JP5657935B2

JP5657935B2 - 切削装置

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Publication number: JP5657935B2
Application number: JP2010156004A
Authority: JP
Inventors: 関家　一馬; 一馬関家
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2010-07-08
Filing date: 2010-07-08
Publication date: 2015-01-21
Anticipated expiration: 2030-07-08
Also published as: JP2012019100A

Description

本発明は、半導体ウエーハ等のワークを切削するための切削装置に関する。

半導体デバイス製造工程では、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に形成されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって区画された多数の領域にＩＣ，ＬＳＩ等の回路を形成し、回路が形成された各領域を分割予定ラインに沿って分割することによって、個々の半導体チップが製造される。一般に、半導体ウエーハを分割する分割装置としては、切削装置が用いられている。この切削装置は、半導体ウエーハを保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された半導体ウエーハを切削する切削ブレードを有する切削手段とを備え、切削ブレードを回転しつつチャックテーブルを相対的に切削送りさせることによって、半導体ウエーハを切削する。

特開２００６−１５６８０９号公報

ところで、本願発明の出願人は、加工効率を向上させるために２つのチャックテーブルと２つの切削手段とを備える切削装置（以下、２チャック切削装置と表記）を提案している（特許文献１参照）。しかしながら、１２インチ（φ３００ｍｍ）の半導体ウエーハを切削するための従来までの２チャック切削装置には、チャックテーブルの送り機構や切削手段の送り機構の送り幅（ストローク量）の制限のために、長手方向の長さが３００ｍｍを越える長方形の半導体ウエーハを切削できないという問題点があった。このため、チャックテーブルの送り機構や切削手段の送り機構の送り幅を拡張せずに、長方形の半導体ウエーハを切削可能な切削装置の提供が望まれていた。

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、その目的は、保持テーブル送り手段やスピンドル送り手段の送り幅を拡張せずに長方形のワークを切削可能な切削装置を提供することにある。

上記課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る切削装置は、鉛直方向に直交する方向をＸ方向、鉛直方向及び該Ｘ方向に直交する方向をＹ方向とした場合に、長方形の板状のワークを保持する第一の保持テーブル及び該第一の保持テーブルを鉛直方向を回転軸として回転可能に支持する第一の回転支持部と、Ｙ方向に沿って第一の保持テーブル及び第一の回転支持部に並設された、ワークを保持する第二の保持テーブル及び該第二の保持テーブルを鉛直方向を回転軸として回転可能に支持する第二の回転支持部と、を有する保持手段と、該保持手段に保持されたワークの長手方向に伸びる第一の加工予定ラインと短手方向に伸びる第二の加工予定ラインとを切削加工するブレードと、該ブレードを該Ｙ方向を回転軸として回転可能に支持するスピンドルと、を有する切削加工手段と、該Ｘ方向において該切削加工手段によってワークの加工が行われる場所を加工位置とした場合に、該Ｘ方向において該加工位置を挟んだ一端と他端との間で該第一の回転支持部及び第一の保持テーブルを往復移動させる第一の加工送り機構と、該Ｘ方向において該加工位置を挟んだ一端と他端との間で該第二の回転支持部及び第二の保持テーブルを往復移動させる第二の加工送り機構と、を有する保持テーブル送り手段と、該切削加工手段を該Ｙ方向に送るスピンドル送り手段と、を有し、該一端と該他端との間の距離はワークの長手方向の長さよりも長く、該加工位置と該他端との間の距離はワークの長手方向の半分の長さよりも短い切削装置であって、該第一の保持テーブルはワークの形状に対応した長方形であり、該第一の保持テーブルの長手方向における中心位置は該第一の回転支持部の回転軸心と該第一の保持テーブルの長手方向においてずらして位置付けられ、該第二の保持テーブルはワークの形状に対応した長方形であり、該第二の保持テーブルの長手方向における中心位置は該第二の回転支持部の回転軸心と該第二の保持テーブルの長手方向においてずらして位置付けられ、該第一の保持テーブルに保持されたワークの該第一の加工予定ラインを加工する際には該第一の回転支持部の回転軸心から該Ｘ方向における該他端側に該第一の保持テーブルの長手方向における中心位置が位置付けられるように該第一の回転支持部を回転させ、該第二の保持テーブルに保持されたワークの該第一の加工予定ラインを加工する際には該第二の回転支持部の回転軸心から該Ｘ方向における該他端側に該第二の保持テーブルの長手方向における中心位置が位置付けられるように該第二の回転支持部を回転させ、該第一の保持テーブルに保持されたワークの該第二の加工予定ラインを加工する際には該第一の回転支持部の回転軸心から該Ｙ方向における該第二の保持テーブル側に該第一の保持テーブルの長手方向における中心位置が位置付けられるように該第一の回転支持部を回転させ、該第二の保持テーブルに保持されたワークの該第二の加工予定ラインを加工する際には該第二の回転支持部の回転軸心から該Ｙ方向における該第一の保持テーブル側に該第二の保持テーブルの長手方向における中心位置が位置付けられるように該第二の回転支持部を回転させる制御手段を備え、該第一の回転支持部に支持されたワークの該第一の加工予定ラインを加工する際に、該第一の回転支持部の回転軸心を該他端に配置した状態で、該Ｘ方向における該ワークの端部が該加工位置よりも該他端側に位置し、該第二の回転支持部に支持されたワークの該第一の加工予定ラインを加工する際に、該第二の回転支持部の回転軸心を該他端に配置した状態で、該Ｘ方向における該ワークの端部が該加工位置よりも該他端側に位置する。

