JP6203011B2 - 切削方法 - Google Patents
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Description
4 基台
6 チャックテーブル
6a 保持面
8 X軸移動機構
10a 第1切削ユニット(第一切削手段)
10b 第2切削ユニット(第二切削手段)
12 支持部
14a 第1切削ユニット移動機構
14b 第2切削ユニット移動機構
16 X軸ガイドレール
18 X軸移動テーブル
20 X軸ボールネジ
22 X軸パルスモータ
24 支持台
26 Y軸ガイドレール
28a 第1Y軸移動テーブル
28b 第2Y軸移動テーブル
30a 第1Y軸ボールネジ
30b 第2Y軸ボールネジ
32a 第1Y軸パルスモータ
32b 第2Y軸パルスモータ
34a 第1Z軸移動テーブル
34b 第2Z軸移動テーブル
36a 第1Z軸パルスモータ
36b 第2Z軸パルスモータ
38 Y軸リニアスケール
40a 第1カメラ
40b 第2カメラ
42a 第一切削ブレード
42b 第二切削ブレード
44a 第一スピンドル
44b 第二スピンドル
11 被加工物(円形被加工物)
13 ダイシングテープ
15 フレーム
17,17A1〜17A2n,17B1〜17Bm,17C1〜17Cm ストリート(切削予定ライン)
19 デバイス
A 中央領域
B,C 外側領域
D1 第1方向
D2 第2方向
d1 ブレード間最短距離
d2 距離(間隔)
Claims (1)
- 第一切削ブレードと該第一切削ブレードが装着される第一スピンドルとを含む第一切削手段と、該第一切削ブレードに対面する第二切削ブレードと該第二切削ブレードが装着されるとともに該第一スピンドルの軸心と同一線上の軸心を有した第二スピンドルとを含む第二切削手段と、で複数の切削予定ラインが設定された円形被加工物の互いに異なる該切削予定ラインを同時に切削する切削方法であって、
該第一切削ブレードと該第二切削ブレードとが最も近接しうる距離をブレード間最短距離とし、
該切削予定ラインの伸長方向に直交する方向において円形被加工物の中心からそれぞれ該ブレード間最短距離離反した領域を含み、隣接する該切削予定ラインの間隔を2以上の整数で整数倍した広さの領域を中央領域とし、
該中央領域を挟む両側の領域を外側領域として、
該外側領域に含まれる全ての切削予定ラインを、該第一切削ブレードと該第二切削ブレードとを用いて第一の速度で切削する外側領域切削ステップと、
該外側領域切削ステップを実施する前または後に、該第一切削ブレードと該第二切削ブレードとを用いて該中央領域に含まれる全ての切削予定ラインを切削する中央領域切削ステップと、を備え、
該外側領域切削ステップでは、該第一切削ブレードと該第二切削ブレードとを互いに近接または離反する方向に割り出し送りしつつ切削を遂行し、
該中央領域切削ステップでは、該第一切削ブレードと該第二切削ブレードとを該中央領域の一端と中央とにそれぞれ位置付けた状態から互いに同一方向に割り出し送りしつつ切削を遂行するとともに、該第一切削ブレードと該第二切削ブレードとを用いて最初に切削する切削予定ラインのみを、該第一の速度より低速の第二の速度で切削し、他の切削予定ラインを、該第一の速度で切削することを特徴とする切削方法。
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JP2013239102A JP6203011B2 (ja) | 2013-11-19 | 2013-11-19 | 切削方法 |
Publications (2)
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JP2015099855A JP2015099855A (ja) | 2015-05-28 |
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Family Applications (1)
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Country | Link |
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Families Citing this family (2)
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JP7051502B2 (ja) * | 2018-03-13 | 2022-04-11 | 株式会社ディスコ | 切削装置の振動を抑制する振動抑制方法 |
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JP2002237472A (ja) * | 2001-02-07 | 2002-08-23 | Disco Abrasive Syst Ltd | 被加工物の切削方法 |
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JP4975422B2 (ja) * | 2006-11-28 | 2012-07-11 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
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2013
- 2013-11-19 JP JP2013239102A patent/JP6203011B2/ja active Active
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