、上記の板状ワーク離脱方法を実施するのに好適であり、その方法を確実に遂行するために、液体弁を開放して保持面から染み出す液体で板状ワークを浮上させて保持面から離反させ、気体弁を開放して保持面に気体を供給することによって液体の表面張力を緩和する制御機能を有する制御手段を含む加工装置に関するものである。

本発明に係る板状ワーク離脱方法では、離反工程において、液体弁の開放による保持面からの液体の染み出しにより板状ワーク全体をほぼ均一な力で持ち上げることができる。そして、その状態で板状ワークの外周縁部を保持し、気体弁の開放により液体の中に気体を供給することで液体の表面張力を緩和した状態で板状ワークを持ち上げて保持面から離脱させるため、板状ワークを破損させずに、確実に保持面から搬出することができる。

また、本発明に係る加工装置は、液体の染み出しによる板状ワークの持ち上げ及び液体の表面張力の緩和を確実に遂行することができる。

加工装置の一例を示す斜視図である。 搬送機構を構成する保持機構の一例を示す斜視図である。 同保持機構を示す分解斜視図である。 保持機構を構成する支持プレート及び回動プレートを模式的に示す平面図であり、（ａ）は回動プレートの回動前の状態を示し、（ｂ）は回動プレートが回動した状態を示す。 板状ワークの一例を示す断面図である。 板状ワークの上方に保持機構が位置する状態を略示的に示す断面図である。 水平方向移動規制ピン位置付け工程及び離反工程の状態を略示的に示す断面図である。 保持工程の状態を略示的に示す断面図である。 表面張力緩和工程の状態を略示的に示す断面図である。 離脱工程の状態を略示的に示す断面図である。

図１に示す研削装置１は、チャックテーブル２に保持された板状ワークを研削加工する装置であり、チャックテーブル２に対する板状ワークの着脱が行われる領域である着脱域と、チャックテーブル２に保持された板状ワークの研削加工がおこなれる領域である研削域とから構成される。

チャックテーブル２は、無数の気孔を有するポーラス部材で形成され板状ワークを負圧によって保持する保持面２００と、保持面２００を下方及び周囲から支持する枠体２０１とから構成されている。保持面２００と枠体２０１の上面とは面一となっている。チャックテーブル２は、基台２０２によって回転可能に支持されており、基台２０２の前後方向の側部には、伸縮自在な蛇腹２０３が連結されている。チャックテーブル２は、蛇腹２０３の伸縮を伴って、着脱域と研削域との間を水平方向に移動する構成となっている。

保持面２０は、液体連通路２０４を介して液体源２０５に連通しているとともに、気体連通路２０６を介して気体源２０７に連通している。液体連通路２０４には液体弁２０８が配設されており、液体の流通量を調整し、その液体を保持面２００から染み出させることができる。また、気体連通路２０６には気体弁２０９が配設されており、気体の流通量を調整し、その気体を保持面２００から吹き出させることができる。液体弁２０８及び気体弁２０９は、制御手段２１０によって制御される。液体源２０５には、例えば純水が蓄えられ、気体源２０７には、例えば空気が蓄えられている。

研削域には、チャックテーブル２に保持された板状ワークを研削加工する加工機構３を備えている。加工機構３は、鉛直方向の軸心を有するスピンドル３０と、ホイールマウント３１を介してスピンドル３０に固定された研削ホイール３２と、スピンドル３０を回転駆動するサーボモータ３３とを備えている。研削ホイール３２の下部には研削砥石３４が円弧状に固着されており、サーボモータ３３に駆動されてスピンドル３０が回転するのにともない、研削砥石３４も回転する構成となっている。

加工機構３は、送り機構４によって駆動されて昇降する。送り機構４は、鉛直方向の軸心を有するボールスクリュー４０と、ボールスクリュー４０と平行に配設された一対のガイドレール４１と、ボールスクリュー４０を回動させるパルスモータ４２と、ボールスクリュー４０に螺合するナット（図示せず）を内部に有するとともに側部がガイドレール４１に摺接する摺動部４３とを備えており、パルスモータ４２によって駆動されてボールスクリュー４０が回動するのにともない摺動部４３がガイドレール４１に案内されて昇降する構成となっている。摺動部４３に固定された支持部４４は、加工機構３を支持しているため、摺動部４３の昇降により加工機構３も昇降する構成となっている。