本発明に係る切削装置によれば、保持テーブル送り手段やスピンドル送り手段の送り幅を拡張せずに長方形のワークを切削することができる。

図１は、本発明の一実施形態である切削装置の構成を示す斜視図である。図２は、本発明の一実施形態である搬送手段の構成を示す斜視図である。図３は、従来の切削装置の構成を模式的に示した平面図である。図４は、本発明の一実施形態である切削装置の構成を模式的に示した平面図である。

以下、図面を参照して、本発明の一実施形態である切削装置の構成について説明する。なお、以下では、鉛直方向を±Ｚ方向、鉛直方向に直交する方向（チャックテーブルの送り方向）を±Ｘ方向、±Ｚ方向及び±Ｘ方向に直交する方向を±Ｙ方向（切削手段の送り方向）と表現する。また、切削装置が行う切削加工の中には溝入れ加工も含まれるものとする。

〔切削装置の構成〕
始めに、図１，図２を参照して、本発明の一実施形態である切削装置の構成について説明する。図１は、本発明の一実施形態である切削装置の構成を示す斜視図である。図２は、本発明の一実施形態である搬送手段の構成を示す斜視図である。

図１に示すように、本発明の一実施形態である切削装置１は、略直方体状の装置ハウジング２を備える。装置ハウジング２には、長方形板状のワークＷを保持して±Ｘ方向にワークＷを移動させるチャックテーブル機構３が配設されている。チャックテーブル機構３は、本発明に係る保持手段として機能する。なお、切削装置１の加工対象となるワークＷは、特に限定されないが、例えばシリコンウエーハ，ＧａＡｓウエーハ，ＳｉＣウエーハ等の半導体ウエーハ、チップ実装用としてウエーハの裏面側に設けられるＤＡＦ（Die Attach Film）等の粘着部材、半導体製品のパッケージ、セラミックス，ガラス，サファイア（Ａｌ_２Ｏ_３）等の無機材料基板、液晶ディスプレイドライバー等の各種電子部品、ミクロンオーダーの加工位置精度が要求される各種加工材料等を例示できる。

チャックテーブル機構３は、第一のチャックテーブル３１１と、第一の回転支持部３２１と、第二のチャックテーブル３１２と、第二の回転支持部３２２とを備える。第一のチャックテーブル３１１及び第一の回転支持部３２１と第二のチャックテーブル３１２及び第二の回転支持部３２２とは、Ｙ方向に沿って並設されている。第一のチャックテーブル３１１及び第二のチャックテーブル３１２はそれぞれ、本発明に係る第一の保持テーブル及び第二の保持テーブルとして機能する。

第一のチャックテーブル３１１は、ワークＷの形状に対応した長方形状の部材であり、図示しない吸引手段を作動することによってその上面においてワークＷを吸引保持する。第一の回転支持部３２１は、±Ｚ方向を回転軸として回転する第一の回転部材３２１ａ（図３，４参照）を備え、回転部材３２１ａの上面において第一のチャックテーブル３１１を±Ｚ方向を回転軸として回転可能に支持する。

