JPS63193843U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63193843U JPS63193843U JP8513487U JP8513487U JPS63193843U JP S63193843 U JPS63193843 U JP S63193843U JP 8513487 U JP8513487 U JP 8513487U JP 8513487 U JP8513487 U JP 8513487U JP S63193843 U JPS63193843 U JP S63193843U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- suction
- transfer device
- wafers
- gap
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 14
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 5
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims 1
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- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
Description
第１図は、本考案のウエハー吸着搬送装置の斜
視図、第２図は、本考案装置のウエハー検出部を
示す一部省略概略図、第３図は、ウエハーを検出
する状態を示す概略図、第４図は、ウエハーの挿
入ミスを検出する状態を示す概略図である。 尚、図中１はウエハー吸着搬送装置、２はアー
ム、３は吸着盤、４はウエハー検出部、５はフオ
トセンサ、６は検出片、Ｃはカセツト、Ｓ，Ｓ１
，Ｓ２はスリツト、Ｗ，Ｗ１はウエハーである。
視図、第２図は、本考案装置のウエハー検出部を
示す一部省略概略図、第３図は、ウエハーを検出
する状態を示す概略図、第４図は、ウエハーの挿
入ミスを検出する状態を示す概略図である。 尚、図中１はウエハー吸着搬送装置、２はアー
ム、３は吸着盤、４はウエハー検出部、５はフオ
トセンサ、６は検出片、Ｃはカセツト、Ｓ，Ｓ１
，Ｓ２はスリツト、Ｗ，Ｗ１はウエハーである。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) アームの先端に設けた吸着盤により、カセ
ツトのスリツトに挿入されたウエハーを吸着して
抜脱し搬送する装置において、 前記吸着盤の両側に二つのウエハー検出部を設
けたウエハー吸着搬送装置。 (2) 前記ウエハー検出部は、隙間を設けて対向
させた一対の発光素子と受光素子とから成るフオ
トセンサと、前記隙間に遊挿されて前記ウエハー
に押圧されることにより前記フオトセンサをＯＮ
又はＯＦＦする検出片とから成ることを特徴とす
る実用新案登録請求の範囲第１項記載のウエハー
吸着搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8513487U JPS63193843U (ja) | 1987-05-30 | 1987-05-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8513487U JPS63193843U (ja) | 1987-05-30 | 1987-05-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63193843U true JPS63193843U (ja) | 1988-12-14 |
Family
ID=30940263
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8513487U Pending JPS63193843U (ja) | 1987-05-30 | 1987-05-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63193843U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0528041U (ja) * | 1991-09-20 | 1993-04-09 | 東京応化工業株式会社 | 縦型ウエハー処理装置のウエハー移載機構 |
| JP2002270674A (ja) * | 2001-03-14 | 2002-09-20 | Disco Abrasive Syst Ltd | 搬出装置 |
| JP2015076507A (ja) * | 2013-10-09 | 2015-04-20 | 株式会社ディスコ | ウエーハの搬送装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61273441A (ja) * | 1985-05-23 | 1986-12-03 | Canon Inc | ウエハ搬送装置 |
-
1987
- 1987-05-30 JP JP8513487U patent/JPS63193843U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61273441A (ja) * | 1985-05-23 | 1986-12-03 | Canon Inc | ウエハ搬送装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0528041U (ja) * | 1991-09-20 | 1993-04-09 | 東京応化工業株式会社 | 縦型ウエハー処理装置のウエハー移載機構 |
| JP2002270674A (ja) * | 2001-03-14 | 2002-09-20 | Disco Abrasive Syst Ltd | 搬出装置 |
| JP2015076507A (ja) * | 2013-10-09 | 2015-04-20 | 株式会社ディスコ | ウエーハの搬送装置 |