着脱域には、研削前の板状ワークを収容する第一のカセット５ａと、研削後の板状ワークを収容する第二のカセット５ｂとが載置されている。第一のカセット５ａ及び第二のカセット５ｂの近傍には、研削前の板状ワークを第一のカセット５ａから取り出す機能及び第二のカセット５ｂに研削後の板状ワークを収容する機能を有する搬出入機構６が配設されている。搬出入機構６は、板状ワークを保持する保持部６０と、先端に保持部６０が連結され回動及び屈曲可能なアーム部６１とを備えている。

搬出入機構６の近傍には、研削前の板状ワークの中心位置の位置合わせを行う中心合わせ手段７と、研削後の板状ワークの洗浄を行う洗浄手段８とが配設されている。中心合わせ手段７は、研削対象の板状ワークが載置される載置台７０と、載置台７０から上方に突出した状態で円弧状に配置され互いに近づく方向に移動可能な複数の突起部７１とを備えている。一方、洗浄手段８は、板状ワークを保持して回転可能な保持テーブル８０と、洗浄液及びエアーを噴出するノズル（図示せず）とを備えている。

中心合わせ手段７の近傍には、中心合わせされた研削前の板状ワークを中心合わせ手段７から搬出してチャックテーブル２に搬入する第一の搬送機構９が配設されている。第一の搬送機構９は、板状ワークの被研削面を吸着保持する吸着板９０と、吸着板９０が先端部に取り付けられ水平方向に回動可能であるとともに昇降可能なアーム部９１とを有している。

洗浄手段８の近傍には、研削後の板状ワークをチャックテーブル２から搬出して洗浄手段８に搬入する第二の搬送機構１０が配設されている。第二の搬送機構１０は、昇降及び旋回可能なアーム部１１と、アーム部１１の先端に取り付けられた保持機構１２とを有している。

図２に示すように、保持機構１２は、板状ワークの外周縁に係合して板状ワークを保持する少なくとも３個の保持部材１３と、保持部材１３を板状ワークの外周縁に対して水平方向に移動可能に支持する支持プレート１４と、支持プレート１４の上面側において支持プレート１４に対して所定範囲回動可能に配設された回動プレート１５と、アーム部１１の先端の取り付けられ支持プレート１４に対して傾斜可能に連結された取り付け板１６と、支持プレート１４を鉛直方向に移動させる垂直方向駆動部１７とを有している。

図３に示すように、保持部材１３は、フッ素系樹脂等の摩擦抵抗の小さい合成樹脂によって形成され係合凹部１３０ａを備えた係合部材１３０と、係合部材１３０から上方に立設された円柱状の被支持部１３１とから構成され、被支持部１３１の内周面には、ボルトを螺合させる雌ねじ穴１３１ａが形成されている。

支持プレート１４には、保持部材１３の個数及び位置に対応して、径方向に長く表裏面を貫通する長孔１４０が形成されている。長孔１４０は、保持部材１３の被支持部１３１を長孔１４０の長手方向に移動自在に支持するもので、長孔１４０の幅は、被支持部１３１の直径よりわずかに大きく形成されている。

支持プレート１４の下面からは、保持対象の板状ワークの水平方向の移動を規制する少なくとも３個の長さが等しい水平方向移動規制ピン１８が下方に突出して形成されており、その下端は保持部材１３より下方に位置している。支持プレート１４の上面からは、３本の複数の支持柱１９が立設されている。支持柱１９の上端には雌ねじ穴１９ａが形成されている。それぞれの支持柱１９には、コイルバネ１９０が挿嵌されている。一方、支持プレート１４の中心部上面には、大径部２０ａ及び小径部２０ｂを有する段つきナット２０が取り付けられている。