第二のチャックテーブル３１２は、ワークＷの形状に対応した長方形状の部材であり、図示しない吸引手段を作動することによってその上面においてワークＷを吸引保持する。第二の回転支持部３２２は、±Ｚ方向を回転軸として回転する第二の回転部材３２２ａ（図３，４参照）を備え、回転部材３２２ａの上面において第二のチャックテーブル３１２を±Ｚ方向を回転軸として回転可能に支持する。

第一の回転支持部３２１は、第一の加工送り手段３３１によって±Ｘ方向に往復移動される。第一の加工送り手段３３１は、図示しない第一の加工送り機構と、蛇腹手段３４１，３５１と、を備える。蛇腹手段３４１，３５１は、第一の回転支持部３２１の±Ｘ方向端部に配設されている。蛇腹手段３４１，３５１は、キャンパス布等の適宜材料により形成されている。

蛇腹手段３４１の＋Ｘ方向端部は装置ハウジング２に固定され、−Ｘ方向端部は第一の回転支持部３２１に固定されている。蛇腹手段３５１の＋Ｘ方向端部は第一の回転支持部３２１に固定され、−Ｘ方向端部は装置ハウジング２に固定されている。図示しない第一の加工送り機構によって第一の回転支持部３２１を−Ｘ方向に移動する場合、蛇腹手段３４１及び蛇腹手段３５１はそれぞれ伸長及び収縮する。一方、第一の回転支持部３２１を＋Ｘ方向に移動する場合には、蛇腹手段３４１及び蛇腹手段３５１はそれぞれ収縮及び伸長する。

第二の回転支持部３２２は、第二の加工送り手段３３２によって±Ｘ方向に往復移動される。第二の加工送り手段３３２は、図示しない第二の加工送り機構と、蛇腹手段３４２，３５２と、を備える。蛇腹手段３４２，３５２は、第二の回転支持部３２２の±Ｘ方向端部に配設されている。蛇腹手段３４２，３５２は、キャンパス布等の適宜材料により形成されている。

蛇腹手段３４２の＋Ｘ方向端部は装置ハウジング２に固定され、−Ｘ方向端部は第二の回転支持部３２２に固定されている。蛇腹手段３５２の＋Ｘ方向端部は第二の回転支持部３２２に固定され、−Ｘ方向端部は装置ハウジング２に固定されている。図示しない第二の加工送り機構によって第二の回転支持部３２２を−Ｘ方向に移動する場合、蛇腹手段３４２及び蛇腹手段３５２はそれぞれ伸長及び収縮する。一方、第二の回転支持部３２２を＋Ｘ方向に移動する場合には、蛇腹手段３４２及び蛇腹手段３５２はそれぞれ収縮及び伸長する。

装置ハウジング２は、第一の加工送り手段３３１及び第二の加工送り手段３３２を跨いで配設された門型の支持フレーム４を備える。門型の支持フレーム４は、第一の加工送り手段３３１の−Ｙ方向側面に配設された第一の柱部４１と、第二の加工送り手段３３２の＋Ｙ方向側面に配設された第二の柱部４２と、第一の柱部４１と第二の柱部４２の上端を連結して±Ｙ方向に沿って配設された支持部４３とを備える。支持部４３の＋Ｘ方向側面にはＹ方向に沿って一対の案内レール４３１，４３１が設けられ、−Ｘ方向側面にはＹ方向に沿って一対の案内レール４３２，４３２が設けられている。

第一の柱部４１の＋Ｘ方向側面には、第一の切削加工機構５１と第二の切削加工機構５２とが設けられている。第一の切削加工機構５１は、移動基台５１１，５１２と、移動基台５１２の下端部に装着された第一の切削加工手段６１と、を備える。移動基台５１１の−Ｘ方向側面は、一対の案内レール４３１，４３１に摺動可能に係合している。移動基台５１１の＋Ｘ方向側面には、±Ｚ方向に沿って一対の案内レール５１３，５１３が設けられている。移動基台５１２の−Ｘ方向側面は、一対の案内レール５１３，５１３に摺動可能に係合している。

