JP2014203944A - 切削装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】切削装置(1)は、ガイドレール手段(52)一方の外側面(52a)に設けられ、第一のY軸案内レール(61a)上を移動可能な第一及び第二の切削手段(8a、8b)と、他方の側面(52b)に設けられ、第二のY軸案内レール上を移動可能な第三及び第四の切削手段(8c、8d)と、を備えている。第一の切削手段の第一のスピンドル(81a)と第二の切削手段の第二のスピンドル(81b)とは吊垂状態で、切削ブレード(82a、82b)を対向させて配設され、第三の切削手段の第三のスピンドル(81c)と第四の切削手段の第四のスピンドル(81d)とは吊垂状態で、切削ブレード(82c、82d)を対向させて配設される。第一及び第三のスピンドルと、第二及び第四のスピンドルとは、それぞれX軸方向に並列して移動可能に構成されている。
【選択図】図1
Description
3a 第一のチャックテーブル(チャックテーブル)
3b 第二のチャックテーブル(チャックテーブル)
33a、33b 保持面
4a 第一のチャックテーブル移動機構(切削送り機構)
4b 第二のチャックテーブル移動機構(切削送り機構)
5、9 支持フレーム
51、91 支柱部
52、90 ガイドレール手段
53 開口
61a 第一のY軸案内レール(Y軸案内レール)
65a Y軸テーブル(第一の割り出し送り基台)
65b Y軸テーブル(第二の割り出し送り基台)
65c Y軸テーブル(第三の割り出し送り基台)
65d Y軸テーブル(第四の割り出し送り基台)
72a Z軸テーブル(第一の切り込み送り基台)
72b Z軸テーブル(第二の切り込み送り基台)
72c Z軸テーブル(第三の切り込み送り基台)
72d Z軸テーブル(第四の切り込み送り基台)
75a、75b、75c、75d 連結部
8a 第一の切削手段(切削手段)
8b 第二の切削手段(切削手段)
8c 第三の切削手段(切削手段)
8d 第四の切削手段(切削手段)
81a 第一のスピンドル
81b 第二のスピンドル
81c 第三のスピンドル
81d 第四のスピンドル
82a 第一の切削ブレード
82b 第二の切削ブレード
82c 第三の切削ブレード
82d 第四の切削ブレード
S ストリート(分割予定ライン)
W 半導体ウェーハ(被加工物)
Claims (2)
- X軸方向に延設されたX軸案内レールと、該X軸案内レールに沿って移動可能に配設され被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルを該X軸案内レールに沿って切削送りする切削送り機構と、該X軸案内レールと直交する方向に延在して配設されたY軸案内レールと、該Y軸案内レールに沿って移動可能に配設され該チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための切削手段と、を具備する切削装置において、
該X軸案内レールを挟んで対向して立設された一対の支柱部と、該X軸案内レールを跨いで該一対の支柱部間に掛け渡されたガイドレール手段と、を有し、該一対の支柱部及び該ガイドレール手段により該チャックテーブルの移動を許容する開口を備えた門型の支持フレームが構成され、
該Y軸案内レールは、該ガイドレール手段の一方の側面に延在して配設された第一のY軸案内レールと、該ガイドレール手段の他方の側面に延在して配設された第二のY軸案内レールとから構成され、
該切削手段は、
該第一のY軸案内レールに沿って移動可能に第一の切削ブレードを備えた第一の切削手段及び第二の切削ブレードを備えた第二の切削手段を備え、
該第二のY軸案内レールに沿って移動可能に第三の切削ブレードを備えた第三の切削手段及び第四の切削ブレードを備えた第四の切削手段を備え、
該第一の切削手段は、該第一のY軸案内レール上に移動可能に配設された第一の割り出し送り基台と、該チャックテーブルの保持面に対して垂直な方向に移動可能に該第一の割り出し送り基台に配設された第一の切り込み送り基台と、該第一の切り込み送り基台に装着され第一の切削ブレードを備えた第一のスピンドルと、を備え、
該第二の切削手段は、該第一のY軸案内レールに沿った方向に移動可能に配設された第二の割り出し送り基台と、該チャックテーブルの保持面に対して垂直な方向に移動可能に該第二の割り出し送り基台に配設された第二の切り込み送り基台と、該第二の切り込み送り基台に装着された第二の切削ブレードを備えた第二のスピンドルと、を備え、
該第一のスピンドル及び該第二のスピンドルは吊垂状態で該門型の支持フレームの該開口に該第一の切削ブレード及び該第二の切削ブレードが向かい合うように対向して配設されており、
該第三の切削手段は、該第二のY軸案内レール上に移動可能に配設された第三の割り出し送り基台と、該チャックテーブルの保持面に対して垂直な方向に移動可能に該第三の割り出し送り基台に配設された第三の切り込み送り基台と、該第三の切り込み送り基台に装着され第三の切削ブレードを備えた第三のスピンドルと、を備え、
該第四の切削手段は、該第二のY軸案内レールに沿った方向に移動可能に配設された第四の割り出し送り基台と、該チャックテーブルの保持面に対して垂直な方向に移動可能に該第四の割り出し送り基台に配設された第四の切り込み送り基台と、該第四の切り込み送り基台に装着された第四の切削ブレードを備えた第四のスピンドルと、を備え、
該第三のスピンドル及び該第四のスピンドルは吊垂状態で該門型の支持フレームの該開口に該第三の切削ブレード及び該第四の切削ブレード向かい合うように対向して配設されており、
該第一のスピンドル及び該第三のスピンドルと、該第二のスピンドル及び該第四のスピンドルは、それぞれ該支持フレームの該開口で相互に並列して移動可能であること、
を特徴とする切削装置。 - 該X軸案内レールは並列して2以上配設され、それぞれの該X軸案内レール上に該切削送り機構及び該チャックテーブルが配設されていること、を特徴とする請求項1記載の切削装置。
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