回動プレート１５は、段突きナット２０の小径部２０ｂに嵌合する内径を有する中心孔１５０と、周方向に長く形成され表裏面を貫通する３個の長孔１５１と、所定間隔をおいて外周方向に突出形成された３個のアーム部１５２とを有している。それぞれのアーム部１５２の先端には、枢軸１５３によってアーム部１５２に対して回動可能にリンク１５４が連結されている。リンク１５４には、表裏面を貫通する貫通孔１５４ａが形成されている。３個のアーム部１５２のうちの１つから周方向に突出した位置には、上方に突出する連結突起１５５が形成されている。

支持プレート１４の上面側には、ピストンロッド２１を出没させるエアシリンダ２２が配設されており、ピストンロッド２１の先端部には、回動プレート１５においてリング状に形成された連結突起１５５と係合する連結係合部２１ａが形成されている。

また、図２に示したように、ボルト２３を図３に示した貫通孔１５４ａ、スペーサ２４及び長孔１４０に挿通し、係合部材１３の雌ねじ穴１３１ａに螺合させると、枢軸１５３を中心としてリンク１５４が回動することにより回動プレート１５が支持プレート１４に対して所定範囲回動可能となった状態で、支持プレート１４と回動プレート１５とが連結される。段つきナット２０にはボルト２６を螺合させ、回動プレート１５の抜けを防止する。また、アーム部１５２から側方に突出した位置に設けられた連結突起１５５をピストンロッド２１の先端の連結係合部２１ａに係合させると、エアシリンダ２２によってピストンロッド２１が図２における矢印Ａ方向に駆動されることにより、回動プレート１５が矢印Ｂ方向に回動可能となる。そして、回動プレート１５が矢印Ｂ方向に回動すると、それにともないリンク１５４が矢印Ｃ方向に動くため、リンク１５４に連結された保持部材１３が矢印Ｄ方向、すなわち支持プレート１４の中心に向かう方向に移動する。この動きを図４を参照して説明すると、初期状態では、図４（ａ）に示すように、３個のアーム部１５２がリンク１５４と一直線上にある。そして、図４（ｂ）に示すように、エアシリンダ２２によって駆動されて回動プレート１５が矢印Ｂ方向に回動すると、アーム部１５２とリンク１５４とが一直線上でなくなり、Ｃ方向に向きを変えたリンク１５４が保持部材１３を支持プレート１４の中心に向かう方向に引っぱり、これによって保持部材１３が長孔１４０に沿って互いが近づく方向（Ｄ方向）に移動する。このように、エアシリンダ２２及びピストンロッド２１並びに回動プレート１５は、３つの係合部材１３を、互いが近づく方向に移動させる駆動手段として機能する。

さらに、図３に示すように、取り付け板１６においては、支持プレート１４の上面から立設された３本の支持柱１９に対応する位置に３つの貫通孔１６０が配設されており、これら貫通孔１６０に挿通するボルト２５を支持柱１９に形成された雌ねじ穴１９ａに螺合させることにより、取り付け板１６に支持プレート１４が固定される。

次に、図１に示した研削装置１を用いて板状ワークを研削する場合における装置の動作について説明する。研削対象の板状ワークは特に限定はされないが、例えばシリコンウェーハやGaAs等の半導体ウェーハ、セラミック、ガラス、サファイア（Al₂O₃）系の無機材料基板、板状金属や樹脂の延性材料、さらには、ミクロンオーダーからサブミクロンオーダーの平坦度（TTV：total thickness variation：ワーク被研削面を基準面として厚み方向に測定した高さのワーク被研削面の全面における最大値と最小値の差）が要求される各種加工材料が挙げられる。

最初に、図１に示した搬出入機構６の保持部６０が第一のカセット５ａに進入し、研削しようとする板状ワークを吸着して第一のカセット５ａから搬出し、中心合わせ手段７の載置台７０に載置して吸着を解除する。そして、突起部７１が互いに近づく方向に移動することにより、板状ワークの中心位置が一定の位置に位置合わせされる。