第一の切削加工手段６１は、ワークＷを切削加工するブレード６１１（図３，４参照）と、ブレード６１１を±Ｙ方向を回転軸として回転可能に支持するスピンドル６１２とを備える。ブレード６１１は、ワークＷの長手方向に延びる第一の加工予定ラインと、短手方向に延びる第二の加工予定ラインとを切削加工する。

支持部４３の＋Ｘ方向側面には、第一の切削加工機構５１を一対の案内レール４３１，４３１に沿って±Ｘ方向に移動させる第一のスピンドル送り手段７１が設けられている。第一のスピンドル送り手段７１は、支持部４３の＋Ｘ方向側面に配設され、±Ｙ方向に延びる雄ネジロッド７１１を備える。雄ネジロット７１１は、端部が支持部４３に取り付けられた図示しない軸受部材によって回転自在に支持されている。

図示しない軸受部材には、雄ネジロッド７１１を回転駆動するパルスモータ７１２が配設されている。移動基台５１１の−Ｘ方向側の面には、その軸方向中央部から−Ｘ方向に延びる図示しない貫通雌ネジ孔が設けられている。雄ネジロッド７１１は、図示しない貫通雌ネジ孔に螺合している。これにより、パルスモータ７１２が正転した場合、移動基台５１１、すなわち第一の切削加工機構５１は−Ｙ方向に移動する。一方、パルスモータ７１２が逆転した場合には、移動基台５１１、すなわち第一の切削加工機構５１は＋Ｙ方向に移動する。

移動基台５１１の＋Ｘ方向側面には、移動基台５１２を一対の案内レール５１３，５１３に沿って±Ｚ方向に移動させる移動手段８１が設けられている。移動手段８１は、移動基台５１１の＋Ｘ方向側面に配設され、±Ｚ方向に延びる雄ネジロッド８１１を備える。雄ネジロット８１１は、移動基台５１１に取り付けられた図示しない軸受部材によって回転自在に支持されている。

図示しない軸受部材には、雄ネジロッド８１１を回転駆動するパルスモータ８１２が配設されている。移動基台５１２の−Ｘ方向側面には、その軸方向中央部から−Ｘ方向に延びる図示しない貫通雌ネジ孔が設けられている。雄ネジロッド８１１は、図示しない貫通雌ネジ孔に螺合している。これにより、パルスモータ８１２が正転した場合、移動基台５１２は＋Ｚ方向に移動する。一方、パルスモータ８１２が逆転した場合には、移動基台５１２は−Ｚ方向に移動する。

第二の切削加工機構５２は、移動基台５２１，５２２と、移動基台５２２の下端部に装着された第二の切削加工手段６２と、を備える。移動基台５２１の−Ｘ方向側面は、一対の案内レール４３１，４３１に摺動可能に係合している。移動基台５２１の＋Ｘ方向側面には、Ｚ軸方向に沿って一対の案内レール５２３，５２３が設けられている。移動基台５２２の−Ｘ方向側面は、一対の案内レール５２３，５２３に摺動可能に係合している。

第二の切削加工手段６２は、ワークＷを切削加工するブレード６２１と、ブレード６２１を±Ｙ方向を回転軸として回転可能に支持するスピンドル６２２とを備える。ブレード６２１は、ワークＷの長手方向に延びる第一の加工予定ラインと、短手方向に延びる第二の加工予定ラインとを切削加工する。

支持部４３の＋Ｘ方向側面には、第二の切削加工機構５２を一対の案内レール４３１，４３１に沿って±Ｘ方向に移動させる第二のスピンドル送り手段７２が設けられている。第二のスピンドル送り手段７２は、支持部４３の＋Ｘ方向側面に配設され、±Ｙ方向に延びる雄ネジロッド７２１を備える。雄ネジロット７２１は、支持部４３に取り付けられた図示しない軸受部材によって回転自在に支持されている。

図示しない軸受部材には、雄ネジロッド７２１を回転駆動する図示しないパルスモータが配設されている。移動基台５２１の−Ｘ方向側面には、その軸方向中央部から−Ｘ方向に延びる図示しない貫通雌ネジ孔が設けられている。雄ネジロッド７２１は、図示しない貫通雌ネジ孔に螺合している。これにより、図示しないパルスモータが正転した場合、移動基台５２１、すなわち第二の切削加工機構５２は＋Ｙ方向に移動する。一方、図示しないパルスモータが逆転した場合には、移動基台５２１、すなわち第二の切削加工機構５２は−Ｙ方向に移動する。

移動基台５２１の＋Ｘ方向側面には、移動基台５２１を一対の案内レール５２３，５２３に沿って±Ｚ方向に移動させる移動手段８２が設けられている。移動手段８２は、移動基台５２１の＋Ｘ方向側面に配設され、±Ｚ方向に延びる雄ネジロッド８２１を備える。雄ネジロット８２１は、支持部４３に取り付けられた図示しない軸受部材によって回転自在に支持されている。

図示しない軸受部材には、雄ネジロッド８２１を回転駆動するパルスモータ８２２が配設されている。移動基台５２２の−Ｘ方向側面には、その軸方向中央部から−Ｘ方向に延びる図示しない貫通雌ネジ孔が設けられている。雄ネジロッド８２１は、図示しない貫通雌ネジ孔に螺合している。これにより、パルスモータ８２２が正転した場合、移動基台５２２は＋Ｚ方向に移動する。一方、パルスモータ８２２が逆転した場合には、移動基台５２２は−Ｚ方向に移動する。

支持部４３の＋Ｘ方向側面には、アライメント手段９が設けられている。アライメント手段９は、移動基台９１と、移動基台９１の下端部に装着された図示しない撮像手段と、を備える。移動基台９１の＋Ｘ方向側面は、一対の案内レール４３２，４３２に摺動可能に係合している。図示しない撮像手段は、撮像素子（ＣＣＤ）を備え、撮像した画像信号を制御手段１１に出力する。制御手段１１は、図示しない撮像手段から入力された画像信号に基づいて、ワークＷの表面に形成された第一の加工予定ラインと第二の加工予定ラインとを検出する。

支持部４３の＋Ｘ方向側面には、アライメント手段９を一対の案内レール４３２，４３２に沿って±Ｙ方向に移動させる移動手段１０が設けられている。移動手段１０は、支持部４３の−Ｘ方向側面に配設され、±Ｙ方向に延びる図示しない雄ネジロッドを備える。図示しない雄ネジロットは、支持部４３に取り付けられた図示しない軸受部材によって回転自在に支持されている。

図示しない軸受部材には、図示しない雄ネジロッドを回転駆動するパルスモータ１０１が配設されている。移動基台９１の−Ｘ方向側面には、その軸方向中央部から＋Ｘ方向に延びる図示しない貫通雌ネジ孔が設けられている。図示しない雄ネジロッドは、図示しない貫通雌ネジ孔に螺合している。これにより、パルスモータ１０１が正転した場合、移動基台９１は−Ｙ方向に移動する。一方、パルスモータ１０１が逆転した場合には、移動基台９１は＋Ｙ方向に移動する。

切削装置１は、制御手段１１を備える。制御手段１１は、コンピュータ等の情報処理装置によって構成され、図示しない撮像手段から入力された画像信号に基づいて、切削装置１の動作を制御する。

ワークＷは、図２に示す搬入手段１２によって第一のチャックテーブル３１１及び第二のチャックテーブル３２１に搬入される。図２に示すように、搬入手段１２は、搬送アーム１２１と、搬送アーム１２１にワークＷを吸着保持する吸着パッド１２２が取り付けられて構成されている。搬入手段１２は、切削加工前のワークＷを吸着保持して第一のチャックテーブル３１１及び第二のチャックテーブル３２１の保持面にワークＷを搬入する。

〔切削加工方法〕
次に、切削装置１によるワークＷの切削加工方法について説明する。

切削装置１によってワークＷを切削加工する際には、始めに、第一のチャックテーブル３１１に保持されたワークＷをアライメント手段９によって撮像し、第一の加工予定ライン又は第二の加工予定ラインを検出する第１のアライメント工程を実施する。次に、第一のチャックテーブル３１１に保持されているワークＷを切削加工機構５１によって切削する第１の切削工程を実施する。この第１の切削工程の途中又は終了後、アライメント手段９によって第一のチャックテーブル３１１に保持されたワークＷに形成された切削溝の状態を撮像して検出する第１の切削溝検出工程を実施する。