次に、第一の搬送機構９を構成するアーム部９１の旋回および下降により中心合わせされた板状ワークを吸着板９０が吸着し、吸着後にアーム部９１が上昇してから旋回することにより、着脱域に位置するチャックテーブル２の上方に板状ワークを移動させる。そして、そこで板状ワークを下降させて吸着板９０による吸着を解除することにより、チャックテーブル２によって板状ワークが保持される。このとき、研削される面である被研削面が上を向いて露出し、その裏面である被保持面がチャックテーブル２によって保持された状態となる。

チャックテーブル２によって保持された板状ワークは、水平方向に移動して研削域に進入し、加工機構３の直下に位置付けされる。そして、チャックテーブル２が自転することにより板状ワークを回転させるとともに、研削ホイール３２を回転させた状態で送り機構４によって駆動されて加工機構３が下降し、回転する研削砥石３４が回転する板状ワークの被研削面に接触して研削が行われ、板状ワークが所望の厚さに形成される。このとき、図５に示すように、板状ワークＷの裏面Ｗ２のうち、周縁部の製品化されるチップが存在しない領域である余剰領域を研削せず、製品化されるチップが存在する領域であるデバイス領域のみを研削すると、余剰領域については当初の厚さが維持されて補強部Ｗ３が形成される。補強部Ｗ３が形成された板状ワークＷは、補強部Ｗ３のない板状ワークと比較して、その後の搬送等の取り扱いが容易となる。なお、図５においては図示していないが、研削時には、板状ワークＷの表面Ｗ１に保護テープが貼着される。

こうして研削が終了すると、研削後の板状ワークＷを保持したチャックテーブル２が着脱域に戻る。そして、板状ワークＷは、第二の搬送手段１０によってチャックテーブル２から搬出され、洗浄手段８に搬送される。以下では、そのプロセスについて図６〜図１０を参照して説明する。

図６に示すように、チャックテーブル２から研削後の板状ワークＷを第二の搬送手段１０によって搬出しようとするときは、図１に示した制御手段２１０による制御により、最初に液体弁２０８及び気体弁２０９をともに閉状態とする。また、第二の搬送手段１０を構成する保持機構１２を板状ワークＷの直上に位置させる。なお、図６〜１０においては図示していないが、チャックテーブル２の保持面２００は、弁を通じて吸引源にも連通しているが、板状ワークを搬出するときは、当該弁を閉状態として吸引源と連通しない状態としている。また、部品の組み付け誤差などに起因して、図６に示すように保持機構１２が全体として傾いていることもある。

次に、図７に示すように、保持機構１２を下降させることにより、支持プレート１４から下方に突出した水平方向移動規制ピン１８を板状ワークＷの周囲、例えばチャックテーブル２の枠体２０１の上面に当接させる。図７においては１つの水平方向移動規制ピン１８のみが図示されているが、実際には３つの水平方向移動規制ピン１８が枠体２０１に当接する。水平方向移動規制ピン１８は、すべて長さが等しいため、３つの水平方向移動規制ピン１８が枠体２０１に当接すると、その基部である支持プレート１４は、チャックテーブル２の上面に対して平行となり、後の板状ワークＷの保持に支障が生じない（水平方向移動規制ピン位置付け工程）。

また、図７に示すように、制御手段２１０による制御によって液体弁２０８を開放し、矢印Ｅ方向に液体を流通させ、液体源２０５から保持面２００に液体を供給することにより、保持面２００から染み出す液体によって液体層２７を形成し、板状ワークＷを保持面２００から浮上させ離反させる。液体を用いることで、板状ワーク全体をほぼ均一な力で持ち上げることができ、液体層２７によって板状ワークＷが浮上しても、液体の表面張力によって、板状ワークＷの位置が大幅にずれたりすることはない（離反工程）。かりにずれたとしても、その動きは、３つの水平方向移動規制ピン１８によって一定範囲内に規制され、後の保持に悪影響を与えることはない。

なお、保持面２００から液体を染み出させるのではなく、気体弁２０９を開放して気体源２０７から保持面２００に気体を供給することにより、保持面２００から噴き出る気体によって板状ワークＷを浮上させて保持面２００から離反させることも可能ではあるが、気体の圧力により板状ワークＷが破損するおそれがある。また、気体と液体のニ流体を保持面２００から吹き上げて板状ワークを離脱する場合も、衝撃で板状ワークが破損するおそれがある。したがって、そのような不都合を回避するために、液体のみを用いる。

次に、図８に示すように、液体弁２０８を開放して矢印Ｅ方向に液体を流した状態のまま、保持部材１３を板状ワークＷの外周縁へ向けて、換言すると、板状ワークＷの中心に近づく方向へ移動させることにより、係合部材１３０の側部の係合凹部１３０ａを板状ワークＷの側面に当接させる。図８においては保持部材１３を１つのみ図示しているが、実際には３つの保持部材１３の係合凹部１３０ａがそれぞれ板状ワークＷに側面に当接し、３つの係合部材１３０で板状ワークＷを挟み込んで保持する（保持工程）。係合部材１３０は、板状ワークＷの外周縁を保持するため、デバイスに接触することがない。したがって、補強部Ｗ３が形成されたタイプの板状ワークＷに限らず、研削後に研削面に何らかのデバイスを形成するために、研削面との接触を避ける必要があるタイプの板状ワークを保持するのにも適している。

液体層２７の上にある板状ワークＷを３つの係合部材１３０で挟み込んで保持した後に、そのままの状態で保持機構１２を上昇させて板状ワークＷを持ち上げようとすると、液体層２７の表面張力により板状ワークＷを液体層２７から剥がせないことがある。そこで、液体弁２０８も開放したままの状態で、図９に示すように、制御手段２１０による制御の下でさらに気体弁２０７を開放することにより、矢印Ｆ方向に気体を流通させ、気体源２０７から保持面２１０に気体を供給することによって液体層２７に気泡を生じさせて表面張力を緩和する（表面張力緩和工程）。

次に、気体弁２０７及び液体弁２０８を開放して矢印Ｅ方向及びＦ方向に液体及び気体を流通させたまま、図１０に示すように、支持プレート１４を含む保持機構１２を上方に移動させる。そうすると、板状ワークＷが保持面２００及び液体層２７から離脱し、板状ワークＷが上昇する（離脱工程）。このように、液体の染み出しにより液体層２７を形成して板状ワークＷを浮上させ、さらに、液体層２７に気体を供給して気体を含ませることにより、液体層２７の表面張力を弱めた状態で板状ワークを持ち上げるため、板状ワークＷを破損させることなく確実にチャックテーブル２から搬出することができる。

なお、上記図６〜図１０に基づく例においては、離反工程→保持工程→表面張力緩和工程→離脱工程という順序としたが、保持工程と表面張力緩和工程とは順序が前後してもよい。また、保持工程と表面張力緩和工程とを同時に行ってもよい。

上記のようにして板状ワークＷがチャックテーブル２から搬出されると、図１に示したアーム部１１の旋回により洗浄手段８に搬送され、保持テーブル８０に載置される。そして、保持部材１３を互いが遠ざかる方向に移動させることにより保持状態を解除し、その後、洗浄及び乾燥が行われ、搬出入機構６によって板状ワークＷが第二のカセット５ｂに搬入される。

上記説明では、加工装置として研削装置を例に挙げて説明したが、例えばチャックテーブルに保持された板状ワークに回転する切削ブレードを作用させて切削を行う切削装置においても同様の構成及び方法をとりうる。