また、第一の切削溝検出工程を実施する際に、同時に、第二のチャックテーブル３１２に保持されたワークＷをアライメント手段９によって撮像し、第一の加工予定ライン又は第二の加工予定ラインを検出する第二のアライメント工程を実施する。次に、第二のチャックテーブル３１２に保持されているワークＷを切削加工機構５２によって切削する第二の切削工程を実施する。この第二の切削工程の途中又は終了後、アライメント手段９によって第二のチャックテーブル３１２に保持されたワークＷに形成された切削溝の状態を撮像して検出する第２の切削溝検出工程を実施する。また、第二の切削溝検出工程を実施する際に、同時に、第一のアライメント工程を実施する。

上述した切削加工方法によってワークＷの切削加工を実施することにより、ワークＷのアライメント工程と、ワークＷの切削によって形成された切削溝の状態を検出する切削溝検出工程とを同時に遂行することができると共に、チャックテーブルが２個あることからワークＷのチャックテーブルへの着脱作業中に他のチャックテーブルに保持されているワークＷを切削できるので、アライメント作業、切削溝の検出作業、ワークＷの着脱作業に費やす時間を考慮することなく、切削加工機構５１，５２をフル稼働でワークＷを切削することができる。

〔チャックテーブル及びブレードのストローク量〕
次に、図３及び図４を参照して、第一の加工送り手段３３１及び第二の加工送り手段３３２と第一の切削加工手段６１及び第二の切削加工手段６２（第一のスピンドル送り手段７１及び第二のスピンドル送り手段７２）とのストローク量について説明する。図３は、従来の切削装置の構成を模式的に示した平面図である。図４は、本発明の一実施形態である切削装置の構成を模式的に示した平面図である。

いま、第一の加工送り手段３３１及び第二の加工送り手段３３２が図３及び図４に示すような構成を有する場合を考える。すなわち、第一の加工送り手段３３１は、線分Ｌ１で示すワークの切削加工位置を挟んだ一端３３３ａ（第一の回転部材３２１ａが加工送り方向の一端３３１ａ側に接しているときの回転軸心Ｏ１の位置）と他端３３３ｂ（第一の回転部材３２１ａが加工送り方向の他端３３１ｂ側に接しているときの回転軸心Ｏ１の位置）との間で第一の回転部材３２１ａ及び第一のチャックテーブル３１１を±Ｘ方向（矢印Ｄ１方向）に往復移動させる。第二の加工送り手段３３２は、線分Ｌ１で示すワークの切削加工位置を挟んだ一端３３４ａ（第二の回転部材３２２ａが加工送り方向の一端３３２ａ側に接しているときの回転軸心Ｏ２の位置）と他端３３４ｂ（第二の回転部材３２２ａが加工送り方向の他端３３２ｂ側に接しているときの回転軸心Ｏ２の位置）との間で第二の回転部材３２２ａ及び第二のチャックテーブル３１２を±Ｘ方向（矢印Ｄ１方向）に往復移動させる。一端３３３ａ，３３４ａと他端３３３ｂ，３３４ｂとの間の距離ｄ１はワークの長手方向の長さｄ２より長い。線分Ｌ１で示すワークの切削加工位置と他端３３３ｂ，３３４ｂとの間の距離ｄ３はワークの長手方向の半分の長さｄ４より短い。

このような場合において、図３に示すように、第一及び第二の回転部材３２１ａ，３２２ａの回転軸心Ｏ１，Ｏ２が第一及び第二のチャックテーブル３１１，３１２の長手方向の中心位置を示す線分Ｌ２，Ｌ３上にあると、ワークＷの長手方向に延びる第一の加工予定ライン及び短手方向に延びる第二の加工予定ラインとを切削加工する際に以下のような問題が生じる。すなわち、第一の加工予定ラインを切削加工する場合、第一の加工送り手段３３１の−Ｘ方向のストローク量が足りないために、回転部材３２１ａの回転軸心Ｏ１が他端３３３ｂに到達しても切削加工位置がワークの＋Ｘ方向端部まで届かず、領域Ｒ１に対して切削加工を実施することができない。また、第二の加工予定ラインを切削加工する場合には、第二の切削加工手段６２の＋Ｙ方向のストローク量が足りないために、ブレード６２１がワークの＋Ｙ方向端部まで届かず、領域Ｒ２に対して切削加工を実施することができない。