１：研削装置
２：チャックテーブル
２００：保持面 ２０１：枠体 ２０２：基台 ２０３：蛇腹
２０４：液体連通路 ２０５：液体源 ２０６：連通路
２０７：気体源 ２０８：液体弁 ２０９：気体弁 ２１０：制御手段
３：加工機構
３０：スピンドル ３１：ホイールマウント ３２：研削ホイール ３３：サーボモータ
３４：研削砥石
４：送り機構
４０：ボールスクリュー ４１：ガイドレール ４２：パルスモータ ４３：摺動部
４４：支持部
５ａ：第一のカセット ５ｂ：第二のカセット
６：搬出入機構 ６０：保持部 ６１：アーム部
７：中心合わせ手段 ７０：載置台 ７１：突起部
８：洗浄手段 ８０：保持テーブル
９：第一の搬送機構 ９０：吸着板 ９１：アーム部
１０：第二の搬送機構
１１：アーム部
１２：保持機構
１３：保持部材
１３０：係合部材 １３１：被保持部 １３１ａ：雌ねじ穴
１４：支持プレート １４０：長孔
１５：回動プレート
１５０：中心孔 １５１：長孔 １５２：アーム部 １５３：枢軸
１５４：リンク １５４ａ：貫通孔 １５５：連結突起
１６：取り付け板 １６０：貫通孔
１７：垂直方向駆動部
１８：水平方向移動規制ピン
１９：支持柱 １９ａ：雌ねじ穴 １９０：コイルバネ
２０：段つきナット ２０ａ：大径部 ２０ｂ：小径部
２１：ピストンロッド ２１ａ：連結係合部 ２２：エアシリンダ
２３：ボルト ２４：スペーサ ２５：ボルト ２６：ボルト
２７：液体層

Claims (2)

1. ポーラス部材で形成され板状ワークを負圧によって保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された板状ワークを加工する加工機構と、該チャックテーブルに対する板状ワークの搬入及び搬出を行う搬送機構と、該保持面に液体を供給する液体源と、該保持面に気体を供給する気体源と、該保持面と該液体源とを連通させる液体連通路と、該液体連通路に配設された液体弁と、該保持面と該気体源とを連通させる気体連通路と、該気体連通路に配設された気体弁とを有し、
   該搬送機構は、板状ワークの外周縁を保持する少なくとも３個の保持部材と、該保持部材を該板状ワークの外周縁に対して水平方向に移動可能に支持する支持プレートと、該支持プレートに設けられ該保持部材よりも下方に突出し該板状ワークの水平方向の移動を規制する少なくとも３個の水平方向移動規制ピンと、該保持部材を支持した該支持プレートを鉛直方向に移動させる垂直方向駆動部と、を有する加工装置によって、該チャックテーブルの該保持面に保持された板状ワークを該保持面から離脱させる板状ワーク離脱方法であって、
   少なくとも３個の該水平方向移動規制ピンを該保持面に保持された板状ワークの周囲に位置付ける水平方向移動規制ピン位置付け工程と、
   該液体弁を開放し該液体源から該保持面に液体を供給することによって該保持面から染み出す液体で板状ワークを該保持面から浮上させて離反させる離反工程と、
   該気体弁を開放し該気体源から該保持面に気体を供給することによって液体の表面張力を緩和する表面張力緩和工程と、
   該保持部材を板状ワークの外周縁へ向けて移動させて板状ワーク保持する保持工程と、
   板状ワークを保持した該保持部を支持した該支持プレートを上方に移動させて板状ワークを該保持面から離脱させる離脱工程と、
   を含む板状ワーク離脱方法。
2. ポーラス部材で形成され板状ワークを負圧によって保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された板状ワークを加工する加工機構と、該チャックテーブルへ板状ワークを搬入搬出する搬送機構と、該保持面に液体を供給する液体源と、該保持面に気体を供給する気体源と、該保持面と該液体源とを連通させる液体連通路と、該液体連通路に配設された液体弁と、該保持面と該気体源とを連通させる気体連通路と、該気体連通路に配設された気体弁と、該液体弁と該気体弁とを制御する制御手段とを有し、
   該搬送機構は、板状ワークの外周縁を保持する少なくとも３個の保持部材と、該保持部材を該板状ワークの外周縁に対して水平方向に移動可能に支持する支持プレートと、該支持プレートに設けられ該保持部材よりも下方に突出し該板状ワークの水平方向の移動を規制する少なくとも３個の水平方向移動規制ピンと、該保持部材を支持した該支持プレートを鉛直方向に移動させる垂直方向駆動部と、を有し、
   該制御手段は、該液体弁を開放して該保持面から染み出す液体で板状ワークを浮上させて該保持面から離反させ、該気体弁を開放して該保持面に気体を供給することによって液体の表面張力を緩和する制御機能を有する
   加工装置。

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