そこで、本発明の一実施形態である切削装置１では、図４に示すように、線分Ｌ２，Ｌ３で示す第一及び第二のチャックテーブル３１１，３１２の長手方向の中心位置は、第一及び第二の回転部材３２１ａ，３２２ａの回転軸心Ｏ１，Ｏ２の位置に対し長手方向にオフセットされている。また、その最低オフセット量及び±Ｘ方向及び±Ｙ方向におけるストローク量は、第一のチャックテーブル３１１，３１２の短手方向の中心位置が第一及び第二の回転部材３２１ａ，３２２ａの回転軸心Ｏ１，Ｏ２と一致し、且つ、第一及び第二の切削加工手段６１，６２のストローク量が第一及び第二のチャックテーブル３１１，３１２の長手方向の距離ｄ２分あることを前提として、以下の条件を満足している。

（１）第一の加工予定ラインを切削加工する場合
最低オフセット量は（ワークの長手方向の半分の長さｄ４−線分Ｌ１で示す切削加工位置と他端３３３ｂ，３３４ｂとの間の距離ｄ３）とする。但し、最低オフセット量よりもオフセット量を大きくする場合には、その増分だけ線分Ｌ１で示す切削加工位置と一端３３３ａ，３３４ａとの間の距離ｄ５を長くする。

（２）第二の加工予定ラインを切削加工する場合
最低オフセット量は（ワークの長手方向の半分の長さｄ４−第一及び第二の回転部材３２１ａ，３２２ａの回転軸心Ｏ１，Ｏ２から第一及び第二の切削加工手段６１，６２の移動端までの距離ｄ８）とする。但し、最低オフセット量よりもオフセット量を大きくする場合には、その増分だけ第一及び第二の切削加工手段６１，６２のストローク量を長くする。

そして、制御手段１１は、第一のチャックテーブル３１１に保持されたワークの第一の加工予定ラインを切削加工する際には、第一の回転部材３２１ａの回転軸心Ｏ１から他端３３３ｂ側に線分Ｌ２で示す第一のチャックテーブル３１１の長手方向における中心位置が位置付けられるように第一の回転部材３２１ａを回転させる。同様に、制御手段１１は、第二のチャックテーブル３１２に保持されたワークの第一の加工予定ラインを加工する際には、第二の回転部材３２２ａの回転軸心Ｏ２から他端３３４ｂ側に線分Ｌ３で示す第二のチャックテーブル３１２の長手方向における中心位置が位置付けられるように第二の回転部材３２２ａを回転させる。

また、制御手段１１は、第一のチャックテーブル３１１に保持されたワークの第二の加工予定ラインを加工する際には、第一の回転部材３２１ａの回転軸心Ｏ１からＹ方向における第二のチャックテーブル３１２側に線分Ｌ２で示す第一のチャックテーブル３１１の長手方向における中心位置が位置付けられるように第一の回転部材３２１ａを回転させる。同様に、制御手段１１は、第二のチャックテーブル３１２に保持されたワークの第二の加工予定ラインを加工する際には、第二の回転部材３２２ａの回転軸心Ｏ２からＹ方向における第一のチャックテーブル３１１側に線分Ｌ２で示す第二のチャックテーブル３１２の長手方向における中心位置が位置付けられるように第二の回転部材３２２ａを回転させる。

このような構成によれば、第一の加工予定ラインを切削加工する場合、回転部材３２１ａの回転軸心Ｏ１が他端３３３ｂに到達するまでの間に線分Ｌ１で示す切削加工位置がワークの＋Ｘ方向端部に到達するので、ワークの全ての領域に対して切削加工を実施することができる。また、第二の加工予定ラインを切削加工する場合には、第一及び第二の切削加工手段６１，６２の移動端に到達するまでの間にブレード６１１，６２１がワークの＋Ｙ方向端部に到達するので、ワークの全ての領域に対して切削加工を実施することができる。

以上、本発明者らによってなされた発明を適用した実施の形態について説明したが、上記実施形態による本発明の開示の一部をなす記述及び図面により本発明は限定されることはない。すなわち、上記実施形態に基づいて当業者等によりなされる他の実施形態、実施例、及び運用技術等は、全て本発明の範疇に含まれる。

１切削装置
２装置ハウジング
３チャックテーブル機構
９アライメント手段
１１制御手段
５１第一の切削加工機構
５２第二の切削加工機構
６１第一の切削加工手段
６２第二の切削加工手段
３１１第一のチャックテーブル
３１２第二のチャックテーブル
３２１第一の回転支持部
３２１ａ回転部材
３２２第二の回転支持部
３２２ａ回転部材
３３１第一の加工送り手段
３３２第二の加工送り手段
６１１，６２１ブレード
６１２，６２２スピンドル
Ｗワーク

Claims

鉛直方向に直交する方向をＸ方向、鉛直方向及び該Ｘ方向に直交する方向をＹ方向とした場合に、
長方形の板状のワークを保持する第一の保持テーブル及び該第一の保持テーブルを鉛直方向を回転軸として回転可能に支持する第一の回転支持部と、Ｙ方向に沿って第一の保持テーブル及び第一の回転支持部に並設された、ワークを保持する第二の保持テーブル及び該第二の保持テーブルを鉛直方向を回転軸として回転可能に支持する第二の回転支持部と、を有する保持手段と、
該保持手段に保持されたワークの長手方向に伸びる第一の加工予定ラインと短手方向に伸びる第二の加工予定ラインとを切削加工するブレードと、該ブレードを該Ｙ方向を回転軸として回転可能に支持するスピンドルと、を有する切削加工手段と、
該Ｘ方向において該切削加工手段によってワークの加工が行われる場所を加工位置とした場合に、該Ｘ方向において該加工位置を挟んだ一端と他端との間で該第一の回転支持部及び第一の保持テーブルを往復移動させる第一の加工送り機構と、該Ｘ方向において該加工位置を挟んだ一端と他端との間で該第二の回転支持部及び第二の保持テーブルを往復移動させる第二の加工送り機構と、を有する保持テーブル送り手段と、
該切削加工手段を該Ｙ方向に送るスピンドル送り手段と、を有し、
該一端と該他端との間の距離はワークの長手方向の長さよりも長く、
該加工位置と該他端との間の距離はワークの長手方向の半分の長さよりも短い切削装置であって、
該第一の保持テーブルはワークの形状に対応した長方形であり、該第一の保持テーブルの長手方向における中心位置は該第一の回転支持部の回転軸心と該第一の保持テーブルの長手方向においてずらして位置付けられ、
該第二の保持テーブルはワークの形状に対応した長方形であり、該第二の保持テーブルの長手方向における中心位置は該第二の回転支持部の回転軸心と該第二の保持テーブルの長手方向においてずらして位置付けられ、
該第一の保持テーブルに保持されたワークの該第一の加工予定ラインを加工する際には該第一の回転支持部の回転軸心から該Ｘ方向における該他端側に該第一の保持テーブルの長手方向における中心位置が位置付けられるように該第一の回転支持部を回転させ、
該第二の保持テーブルに保持されたワークの該第一の加工予定ラインを加工する際には該第二の回転支持部の回転軸心から該Ｘ方向における該他端側に該第二の保持テーブルの長手方向における中心位置が位置付けられるように該第二の回転支持部を回転させ、
該第一の保持テーブルに保持されたワークの該第二の加工予定ラインを加工する際には該第一の回転支持部の回転軸心から該Ｙ方向における該第二の保持テーブル側に該第一の保持テーブルの長手方向における中心位置が位置付けられるように該第一の回転支持部を回転させ、
該第二の保持テーブルに保持されたワークの該第二の加工予定ラインを加工する際には該第二の回転支持部の回転軸心から該Ｙ方向における該第一の保持テーブル側に該第二の保持テーブルの長手方向における中心位置が位置付けられるように該第二の回転支持部を回転させる制御手段を備え、
該第一の回転支持部に支持されたワークの該第一の加工予定ラインを加工する際に、該第一の回転支持部の回転軸心を該他端に配置した状態で、該Ｘ方向における該ワークの端部が該加工位置よりも該他端側に位置し、
該第二の回転支持部に支持されたワークの該第一の加工予定ラインを加工する際に、該第二の回転支持部の回転軸心を該他端に配置した状態で、該Ｘ方向における該ワークの端部が該加工位置よりも該他端側に位置することを特徴とする切削装置。